KR100560957B1 - 평판 디스플레이 기판의 공급 및 배출 장치 - Google Patents

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Abstract

평판 디스플레이 기판의 표면 처리 등을 하는데 이용되며, 처리 장치를 소형화하면서도 기판의 처리 효율을 증대시킬 수 있는 평판 디스플레이 기판의 공급 및 배출 장치를 개시한다.
이러한 평판 디스플레이 기판의 공급장치는, 베이스; 상기 베이스에 일측이 힌지 결합되고, 또 다른 일측이 자유단부로 이루어지며, 기판 이송을 위한 구동부가 구비된 제1 기판 공급부; 상기 베이스에 일측이 힌지 결합되고, 또 다른 일측이 또 다른 자유단부로 이루어지며, 상기 자유단부가 상기 제1 기판 공급부의 자유단부에 대향하는 자세로 배치되며, 기판 이송을 위한 또 다른 구동부가 구비된 제2 기판 공급부; 상기 제1 기판 공급부 또는 상기 제2 기판 공급부, 및 상기 베이스에 결합되어 상기 제1 기판 공급부 또는 상기 제2 기판 공급부가 힌지 결합점을 중심으로 회전하여 경사가 이루어지도록 구동하는 하나 이상의 구동원을 포함한다.
이와 같이 본 발명은 이중으로 기판을 동시에 처리할 수 있는 기판 공급장치 및 기판 배출장치를 구비하여 기판 처리 장치의 크기를 현저하게 줄이면서도 기판이 병렬로 동시에 처리되어 기판 처리 효율을 증대시키는 효과를 가진다.
평판, 디스플레이, 경사, 공급, 배출, 이중, 2열, 베스

Description

평판 디스플레이 기판의 공급 및 배출 장치{Apparatus for feeding/ discharging of plat display panel}
도 1은 본 발명에 따른 실시 예를 설명하기 위한 평판 디스플레이 기판 처리 장치의 사시도이다.
도 2는 도 1의 주요부분을 확대하여 도시한 도면이다.
도 3은 도 1에서 평판 디스플레이 기판의 공급 및 배출 과정을 설명하기 위한 도면이다.
본 발명은 평판 디스플레이 기판의 공급 및 배출 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 평판 디스플레이 기판의 표면 처리 등을 하는데 이용되며, 처리 장치를 소형화하면서도 기판의 처리 효율을 증대시킬 수 있는 평판 디스플레이 기판의 공급 및 배출 장치에 관한 것이다.
일반적으로 평판 디스플레이 기판 처리 장치는, 평판 디스플레이 기판(이하, "기판"이라고도 함)을 공급받아 평판 디스플레이의 처리를 위하여 특정한 작업을 하기 위한 프로세싱 베스에 공급하는 공급장치 및 다른 공정 등을 위하여 처리된 기판을 배출하는 배출장치가 구비될 수 있다. 이러한 기판의 공급 또는 배출장치는 통상 하나의 기판 처리 장치에 수평 또는 경사진 상태로 배치되어, 기판이 일렬로 프로세싱 베스를 통과하면서 순차적인 처리가 이루어진다.
이러한 종래의 평판 디스플레이 기판 처리 장치는 기판의 처리 효율을 향상시키면서 더욱 소형화할 필요가 있으나, 이에 충분히 만족하지 못한 문제점이 있다.
따라서 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로서, 본 발명의 목적은 평판 디스플레이 기판 처리 장치의 효율을 극대화시키면서 소형화할 수 있는 평판 디스플레이 기판의 공급 및 배출 장치를 제공하는데 있다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 베이스; 상기 베이스에 일측이 힌지 결합되고, 또 다른 일측이 자유단부로 이루어지며, 기판 이송을 위한 구동부가 구비된 제1 기판 공급부; 상기 베이스에 일측이 힌지 결합되고, 또 다른 일측이 또 다른 자유단부로 이루어지며, 상기 자유단부가 상기 제1 기판 공급부의 자유단부에 대향하는 자세로 배치되며, 기판 이송을 위한 또 다른 구동부가 구비된 제2 기판 공급부; 상기 제1 기판 공급부 또는 상기 제2 기판 공급부, 및 상기 베이스에 결합되어 상기 제1 기판 공급부 또는 상기 제2 기판 공급부가 힌지 결합점을 중심으로 회전하여 경사가 이루어지도록 구동하는 하나 이상의 구동원을 포함하는 평판 디스플레이 기판의 공급 장치를 제공한다.
또한, 본 발명은 베이스; 상기 베이스에 일측이 힌지 결합되고, 또 다른 일 측이 자유단부로 이루어지며, 기판 이송을 위한 구동부가 구비된 제1 기판 배출부; 상기 베이스에 일측이 힌지 결합되고, 또 다른 일측이 또 다른 자유단부로 이루어지며, 상기 자유단부가 상기 제1 기판 배출부의 자유단부에 대향하는 자세로 배치되며, 기판 이송을 위한 또 다른 구동부가 구비된 제2 기판 배출부; 상기 제1 기판 배출부 또는 상기 제2 기판 배출부, 및 상기 베이스에 결합되어 상기 제1 기판 배출부 또는 상기 제2 기판 배출부가 힌지 결합점을 중심으로 회전하여 경사가 이루어지도록 구동하는 하나 이상의 구동원을 포함하는 평판 디스플레이 기판의 배출 장치를 제공한다.
또한, 본 발명은 베이스; 평판 디스플레이를 처리하기 위하여 2줄 이상으로 상기 베이스에 배치되는 다수의 베스; 상기 베스에 경사진 상태로 배치되며, 기판을 이송하기 위한 구동부가 구비되어 인접하는 또 다른 베스로 기판을 이송하기 위한 다수의 이송부;를 포함하는 평판 디스플레이 처리 장치에서,
상기 베이스에 일측이 힌지 결합되고, 또 다른 일측이 자유단부로 이루어지며, 기판 이송을 위한 구동부가 구비되며, 상기 베스의 제1열로 기판을 공급하기 위한 제1 기판 공급부; 상기 베이스에 일측이 힌지 결합되고, 또 다른 일측이 또 다른 자유단부로 이루어지며, 상기 자유단부가 상기 제1 기판 공급부의 자유단부에 대향하는 자세로 배치되며, 기판 이송을 위한 또 다른 구동부가 구비되며, 상기 베스의 제2열로 기판을 공급하는 제2 기판 공급부; 상기 제1 기판 공급부 또는 상기 제2 기판 공급부, 및 상기 베이스에 결합되어 상기 제1 기판 공급부 또는 상기 제2 기판 공급부가 힌지 결합점을 중심으로 회전하여 경사가 이루어지도록 구동하는 하 나 이상의 구동원을 구비한 기판의 공급 장치; 그리고
상기 베이스에 일측이 힌지 결합되고, 또 다른 일측이 자유단부로 이루어지며, 기판 이송을 위한 구동부가 구비되며, 상기 베스에서 나오는 기판을 배출하는 제1 기판 배출부; 상기 베이스에 일측이 힌지 결합되고, 또 다른 일측이 또 다른 자유단부로 이루어지며, 상기 자유단부가 상기 제1 기판 배출부의 자유단부에 대향하는 자세로 배치되며, 기판 이송을 위한 또 다른 구동부가 구비되며, 상기 베스에서 나오는 기판을 배출하는 제2 기판 배출부; 상기 제1 기판 배출부 또는 상기 제2 기판 배출부, 및 상기 베이스에 결합되어 상기 제1 기판 배출부 또는 상기 제2 기판 배출부가 힌지 결합점을 중심으로 회전하여 경사가 이루어지도록 구동하는 하나 이상의 구동원을 구비한 기판의 배출 장치;
를 더 포함하는 평판 디스플레이 기판의 공급 및 배출 장치를 제공한다.
이와 같이 이루어지는 본 발명은 수평으로 인입되는 기판을 기판 공급 장치의 제1 기판 공급부를 통하여 공급받아 경사진 상태로 제1열의 베스에 공급하여 기판을 처리하고, 상기 베스에서 처리되어 나오는 기판을 배출함과 동시에 제1열의 베스에서 기판의 처리 작업이 이루어지는 동안 기판 공급 장치의 제2 기판 공급부를 통하여 기판을 제2열의 베스에 공급하여 기판을 처리하고, 상기 베스에서 처리되어 나오는 기판을 배출함으로서, 기판 공급 장치 및 기판 배출 장치에 의하여 병렬로 동시에 기판을 처리할 수 있으며, 경사진 상태로 기판의 처리가 이루어질 수 있어 초소형의 기판 처리 장치를 구현할 수 있다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명에 따른 실시 예를 설명하기 위한 사시도이고, 도 2는 도 1의 주요부를 확대하여 도시한 도면으로, 기판 처리 장치(1)를 도시하고 있다. 상기 기판 처리 장치(1)는 프레임 등이 결합되어 이루어질 수 있으며, 틀을 이루고 있는 베이스(3), 상기 베이스(3)에 결합되는 기판 공급 장치(5) 및 기판 배출 장치(7, 도 1에서 보이는 부분에만 번호를 부여 함), 그리고 상기 베이스(3)에 결합되며, 상기 기판 공급 장치(5) 및 기판 배출 장치(7) 사이에 배치되는 다수의 베스(9, 11, 13, 15, 17, 19)를 포함한다.
상기 기판 공급 장치(5)는, 베이스(3)에 힌지 결합(도 2 및 3에서 H1으로 표시)되어 일정한 경사로 회전될 수 있는 제1 기판 공급부(21) 및 역시 상기 베이스(3)에 힌지 결합(도 2 및 도 3에서 H2로 표시)되어 일정한 경사로 회전될 수 있는 제2 기판 공급부(23)가 포함된다.
상기 제1 기판 공급부(21)는 일정한 간격을 가지는 프레임(25, 27)들이 구비되고, 상기 프레임(25, 27)들에 소정의 간격으로 회전축(29)들이 결합된다. 상기 회전축(29)들은 기판(도시생략)의 이송방향과 대략 직각으로 배치되고, 모터(33) 등의 구동원에 의하여 회전될 수 있는 구조를 가진다. 그리고 상기 제1 기판 공급부(21)는 상기 회전축(29)들에 다수의 롤러(31) 등이 결합되어 기판을 이동시킬 수 있는 구조를 가진다. 상기 제1 기판 공급부(21)가 상기 모터(33)에 의하여 구동되는 상기 롤러(31)로 이루어지는 구동부를 가지는 것은, 통상적인 구조가 사용될 수 있다. 즉, 상기 회전축(29)들은 모터(33) 등의 구동원에 의하여 회전될 수 있는 구조를 가지는데, 이것은 체인(C) 또는 기어 등에 의하여 구동원의 구동력이 회전축(29)에 전달될 수 있는 통상의 구조를 가지는 것이다. 상기 제1 기판 공급부(21)는 일측(프레임 25 부분)이 베이스(3)에 힌지 결합되고, 일측은 자유단을 가지는 구조로 배치된다.
그리고 상기 제1 기판 공급부(21)는 에어 실린더(35) 또는 모터 등의 또 다른 구동원에 의하여 힌지 결합된 부분을 중심으로 자유단이 회전될 수 있는 구조를 가진다. 상기 에어 실린더(35) 또는 모터 등은 상기 베이스(3)에 결합될 수 있다.
상기 제2 기판 공급부(23)는 일정한 간격을 가지는 프레임(41, 43)들이 구비되고, 상기 프레임(41, 43)들에 소정의 간격으로 회전축(45)들이 결합된다. 상기 회전축(45)들은 기판(도시생략)의 이송방향과 대략 직각으로 배치되고, 또 다른 모터(47) 등의 구동원에 의하여 회전될 수 있는 구조를 가진다. 그리고 상기 제2 기판 공급부(23)는 상기 회전축(45)들에 다수의 롤러(49) 등이 결합되어 기판을 이동시킬 수 있는 구조를 가진다. 상기 제2 기판 공급부(21)가 상기 모터(47)에 의하여 구동되는 상기 롤러(49)로 이루어지는 구동부를 구비하는 것은, 통상적인 구조가 사용될 수 있다. 즉, 상기 회전축(45)들은 모터(47) 등의 구동원에 의하여 회전될 수 있는 구조를 가지는데, 이것은 체인 또는 기어 등에 의하여 구동원의 구동력이 회전축(45)에 전달될 수 있는 통상의 구조를 가지는 것이다. 상기 제2 기판 공급부(23)는 상기 제1 기판 공급부(21)의 자유단에 대향하는 자세로 일측(프레임 41부분)이 베이스(3)에 힌지 결합되고, 일측은 자유단을 가지는 구조로 배치된다.
그리고 상기 제2 기판 공급부(23)는 에어 실린더(51) 또는 모터 등의 또 다른 구동원에 의하여 힌지 결합된 부분을 중심으로 자유단이 회전할 수 있는 구조를 가진다. 상기 에어 실린더(51) 또는 모터 등은 상기 베이스(3)에 결합될 수 있다.
즉, 상기 제1, 2 기판 공급부(21, 23)는 상기 베이스(3)에 대략 60°정도의 각도로 회전될 수 있도록 대향되는 자세로 배치되며, 에어 실린더(35, 51)가 상기 제1, 2 기판 공급부(21, 23)의 자세를 변환시킬 수 있는 것이다. 이러한 구조는 제1, 2 기판 공급부(23)의 힌지 결합 부분 사이의 거리(도 2에서 H1과 H2 사이의 거리)를 최대로 짧게 구성하여 기판 처리 장치(1)의 전체 크기를 줄일 수 있도록 하는 것이다.
상기 기판을 처리하기 위한 베스(9, 11, 13, 15, 17, 19)는 제1열의 베스(9, 11, 13) 그리고 제2열의 베스(15, 17, 19)로 이루어질 수 있는 2열의 형태로 이루어지는 것이 바람직하며, 필요에 따라 2열 이상으로 제작될 수 있다. 상기 베스(9, 11, 13, 15, 17, 19)의 내부에는 기판 처리를 위한 액 분사 노즐(N) 등이 배치될 수 있으며, 기판이 경사진 상태로 처리되도록 경사진 형태의 이송부(61, 63, 65, 도 1에서 보이는 부분만 번호를 부여 함)들을 가질 수 있다. 상기 이송부(61, 63, 65)들은 경사진 상태로 기판을 처리하면서 기판을 이송시키는 통상의 구조를 가질 수 있으므로 상세한 설명은 생략한다.
상기 베스(9, 11, 13, 15, 17, 19)에서 처리된 기판이 나오는 것을 배출하는 기판 배출 장치(7)는 제1, 2 기판 배출부(71, 73)로 이루어지며, 상기 베스(9, 11, 13, 15, 17, 19)의 기판 배출 쪽에 배치되는 점만이 차이가 있을 뿐 상술한 제1, 2 기판 공급부(21, 23)와 동일한 구조를 가진다. 따라서 상기 제1, 2 기판 배출부(71, 73)는 상술한 제1, 2 기판 공급부(21, 23)의 구성 설명으로 대치한다.
이와 같이 이루어지는 평판 디스플레이 기판의 공급 및 배출 장치의 작동에 관하여 도 1, 2 및 도 3을 통하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
에어 실린더(35)의 작동에 의하여 제1 기판 공급부(21)가 수평상태로 유지되도록 하고, 또 다른 에어 실린더(51)의 작동에 의하여 제2 기판 공급부(23)가 대략 60°정도의 각도를 유지한 상태로 배치되도록 한다(도 3의 상태). 상기 에어 실린더(35)는 별도의 제어유닛(도시생략)에 의하여 제어될 수 있다. 이때 로봇(도시생략) 등에 의하여 기판(G1)이 상기 제1 기판 공급부(21)에 안착되고, 제어유닛은 에어 실린더(35)를 제어하여 상기 제1 기판 공급부(21)가 대략 60°정도 경사지도록 힌지점(H1)을 중심으로 회전시킨다. 그리고 모터(33, 도 1에 도시)가 제어유닛(도시생략)에 의하여 구동되어 회전축(29)을 회전시키면 롤러(31)들이 회전하면서 기판(G1)이 제1열의 베스(9, 11, 13) 내로 인입되어 순차적으로 기판(G1)의 처리가 이루어진다.
그리고 계속해서 에어 실린더(51)가 제어되어 상기 제2 기판 공급부(23)가 수평 상태를 유지하도록 제어되어 로봇 등에 의하여 또 다른 기판(G2)이 상기 제2 기판 공급부(23)에 안착되고, 에어 실린더(51)의 작동에 의하여 상기 제2 기판 공급부(23)는 대략 60°정도의 경사각을 가지면서 힌지점(H2)을 중심으로 이동된다. 그리고 제어유닛은 모터(47)를 구동시켜 제2 기판 공급부(23)의 회전축(45) 및 롤러(49)들이 회전되도록 제어한다. 그러면 상기 기판(G2)은 제2열의 베스(15, 17, 19) 내로 인입되면서 기판(G2)의 처리가 이루어진다. 이렇게 처리된 기판(G1, G2)들은 각각 제1, 2 기판 배출부(71, 73)에 의하여 배출이 이루어진다. 상기 제1, 2 기판 배출부(71, 73)의 작동은 상기 제1, 2 기판 공급부(21, 23)와 동일한 작동 원리에 의하여 이루어지므로 상세한 설명은 상술한 제1, 2 기판 공급부(21, 23)의 작동 설명으로 대치한다.
따라서 병렬로 두개의 기판(G1, G2)이 동시에 처리가 이루어지므로 기판 처리장치를 소형화시키면서도 기판의 처리 효율을 증대시킬 수 있다.
이와 같이 본 발명은 이중으로 기판을 동시에 처리할 수 있는 기판 공급장치 및 기판 배출 장치를 구비하여 기판 처리 장치의 크기를 현저하게 줄이면서도 기판이 병렬로 동시에 처리되어 기판 처리 효율이 증대되는 효과를 가진다.

Claims (7)

  1. 베이스;
    상기 베이스에 일측이 힌지 결합되고, 또 다른 일측이 자유단부로 이루어지며, 기판 이송을 위하여 구동원에 의하여 회전하는 롤러들이 제공된 제1 기판 공급부;
    상기 베이스에 일측이 힌지 결합되고, 또 다른 일측이 자유단부로 이루어지며, 기판 이송을 위하여 또 다른 구동원에 의하여 회전하는 다른 롤러들이 제공된 제2 기판 공급부; 및
    상기 제1 기판 공급부 또는 상기 제2 기판 공급부, 및 상기 베이스에 결합되어 상기 제1 기판 공급부 또는 상기 제2 기판 공급부가 힌지 결합점을 중심으로 회전하여 서로 반복적으로 수평상태와 경사상태가 이루어지도록 구동하는 하나 이상의 구동원;
    을 포함하는 평판 디스플레이 기판의 공급 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 베이스;
    상기 베이스에 일측이 힌지 결합되고, 또 다른 일측이 자유단부로 이루어지며, 기판 이송을 위하여 구동원에 의하여 회전하는 롤러들이 제공된 제1 기판 배출부;
    상기 베이스에 일측이 힌지 결합되고, 또 다른 일측이 자유단부로 이루어지며, 기판 이송을 위하여 또 다른 구동원에 의하여 회전하는 다른 롤러들이 제공된 제2 기판 배출부; 및
    상기 제1 기판 배출부 또는 상기 제2 기판 배출부, 및 상기 베이스에 결합되어 상기 제1 기판 배출부 또는 상기 제2 기판 배출부가 힌지 결합점을 중심으로 회전하여 서로 반복적으로 수평상태와 경사상태가 이루어지도록 구동하는 하나 이상의 구동원;
    을 포함하는 평판 디스플레이 기판의 배출 장치.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 베이스; 평판 디스플레이를 처리하기 위하여 2줄 이상으로 상기 베이스에 배치되는 다수의 베스; 상기 베스에 경사진 상태로 배치되며, 기판을 이송하기 위하여 구동원에 의하여 회전하는 롤러들이 구비되어 인접하는 또 다른 베스로 기판을 이송시키는 평판 디스플레이 처리 장치에서,
    상기 베이스에 일측이 힌지 결합되고, 또 다른 일측이 자유단부로 이루어지며, 기판 이송을 위하여 구동원에 의하여 회전하는 롤러들을 구비하고, 상기 베스의 제1열로 기판을 공급하기 위한 제1 기판 공급부,
    상기 베이스에 일측이 힌지 결합되고, 또 다른 일측이 또 다른 자유단부로 이루어지며, 기판 이송을 위하여 구동원에 의하여 회전하는 롤러들이 구비되며, 상기 베스의 제2열로 기판을 공급하는 제2 기판 공급부,
    상기 제1 기판 공급부 또는 상기 제2 기판 공급부, 및 상기 베이스에 결합되어 상기 제1 기판 공급부 또는 상기 제2 기판 공급부가 힌지 결합점을 중심으로 회전하여 서로 반복적으로 수평상태와 경사상태가 이루어지도록 구동하는 하나 이상의 구동원,
    을 구비한 기판의 공급 장치; 그리고
    상기 베이스에 일측이 힌지 결합되고, 또 다른 일측이 자유단부로 이루어지며, 기판 이송을 위하여 구동원에 의하여 회전하는 롤러들을 구비하고, 상기 베스에서 나오는 기판을 배출하는 제1 기판 배출부,
    상기 베이스에 일측이 힌지 결합되고, 또 다른 일측이 자유단부로 이루어지며, 기판 이송을 위하여 구동원에 의하여 회전하는 롤러들이 제공되며, 상기 베스에서 나오는 기판을 배출하는 제2 기판 배출부,
    상기 제1 기판 배출부 또는 상기 제2 기판 배출부, 및 상기 베이스에 결합되어 상기 제1 기판 배출부 또는 상기 제2 기판 배출부가 힌지 결합점을 중심으로 서로 반복적으로 회전하여 수평상태와 경사상태가 이루어지도록 구동하는 하나 이상의 구동원,
    을 구비한 기판의 배출 장치;
    를 포함하는 평판 디스플레이 기판의 공급 및 배출 장치.
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