JPH07169817A - 半導体ウエハ搬送装置 - Google Patents
半導体ウエハ搬送装置Info
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- JPH07169817A JPH07169817A JP31356093A JP31356093A JPH07169817A JP H07169817 A JPH07169817 A JP H07169817A JP 31356093 A JP31356093 A JP 31356093A JP 31356093 A JP31356093 A JP 31356093A JP H07169817 A JPH07169817 A JP H07169817A
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- Japan
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- semiconductor wafer
- comb
- semiconductor
- shaped jig
- carrier
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体ウエハ製造装置間で、キャリア等の搬
送介在物を使用せずに直接、半導体ウエハを搬送できる
半導体ウエハ搬送装置および搬送システムを得る。 【構成】 半導体ウエハ搬送装置を、半導体ウエハ１を
複数枚収納できるストッカー２と半導体ウエハ１を把持
できるクシ状治具３とクシ状治具３を動作させるクシ状
治具動作装置と、これらを搭載して自走する台車５より
構成し、半導体ウエハ製造装置との間に情報交換をする
通信装置を設ける。 【効果】 キャリアなどの搬送介在物を無くすことによ
り、生産コストが低減され、保管スペースが削減され
る。
送介在物を使用せずに直接、半導体ウエハを搬送できる
半導体ウエハ搬送装置および搬送システムを得る。 【構成】 半導体ウエハ搬送装置を、半導体ウエハ１を
複数枚収納できるストッカー２と半導体ウエハ１を把持
できるクシ状治具３とクシ状治具３を動作させるクシ状
治具動作装置と、これらを搭載して自走する台車５より
構成し、半導体ウエハ製造装置との間に情報交換をする
通信装置を設ける。 【効果】 キャリアなどの搬送介在物を無くすことによ
り、生産コストが低減され、保管スペースが削減され
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体ウエハ製造装
置間で半導体ウエハを搬送する半導体ウエハ搬送装置に
関するものである。
置間で半導体ウエハを搬送する半導体ウエハ搬送装置に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図８は、従来の半導体ウエハ搬送装置お
よび搬送システムの側面図を示したものであり、図９
は、その平面図を示したものである。これらの図におい
て、６は半導体ウエハ搬送装置を表わし、この半導体ウ
エハ搬送装置６は、半導体ウエハ１とこの半導体ウエハ
１を収納するキャリア２ｄとこのキャリア２ｄを把持す
る把持装置３ｄとこのキャリア把持装置３ｄを動作させ
るキャリア把持動作装置４ｄとこれらの装置を搭載して
対象位置まで自走する台車５より構成されている。７は
半導体ウエハ製造装置を表わし、８ｄはこの半導体ウエ
ハ製造装置７のキャリアの出入り口であり、９は半導体
ウエハ搬送装置６と半導体ウエハ製造装置７の間で情報
交換を行う通信装置である。
よび搬送システムの側面図を示したものであり、図９
は、その平面図を示したものである。これらの図におい
て、６は半導体ウエハ搬送装置を表わし、この半導体ウ
エハ搬送装置６は、半導体ウエハ１とこの半導体ウエハ
１を収納するキャリア２ｄとこのキャリア２ｄを把持す
る把持装置３ｄとこのキャリア把持装置３ｄを動作させ
るキャリア把持動作装置４ｄとこれらの装置を搭載して
対象位置まで自走する台車５より構成されている。７は
半導体ウエハ製造装置を表わし、８ｄはこの半導体ウエ
ハ製造装置７のキャリアの出入り口であり、９は半導体
ウエハ搬送装置６と半導体ウエハ製造装置７の間で情報
交換を行う通信装置である。
【０００３】次に、動作について説明する。図８、図９
において、半導体ウエハ搬送装置６は、上位計算機の命
令により、半導体ウエハ製造装置７の近傍に移動し、半
導体ウエハ製造装置７との間に設けられた通信装置９に
よって半導体ウエハ製造装置７のキャリア出入り口８ｄ
のキャリアの有無を確認する。そして、上位計算機の指
示に従って、半導体ウエハ搬送装置６の台車５の上のキ
ャリア２ｄをキャリア把持装置３ｄをキャリア把持動作
装置４ｄで操作することにより、半導体ウエハ製造装置
７のキャリア出入り口８ｄの上へ載置するか、または半
導体ウエハ製造装置７のキャリア出入り口８ｄの上に置
かれたキャリア２ｄを取り出し、半導体ウエハ搬送装置
６の台車５の上に載置することにより、キャリア２ｄを
介して半導体製造装置７に半導体ウエハを搬送する。
において、半導体ウエハ搬送装置６は、上位計算機の命
令により、半導体ウエハ製造装置７の近傍に移動し、半
導体ウエハ製造装置７との間に設けられた通信装置９に
よって半導体ウエハ製造装置７のキャリア出入り口８ｄ
のキャリアの有無を確認する。そして、上位計算機の指
示に従って、半導体ウエハ搬送装置６の台車５の上のキ
ャリア２ｄをキャリア把持装置３ｄをキャリア把持動作
装置４ｄで操作することにより、半導体ウエハ製造装置
７のキャリア出入り口８ｄの上へ載置するか、または半
導体ウエハ製造装置７のキャリア出入り口８ｄの上に置
かれたキャリア２ｄを取り出し、半導体ウエハ搬送装置
６の台車５の上に載置することにより、キャリア２ｄを
介して半導体製造装置７に半導体ウエハを搬送する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の半導体ウエハ搬
送装置は、上記のように構成されているので、半導体ウ
エハ製造装置間で半導体ウエハの搬送を行う際には、キ
ャリアを搬送介在物として使用しなければならず、生産
量やウエハサイズ等に見合った多数のキャリアが必要と
なり、それに応じて多数のキャリアを収納するスペース
が必要になるという問題点があった。
送装置は、上記のように構成されているので、半導体ウ
エハ製造装置間で半導体ウエハの搬送を行う際には、キ
ャリアを搬送介在物として使用しなければならず、生産
量やウエハサイズ等に見合った多数のキャリアが必要と
なり、それに応じて多数のキャリアを収納するスペース
が必要になるという問題点があった。
【０００５】この発明は、このような問題点を解決する
ためになされたものであり、半導体ウエハ製造装置間で
半導体ウエハの搬送を行う時に、キャリアを使用せずに
直接半導体ウエハを搬送できる半導体ウエハ搬送装置を
提供することを目的としている。
ためになされたものであり、半導体ウエハ製造装置間で
半導体ウエハの搬送を行う時に、キャリアを使用せずに
直接半導体ウエハを搬送できる半導体ウエハ搬送装置を
提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明に係る半
導体ウエハ搬送装置においては、半導体ウエハを複数枚
収納できるストッカーとこのストッカーから半導体ウエ
ハを収受するクシ状治具とこのクシ状治具を任意の位置
に動作させるクシ状治具動作装置を台車の上に搭載して
搬送対象位置まで自走できるようにする。
導体ウエハ搬送装置においては、半導体ウエハを複数枚
収納できるストッカーとこのストッカーから半導体ウエ
ハを収受するクシ状治具とこのクシ状治具を任意の位置
に動作させるクシ状治具動作装置を台車の上に搭載して
搬送対象位置まで自走できるようにする。
【０００７】請求項２の発明に係る半導体ウエハ搬送装
置においては、半導体ウエハを複数枚収納できるストッ
カーとこのストッカーから半導体ウエハを収受するクシ
状治具とこのクシ状治具を任意の位置に動作させるクシ
状治具動作装置と、半導体ウエハに任意の加工を行う半
導体ウエハ製造装置間に載置または取り出し、収受数量
等の情報交換を行う通信装置を備える。
置においては、半導体ウエハを複数枚収納できるストッ
カーとこのストッカーから半導体ウエハを収受するクシ
状治具とこのクシ状治具を任意の位置に動作させるクシ
状治具動作装置と、半導体ウエハに任意の加工を行う半
導体ウエハ製造装置間に載置または取り出し、収受数量
等の情報交換を行う通信装置を備える。
【０００８】
【作用】請求項１の発明に係る半導体ウエハ搬送装置で
は、半導体ウエハを複数枚収納できるストッカーとこの
ストッカーから半導体ウエハを収受するクシ状治具とこ
のクシ状治具を任意の位置に動作させるクシ状治具動作
装置を台車の上に搭載して搬送対象位置まで自走できる
ようにしたので、キャリア等の搬送介在物が必要なくな
り、その保管スペースも必要なくなる。
は、半導体ウエハを複数枚収納できるストッカーとこの
ストッカーから半導体ウエハを収受するクシ状治具とこ
のクシ状治具を任意の位置に動作させるクシ状治具動作
装置を台車の上に搭載して搬送対象位置まで自走できる
ようにしたので、キャリア等の搬送介在物が必要なくな
り、その保管スペースも必要なくなる。
【０００９】請求項２の発明に係る半導体ウエハ搬送装
置では、半導体ウエハを複数枚収納できるストッカーと
このストッカーから半導体ウエハを収受するクシ状治具
とこのクシ状治具を任意の位置に動かすクシ状治具動作
装置とを備え、半導体ウエハに任意の加工を行う半導体
ウエハ製造装置との間に載置と取り出し、収受数量等の
情報交換を行う通信装置を設けたので、キャリアを搬送
介在物として使う必要がなくなり、キャリアの保管スペ
ースも必要なくなる。
置では、半導体ウエハを複数枚収納できるストッカーと
このストッカーから半導体ウエハを収受するクシ状治具
とこのクシ状治具を任意の位置に動かすクシ状治具動作
装置とを備え、半導体ウエハに任意の加工を行う半導体
ウエハ製造装置との間に載置と取り出し、収受数量等の
情報交換を行う通信装置を設けたので、キャリアを搬送
介在物として使う必要がなくなり、キャリアの保管スペ
ースも必要なくなる。
【００１０】
【実施例】実施例１．図１はこの発明の一実施例を示す
半導体ウエハ搬送装置および搬送システムの側面図であ
り、図２はその平面図である。図３はこの発明のクシ状
治具の詳細図であり、図４、図５はこの発明の一実施例
を示す半導体ウエハ搬送装置および搬送システムの動作
図である。これらの図において、半導体ウエハ搬送装置
６は、半導体ウエハ１を収納するストッカー２ａとこの
ストッカー２ａから半導体ウエハ１を収受するクシ状治
具３ａとこのクシ状治具３ａを動作させるクシ状治具動
作装置４ａと、これらを搭載して搬送対象位置まで自走
する台車５より構成されており、半導体ウエハ製造装置
７にも半導体ウエハの出入り口８とこの出入り口８から
半導体ウエハを収受するクシ状治具３ｂとこのクシ状治
具３ｂを動作させるクシ状治具動作装置４ｂが設置され
ている。また、９ａは半導体ウエハ搬送装置６に設けら
れた通信装置であり、９ｂは半導体ウエハ製造装置７に
設けられた通信装置である。
半導体ウエハ搬送装置および搬送システムの側面図であ
り、図２はその平面図である。図３はこの発明のクシ状
治具の詳細図であり、図４、図５はこの発明の一実施例
を示す半導体ウエハ搬送装置および搬送システムの動作
図である。これらの図において、半導体ウエハ搬送装置
６は、半導体ウエハ１を収納するストッカー２ａとこの
ストッカー２ａから半導体ウエハ１を収受するクシ状治
具３ａとこのクシ状治具３ａを動作させるクシ状治具動
作装置４ａと、これらを搭載して搬送対象位置まで自走
する台車５より構成されており、半導体ウエハ製造装置
７にも半導体ウエハの出入り口８とこの出入り口８から
半導体ウエハを収受するクシ状治具３ｂとこのクシ状治
具３ｂを動作させるクシ状治具動作装置４ｂが設置され
ている。また、９ａは半導体ウエハ搬送装置６に設けら
れた通信装置であり、９ｂは半導体ウエハ製造装置７に
設けられた通信装置である。
【００１１】次に、動作について説明する。図１、図２
において、半導体ウエハ１を複数枚収納できかつ鉛直方
向に上下に動作するストッカー２ａとこのストッカー２
ａから半導体ウエハ１を収受するクシ状治具３ａとこの
クシ状治具３ａを動作させるクシ状治具動作装置４ａを
搭載し、搬送対象位置まで自走する台車５より構成され
る半導体ウエハ搬送装置６は、上位計算機の命令によ
り、半導体ウエハに任意の加工を行う半導体ウエハ製造
装置７の近傍に移動し、半導体ウエハ搬送装置６の台車
５に設けられた通信装置９ａと半導体ウエハ製造装置７
に設けられた通信装置９ｂによって、半導体ウエハ製造
装置７の半導体ウエハの出入り口８の半導体ウエハの有
無や個数等の情報を交換し、上位計算機の指示に従っ
て、半導体ウエハ１の搬送を行う。
において、半導体ウエハ１を複数枚収納できかつ鉛直方
向に上下に動作するストッカー２ａとこのストッカー２
ａから半導体ウエハ１を収受するクシ状治具３ａとこの
クシ状治具３ａを動作させるクシ状治具動作装置４ａを
搭載し、搬送対象位置まで自走する台車５より構成され
る半導体ウエハ搬送装置６は、上位計算機の命令によ
り、半導体ウエハに任意の加工を行う半導体ウエハ製造
装置７の近傍に移動し、半導体ウエハ搬送装置６の台車
５に設けられた通信装置９ａと半導体ウエハ製造装置７
に設けられた通信装置９ｂによって、半導体ウエハ製造
装置７の半導体ウエハの出入り口８の半導体ウエハの有
無や個数等の情報を交換し、上位計算機の指示に従っ
て、半導体ウエハ１の搬送を行う。
【００１２】半導体ウエハ搬送装置６から半導体ウエハ
製造装置７に半導体ウエハ１を搬送する場合には、図４
に示すように、半導体ウエハ搬送装置６に設けられたス
トッカー２ａを所定の位置に上下動作させ、クシ状治具
３ａをクシ状治具動作装置４ａにより突出し、ストッカ
ー２ａ内の半導体ウエハ１を半導体ウエハ製造装置７の
半導体ウエハの出入り口８に搬送して、任意の加工を行
う。
製造装置７に半導体ウエハ１を搬送する場合には、図４
に示すように、半導体ウエハ搬送装置６に設けられたス
トッカー２ａを所定の位置に上下動作させ、クシ状治具
３ａをクシ状治具動作装置４ａにより突出し、ストッカ
ー２ａ内の半導体ウエハ１を半導体ウエハ製造装置７の
半導体ウエハの出入り口８に搬送して、任意の加工を行
う。
【００１３】また、半導体ウエハ製造装置７から半導体
ウエハ搬送装置６に半導体ウエハ１を搬送する場合に
は、図５に示すように、半導体ウエハ搬送装置６に設け
られたストッカー２ａを所定の位置に上下動作させ、半
導体ウエハ製造装置７に設けられたクシ状治具３ｂをク
シ状治具動作装置４ｂにより突出し、半導体ウエハ製造
装置７の半導体ウエハの出入り口８にある半導体ウエハ
１を半導体ウエハ搬送装置６のストッカー２ａに搬送し
て収納する。
ウエハ搬送装置６に半導体ウエハ１を搬送する場合に
は、図５に示すように、半導体ウエハ搬送装置６に設け
られたストッカー２ａを所定の位置に上下動作させ、半
導体ウエハ製造装置７に設けられたクシ状治具３ｂをク
シ状治具動作装置４ｂにより突出し、半導体ウエハ製造
装置７の半導体ウエハの出入り口８にある半導体ウエハ
１を半導体ウエハ搬送装置６のストッカー２ａに搬送し
て収納する。
【００１４】実施例２．図６は、この発明の他の実施例
を示す半導体ウエハ搬送装置および搬送システムの側面
図であり、図７はその平面図である。図において、２ｃ
は半導体ウエハ搬送装置６に固定された半導体ウエハ１
を収納するストッカー、４ｃはこのストッカー２ｃから
半導体ウエハ１を収受するクシ状治具を動作させるマニ
ピュレータであり、その他は上記実施例１と同様であ
る。
を示す半導体ウエハ搬送装置および搬送システムの側面
図であり、図７はその平面図である。図において、２ｃ
は半導体ウエハ搬送装置６に固定された半導体ウエハ１
を収納するストッカー、４ｃはこのストッカー２ｃから
半導体ウエハ１を収受するクシ状治具を動作させるマニ
ピュレータであり、その他は上記実施例１と同様であ
る。
【００１５】上記実施例１では、半導体ウエハ搬送装置
６に搭載されている半導体ウエハ１のストッカ２ａは鉛
直方向に上下させていたが、本実施例では、ストッカー
２ｃは半導体ウエハ搬送装置６に固定して、クシ状治具
３ａを動作させるクシ状治具動作装置４ｃをマニュピュ
レータに変更し、このマニュピュレータの自在な動きに
よって、半導体ウエハ製造装置７と半導体ウエハ搬送装
置６の間で半導体ウエハの搬送を行う。
６に搭載されている半導体ウエハ１のストッカ２ａは鉛
直方向に上下させていたが、本実施例では、ストッカー
２ｃは半導体ウエハ搬送装置６に固定して、クシ状治具
３ａを動作させるクシ状治具動作装置４ｃをマニュピュ
レータに変更し、このマニュピュレータの自在な動きに
よって、半導体ウエハ製造装置７と半導体ウエハ搬送装
置６の間で半導体ウエハの搬送を行う。
【００１６】なお、本実施例において、半導体ウエハ製
造装置７の半導体ウエハの出入り口８の形状や数量、半
導体ウエハ搬送装置６のストッカー２ｃの形状やストッ
ク量、クシ状治具の歯数等を任意に設定しても、上記実
施例と同等の効果が得られる。
造装置７の半導体ウエハの出入り口８の形状や数量、半
導体ウエハ搬送装置６のストッカー２ｃの形状やストッ
ク量、クシ状治具の歯数等を任意に設定しても、上記実
施例と同等の効果が得られる。
【００１７】
【発明の効果】この発明の請求項１に係る半導体ウエハ
搬送装置は、半導体ウエハを収納するストッカーと半導
体ウエハを把持するクシ状治具とクシ状治具を動かすク
シ状治具動作装置と、これらを搭載して搬送対象位置ま
で自走する台車により構成されているので、キャリア等
の搬送介在物を使用することなく、直接半導体ウエハを
半導体ウエハ製造装置に搬送することができ、生産シス
テムとしてのコストを低減させることができる。また、
キャリアなどを保管するスペースが削減されると同時
に、ウエハサイズの大口径化等により半導体ウエハを少
数搬送する場合でも即対応が可能となり、迅速な生産体
制が図られる。
搬送装置は、半導体ウエハを収納するストッカーと半導
体ウエハを把持するクシ状治具とクシ状治具を動かすク
シ状治具動作装置と、これらを搭載して搬送対象位置ま
で自走する台車により構成されているので、キャリア等
の搬送介在物を使用することなく、直接半導体ウエハを
半導体ウエハ製造装置に搬送することができ、生産シス
テムとしてのコストを低減させることができる。また、
キャリアなどを保管するスペースが削減されると同時
に、ウエハサイズの大口径化等により半導体ウエハを少
数搬送する場合でも即対応が可能となり、迅速な生産体
制が図られる。
【００１８】この発明の請求項２に係る半導体ウエハ搬
送装置では、半導体ウエハ製造装置にもクシ状治具とク
シ状治具動作装置を設け、この半導体ウエハ製造装置と
の間に情報交換をする通信装置を設けたので、上記と同
様に、キャリア等の搬送介在物を使用することがなく、
直接半導体ウエハの搬送を行うことができ、生産コスト
を低減させ、キャリアの保管スペースを削減することが
できる。
送装置では、半導体ウエハ製造装置にもクシ状治具とク
シ状治具動作装置を設け、この半導体ウエハ製造装置と
の間に情報交換をする通信装置を設けたので、上記と同
様に、キャリア等の搬送介在物を使用することがなく、
直接半導体ウエハの搬送を行うことができ、生産コスト
を低減させ、キャリアの保管スペースを削減することが
できる。
【図１】この発明の一実施例を示す半導体ウエハ搬送装
置および搬送システムの側面図である。
置および搬送システムの側面図である。
【図２】この発明の一実施例を示す半導体ウエハ搬送装
置および搬送システムの平面図である。
置および搬送システムの平面図である。
【図３】この発明のクシ状治具の詳細図である。
【図４】この発明の一実施例を示す半導体ウエハ搬送装
置および搬送システムの動作図である。
置および搬送システムの動作図である。
【図５】この発明の一実施例を示す半導体ウエハ搬送装
置および搬送システムの動作図である。
置および搬送システムの動作図である。
【図６】この発明の他の実施例を示す半導体ウエハ搬送
装置および搬送システムの側面図である。
装置および搬送システムの側面図である。
【図７】この発明の他の実施例を示す半導体ウエハ搬送
装置および搬送システムの平面図である。
装置および搬送システムの平面図である。
【図８】従来の半導体ウエハ搬送装置および搬送システ
ムの側面図である。
ムの側面図である。
【図９】従来の半導体ウエハ搬送装置および搬送システ
ムの平面図である。
ムの平面図である。
１ 半導体ウエハ ２ａ，２ｃ 半導体ウエハ収納ストッカー ２ｄ 半導体ウエハ収納キャリア ３，３ａ，３ｂ クシ状治具 ３ｄ キャリア把持装置 ４，４ａ，４ｂ，４ｃ クシ状治具動作装置 ４ｄ キャリア把持動作装置 ５ 台車 ６ 半導体ウエハ搬送装置 ７ 半導体ウエハ製造装置 ８ 半導体ウエハの出入り口 ９，９ａ，９ｂ 通信装置
Claims (2)
- 【請求項１】 半導体ウエハを複数枚収納できるストッ
カーと、 前記ストッカーから半導体ウエハを収受するクシ状治具
と、 前記クシ状治具を任意の位置に動作させるクシ状治具動
作装置と、 前記ストッカーと前記クシ状治具と前記クシ状治具動作
装置を搭載し、搬送対象位置まで自走する台車と、 を備えたことを特徴とする半導体ウエハ搬送装置。 - 【請求項２】 半導体ウエハを複数枚収納できるストッ
カーと、 前記ストッカーから半導体ウエハを収受するクシ状治具
と、 前記クシ状治具を任意の位置に動作させるクシ状治具動
作装置と、 半導体ウエハに任意の加工を行う半導体ウエハ製造装置
間に載置または取り出し、収受数量等の情報交換を行う
通信装置と、 を備えたことを特徴とする半導体ウエハ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31356093A JPH07169817A (ja) | 1993-12-14 | 1993-12-14 | 半導体ウエハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31356093A JPH07169817A (ja) | 1993-12-14 | 1993-12-14 | 半導体ウエハ搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07169817A true JPH07169817A (ja) | 1995-07-04 |
Family
ID=18042785
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31356093A Pending JPH07169817A (ja) | 1993-12-14 | 1993-12-14 | 半導体ウエハ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07169817A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11222121A (ja) * | 1997-07-10 | 1999-08-17 | Shinko Electric Co Ltd | 無人搬送車 |
| JP2005277126A (ja) * | 2004-03-25 | 2005-10-06 | Hitachi Kiden Kogyo Ltd | 基板の複数枚バッチ搬送装置 |
-
1993
- 1993-12-14 JP JP31356093A patent/JPH07169817A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11222121A (ja) * | 1997-07-10 | 1999-08-17 | Shinko Electric Co Ltd | 無人搬送車 |
| JP2005277126A (ja) * | 2004-03-25 | 2005-10-06 | Hitachi Kiden Kogyo Ltd | 基板の複数枚バッチ搬送装置 |
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