JPH07105430B2 - 搬送設備 - Google Patents
搬送設備Info
- Publication number
- JPH07105430B2 JPH07105430B2 JP27924789A JP27924789A JPH07105430B2 JP H07105430 B2 JPH07105430 B2 JP H07105430B2 JP 27924789 A JP27924789 A JP 27924789A JP 27924789 A JP27924789 A JP 27924789A JP H07105430 B2 JPH07105430 B2 JP H07105430B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cassette
- transfer
- semiconductor wafer
- transfer station
- place
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体製造における機械による自動搬送と作
業者による手動搬送の切り替えを容易に行なう搬送設備
に関するものである。
業者による手動搬送の切り替えを容易に行なう搬送設備
に関するものである。
第３図は、従来の半導体ウエハカセットの斜視図であ
り、第４図は従来の半導体生産工場の搬送システムを示
す構成図である。
り、第４図は従来の半導体生産工場の搬送システムを示
す構成図である。
第３図において、（１）は半導体ウエハ（以下、「ウエ
ハ」と呼ぶ）であり、（２）は半導体ウエハを複数枚収
納する半導体ウエハカセット（以下、「カセット」と呼
ぶ）である。
ハ」と呼ぶ）であり、（２）は半導体ウエハを複数枚収
納する半導体ウエハカセット（以下、「カセット」と呼
ぶ）である。
第４図において、（５）はカセットを複数個搬送する搬
送車であり、（６）は搬送車が走行する搬送車走行路で
ある。（７）は搬送車がカセットの積み降ろしや、取り
出しをする移載ステーションであり、移載ステーション
は、搬送車が移載ステーションに対してカセットを積み
降ろす搬送車積み降ろし場所（7a）、搬送車が移載ステ
ーションからカセットを取り出す搬送車取り出し場所
（7b）、異なるロボット間の受渡しを行なうロボット受
渡し場所（7c）、移載ステーション内の上記各場所の間
でカセットを搬送する移載ステーション搬送ロボット
（7d）から構成されている。（８）はウエハ処理装置
（９）と移載ステーション（７）間でカセットを搬送す
る移送ロボットであり、（９）はウエハを加工処理する
ウエハ処理装置である。（10）は上記搬送車（５）、移
載ステーション（７）、ウエハ処理装置（19）の複数個
を制御する上位計算機で、（11）は上位計算機の端末で
ある。
送車であり、（６）は搬送車が走行する搬送車走行路で
ある。（７）は搬送車がカセットの積み降ろしや、取り
出しをする移載ステーションであり、移載ステーション
は、搬送車が移載ステーションに対してカセットを積み
降ろす搬送車積み降ろし場所（7a）、搬送車が移載ステ
ーションからカセットを取り出す搬送車取り出し場所
（7b）、異なるロボット間の受渡しを行なうロボット受
渡し場所（7c）、移載ステーション内の上記各場所の間
でカセットを搬送する移載ステーション搬送ロボット
（7d）から構成されている。（８）はウエハ処理装置
（９）と移載ステーション（７）間でカセットを搬送す
る移送ロボットであり、（９）はウエハを加工処理する
ウエハ処理装置である。（10）は上記搬送車（５）、移
載ステーション（７）、ウエハ処理装置（19）の複数個
を制御する上位計算機で、（11）は上位計算機の端末で
ある。
次に動作について説明する。通常、移載ステーション
（７）間でのカセット（２）の搬送は、上位計算機（1
0）の指示に基づき、搬送車（５）によって行なわれる
が、搬送車（５）が故障の時、搬送車（５）の搬送負荷
が高い時等の場合で、以下のような、作業者による搬送
が行なわれる。
（７）間でのカセット（２）の搬送は、上位計算機（1
0）の指示に基づき、搬送車（５）によって行なわれる
が、搬送車（５）が故障の時、搬送車（５）の搬送負荷
が高い時等の場合で、以下のような、作業者による搬送
が行なわれる。
作業者は、移載ステーション（７）の搬送車取り出し場
所（7b）上のカセット（２）のカセット名を、同カセッ
ト（２）に収納されたウエハ（１）上に刻印された名前
より認識する。次に作業者は、上位計算機（10）の端末
（11）に向かい、上記のカセット名をキーにして、端末
（11）を操作し上位計算機（10）がデータとして有して
いる上記カセット（２）の進捗上の位置から、上記カセ
ット（２）を離脱させる。作業者は、移載ステーション
（７）に向かい、上記カセット（２）を取り出し、搬送
先である移載ステーション（７）に向かい、上記カセッ
ト（２）をこの移載ステーション（７）上の搬送車積み
降ろし場所（7a）に置く。次に作業者は、端末（11）へ
向かい、上記のカセット名をキーにして、端末（11）を
操作し、上記移載ステーション（７）上の積み降ろし場
所（7a）に相当する進捗上の位置へ上記カセット（２）
を復活させる。この後は、搬送車（５）により積み降ろ
された場合と同一になり、上記カセット（２）は、上位
計算機（10）の指示により移載ステーション搬送ロボッ
ト（7d）により、搬送車積み降ろし場所（7a）から、受
渡し場所（7c）へと送られ、移送ロボット（８）によ
り、受渡し場所（7c）からウエハ処理装置（９）へと搬
送される。
所（7b）上のカセット（２）のカセット名を、同カセッ
ト（２）に収納されたウエハ（１）上に刻印された名前
より認識する。次に作業者は、上位計算機（10）の端末
（11）に向かい、上記のカセット名をキーにして、端末
（11）を操作し上位計算機（10）がデータとして有して
いる上記カセット（２）の進捗上の位置から、上記カセ
ット（２）を離脱させる。作業者は、移載ステーション
（７）に向かい、上記カセット（２）を取り出し、搬送
先である移載ステーション（７）に向かい、上記カセッ
ト（２）をこの移載ステーション（７）上の搬送車積み
降ろし場所（7a）に置く。次に作業者は、端末（11）へ
向かい、上記のカセット名をキーにして、端末（11）を
操作し、上記移載ステーション（７）上の積み降ろし場
所（7a）に相当する進捗上の位置へ上記カセット（２）
を復活させる。この後は、搬送車（５）により積み降ろ
された場合と同一になり、上記カセット（２）は、上位
計算機（10）の指示により移載ステーション搬送ロボッ
ト（7d）により、搬送車積み降ろし場所（7a）から、受
渡し場所（7c）へと送られ、移送ロボット（８）によ
り、受渡し場所（7c）からウエハ処理装置（９）へと搬
送される。
従来の搬送設備は以上のように構成されているので、作
業者によって搬送しなければならないとき、作業者が移
載ステーションからカセットを取り出す場合と、移載ス
テーションにカセットを積み降ろす場合とに、端末を用
いて上位計算機に通信しなければならないので、操作が
複雑であり、わずらわしく、誤りが発生しやすい。
業者によって搬送しなければならないとき、作業者が移
載ステーションからカセットを取り出す場合と、移載ス
テーションにカセットを積み降ろす場合とに、端末を用
いて上位計算機に通信しなければならないので、操作が
複雑であり、わずらわしく、誤りが発生しやすい。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、作業者による搬送を行なう場合、わずらわし
い端末操作を行なうことなく、また、誤りを発生するこ
となく、簡単な操作で、カセットの搬送を行える搬送設
備を得ることを目的とする。
たもので、作業者による搬送を行なう場合、わずらわし
い端末操作を行なうことなく、また、誤りを発生するこ
となく、簡単な操作で、カセットの搬送を行える搬送設
備を得ることを目的とする。
この発明に関わる搬送設備は、半導体ウエハカセットに
取り付けられたIDカードと、移載ステーションに設けら
れたIDカードを読み取る認識装置を取り付けたIDカード
読取り場所と、また、搬送車が移載ステーションから半
導体ウエハカセットを取り出す場所と、搬送車が移載ス
テーションに半導体ウエハカセットを積み降ろす場所
と、作業者が移載ステーションから半導体ウエハカセッ
トを取り出す場所と、作業者が移載ステーションに半導
体ウエハカセットを積み降ろす場所とを独立に有してお
り、搬送車が移載ステーションから半導体ウエハカセッ
トを取り出す場所に対応する上位計算機への作業者の入
力手段を設け、搬送車が移載ステーションから半導体ウ
エハカセットを取り出す場所と作業者が移載ステーショ
ンから半導体ウエハカセットを取り出す場所の間で、半
導体ウエハカセットを上位計算機に基づき搬送する搬送
手段とを備えている。
取り付けられたIDカードと、移載ステーションに設けら
れたIDカードを読み取る認識装置を取り付けたIDカード
読取り場所と、また、搬送車が移載ステーションから半
導体ウエハカセットを取り出す場所と、搬送車が移載ス
テーションに半導体ウエハカセットを積み降ろす場所
と、作業者が移載ステーションから半導体ウエハカセッ
トを取り出す場所と、作業者が移載ステーションに半導
体ウエハカセットを積み降ろす場所とを独立に有してお
り、搬送車が移載ステーションから半導体ウエハカセッ
トを取り出す場所に対応する上位計算機への作業者の入
力手段を設け、搬送車が移載ステーションから半導体ウ
エハカセットを取り出す場所と作業者が移載ステーショ
ンから半導体ウエハカセットを取り出す場所の間で、半
導体ウエハカセットを上位計算機に基づき搬送する搬送
手段とを備えている。
本発明によれば、作業者が上記入力手段を用いることに
より、上位計算機は搬送車取り出し場所に対応する情報
を得て、搬送車の稼働状態を認識し、その情報に基づい
て移載ステーション内の搬送手段を制御し、また上記ID
カードの情報を上記IDカード認識装置が読みとることに
より、その情報を元に、上位計算機は移載ステーション
を制御する。
より、上位計算機は搬送車取り出し場所に対応する情報
を得て、搬送車の稼働状態を認識し、その情報に基づい
て移載ステーション内の搬送手段を制御し、また上記ID
カードの情報を上記IDカード認識装置が読みとることに
より、その情報を元に、上位計算機は移載ステーション
を制御する。
第１図は、半導体ウエハカセットの斜視図であり、第２
図は本発明に関わる１実施例を示した半導体生産工場の
搬送システム構成図である。同一部分または相当部分に
は同一符号を付する。
図は本発明に関わる１実施例を示した半導体生産工場の
搬送システム構成図である。同一部分または相当部分に
は同一符号を付する。
第１図において、（３）はIDカードであり、（４）はID
カードを読みとるIDカード認識装置である。IDカード
（３）は通信部（3b）によって光通信を行ない、IDカー
ド認識装置（４）と通信し、表示部（3a）には、カセッ
トNo.等の情報を表示する。（２）は上記IDカードを取
り付けられるようになったカセットである。
カードを読みとるIDカード認識装置である。IDカード
（３）は通信部（3b）によって光通信を行ない、IDカー
ド認識装置（４）と通信し、表示部（3a）には、カセッ
トNo.等の情報を表示する。（２）は上記IDカードを取
り付けられるようになったカセットである。
第２図において、（７）は搬送車がカセットの積み降ろ
しや、取り出しをする移載ステーションであり、移載ス
テーションは、従来と同様の（7a）、（7b）、（7c）、
（7d）と、IDカードを読みとるIDカード認識装置を備え
たIDカード読み取り場所（7e）、搬送車取り出し場所
（7b）に対応し作業者による搬送が可能であるかの問い
合わせを上位計算機に伝える入力手段（7f）、上記入力
手段（7f）に対応し、作業者による搬送が許可できない
場合表示するランプ（7g）、作業者が移載ステーション
（７）にカセット（２）を積み降ろす作業者積み降ろし
場所（7h）、作業者が移載ステーションからカセットを
取り出す作業者取り出し場所（7i）、作業者が移載ステ
ーション（７）にカセット（２）を積み降ろしたことを
上位計算機（10）に伝える作用者積み降ろし完了ボタン
（7j）から構成されている。（８）、（９）、（10）は
従来と同様である。
しや、取り出しをする移載ステーションであり、移載ス
テーションは、従来と同様の（7a）、（7b）、（7c）、
（7d）と、IDカードを読みとるIDカード認識装置を備え
たIDカード読み取り場所（7e）、搬送車取り出し場所
（7b）に対応し作業者による搬送が可能であるかの問い
合わせを上位計算機に伝える入力手段（7f）、上記入力
手段（7f）に対応し、作業者による搬送が許可できない
場合表示するランプ（7g）、作業者が移載ステーション
（７）にカセット（２）を積み降ろす作業者積み降ろし
場所（7h）、作業者が移載ステーションからカセットを
取り出す作業者取り出し場所（7i）、作業者が移載ステ
ーション（７）にカセット（２）を積み降ろしたことを
上位計算機（10）に伝える作用者積み降ろし完了ボタン
（7j）から構成されている。（８）、（９）、（10）は
従来と同様である。
次に動作について説明する。通常、移載ステーション間
でのカセット（２）の搬送は、上位計算機（10）の指示
に基づき、搬送車（５）によって行なわれるが、搬送車
（５）が故障の時、搬送車（５）が搬送負荷が高い時等
の場合で、以下のような作業者による搬送が行なわれ
る。作業者は、移載ステーション（７）の搬送車取り出
し場所（7b）上のカセット（２）のカセット名を、IDカ
ード（３）の表示部分（3a）に表示されている名前から
認識する。次に作業者は、搬送車取り出し場所に対応す
る入力手段（7f）を操作する。上位計算機（10）がすで
に、搬送者（５）にその情報を受けた搬送車取り出し場
所（7b）上のカセット（２）を搬送するように命令して
いたならば、ランプ（7g）を表示することにより、作業
者による取り出しの不許可を作業者に伝える。逆に作業
者による搬送が可能であれば、上位計算機（10）がデー
タとして有している上記カセット（２）の進捗上の位置
から、上記カセット（２）を手動搬送の仕掛かりとし、
移載ステーション搬送ロボット（7d）を用いて搬送車取
り出し場所（7b）から作業者取り出し場所（7i）に搬送
する。作業者は、作業者取り出し場所（7i）から、上記
カセット（２）を取り出し、搬送先である移載ステーシ
ョン（７）に向かい、上記カセット（２）をこの移載ス
テーション（７）上の作業者積み降ろし場所（7h）に置
く。つぎの作業者は、作業者積み降ろし完了ボタン（7
j）を押すと、カセット（２）は移載ステーション搬送
ロボット（7d）によりIDカード読み取り場所（7e）に搬
送され、上位計算機（10）は上記カセット（２）のカセ
ット名を、IDカード（３）をIDカード認識装置（４）に
より読みとることによって認識し、手動搬送の仕掛かり
から、上記移載ステーション（７）上の進捗上の位置へ
上記カセット（２）を移す。この後は、搬送車（５）に
より積み降ろされた場合と同一となり、上記カセット
（２）は、上位計算機（10）の指示により移載ステーシ
ョン搬送ロボット（7d）により、受渡し場所（7c）へと
送られ、移送ロボット（８）により、ウエハ処理装置
（９）へと送られる。
でのカセット（２）の搬送は、上位計算機（10）の指示
に基づき、搬送車（５）によって行なわれるが、搬送車
（５）が故障の時、搬送車（５）が搬送負荷が高い時等
の場合で、以下のような作業者による搬送が行なわれ
る。作業者は、移載ステーション（７）の搬送車取り出
し場所（7b）上のカセット（２）のカセット名を、IDカ
ード（３）の表示部分（3a）に表示されている名前から
認識する。次に作業者は、搬送車取り出し場所に対応す
る入力手段（7f）を操作する。上位計算機（10）がすで
に、搬送者（５）にその情報を受けた搬送車取り出し場
所（7b）上のカセット（２）を搬送するように命令して
いたならば、ランプ（7g）を表示することにより、作業
者による取り出しの不許可を作業者に伝える。逆に作業
者による搬送が可能であれば、上位計算機（10）がデー
タとして有している上記カセット（２）の進捗上の位置
から、上記カセット（２）を手動搬送の仕掛かりとし、
移載ステーション搬送ロボット（7d）を用いて搬送車取
り出し場所（7b）から作業者取り出し場所（7i）に搬送
する。作業者は、作業者取り出し場所（7i）から、上記
カセット（２）を取り出し、搬送先である移載ステーシ
ョン（７）に向かい、上記カセット（２）をこの移載ス
テーション（７）上の作業者積み降ろし場所（7h）に置
く。つぎの作業者は、作業者積み降ろし完了ボタン（7
j）を押すと、カセット（２）は移載ステーション搬送
ロボット（7d）によりIDカード読み取り場所（7e）に搬
送され、上位計算機（10）は上記カセット（２）のカセ
ット名を、IDカード（３）をIDカード認識装置（４）に
より読みとることによって認識し、手動搬送の仕掛かり
から、上記移載ステーション（７）上の進捗上の位置へ
上記カセット（２）を移す。この後は、搬送車（５）に
より積み降ろされた場合と同一となり、上記カセット
（２）は、上位計算機（10）の指示により移載ステーシ
ョン搬送ロボット（7d）により、受渡し場所（7c）へと
送られ、移送ロボット（８）により、ウエハ処理装置
（９）へと送られる。
以上のようにこの発明によれば、搬送車が移載ステーシ
ョンからカセットを取り出す場所に対応して上位計算機
への作業者の入力手段を備えたこと、また、カセットに
IDカード取り付け、移載ステーションにIDカードを読み
とるIDカード認識装置を備え付けたIDカード読み取り場
所を設けたことにより、機械による自動搬送から作業者
による手動搬送の切り替えの端末での操作が不用とな
り、容易になる。
ョンからカセットを取り出す場所に対応して上位計算機
への作業者の入力手段を備えたこと、また、カセットに
IDカード取り付け、移載ステーションにIDカードを読み
とるIDカード認識装置を備え付けたIDカード読み取り場
所を設けたことにより、機械による自動搬送から作業者
による手動搬送の切り替えの端末での操作が不用とな
り、容易になる。
第１図は、本発明に関わる半導体ウエハカセットの斜視
図であり、第２図は本発明に係わる１実施例を示した半
導体生産工場の搬送システムを示す構成図である。第３
図は、従来の半導体ウエハカセットの斜視図であり、第
４図は従来の半導体生産工場の搬送設備を示す構成図で
ある。 図において、（１）は半導体ウエハ、（２）は半導体ウ
エハカセット、（３）はIDカード、（４）はIDカード認
識装置、（５）は搬送車、（７）は移載ステーション、
（7a）は搬送車積み降ろし場所、（7b）は搬送車取り出
し場所、（7d）は移載ステーション搬送ロボット、（7
e）はIDカード読み取り場所、（7f）は搬送車取り出し
場所対応入力手段、（7h）は作業者積み降ろし場所、
（7i）は作業者取り出し場所、（10）は上位計算機であ
る。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
図であり、第２図は本発明に係わる１実施例を示した半
導体生産工場の搬送システムを示す構成図である。第３
図は、従来の半導体ウエハカセットの斜視図であり、第
４図は従来の半導体生産工場の搬送設備を示す構成図で
ある。 図において、（１）は半導体ウエハ、（２）は半導体ウ
エハカセット、（３）はIDカード、（４）はIDカード認
識装置、（５）は搬送車、（７）は移載ステーション、
（7a）は搬送車積み降ろし場所、（7b）は搬送車取り出
し場所、（7d）は移載ステーション搬送ロボット、（7
e）はIDカード読み取り場所、（7f）は搬送車取り出し
場所対応入力手段、（7h）は作業者積み降ろし場所、
（7i）は作業者取り出し場所、（10）は上位計算機であ
る。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 【請求項１】半導体ウエハと、上記半導体ウエハを複数
枚収納する半導体ウエハカセットと、上記半導体ウエハ
カセットを搬送する搬送車と、上記搬送車が上記半導体
ウエハカセットを積み降ろし取り出す移載ステーション
と、上記搬送車と上記移載ステーションの制御を行なう
上位計算機からなる半導体ウエハ搬送設備において、上
記半導体ウエハカセットにIDカードを取り付け、上記移
載ステーションに、上記IDカードを読み取る認識装置を
取り付けたIDカードの読取り場所を設け、また、上記移
載ステーションに、上記搬送車が上記移載ステーション
から上記半導体ウエハカセットを取り出す場所と、上記
搬送車が上記移載ステーションに上記半導体ウエハカセ
ットを積み降ろす場所と、作業者が上記移載ステーショ
ンから上記半導体ウエハカセットを取り出す場所と、作
業者が上記移載ステーションに上記半導体ウエハカセッ
トを積み降ろす場所とを独立に有し、上記搬送車が上記
移載ステーションから上記半導体ウエハカセットを取り
出す場所に対応する上位計算機への作業者の入力手段を
設け、上記搬送車が上記移載ステーションから上記半導
体ウエハカセットを取り出す場所と、作業者が上記移載
ステーションから上記半導体ウエハカセットを取り出す
場所の間で、上記半導体ウエハカセットを上記上位計算
機に基づき搬送する搬送手段とを設けたことを特徴とす
る搬送設備。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27924789A JPH07105430B2 (ja) | 1989-10-25 | 1989-10-25 | 搬送設備 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27924789A JPH07105430B2 (ja) | 1989-10-25 | 1989-10-25 | 搬送設備 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03218650A JPH03218650A (ja) | 1991-09-26 |
| JPH07105430B2 true JPH07105430B2 (ja) | 1995-11-13 |
Family
ID=17608488
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27924789A Expired - Fee Related JPH07105430B2 (ja) | 1989-10-25 | 1989-10-25 | 搬送設備 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07105430B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5256204A (en) * | 1991-12-13 | 1993-10-26 | United Microelectronics Corporation | Single semiconductor water transfer method and manufacturing system |
| JP2791251B2 (ja) * | 1992-07-30 | 1998-08-27 | 三菱電機株式会社 | 半導体処理装置及び方法並びに半導体処理装置モジュール |
| KR100280644B1 (ko) * | 1999-02-12 | 2001-01-15 | 윤종용 | 기판의 반출입 시스템 및 반출입 방법 |
-
1989
- 1989-10-25 JP JP27924789A patent/JPH07105430B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03218650A (ja) | 1991-09-26 |
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