JP2007107945A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 搬送路に沿ってフラットパネルディスプレイ用基板を搬送するステージと、
   前記基板の搬送方向と直行する方向に前記搬送路を跨ぐように配置されたマクロ検査用門型フレームと、
   このマクロ検査用門型フレームに設けられたライン照明光源と、
   前記マクロ検査用門型フレームに設けられ、前記ライン照明光源により照明された前記基板からの反射光を撮像するラインセンサカメラと、
   前記マクロ検査用門型フレームの下流側に前記浮上ステージの長手方向と直行する方向に前記搬送路を跨ぐように配置されたミクロ検査用門型フレームと、
   このミクロ検査用門型フレームに前記基板の搬送方向と直行する方向に移動可能に設けられた顕微鏡と、
   前記ラインセンサカメラからの画像データを重ねて前記基板全面のマクロ画像を形成し、このマクロ画像から欠陥を検出し、前記基板の基準位置に対する前記欠陥の座標を登録するマクロ用制御部と、
   前記マクロ用制御部から受け渡された前記欠陥の座標に基づいて前記基板を前記欠陥が前記顕微鏡の走査ラインに一致する位置に停止させるとともに、前記顕微鏡の対物レンズが前記欠陥に合うように前記顕微鏡を移動させるミクロ用制御部と、
   を備えたことを特徴とする基板検査装置。
2. 前記マクロ用制御部は、前記マクロ画像を画像処理して欠陥と判定された全ての欠陥の座標を登録することを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
3. 前記マクロ用制御部は、前記マクロ画像と、前記欠陥と判定された全ての欠陥を示すマークとをモニタに表示し、前記モニタの画面上で前記マークをクリックして欠陥座標を取得することを特徴とする請求項２記載の基板検査装置。
4. 前記ライン照明源は、前記マクロ検査用門型フレームに回動可能に設けられ、前記マクロ用制御部は、前記ライン照明光源を前記ラインセンサカメラで干渉像または回折像が撮像される前記基板に対する入射角度に変更することを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の基板検査装置。
5. 前記マクロ用制御部は、前記ライン照明光源の入射角度の変更に応じて前記基板を往復移動させ、前記ラインセンサカメラより前記基板の干渉像と回折像を取り込んでマクロ画像を作成することを特徴とする請求項４に記載の基板検査装置。
6. 前記ステージは、前記基板を浮上させる浮上ステージからなり、前記基板を浮上させた状態で位置決めした後、この位置決めされた基板を基板吸着テーブルで吸着保持し、この位置決めされた基板を浮上させたまま基板吸着テーブルによりマクロ検査領域とミクロ検査領域に搬送することを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
7. 前記浮上ステージは、前記ガラス基板の搬送方向に沿って細長い矩形に形成した搬送用浮上ブロックを前記搬送方向と直交する方向に間隔をおいて複数配置して構成され、この浮上ステージの中間に前記基板を前記搬送用浮上ブロックよりも高精度で浮上制御する検査用浮上ブロックを配置したことを特徴とする請求項６記載の基板検査装置。
8. 前記検査用浮上ブロックは、エアー吹き出し孔とエアー排出孔を有し、前記基板を正圧と負圧とにより浮上高さを高精度に制御することを特徴とする請求項７記載の基板検査装置。
9. 前記ラインセンサカメラ及び前記マクロ検査用門型フレームを備えたマクロ検査部と、前記顕微鏡及び前記ミクロ検査用門型フレームを備えたミクロ検査部とを前記ラインセンサカメラと前記基板とが干渉しないように近接させることを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。