JP5731779B2 - レーザー加工装置 - Google Patents
レーザー加工装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5731779B2 JP5731779B2 JP2010208594A JP2010208594A JP5731779B2 JP 5731779 B2 JP5731779 B2 JP 5731779B2 JP 2010208594 A JP2010208594 A JP 2010208594A JP 2010208594 A JP2010208594 A JP 2010208594A JP 5731779 B2 JP5731779 B2 JP 5731779B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- processing
- substrate
- laser beam
- laser
- gas floating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 39
- 238000007667 floating Methods 0.000 claims description 31
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims description 15
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 14
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 14
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 9
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 8
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 7
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 5
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 5
- 102100025490 Slit homolog 1 protein Human genes 0.000 description 2
- 101710123186 Slit homolog 1 protein Proteins 0.000 description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Description
以上、この発明の実施の形態について説明したが、上記の実施の形態の開示の一部をなす論述および図面はこの発明を限定するものではない。この開示から当業者に様々な代替実施の形態、実施例および運用技術が明らかとなろう。
2 気体浮上部
3 接触支持部
5 加工屑吸引手段取付フレーム
6 レーザービーム照射手段
7 加工送り手段
8 加工屑吸引手段
9 ワーク
22 エア吹き出し口
61 レーザービーム出射部
91 ガラス基板
92 機能層
92A 加工屑
92B 分離溝
Claims (4)
- 基板を支持する支持手段と、前記支持手段に支持された前記基板にレーザービームを照射するレーザービーム照射手段と、を有するレーザー加工装置であって、
前記支持手段は、前記基板を下面から接触支持する接触支持部と、
前記基板の下面から気体を噴出して前記基板の撓みを軽減する複数の気体浮上部と、
前記基板を前記レーザービーム照射手段に対してレーザー加工における加工送り方向に相対的に加工送りする加工送り手段と、
を含み、
複数の前記気体浮上部のうち少なくとも一部は、前記加工送り方向に延びるように配置され、かつ水平面における前記加工送り方向と平行に複数列並べて配置される、
ことを特徴とするレーザー加工装置。 - 前記加工送り方向と平行に並べて配置される複数の前記気体浮上部の間に、それぞれ前記接触支持部が配置される
請求項1に記載のレーザー加工装置。 - 前記加工送り方向と平行に並べて配置される前記接触支持部の両側に、それぞれ前記気体浮上部が配置される
請求項1に記載のレーザー加工装置。 - 前記加工送り方向において、前記レーザービーム照射手段を挟んで第1の気体浮上部が配置され、前記第1の気体浮上部を挟んで第2の気体浮上部がそれぞれ配置される
請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のレーザー加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010208594A JP5731779B2 (ja) | 2010-09-16 | 2010-09-16 | レーザー加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010208594A JP5731779B2 (ja) | 2010-09-16 | 2010-09-16 | レーザー加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012061504A JP2012061504A (ja) | 2012-03-29 |
JP5731779B2 true JP5731779B2 (ja) | 2015-06-10 |
Family
ID=46057784
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010208594A Active JP5731779B2 (ja) | 2010-09-16 | 2010-09-16 | レーザー加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5731779B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111360405B (zh) * | 2020-04-14 | 2022-03-15 | 潍坊路加精工有限公司 | 一种纽扣电池正极铝箔激光焊接装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000193604A (ja) * | 1998-12-25 | 2000-07-14 | Takano Co Ltd | 基板用自動検査装置 |
JP4616373B2 (ja) * | 2008-08-18 | 2011-01-19 | 株式会社片岡製作所 | レーザ加工機 |
-
2010
- 2010-09-16 JP JP2010208594A patent/JP5731779B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012061504A (ja) | 2012-03-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100848229B1 (ko) | 기판 반송 장치 | |
TWI510320B (zh) | 雷射加工系統、雷射加工方法及光學頭 | |
KR100949152B1 (ko) | 유리 기판 레이저 절단 장치 | |
JP4904722B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
US20130167590A1 (en) | Method of cleaving and separating a glass sheet and apparatus for cleaving and separating a glass sheet | |
KR20080007528A (ko) | 솔라 모듈을 구성하기 위한 시스템 | |
US20080237189A1 (en) | Method for laser scribing of solar panels | |
JP2006334919A (ja) | 板材の分断ユニット、この分断ユニットを有する分断装置、および、この分断装置を有する分断設備 | |
JP2009142834A (ja) | レーザ加工機 | |
JPWO2009001497A1 (ja) | レーザ加工装置 | |
JPWO2011016369A1 (ja) | エア浮上式基板搬送装置 | |
JP2012171057A (ja) | 切断装置 | |
KR101682261B1 (ko) | 도포장치 | |
JP2010155258A (ja) | 基板処理装置 | |
KR20100084985A (ko) | 레이저 가공방법 및 레이저 가공장치 | |
JP2007281285A (ja) | 基板搬送装置 | |
JP5731779B2 (ja) | レーザー加工装置 | |
JP2012055966A (ja) | レーザー加工装置 | |
JP4616373B2 (ja) | レーザ加工機 | |
JP4494910B2 (ja) | 表面実装装置 | |
JP2010157640A (ja) | 基板受渡し装置およびその方法 | |
KR101323660B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 방법 | |
JP6142217B2 (ja) | 露光用基板搬送装置 | |
JP5363802B2 (ja) | レーザスクライブ加工装置 | |
EP2478991A1 (en) | Laser beam machine |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130807 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140702 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140708 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140905 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150324 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150410 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5731779 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |