JP2012061504A - レーザー加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザー加工装置100は、架台1上に設けられ、架台1に設けられ、ワーク9を下面から接触支持するフリーボールベアリングでなる接触支持部3と、ワーク9へエアを吹き付けることによりワーク9の撓みを軽減させる気体浮上部2a、2bと、レーザービーム照射手段と、ワーク9をx方向に搬送するための加工送り手段7と、を備える。
【選択図】図1
Description
以上、この発明の実施の形態について説明したが、上記の実施の形態の開示の一部をなす論述および図面はこの発明を限定するものではない。この開示から当業者に様々な代替実施の形態、実施例および運用技術が明らかとなろう。
2 気体浮上部
3 接触支持部
5 加工屑吸引手段取付フレーム
6 レーザービーム照射手段
7 加工送り手段
8 加工屑吸引手段
9 ワーク
22 エア吹き出し口
61 レーザービーム出射部
91 ガラス基板
92 機能層
92A 加工屑
92B 分離溝
Claims (1)
- 基板を支持する支持手段と、該支持手段に支持された基板にレーザービームを照射するレーザービーム照射手段と、を有するレーザー加工装置であって、
前記支持手段は、基板を下面から接触支持する複数の接触支持部と、
複数の該接触支持部の間に設けられ、気体を噴出して基板の撓みを軽減する気体浮上部と、を含み、
基板を該レーザービーム照射手段に対して相対的に加工送りする加工送り手段を備えたことを特徴とするレーザー加工装置。
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CN111360405B (zh) * | 2020-04-14 | 2022-03-15 | 潍坊路加精工有限公司 | 一种纽扣电池正极铝箔激光焊接装置 |
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