JP2007278715A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. ガラス基板を所定の高さに浮上させる浮上ステージと、
   前記浮上ステージ上に浮上された前記ガラス基板の側縁部を保持して搬送する搬送部と、
   前記搬送部の搬送方向と直交する方向に配置される門型フレームと、
   前記門型フレームの水平アーム部に沿って移動可能に設けられる検査ヘッドと、
   前記浮上ステージに分離可能に設けられ、前記搬送部により搬送された前記ガラス基板の裏面を吸着保持してマクロ観察し易い傾斜角度に回動するマクロ検査用ステージと、
   前記マクロ検査用ステージに保持された前記ガラス基板を照明するマクロ照明部とを備えたことを特徴とする基板検査装置。
   
2. 前記浮上ステージは、長方形状に形成された浮上ブロックを所定の間隔で複数列に配置され、前記マクロ検査用ステージは、前記複数列に配列された複数の浮上ブロックの各隙間に配置される櫛歯状に形成された基板支持部を有し、マクロ検査時に前記マクロ検査ステージが前記浮上ステージから分離し前記ガラス基板を吸着保持した状態で所定の傾斜角度に回動されることを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。
   
3. 前記浮上ステージは、前記ガラス基板の搬送方向に複数列に溝部が形成され、前記マクロ検査用ステージは、前記複数列に形成された溝部に収納される櫛歯状に形成された基板支持部を有し、マクロ検査時に前記マクロ検査ステージが前記浮上ステージから分離し前記ガラス基板を吸着保持した状態で所定の傾斜角度に回動されることを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。
   
4. 前記マクロ検査用ステージは、櫛歯状に形成された複数の基板支持部からなり、これらの基板支持部の上面に前記ガラス基板を浮上させる浮上手段を設け、このマクロ検査用ステージを前記浮上ステージに併設して浮上ステージとして兼用することを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。
   
5. 前記マクロ用検査ステージは、水平な姿勢に待機した状態おいて前記各基板支持部の上面が前記浮上ブロックの上面と同一になるようにロックされることを特徴とする請求項４記載の基板検査装置。
   
6. 前記マクロ用検査ステージは、前記基板支持部の上面に前記ガラス基板を保持して移動させるスライドアームを有することを特徴とする請求項２乃至５のいずれかに記載の基板検査装置。
   
7. 前記マクロ用検査ステージは、ベース部に所定の角度傾けて固定された一対のガイドフレームと、これらのガイドフレームに移動可能に設けられたスライド機構とを備え、このスライド機構に前記マクロ用検査ステージが回転自在に設けられることを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。
   
8. 前記マクロ用検査ステージは、ベース部に所定の角度傾けて固定された一対のガイドフレームを備え、このガイドフレームに前記ガラス基板の裏面側から照明するバックライト光源を移動可能に設けられることを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。
   
9. 前記搬送部は、上面に前記ガラス基板を吸着保持する複数の吸着保持部と、前記吸着保持部の吸着面が前記浮上ステージ上に浮上する前記ガラス基板の浮上基準高さより僅かに高い位置と前記ガラス基板と接触しない退避位置に移動させる昇降手段とを備え、前記浮上ステージ上に浮上した前記ガラス基板を基準ピンに押し付けピンにより位置決めする際に、前記昇降手段により前記搬送部を上昇させて前記吸着保持部を前記ガラス基板の裏面に接触させた状態で位置決めすることを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。