KR20090027282A - 테스트 트레이 이송장치 및 그를 적용한 테스트 핸들러 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (9)
- 설치판;상기 설치판에 연결된 지지대;상기 지지대에 연결된 실린더 장치;상기 실린더 장치에 그 일단이 연결되고, 상기 설치판에 고정된 핀에 그 중심축이 연결되는 홀딩부재를 포함하여 이루어지며,상기 홀딩부재는 상기 실린더 장치의 승하강에 의해 상기 중심축을 축으로 회전하여 테스트 트레이를 홀딩 또는 홀딩 해제하는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이 이송장치.
- 제1항에 있어서,상기 실린더 장치 및 홀딩부재는 상기 설치판의 일측 및 타측에 쌍으로 형성되는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이 이송장치.
- 제1항에 있어서,상기 홀딩부재는, 테스트 트레이와 접하는 접촉면 및 상기 접촉면의 상측에서 연장된 돌출구를 갖는 홀딩부를 구비한 것을 특징으로 하는 테스트 트레이 이송장치.
- 가열영역 및 테스트영역을 구비한 제1챔버부;상기 제1챔버부의 일측면에 형성되며 냉각영역을 구비한 제2챔버부;상기 제1챔버부의 가열영역 전방에 형성된 제1버퍼부;상기 제1챔버부의 테스트영역 전방에 형성된 로딩/언로딩부;상기 제2챔버부의 전방에 형성된 제2버퍼부; 및테스트 트레이를 상기 제2버퍼부에서 상기 로딩/언로딩부로 이송함과 더불어 상기 로딩/언로딩부에서 상기 제1버퍼부로 이송하는, 상기 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 따른 테스트 트레이 이송장치를 포함하여 이루어진 테스트 핸들러.
- 제4항에 있어서,상기 제1버퍼부와 로딩/언로딩부 사이, 및 로딩/언로딩부와 상기 제2버퍼부 사이에는 테스트 트레이가 이동할 수 있는 레일이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
- 제4항에 있어서,상기 테스트 트레이 이송장치가 X축 방향으로 이동할 수 있도록 하는 X축 스테이지를 추가로 포함하고, 상기 테스트 트레이 이송장치는 상기 X축 스테이지를 따라 이동하는 연결부재를 상기 설치판에 구비한 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
- 제4항에 있어서,상기 제1챔버부에서 제2챔버부로 테스트 트레이가 이동할 수 있도록 상기 제1챔버부와 제2챔버부의 경계부에는 소정의 제1개구부 및 상기 제1개구부를 개폐하기 위한 개폐장치가 형성되어 있고,상기 제1버퍼부에서 상기 제1챔버부의 가열영역으로 테스트 트레이가 이동할 수 있도록 상기 제1버퍼부와 마주하는 제1챔버부의 측면에는 소정의 제2개구부 및 상기 제2개구부를 개폐하기 위한 개폐장치가 형성되어 있고,상기 제2챔버부에서 상기 제2버퍼부로 테스트 트레이가 이동할 수 있도록 상기 제2버퍼부와 마주하는 제2챔버부의 측면에는 소정의 제3개구부 및 상기 제3개구부를 개폐하기 위한 개폐장치가 형성되어 있고, 그리고,상기 개폐장치는 실린더, 상기 실린더와 연결되는 실린더 로드, 및 상기 실린더 로드와 연결되는 플레이트로 이루어져, 상기 플레이트가 상승 또는 하강하여 상기 제1개구부, 제2개구부 및 제3개구부를 열거나 닫도록 형성된 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
- 제4항에 있어서,상기 로딩/언로딩부의 전방 일측에는 테스트할 반도체 소자를 적재하는 로딩스택커가 구비되어 있고,상기 로딩/언로딩부의 전방 타측에는 테스트완료한 반도체 소자를 분리하여 적재하는 언로딩 스택커가 구비되어 있고,상기 로딩/언로딩부와 상기 로딩 스택커 사이 영역, 및 상기 로딩/언로딩부와 상기 언로딩 스택커 사이 영역에는 위치정렬장치가 구비되어 있으며,상기 로딩/언로딩부, 로딩 스택커, 언로딩 스택커 및 위치정렬장치 사이에서 반도체 소자를 이송하기 위해서, Y축 스테이지, 상기 Y축 스테이지에 연결된 X축 스테이지 및 상기 X축 스테이지에 연결된 픽커 유닛으로 이루어진 반도체 소자 이송기구가 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
- 제4항에 있어서,상기 제1챔버부 및 제2챔버부는 한 장의 테스트트레이가 수평상태로 진입하여 공정이 진행되도록 구성된 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
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