KR20070057002A - 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치 및 검사 설비 - Google Patents

프로브 카드 탑재 이송 보조 장치 및 검사 설비 Download PDF

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KR20070057002A
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Abstract

최근의 프로브 카드(4)의 대형화에 따라, 그 중량이 15 내지 25Kg로 대중량화하고 있기 때문에, 예컨대 오퍼레이터 등이 프로브 카드(4)를 반송대차로부터 들어 올려 카드 반송 장치에 탑재 이송하여 설치하기 위해서는 큰 힘을 필요로 하고 또한, 프로브 카드(4)를 들어 올릴 때에 쥐는 부분이 제한되어, 취급에 신중을 요하기 때문에, 오퍼레이터에게 과대한 부담이 된다.
본 발명의 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치(55)는, 프로브 카드(51)를 유지하는 유지구(551)와, 이 유지구(551)가 선단부에 부착된 신축 가능한 아암(552)과, 이 아암(552)을 지지하는 선회가 자유로운 지지체(553)와, 이 지지체(553)를 거쳐서 프로브 카드(51)를 중량별로 승강시키는 승강 구동 장치(554)를 구비하고, 유지구(551)는, 손잡이(51A)를 홈(551D)에 걸거나 또는 4개의 와이어(651D)로 매달아 프로브 카드(51)를 유지한다.

Description

프로브 카드 탑재 이송 보조 장치 및 검사 설비 {PROBE CARD TRANSFER ASSIST APPARATUS AND INSPECTION EQUIPMENT USING SAME}
도 1은 본 발명의 검사 설비의 제 1 실시형태를 도시하는 평면도,
도 2의 (a), (b)는 각각 도 1에 도시하는 검사 설비에 적용되는 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치를 도시하는 사시도로, (a)는 그 전체도, (b)는 그 측면도,
도 3은 도 2의 (a) 및 (b)에 도시하는 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치의 요부를 확대하여 도시하는 사시도,
도 4의 (a), (b)는 각각 도 1에 도시하는 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치의 유지부에서 프로브 카드를 유지한 상태를 도시한 도면으로, (a)는 그 정면도, (b)는 그 측면도,
도 5는 도 2에 도시하는 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치의 승강 구동 장치의 구성을 도시하는 블럭도,
도 6의 (a), (b)는 각각 본 발명의 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치의 제 2 실시형태를 도시한 도면, (a)는 그 요부를 도시하는 측면도, (b)는 그 유지구를 도시하는 평면도,
도 7은 도 6에 도시하는 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치의 승강 구동 장치 의 구성을 도시하는 블럭도,
도 8의 (a), (b)는 각각 본 발명의 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치의 제 3 실시형태를 도시한 도면, (a)는 그 유지구의 요부를 부분적으로 파단하여 확대하여 도시하는 정면도, (b)는 (a)의 측면도,
도 9는 본 발명의 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치의 제 4 실시형태의 유지구의 요부를 부분적으로 파단하여 확대하여 도시하는 정면도,
도 10은 본 발명의 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치의 제 5 실시형태의 유지구의 승강 장치를 도시하는 단면도,
도 11의 (a), (b)는 각각 도 1에 도시하는 검사 설비에 적용되는 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치의 제 6 실시형태를 도시한 도면으로, (a)는 그 요부를 도시하는 사시도, (b)는 (a)의 측면도,
도 12는 도 11의 (a) 및 (b)에 도시하는 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치의 유지부를 확대하여 도시하는 사시도,
도 13의 (a) 내지 (c)는 각각 도 11의 (a) 및 (b)에 도시하는 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치의 유지부에서 프로브 카드를 유지한 상태를 도시한 도면으로, (a)는 그 측면도, (b)는 제 2 부재를 도시하는 평면도, (c)는 제 1 부재를 도시하는 평면도,
도 14의 (a), (b)는 각각 도 12에 도시하는 유지부를 도시한 도면으로, (a)는 그 측면도, (b)는 그 정면도,
도 15는 종래의 검사 장치의 일례를 부분적으로 파단하여 도시하는 정면도, 및
도 16은 도 15에 도시하는 검사 장치에 적용된 프로브 카드 반송 장치의 동작 설명도이다.
(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)
50 검사 설비 51 프로브 카드
52 검사 장치 54 반송대차
55, 55A 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치
551, 651 유지구(유지부) 551A 제 1 판 부재
551B 제 2 판 부재 551C 연결 부재, 스프링 부재
551E 카드 검출 센서 551I 빠짐 방지 수단
551K 레버 551N 가요성 부재
552 아암 553 지지체
554 승강 구동 장치 554A 에어 실린더(실린더 기구)
554B 배관(유로) 554C 전자 밸브
554D 전공 레귤레이터 554E 입력 단자
554F 압력 센서
본 발명은, 프로브 카드를 이용하여 웨이퍼 등의 피검사체의 전기적 특성 검사를 실행하는 검사 장치를 복수 구비한 검사 설비에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 검사 설비내에서 검사 장치와 반송대차와의 사이에서 프로브 카드의 탑재 이송 작업을 보조하는 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치 및 검사 설비에 관한 것이다.
이러한 종류의 검사 장치는 예컨대 도 15에 도시하는 바와 같이, 피검사체(예컨대, 웨이퍼)(W)를 반송하는 로더실(1)과, 로더실(1)에 인접하고 또한 로더실(1)로부터 받아들인 웨이퍼(W)의 전기적 특성 검사를 실행하는 프로버실(2)을 구비하여 구성되어 있다. 프로버실(2)은 동일 도면에 도시하는 바와 같이 X, Y, Z 및 θ 방향으로 이동이 가능하도록 배치되고 또한 웨이퍼를 탑재하는 탑재대(웨이퍼척)(3)와, 이 웨이퍼척(3)의 위쪽에 배치된 카드 홀더를 갖는 프로브 카드(4)와, 프로브 카드(4)를 유지하는 클램프 기구(5)를 구비하고 있다. 프로버실(2)내에서는 웨이퍼척(3)이 X, Y, Z 및 θ 방향으로 이동하는 동안에 얼라이먼트기구(6)를 거쳐서 웨이퍼(W)와 프로브 카드(4)의 프로브핀(4A)과의 얼라이먼트를 실행한 후, 웨이퍼(W)의 인덱스 이송을 실행하면서 웨이퍼의 전기적 특성 검사를 실행한다. 또한, 얼라이먼트 기구(6)는 상부 카메라(6A) 및 하부 카메라(6B)를 갖고 있다. T는 테스트헤드이다.
이와 같이, 프로브 카드(4)를 프로버실(2)내의 클램프 기구(5)에 장착 및 분리하는 경우에는, 예컨대 본출원인이 일본 특허 공개 2001-24039호에 있어서 제안한 카드 반송 장치가 이용된다. 이 카드반송 장치는 도 16에 도시하는 바와 같이 웨이퍼척(3)과, 이 웨이퍼척(3)과의 사이에서 프로브 카드(4)를 전달하는 전달기구(7)를 구비하고 있다. 전달기구(7)는 도 16에 도시하는 바와 같이, 카드 홀더 부착 프로브 카드(4)를 장착 및 분리가 자유롭도록 유지하는 어댑터(8)와, 이 어댑터(8)를 장착 및 분리가 자유롭게 유지하도록 선단부가 2 갈래로 나누어진 포크 형상의 아암(9)과, 이 아암(9)을 화살표A 방향으로 밀어 넣어 프로브 카드(4)를 전달위치까지 이동 안내하는 1 쌍의 가이드 레일(10)과, 이들 가이드 레일(10)이 고정된 아암 지지체(11)를 구비하고, 아암(9)과 웨이퍼척(3)에 장착된 어댑터 지지체(12)와의 사이에서 프로브 카드(4)를 탑재한 어댑터(8)의 전달을 실행한다.
그리고, 카드반송 장치를 이용하여 프로브 카드(4)를 클램프 기구(5)에 장착하는 경우에는 오퍼레이터 등이 전달기구(7) 상에 카드 홀더를 갖는 프로브 카드(4)를 설치한 후, 카드 반송 장치를 거쳐서 클램프 기구(5)의 바로 아래까지 반송하여, 이 위치로부터 웨이퍼척(3)을 상승시킨 후, 클램프 기구(5)에 의해 프로브 카드(4)를 검사장치 본체측에 고정시킨다. 또한, 도 16에 있어서, 13은 전달하는 전달기구(7)를 화살표B와 반대 방향으로 접어 수납하는 수납부이다.
그런데, 프로브 카드(4)를 카드 반송 장치에 설치하는 경우에는, 오퍼레이터가 소정의 수납 선반으로부터 검사 장치까지 프로브 카드(4)를 운반하여 설치하든지, 오퍼레이터가 반송대차 등을 이용하여 수납 선반으로부터 검사 장치까지 운반하고, 반송대차로부터 카드 반송 장치로 탑재 이송하여 설치하는 등하고 있다.
그러나, 최근의 프로브 카드(4)의 대형화에 따라, 그 중량이 15 내지 25Kg으로 대중량화하고 있기 때문에, 예컨대 오퍼레이터 등이 프로브 카드(4)를 반송대차로부터 들어 올려 카드 반송 장치로 탑재 이송하여 설치하기 위해서는 큰 힘을 필요로 하고 또한, 프로브 카드(4)를 들어 올릴 때에 쥐는 부분이 제한되어, 취급에 신중을 요하기 때문에 오퍼레이터에 과도한 부담을 준다는 문제가 있었다.
본 발명은, 상기 과제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 대중량화된 프로브 카드라도 오퍼레이터의 부담을 경감시키고, 원활하게 프로브 카드를 탑재 이송할 수 있는 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치, 검사 설비 및 검사 방법을 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.
본 발명의 청구항 1에 기재된 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치는, 전기적 검사 장치에 이용되는 프로브 카드의 탑재 이송 작업을 보조하는 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치에 있어서, 상기 프로브 카드의 한 쌍의 손잡이를 걸거나 매달아 유지하는 유지부와, 상기 유지부를 이동 가능하게 지지하는 지지부와, 상기 지지부를 승강시키는 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 청구항 2에 기재된 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치는, 제 1항에 있어서, 상기 유지부는, 상기 한 쌍의 손잡이를 거는 홈을 가지며 상기 한 쌍의 손잡이를 각각 걸어 유지하는 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 청구항 3에 기재된 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치는, 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 유지부에, 상기 유지부에서 상기 한 쌍의 손잡이가 빠지는 것을 방지하는 빠짐 방지 수단을 마련한 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 청구항 4에 기재된 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치는, 제 3항에 있어서, 상기 빠짐 방지 수단은, 상기 유지부의 단부에 일어남과 쓰러짐이 가능하도록 부착된 레버인 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 청구항 5에 기재된 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치는, 제 3항에 있어서, 상기 빠짐 방지 수단은, 상기 유지부의 단부에 상기 홈으로부터 돌출하도록 부착된 가요성 부재인 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 청구항 6에 기재된 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치는, 제 2항에 있어서, 상기 유지부는, 상기 홈을 갖는 제 1 판 부재와, 제 1 판 부재의 상방에 배치되고 또한 제 1 판 부재를 승강 가능하게 유지하는 제 2 판 부재와, 제 1, 제 2 판 부재의 간격의 변화를 검출하는 센서를 갖는 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 청구항 7에 기재된 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치는, 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 유지부는, 상기 지지부에서 돌출하는 신축 가능한 아암에 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 청구항 8에 기재된 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치는, 제 7항에 있어서, 상기 아암에, 상기 유지부를 승강시키는 수단을 마련한 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 청구항 9에 기재된 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치는, 제 7항에 있어서, 상기 지지부의 승강 수단은, 상기 아암을 승강시키는 실린더 기구와, 상기 실린더 기구에 구동 유체를 공급하는 유로를 개폐하는 밸브와, 상기 구동 유체의 압력을 제어하는 레귤레이터와, 상기 프로브 카드의 중량에 근거한 상기 구동 유체의 압력을 제어하기 위해 상기 레귤레이터에 대하여 상기 중량을 미리 입력하는 입력 단자와, 상기 구동 유체의 압력을 검출하는 압력 센서를 갖는 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 청구항 10에 기재된 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치는, 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 지지부의 승강 수단은, 상기 프로브 카드를 밀어 올리는 방향에 보조력을 부여하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 청구항 11에 기재된 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치는, 제 10항에 있어서, 상기 보조력은, 상기 프로브 카드의 중량에 대응하여 변경 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 청구항 12에 기재된 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치는, 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 검사 장치에 부설한 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 청구항 13에 기재된 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치는, 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 검사 장치와 상기 검사 장치에 이용되는 프로브 카드를 반송하는 반송 수단과의 사이에서 상기 프로브 카드의 탑재 이송 작업을 보조할 때, 상기 검사 장치와 상기 반송 수단의 사이에 개재하는 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 청구항 14에 기재된 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치는, 제 13항에 있어서, 상기 반송 수단은, 반송대차인 것을 특징으로 하는 것이다.
본 발명의 청구항 15에 기재된 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치는, 제 1항에 있어서, 상기 유지부는 상기 프로브 카드의 한 쌍의 손잡이를 끈 형상 부재로 매달아 유지하는 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 청구항 16에 기재된 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치는, 제 15항에 있어서, 상기 유지부는, 상기 끈 형상 부재가 복수 부착된 제 1 부재와, 제 1 부재의 상방에 배치되고 또한 제 1 부재가 승강이 가능하도록 연결된 제 2 부재와, 제 1, 제 2 부재의 간격의 변화를 검출하는 센서를 가지는 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 청구항 17에 기재된 검사 설비는, 전기적 검사 장치와, 이 전기적 검사 장치에 이용되는 프로브 카드의 탑재 이송 작업을 보조하는 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치를 구비하고, 상기 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치는, 상기 프로브 카드의 한 쌍의 손잡이를 걸거나 매달아 유지하는 유지부와, 상기 유지부를 이동 가능하게 지지하는 지지부와, 상기 지지부를 승강시키는 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 것이다.
본 발명의 청구항 18에 기재된 검사 설비는, 제 17항에 있어서, 상기 유지부는, 상기 한 쌍의 손잡이를 거는 홈을 갖는 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 청구항 19에 기재된 검사 설비는, 제 17항 또는 제 18항에 있어서, 상기 유지부에, 상기 유지부로부터 상기 한 쌍의 손잡이가 빠지는 것을 방 지하는 빠짐 방지 수단을 마련한 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 청구항 20에 기재된 검사 설비는, 제 19항에 있어서, 상기 빠짐 방지 수단은, 상기 유지부의 단부에 일어남과 쓰러짐이 가능하도록 부착된 레버인 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 청구항 21에 기재된 검사 설비는, 제 19항에 있어서, 상기 빠짐 방지 수단은, 상기 유지부의 단부에 상기 홈으로부터 돌출하도록 부착된 가요성 부재인 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 청구항 22에 기재된 검사 설비는, 제 18항에 있어서, 상기 유지부는, 상기 홈을 갖는 제 1 판 부재와, 제 1 판 부재의 상방에 배치되고 또한 제 1 판 부재를 승강 가능하게 유지하는 제 2 판 부재와, 제 1, 제 2 판 부재의 간격의 변화를 검출하는 센서를 갖는 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 청구항 23에 기재된 검사 설비는, 제 17항 또는 제 18항에 있어서, 상기 유지부는, 상기 지지부에서 돌출하는 신축 가능한 아암에 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 청구항 24에 기재된 검사 설비는, 제 23항에 있어서, 상기 아암에, 상기 유지부를 승강시키는 수단을 마련한 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 청구항 25에 기재된 검사 설비는, 제 17항 또는 제 18항에 있어서, 상기 지지부의 승강 수단은, 상기 아암을 승강시키는 실린더 기구와, 상기 실린더 기구에 구동 유체를 공급하는 유로를 개폐하는 밸브와, 상기 구동 유체의 압력을 제어하는 레귤레이터와, 상기 프로브 카드의 중량에 근거한 상기 구동 유체 의 압력을 제어하기 위해 상기 레귤레이터에 대하여 상기 중량을 미리 입력하는 입력 단자와, 상기 구동 유체의 압력을 검출하는 압력 센서를 갖는 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 청구항 26에 기재된 검사 설비는, 제 17항 또는 제 18항에 있어서, 상기 지지부의 승강 수단은, 상기 프로브 카드를 밀어 올리는 방향에 보조력을 부여하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 청구항 27에 기재된 검사 설비는, 제 26항에 있어서, 상기 보조력은, 상기 프로브 카드의 중량에 대응하여 변경이 가능하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 청구항 28에 기재된 검사 설비는, 제 17 또는 제 18항에 있어서, 상기 검사 장치에 부설한 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 청구항 29에 기재된 검사 설비는, 제 17항 또는 제 18항에 있어서, 상기 검사 장치와 상기 검사 장치에 이용되는 프로브 카드를 반송하는 반송 수단과의 사이에서 상기 프로브 카드의 탑재 이송 작업을 보조할 때에, 상기 검사 장치와 상기 반송 수단의 사이에 개재하는 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 청구항 30에 기재된 검사 설비는, 제 29항에 있어서, 상기 반송 수단은, 반송대차인 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 청구항 31에 기재된 검사 설비는, 제 17항에 있어서, 상기 유지부는, 상기 프로브 카드의 한 쌍의 손잡이를 끈 형상 부재로 매달아 유지하는 것을 특징으로 하는 것이다.
본 발명의 청구항 32에 기재된 검사 설비는, 제 31항에 있어서, 상기 유지부는, 상기 끈 형상 부재가 복수 부착된 제 1 부재와, 제 1 부재의 상방에 배치되고 또한 제 1 부재가 승강이 가능하도록 연결된 제 2 부재와, 제 1, 제 2 부재의 간격의 변화를 검출하는 센서를 가지는 것을 특징으로 하는 것이다.
(제 1 실시형태)
본 실시형태의 검사 설비(50)는, 예컨대 도 1에 도시하는 바와 같이, 피검사체(예컨대, 웨이퍼)(도시하지 않음)의 전기적 특성 검사를 실행하기 위한 프로브 카드(51)를 갖는 검사 장치(52)와, 검사 장치(52)가 복수 배치된 통로(53)를 따라서 프로브 카드(51)를 반송하는 반송대차(54)와, 반송대차(54)와 각 검사 장치(52)의 장치 본체(52A)에 마련된 카드 반송 장치(52B)와의 사이에서 프로브 카드(51)의 탑재 이송 작업을 보조하는 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치(55)를 구비하여 구성되어 있다. 검사 장치(52)는 동일 도면에서는 회전 구동 기구(52C)를 거쳐서 테스트헤드(T)가 통로(53)측으로 선회된 상태로 표시되어 있다. 프로브 카드(51)는, 수납 선반(도시하지 않음)에 보관되고, 프로브 카드(51)를 교환할 때 등에 반송대차(54)를 이용하여 수납 선반과 복수의 검사 장치(52)와의 사이에서 반송된다. 또한, 도 1에서는 1대의 검사 장치(52)만을 도시하고 있다.
그러나, 프로브 카드(51)는 웨이퍼의 대구경화나 IC 칩의 초고집적화 등에 따라 대형화, 대중량화하고 있기 때문에, 오퍼레이터가 들어 운반하는 것은 물론이 고, 반송대차(54)와 검사 장치(52)의 카드 반송 장치(52B)와의 사이에서 탑재 이송 작업을 실행하는데에도 큰 부담이 된다. 그래서, 본 실시형태에서는, 오퍼레이터가 수납 선반과 검사 장치(52)의 사이에서 프로브 카드(51)를 옮기는 경우에는 반송대차(54)를 사용하고, 반송대차(54)와 검사 장치(52)의 카드 반송 장치(52B)와의 사이에서 프로브 카드(51)의 탑재 이송 작업을 실행하는 경우에는 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치(55)를 사용해서, 오퍼레이터의 부담을 경감시키고 있다. 오퍼레이터가 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치(55)를 사용하는 경우에는 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치(55)의 유지부에의해 카드 반송 장치(52B) 상 또는 반송대차(54) 상의 프로브 카드(51)를 유지시키고, 유지를 해제하는 작업을 실행하는 것만으로 실질적인 육체 노동을 각별히 경감할 수 있다. 반송대차(54)와 검사 장치(52)의 카드 반송 장치(52B)와의 사이에서 프로브 카드(51)를 탑재 이송할 때에는, 오퍼레이터가 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치(55)를 조작한다. 또한, 반송대차(54)는 복수개의 프로브 카드(51)를 수납하도록 복수단에 걸쳐 수납 가능하게 마련된 선반을 갖고, 이들 선반에 트레이에 수납된 프로브 카드(51)를 수납하도록 되어있다.
그리하여, 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치(55)는, 도 2의 (a), (b)에 도시하는 바와 같이 프로브 카드(51)를 유지하는 유지구(551)와, 이 유지구(551)가 선단부에 부착된 신축 가능한 아암(552)과, 이 아암(552)을 지지하는 선회 가능한 지지체(553)와, 이 지지체(553)를 거쳐서 프로브 카드(51)를 중량 구분하여 승강시키는 승강 구동 장치(554)를 구성하는 에어 실린더(554A)를 구비하며, 검사 장치(52) 의 측쪽에 부설되어 있다.
아암(552)은 도 2의 (a), (b)에 도시하는 바와 같이 제 1 아암(552A)과, 제 1 아암(552A)에 대해 미끄럼 운동이 자유롭도록 부착된 제 2 아암(552B)을 갖고, 제 2 아암(552B)이 제 1 아암(552A)에 대하여 전후로 이동하여 신축하도록 구성되어 있다. 또한, 아암(552)에는 조작 핸들(552C)이 부착되어, 조작 핸들(552C)을 잡고 아암(552)을 조작하도록 되어있다. 아암(552)의 길이는, 제 2 아암(552B)이 제 1 아암(552A)을 접동하지 않도록 조정 부재(552D)를 이용하여 제 1 아암(552A)에 고정하여 적절히 설정할 수 있도록 되어있다.
아암(552)은, 도 2의 (a), (b)에 도시하는 바와 같이 제 1 아암(552A)의 기단부가 지지체(553)의 상단부에 부착된 연결구(555)에 핀 결합되고, 가장 수축한 상태에서 지지체(553)측으로 접기 가능하게 구성되어 있다. 즉, 아암(552)의 베이스단은 제 1 핀(552E)을 거쳐서 연결구(555)에 핀 결합되어, 지지체(553)의 상하 방향의 약간 상부에는 핀을 갖는 브래킷(556)이 부착되어 있다. 그리고, 제 1 핀(552E)과 브래킷(556)의 핀에는 링크(557)의 양단부가 연결되어 있다. 따라서, 아암(552)은 링크(557)를 거쳐서 수평 방향까지 일으킬 수 있도록 되어있다. 링크(557)의 아암(552)측의 단부에는 제 2 핀(557A)이 부착되고, 또한, 지지체(553)의 측면에는 걸이 부재(558)가 부착되며, 이 걸이 부재(558)를 제 2 핀(557A)에 걸어 아암(552)을 수평으로 유지하도록 하고있다.
지지체(553) 및 에어 실린더(554A)는, 도 2의 (a), (b)에 도시하는 바와 같이 모두 베이스대(559)의 선단부에 회전이 자유롭도록 부착된 회전체(560)측에 연 결되고, 기대(559)의 선단부에서 회전체(560)를 거쳐서 선회하도록 구성되어 있다. 또한, 지지체(553)의 배면에는 지지체(553)의 상하 방향을 따라서 가이드 레일(561)이 일체적으로 부착되어, 이 가이드 레일(561)과 계합하는 블럭(561A)이 회전체(560)에 고정되어 있다. 또한, 에어 실린더(554A)는, 동 도면의 (b)에 도시하는 바와 같이 실린더 본체의 상하 양단부가 회전체(560) 및 그것으로부터 하방으로 수직 하강하는 지주(560A)에서 수직으로 지지되어 있다. 그리고, 지지체(553)의 상단부에는 지지체(553)의 승강 동작과 선회 동작을 선도하는 선도 부재(561B)가 마련되고, 이 선도 부재(561B)의 일부가 역 U자 형상의 홈을 갖는 가이드 부재(561C)의 홈에 삽입되어 있다. 또한, 도 2의 (b)에 있어서, 554a는 실린더 커버로 피복된 실린더 로드이다.
그런데, 아암(552) 선단의 유지구(551)는, 도 3에 도시하는 바와 같이 직사각형 형상의 제 1 판 부재(551A)와, 제 1 판 부재(551A)의 중심의 상방에 배치된 원형 형상의 제 2 판 부재(551B)와, 제 1, 제 2 판 부재(551A, 551B)를 서로 연결하는 연결 부재(551C)를 구비하고, 제 1 판 부재(551A)의 양단부에 형성된 한 쌍의 홈(551D)에서 프로브 카드(51)를 유지하도록 구성되어 있다. 한 쌍의 홈(551D)은, 프로브 카드(51)의 한 쌍의 손잡이(51A)의 간격 및 손잡이(51A)의 제 1 판 부재(551A)에서 유지되는 직선부의 길이에 맞춰 제 1 판 부재(551A)의 전체 폭에 걸쳐 형성되어 있다. 또한, 연결 부재(551C)는, 원형 형상의 제 2 판 부재의 외주연부 전둘레에 걸쳐 서로 등간격을 두어 복수 부착되어 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 제 1 판 부재(551A)는, 중앙의 판과 그 좌우의 판 3장으로 형성되어 있다.
또한, 유지구(551)는, 도 3, 도 4의 (a), (b)에 도시하는 바와 같이 토글 장치(562)를 거쳐서 프로브 카드(51)를 유지할 때에 아암(552)의 선단에서 승강하도록 구성되어 있다. 즉, 토글 장치(562)는, 조작 레버(562A)와, 이 조작 레버(562A)에 링크 기구(562B)를 거쳐서 승강이 가능하도록 핀 결합하는 승강 로드(562C)를 갖고, 제 2 아암(552B)의 선단에 고정된 설치대(563)에 설치되어 있다.
설치대(563)는, 토글 장치(562)가 수평으로 설치되는 대략 사각형 형상의 설치부(563A)와, 설치부(563A)의 양측단에 형성된 한 쌍의 측면부(563B)와, 이들 측면부(563B, 563B) 사이를 연결하는 배면부(563C)를 갖고, 설치부(563A)의 후단과 배면부(563C)와의 사이에는 간격이 형성되어 있다. 토글 장치(562)의 승강 로드(562C)는, 설치부(563A)에 형성된 구멍을 관통하고, 그 하단에는 승강체(564)를 거쳐서 유지구(551)가 연결되어 있다.
승강체(564)는, 수평부(564A)와, 수평부(564A)의 후단부로부터 설치대(563)의 간격에 감입(嵌入)하는 수직부(564B)를 갖고, 수평부(564A)의 하면에 유지구(551)가 연결되어 있다. 승강체(564)는, 수직부(564B)와 설치대(563)의 배면부(563C)의 간격에 개재하는 리니어 가이드 기구(565)를 거쳐서 승강하도록 되어있다.
또한, 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치(55)에서 취급하는 프로브 카드(51)는, 예컨대 도 2의 (a), (b)에 도시하는 바와 같이 구성되어 있다. 즉, 프로브 카드(51)는 동일 도면에 도시하는 바와 같이 예컨대 회로 기판으로 이루어지는 대략 원형 형상의 카드 본체(51B)와, 카드 본체(51B)의 상면에 부착된 보강 부재(51C) 와, 카드 본체(51B)의 하면 중앙부에 부착된 복수의 프로브핀을 갖는 컨택터(도시하지 않음)를 갖고 있다. 보강 부재(51C)는 카드 본체(51B)의 중앙부에 형성된 직사각형부(51D)와, 직사각형부(51D)에서 카드 본체(51A)의 외주까지 방사상으로 신장하는 방사 형상부(51E)와, 방사 형상부(51E)의 직경 방향 중간정도에 형성된 링 형상부(51F)로 이루어져 있다. 직사각형부(51D)의 상면좌우에는 각각 부착 부재(51G)를 거쳐서 1 쌍의 손잡이(51A)가 부착되어 있다. 손잡이(51A)는, 사용하지 않을 때에는 각각 외측으로 누일 수 있도록 되어있다.
아암(552)을 승강시키는 승강 구동 장치(554)는, 예컨대 도 5에 도시하는 바와 같이 에어 실린더(554A)와, 에어 실린더(554A)에 구동 유체(압축 공기)를 공급하는 배관(554B)을 개폐하는 전자 밸브(예컨대 3 포트 밸브)(554C)와, 압축 공기의 압력을 프로브 카드(51)의 중량에 의거하여 제어하는 전공 레귤레이터(554D)와, 전공 레귤레이터(554D)에 대하여 프로브 카드(51)의 중량에 적당한 압축 공기의 압력값을 미리 선택해서 입력하는 입력 단자(554E)와, 압축 공기의 압력을 검출하는 압력 센서(554F)를 갖고, 입력 단자(554E)로부터의 입력값에 의거하여 전자 밸브(554C)와 전공 레귤레이터(554D)가 협동하여 에어 실린더(554A)를 구동 제어한다.
또한, 승강 구동 장치(554)는, 조작 핸들(552C)을 잡고 조작할 때에 기능하는 조작 스위치(554G)를 갖고, 후술하는 바와 같이, 조작 스위치(554I)를 거쳐서 전자 밸브(554C)와 전공 레귤레이터(554D)를 개폐 제어하도록 되어있다. 즉, 조작 스위치(554G)는, 제어부(554H)를 거쳐서 입력 단자(554E)에 대하여 전기적으로 접 속되고, 조작 스위치(554G)가 온 상태가 되었을 때만, 제어부(554H)를 거쳐서 입력 단자(554E)의 입력값에 근거하여 전공 레귤레이터(554D)가 작동함과 동시에 전자 밸브(554C)가 열린 상태가 된다.
더욱 말하자면, 조작 스위치(554G)가 온일 때에는, 제어부(554H)를 거쳐서 전자밸브(554C)를 열고 전공 레귤레이터(554D)의 제어하에서 에어 실린더(554A)로 압축 공기를 공급한다. 또한, 조작 스위치(554G)가 오프일 때에는 제어부(554H)를 거쳐서 전자 밸브(554C)를 닫고, 압축 공기를 에어 실린더(554A)내에 밀봉하여, 에어 실린더(554A)를 멈춰 아암(552)을 하강 도중에서 정지시킨다. 예컨대, 프로브 카드(51)의 중량이 입력 단자(554E)의 입력 중량보다 클 때에는, 조작 핸들(552C)을 잡고 아암(552)을 선회시킬 때에, 에어 실린더(554A)의 밀어 들어올리는 힘이 부족하여, 아암(552)이 자중으로 하강하기 시작한다. 이 때, 그것에 알아차리지 못하는 오퍼레이터의 손으로부터 조작 핸들(552C)이 놓아지면, 조작 스위치(554G)가 오프로 되어 전자 밸브(554C)를 닫고, 그때까지 에어 실린더(554A)에 공급된 압축 공기가 에어 실린더(554A)내에 밀봉된다. 이에 의해서, 아암(552)이 프로브 카드(51)의 자중으로 하강하고, 압축 공기의 작용으로 아암(552)은 도중에서 정지하여, 프로브 카드(51)의 낙하를 방지할 수 있다. 또한, 입력 단자(554E)에 프로브 카드(51)의 중량을 과소하게 설정한 경우에도, 조작 핸들(552C)이 오퍼레이터의 손을 떠나, 상술한 경우와 동일하게 에어 실린더(554A)의 급격한 상승을 정지시킨다. 또한, 도 5에 있어서, 554I는 미스트 세퍼레이터이다.
다음에, 동작에 대하여 설명한다. 검사 설비(50)에 있어서, 오퍼레이터가 검사 장치(52)의 프로브 카드(51)를 장착 또는 교환할 때에는, 수납 선반으로부터 프로브 카드(51)를 꺼내고, 반송대차(54)에 프로브 카드(51)를 트레이와 함께 필요 매수 수납한다. 그리고, 오퍼레이터는, 도 1에 도시하는 바와 같이 반송대차(54)를 목적하는 검사 장치(52)까지 이동시킨다.
오퍼레이터는 선반의 위에 트레이와 함께 수납된 프로브 카드(51)를 선반에 실은 상태로 반송대차(54)로부터 인출하여, 반송대차(54)의 상면에 싣는다. 프로브 카드(51)만을 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치(55)를 사용하여 검사 장치(52)에 탑재 이송한다. 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치(55)를 사용하는 경우에는, 승강 구동 장치(554)의 입력 단자(554E)를 거쳐서 프로브 카드(51)의 중량을 미리 설정한다. 그리고, 아암(552)을 링크(557)를 거쳐서 아암(552)을 일으켜, 걸이 부재(558)를 제 2 핀(557A)에 걸어 아암(552)을 수평으로 유지한다. 이 상태에서 조작 핸들(552C)을 조작하여 아암(552)을 프로브 카드(51)의 바로 위까지 선회시켜, 유지구(551)를 프로브 카드(51)의 중앙에 맞춘다.
그래서, 조작 핸들(552C)을 이용하여 유지구(551)를 프로브 카드(51)중심의 근방까지 밀어내려 제 1 판 부재(551A)를 손잡이(51A, 51A)의 중간 위치에 위치시킨다. 이 상태에서 프로브 카드(51)의 손잡이(51A, 51A)를 일으키면, 손잡이(51A, 51A)가 유지구(551)의 제 1 판 부재(551A)의 좌우의 홈(551D)의 바로 위에 온다. 이어서, 토글 장치(562)의 조작 레버(562A)를 도 3에 도시하는 위치까지 반전시켜, 승강 로드(562C)가 승강체(564)를 거쳐서 유지구(551)를 들어 올리면, 도 3 및 도 4에 도시하는 바와 같이 손잡이(51A, 51A)가 제 1 판 부재(551A)의 좌우의 홈(551D, 551D)에 끼워 넣어진다. 이 때, 오퍼레이터가 조작 핸들(552C)을 잡고 조작 스위치(554G)를 온으로 하면, 압력 센서(554F)는 정상적인 압축 공기의 압력을 검출하여 온으로 되어있기 때문에, 전자 밸브(554C)는 열린 상태가 되어 전공 레귤레이터(554D)의 제어하에서 에어 실린더(554A)내에 프로브 카드(51)의 입력 중량에 근거한 소정 압력의 압축 공기가 공급된다. 이에 의해 아암(552)이 프로브 카드(51)를 반송대차(54)의 선반으로부터 들어 올리는 방향으로 보조력이 부여된다. 이 상태에서 오퍼레이터는 조작 핸들(552C)을 조작하여, 프로브 카드(51)를 반송대차(54)의 선반으로부터 들어 올리고, 또한 아암(552)을 검사 장치(52)측으로 선회시켜, 프로브 카드(51)를 검사 장치(52)의 카드 반송 장치(52B)의 바로 위까지 반송한다.
카드 반송 장치(52B)의 바로 위에서 조작 핸들(552C)을 밀어내려, 프로브 카드(51)를 카드 반송 장치(52B) 상에 착지시킨 후, 토글 장치(562)의 조작 레버(562A)를 도 3이 도시하는 위치로부터 반전시켜 유지구(551)를 하강시키고, 제 1 판 부재(551A)를 프로브 카드(51)의 손잡이(51A, 51A)로부터 뗀다. 이어서, 손잡이(51A, 51A)를 카드 본체(51B)측으로 뉘어 제 1 판 부재(551A)로부터 분리하고, 유지구(551)로부터 프로브 카드(51)를 개방하여, 프로브 카드(51)의 탑재 이송 작업을 종료한다.
그러나, 만일, 프로브 카드(51)의 중량을, 예컨대 실제의 중량보다도 가벼운 것으로 잘못하여 입력 단자(554E)에 입력하여, 조작 핸들(552C)을 잡아 조작 스위치(554G)가 온이 되어 에어 실린더(554A)가 전공 레귤레이터(554D)의 제어하에서 작동하면, 아암(552)을 선회시킬 때에 아암(552)이 프로브 카드(51)의 과대중량으로 강하하여, 조작 핸들(552C)이 오퍼레이터의 손으로부터 놓아지는 경우가 있다. 이 경우에는, 조작 스위치(554G)가 자동적으로 오프로 되어 전자 밸브(554C)를 닫고, 에어 실린더(554A)내에 그때까지 공급된 압축 공기를 밀봉한다. 이에 의해서 아암(552)은 다소 하강하더라도, 그 동안의 에어 실린더(554A)내의 압축 공기의 승압에 의해서 도중에서 아암(552)의 강하가 멈춰, 프로브 카드(51)가 반송대차(54) 등에 충돌하는 일도 없으며, 프로브 카드(51)의 손상을 방지할 수 있다.
또한, 검사 장치(52)로부터 반송대차(54)에 프로브 카드(51)를 탑재 이송하는 경우에도 상술한 순서로 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치(55)를 사용함으로써, 프로브 카드(51)를 원활하게 탑재 이송할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이 본 실시형태에 의하면, 웨이퍼의 전기적 특성 검사를 실행하기 위한 프로브 카드(51)를 갖는 검사 장치(52)(도 1에서는 1대만 도시하고 있다)와, 이 검사 장치(52)가 복수 배치된 통로(53)를 따라서 프로브 카드(51)를 반송하는 반송대차(54)와, 이 반송대차(54)와 각 검사 장치(52)의 장치 본체(52A)에 마련된 카드 반송 장치(52B)와의 사이에서 프로브 카드(51)의 탑재 이송 작업을 보조하는 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치(55)를 구비한 검사 설비(50)로서, 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치(55)는, 프로브 카드(51)를, 그 손잡이(51A)를 걸어 유지하는 유지구(551)와, 이 유지구(551)가 선단부에 부착된 신축 가능한 아암(552)과, 이 아암(552)을 지지하는 선회가 자유로운 지지체(553)와, 이 지지체(553)를 거쳐서 프로브 카드(51)를 중량 구분하여 승강시키는 승강 구동 장 치(554)를 구비하고 있기 때문에, 프로브 카드(51)를 유지구(551)로 유지하여, 승강 구동 장치(554)로 아암(552)을 반송대차(54) 또는 검사 장치(52)의 카드 반송 장치(52B)로부터 들어 올리고, 조작 핸들(552C)을 조작하여 아암(552)을 선회시키는 것만으로, 오퍼레이터는 힘들이는 일없이 프로브 카드(51)를 반송대차(54)와 검사 장치(52)의 카드 반송 장치(52B)와의 사이에서 쉽게 탑재 이송할 수 있어, 오퍼레이터의 부하를 각별히 경감할 수 있다.
또한, 아암(552)은, 줄어든 상태에서 회전체(560)를 중심으로 선회하여 유지구(551)로 유지된 프로브 카드(51)를 이동시키기 때문에, 아암(552)의 베이스단을 중심으로 하는 이동 범위를 최소한으로 억제할 수 있다. 따라서, 검사 설비(50)의 공간 절약화를 위해 복수의 검사 장치(52)가 밀집하여, 인접하는 검사 장치(52)간의 간격이 좁아 이 간격에 반송대차(54)를 배치할 수 없더라도, 통로(53)에 배치한 반송대차(54)로부터 검사 장치(52)측에의 아암(552)의 선회 영역을 확보할 수 있음과 동시에 오퍼레이터가 들어가는 공간을 확보할 수 있다.
또한, 본 실시형태에 의하면, 유지구(551)는, 손잡이(51A, 51A)의 간격 및 손잡이(51A, 51A)의 제 1 판 부재(551A)에서 유지되는 직선부에 대응하는 홈(551D, 551D)을 갖기 때문에, 프로브 카드(51)를 확실히 유지하여, 안정한 상태로 프로브 카드(51)를 탑재 이송할 수 있다. 또한, 유지구(551)는, 손잡이(51A, 51A)를 홈(551D, 551D)에 걸어 유지하기 때문에, 유지한 프로브 카드(51)를 공중(空中)에서 소정의 장소에 둘 때에 아암(552)에 충분한 강성이 없고 조금 휘어도 아암(552)의 휨이 없어질 때까지 승강 구동 장치(554) 혹은 토글 장치(562)로 유지구(551)를 충분히 하강시키면 손잡이(51A, 51A)가 홈(551D, 551D)으로부터 떠오르기 때문에, 그 후 손잡이(51A, 51A)를 빼면 안정적으로 프로브 카드(51)의 설치 동작을 실행할 수 있다. 유지구(551)는, 프로브 카드(51)의 약간 상방에서 토글 장치(562)를 거쳐서 승강하도록 되어 있기 때문에, 승강 구동 장치(554)와 토글 장치(562)로 2단계로 유지구(551)의 높이를 설정할 수 있어, 유지구(551)를 카드 본체(51A)에 부딪쳐 손상시키는 것 같은 일이 없다.
또한, 승강 구동 장치(554)는, 아암(552)을 승강시키는 에어 실린더(554A)와, 에어 실린더(554A)에 압축 공기를 공급하는 배관(554B)을 개폐하는 전자 밸브(554C)와, 압축 공기의 압력을 프로브 카드(51)의 중량에 의거하여 제어하는 전공 레귤레이터(554D)와, 전공 레귤레이터(554D)에 대하여 프로브 카드(51)의 중량을 미리 입력하는 입력 단자(554E)와, 압축 공기의 압력을 검출하는 압력 센서(554F)를 갖기 때문에, 프로브 카드(51)의 중량에 의거하여 에어 실린더(554A)의 구동력을 제어할 수 있다. 또한, 프로브 카드(51)의 중량을 중량 센서로 측정하여, 측정 중량에 근거하여 에어 실린더(554A)의 구동력을 제어하더라도 좋다.
또한, 승강 구동 장치(554)는, 아암(552)을 조작할 때에 기능하는 조작 스위치(554G)를 갖고, 조작 스위치(554G)와 압력 센서(554F)가 연휴하여 전자 밸브(554C)를 개폐하기 때문에, 오퍼레이터의 손으로부터 조작 핸들(552C)이 놓아지면 조작 스위치(554G)가 자동적으로 오프로 되어 전자 밸브(554C)를 닫아 아암(552)이 프로브 카드(51)의 자중으로 강하하는 것을 억제하여, 프로브 카드(51)의 손상을 방지할 수 있다.
(제 2 실시형태)
본 실시형태의 프로브 카드의 탑재 이송 보조 장치는, 유지부 이외는, 기본적으로는 제 1 실시형태에 준하여 구성되어 있기 때문에, 제 1 실시형태와 동일 또는 상당 부분에는 동일한 부호를 부여하여 본 실시형태의 특징을 중심으로 설명한다.
본 실시형태의 프로브 카드의 탑재 이송 보조 장치(55A)는, 예컨대 도 6의 (a), (b)에 도시하는 바와 같이 유지구(551'), 아암(552) 및 도 2의 (a),(b)에 도시하는 바와 같이 지지체(553) 및 승강 구동 장치(554)(도 1 참조)를 구비하여 구성되어 있다.
본 실시형태에 있어서의 유지구(551‘)는, 도 6의 (a), (b)에 도시하는 바와 같이 프로브 카드(51)의 손잡이(51A)를 거는 홈(551D)이 형성된 제 1 판 부재(551A)와, 제 1 판 부재(551A)의 상방에 배치되고 또한 제 1 판 부재(551A)를 승강 가능하게 유지하는 제 2 판 부재(551B)와, 제 1, 제 2 판 부재(551A, 551B)의 간격의 변화를 검출하는 카드 검출 센서(551E)를 갖고 있다.
제 1 판 부재(551A)는, 제 2 판 부재(551B)에 의해서 승강 가능하게 유지되어 있다. 즉, 도 6의 (a)에 도시하는 바와 같이 원형 형상의 제 2 판 부재(551B)의 외주연부에는 둘레 방향 등 간격을 띄워 복수의 탄성 부재(예컨대, 스프링부재)(551C)가 부착되어, 이들 스프링 부재(551C)의 하단에는 제 1 판 부재(551A)가 연결되어 있다. 또한, 제 2 판 부재(551B)의 외주연부에는 둘레 방향 등 간격을 띄워 복수의 신축 기구(551F)가 스프링 부재(551C)의 외측에 위치하여 부착되어 있다. 신축기구(551F)는, 예컨대, 제 1 판 부재(551A)에 세워 설치된 로드와, 제 2 판 부재(551B)에서 수하하는 드라이 부싱로 이루어져, 스프링 부재(551C)의 신축에 동기(同期)하여 로드가 드라이 부싱(Bushing) 내에서 상하동한다.
도 6의 (a)에 도시하는 바와 같이 제 2 판 부재(551B)의 중앙으로부터 예컨대 원주 형상의 승강 가이드(551G)가 수하하고, 승강 가이드(551G)는 제 1 판 부재(551A)의 중앙에 형성된 구멍을 관통하고 있다. 승강 가이드(551G)의 하단에는 플랜지가 형성되어, 이 플랜지로에 의해 프로브 카드(51)의 자중으로 하강하는 제 1에 판 부재(551A)를 걸리도록 하고 있다. 또한, 제 1 판 부재(551A)의 상면에는 제 1 판 부재(551A)가 승강 가이드(551G)를 따라 원활하게 승강하도록 컬러(551H)가 마련되어 있다.
또한, 도 6의 (b)에 도시하는 바와 같이 예컨대 제 1 판 부재(551A)의 상면에는 제 1 판 부재(551A)의 둘레 방향으로 서로 180°사이를 두고 위치하도록 카드 검출 센서(551E)가 마련되어, 카드 검출 센서(551E)에서 프로브 카드(51)를 검출하도록 되어 있다. 이들 카드 검출 센서(예컨대, 용량 센서)(551E)는, 프로브 카드(51)의 자중으로 제 1 판 부재(551A)가 스프링 부재(551C)의 스프링력에 저항하여 승강 가이드(551G)를 따라 하강했을 때에, 제 1, 제 2 판 부재(551A, 551B)의 간격의 변화에 근거하여 프로브 카드(51)를 유지한 것을 검출하도록 되어 있다. 또한, 카드 검출 센서(551E)는 제 2 판 부재(551B) 측에 마련하더라도 좋다. 카드 검출센서(551E)로서는, 용량 센서 이외에도 광학 센서 등을 이용할 수 있다.
또한, 본 실시형태에 이용되는 승강 구동 장치(554)는, 예컨대 도 7에 도시하는 바와 같이 기본적으로는 상기 실시형태와 동일하게, 에어 실린더(554A), 배관(554B), 전자 밸브(554C), 전공 레귤레이터(554D), 입력 단자(554E), 압력 센서(554F), 조작 스위치(554G), 제어부(554H) 및 미스트 세퍼레이터(554I)를 갖고 있다. 그리고, 카드 검출 센서(551E) 및 조작 스위치(554G)가 같이 온 상태가 되었을 때만, 제어부(554H)를 거쳐서 입력 단자(554E)의 입력값에 근거하여 전공 레귤레이터(554D)가 작동함과 동시에 전자 밸브(554C)가 열린 상태가 된다.
다음에, 프로브 카드의 탑재 이송 보조 장치(55A)의 동작에 대하여 설명한다. 본 실시형태에서는, 상기 실시형태와의 상위점을 중심으로 설명한다. 상기 실시형태와 동일하게 조작 핸들(552C)을 거쳐서 유지구(551')를 프로브 카드(51)의 중앙 바로 위까지 이동시킨다. 이어서, 토글 장치(562)를 조작하여 유지구(551')의 제 1 판 부재(551A)를 카드 본체(51B)의 가까이까지 하강시킨 후, 손잡이(51A, 51A)를 카드 본체(51B)로부터 일으켜 세운다.
그 후, 토글 장치(562)의 조작레버(562A)를 조작하여 유지구(551')가 상승하면, 손잡이(51A, 51A)가 제 1 판 부재(551A)의 홈(551D, 551D)에 끼워 넣어져, 제 1 판 부재(551A)가 스프링 부재(551C)에 저항하여 승강 가이드(551G)를 따라서 하강하고, 제 1 판 부재(551A)가 승강 가이드(551G)의 플랜지에서 멈춘 시점에서 프로브 카드(51)가 부상한다. 스프링 부재(551C)가 신장하여 제 1 판 부재(551A)가 제 2 판 부재(551B)로부터 하강하기 시작했을 때에, 카드 검출 센서(551E)가 제 1, 제 2 판 부재(551A, 551B)의 간격의 변화에 근거하여 프로브 카드(51)를 검출하고, 그 검출 신호를 제어부(554H)로 송신한다.
그 후, 오퍼레이터가 조작 핸들(552C)을 잡고 조작 스위치(554G)를 온으로 하면, 승강 구동 장치(554)의 제어부(554H)는, 조작 스위치(554G)와 카드 검출 센서(551E) 쌍방부터의 신호에 근거하여, 전자 밸브(554C)를 열린 상태로 하여 전공 레귤레이터(554D)의 제어하에서 에어 실린더(554A) 내에 프로브 카드(51)의 입력 중량에 근거한 소정의 압력의 압축 공기가 공급된다. 이에 의해 아암(552)은 보조력를 얻어 프로브 카드(51)를 반송대차(54)의 선반으로부터 들어 올린다. 이 상태에서 오퍼레이터는 조작 핸들(552C)을 조작하여, 아암(552)을 반송대차(54)와 검사 장치(52)와의 사이에서 선회시켜 프로브 카드(51)의 탑재 이송 작업을 실행한다. 그 외는, 상기 실시형태와 동일하다.
이상 설명한 바와 같이 본 실시형태에 의하면, 유지구(551')는 홈(551D)을 갖는 제 1 판 부재(551A)와, 제 1 판 부재(551A)의 상방에 배치되고 또한 제 1 판 부재(551A)를 승강 가능하게 지지하는 제 2 판 부재(551B)와, 제 1, 제 2 판 부재(551A, 551B)의 간격의 변화에 근거하여 프로브 카드(51)를 검출하는 카드 검출 센서(551E)를 갖기 때문에, 카드 검출 센서(551E)에 의해서 유지구(551')로 프로브 카드(51)를 유지한 것을 확실히 검출할 수 있다. 또한, 승강 구동 장치(554)는, 카드 검출 센서(551E) 및 조작 스위치(554G) 쌍방으로부터의 검출 신호에 근거하여 아암(552)에 보조력을 부여하고, 유지구(551')로 프로브 카드(51)를 검출했을 때만 프로브 카드(51)를 들어 올릴 수 있다. 그 외, 본 실시형태에 있어서도 상기 실시 형태와 동일한 작용 효과를 기대할 수 있다.
(제 3 실시형태)
본 실시형태의 프로브 카드의 탑재 이송 보조 장치는, 예컨대 도 8의 (a), (b)에 도시하는 바와 같이 유지구(551")의 구조를 달리하는 이외는, 제 1 실시형태와 동일하게 구성되어 있다. 그래서 본 실시형태에 있어서의 유지구(551)에 대하여 제 1 실시형태와 동일 또는 상당 부분에는 동일한 부호를 부여하여 본 실시형태의 특징을 중심으로 설명한다.
본 실시형태에 있어서의 유지구(551")는, 도 8의 (a), (b)에 도시하는 바와 같이 제 1 판 부재(551A)의 양단면에 한 쌍의 손잡이(51A)가 홈(551D)으로부터 빠지는 것을 방지하는 빠짐 방지 수단(551"I)을 마련한 점에 특징이 있다. 즉, 빠짐 방지 수단(551"I)은, 동 도면의 (a)에 도시하는 바와 같이 제 1 판 부재(551"A)의 단면에 핀(551J)을 거쳐서 부착되어 레버(551K)와, 이 레버(551K) 이면의 하단부에 형성된 반구 형상의 홈에 대하여 진퇴동(進退動)하는 가동핀(551L)을 구비하고 있다. 레버(551K)는, 동 도면의 (b)에 도시하는 바와 같이 홈(551M) 내에서 핀(551J)을 중심으로 수직 방향과 수평 방향인 90°의 범위로 세우거나 쓰러뜨려, 수직 위치에서 가동핀(551L)이 이면의 반구홈 내에 끼워 넣어져 수직 상태가 유지되어, 손잡이(51A)가 제 1 판 부재(551"A)의 홈(551D)으로부터 빠지지 않도록 한다. 손잡이(51A)를 제 1 판 부재(551"A)로부터 뺄 때에는, 레버(551K)를 쓰러 뜨 려 수평 상태로 하여 제 1 판 부재(551"A)의 단면에 형성된 얕은 홈(551M) 내에 수납한다.
따라서, 본 실시형태에 의하면, 제 1 판 부재(551"A)의 홈(551D)에 프로브 카드(51)의 손잡이(51A)를 걸고, 레버(551K)를 일으켜 가동핀(551L)으로 수직 상태를 유지하면, 유지구(551")가 다소 상하하더라도 손잡이(51A)는 제 1 판 부재(551"A)의 홈(551D)에서 빠지는 일이 없이, 프로브 카드(51)를 보다 안전히 탑재 이송할 수 있다.
(제 4 실시형태)
본 실시형태의 프로브 카드의 탑재 이송 보조 장치는, 예컨대 도 9에 도시하는 바와 같이 유지구(551''')의 빠짐 방지 수단(551I)을 달리하는 이외는, 제 3 실시형태와 동일하게 구성되어 있다. 그래서, 본 실시형태에 있어서의 유지구(551''')에 대하여 제 3 실시형태와 동일 또는 상당 부분에는 동일한 부호를 부여하여 본 실시형태의 특징을 중심으로 설명한다.
본 실시형태의 빠짐 방지 수단(551'''I)은, 도 9에 도시하는 바와 같이 제 1 판 부재(551A)의 양단면에 부착된 고무 등으로 이루어지는 가요성 부재(551N)에 의해서 구성되어 있다. 이 가요성 부재(551N)는, 사각형 형상으로, 제 1 판 부재(551A)의 단면 전면을 덮고 또한 제 1 판 부재(551A)의 상면에서 돌출하는 크기로 형성되어, 복수의 볼트(551O)에 의해서 제 1 판 부재의 단면에 고정되어 있다. 따라서, 프로브 카드(51)의 손잡이(51A)를, 가요성 부재(551N)를 넘어 제 1 판 부재(551A)의 홈(551D)에 걸면, 손잡이(51A)는 가요성 부재(551N)에 의해서 제 1 판 부재(551A)로부터 빠지는 일없이, 홈(551D)내에 머문다. 따라서, 본 실시형태에 있어서도 제 3 실시형태와 동일한 작용 효과를 기대할 수 있다.
(제 5 실시형태)
상기 각 실시형태에서는 유지구를 승강시키는 수단으로서 토글 장치(562)를 예로 들어 설명했지만, 본 실시형태와 같이 토글 장치(562) 대신에 도 10에 도시하는 승강 장치를 이용할 수도 있다. 이 승강 장치(562')는, 도 10에 도시하는 바와 같이 조작 핸들(562'A)과, 이 조작 핸들(562'A)에 연결된 승강 로드(562'B)와, 승강 로드(562'B)가 관통하는 상하에 제 1, 제 2 기판(562'C, 562'D)을 갖는 설치부(563A)를 구비하고, 승강 로드(562'B)의 하단에 유지구(도시하지 않음)가 연결되어 있다. 제 1 기판(562'C)에는 관통공의 둘레면에서 진퇴동하는 가동핀(562'E)이 내장되고, 제 2 기판(562'D)의 둘레면에는 승강 로드(562'B)의 수나사부(562'F)와 나사결합하는 암나사부(562'G)가 형성되어 있다. 또한, 승강 로드(562'B)의 상부에는 가동핀(562'E)이 감합(嵌合)하는 반구홈(562'H)이 형성되어 있다. 따라서, 조작 핸들(562'A)을 회동 조작하면, 승강 로드(562'B)가 제 2 기판(562'D)를 기준으로 승강하여, 유지구(551)를 승강시킬 수 있다.
유지구의 제 1 판 부재(도시하지 않음)에 프로브 카드의 손잡이(도시하지 않 음)를 거는 경우에는, 승강 장치(562)의 조작 핸들(562'A)를 조작하여 승강 로드(562'B)를 거쳐서 유지구(551)를 하강 단부에 위치시켜, 제 1 판 부재에 프로브 카드의 손잡이를 건다. 그리고, 조작 핸들(562'A)을 조작하여 유지구를 상승시키면, 승강 로드(562'B)의 반구홈(562'H)과 가동핀(562'E)의 선단이 감합하여 승강 로드(562'B)가 그 이상 상승하지 않고서 정지한다. 이 상태에서 아암(도시하지 않음)을 조작하여 프로브 카드를 소정의 위치로 탑재 이송한다.
(제 6 실시형태)
이하, 도 11 내지 도 14에 나타내는 실시형태에 근거하여 본 발명을 설명한다. 본 실시형태의 프로브 카드의 탑재 이송 보조 장치는, 고정구(662) 및 유지구(651)를 달리하는 이외는, 제 1 실시형태와 동일하게 구성되어 있다. 그래서, 본 실시형태에 있어서의 유지구에 대하여 제 1 실시형태와 동일 또는 상당 부분에는 동일한 부호를 부여하여 본 실시형태의 특징을 중심으로 설명한다.
또, 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치(55)는 도 11의 (a), (b)에 도시하는 바와 같이 프로브 카드(51)를 유지하는 유지구(651)와, 이 유지구(651)가 선단부에 부착된 신축 가능한 아암(552)과, 이 아암(552)을 지지하는 선회 가능한 지지체(553)와, 이 지지체(553)를 거쳐서 프로브 카드(51)를 중량 구분하여 승강시키는 승강 구동 장치(554)를 구성하는 에어 실린더(554A)를 구비하며, 검사 장치(52)의 측쪽에 부설되어 있다.
그런데, 아암(552) 선단의 유지구(651)는, 도 12 내지 도 14에 도시하는 바와 같이 원형 형상의 제 1 부재(651A)와, 제 1 부재(651A)의 중심의 상방에 배치되고 또한 제 1 부재(651A)와 대략 동일 직경으로 형성된 원형 형상의 제 2 부재(651B)와, 제 2 부재(651B)에 대하여 제 1 부재(651A)를 연결하는 복수(본 실시형태에서는, 4개)의 탄성 부재(예컨대, 스프링 부재)(651C)와, 제 1 부재(651A)의 하면에 부착된 복수(본 실시형태에서는, 4개)의 와이어(651D)와, 제 1, 제 2 부재(651A, 651B)의 간격의 변화를 검출하는 카드 검출 센서(예컨대, 용량 센서)(651E)를 가지고 있다. 이 유지구(651)는, 동 도면에 도시하는 바와 같이 측면 형상이 L 자 형상인 고정구(662)를 거쳐서 아암(552)의 선단에 고정되어 있다. 제 1 부재(651A)는 편평한 측벽을 가지는 바닥부를 구비한 통 형상으로 형성되고, 제 2 부재(651B)는 판 형상으로 형성되고, 제 1, 제 2 부재(651A, 651B)는, 동일 축심 상에 배치되어 있다. 와이어(651D)의 자유단(하단)에는 훅(651F)이 부착되어, 이 훅을 손잡이(651A)의 모서리에 마련된 구멍에 걸어 프로브 카드(51)를 매달아 올리도록 되어 있다.
도 12 및 도 13에 도시하는 바와 같이 스프링 부재(651C)는, 제 1 부재(651A)의 측벽의 내면을 따라 둘레 방향으로 등간격을 만들어 배치되고, 제 1 부재(651A)와 제 2 부재(651B)를 연결하고 있다. 또한, 제 1 부재(651A)의 측벽의 상면에는 둘레 방향 등 간격을 만들어 복수(본 실시형태에서는 4개)의 신축 기구(651G)가 배치되고, 이들의 신축 기구(651G)에 의해서 제 1 부재(651A)와 제 2 부재(651B)를 승강이 가능하도록 연결하고 있다. 신축 기구(651G)는, 예컨대, 제 1 부재(651A)의 측벽에 세워 설치된 로드와, 제 2 부재(651B)에서 수하하는 드라이부시로 이루어져, 스프링 부재(651C)의 신축과 동기하여 로드가 드라이부시내에서 상하동한다. 4개의 스프링 부재(651C)와 4개의 신축 기구(651G)는, 도 13의 (c)에 도시하는 바와 같이 서로 둘레 방향으로 45°씩 편의하여 배치되어 있다.
도 12 및 도 13의 (a)에 도시하는 바와 같이, 제 2 부재(651B)의 중앙으로부터 예컨대 원주 형상의 승강 가이드(651H)가 수하하여, 승강 가이드(651H)는 제 1 부재(651A)의 저면 중앙에 형성된 구멍을 관통하고 있다. 승강 가이드(651H)의 하단에는 플랜지가 형성되어, 이 플랜지에서 프로브 카드(51)의 자중으로 하강하는 제 1 부재(651A)를 계지하도록 되어 있다.
또한, 카드 검출 센서(651E)는, 도 12 및 도 13의 (b)에 도시하는 바와 같이 제 1 부재(651A)의 측벽 상면에 둘레 방향으로 서로 180°사이를 두고 2개 배치되어 있다. 이들 카드 검출 센서(651E)는, 프로브 카드(51)의 자중으로 제 1 부재(651A)가 스프링 부재(651C)의 스프링력에 저항하여 승강 가이드(651H)에 따라 하강했을 때에, 제 1, 제 2 부재(651A, 651B)의 간격의 변화에 근거하여 프로브 카드(51)를 유지한 것을 검출하도록 하고 있다. 카드 검출 센서(651E)는, 후술하는 바와 같이 승강 구동 장치(554)의 제어부에 대하여 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 본 실시형태에서는 카드 검출 센서(651E)를 제 1 부재(651A)에 마련하고 있지만, 제 2 부재(651B) 측에 마련해도 좋다. 또한, 카드 검출 센서(651E)는, 용량 센서 이외에도 광학 센서 등을 이용할 수도 있다.
또한, 승강 구동 장치(554)는, 조작 핸들(552C)을 잡고 조작할 때에 기능하 는 조작 스위치(654G)(도 7 참조)를 가지며, 후술하는 바와 같이, 조작 스위치(554G)가 카드 검출 센서(651E)와 협동하여 전자 밸브(554C)와 전공 레귤레이터(554D)를 개폐 제어하도록 되어있다. 즉, 카드 검출 센서(651E) 및 조작 스위치(554G)는, 제어부(654H)를 거쳐서 입력 단자(554E)에 대하여 전기적으로 접속되고, 카드 검출 센서(651E) 및 조작 스위치(554G)의 쌍방이 온일 때에 제어부(554H)를 거쳐서 입력 단자(554E)의 입력값에 근거하여 전공 레귤레이터(554D)가 작동함과 동시에 전자 밸브(554C)가 열린 상태가 된다.
또한 말하자면, 카드 검출 센서(651E) 및 조작 스위치(554G)의 쌍방이 온일 때에는, 제어부(554H)를 거쳐서 전자 밸브(554C)를 열어 전공 레귤레이터(554D)의 제어하에서 에어 실린더(554A)로 압축 공기를 공급한다. 또한, 카드 검출 센서(651E), 조작 스위치(554G) 중 어느 하나라도 오프일 때에는 제어부(554H)를 거쳐서 전자 밸브(554C)를 닫고, 압축 공기를 에어 실린더(554A)내에 밀봉하여, 에어 실린더(554A)를 멈추어 아암(552)을 하강 도중에 정지시킨다. 예컨대, 프로브 카드(51)의 중량이 입력 단자(554E)의 입력 중량보다 클 때에는, 조작 핸들(552C)을 잡고 아암(552)을 선회시킬 때에, 에어 실린더(554A)의 밀어 올리는 힘이 부족하여, 아암(552)이 자중(自重)으로 하강하기 시작한다. 이 때, 그것에 알아차리지 못한 오퍼레이터의 손으로부터 조작 핸들(552C)이 놓아지면, 조작 스위치(554G)가 오프가 되어 전자 밸브(554C)를 닫고, 그때까지 에어 실린더(554A)에 공급된 압축 공기가 에어 실린더(554A)내에 밀봉된다. 이에 의해서, 아암(552)이 프로브 카드(51)의 자중으로 하강하고, 압축 공기의 움직임으로 아암(552)은 도중에 정지하 여, 프로브 카드(51)의 낙하를 방지할 수 있다. 또한, 입력 단자(554E)에 프로브 카드(51)의 중량을 과소하게 설정한 경우에도, 조작 핸들(552C)이 오퍼레이터의 손을 떠나, 상술한 경우와 동일하게 에어 실린더(554A)의 급격한 상승을 정지시킨다. 또한, 도 7에 있어서, 554I는 미스트 세퍼레이터이다.
다음에, 동작에 대하여 설명한다. 검사설비(50)에 있어서, 오퍼레이터가 검사 장치(52)의 프로브 카드(51)를 장착 또는 교환할 때에는, 수납선반으로부터 프로브 카드(51)를 꺼내고, 반송대차(54)에 프로브 카드(51)를 트레이와 함께 필요한 매수를 수납한다. 그리고, 오퍼레이터는, 도 1에 도시하는 바와 같이 반송대차(54)를 원하는 검사 장치(52)까지 이동시킨다.
오퍼레이터는 선반의 위에 트레이와 함께 수납된 프로브 카드(51)를 선반에 실은 상태로 반송대차(54)로부터 인출하여, 반송대차(54)의 상면에 싣는다. 프로브 카드(51)만을 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치(55)를 사용하여 검사 장치(52)에 탑재 이송한다. 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치(55)를 사용하는 경우에는, 승강 구동 장치(554)의 입력 단자(554E)를 거쳐서 프로브 카드(51)의 중량을 미리 설정한다. 그리고, 아암(552)을 일으켜, 걸이 부재(558)를 제 2 핀(557A)에 걸어 아암(552)을 수평으로 유지한다. 이 상태로 조작 핸들(651H)을 조작하여 아암(552)을 선회시켜, 유지구(651)를 프로브 카드(51)의 대략 중앙에 맞춘다.
이어서, 조작 핸들(552C)을 이용하여 유지구(651)를 밀어내려 와이어(651D)의 훅을 손잡이(51A)의 구멍에 걸어지도록 한다. 이 상태로 프로브 카드(51)의 손잡이(51A, 51A)를 세워, 4개의 와이어(651D)의 훅(651F)을 한 쌍의 손잡이(51A, 51A)의 구멍에 각각 건다. 그리고, 오퍼레이터가 조작 스위치(554G)를 온으로 하면, 압력 센서(554F)는 정상적인 압축 공기의 압력을 검출하여 온으로 되어있기 때문에, 전자 밸브(554C)는 열린 상태가 되어 전공 레귤레이터(554D)의 제어하에서 에어 실린더(554A) 내에 프로브 카드(51)의 입력 중량에 근거한 소정 압력의 압축 공기가 공급된다. 이에 의해 아암(552) 및 유지구(651)가 상승하여 와이어(651D)가 길어져 느슨함이 없어지고, 또한 아암(552)이 상승하면 유지구(651)의 제 2 부재(651B)가 스프링 부재(651C)에 스프링력에 저항하여 상승하고, 제 1 부재(651A)와의 간격이 변화하면, 카드 검출 센서(651E)가 작동하여, 프로브 카드(51)를 검출하여, 반송대차(54)의 선반으로부터 프로브 카드(51)를 들어 올리는 방향으로 보조력이 부여된다. 이에 의해 제 2 부재(651B)가 상승하고, 승강 가이드(651H)의 플랜지가 제 1 부재(651A)에 닿으면, 프로브 카드(51)가 반송대차(54)의 선반으로부터 들어 올려진다. 이 상태에서 오퍼레이터는 조작 핸들(552C)을 조작하여, 아암(552)을 검사 장치(52)측으로 선회시켜, 프로브 카드(51)를 검사 장치(52)의 카드 반송 장치(52B)의 바로 위까지 반송한다.
카드 반송 장치(52B)의 바로 위에서 조작 스위치(554G)를 오프로 하여 조작 핸들(552C)을 밀어내려, 프로브 카드(51)를 카드 반송 장치(52B) 상에 착지시킨다. 그 후, 와이어(651D)의 훅(651F)을 손잡이(51A, 51A)에서 분리하여, 유지구(651)로부터 프로브 카드(51)를 해방하여, 프로브 카드(51)의 탑재 이송 작업을 종료한다.
또한, 검사 장치(52)로부터 반송대차(54)로 프로브 카드(51)를 탑재 이송하는 경우에도 상술한 순서로 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치(55)를 사용함으로써, 프로브 카드(51)를 원활하게 탑재 이송할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이 본 실시형태에 의하면, 웨이퍼의 전기적 특성 검사를 실행하기 위한 프로브 카드(51)를 가지는 검사 장치(52)(도 1에서는 1대만 도시하고 있다)와, 이 검사 장치(52)가 복수 배치된 통로(53)를 따라서 프로브 카드(51)를 반송하는 반송대차(54)와, 이 반송대차(54)와 각 검사 장치(52)의 장치 본체(52A)에 마련된 카드 반송 장치(52B)와의 사이에서 프로브 카드(51)의 탑재 이송 작업을 보조하는 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치(55)를 구비한 검사 설비(50)로서, 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치(55)는 프로브 카드(51)를 그 손잡이(51A)를 걸어 유지하는 유지구(651)와, 이 유지구(651)가 선단부에 부착된 신축 가능한 아암(552)과, 이 아암(552)을 지지하는 선회가 자유로운 지지체(553)와, 이 지지체(553)를 거쳐서 프로브 카드(51)를 중량 구분하여 승강시키는 승강 구동 장치(554)를 구비하고 있기 때문에, 유지구(651)의 와이어(651D)로 프로브 카드(51)를 유지하고, 승강 구동 장치(554)로 아암(552)을 반송대차(54) 또는 검사 장치(52)의 카드 반송 장치(52B)로부터 들어 올리고, 조작 핸들(552C)을 조작하여 아암(552)을 선회시키는 것만으로, 오퍼레이터는 힘들이는 일 없이 프로브 카드(51)를 반송대차(54)와 검사 장치(52)의 카드 반송 장치(52B)와의 사이에서 쉽게 탑재 이송할 수 있어, 오퍼레이터의 부하를 각별히 경감할 수 있다. 또한, 유지구(651)로 프로브 카드(51)를 유지하여 반송할 때에, 아암(552)의 강성이 불충분하고 아암(552)이 휘어도, 아암(552)의 휨이 없어질 때까지 승강 구동 장치(554)로 유지구(651)를 충분히 하강시키면, 와이어(651D)가 뻗고 있지 않은 상태에서 프로브 카 드(51)의 손잡이(51A, 51A)에 대하여 와이어(651D)를 장착 및 분리할 수 있으므로, 프로브 카드(51)를 안정적으로 탑재 이송할 수 있다.
또한, 본 실시형태에 의하면, 유지구(651)는, 원형 형상의 제 1 부재(651A)와, 제 1 부재(651A)의 중심의 상방에 배치되고 또한 제 1 부재(651)와 대략 동일 직경으로 형성된 원형 형상의 제 2 부재(651B)와, 제 2 부재(651B)에 대하여 제 1 부재(651A)를 승강이 가능하도록 연결하는 스프링 부재(651C)와, 제 1 부재(651A)의 하면에 부착된 4의 와이어(651D)와, 제 1, 제 2 부재(651A, 651B)의 간격의 변화를 검출하는 카드 검출 센서(651E)를 갖기 때문에, 카드 검출 센서(651E)에 의해서 유지구(651)로 프로브 카드(51)를 유지한 것을 확실히 검출할 수 있다. 또한, 승강 구동 장치(554)는, 카드 검출 센서(651E) 및 조작 스위치(554G) 쌍방부터의 검출 신호에 근거하여 아암(552)에 보조력을 부여하여 프로브 카드(51)를 들어 올릴 수 있다.
또한, 아암(552)은, 수축된 상태에서 회전체(560)를 중심으로 선회하여 유지구(651)로 유지된 프로브 카드(51)를 이동시키기 때문에, 아암(552)의 기초가 되는 단부를 중심으로 하는 이동 범위를 최소한으로 억제할 수 있다. 따라서, 검사 설비(50)의 공간 절약화를 위해 복수의 검사 장치(52)가 밀집하고, 이웃하는 검사 장치(52)간의 간격이 좁아 이 간격에 반송대차(54)를 배치할 수 없더라도, 통로(53)에 배치한 반송대차(54)로부터 검사 장치(52)측에의 아암(552)의 선회 영역을 확보할 수 있음과 동시에 오퍼레이터가 들어가는 스페이스를 확보할 수 있다.
또한, 승강 구동 장치(554)는, 아암(552)을 조작할 때에 기능하는 조작 스위 치(554G)를 가지고, 카드 검출 센서(651E), 조작 스위치(554G) 및 압력 센서(554F)가 연휴하여 전자 밸브(554C)를 개폐하기 때문에, 오퍼레이터의 손으로부터 조작 핸들(552C)이 멀어지면 조작 스위치(554G)가 자동적으로 오프가 되어 전자 밸브(554C)를 닫아 아암(552)이 프로브 카드(51)의 자중으로 강하하는 것을 억제하여, 프로브 카드(51)의 손상을 방지할 수 있다.
또한, 상기 각 실시형태에서는 프로브 카드를 단체로 탑재 이송하는 경우에 대하여 설명했지만, 카드 홀더 부착 프로브 카드에 대해서도 동일하게 탑재 이송할 수 있는 것은 말할 필요도 없다. 따라서, 본 발명은 상기 실시형태에 하등 제한되는 것이 아니고, 필요에 따라서 각 구성 요소를 설계 변경할 수 있다.
(산업상의 이용 가능성)
본 발명은, 프로브 카드를 구비한 검사 장치가 복수 배치된 검사 설비에 적합하게 이용할 수 있다.
본 발명의 청구항 1 내지 청구항 32에 기재된 발명에 의하면, 중량화한 프로브 카드이더라도 오퍼레이터의 부담을 경감할 수 있는 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치 및 검사 설비를 제공할 수 있다.

Claims (32)

  1. 전기적 검사 장치에 이용되는 프로브 카드의 탑재 이송 작업을 보조하는 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치에 있어서,
    상기 프로브 카드의 한 쌍의 손잡이를 걸거나 매달아 유지하는 유지부와,
    상기 유지부를 이동 가능하게 지지하는 지지부와,
    상기 지지부를 승강시키는 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 유지부는, 상기 한 쌍의 손잡이를 거는 홈을 가지며 상기 한 쌍의 손잡이를 각각 걸어 유지하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 유지부에, 상기 유지부에서 상기 한 쌍의 손잡이가 빠지는 것을 방지하는 빠짐 방지 수단을 마련한 것을 특징으로 하는 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 빠짐 방지 수단은, 상기 유지부의 단부에 일어남과 쓰러짐이 가능하도록 부착된 레버인 것을 특징으로 하는 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 빠짐 방지 수단은, 상기 유지부의 단부에 상기 홈으로부터 돌출하도록 부착된 가요성 부재인 것을 특징으로 하는 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치.
  6. 제 2 항에 있어서,
    상기 유지부는, 상기 홈을 갖는 제 1 판 부재와, 제 1 판 부재의 상방에 배치되고 또한 제 1 판 부재를 승강 가능하게 유지하는 제 2 판 부재와, 제 1, 제 2 판 부재의 간격의 변화를 검출하는 센서를 갖는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치.
  7. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 유지부는, 상기 지지부에서 돌출하는 신축 가능한 아암에 부착되어 있 는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 아암에, 상기 유지부를 승강시키는 수단을 마련한 것을 특징으로 하는 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 지지부의 승강 수단은, 상기 아암을 승강시키는 실린더 기구와, 상기 실린더 기구에 구동 유체를 공급하는 유로를 개폐하는 밸브와, 상기 구동 유체의 압력을 제어하는 레귤레이터와, 상기 프로브 카드의 중량에 근거한 상기 구동 유체의 압력을 제어하기 위해 상기 레귤레이터에 대하여 상기 중량을 미리 입력하는 입력 단자와, 상기 구동 유체의 압력을 검출하는 압력 센서를 갖는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치.
  10. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 지지부의 승강 수단은, 상기 프로브 카드를 밀어 올리는 방향에 보조력을 부여하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 탑재 이송 보조 장 치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 보조력은, 상기 프로브 카드의 중량에 대응하여 변경 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치.
  12. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 검사 장치에 부설한 것을 특징으로 하는 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치.
  13. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 검사 장치와 상기 검사 장치에 이용되는 프로브 카드를 반송하는 반송 수단과의 사이에서 상기 프로브 카드의 탑재 이송 작업을 보조할 때, 상기 검사 장치와 상기 반송 수단의 사이에 개재하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 반송 수단은, 반송대차인 것을 특징으로 하는 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치.
  15. 제 1 항에 있어서,
    상기 유지부는 상기 프로브 카드의 한 쌍의 손잡이를 끈 형상 부재로 매달아 유지하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 유지부는, 상기 끈 형상 부재가 복수 부착된 제 1 부재와, 제 1 부재의 상방에 배치되고 또한 제 1 부재가 승강이 가능하도록 연결된 제 2 부재와, 제 1, 제 2 부재의 간격의 변화를 검출하는 센서를 가지는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치.
  17. 전기적 검사 장치와, 이 전기적 검사 장치에 이용되는 프로브 카드의 탑재 이송 작업을 보조하는 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치를 구비하고,
    상기 프로브 카드 탑재 이송 보조 장치는,
    상기 프로브 카드의 한 쌍의 손잡이를 걸거나 매달아 유지하는 유지부와,
    상기 유지부를 이동 가능하게 지지하는 지지부와,
    상기 지지부를 승강시키는 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 검사 설비.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 유지부는, 상기 한 쌍의 손잡이를 거는 홈을 갖는 것을 특징으로 하는 검사 설비.
  19. 제 17 항 또는 제 18 항에 있어서,
    상기 유지부에, 상기 유지부로부터 상기 한 쌍의 손잡이가 빠지는 것을 방지하는 빠짐 방지 수단을 마련한 것을 특징으로 하는 검사 설비.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 빠짐 방지 수단은, 상기 유지부의 단부에 일어남과 쓰러짐이 가능하도록 부착된 레버인 것을 특징으로 하는 검사 설비.
  21. 제 19 항에 있어서,
    상기 빠짐 방지 수단은, 상기 유지부의 단부에 상기 홈으로부터 돌출하도록 부착된 가요성 부재인 것을 특징으로 하는 검사 설비.
  22. 제 18 항에 있어서,
    상기 유지부는, 상기 홈을 갖는 제 1 판 부재와, 제 1 판 부재의 상방에 배치되고 또한 제 1 판 부재를 승강 가능하게 유지하는 제 2 판 부재와, 제 1, 제 2 판 부재의 간격의 변화를 검출하는 센서를 갖는 것을 특징으로 하는 검사 설비.
  23. 제 17 항 또는 제 18 항에 있어서,
    상기 유지부는, 상기 지지부에서 돌출하는 신축 가능한 아암에 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 검사 설비.
  24. 제 23 항에 있어서,
    상기 아암에, 상기 유지부를 승강시키는 수단을 마련한 것을 특징으로 하는 검사 설비.
  25. 제 17 항 또는 제 18 항에 있어서,
    상기 지지부의 승강 수단은, 상기 아암을 승강시키는 실린더 기구와, 상기 실린더 기구에 구동 유체를 공급하는 유로를 개폐하는 밸브와, 상기 구동 유체의 압력을 제어하는 레귤레이터와, 상기 프로브 카드의 중량에 근거한 상기 구동 유체의 압력을 제어하기 위해 상기 레귤레이터에 대하여 상기 중량을 미리 입력하는 입력 단자와, 상기 구동 유체의 압력을 검출하는 압력 센서를 갖는 것을 특징으로 하는 검사 설비.
  26. 제 17 항 또는 제 18 항에 있어서,
    상기 지지부의 승강 수단은, 상기 프로브 카드를 밀어 올리는 방향에 보조력을 부여하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 검사 설비.
  27. 제 26 항에 있어서,
    상기 보조력은, 상기 프로브 카드의 중량에 대응하여 변경이 가능하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 검사 설비.
  28. 제 17 항 또는 제 18 항에 있어서,
    상기 검사 장치에 부설한 것을 특징으로 하는 검사 설비.
  29. 제 17 항 또는 제 18 항에 있어서,
    상기 검사 장치와 상기 검사 장치에 이용되는 프로브 카드를 반송하는 반송 수단과의 사이에서 상기 프로브 카드의 탑재 이송 작업을 보조할 때에, 상기 검사 장치와 상기 반송 수단의 사이에 개재하는 것을 특징으로 하는 검사 설비.
  30. 제 29 항에 있어서,
    상기 반송 수단은, 반송대차인 것을 특징으로 하는 검사 설비.
  31. 제 17 항에 있어서,
    상기 유지부는, 상기 프로브 카드의 한 쌍의 손잡이를 끈 형상 부재로 매달아 유지하는 것을 특징으로 하는 검사 설비.
  32. 제 31 항에 있어서,
    상기 유지부는, 상기 끈 형상 부재가 복수 부착된 제 1 부재와, 제 1 부재의 상방에 배치되고 또한 제 1 부재가 승강이 가능하도록 연결된 제 2 부재와, 제 1, 제 2 부재의 간격의 변화를 검출하는 센서를 가지는 것을 특징으로 하는 검사 설비.
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