JP2003012146A - 基板用カセットの搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 カセットの除去作業が終了する前でも、
カセットの設置作業を行うことができるようにするこ
と。 【解決手段】 搬送装置１０は、基板収納用カセット１
４をカセット設置位置において受けたカセット設置台２
０をカセット設置位置に対し水平方向に位置する第１の
移載位置に変位させ、第１の移載位置においてカセット
１４をカセット設置台２０からカセット受け２４に渡
し、カセット受け２４を昇降機２６により第１の移載位
置に対し上方及び下方のいずれか一方に間隔をおいた第
２の移載位置に上昇又は下降させ、カセットを第２の移
載位置においてカセット受け２４から受けるカセット受
け台２８に渡し、カセット受け台２８を少なくとも第２
の移載位置に対し水平方向に位置するカセット除去位置
に変位させることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示パネルの
ような複数の基板を収納可能のカセットを搬送する装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示用パネルのような表示用基板
は、一般に、点灯検査のような各種の通電試験をされ
る。そのような試験すなわち検査は、検査すべき基板を
基板搬送装置により測定ステージすなわち検査ステージ
に搬送してその検査ステージに渡し、その検査ステージ
において基板の電極と接触子ユニットに設けられた接触
子とを相対的に押圧させて通電することにより行われ
る。測定済みすなわち検査済みの基板は、基板受けから
同じ基板搬送装置又は他の基板搬送装置に渡され、その
基板搬送装置から除去される。

【０００３】この種の検査装置において、検査すべき複
数の基板を上下方向に間隔をおいて収納可能のカセット
を用い、基板をロボットによりカセットから取り出して
基板搬送装置に渡す技術がある。この従来技術におい
て、カセット内の基板がなくなると、その空のカセット
は、検査装置から除去され、その代わりに複数の基板を
収納した新たなカセットが設置される。

【０００４】検査済みの基板を基板搬送装置から受けて
前記と同種のカセットに収納する技術もある。この従来
技術においては、検査装置に設置されているカセット内
の基板が満杯になると、そのカセットは検査装置から除
去され、その代わりに新たな空のカセットが検査装置に
設置される。

【０００５】

【解決しようとする課題】しかし、そのような従来技術
では、いずれも、検査装置からのカセットの除去作業が
終了した後に、検査装置へのカセットの設置作業を行わ
なければならず、したがって検査装置に対するカセット
の着脱に時間を要し、その間検査を中断しなければなら
ない。

【０００６】本発明の目的は、カセットの除去作業が終
了する前でも、カセットの設置作業を行うことができる
ようにすることにある。

【０００７】

【解決手段、作用、効果】本発明に係る搬送装置は、前
記基板収納用カセットを受けるカセット設置台と、該カ
セット設置台をカセット設置位置と該カセット設置位置
に対し水平の第１の方向に位置する第１の移載位置とに
変位させる第１の駆動機構と、前記カセットを前記カセ
ット設置台から前記第１の移載位置において受けるカセ
ット受けと、前記カセット受けを少なくとも前記第１の
移載位置と該第１の移載位置に対し上方及び下方のいず
れか一方に間隔をおいた第２の移載位置とに昇降させる
昇降機と、前記カセットを前記第２の移載位置において
前記カセット受けから受けるカセット受け台と、該カセ
ット受け台を少なくとも前記第１の方向に位置するカセ
ット除去位置とに変位させる第２の駆動機構とを含む。

【０００８】上記の搬送装置において、カセットは、先
ずカセット設置台に設置され、次いでカセット設置台と
共に第１の移載位置に移動されてその位置でカセット受
けに渡される。この第１の移載位置において、カセット
に対する基板の受け渡しが行われる。カセット設置台
は、カセット受けにカセットを渡した後に、カセット設
置位置に戻すことができる。

【０００９】カセットが空になるか又は検査済みの基板
で満杯になると、そのカセットは、カセット受けと共に
第２の移載位置に上昇又は下降されてその位置でカセッ
ト受け台に渡され、次いでカセット受け台と共にカセッ
ト除去位置に移動され、その後適宜な時期にカセット受
け台から除去される。

【００１０】新たなカセットは、カセット設置台がカセ
ット設置位置に戻った後の適宜な時期に、カセット台に
設置することができる。また、除去すべきカセットは、
そのカセットがカセット除去位置に移動された後の適宜
な時期に、カセット受け台から除去することができる。
それゆえに、カセットの除去作業が終了する前でも、カ
セットの設置作業を行うことができる。

【００１１】前記カセット設置台及び前記カセット受け
台のそれぞれは、前記第１の方向と交差する水平の第２
の方向へ伸びる第１の主体部と、カセットを受けるべく
前記第２の方向に間隔をおいて前記第１の主体部から前
記カセット受けの側へ伸びる複数の第１のアーム部とを
備え、前記カセット受けは、前記第２の方向へ伸びる第
２の主体部と、カセットの受け渡しをすべく前記第２の
方向に間隔をおいて前記第２の主体部から前記カセット
設置台及び前記カセット受け台の側へ伸びる複数の第２
のアーム部であって前記昇降機により隣り合う前記第１
のアーム部間を上下方向へ移動可能の複数の第２のアー
ム部とを備えることができる。そのようにすれば、カセ
ット受けをカセット設置台及びカセット受け台に対し昇
降させることにより、カセット設置台及びカセット受け
台に対するカセットの受け渡しをすることができる。

【００１２】前記カセット設置台及び前記カセット受け
台のそれぞれは、前記第１の方向と交差する水平の第２
の方向に間隔をおいて上方へ突出する複数の第１のスト
ッパを前記カセット受け側の端部に備えていると共に、
受けたカセットを前記ストッパに向けて押す１以上の第
１のプッシャとを備えていることができる。そのように
すれば、カセット設置台及びカセット受け台に対するカ
セットの位置決めが行われる。

【００１３】前記カセット受けは、前記第１の方向と交
差する水平の第２の方向に間隔をおいて上方へ突出する
複数の第２のストッパと、受けたカセットを前記ストッ
パに向けて押すべく該第２のストッパから前記カセット
設置台の側に間隔をおいた１以上の第２のプッシャとを
備えていることができる。そのようにすれば、カセット
受けに対するカセットの位置決めが行われる。

【００１４】前記第２のプッシャは、カセットに当接可
能の押圧部材と、該押圧部材を前記第１の方向へ変位さ
せると共に前記第１の方向へ伸びる軸線の周りに角度的
に回転させる駆動機構とを備えていることができる。そ
のようにすれば、カセットをカセット設置台からカセッ
ト受けに受ける際に、押圧部材を第１の方向へ伸びる軸
線の周りに角度的に回転させて、押圧部材をカセットの
受け渡しの妨げにならない位置に移動させることができ
る。

【００１５】好ましい実施例においては、前記カセット
設置位置及び前記第１の移載位置は、それぞれ、前記カ
セット除去位置及び前記第２の移載位置の上方に位置さ
れている。

【００１６】

【発明の実施の形態】図１から図５を参照するに、搬送
装置１０は、液晶を封入した矩形の液晶表示パネルを表
示用基板１２とし、２つのカセット１４を同時に搬送す
る装置として用いられる。

【００１７】以下の説明では、図１において、左右方向
（Ｙ方向）を「左右方向」といい、図面に垂直の方向
（Ｘ方向）を「前後方向」といい、上下方向（Ｚ方向）
を「上下方向」という。

【００１８】図示の例では、各カセット１４は複数の基
板１２を上下方向に間隔をおいて前後方向に３列ずつ水
平に収納可能に構成されており、また搬送装置１０は２
つのカセット１４が前後方向に整列して配置可能の構造
とされている。

【００１９】搬送装置１０は、未検査の複数の基板１２
を収納した２つのカセット１４をカセット設置位置に受
け、それらカセット１４をカセット設置位置から搬送装
置１０の右方に設置された基板移載装置１６の移載アー
ム１８により取り出すことができる第１の移載位置に移
動させ、空のカセット１４を第１の移載位置からその下
方の第２の移載位置に下降させ、空のカセット１４を第
２の移載位置の左方でかつカセット設置位置の下方に位
置するカセット除去位置に移動させる。

【００２０】搬送装置１０は、基板１２を収納したカセ
ット１４をカセット設置位置において受けるカセット設
置台２０と、カセット設置台２０をカセット設置位置と
第１の移載位置とに変位させる一対の第１の駆動機構２
２と、カセット１４を第１の移載位置においてカセット
設置台２０から受けるカセット受け２４と、カセット受
け２４を第１及び第２の移載位置を昇降させる昇降機２
６と、空のカセット１４を第２の移載位置において昇降
機２６から受けるカセット受け台２８と、カセット受け
台２８を第２の移載位置とカセット除去位置とに変位さ
せる一対の第２の駆動機構３０とを含む。

【００２１】カセット設置台２０は、前後方向へ伸びる
主体部３２と、基板１２を収納したカセット１４を受け
るように前後方向に間隔をおいて主体部３２から昇降機
２６に向けて伸びる板状の複数のアーム部３４を備えて
いる。カセット設置台２０は、また、各アーム部３４か
ら上方へ突出するストッパピン３６を昇降機２６側の端
部に備えていると共に、受けたカセット１４をストッパ
ピン３６に向けて押す１以上プッシャ３８を主体部３２
に備えている。

【００２２】カセット受け台２８も、カセット設置台２
０と同様に構成されている。したがって、カセット受け
台２８は、前後方向へ伸びる主体部４２と、空のカセッ
ト１４を受けるように前後方向に間隔をおいて主体部４
２から昇降機２６に向けて伸びる複数の複数のアーム部
４４と、各アーム部４４の端部から上方へ突出するスト
ッパピン４６と、受けたカセット１４をストッパピン４
６に向けて押すように主体部４２に組み付けられた１以
上プッシャ４８とを備えている。

【００２３】ストッパピン３６及び４６は、カセット１
４の底壁の側面に形成された縦溝に受け入れられて、そ
れぞれ、プッシャ３８及び４８と共同してカセット設置
台２０及びカセット受け台２８に対するカセット１４の
位置決めを行う。プッシャ３８及び４８は、いずれも、
シリンダ機構やソレノイド機構のような直線駆動機構に
より押圧部材をカセット１４に向けて押す機構である。

【００２４】両第１の駆動機構２２は、同期して駆動さ
れて、カセット設置台２０をカセット設置位置と第１の
移載位置とに選択的に移動させる直線駆動機構を用いる
ことができる。両第２の駆動機構３０も、同期して駆動
されて、カセット受け台２８を第２の移載位置とカセッ
ト除去位置とに選択的に移動させる直線駆動機構を用い
ることができる。

【００２５】第１の駆動機構２２は、それらが前後方向
に間隔をおいて左右方向へ平行に伸びてカセット設置台
２０を同期して左右方向へ移動させるように、搬送装置
１０のフレーム５０に組み付けられている。同様に、第
２の駆動機構も、それらが第１の駆動機構２２の下方を
前後方向に間隔をおいて左右方向へ平行に伸びてカセッ
ト受け台２８を同期して左右方向へ移動させるようにフ
レーム５０に組み付けられている。カセット設置台２０
及びカセット受け台２８は、それぞれ、左右方向へ移動
可能に第１及び第２の駆動機構２２及び３０に組み付け
られている。

【００２６】カセット受け２４は、前後方向へ伸びる板
状の主体部５２と、カセット１４の受け渡しをするよう
に前後方向に間隔をおいて主体部５２からカセット設置
台２０及びカセット受け台２８に向けて伸びる板状の複
数のアーム部５４と、各アーム部５４の主体部５２側の
箇所から上方へ突出するストッパピン５６と、受けたカ
セット１４をストッパピン５６に向けて押すプッシャ５
８とを備えている。

【００２７】アーム部５４は、カセット受け２４が昇降
機２６により昇降されたとき、カセット設置台２０の隣
り合うアーム部３４間及びカセット受け台２８の隣り合
うアーム部４４間を上下方向へ通過可能に、アーム部３
４及び４４に対し前後方向にずらされている。ストッパ
ピン５６は、カセット１４の側壁に当接されて、プッシ
ャ５８と共同してカセット受け２４に対するカセット１
４の位置決めを行う。

【００２８】プッシャ５８は、図６に示すように、カセ
ット１４を押す押圧部材６０と、押圧部材６０を左右方
向へ変位させると共に、左右方向へ伸びる軸線の周りに
角度的に回転させる駆動機構６２とを備えている。駆動
機構６２は、押圧部材６０がカセット受け２４の上面の
高さ位置より上方となる位置と下方となる位置とに変位
可能に、カセット設置台２０側のアーム部５４の端部下
面に組み付けられている。

【００２９】昇降機２６は、床６４に前後方向に間隔を
おいて設置された２つのフレーム６６の下部に前後方向
へ伸びる共通の軸６８を回転可能に組み付け、軸６８の
各端部にプーリ７０を組み付け、各フレーム６６の上部
にプーリ７２を前後方向へ伸びる軸線の周りに回転可能
に組み付け、上下のプーリ７０，７２に無端ベルト７４
を巻き掛け、軸６８を電動機７６により回転させる構造
を有している。

【００３０】カセット受け２４は、その主体部５２にお
いて、組み付け具７８により両無端ベルト７４に移動不
能に組み付けられている。基板移載装置１６は、昇降機
２６に対しカセット受け２４と反対側からアーム１８を
左右方向へ移動させて、第１の移載位置に存在するカセ
ット１４内の基板１２を取り出す。

【００３１】次に、図７及び図８を参照して、搬送装置
１０によるカセット１４の搬送動作について説明する。

【００３２】未検査の基板１２を収納しているカセット
１４は、カセット設置台２０がカセット設置位置に移動
されている状態、及び各プッシャ３８がこれの押圧部材
を対応するストッパピン３６から左右方向に大きく離し
ている状態で、カセット設置台２０のアーム部３４に、
ロボット、クレーン、人手等により載せられる。

【００３３】カセット１４がカセット設置台２０に載せ
られると、カセット設置台２０の各プッシャ３８がカセ
ット１４を対応するストッパピン３６に向けて押す。こ
れにより、カセット１４は、ストッパピン３６とプッシ
ャ３８とにより、カセット設置台２０に対して位置決め
られる。

【００３４】この時点においては、図７（Ａ）に示すよ
うに、カセット受け２４は、第１の移載位置ひいてはカ
セット設置台２０の高さ位置より下方に下げられてい
る。また、カセット受け２４は、各プッシャ５８の押圧
部材６０をアーム部５４の上面の高さ位置より下方に変
位させていると共に対応するストッパピン５６から左右
方向へ離し、これにより押圧部材６０はカセット１４の
受け渡しの妨げにならない位置に移動させている。

【００３５】上記状態において、カセット設置台２０が
第１の駆動機構２２により第１の移載位置に前進され
る。これにより、カセット設置台２０は、図７（Ｂ）に
示すように、カセット受け２４の上方に位置される。

【００３６】次いで、図７（Ｂ）に示すように、カセッ
ト設置台２０の各プッシャ３８がこれの押圧部材をカセ
ット１４から離す。

【００３７】次いで、図７（Ｂ）に示すようにカセット
受け２４の各プッシャ５８がこれの押圧部材６０を上記
のように変位させていると共に離している状態で、カセ
ット受け２４が図７（Ｃ）に示すように昇降機２６によ
りカセット設置台２０の高さ位置より上方へ上昇され
る。これにより、未検査の基板１２を収納しているカセ
ット１４は、カセット受け２４に渡される。

【００３８】次いで、図７（Ｃ）に示すように、カセッ
ト受け２４の各プッシャ５８が、これの押圧部材６０を
アーム部５４の上面の高さ位置より上方に変位させた
後、カセット１４に向けて移動させる。これにより、カ
セット受け２４上のカセット１４は、ストッパピン５６
に押圧されて、ストッパピン５６と押圧部材６０とによ
り、カセット受け２４に対して位置決められる。

【００３９】カセット受け２４上のカセット１４内の基
板１２は、図７（Ｃ）に示す位置に維持されている状態
において、基板移載装置１６の移載アーム１８により、
下方（又は、上方）に位置する基板から順次取り出され
る。未検査の基板１２を収納したカセット１４は、収納
している基板１２が空になるまで、第１の移載位置に維
持される。

【００４０】カセット受け２４は、これに受けているカ
セット１４から基板１２が取り出されるたびに、カセッ
ト１４内の基板１２の上下方向における配置ピッチず
つ、昇降機２６により下降（又は、上昇）される。

【００４１】カセット設置台２０は、カセット１４を渡
した後、第１の駆動機構２２によりカセット設置位置に
後退されて、新たなカセット１４を受ける準備をする。
これにより、カセット１４内が空になるまでの間に、未
検査の基板１２を収納した新たなカセットをカセット設
置台２０に設置することができる。

【００４２】カセット受け台２８は、カセット受け２４
上のカセット１４が空になるまでの間に、第２の移載位
置に前進され、プッシャ４８の押圧部材を対応するスト
ッパピン４６から左右方向に大きく離して、空のカセッ
トをアーム部４４に受けるように、待機している。

【００４３】カセット受け２４上のカセット１４が空に
なると、カセット受け２４は、図８（Ａ）に示すよう
に、各プッシャ５８の押圧部材６０を左右方向へ伸びる
軸線の周りに角度的に回転させて、押圧部材６０をカセ
ット１４の受け渡しの妨げにならない位置に移動させ、
その状態で昇降機２６によりカセット受け台２８の下方
に下げられる。これにより、図８（Ｂ）に示すように、
カセット受け２４上の空のカセット１４はカセット受け
台２８に渡される。

【００４４】次いで、カセット受け台２８は、図８
（Ｂ）に示すように、プッシャ４８を駆動させて、空の
カセット１４をストッパピン４６に押して、そのカセッ
ト１４をカセット受け台２８に維持する。

【００４５】次いで、図８（Ｃ）に示すように、カセッ
ト受け台２８が第２の駆動機構３０によりカセット除去
位置に後退される。その後、空のカセット１４は、ロボ
ット、クレーン、人手等によりカセット受け台２８から
取り除かれる。

【００４６】図８（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、カセッ
ト受け２４とカセット受け台２８との間で空のカセット
１４の受け渡しを行っている間に、新たなカセット１４
がカセット設置台２０に設置され、カセット受け台２０
が第１の移載位置に前進されている。

【００４７】カセット受け２４は、カセット受け台２８
がカセット除去位置に移動された後、図８（Ｃ）に示す
ように、新たなカセット１４をカセット設置台２０から
受けるべく、昇降機２６により上昇される。

【００４８】上記のように搬送装置１０によれば、空の
カセット１４の除去作業が終了する前でも、新たなカセ
ット１４をカセット設置台２０に設置する作業を行うこ
とができる。

【００４９】本発明をアンロード用の搬送装置に適用す
る場合には、空のカセットがカセット設置台に設置さ
れ、そのカセットを第１の移載位置においてカセット受
けに渡し、そのカセットに検査済みの基板を受け、その
カセットが未検査の基板で満杯になった後、そのカセッ
トが第２の移載位置においてカセット受け台に渡され、
そのカセットがカセット除去位置に移動される。

【００５０】本発明において、「満杯」とは基板が所定
量収納されていることを含み、「空」とは基板が所定量
に減少されることを含む。

【００５１】本発明は、基板１２の上下列を１列有する
カセットや、２以上の複数列有するカセットの搬送装置
にも適用することができ、また単一のカセットや、３以
外の複数のカセットの搬送装置にも適用することができ
る。

【００５２】本発明は、また、液晶表示パネルの搬送装
置のみならず、液晶表示パネル用のガラス基板、有機Ｅ
Ｌ表示パネル等、他の表示用基板の搬送装置にも適用す
ることができる。

【００５３】本発明は、上記実施例に限定されず、その
趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る搬送装置の一実施例を示す略図的
な正面図である。

【図２】図１における２−２線に沿って得た断面図であ
る。

【図３】図１における３−３線に沿って見た図である。

【図４】図１に示す搬送装置の詳細な正面図である。

【図５】図４に示す搬送装置の平面図である。

【図６】図４に示す搬送装置におけるカセット受けのプ
ッシャの一実施例を示す図である。

【図７】図４に示す搬送装置の動作を説明するための図
である。

【図８】図７に続く動作を説明するための図である。

【符号の説明】

１０ 搬送装置 １２ 基板 １４ カセット １６ 基板移載装置 １８ 移載アーム ２０ カセット設置台 ２２ 第１の駆動機構 ２４ カセット受け ２６ 昇降機 ２８ カセット受け台 ３０ 第２の駆動機構 ３２，４２，５２ 主体部 ３４，４４，５４ アーム部 ３６，４６，５６ ストッパピン ３８，４８，５８ プッシャ ６０ プッシャの押圧部材 ６２ プッシャの駆動機構 ６６ 昇降機のフレーム ６８ 昇降機の軸 ７０，７２ 昇降機のプーリ ７４ 昇降機の無端ベルト ７６ 昇降機の電動機 ７８ 組み付け具

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） // Ｂ６５Ｇ 49/07 Ｂ６５Ｇ 49/07 Ｌ Ｆターム(参考） 2H088 FA11 FA17 FA30 MA20 2H090 JB02 JC18 5F031 CA05 DA01 FA03 FA09 FA14 GA30 GA38 GA48 GA49 KA20 LA13 LA15

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板収納用カセットを受けるカセット設
   置台と、 該カセット設置台をカセット設置位置と該カセット設置
   位置に対し水平の第１の方向に位置する第１の移載位置
   とに変位させる第１の駆動機構と、 前記カセットを前記カセット設置台から前記第１の移載
   位置において受けるカセット受けと、 該カセット受けを少なくとも前記第１の移載位置と該第
   １の移載位置に対し上方及び下方のいずれか一方に間隔
   をおいた第２の移載位置とに昇降させる昇降機と、 前記カセットを前記第２の移載位置において前記カセッ
   ト受けから受けるカセット受け台と、 該カセット受け台を少なくとも前記第２の移載位置と該
   第２の移載位置に対し前記第１の方向に位置するカセッ
   ト除去位置とに変位させる第２の駆動機構とを含む、カ
   セットの搬送装置。
2. 【請求項２】 前記カセット設置台及び前記カセット受
   け台のそれぞれは、前記第１の方向と交差する水平の第
   ２の方向へ伸びる第１の主体部と、カセットを受けるべ
   く前記第２の方向に間隔をおいて前記第１の主体部から
   前記カセット受けの側へ伸びる複数の第１のアーム部と
   を備え、 前記カセット受けは、前記第２の方向へ伸びる第２の主
   体部と、カセットの受け渡しをすべく前記第２の方向に
   間隔をおいて前記第２の主体部から前記カセット設置台
   及び前記カセット受け台の側へ伸びる複数の第２のアー
   ム部であって前記昇降機により隣り合う前記第１のアー
   ム部間を上下方向へ移動される複数の第２のアーム部と
   を備える、請求項１に記載の搬送装置。
3. 【請求項３】 前記カセット設置台及び前記カセット受
   け台のそれぞれは、前記第１の方向と交差する水平の第
   ２の方向に間隔をおいて上方へ突出する複数の第１のス
   トッパを前記カセット受け側の端部に備えていると共
   に、受けたカセットを前記ストッパに向けて押す１以上
   の第１のプッシャとを備える、請求項１又は２に記載の
   搬送装置。
4. 【請求項４】 前記カセット受けは、前記第１の方向と
   交差する水平の第２の方向に間隔をおいて上方へ突出す
   る複数の第２のストッパと、受けたカセットを前記スト
   ッパに向けて押すべく該第２のストッパから前記カセッ
   ト設置台の側に間隔をおいた１以上の第２のプッシャと
   を備える、請求項１，２又は３に記載の搬送装置。
5. 【請求項５】 前記第２のプッシャは、カセットに当接
   可能の押圧部材と、該押圧部材を前記第１の方向へ変位
   させると共に前記第１の方向へ伸びる軸線の周りに角度
   的に回転させる駆動機構とを備える、請求項４に記載の
   搬送装置。
6. 【請求項６】 前記カセット設置位置及び前記第１の移
   載位置は、それぞれ、前記カセット除去位置及び前記第
   ２の移載位置の上方に位置されている、請求項１から５
   のいずれか１項に記載の搬送装置。