JP2005277126A - 基板の複数枚バッチ搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】複数枚のガラス薄板等の基板を、１回の移載で同時に移載することができるようにした基板の複数枚バッチ搬送装置を提供すること。
【解決手段】複数枚の基板Ｂを重積収納して搬送する搬送台車Ｄの載置台Ｔ１と、カセット載置台Ｔ２とをそれぞれ配置し、かつ該両台Ｔ１、Ｔ２間で重積基板を移載可能とした移載装置Ｒを配置する。
【選択図】図１

Description

本発明は、基板の複数枚バッチ搬送装置に関し、特に、液晶製造工場などにおいて、複数枚のガラス薄板等の基板を、１回の移載で同時に移載可能にした基板の複数枚バッチ搬送装置に関するものである。

従来、液晶製造工場などにおいては、加工工程に応じて搬送ラインに沿って搬送されるガラス薄板等の薄い基板（以下、「基板」と称する。）を、順次各加工ステーションでそれぞれ必要な加工ができるように、搬送ラインに沿って搬送している。

ところで、従来の基板の搬送装置は、カセット搬送によるものであり、加工装置と、次加工装置間は、基板をカセットに収納し、このカセット単位で、搬送、保管を実施していた。

また、この従来の基板の搬送装置は、走行車輪などのように摩擦部分がある搬送台車を用いての搬送及び保管となるので、これをそのまま枚葉搬送に使用すると、安全性、クリーン度の観点から高速搬送ができず、その搬送速度に限度あり、また、よりクリーン度を要求される場合でも保証されるクリーン度に限度があるという問題があった。

本発明は、上記従来の基板の搬送装置の有する問題点に鑑み、複数枚のガラス薄板等の基板を、１回の移載で同時に移載することができるようにした基板の複数枚バッチ搬送装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明の基板の複数枚バッチ搬送装置は、複数枚の基板を重積収納して搬送する搬送台車の載置台と、カセット載置台とをそれぞれ配置し、かつ該両台間で重積基板を移載可能とした移載装置を配置して構成したことを特徴とする。

この場合において、移載装置のフォーク状移載アームが、重積収納した複数枚の基板を同時に移載できるように昇降し、かつ出没及び／又は旋回可能に構成することができる。

また、カセットを載置するカセット載置台が、横方向にスライド移動するように構成することができる。

また、搬送台車の載置台と、カセット載置台とに高低差をつけるように構成することができる。

本発明の基板の複数枚バッチ搬送装置によれば、複数枚の基板を重積収納して搬送する搬送台車の載置台と、カセット載置台とをそれぞれ配置し、かつ該両台間で重積基板を移載可能とした移載装置を配置して構成したので、搬送台車内で複数枚重積された基板を、その重積した状態で一度に搬送台車側から反対側に配設したカセット側へ、迅速に、安全にかつ正確に移載することができ、かつよりクリーンの状態を保持して保管することができる。

また、移載装置のフォーク状移載アームが、重積収納した複数枚の基板を同時に移載できるように昇降し、かつ出没及び／又は旋回可能に構成することにより、基板の移載が迅速に行え、さらには移載アームの昇降量、旋回量、突出量を調節することで、搬送台車、カセットのサイズが異なってもその移載を確実に行うことができる。

また、カセットを載置するカセット載置台が、横方向にスライド移動するように構成することにより、ストッカー内の所定位置の棚への移動が容易に行え、かつその保管が簡易にして容易に行うことができる。

また、搬送台車の載置台と、カセット載置台とに高低差をつけるように構成することにより、搬送台車、カセット間の移載がより確実に行うことができる。

以下、本発明の基板の複数枚バッチ搬送装置の実施の形態を、図面に基づいて説明する。

図１〜図３に、本発明の基板の複数枚バッチ搬送装置の第１実施例を示す。
この基板Ｂの複数枚バッチ搬送装置Ａは、複数枚の基板Ｂを重積収納して搬送するようにした搬送台車Ｄを載置し、移載する定位置まで移動し、停止できるようにした台車載置台Ｔ１と、カセット載置台Ｔ２とを、平面的には同一直線上となるよう、また移載を円滑に行えるよう所要の高低差をつけて互いに対向してそれぞれ配置し、かつ該両台Ｔ１、Ｔ２間に重積基板をそのまま搬送台車側からカセット側へ移載可能とするよう、フォーク状移載アーム２３を昇降させ、かつ出没及び／又は旋回可能に配設してなる移載装置Ｒを配置して構成するようにしている。

搬送台車Ｄは、液晶製造ライン等の搬送ラインにおいては、該搬送ラインのレールに沿って車輪Ｗを介して移動するが、台車からカセット側に移載する搬送装置本体Ａの移載位置においては、搬送ラインからこの移載位置間では、該搬送台車Ｄを吊垂支持して移動できるよう台車載置台Ｔ１を配設する。
この台車載置台Ｔ１は、特に限定されるものではないが、例えば、図示のように、天井部に配設したガイドレールに沿って移動する移動台車１にて吊垂支持するように構成する。この場合、台車載置台Ｔ１には搬送台車Ｄの底部を車輪Ｗを浮上するようにして支持する架台１１を配設し、これにより台車載置台Ｔ１上に載置された搬送台車Ｄは定位置で移動停止又は固定され、正確に位置決めができるようにする。

また、搬送装置本体Ａの高い位置に、前記台車載置台Ｔ１は配設されるが、カセット載置台Ｔ２は、これよりも低い位置に配置される。このカセット載置台Ｔ２のラインと、台車載置台Ｔ１のラインとは、平面的には同一直線上となるように対向してそれぞれ配置するが、側面から見る側面的には高低差、特に台車載置台Ｔ１を高位置に、カセット載置台Ｔ２側が低位置となるよう搬送装置本体Ａに配置される。
定位置停止した台車載置台Ｔ１と、カセット載置台Ｔ２との間には、複数枚の重積基板を搬送台車側からカセット側へ移載可能とした移載装置Ｒを配置して構成する。
この移載装置Ｒは、定位置の台車載置台Ｔ１とカセット載置台Ｔ２との間を昇降するようにして配設され、これは垂直に樹立された主柱２１により昇降可能に支持された昇降台２２と、この昇降台２２に載置され、旋回と出没動作をするフォーク状の移載アーム２３と、昇降台２２を主柱２１に案内されて昇降するようにした昇降手段２４とより構成する。この昇降手段２４は、これは特に限定されるものではないが、例えば、主柱２１に沿って配設されたスクリューロッド２５に昇降台２２側に取り付け或いは形成した螺合体を螺合し、これによりスクリューロッド２５を回転させるだけで、昇降台２２は自由に昇降動作を行うようにする。

この昇降台２２に載置されるフォーク状の移載アーム２３は、搬送台車Ｄ及びカセットＫに重積するようにして収納される基板Ｂの数と同数となるようにして多段式に形成するもので、これは特に限定されるものではないが、例えば、図示の実施例では５枚の基板Ｂを収納するようにしているから、５つのフォーク状の移載アーム２３を多段式に、かつ重積した基板Ｂの間隔に合わせて所定間隔毎に上下となるよう配設するようにする。
なお、この移載アーム２３の形状は、フォーク状としたが、これは特に限定されるものではなく、所定の間隔を開けて重積した基板Ｂ、Ｂ間の隙間内に正確に挿入されるように、かつ基板に無理な力を与えずに、安定して持ち上げられるような形状とする。

カセット載置台Ｔ２は、平面的に一直線的に対向した台車載置台Ｔ１とカセット載置台Ｔ２との位置ａより、平面的に側方へ少し離れた位置ｂとの間を移動できるようにカセット移動台３を配設する。このカセット移動台３に載置するカセットＫの位置と、降下した位置の移載アーム２３の位置とは互いに対向するようにし、これにより移載アーム２３が出没することによって複数枚の基板Ｂを移載アーム２３側からカセット側へ移載できるようにする。

なお、この重積する複数枚の基板Ｂは、図示のように、平面的には同一位置に重なるようになるが、上下方向には移載アーム２３を挿入できる程度の隙間を生じるようにする。これはカセット及び搬送台車Ｄ側に、該基板を１枚ずつ、かつ移載アーム２３を挿入できる隙間を生じるよう基板挿入棚を形成する。
従って、上下方向に重なる複数枚の移載アーム２３も、図１に示すように、これら基板挿入棚の間隔内に挿入できるように上下移載アーム２３間に隙間を形成する。

次に、本発明の作用について説明する。
複数枚、例えば、５枚の基板Ｂを重積するように収納して搬送されてきた搬送台車Ｄを、複数枚バッチ搬送装置Ａの台車載置台Ｔ１に移載させるとともに、昇降台２２が下部位置にある場合、移載装置Ｒの昇降手段２４を駆動、即ちスクリューロッド２５を電動モータ等にて駆動すると、該スクリューロッド２５と螺合している昇降台２２は、主柱２１に案内されて上昇する。そして、あらかじめ定めた台車載置台Ｔ１上の搬送台車Ｄと対向する定位置に停止させる。

この定位置に停止した移載装置Ｒの昇降台２２上の移載アーム２３は、搬送台車Ｄ内に収納されている各基板の下部位置となる。この状態で、移載アーム２３を突出させると、各移載アーム２３は、各基板の下部の隙間に挿入される。このとき、基板Ｂの下部面と突出した移載アーム２３との間には若干の隙間があるが、次に昇降台２２をさらに上昇させると、基板Ｂの下部面は、搬送台車Ｄの基板挿入棚から移載アーム２３にて支持されるようになる。
この状態で、次に移載アーム２３を後退、即ち昇降台２２上の基の位置まで後退させると、搬送台車内の基板Ｂは、すべて搬送台車内から抜け出て移載アーム２３上にて支持されるようになる。

このように、基板Ｂをすべて移載アーム２３上で、かつ移載位置内にて支持した状態とし、次にスクリューロッド２５を上昇時と反対に回転駆動すると、昇降台２２は降下する。そして昇降台２２がカセット載置台Ｔ２上のカセットＫの位置と等位置に達すると、降下を停止する。このとき、移載アーム２３とカセットＫ、詳しくはカセット内に基板を挿入する高さ位置とは一致するようにする。
このようにした後、移載アーム２３を１８０度旋回させるとカセットの基板挿入位置と移載アーム２３上に支持された基板位置とは一致するものとなり、次に移載アーム２３を前進（突出）させると、移載アーム２３上にて支持された基板Ｂはカセット内に挿入される。そして、カセット内に挿入した移載アーム２３からカセット側に基板Ｂを移載するには、カセット移動台３に配設した昇降台３１を少し上昇させるようにする。これにより、移載アーム２３上の基板Ｂは、移載アーム２３上からカセット内に移載支持されるようになる。
この後、移載アーム２３を後退させてカセット内から抜き出るようにし、移載アーム２３を１８０度逆回転させて待機させる。

このように、移載アーム２３を備えた移載装置Ｒの昇降台２２の昇降と、移載アーム２３の旋回動作とを組み合わせることにより、複数枚の重積した基板を搬送台車からカセットに簡単に移載することができる。
なお、カセット内に挿入した移載アーム２３からカセット側に基板を移載する場合、移載アーム２３を昇降台２２毎少し降下させることによっても、移載アーム２３上の基板は、移載アーム２３上からカセット内に移載することができる。

なお、本発明によれば、搬送台車内で複数枚重積された基板を、その重積した状態で一度に搬送台車側から反対側に配設したカセット側へ、迅速に、安全にかつ正確に移載することができるとともに、移載アームの昇降量、旋回量、突出量を調節することで、搬送台車、カセットのサイズが異なってもその移載を確実に行うことができる。
また、ストッカー内の所定位置の棚への移動が容易に行え、かつその保管が簡易にして容易に行うことができる。

以上、本発明の基板の複数枚バッチ搬送装置について、実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、複数枚の基板を重積するようにして収納したカセットは、そのままストッカーに保管することができるが、このカセットを２段或いは３段以上に積み重ねることもできる等、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができるものである。

本発明の基板の複数枚バッチ搬送装置は、搬送台車からカセットに、複数枚重積された基板を、そのまま移載することができるという特性を有していることから、液晶の基板の搬送装置に好適に用いることができるほか、例えば、ガラス基板以外の薄板の搬送、移載の用途にも用いることができる。

本発明の基板の複数枚バッチ搬送装置の実施例を示す正面図である。 同平面図である。 同側面図である。

符号の説明

Ａ 基板の複数枚バッチ搬送装置
Ｂ 基板
Ｄ 搬送台車
Ｒ 移載装置
Ｔ１ 台車載置台
Ｔ２ カセット載置台
Ｋ カセット
２１ 主柱
２２ 昇降台
２３ フォーク状の移載アーム
２４ 昇降手段
２５ スクリューロッド
３ カセット移動台

Claims (4)

1. 複数枚の基板を重積収納して搬送する搬送台車の載置台と、カセット載置台とをそれぞれ配置し、かつ該両台間で重積基板を移載可能とした移載装置を配置して構成したことを特徴とする基板の複数枚バッチ搬送装置。
2. 移載装置のフォーク状移載アームが、重積収納した複数枚の基板を同時に移載できるように昇降し、かつ出没及び／又は旋回可能に構成したことを特徴とする請求項１記載の基板の複数枚バッチ搬送装置。
3. カセットを載置するカセット載置台が、横方向にスライド移動するように構成したことを特徴とする請求項１又は２記載の基板の複数枚バッチ搬送装置。
4. 搬送台車の載置台と、カセット載置台とに高低差をつけるように構成したことを特徴とする請求項１、２又は３記載の基板の複数枚バッチ搬送装置。

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