KR101488604B1 - 이송암 및 이를 포함하는 기판 이송장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판을 지지하기 위한 지지핸드, 상기 지지핸드를 승강시키기 위한 승강부에 승강 가능하게 결합되는 암베이스, 상기 암베이스가 상기 승강부에 결합되는 일측으로부터 이격된 타측에 결합되는 암바디, 상기 지지핸드가 상기 암바디로부터 돌출되는 전진방향 및 상기 전진방향에 반대되는 후진방향 간에 이동 가능하게 상기 암바디에 결합되는 암유닛, 및 상기 지지핸드가 상기 전진방향으로 이동하는 경우 상기 암바디를 지지하기 위해 상기 암베이스로부터 상기 전진방향 쪽으로 돌출되게 상기 암베이스에 결합되는 제1지지부재를 포함하는 것을 특징으로한다.
본 발명에 따르면 이송암이 하측방향으로 기울어지는 것을 방지함으로써 상기 이송암이 상기 기판 및 상기 카세트와 충돌함에 따라 상기 기판 및 상기 카세트가 손상 내지 파손되는 것을 방지할 수 있다.

Description

이송암 및 이를 포함하는 기판 이송장치{TRANSFER ARM AND APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE}
본 발명은 기판을 이송하기 위한 기판 이송장치에 관한 것이다.
디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등(이하, '전자부품'이라 함)은 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조 공정은 상기 전자부품을 제조하기 위한 기판(Substrate)을 이용하여 이루어진다. 예컨대, 상기 제조 공정은 기판 상에 도전체, 반도체, 유전체 등의 박막을 증착하기 위한 증착공정, 증착된 박막을 소정 패턴으로 형성하기 위한 식각공정 등을 포함할 수 있다. 이러한 제조 공정들은 해당 공정을 수행하는 공정챔버에서 이루어진다.
상기 공정챔버는 각 공정마다 서로 이격된 공간에 설치되어 있기 때문에, 상기 기판을 작업이 진행될 상기 공정챔버로 이송하기 위해 카세트가 이용된다. 기판 이송장치는 상기 카세트와 상기 공정챔버들 간에 기판을 이송하기 위한 것이다.
도 1은 종래 기술에 따른 기판 이송장치를 나타내는 블록도이고, 도 2는 종래 기술에 따른 기판 이송장치에서 지지핸드의 작동을 나타내는 단면도이다.
도 1을 참고하면, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(1)는 기판(S)을 지지하는 이송암(10), 상기 이송암(10)을 승강시키기 위한 승강부(20), 및 상기 이송암(10)을 회전시키기 위한 선회부(30)를 포함한다.
상기 이송암(10)은 상기 기판(S)을 지지한 상태에서 상기 기판(S)이 상기 카세트(A)에 삽입되는 전진방향 및 상기 카세트(A)로부터 상기 기판(S)이 이격되는 후진방향으로 이동한다. 상기 이송암(10)은 상기 기판(S)을 지지하는 지지핸드(11), 상기 지지핸드(11)를 상기 전진방향 및 상기 후진방향으로 이송시키기 위한 암유닛(12), 및 일측에 상기 암유닛(12)이 결합되고 타측에 상기 승강부(20)가 결합되는 암베이스(13)를 포함한다.
상기 승강부(20)는 상기 이송암(10)을 상하방향으로 이동시킨다. 상기 승강부(20)는 상기 암베이스(13)를 승강시킴으로써, 상기 암베이스(13)에 결합되는 상기 지지핸드(11), 및 상기 암유닛(12)을 승강시킨다.
상기 선회부(30)는 상기 승강부(20)를 회전시킨다. 상기 선회부(30)는 상기 주행부(40)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 선회부(30)는 회전축을 중심으로 상기 승강부(20)를 회전시킴으로써, 상기 이송암(10)에 지지된 상기 기판(S)을 회전시킨다.
여기서, 상기 기판(S)은 상기 카세트(A)에 소정 간격으로 이격되어 복수 개가 저장된다. 따라서, 상기 지지핸드(11)가 상기 카세트(A)의 외부에서 상기 카세트(A)의 내부로 이동하는 경우, 상기 지지핸드(11)는 상기 카세트(A)에 저장된 다른 기판(S) 및 상기 카세트(A)에 충돌하지 않도록 상기 전진방향으로 정확하게 이동하여야 한다. 또한, 상기 지지핸드(11)가 상기 카세트(A)의 내부에서 상기 카세트(A)의 외부로 이동하는 경우, 상기 지지핸드(11)는 상기 카세트(A)에 저장된 다른 기판(S) 및 상기 카세트(A)에 충돌하지 않도록 상기 후진방향으로 정확하게 이동하여야 한다.
그러나, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 지지핸드(11)가 상기 전진방향으로 최대로 이동하였을 때, 상기 이송암(10)의 무게중심이 상기 전진방향 쪽으로 이동됨에 따라 상기 지지핸드(11)가 하측방향으로 기울어지게 된다.
따라서, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 전진방향으로 이동하는 지지핸드(11)가 하측방향으로 기울어짐에 따라 상기 카세트(A)에 저장된 다른 기판(S) 및 상기 카세트(A)에 충돌함으로써, 상기 기판(S) 및 상기 카세트(A)를 손상 내지 파손시키는 문제가 있다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 지지핸드가 기울어지는 것을 방지하기 위한 이송암 및 이를 포함하는 기판 이송장치에 관한 것이다.
상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 이송암은 기판을 지지하기 위한 지지핸드; 상기 지지핸드를 승강시키기 위한 승강부에 승강 가능하게 결합되는 암베이스; 상기 암베이스가 상기 승강부에 결합되는 일측으로부터 이격된 타측에 결합되는 암바디; 상기 지지핸드가 상기 암바디로부터 돌출되는 전진방향 및 상기 전진방향에 반대되는 후진방향 간에 이동 가능하게 상기 암바디에 결합되는 암유닛; 및 상기 지지핸드가 상기 전진방향으로 이동하는 경우 상기 암바디를 지지하기 위해 상기 암베이스로부터 상기 전진방향 쪽으로 돌출되게 상기 암베이스에 결합되는 제 1 지지부재; 및 상기 지지핸드가 상기 후진방향으로 이동하는 경우 상기 암바디를 지지하기 위해 상기 암베이스로부터 상기 후진방향 쪽으로 돌출되게 상기 암베이스에 결합되는 제 2 지지부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
삭제
본 발명에 따른 이송암에 따르면 상기 암베이스는 상기 승강부에 결합되는 제 1 암베이스, 및 상기 승강부에서 상기 지지핸드를 향하는 방향으로 상기 제 1 암베이스로부터 돌출되게 상기 제 1 암베이스에 결합되는 제 2 암베이스를 포함하고, 상기 제 2 암베이스는 상면이 상기 제 1 암베이스의 상면보다 낮은 높이를 갖는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 이송암은 상기 제 1 암베이스와 상기 제 2 암베이스가 연결되는 연결부의 강도를 보강하기 위한 보강부를 포함하고, 상기 보강부는 상기 연결부의 일측에서 상기 연결부의 강도를 보강하기 위한 제 1 보강부재, 및 상기 연결부의 타측에서 상기 연결부의 강도를 보강하기 위한 제 2 보강부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 이송암에 따르면 상기 암베이스는 상기 암베이스로부터 돌출되게 상기 암베이스에 결합되는 제 3 지지부재를 포함하고, 상기 제 3 지지부재는 상기 제 1 지지부재 및 상기 제 2 지지부재 각각에 대해 상이(相異)한 방향으로 상기 암베이스로부터 돌출되게 상기 암베이스에 결합되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 기판 이송장치는 기판을 지지하기 위한 이송암; 상기 이송암이 위치하는 높이가 변경되도록 상기 이송암을 승강시키기 위한 승강부; 상기 이송암이 향하는 방향이 변경되도록 상기 승강부를 회전시키는 선회부; 및 상기 선회부를 주행방향으로 이동시키기 위한 주행부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
본 발명은 이송암이 하측방향으로 기울어지는 것을 방지함으로써 상기 이송암이 상기 기판 및 상기 카세트와 충돌함에 따라 상기 기판 및 상기 카세트가 손상 내지 파손되는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 기판 이송장치를 나타내는 블록도이고,
도 2는 종래 기술에 따른 기판 이송장치에서 지지핸드의 작동을 나타내는 단면도이고,
도 3은 본 발명에 따른 이송암 및 이를 포함하는 기판 이송장치를 나타내는 사시도이고,
도 4는 도 3의 이송암 및 이를 포함하는 기판 이송장치에서 제 1 지지부재 및 제 2 지지부재를 나타내는 평면도이고,
도 5는 도 3의 이송암 및 이를 포함하는 기판 이송장치의 측면도이고,
도 6은 도 3의 이송암 및 이를 포함하는 기판 이송장치에서 제 3 지지부재를 나타내는 평면도이다.
본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다.
한편, 본 명세서에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 정의하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다.
"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
"적어도 하나"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 적어도 하나"의 의미는 제1항목, 제2항목 또는 제3항목 각각 뿐만 아니라 제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다.
이하에서는 본 발명에 따른 기판 이송장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 본 발명에 따른 주행장치는 본 발명에 따른 기판 이송장치에 포함되므로, 본 발명에 따른 기판 이송장치의 바람직한 실시예를 설명하면서 함께 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명에 따른 이송암 및 이를 포함하는 기판 이송장치를 나타내는 사시도이고, 도 4는 도 3의 이송암 및 이를 포함하는 기판 이송장치에서 제 1 지지부재 및 제 2 지지부재를 나타내는 평면도이고, 도 5는 도 3의 이송암 및 이를 포함하는 기판 이송장치의 측면도이고, 도 6은 도 3의 이송암 및 이를 포함하는 기판 이송장치에서 제 3 지지부재를 나타내는 평면도이다.
본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 기판(110)을 이송하기 위한 것이다. 상기 기판(110)은 디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등의 전자부품을 제조하기 위한 것이다. 예컨대, 상기 기판(110)은 상기 전자부품을 제조하기 위한 유리기판일 수 있다. 상기 기판(110)은 금속(Metal) 기판, 폴리이미드(Polyimide) 기판, 플라스틱(Plastic) 기판 등일 수도 있다. 상기 전자부품이 디스플레이 장치인 경우, 상기 기판(110)은 2매 이상의 기판이 서로 합착된 합착기판일 수도 있다. 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 기판(110)에 대한 증착공정, 식각공정 등의 제조공정을 수행하는 공정챔버들 간에 상기 기판(110)을 이송할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 공정챔버들 및 상기 기판(110)이 저장되는 카세트 간에 상기 기판(110)을 이송할 수도 있다.
도 3 내지 도 6을 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 기판(110)을 이송하기 위한 이송암(200), 상기 이송암(200)을 승강시키기 위한 승강부(120), 상기 승강부(120)를 회전시키기 위한 선회부(130), 및 상기 선회부(130)를 이동시키기 위한 주행부(140)를 포함한다.
상기 이송암(200)은 상기 승강부(120)에 승강 가능하게 결합되는 암베이스(210), 상기 암베이스(210)가 상기 승강부(120)에 결합되는 일측으로부터 이격된 타측에 결합되는 암바디(220), 상기 암바디(220)에 결합되는 암유닛(230), 상기 기판(110)을 지지하기 위한 지지핸드(240), 및 상기 암바디(220)를 지지하기 위한 제 1 지지부재(250)를 포함한다.
상기 지지핸드(240)는 상기 암바디(220)에 결합되며, 상기 기판(110)을 지지한다. 여기서, 상기 암바디(220)는 상기 암바디(220)로부터 돌출되는 전진방향으로 이동하는 경우, 하측방향으로 기울어질 수 있다. 이를 방지하기 위해, 상기 제 1 지지부재(250)는 상기 지지핸드(240)가 상기 전진방향으로 이동하는 경우, 상기 암바디(220)를 지지한다.
이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 전진방향으로 이동하는 지지핸드(240)가 하측방향으로 기울어지는 것을 방지함으로써, 상기 지지핸드(240)가 상기 카세트(A)에 저장된 다른 상기 기판(110) 및 상기 카세트(A)에 충돌하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 기판(110) 및 상기 카세트(A)가 손상 내지 파손되는 것을 방지할 수 있다.
이하에서는, 상기 이송암(200), 상기 승강부(120), 상기 선회부(130), 및 상기 주행부(140)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.
상기 이송암(200)은 상기 기판(110)을 이송한다. 상기 이송암(200)은 상기 승강부(120)에 결합된다. 이에 따라, 상기 이송암(200)은 상기 승강부(120)가 상기 선회부(130)에 의해 회전됨에 따라 함께 회전될 수 있다. 상기 이송암(200)은 암베이스(210), 암바디(220), 암유닛(230), 지지핸드(240), 및 제 1 지지부재(250)를 포함한다.
상기 암베이스(210)는 상기 승강부(120)에 승강 가능하게 결합된다. 상기 암베이스(210)는 상기 승강부(120)에 의해 승강된다. 이에 따라, 상기 이송암(200)이 위치하는 높이가 변경될 수 있다. 상기 암베이스(210)는 제 1 암베이스(211) 및 상기 제 1 암베이스(211)에 결합되는 제 2 암베이스(212), 및 상기 제 1 암베이스(211)와 상기 제 2 암베이스(212)가 연결되는 연결부(213)의 강도를 보강하기 위한 보강부(214)를 포함한다.
상기 제 1 암베이스(211)는 상기 승강부(120)에 승강 가능하게 결합된다. 상기 제 1 암베이스(211) 상면은 상기 제 2 암베이스(211) 상면에 비해 높은 높이를 갖는다.
상기 제 2 암베이스(212)는 상기 승강부(120)에서 상기 지지핸드(240)를 향하는 방향으로 상기 제 1 암베이스(211)로부터 돌출되게 상기 제 1 암베이스(211)에 결합된다. 상기 제 2 암베이스(212) 상면은 상기 제 1 암베이스(211) 상면에 비해 낮은 높이를 갖는다. 상기 제 2 암베이스(212)의 상기 제 1 암베이스(211)와 결합되는 위치에 대해 반대되는 일측에는 상기 암바디(220), 상기 암유닛(230), 및 상기 지지핸드(240)가 결합된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 이송암(200)이 상기 승강부(120)에 결합된 상태에서 상기 승강부(120)에서 상기 지지핸드(240)를 향하는 방향으로 돌출되는 외팔보 형태를 갖을 수 있다.
따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 제 2 암베이스(212) 상면이 상기 제 1 암베이스(211) 상면에 비해 낮은 높이를 갖음으로써, 상기 이송암(200)이 상기 승강부(120)에 의해 승강되는 승강범위를 늘릴 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 기판(110)을 이송하는 작업의 효율성을 향상시킬 수 있다.
상기 보강부(214)는 상기 연결부(213)의 강도를 보강한다. 상기 보강부(214)는 상기 연결부(213)의 일측에 결합되는 제 1 보강부재(214a) 및 상기 연결부(213)의 타측에 결합되는 제 2 보강부재(214b)를 포함한다.
상기 제 1 보강부재(214a)는 상기 연결부(213)의 일측에서 상기 연결부(213)의 강도를 보강한다. 상기 제 1 보강부재(214a)는 상기 연결부(213)의 상측에 결합될 수 있다.
상기 제 2 보강부재(214b)는 상기 연결부(214)의 타측에서 상기 연결부(213)의 강도를 보강한다. 상기 제 2 보강부재(214b)는 상기 연결부(213)의 하측에 결합될 수 있다.
이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 기판(110)을 이송하는 과정에서 상기 암바디(220)의 무게에 의해 상기 제 1 암베이스(211)와 상기 제 2 암베이스(212)가 상호 분리되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 기판(110)을 이송하기 위한 가동률을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라 유지 보수 비용을 절감할 수 있다.
상기 암바디(220)는 상기 암베이스(210)에 결합된다. 상기 암베이스(210)의 일측이 상기 승강부(120)에 결합되는 경우, 상기 암바디(122)는 상기 암베이스(210)의 타측에 결합될 수 있다.
상기 암유닛(230)은 상기 암바디(122)에 상기 전진방향 또는 상기 전진방향에 반대되는 후진방향 간에 이동 가능하게 결합된다. 상기 암유닛(230)이 이동함에 따라 상기 지지핸드(240)가 함께 이동할 수 있다. 상기 암유닛(230)은 상기 지지핸드(240)를 직선으로 이동시킬 수 있다. 상기 암유닛(230)은 제 1 암기구(231) 및 제 2 암기구(232)를 포함할 수 있다.
상기 제 1 암기구(231)는 상기 암바디(220)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 제 1 암기구(231)는 모터와 볼스크류(Ball Screw) 등을 이용한 볼스크류 방식으로 이동할 수 있다. 상기 제 1 암기구(231)는 모터와 랙기어(Rack Gear)와 피니언기어(Pinion Gear) 등을 이용한 기어 방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트 방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터(Linear Motor) 방식으로 이동할 수도 있다.
상기 제 2 암기구(232)는 상기 제1암기구(231)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 제1암기구(231)는 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트 방식으로 이동할 수 있다. 상기 제1암기구(231)는 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류 방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어 방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 방식으로 이동할 수도 있다.
상기 지지핸드(240)는 상기 암유닛(230)에 결합된다. 상기 지지핸드(240)는 상기 기판(110)을 지지한다. 이에 따라, 상기 지지핸드(240)는 상기 암유닛(230)이 이동함에 따라 직선으로 이동함으로써, 상기 기판(110)을 이송할 수 있다. 상기 지지핸드(240)는 상기 제 2 암기구(232)에 결합될 수 있다.
상기 제 1 지지부재(250)는 상기 지지핸드(240)가 상기 카세트(A)에 상기 기판(110)을 보관하기 위해 상기 전진방향으로 이동하는 경우, 상기 암바디(220)를 지지한다. 이를 위해, 상기 제 1 지지부재(250)는 상기 암베이스(210)로부터 상기 전진방향 쪽으로 돌출되게 상기 암베이스(210)에 결합된다.
이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 제 1 지지부재(250)가 상기 암바디(220)를 지지으로써, 상기 지지핸드(240)가 상기 전진방향으로 최대로 이동하였을 때, 상기 이송암(200)의 무게중심이 상기 전진방향 쪽으로 이동됨에 따라 상기 지지핸드(240)가 하측방향으로 기울어지는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 지지핸드(240)가 상기 카세트(A)에 저장된 다른 기판(110)들 중에서 하측에 보관된 상기 기판(110) 및 상기 카세트(A)에 충돌하는 것을 방지함으로써, 상기 기판(110) 및 상기 카세트(A)가 손상 내지 파손되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송징치(100)는 상기 지지핸드(240)가 상기 기판(110) 및 상기 카세트(A)와 충돌함에 따라 상기 기판(110) 및 상기 카세트(A)가 손상 내지 파손되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 후진방향으로 이동하는 상기 지지핸드(240)를 지지하기 위한 제 2 지지부재(260)를 포함할 수 있다.
상기 제 2 지지부재(260)는 상기 지지핸드(240)가 상기 카세트(A)에 보관된 상기 기판(110)을 상기 공정챔버로 이송시키기 위해 상기 후진방향으로 이동하는 경우, 상기 암바디(220)를 지지한다. 이를 위해, 상기 제 2 지지부재(260)는 상기 암베이스(210)로부터 상기 후진방향 쪽으로 돌출되게 상기 암베이스(210)에 결합된다.
이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 제 2 지지부재(250)가 상기 암바디(220)를 지지함으로써, 상기 지지핸드(240)가 상기 후진방향으로 최대로 이동하였을 때, 상기 이송암(200)의 무게중심이 상기 후진방향 쪽으로 이동됨에 따라 상기 지지핸드(240)가 상기 후진방향의 하측방향으로 기울어지는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 지지핸드(240)가 상기 카세트(A)에 저장된 다른 기판(110)들 중에서 상측에 보관된 상기 기판(110) 및 상기 카세트(A)에 충돌함에 따라, 상기 기판(110) 및 상기 카세트(A)가 손상 내지 파손되는 것을 더 방지할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 암베이스(210)로부터 돌출되게 상기 암베이스(210)에 결합되는 제 3 지지부재(270)를 포함한다.
상기 제 3 지지부재(270)는 상기 제 1 지지부재(250) 및 상기 제 2 지지부재(260) 각각에 대해 상이(相異)한 방향으로 상기 암베이스(210)로부터 돌출되도록 상기 암베이스(210)에 결합된다. 예컨대, 상기 제 3 지지부재(270)는 상기 암바디(220)를 상기 승강부(120)로부터 상기 제 2 암베이스(212)를 향하는 방향에서 할 수 있다. 이 경우, 상기 제 3 지지부재(270)는 상기 승강부(120)로부터 상기 제 2 암베이스(212)를 향하는 방향으로 상기 암베이스(210)에 결합된다.
이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 제 1 지지부재(250), 상기 제 2 지지부재(260) 및 상기 제 3 지지부재(270)가 상기 암바디(220)를 상기 전진방향, 상기 후진방향 및 상기 전진방향과 상기 후진방향과 상이(相異)한 방향에서 지지함으로써, 상기 지지핸드(240)가 상기 기판(110) 및 상기 카세트(A)와 충돌하는 것을 방지할 수 있으므로, 상기 기판(110)을 이송하는 작업의 효율성을 향상시킬 수 있다.
상기 승강부(120)는 상기 이송암(200)을 승강시킨다. 이를 위해, 상기 승강부(120)에는 상기 암베이스(121)가 결합된다. 이에 따라, 상기 승강부(120)는 상기 이송암(200)이 위치하는 높이를 변경시킬 수 있다. 상기 승강부(120)는 상기 선회부(130)에 회전 가능하게 결합된다.
상기 선회부(130)는 상기 승강부(120)를 회전시킨다. 이에 따라, 상기 선회부(130)는 상기 이송암(200)이 향하는 방향을 변경시킬 수 있다. 상기 선회부(130)는 상기 주행부(140)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 선회부(130)는 상기 주행ㅂ부(140)에 결합된 상태에서 회전축을 중심으로 회전함으로써, 상기 승강부(120)를 회전시킬 수 있다.
상기 주행부(140)는 상기 선회부(130)를 주행방향을 따라 이동시킨다. 이에 따라, 상기 주행부(140)는 상기 이송암(200)에 기기된 기판(110)을 주행방향으로 이동시킬 수 있다. 상기 주행부(140)는 주행베이스(141) 및 주행가이드부(142)를 포함한다.
상기 주행베이스(141)는 상기 주행가이드부(142) 따라 주행방향으로 이동한다. 상기 주행베이스(141)는 구동부(미도시)로부터 제공되는 구동력에 의해 주행방향으로 이동한다. 예컨대, 상기 주행베이스(141)가 주행방향을 따라 이동함으로써, 상기 기판(110)이 주행방향을 따라 이송될 수 있다. 상기 주행베이스(141)에는 상기 선회부(130)가 결합된다.
상기 주행가이드부(142)는 주행방향을 따라 설치된다. 상기 주행가이드부(142)는 상기 주행베이스(141)가 이동되는 경로를 제공한다. 상기 주행가이드부(142)에는 상기 주행베이스(141)가 결합된다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
100: 기판 이송장치 120: 승강부
130: 선회부 140: 주행부
141: 주행베이스 142: 주행가이드부
200: 이송암 210: 암베이스
211: 제 1 암베이스 212: 제 2 암베이스
213: 연결부 214: 보강부
214a: 제 1 보강부재 214b: 제 2 보강부재
220: 암바디 230: 암유닛
231: 제 1 암기구 232: 제 2 암기구
240: 지지핸드 250: 제 1 지지부재
260: 제 2 지지부재 270: 제 3 지지부재

Claims (6)

  1. 기판을 지지하기 위한 지지핸드;
    상기 지지핸드를 승강시키기 위한 승강부에 승강 가능하게 결합되는 암베이스;
    상기 암베이스가 상기 승강부에 결합되는 일측으로부터 이격된 타측에 결합되는 암바디;
    상기 지지핸드가 상기 암바디로부터 돌출되는 전진방향 및 상기 전진방향에 반대되는 후진방향 간에 이동 가능하게 상기 암바디에 결합되는 암유닛;
    상기 지지핸드가 상기 전진방향으로 이동하는 경우 상기 암바디를 지지하기 위해 상기 암베이스로부터 상기 전진방향 쪽으로 돌출되게 상기 암베이스에 결합되는 제 1 지지부재; 및
    상기 지지핸드가 상기 후진방향으로 이동하는 경우 상기 암바디를 지지하기 위해 상기 암베이스로부터 상기 후진방향 쪽으로 돌출되게 상기 암베이스에 결합되는 제 2 지지부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송암.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 암베이스는 상기 승강부에 결합되는 제 1 암베이스, 및 상기 승강부에서 상기 지지핸드를 향하는 방향으로 상기 제 1 암베이스로부터 돌출되게 상기 제 1 암베이스에 결합되는 제 2 암베이스를 포함하고,
    상기 제 2 암베이스는 상면이 상기 제 1 암베이스의 상면보다 낮은 높이를 갖는 것을 특징으로 하는 이송암.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 암베이스는 상기 제 1 암베이스와 상기 제 2 암베이스가 연결되는 연결부의 강도를 보강하기 위한 보강부를 포함하고,
    상기 보강부는 상기 연결부의 일측에서 상기 연결부의 강도를 보강하기 위한 제 1 보강부재, 및 상기 연결부의 타측에서 상기 연결부의 강도를 보강하기 위한 제 2 보강부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송암.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 암베이스로부터 돌출되게 상기 암베이스에 결합되는 제 3 지지부재를 포함하고,
    상기 제 3 지지부재는 상기 제 1 지지부재 및 상기 제 2 지지부재 각각에 대해 상이(相異)한 방향으로 상기 암베이스로부터 돌출되게 상기 암베이스에 결합되는 것을 특징으로 하는 이송암.
  6. 기판을 지지하기 위한 제1항 및 제3항 내지 제5항 중에서 어느 한 항에 기재된 이송암;
    상기 이송암이 위치하는 높이가 변경되도록 상기 이송암을 승강시키기 위한 승강부;
    상기 이송암이 향하는 방향이 변경되도록 상기 승강부를 회전시키는 선회부; 및
    상기 선회부를 주행방향으로 이동시키기 위한 주행부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
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KR20120053273A (ko) * 2010-11-17 2012-05-25 삼성전자주식회사 기판이송로봇

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