KR102422164B1 - 반송체, 반송 장치 및 스크라이브 시스템 - Google Patents

반송체, 반송 장치 및 스크라이브 시스템 Download PDF

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요시타카 니시오
키요시 타카마츠
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미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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Abstract

[과제] 간소한 구성에 의해 원활하게 테이블의 상부면을 청소하는 것이 가능한 반송체, 해당 반송체를 포함한 반송 장치 및 해당 반송 장치를 포함한 스크라이브 시스템을 제공한다.
[해결 수단] 반송체(300)는, 기판(10)을 보유해서 제1 테이블(110)로부터 제2 테이블(410)로 반송한다. 반송체(300)는, 기판(10)의 반송 방향 후방에 배치되고, 기판(10)을 제1 테이블(110)로부터 제2 테이블(410)에 반송하는 공정에 있어서 제1 테이블(110)의 상부면에 접촉하고, 제1 테이블(110)의 상부면을 청소하는 제1 청소 유닛(240)을 포함한다. 제1 청소 유닛(240)은 청소구로서 브러시(241)를 포함하고, 브러시(241)가 제1 테이블(110)의 상부면에 접촉하면서 이동하여, 제1 테이블(110)의 상부면을 청소한다.

Description

반송체, 반송 장치 및 스크라이브 시스템{CONVEYER, CONVEYING APPARATUS, AND SCRIBING SYSTEM}
본 발명은 기판을 흡착해서 반송하기 위한 반송체, 해당 반송체를 포함한 반송 장치 및 해당 반송 장치를 포함한 스크라이브 시스템에 관한 것이다.
유리 기판 등의 취성 재료 기판의 분단은, 기판 상부면에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 공정과, 형성된 스크라이브 라인을 따라서 기판 표면에 소정의 힘을 부가하는 브레이크 공정에 의해서 행하여진다. 스크라이브 라인의 형성에는, 스크라이브 헤드를 포함한 스크라이브 장치가 이용된다.
스크라이브 장치는, 예를 들면 기판이 재치되는 테이블을 포함하고, 이 테이블에 재치된 기판에 대하여, 스크라이브 헤드가 수평 방향 및 상하 방향으로 이동한다. 스크라이브 헤드의 하단에는 휠 홀더가 부착되어 있고, 이 휠 홀더에 커터 휠이 회전 가능하게 보유된다(예를 들면, 특허문헌 1).
JP2004-26539A
스크라이브 장치에서는, 스크라이브 라인을 형성할 때에 기판으로부터 미소한 컬릿(cullet)(절단 부스러기)이 발생한다. 이 컬릿이 테이블 위 또는 기판 위에 부착되고, 테이블과 기판 사이에 컬릿이 끼워진 상태로 테이블이 기판의 흡착을 행하면, 기판 표면에 상처나 국소적인 색 불균일이 발생해버린다. 또한, 테이블 상에 컬릿이 존재하는 상태로 기판이 테이블에 재치되면, 기판의 상부면의 높이가 미리 상정한 높이보다도 높아져, 기판 분단 불량의 원인이 된다는 문제도 있다.
이러한 과제를 감안하여 본 발명은, 간소한 구성에 의해 원활하게 테이블의 상부면을 청소하는 것이 가능한 반송체, 해당 반송체를 포함한 반송 장치 및 해당 반송 장치를 포함한 스크라이브 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 제1 양상은, 기판을 보유해서 제1 테이블로부터 제2 테이블로 반송하는 반송체에 관한 것이다. 본 양상에 따른 반송체는, 상기 기판의 반송 방향 후방에 배치되고, 상기 기판을 제1 테이블로부터 상기 제2 테이블로 반송하는 공정에 있어서 상기 제1 테이블의 상부면에 접촉하고, 상기 제1 테이블의 상부면을 청소하는 제1 청소 유닛을 포함한다.
본 양상에 따른 반송체에 의하면, 기판을 보유해서 제1 테이블로부터 제2 테이블로 반송하는 공정에 있어서, 제1 청소 유닛이 제1 테이블의 상부면에 접촉한다.
따라서, 제1 청소 유닛은 기판의 반송에 수반하여, 제1 테이블의 상부면에 접촉하면서 이동하고, 제1 테이블의 상부면을 청소한다. 이에 의해, 예를 들면 제1 테이블의 상부면에 컬릿 등이 산재하고 있었다고 해도, 제1 청소 유닛에 의해서 제1 테이블로부터 컬릿 등이 제거된다. 따라서, 본 양상에 따른 반송체에 의하면, 반송체에 제1 청소 유닛을 배치하는 것과 같은 간소한 구성에 의해 원활하게 제1 테이블의 상부면을 청소할 수 있다.
본 양상에 따른 반송체에 있어서, 상기 제1 청소 유닛은, 제1 청소구와 상기 제1 청소구를 상기 제1 테이블의 상부면에 대하여 접촉 및 이간시키는 제1구동부를 포함하는 구성이 될 수 있다. 이와 같이 하면, 제1 테이블의 상부면을 청소하는 기간 이외에 있어서, 제1 청소구를 위쪽으로 퇴피시킬 수 있다. 따라서, 제1 청소구가 반송체의 반송에 지장이 되는 것을 억제할 수 있다.
본 양상에 따른 반송체는 상기 기판의 반송 방향 전방에 배치되고, 상기 기판을 제1 테이블로부터 상기 제2 테이블로 반송하는 공정에 있어서 상기 제2 테이블의 상부면에 접촉하고, 상기 제2 테이블의 상부면을 청소하는 제2 청소 유닛을 포함하는 구성이 될 수 있다. 이 구성에 따르면, 기판을 보유해서 제1 테이블로부터 제2 테이블로 반송하는 공정에 있어서, 제2 청소 유닛이 제2 테이블의 상부면에 접촉한다.
따라서, 제2 청소 유닛은 기판의 반송에 따라서, 제2 테이블의 상부면에 접촉하면서 이동하고, 제2 테이블의 상부면을 청소한다. 이에 의해, 예를 들면, 제2 테이블의 상부면에 컬릿 등이 산재하고 있었다고 해도, 제2 청소 유닛에 의해서 제2 테이블로부터 컬릿 등이 제거된다. 따라서, 간소한 구성에 의해 원활하게 제2 테이블의 상부면을 청소할 수 있다.
이 경우, 상기 제2 청소 유닛은, 제2 청소구와 상기 제2 청소구를 상기 제2 테이블의 상부면에 대하여 접촉 및 이간시키는 제2구동부를 포함하는 구성이 될 수 있다. 이와 같이 하면, 제2 테이블의 상부면을 청소하는 기간 이외에 있어서, 제2 청소구를 위쪽으로 퇴피시킬 수 있다. 따라서, 제2 청소구가 반송체의 반송에 지장이 되는 것을 억제할 수 있다.
본 발명의 제2 양상은, 기판을 제1 테이블로부터 제2 테이블로 반송하는 반송 장치에 관한 것이다. 본 양상에 따른 반송 장치는, 제1 양상에 따른 반송체와, 상기 반송체를 상기 제1 테이블과 상기 제2 테이블 사이에서 이동시키는 반송부를 포함한다.
본 양상에 따른 반송 장치에 따르면, 상기 제1 양상과 마찬가지의 효과가 나타날 수 있다.
본 양상에 따른 반송 장치는, 상기 제1 테이블과 상기 제2 테이블 사이의 반송 경로에 배치되고, 상기 기판을 제1 테이블로부터 상기 제2 테이블로 반송하는 공정에 있어서 상기 기판의 하부면에 접촉하고, 상기 기판의 하부면을 청소하는 제3 청소 유닛을 포함할 수 있다. 이 구성에 따르면, 기판을 제1 테이블로부터 제2 테이블로 반송하는 공정에 있어서, 제3 청소 유닛이 기판의 하부면에 접촉한다. 따라서, 제3 청소 유닛은, 기판의 반송에 따라서 기판의 하부면에 접촉하면서 상대적으로 이동하고, 기판의 하부면을 청소한다. 이에 의해, 예를 들면 기판의 하부면에 컬릿 등이 부착되어 있었다고 해도, 제3 청소 유닛에 의해서 기판의 하부면으로부터 컬릿 등이 제거된다. 따라서, 간소한 구성에 의해 원활하게 기판의 하부면을 청소할 수 있다.
이 경우, 상기 제3 청소 유닛은, 제3 청소구와 상기 제3 청소구를 상기 기판의 하부면에 대하여 접촉 및 이간시키는 제3 구동부를 포함하는 구성이 될 수 있다. 이와 같이 하면, 기판의 하부면을 청소하는 기간 이외에 있어서, 제3 청소구를 아래쪽으로 퇴피시킬 수 있다. 따라서, 제3 청소구가 반송체의 반송에 지장이 되는 것을 억제할 수 있다.
본 발명의 제3 양상은 스크라이브 시스템에 관한 것이다. 본 양상에 따른 스크라이브 시스템은, 상기 제2 양상에 따른 반송 장치와, 상기 제1 테이블에 재치된 상기 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 장치를 포함한다.
본 양상에 따른 반송 장치에 의하면, 상기 제1 양상과 마찬가지의 효과가 나타날 수 있다.
본 발명의 제4 양상은, 기판을 보유해서 제1 테이블로부터 제2 테이블로 반송하는 반송체에 관한 것이다. 본 양상에 따른 반송체는, 상기 기판의 반송 방향 후방에 배치되고, 상기 기판을 제1 테이블로부터 상기 제2 테이블로 반송하는 공정에 있어서 상기 제2 테이블의 상부면에 접촉하고, 상기 제2 테이블의 상부면을 청소하는 청소 유닛을 포함한다.
본 양상에 따른 반송체에 의하면, 기판을 보유해서 제1 테이블로부터 제2 테이블로 반송하는 공정에 있어서, 청소 유닛이 제2 테이블의 상부면에 접촉한다. 따라서, 청소 유닛은 기판의 반송에 따라서, 제2 테이블의 상부면에 접촉하면서 이동하고, 제2 테이블의 상부면을 청소한다. 이에 의해, 예를 들면 제2 테이블의 상부면에 컬릿 등이 산재하고 있었다고 해도, 청소 유닛에 의해서 제2 테이블로부터 컬릿 등이 제거된다. 따라서, 간소한 구성에 의해 원활하게 제2 테이블의 상부면을 청소할 수 있다.
이상과 같이, 본 발명에 따르면, 간소한 구성에 의해 원활하게 테이블의 상부면을 청소하는 것이 가능한 반송체, 해당 반송체를 포함한 반송 장치 및 해당 반송 장치를 포함한 스크라이브 시스템을 제공할 수 있다.
본 발명의 효과 또는 의의는 이하에 나타낸 실시형태의 설명에 의해 더욱 명확해질 것이다. 단, 이하에 나타낸 실시형태는 어디까지나 본 발명을 실시화할 경우의 하나의 예시이며, 본 발명은 이하의 실시형태에 기재된 것에 하등 제한되는 것이 아니다.
도 1은 실시형태에 따른 스크라이브 시스템 및 브레이크 시스템의 구성을 나타낸 사시도;
도 2(a) 내지 도 2(d)는 각각 실시형태에 따른 반송체에 설치된 청소 유닛의 구성 및 동작을 모식적으로 나타낸 측면도;
도 2(e) 및 도 2(f)는 각각 실시형태에 따른 반송체와는 별개로 배치된 청소 유닛의 구성 및 동작을 모식적으로 나타낸 측면도;
도 3(a)는 실시형태에 따른 반송 장치의 구성을 나타낸 블록도;
도 3(b)는 실시형태에 따른 반송 장치의 반송 제어를 나타낸 순서도;
도 4(a) 및 도 4(b)는 각각 실시형태에 따른 반송 장치의 동작을 모식적으로 나타낸 측면도;
도 5(a) 및 도 5(b)는 각각 실시형태에 따른 반송 장치의 동작을 모식적으로 나타낸 측면도;
도 6(a) 및 도 6(b)는 각각 실시형태에 따른 반송 장치의 동작을 모식적으로 나타낸 측면도;
도 7(a) 및 도 7(b)는 각각 실시형태에 따른 반송 장치의 동작을 모식적으로 나타낸 측면도;
도 8(a) 및 도 8(b)는 각각 실시형태에 따른 반송 장치의 동작을 모식적으로 나타낸 측면도;
도 9(a) 및 도 9(b)는 각각 실시형태에 따른 반송 장치의 동작을 모식적으로 나타낸 측면도.
이하, 본 발명의 실시형태에 대해서 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 각 도면에는, 편의상 서로 직교하는 XYZ축이 부기되어 있다. X-Y평면은 수평면에 평행하고, Z축 정방향은 연직 아래 방향이다.
도 1은 스크라이브 시스템(1) 및 브레이크 시스템(2)의 구성을 나타낸 사시도이다.
스크라이브 시스템(1)은 스크라이브 장치(100)와 반송 장치(200)를 포함하고 있다. 브레이크 시스템(2)은 회전 장치(400)와 브레이크 장치(500)를 포함하고 있다. 스크라이브 장치(100)는 기판(10)의 상부면에 스크라이브 라인을 형성한다. 반송 장치(200)는 스크라이브 라인이 형성된 기판(10)을, 스크라이브 장치(100)로부터 회전 장치(400)에 반송한다. 회전 장치(400)는 반송된 기판(10)을 상하 방향으로 회전시켜서 브레이크 장치(500)에 넘긴다. 브레이크 장치(500)는 넘겨진 기판(10)을 스크라이브 라인을 따라서 분단한다. 기판(10)은 액정 패널 등의 취약성 기판이다.
스크라이브 장치(100)는 테이블(110)과, 회전 기구(120)와, 이동 기구(130)와, 스크라이브 헤드(140)를 포함하고 있다.
테이블(110)은 평면에서 보아서 대략 정방형의 형상을 지니고, 상부면에 기판(10)을 흡착하기 위한 다수의 구멍을 포함하고 있다. 도시하지 않는 공압원에 의해서 테이블(110)의 구멍에 압력이 부여된다. 구멍에 부압이 부여되는 것에 의해, 기판(10)이 테이블(110)에 흡착된다. 테이블(110)은 기판(10)의 반송원인 제1 테이블을 구성한다.
테이블(110)은, 회전 기구(120)에 의해 Z축에 평행한 회전축의 주위에 회전 가능하게 지지되어 있다. 회전 기구(120)는 테이블(110)을 회전 가능하게 지지하기 위한 지지 기구와, 테이블(110)을 회전시키기 위한 모터를 포함한다. 회전 기구(120)는 지지대(121)에 설치되고, 지지대(121)와 함께 이동 기구(130)에 의해서 Y축 방향으로 보내진다.
이동 기구(130)는 지지대(121)를 Y축 방향으로 평행하게 안내하기 위한 한 쌍의 가이드(131)와, 지지대(121)를 Y축 방향으로 평행하게 구동하기 위한 볼 나사(132)와, 볼 나사(132)를 구동하는 모터(도시 생략)를 포함하고 있다.
스크라이브 헤드(140)는 아치 형상의 지지 기구(141)에 의해서 X축 방향으로 평행하게 이동 가능하게 지지되어 있다. 스크라이브 헤드(140)는 모터에 의해서 X축 방향으로 이송된다. 스크라이브 헤드(140)의 하단에는 휠 홀더가 장착되어 있고, 이 휠 홀더에 커터 휠이 회전 가능하게 보유되어 있다. 스크라이브 헤드(140)는 내부에 휠 홀더를 상하 방향으로 승강시키는 승강 기구를 포함하고 있다.
스크라이브 동작시에는, 테이블(110)에 흡착된 기판(10)이 이동 기구(130)에 의해서 스크라이브 헤드(140)의 아래쪽에 위치 부여된다. 다음에, 스크라이브 헤드(140)가 휠 홀더를 하강시키고, 커터 휠을 일정 하중으로 기판(10)의 상부면을 꽉 누른다. 이 상태로, 스크라이브 헤드(140)가 X축 방향으로 이송된다. 이에 의해, 기판(10)의 상부면에 X축에 평행한 스크라이브 라인이 형성된다. 기판(10)의 상부면에는, X축에 평행한 복수의 스크라이브 라인이, Y축 방향으로 소정의 간격으로 형성된다. 이들 스크라이브 라인에 수직인 스크라이브 라인을 더욱 형성할 경우, 회전 기구(120)에 의해서, 테이블(110)이 90° 회전된다. 그리고 마찬가지의 공정에 의해, 기판(10)의 상부면에 스크라이브 라인이 형성된다.
반송 장치(200)는 반송 레일(210)과, 승강 기구(220)와, 흡착 유닛(230)과, 2개의 청소 유닛(240)과, 청소 유닛(250)을 포함하고 있다.
반송 레일(210)은 X축 방향으로 연장되는 판 형상의 부재로 이루어져 있고, 승강 기구(220)를 X축에 평행한 방향으로 안내한다. 승강 기구(220)는 지지대(221)와, 지주(222)와, 이동체(223)를 포함하고 있다. 지지대(221)는 반송 레일(210)의 Y축 방향의 양단에 걸어맞춤되는 한 쌍의 홈(221a)을 포함하고 있다. 한 쌍의 홈(221a)이 반송 레일(210)에 걸어맞춤되는 것에 의해, 지지대(221)가 X축 방향으로 안내된다. 지지대(221)는 벨트 컨베이어(211)에 의해서 X축 방향으로 구동된다.
지주(222)는 지지대(221)에 설치되어 있다. 이동체(223)는 상하 방향으로 이동 가능하게 지주(222)에 지지되어 있다. 이동체(223)의 내부에, 이동체(223)를 지주(222)를 따라서 이동시키기 위한 구동부(도시 생략)가 설치되어 있다. 구동부는 예를 들면 이동체(223)를 상하로 안내하는 슬라이더와, 이동체(223)를 상하로 구동하기 위한 리니어 모터를 포함한다. 이동체(223)의 Y축 정측의 단부에 흡착 유닛(230)이 설치되어 있다.
흡착 유닛(230)은, 평면에서 보아서 직사각형의 판 형상의 형상을 지닌다. 흡착 유닛(230)은, 하부면에 기판(10)을 흡착하기 위한 다수의 구멍을 포함하고 있다. 도시하지 않은 공압원에 의해서 흡착 유닛(230)의 구멍에 압력이 부여된다. 구멍에 부압이 부여되는 것에 의해, 기판(10)이 흡착 유닛(230)에 흡착된다.
흡착 유닛(230)의 X축 정측의 단부 및 X축 부측의 단부에, 각각 청소 유닛(240)이 설치되어 있다. X축 정측의 청소 유닛(240)은, 스크라이브 장치(100)의 테이블(110)의 상부면을 청소하기 위한 제1 청소 유닛을 구성한다. 또한, X축 부측의 청소 유닛(240)은, 회전 장치(400)의 테이블(410)의 상부면을 청소하기 위한 제2 청소 유닛을 구성한다. 이들 2개의 청소 유닛(240)은 각각 브러시(241)에 의해서 테이블(110, 410)의 상부면을 청소한다. 2개의 청소 유닛(240)은 서로 마찬가지의 구성을 지닌다. 청소 유닛(240)의 구성은 추후에 도 2(a) 내지 도 2(d)를 참조해서 설명한다.
또한, 흡착 유닛(230)과 2개의 청소 유닛(240)에 의해서 반송체(300)가 구성된다.
청소 유닛(250)은 스크라이브 장치(100)의 테이블(110)과 회전 장치(400)의 테이블(410) 사이의, 기판(10)의 반송 경로에 배치되어 있다. 청소 유닛(250)은 기판(10)의 하부면을 청소하기 위한 제3 청소 유닛을 구성한다. 청소 유닛(250)은 브러시(251)에 의해서 기판(10)의 하부면을 청소한다. 청소 유닛(250)의 구성은 추후에 도 2(e), 2(f)를 참조해서 설명한다.
회전 장치(400)는 테이블(410)과, 지지축(420)과, 모터(430)를 포함한다.
테이블(410)은 평면에서 보아서 직사각형의 판 형상의 형상을 지닌다. 테이블(410)은 상부면에 기판(10)을 흡착하기 위한 다수의 구멍을 포함하고 있다. 도시하지 않은 공압원에 의해서 테이블(410)의 구멍에 압력이 부여된다. 구멍에 부압이 부여되는 것에 의해, 기판(10)이 테이블(410)에 흡착된다. 테이블(410)은 기판(10)의 반송처인 제2 테이블을 구성한다.
테이블(410)의 하부면은 수용대(411)에 재치되어 있다. 또한, 테이블(410)은 X축 정측의 단부에 있어서, 모터(430)의 회전축에 연결된 지지축(420)에 지지되어 있다. 모터(430)에 의해서 지지축(420)이 회전되는 것에 의해, 테이블(410)이 지지축(420)을 축으로 하여 선회한다. 기판(10)을 흡착한 상태로 지지축(420)이 회전되는 것에 의해, 기판(10)이, 상하로 반전된 상태로 브레이크 장치(500)의 테이블(510)에 재치된다. 이 상태로 테이블(410)은 기판(10)의 흡착을 해제하고, 브레이크 장치(500) 측의 테이블(510)이 기판(10)의 흡착을 시작한다. 이렇게 하여, 기판(10)이 브레이크 장치(500)의 테이블(510)에 넘겨진다.
브레이크 장치(500)는, 테이블(510)과, 회전 기구(520)와, 이동 기구(530)와, 브레이크 바(540)를 포함하고 있다.
테이블(510)은 평면에서 보아서 대략 정방형의 형상을 지니고, 상부면에 기판(10)을 흡착하기 위한 다수의 구멍을 포함하고 있다. 도시하지 않은 공압원에 의해서 테이블(510)의 구멍에 압력이 부여된다. 구멍에 부압이 부여되는 것에 의해, 기판(10)이 테이블(510)에 흡착된다.
테이블(510)은, 회전 기구(520)에 의해서 Z축에 평행한 회전축의 주위에 회전 가능하게 지지되어 있다. 회전 기구(520)는 테이블(510)을 회전 가능하게 지지하기 위한 지지 기구와, 테이블(510)을 회전시키기 위한 모터를 포함한다. 회전 기구(520)는 지지대(521)에 설치되고, 지지대(521)와 함께 이동 기구(530)에 의해서 Y축 방향으로 보내진다.
이동 기구(530)는 지지대(521)를 Y축 방향으로 평행하게 안내하기 위한 한 쌍의 가이드(531)와, 지지대(521)를 Y축 방향으로 평행하게 구동하기 위한 볼 나사(532)와, 볼 나사(532)를 구동하는 모터(도시 생략)를 포함하고 있다.
브레이크 바(540)는, 아치 형상의 지지 기구(541)에 의해서, 상하로 이동 가능하게 지지되어 있다. 브레이크 바(540)는 모터(542)에 의해서 Z축 방향으로 이송된다. 브레이크 바(540)는 한 쌍의 축(543)에 의해서 Z축 방향으로 안내된다.
또한, 테이블(110, 410, 510)은 X축 방향으로 직선 형상으로 나열되도록 배치되어 있다.
브레이크 동작시에는, 테이블(510)에 흡착된 기판(10)이 이동 기구(530)에 의해서, 브레이크 바(540)의 아래쪽에 위치 부여된다. 다음에, 브레이크 바(540)가 강하하고, 브레이크 바(540)가 스크라이브 라인의 위치에 꽉 눌러진다. 이에 의해, 기판(10)은 스크라이브 라인을 따라서 분단된다. 이렇게 해서, 각 스크라이브 라인을 따라서 기판(10)이 분단된다. Y축 방향으로 평행한 스크라이브 라인이 기판(10)에 형성되어 있을 경우, 테이블(510)이 90° 회전된 후, 마찬가지의 동작에 의해 각 스크라이브 라인을 따라서 기판(10)이 분단된다.
도 2(a) 내지 2(d)는 각각 반송체(300)에 설치된 청소 유닛(240)의 구성 및 동작을 모식적으로 나타낸 측면도이다. 도 2(a) 내지 2(d)에는, X축 부측의 청소 유닛(240)이 도시되어 있지만, X축 정측의 청소 유닛(240)도 마찬가지의 구성으로 되어 있다.
청소 유닛(240)은 브러시(241)와, 지지 부재(242)와, 실린더(243)와, 한 쌍의 축(244)과, 지지 부재(245)를 포함하고 있다.
브러시(241)는 털이 밀집된 구성으로 되어 있고, 컬릿 등의 진애를 제거 가능하게 구성되어 있다. 브러시(241)의 Y축 방향의 폭은, 흡착 유닛(230)의 Y축 방향의 폭과 거의 같다. 브러시(241)의 Y축 방향의 폭은, 스크라이브 장치(100)의 테이블(110)에 재치될 수 있는 기판(10)의 Y축 방향의 폭보다도 크게 설정된다.
지지 부재(242)는 흡착 유닛(230)의 단부에 설치되어 있다. 지지 부재(242)는 실린더(243)를 지지한다. 실린더(243)는 에어 실린더이고, 공압원으로부터의 압력에 의해서 구동축(243a)을 Z축 정방향으로 돌출시킨다. 구동축(243a)에 지지 부재(245)가 설치되어 있다. 또한, 지지 부재(245)는 한 쌍의 축(244)에 의해서, Z축 방향으로 안내된다. 한 쌍의 축(244)은 지지 부재(245)의 상부면에 설치되고, 지지 부재(242)에 형성된 구멍에 삽입되어 있다. 지지 부재(245)의 하부면에 브러시(241)가 설치되어 있다.
도 2(a), 2(b)의 상태로부터 실린더(243)에 정압이 부여되면, 구동축(243a)이 아래쪽으로 돌출한다. 이에 의해, 도 2(c), 2(d)에 나타낸 바와 같이, 지지 부재(245)와 함께 브러시(241)가 강하한다. 또한, 도 2(c), 2(d)의 상태로부터 실린더(243)에 부압이 부여되면, 구동축(243a)이 위쪽으로 들어간다. 이에 의해, 도 2(a), 2(b)에 나타낸 바와 같이 지지 부재(245)와 함께 브러시(241)가 상승한다.
도 2(e), 2(f)는 각각 청소 유닛(250)의 구성 및 동작을 모식적으로 나타낸 측면도다.
청소 유닛(250)은 브러시(251)와, 지지 부재(252)와, 실린더(253)와, 한 쌍의 축(254)과, 지지 부재(255)를 포함하고 있다.
브러시(251)는 털이 밀집된 구성으로 되어 있고, 컬릿 등의 진애를 제거 가능하게 구성되어 있다. 브러시(251)의 Y축 방향의 폭은 흡착 유닛(230)의 Y축 방향의 폭과 거의 같다. 브러시(251)의 Y축 방향의 폭은, 스크라이브 장치(100)의 테이블(110)에 재치될 수 있는 기판(10)의 Y축 방향의 폭보다도 크게 설정된다.
지지 부재(252)는, 지면에 설치된 지지대(도시 생략)에 설치되어 있다. 지지 부재(252)는 실린더(253)를 지지한다. 실린더(253)는 에어 실린더이고, 공압원으로부터의 압력에 의해서, 구동축(253a)을 Z축 정방향으로 돌출시킨다. 구동축(253a)에 지지 부재(255)가 설치되어 있다. 또한, 지지 부재(255)는 한 쌍의 축(254)에 의해서 Z축 방향으로 안내된다. 한 쌍의 축(254)은 지지 부재(255)의 하부면에 설치되고, 지지 부재(252)에 형성된 구멍에 삽입되어 있다. 지지 부재(255)의 상부면에 브러시(251)가 설치되어 있다.
도 2(e)의 상태로부터 실린더(253)에 정압이 부여되면, 구동축(253a)이 위쪽으로 돌출한다. 이에 의해 도 2(f)에 나타낸 바와 같이, 지지 부재(255)와 함께 브러시(251)가 상승한다. 또한, 도 2(f)의 상태로부터 실린더(253)에 부압이 부여되면, 구동축(253a)이 아래쪽으로 들어간다. 이에 의해, 도 2(e)에 나타낸 바와 같이 지지 부재(255)와 함께 브러시(251)가 강하한다.
도 3(a)는 반송 장치(200)의 구성을 나타낸 블록도이다.
반송 장치(200)는 반송부(201)와, 도 1에 나타낸 반송체(300)와, 압력 부여부(202)와, 기판 청소부(203)와, 검출부(204)와, 제어부(205)를 포함한다.
반송부(201)는 기판(10)을 스크라이브 장치(100)의 테이블(110)로부터 회전 장치(400)의 테이블(410)에 반송한다. 반송부(201)는 도 1에 나타낸 반송 레일(210), 벨트 컨베이어(211) 및 승강 기구(220)를 포함하고 있다.
반송체(300)는 테이블 청소부(301)와 흡착부(302)를 포함한다. 테이블 청소부(301)는 도 1의 테이블(110, 410)을 청소한다. 테이블 청소부(301)는 도 1에 나타낸 2개의 청소 유닛(240)을 포함하고 있다. 흡착부(302)는 도 1에 나타낸 흡착 유닛(230)을 포함하고 있다.
압력 부여부(202)는 공압원을 포함하고, 반송체(300) 및 기판 청소부(203)에 압력을 부여한다. 기판 청소부(203)는 기판(10)의 하부면을 청소한다. 기판 청소부(203)는 도 1에 나타낸 청소 유닛(250)을 포함하고 있다. 검출부(204)는 반송체(300)의 위치를 검출하기 위한 센서 등의 각종 센서를 포함하고 있다. 제어부(205)는 CPU 등의 연산 처리 회로나, ROM, RAM, 하드 디스크 등의 메모리를 포함하고 있다. 제어부(205)는 메모리에 기억된 프로그램을 따라서 각 부를 제어한다.
도 3(b)는 반송 장치(200)의 반송 제어를 나타낸 순서도이다. 이 제어는 도 3(a)에 나타낸 제어부(205)가 실행한다. 이하, 제어부(205)에 의한 반송 제어를, 적절히 도 4(a) 내지 도 9(b)를 참조해서 설명한다. 도 4(a) 내지 도 9(b)는 각각 반송 장치(200)의 동작을 모식적으로 나타낸 측면도이다.
또한, 이하에서는, 스크라이브 장치(100)의 테이블(110)을, 특히 제1 테이블(110)이라고 칭하고, 회전 장치(400)의 테이블(410)을, 특히 제2 테이블(410)이라고 칭한다. 또한, 반송체(300)에 배치된 2개의 청소 유닛(240) 중, 기판(10)의 반송 방향 뒤쪽(X축 부측)의 청소 유닛(240)을, 특히 제1 청소 유닛(240)이라고 칭하고, 기판(10)의 반송 방향 앞쪽(X축 정측)의 청소 유닛(240)을, 특히 제2 청소 유닛(240)이라고 칭한다. 또한, 청소 유닛(250)을 특히 제3 청소 유닛(250)이라고 칭한다.
기판(10)의 반송 동작 개시되기 직전에 있어서, 반송체(300)는, 제1 테이블(110)과 제2 테이블(410) 사이의 중간위치(초기 위치)에 위치 부여되어 있다. 이 상태에 있어서, 반송체(300)는, 승강 기구(220)에 의해서 상승 위치에 위치 부여되고, 제1 청소 유닛(240) 및 제2 청소 유닛(240)의 브러시(241)는, 각각 상승 위치에 위치 부여되어 있다. 또한, 제3 청소 유닛(250)의 브러시(251)는, 강하 위치에 위치 부여되어 있다.
반송 동작이 개시되면, 제어부(205)는 도 4(a)에 나타낸 바와 같이, 반송체(300)를 제1 테이블(110)의 위쪽으로 이송한다(S101). 다음에, 제어부(205)는 반송체(300)를 강하시켜서 흡착 유닛(230)의 하부면을 기판(10)의 상부면에 포개고, 또한 흡착 유닛(230)에 기판(10)의 상부면을 흡착시킨다(S102). 그 후, 제어부(205)는 도 4(b)에 나타낸 바와 같이 반송체(300)를 상승시킨다(S103). 이에 의해, 기판(10)이 제1 테이블(110)로부터 들어 올려진다.
다음에, 제어부(205)는 도 5(a)에 나타낸 바와 같이, 제1 청소 유닛(240)의 브러시(241)를 강하시키고, 또한 제3 청소 유닛(250)의 브러시(251)를 상승시킨다(S104). 이에 의해, 제1 청소 유닛(240)의 브러시(241)의 하단이 제1 테이블(110)의 상부면보다도 약간 아래쪽에 위치 부여되고, 또한 제3 청소 유닛(250)의 브러시(251)의 상단이, 흡착 유닛(230)에 흡착된 기판(10)의 하부면보다 약간 위쪽에 위치 부여된다.
그 후, 제어부(205)는 반송체(300)를 제2 테이블(410)을 향하는 방향(X축 정방향)으로 이송시킨다(S105). 이에 의해, 도 5(b)에 나타낸 바와 같이, 제1 청소 유닛(240)의 브러시(241)가 제1 테이블(110)의 상부면에 접촉하면서 이동한다. 이렇게 해서 제1 테이블(110)의 상부면이 청소된다. 또한, 제3 청소 유닛(250)의 브러시(251)가 기판(10)의 하부면에 접촉하면서 기판(10)에 대하여 상대적으로 이동한다. 이렇게 해서 기판(10)의 하부면이 청소된다.
그 후, 제어부(205)는 반송체(300)의 이송을 진행하면서, 도 6(a)에 나타낸 바와 같이 제2 청소 유닛(240)의 브러시(241)를 강하시킨다(S106). 이에 의해, 제2 청소 유닛(240)의 브러시(241)의 하단이 제2 테이블(410)의 상부면보다도 약간 아래쪽에 위치 부여된다. 또한, 반송체(300)의 이송이 진행되면, 도 6(b)에 나타낸 바와 같이 제2 청소 유닛(240)의 브러시(241)가 제2 테이블(410)의 상부면에 접촉하면서 이동한다. 이렇게 해서 제2 테이블(410)의 상부면이 청소된다. 이와 같이, 제3 청소 유닛(250)에 의한 기판(10)의 하부면의 청소는 제1 청소 유닛(240)에 의한 제1 테이블(110)의 상부면의 청소와, 제2 청소 유닛(240)에 의한 제2 테이블(410)의 상부면의 청소 중 적어도 하나와 동시에 할 수 있다.
다음에, 제어부(205)는, 도 7(a)에 나타낸 바와 같이 제1 청소 유닛(240)의 브러시(241)를 상승시키고, 제3 청소 유닛(250)의 브러시(251)를 강하시킨다(S107). 이에 의해, 제1 청소 유닛(240)의 브러시(241)의 하단이 제1 테이블(110)의 상부면보다도 약간 위쪽에 위치 부여되고, 또한, 제3 청소 유닛(250)의 브러시(251)의 상단이, 흡착 유닛(230)에 흡착된 기판(10)의 하부면보다 약간 아래쪽에 위치 부여된다.
도 7(b)에 나타낸 바와 같이, 반송체(300)를 제2 테이블(410)의 위쪽까지 이송하면, 제어부(205)는 도 8(a)에 나타낸 바와 같이 제2 청소 유닛(240)의 브러시(241)를 상승시킨다(S108). 이에 의해, 제2 청소 유닛(240)의 브러시(241)의 하단이 제2 테이블(410)의 상부면보다도 약간 위쪽에 위치 부여된다.
다음에, 제어부(205)는 반송체(300)를 강하시켜서 기판(10)의 하부면을 제2 테이블(410)의 상부면에 포개고, 또한, 흡착 유닛(230)에 기판(10)의 흡착을 해제시킨다(S109). 그 후, 제어부(205)는 도 8(b)에 나타낸 바와 같이 반송체(300)를 상승시킨다(S110). 이에 의해, 기판(10)이 제2 테이블(410)의 상부면에 재치된다. 이렇게 해서 1개의 기판(10)에 대한 반송 동작이 종료된다.
도 8(b)에 나타낸 바와 같이, 다음의 기판(10)이 제1 테이블(110)에 재치되어 있을 경우, 제어부(205)는 도 3(b)의 스텝(S101)으로 되돌아가고, 다음의 기판(10)에 대한 반송 제어를 실행한다. 이에 의해, 도 9(a)에 나타낸 바와 같이 반송체(300)가 제1 테이블(110)의 위쪽으로 이송된다. 도 8(b)의 상태에 있어서, 다음 기판(10)이 제1 테이블(110)에 재치되어 있지 않을 경우, 제어부(205)는 반송체(300)를 제1 테이블(110)과 제2 테이블(410) 사이의 초기 위치에 이송한다.
그 후, 회전 장치(400)의 테이블(410)이 기판(10)을 흡착한 상태로, 도 9(b)에 나타낸 바와 같이 지지축(420)을 중심으로 시계방향으로 회전한다. 이에 의해, 기판(10)이 상하로 반전된 상태로, 브레이크 장치(500)의 테이블(510)에 넘겨진다. 그 후, 기판(10)에 대한 브레이크 동작이 실행된다.
<실시형태의 효과>
본 실시형태에 따르면, 이하의 효과가 나타난다.
반송체(300)가 기판(10)을 보유하여 제1 테이블(110)로부터 제2 테이블(410)에 반송하는 공정에 있어서, 도 5(b)에 나타낸 바와 같이 제1 청소 유닛(240)의 브러시(241)가 제1 테이블(110)의 상부면에 접촉한다. 따라서, 제1 청소 유닛(240)의 브러시(241)는, 기판(10)의 반송에 수반하여 제1 테이블(110)의 상부면에 접촉하면서 이동하고, 제1 테이블(110)의 상부면을 청소한다. 이에 의해, 예를 들면 제1 테이블(110)의 상부면에 스크라이브 동작에 의한 컬릿 등이 산재하고 있었다고 해도, 제1 청소 유닛(240)의 브러시(241)에 의해서, 제1 테이블(110)로부터 컬릿 등이 제거된다. 따라서, 본 실시형태에 따른 반송체(300)에 의하면, 반송체(300)에 제1 청소 유닛(240)을 배치하는 것과 같은 간소한 구성에 의해, 원활하게 제1 테이블(110)의 상부면을 청소할 수 있다.
제1 청소 유닛(240)은 브러시(241)(제1 청소구)와, 브러시(241)를 제1 테이블(110)의 상부면에 대해서 접촉 및 이간시키는 실린더(243)(제1 구동부)를 포함하고 있다. 이에 의해, 제1 테이블(110)의 상부면을 청소하는 기간 이외에 있어서, 도 7(a)에 나타낸 바와 같이, 제1 청소 유닛(240)의 브러시(241)를 위쪽으로 퇴피시킬 수 있다. 따라서, 브러시(241)가 반송체(300)의 반송에 지장이 되는 것을 억제할 수 있다.
반송체(300)는, 기판(10)의 반송 방향(X축 정방향)의 앞쪽에, 제2 청소 유닛(240)을 포함하고 있다. 이에 의해, 기판(10)을 보유하여 제1 테이블(110)로부터 제2 테이블(410)에 반송하는 공정에 있어서, 도 6(b)에 나타낸 바와 같이 제2 청소 유닛(240)의 브러시(241)가 제2 테이블(410)의 상부면에 접촉한다. 따라서, 제2 청소 유닛(240)의 브러시(241)는, 기판(10)의 반송에 수반하여 제2 테이블(410)의 상부면에 접촉하면서 이동하고, 제2 테이블(410)의 상부면을 청소한다. 이에 의해, 예를 들면, 제2 테이블(410)의 상부면에 컬릿 등이 산재하고 있었다고 해도, 제2 청소 유닛(240)에 의해서, 제2 테이블(410)로부터 컬릿 등이 제거된다. 따라서, 간소한 구성에 의해 원활하게 제2 테이블(410)의 상부면을 청소할 수 있다.
제2 청소 유닛(240)은, 브러시(241)(제2 청소구)와, 브러시(241)를 제2 테이블(410)의 상부면에 대하여 접촉 및 이간시키는 실린더(243)(제2 구동부)를 포함하고 있다. 이에 의해, 제2 테이블(410)의 상부면을 청소하는 기간 이외에 있어서, 도 8(a)에 나타낸 바와 같이, 제2 청소 유닛(240)의 브러시(241)를 위쪽으로 퇴피시킬 수 있다. 따라서, 브러시(241)가 반송체(300)의 반송에 지장이 되는 것을 억제할 수 있다.
반송 장치(200)는, 제1 테이블(110)과 제2 테이블(410) 사이의 반송 경로에 배치된 제3 청소 유닛(250)을 포함하고 있다. 이에 의해, 기판(10)을 제1 테이블(110)로부터 제2 테이블(410)에 반송하는 공정에 있어서, 도 5(b)에 나타낸 바와 같이 제3 청소 유닛(250)의 브러시(251)가 기판(10)의 하부면에 접촉한다. 따라서, 제3 청소 유닛(250)의 브러시(251)는 기판(10)의 반송에 수반하여 기판(10)의 하부면에 접촉하면서 기판(10)에 대하여 상대적으로 이동하고, 기판(10)의 하부면을 청소한다. 이에 의해, 예를 들면, 기판(10)의 하부면에 컬릿 등이 부착되어 있었다고 해도, 제3 청소 유닛(250)에 의해서, 기판(10)의 하부면으로부터 컬릿 등이 제거된다. 따라서, 간소한 구성에 의해 원활하게 기판(10)의 하부면을 청소할 수 있다.
제3 청소 유닛(250)은 브러시(251)(제3 청소구)와, 브러시(251)를 기판(10)의 하부면에 대하여 접촉 및 이간시키는 실린더(253)(제3 구동부)를 포함하고 있다. 이에 의해, 기판(10)의 하부면을 청소하는 기간 이외에 있어서, 도 7(a)에 나타낸 바와 같이 브러시(251)를 아래쪽으로 퇴피시킬 수 있다. 따라서, 브러시(251)가 반송체(300)의 반송에 지장이 되는 것을 억제할 수 있다.
<변경예>
이상으로 본 발명의 실시형태에 대해서 설명했지만, 본 발명은 상기 실시형태로 하등 제한되는 것이 아니며, 또한 본 발명의 실시형태도 상기 이외에 다양한 변경이 가능하다.
예를 들면, 상기 실시형태에서는 브러시(241) 및 브러시(251)가 각각 실린더(243) 및 실린더(253)에 의해서 승강 가능했지만, 브러시(241)가 상기 실시형태의 강하 위치에 고정되고, 또한, 브러시(251)가 상기 실시형태의 상승 위치에 고정되어 있어도 된다. 이 구성에 의해서도, 반송체(300)의 이송에 수반하여, 제1 테이블(110) 및 제2 테이블(410)의 상부면과 기판(10)의 하부면을 각각 브러시(241)와 브러시(251)에 의해서 청소할 수 있다.
또한, 상기 실시형태에서는, 스크라이브 장치(100)의 테이블(110)로부터 회전 장치(400)의 테이블(410)에 기판(10)이 반송되었지만, 반송원인 테이블과 반송처인 테이블은, 반드시 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 반송처인 테이블이 브레이크 장치(500)의 테이블(510)이어도 된다.
또한, 상기 실시형태에서는, 제1 청소 유닛(240) 및 제2 청소 유닛(240)과, 제3 청소 유닛(250)의 3개의 청소 유닛이 배치되었지만, 반드시 이들 3개의 청소 유닛 모두가 필수인 것은 아니다. 예를 들면, 제2 테이블(410)의 상부면을 청소하지 않거나, 혹은 제2 테이블(410)의 상부면을 다른 청소 수단에 의해 청소할 경우에는, 반송체(300)로부터 제2 청소 유닛(240)을 생략해도 된다. 혹은, 기판(10)의 하부면을 청소하지 않거나, 혹은 기판(10)의 하부면을 다른 청소 수단에 의해서 청소할 경우에는 제3 청소 유닛(250)을 생략해도 된다.
또한, 상기 실시형태에서는, 도 8(a) 내지 도 9(a)에 나타낸 바와 같이, 반송체(300)를 제1 테이블(110)의 방향으로 되돌릴 경우에, X축 정측의 제2 청소 유닛(240)의 브러시(241)를 상승시켰지만, 제2 청소 유닛(240)의 브러시(241)를 강하시킨 채 반송체(300)를 제1 테이블(110)의 방향으로 이송하여, 제2 테이블(410)에 재치된 기판(10)의 상부면을, 제2 청소 유닛(240)의 브러시(241)로 청소하도록 해도 된다. 이 경우, 제2 청소 유닛(240)의 브러시(241)로 기판(10)의 상부면을 청소하는 공정에 있어서, 기판(10)은 브러시(241)의 접촉에 의해서 위치에서 벗어나지 않도록, 제2 테이블(410)에 의해서 흡착되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 실시형태에서는, 도 8(b) 내지 도 9(a)에 나타낸 바와 같이, 반송체(300)를 제1 테이블(110)의 방향으로 되돌릴 경우에, X축 부측의 제1 청소 유닛(240)의 브러시(241)를 상승시킨 상태로 유지했지만, 제1 청소 유닛(240)의 브러시(241)를 강하시킨 상태로 반송체(300)를 제1 테이블(110)의 방향으로 이송하여, 제1 테이블(110)의 상부면을 재차 제1 청소 유닛(240)의 브러시(241)로 청소하도록 해도 된다.
또한, 상기 실시형태에서는, 브러시(241) 및 브러시(251)의 승강을 실린더(243) 및 실린더(253)를 이용하여 행했지만, 예를 들면, 모터나 플런저 등의 다른 구동원을 이용하여, 브러시(241) 및 브러시(251)를 승강시켜도 된다. 또한, 테이블(110, 410) 및 기판(10)을 청소하기 위한 청소구는, 브러시(241, 251)로 한정되지 않고, 스폰지 등의 다른 청소구이어도 된다.
이밖에 본 발명의 실시형태는 특허청구의 범위에 나타난 기술적 사상의 범위 내에 있어서 적절히 다양한 변경이 가능하다.
1: 스크라이브 시스템 10: 기판
100: 스크라이브 장치 110: 테이블(제1 테이블)
140: 스크라이브 헤드 200: 반송 장치
201: 반송부
240: 청소 유닛(제1 청소 유닛, 제2 청소 유닛)
250: 청소 유닛(제3 청소 유닛)
300: 반송체 410: 테이블(제2 테이블)

Claims (9)

  1. 기판을 보유하여 제1 테이블로부터 제2 테이블로 반송하는 반송 장치로서,
    상기 기판의 반송 방향 후방에 배치되고, 상기 기판을 상기 제1 테이블로부터 상기 제2 테이블로 반송하는 공정에 있어서 상기 제1 테이블의 상부면에 접촉하고, 상기 제1 테이블의 상부면을 청소하는 제1 청소 유닛;
    상기 기판의 반송 방향 전방에 배치되고, 상기 기판을 상기 제1 테이블로부터 상기 제2 테이블로 반송하는 공정에 있어서 상기 제2 테이블의 상부면에 접촉하고, 상기 제2 테이블의 상부면을 청소하는 제2 청소 유닛; 및
    상기 제1 테이블과 상기 제2 테이블 사이의 반송 경로에 배치되고, 상기 기판을 상기 제1 테이블로부터 상기 제2 테이블로 반송하는 공정에 있어서 상기 기판의 하부면에 접촉하고, 상기 기판의 하부면을 청소하는 제3 청소 유닛;을 포함하고,
    상기 제3 청소 유닛에 의한 상기 기판의 하부면의 청소는, 상기 제1 청소 유닛에 의한 상기 제1 테이블의 상부면의 청소와, 상기 제2 청소 유닛에 의한 상기 제2 테이블의 상부면의 청소 중 적어도 하나와 동시에 하는 것을 특징으로 하는, 반송 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 청소 유닛은 제1 청소구와, 상기 제1 청소구를 상기 제1 테이블의 상부면에 대하여 접촉 및 이간시키는 제1구동부를 포함하는, 반송 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제2 청소 유닛은 제2 청소구와, 상기 제2 청소구를 상기 제2 테이블의 상부면에 대하여 접촉 및 이간시키는 제2구동부를 포함하는, 반송 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제3 청소 유닛은 제3 청소구와, 상기 제3 청소구를 상기 기판의 하부면에 대하여 접촉 및 이간시키는 제3 구동부를 포함하는, 반송 장치.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 기재된 반송 장치와, 상기 제1 테이블에 재치된 상기 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 장치를 구비하는, 스크라이브 시스템.
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