JP2014108744A - ミニマル装置の運搬装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ミニマル装置の特殊性を生かした運搬装置を提供する。
【解決手段】床面上に車輪により支持されたフレーム４８を有する。フレーム４８上の一点を支点にして、床面に対して第１支持腕８０を昇降させる棒状の一対の第１アーム７２と、同じくフレーム４８上の一点を支点にして、床面に対して第２支持腕８２を昇降させる棒状の一対の第２アーム７４とを備える。これらが、昇降板４２を支持している。フレーム４８には、第１アーム７２の第１支持腕８０の下面にくさび状の斜面を接するようにして、フレーム４８に対して前後方向に移動するくさびガイド７８が支持されている。くさびガイド７８は、第１アーム７２の第１支持腕８０の下面に接した状態で一方に移動すると第１支持腕８０を上昇させ、他方に移動すると第１支持腕８０を下降させる。
【選択図】図３

Description

本発明は、ミニマルファブ生産ラインの変更時等にミニマル装置を運搬するための運搬装置に関する。

ミニマルファブは、半導体デバイスの多品種少量生産および変種変量生産するための低コストかつ省エネルギーの生産方式として注目されている（特許文献１）。ミニマル装置は、ミニマルファブにおいて半導体デバイスの露光、エッチング、洗浄といった、生産ラインの一工程分の処理をするユニットである。必要な工程を担う各ミニマル装置を、製造プロセスの順番に配列してミニマルファブ生産ラインを構築する。

特開２０１２−５４４１４号公報

ある製品の製造のために配列したミニマル装置の配列を変更すれば、別の製品の生産ラインが実現する。生産ラインの変更時には、ミニマル装置を持ち上げて、移動させ、別の場所に降ろして固定するという作業が必要になる。しかしながら、底面積に比べて背の高いミニマル装置は不安定である。また、工程間の部品や製品の搬送を容易にするためには、隣接するミニマル装置の間隔を短くし、かつ、正確に配置する必要がある。低い状態から、一般のジャッキ構造よりも軽い操作でジャッキアップでき、ミニマル装置の特殊性を生かした運搬装置を提供することを目的とする。

以下の構成はそれぞれ上記の課題を解決するための手段である。
＜構成１＞
以下の構成要素を備えたことを特徴とするミニマル装置の運搬装置。
（ａ） 床面上に車輪により支持されたフレーム４８を有する。
（ｂ） フレーム４８上の一点を支点にして、床面に対して第１支持腕８０を昇降させる棒状の一対の第１アーム７２と、同じくフレーム４８上の一点を支点にして、床面に対して第２支持腕８２を昇降させる棒状の一対の第２アーム７４とを備える。
（ｃ） 第１アーム７２と第２アーム７４は、運搬装置１０のフレーム上で、運搬装置１０の左右の側面から見たとき、互いにＸ字状に交差するように配置されている。
（ｄ） 第１アーム７２が第１支持腕８０を上昇させたときに、第２アーム７４の第２支持腕８２を上昇させる連動機構が設けられている。
（ｅ） 一対の第１アーム７２の第１支持腕８０と、一対の第２アーム７４の第２支持腕８０とで、ミニマル装置を支持するための昇降板４２を支持している。
（ａ） 第１アーム７２のフレーム４８上の支点は、フレーム４８上の位置が固定されている。
（ａ） 第２アームの昇降板４２の支持点は、昇降板４２上の位置が固定されている。
（ａ）第２アーム７４のフレーム４８上の支点は、フレーム４８に対して前後方向にスライドする構造を有する。
（ａ）第１アーム７４の昇降板４２の支持点は、昇降板４２に対して前後方向にスライドする構造を有する。
（ｆ） フレーム４８には、第１アーム７２の第１支持腕８０の下面にくさび状の斜面を接するようにして、フレーム４８に対して前後方向に移動するくさびガイド７８が支持されている。
（ｇ） くさびガイド７８は、第１アーム７２の第１支持腕８０の下面に接した状態で一方に移動すると第１支持腕８０を上昇させ、他方に移動すると第１支持腕８０を下降させる。
（ｈ） 運搬装置には、くさびガイド７８を移動させるための駆動機構が設けられている。

＜構成２＞
前記駆動機構は、一対のくさびガイド７８を一対の第１アーム７２の第１支持腕８０の下面に接するように、フレーム４８に対して前後方向に移動するスライダ７０に固定されていることを特徴とする構成１に記載のミニマル装置の運搬装置。

＜構成３＞
前記連動機構は、第１アーム７２と第２アーム７４のＸ字状に交差する部分に設けた貫通孔を貫通する連動軸７６であることを特徴とする構成１または２に記載のミニマル装置の運搬装置。

＜構成４＞
前記第１アーム７２の前記フレーム４８上の支点には支点軸８１が設けられ、この支点軸８１を越えて前記第１アームを延長した場所に前輪５４を配置したことを特徴とする構成１乃至３のいずれかに記載のミニマル装置の運搬装置。

＜構成５＞
前記第２アーム７４の前記昇降板４２と接する部分には、昇降板４２と連結する板支持軸８８が設けられ、前記第２アーム７４の前記フレーム４８上の支点には、運搬装置の前後方向に長い軸孔８６にはまり合う支点軸８３が設けられ、第１支持腕８０が上昇してくさびガイド７８のくさび状の斜面を離れたとき、第２アーム７４の支点軸８３またはその近傍に前記スライダ７０が接して運搬装置の前方に向かって押し、前記第２アーム７４の前記フレーム４８上の支点が前記軸孔８６に沿って前方に移動することを特徴とする構成１乃至４のいずれかに記載のミニマル装置の運搬装置。

＜構成６＞
フレーム４８の左右側面には、固定構造１１６の側面に接してフレーム４８の固定構造１１６に対する向きを規制する幅決めガイド８４が取り付けられていることを特徴とする構成１乃至５のいずれかに記載のミニマル装置の運搬装置。

＜構成７＞
フレーム４８の前端には、固定構造１１６の前輪ストッパに乗り上げる位置に前輪５４が設けられていることを特徴とする構成１乃至６のいずれかに記載のミニマル装置の運搬装置。

＜構成１の効果＞
最も低い状態からくさびガイド７８を用いて第１アーム７２の第１支持腕８０を持ち上げるようにするので、一般のジャッキ構造よりも軽い操作でジャッキアップできる。
＜構成２の効果＞
スライダ７０によって、一対のくさびガイド７８を、それぞれ第１アーム７２の第１支持腕８０の下面に接しさせた状態で移動させて、一対の第１支持腕８０を一体に昇降させることができる。
＜構成３の効果＞
第１アーム７２と第２アーム７４とを連動軸７６で連結しておけば、一対の第１支持腕８０と一対の第２支持腕８２とを同時に昇降させ、昇降板４２を床面に平行に昇降できる。
＜構成４の効果＞
第１アーム７２の第１支持腕８０が上昇したときに前輪５４が下降して、運搬装置の前の部分を持ち上げる。これにより、運搬装置を移動中に床面の突起等への衝突が避けられる。
＜構成５の効果＞
くさびガイド７８は低い状態のときのジャッキアップを分担し、その後はスライダ７０が第２アーム７４のフレーム４８上の支点を押して、より高く昇降板４２を押し上げることができる。
＜構成６の効果＞
固定装置に対して、運搬装置を最適な方向に向けて挿入できる。
＜構成７の効果＞
固定装置の所定位置に正確に位置決めして運搬装置を停止できる。

運搬装置１０とその周辺装置の主要部斜視図である。 昇降板４２を下側からみた状態の斜視図である。 昇降板４２を取り除いた昇降操作のための駆動機構の斜視図である。 昇降板４２が最も下降した状態の運搬装置１０主要部の側面図である。 昇降板４２を最も高く持ち上げた状態の運搬装置主要部の側面図である。 アームとその駆動機構の関係を説明する主要部側面図である。 アームとその駆動機構の関係を説明する主要部側面図である。 ミニマル装置１２を配列した生産ラインの概略を示す斜視図で、（ｂ）が運搬装置の斜視図である。

以下、本発明の実施の形態を実施例毎に詳細に説明する。

図１は、運搬装置１０とその周辺装置の主要部斜視図である。
ミニマル装置１２は、床面上の所定の位置に正確に位置決めして設置される。設置後の状態は、後で図９を用いて説明する。ミニマル装置１２を床面に固定するために、ミニマル装置１２の底面には底板１３６が固定され、床面には、固定構造１１６が設置される。底板１３６と固定構造１１６とは、後で説明するように、一定の機構により連結固定される。ミニマル装置１２は、ラインの組み替え等により自由に移動させることができる。その移動のために、運搬装置１０が使用される。

運搬装置１０は、把手２０を掴んで移動させる。運搬装置１０には、昇降板４２が設けられておりハンドル２２を回転させると、昇降板４２が底板１３６を持ち上げたり降ろしたりする。ハンドル２２は垂直盤６０に支持されており、ハンドル２２を回転させると、伝達ギヤ６６を通じて昇降板４２の駆動部分を回転駆動する。昇降板４２の駆動部分の構造は、図２で説明する。

把手２０と垂直盤６０とは、水平盤５２の上面に固定されている。水平盤５２の下面には、中輪５６と後輪５８とが取り付けられている。後輪５８は運搬装置１０の後端に１個設けられている。中輪５６は把手２０の直下に左右一対設けられている。中輪５６と後輪５８はいずれも既知のキャスタと同様に、自由に方向転換できる。水平盤５２の前方に昇降板４２が支持され、昇降板４２の前端下部に前輪５４が取り付けられている。前輪５４の軸受けは方向が固定されている。

この実施例で説明する運搬装置において、前方というのは、把手２０を掴んで底板１３６に向かって運搬装置１０を押し進めるときの、作業者の向く方向、即ち、進行方向のことをいうものとする。車輪にも、その関係を明確にするために、前輪５４、中輪５６、後輪５８という呼び名を付けた。運搬装置１０の最も前に取り付けた車輪が前輪５４である。また、左右側面というのは、運搬装置１０を押し進める作業者から見た運搬装置の面のことをいうものとする。

図２は昇降板４２を下側からみた状態の斜視図である。図３は、昇降板４２を取り除いた昇降操作のための駆動機構の斜視図である。
まず、図３の機構から説明する。図１に示した運搬装置１０の水平盤５２の前方に取り付けられたフレーム４８には、その前端に前輪５４が一対固定されている。この実施例では、フレーム４８は、床面と平行に配置された２本の柱により構成した。２本の柱は互いに平行に配置されて、中間部の任意の場所で連結一体化されている。

フレーム４８はこうして、複数の車輪により床面上方の所定の高さに支持されている。また、フレーム４８の両側面には、幅決めガイド８４が２個ずつ、合計４個取り付けられている。一方、固定構造１１６は、全体としてＥ字状をしており、運搬装置１０は図の左側から進入する。運搬装置１０の前輪５４が衝突する部分に、前輪ストッパ１３８が設けられている。固定構造１１６には、この他に、ミニマル装置１２の底板１３６を位置決めして固定するために、Ｖ溝台１６６やフック受け１７４を設けているが、この説明は後でする。

フレーム４８は、このＥ字状の固定構造１１６にその前端を進入させるとき、幅決めガイド８４が固定構造１１６に衝突し、進入方向が規制される。前輪５４が前輪ストッパ１３８に乗り上げた状態では、幅決めガイド８４が固定構造１１６との位置関係を決めるので、フレーム４８の向きが正確に決まる。これにより、底板１３６を固定構造１１６の所定位置に正確に下降させることができる。

フレーム４８上には、一対の第１アーム７２と一対の第２アーム７４とが支持されている。第１アーム７２と第２アーム７４は、運搬装置１０のフレーム上で、運搬装置の左右の側面から見たとき、互いにＸ字状に交差するように配置されている。

第１アーム７２はフレーム４８に支持された部分を支点にして、第１支持腕８０を上下動させる。第２アーム７４はフレーム４８に支持された部分を支点にして、第２支持腕８２を上下動させる。第１アーム７２と第２アーム７４とが交差する位置には貫通孔が設けられ、これら全ての貫通孔に連動軸７６が挿入されている。この連動軸７６は、第１アーム７２が第１支持腕８０を上下動させるとき、第２アーム７４を連動させて、第２アーム７４の第２支持腕８２を上下動させる機能を有する。

図１で説明したハンドル２２を回転させると、チェン６４と伝達ギヤ６６（図１）を通じて図３の駆動ねじ６８が回転駆動される。駆動ねじ６８は雄ねじで、スライダ７０に設けられた雌ねじと噛み合っている。駆動ねじ６８を回転すると、スライダ７０が駆動ねじ６８の軸方向に沿って、運搬装置の前方または後方に移動する。スライダ７０の左右の側面には、フレーム４８の左右の側面に沿って前後方向に移動するように、くさびガイド７８が取り付けられている。

第１アーム７２の第１支持腕８０の下面は、くさびガイド７８のくさび状の斜面に接している。このくさびガイド７８の前方への移動により、第１支持腕８０が、くさび状の斜面に押し上げられて上昇する。また、くさびガイド７８が後方に移動すると、第１支持腕８０が自重によりくさび状の斜面に沿って滑り降りて下降する。

第１アーム７２の第１支持腕８０は昇降板４２の第１支持点４４の部分を押し上げる。また、第２アーム７４の第２支持腕８２の部分は、図２に示した昇降板４２の第２支持点４６の部分を押し上げる。従って、昇降板４２は一対の第１支持腕８０と一対の第２支持腕８２とに支持されて床面に対してほぼ平行な状態を保ったまま昇降する。

図４は昇降板４２が最も下降した状態の運搬装置１０主要部の側面図である。
図の上載板５０は、昇降板４２の上面に固定されるが、図１に示したミニマル装置１２の底板１３６直下の空間がもっと低いものを要求するならば、上載板５０を取り外す。即ち、昇降板４２の上面には、全高を調整するための上載板５０が着脱自在に取り付けられている。

図５は、昇降板４２を最も高く持ち上げた状態の運搬装置主要部の側面図である。
この図では、昇降板４２を除外した。図に示したくさびガイド７８は、駆動ねじ６８を回転するとフレーム４８に沿って運搬装置の前後方向に移動する。くさびガイド７８が運搬装置の前方向に移動したとき、第１アーム７２の第１支持腕８０の部分か押し上げられる。同時に、連動軸７６が第２アーム７４を押し上げる。こうして、第１支持腕８０と第２支持腕８２の位置が上昇して、昇降板４２を押し上げる。

図６と図７とは、アームとその駆動機構の関係を説明する主要部側面図である。
図６は最も低い状態を示す。図７はくさびガイド７８で第１支持腕８０をくさびガイド７８で押し上げた状態を示す。これらの図に示すように、第１アーム７２は、フレーム４８に設けた支点軸８１を支点にして、第１支持腕８０を昇降する。第２アーム７４の昇降板４２と接する部分には、板支持軸８８が設けられている。板支持軸８８は第２アーム７４と昇降板４２とを連結する。この昇降板４２上の位置は固定されている。

また、前記第２アーム７４のフレーム４８上の支点には、運搬装置の前後方向に長い軸孔８６にはまり合う支点軸８３が設けられている。第２アーム７４はこの支点軸８３を支点にして、第２支持腕８２を昇降する。第１アーム７２の第１支持腕８０の部分には、昇降板４２と接する場所にローラ９０が取り付けられている。ローラ９０は、昇降板４２の裏面に接しながら、運搬装置の前後方向にスライドする。

即ち、第２アーム７４のフレーム４８上の支点は、フレーム４８に対して前後方向にスライドする構造を有する。同時に、第１アーム７４の昇降板４２の支持点は、昇降板４２に対して前後方向にスライドする構造を有する。昇降板４２を昇降させるとき、板支持軸８８と連動軸７６と支点軸８１とで形成される二等辺三角形の連動軸７６を挟む頂角が変化する。しかし、板支持軸８８と支点軸８１との上下の位置関係は変わらない。従って、昇降板４２を床面に対して垂直方向に昇降させることができる。このとき、板支持軸８８とローラ９０の間の距離が変化するから、ローラ９０の部分をスライドさせている。同時に支点軸８１と支点軸８３の間の距離が変化するから、支点軸８３の部分をスライドさせている。

また、図６と図７に示すように、第１アーム７２のフレーム４８上の支点に支点軸８１が設けられ、この支点軸８１を越えて第１アーム７２を延長した場所に前輪５４を配置した。この構造によれば、第１アーム７２の第１支持軸８０が上昇したときに、第１支持支点８１の反対側に位置する前輪５４が下降して、フレーム４８を持ち上げる。これにより、運搬装置１０の底面が上昇し、移動時に床面上の突起等に衝突し辛くなる。また、第１アーム７２の第１支持軸８０が下降したときに、逆にフレーム４８を下降させて、前輪５４が前輪ストッパ１３８に乗り上げ易くする効果がある。

第１アーム７２と第２アーム７４とは、連動軸７６により連結されているため、互いに連動して昇降する。ここで、図７に示すように、第１支持腕８０が上昇して、くさびガイド７８のくさび状の斜面を離れたときには、くさびガイド７８による機能が停止する。ここで、さらに、駆動ねじ６８を同方向に回転し続けると、スライダ７０が第２アーム７４の支点軸８３またはその近傍に突き当たって、これを運搬装置の前方に向かって押す。このとき、第２アーム７４の支点軸８３が軸孔８６に沿って前方に移動する。スライダ７０が第２アーム７４に接している限り、第１支持腕８０と第２支持腕８２とを上昇させることができる。支点軸８３が軸孔８６の長さ一杯のところに移動するまで、昇降板４２を上昇させることができる。

図７の一点鎖線の円内に、スライダ７０と第１アーム７２や第２アーム７４の一部を上方から見た図を示した。スライダ７０の両端にくさびガイド７８が固定されている。図のように、一対の第１アーム７２は一対のくさびガイド７８により押し上げられ、その後、スライダ７０が一対の第２アーム７４の一端に接触してこれらを押し続ける。一般によく知られているジャッキは、第１アーム７２と第２アーム７４の下端部分を、駆動ねじを用いて、近づけたり離したりして高さを調節する。しかしながら、第１アーム７２と第２アームとが共に床面に平行な状態からわずかに端部が持ち上がる状態までは、駆動ねじに力がかかりすぎる欠点がある。上記の実施例のように、くさびガイド７８をスライダ７０で移動させることにより、人力によっても、適切な速度で適切な力で昇降動作をさせることができる。

一方、図７に示した異常に第１支持腕８０が上昇したときには、通常のジャッキどおり、スライダ７０が第２アーム７４の支点軸８３部分を押して、支点軸８３と支点軸８１とを近づけるようにする。これで、通常どおりのジャッキアップができる。図６と図７で説明した例では、スライダ７０がくさびガイド７８を運搬装置の前後に移動させるので、上記の切り替わりが円滑に進むという効果がある。

以上説明した運搬装置１０は、主に、下記のような構成上の特徴を備える。床面上に中輪５６や前輪５４等の車輪により支持されたフレーム４８を有する。フレーム４８は、棒を組み合わせた枠状のものでもよいし、板状のものでもよい。車輪の位置や数も任意である。なお、フレーム４８の前端には、固定構造１１６の前輪ストッパに乗り上げる位置に前輪５４が設けられているとよい。フレーム４８の左右の側面には、固定構造１１６の側面に接してフレーム４８の固定構造１１６に対する向きを規制する幅決めガイド８４を取り付けることが好ましい。

フレーム４８上の一点を支点にして、床面に対して第１支持腕８０を昇降させる棒状の一対の第１アーム７２と、同じくフレーム４８上の一点を支点にして、床面に対して第２支持腕８２を昇降させる棒状の一対の第２アーム７４とを備える。フレーム４８上の支点の構造や位置は任意である。第１アーム７２と第２アーム７４は、運搬装置１０のフレーム上で、運搬装置１０の左右側面から見たとき、互いにＸ字状に交差するように配置する。

さらに、第１アーム７２と第２アーム７４のＸ字状に交差する部分に設けた貫通孔を貫通するように、連動軸７６を設ければ、第１アーム７２が第１支持腕８０を上昇させたときに、第２アーム７４の第２支持腕８２が上昇する。連動軸７６に限ることなく、第１アーム７２と第２アーム７４を連結して連動させるような連動機構が設けられていればよい。例えば、第２アーム７４を下側から押し上げる板や第１アーム７２と第２アーム７４とを連結したワイヤー等でも構わない。

フレーム４８には、第１アーム７２の第１支持腕８０の下面にくさび状の斜面を接するようにして、フレーム４８に対して前後方向に移動するくさびガイド７８が支持されている。くさびガイド７８が一方に移動すると第１支持腕８０を上昇させ、他方に移動すると第１支持腕８０を下降させる。運搬装置１０には、このくさびガイド７８を移動させるための駆動機構が設けられている。駆動機構は、上記のような駆動ねじ６８でもよいし、チェンやラックアンドピニオン機構でも構わない。
図８は、ミニマル装置１２を配列した生産ラインの概略を示す斜視図で、（ｂ）が運搬装置の斜視図である。
ミニマル装置１２を上記の運搬装置１０で運搬し、所定の固定構造１１６を有する床面１８に配列する。必要数の工程のミニマル装置１２を組み合わせて、生産ラインを実現する。ミニマル装置１２間の材料や製品の搬送には、例えば、図示しないロボットアーム等の自動搬送機構を使用する。

ミニマル装置１２は、図のように底面積に比べて背の高い形状をしている。従って、そのままでは振動/衝撃に対して不安定である。しかも、例えば、ミニマル装置１２間の材料の自動搬送のために、正確な位置決めが必要である。そこで、図の運搬装置１０は、ミニマル装置１２を固定構造１４上に正確に降下させる機能が要求される。そのために、上記のような前輪５４と前輪ストッパ１３８や、幅決めガイド１３８が有効に機能する。

また、固定構造１１６は、ミニマル装置１２を床面１８に正確に確実に固定する機能を持つ。運搬装置１０も固定構造１１６も、多数のミニマル装置１２の配列変更を短時間で行うために、操作性の良い構造を有する。さらに、ミニマル装置１２の底板に、図示しないフックを設けておき、図３に示したフック受け１７４と連結させる。

隣接するミニマル装置１２は、最小限の間隔で配列する。例えば、約３０ｃｍの幅のスペースに、１台のミニマル装置１２を、隣接する装置と５ｍｍ〜１５０ｍｍ程度の間隔を開けて配列する。間隔を開けることにより、各ミニマル装置１２を他の装置に影響を与えずに自由に置き換えられる。また、装置を狭い間隔で高密度に配置すれば、工場のスペースを有効に活用できる。さらに、前の工程から次の工程への部品や製品の搬送が容易になり、搬送装置も小型化できる。

ミニマル装置１２を使用した生産ラインは、自由に簡単に組み替えができるという特徴がある。生産ラインの組み替え時には、運搬装置１０がミニマル装置１２を床面１８から持ち上げて、目的の場所に運搬し、正確に位置決めしてから床面１８に固定する。本発明の運搬装置は、この操作を簡便に行う機能を備えている。また、床面１８への位置決め時や着脱操作時に、隣接するミニマル装置１２への衝突を防止することができる。

以上の構成により、ミニマル装置１２の底板１３６の直下の狭い空間に昇降板４２を出し入れして、ミニマル装置１２を持ち上げて運搬し、底板１３６の上に正確に位置決めしてから降ろすことが可能になる。また、そのときの昇降機構を比較的小さな駆動力で駆動することができる。

１０ 運搬装置
１２ ミニマル装置
２０ 把手
２２ ハンドル
４２ 昇降板
４４ 第１支持点
４６ 第２支持点
４８ フレーム
５０ 上載板
５２ 水平盤
５４ 前輪
５６ 中輪
５８ 後輪
６０ 垂直盤
６４ チェン
６６ 伝達ギヤ
６８ 駆動ねじ
７０ スライダ
７２ 第１アーム
７４ 第２アーム
７６ 連動軸
７８ くさびガイド
８０ 第１支持腕
８１ 支点軸
８２ 第２支持腕
８３ 支点軸
８４ 幅決めガイド
８６ 軸孔
８８ 板支持軸
９０ ローラ
９２ 押し金具
１１６ 固定構造
１３６ 底板
１３８ 前輪ストッパ
１６６ Ｖ溝台

Claims (7)

1. 以下の構成要素を備えたことを特徴とするミニマル装置の運搬装置。
   （ａ） 床面上に車輪により支持されたフレーム４８を有する。
   （ｂ） フレーム４８上の一点を支点にして、床面に対して第１支持腕８０を昇降させる棒状の一対の第１アーム７２と、同じくフレーム４８上の一点を支点にして、床面に対して第２支持腕８２を昇降させる棒状の一対の第２アーム７４とを備える。
   （ｃ） 第１アーム７２と第２アーム７４は、運搬装置１０のフレーム上で、運搬装置１０の左右の側面から見たとき、互いにＸ字状に交差するように配置されている。
   （ｄ） 第１アーム７２が第１支持腕８０を上昇させたときに、第２アーム７４の第２支持腕８２を上昇させる連動機構が設けられている。
   （ｅ） 一対の第１アーム７２の第１支持腕８０と、一対の第２アーム７４の第２支持腕８０とで、ミニマル装置を支持するための昇降板４２を支持している。
   （ａ） 第１アーム７２のフレーム４８上の支点は、フレーム４８上の位置が固定されている。
   （ａ） 第２アームの昇降板４２の支持点は、昇降板４２上の位置が固定されている。
   （ａ）第２アーム７４のフレーム４８上の支点は、フレーム４８に対して前後方向にスライドする構造を有する。
   （ａ）第１アーム７４の昇降板４２の支持点は、昇降板４２に対して前後方向にスライドする構造を有する。
   （ｆ） フレーム４８には、第１アーム７２の第１支持腕８０の下面にくさび状の斜面を接するようにして、フレーム４８に対して前後方向に移動するくさびガイド７８が支持されている。
   （ｇ） くさびガイド７８は、第１アーム７２の第１支持腕８０の下面に接した状態で一方に移動すると第１支持腕８０を上昇させ、他方に移動すると第１支持腕８０を下降させる。
   （ｈ） 運搬装置には、くさびガイド７８を移動させるための駆動機構が設けられている。
2. 前記駆動機構は、一対のくさびガイド７８を一対の第１アーム７２の第１支持腕８０の下面に接するように、フレーム４８に対して前後方向に移動するスライダ７０に固定されていることを特徴とする請求項１に記載のミニマル装置の運搬装置。
3. 前記連動機構は、第１アーム７２と第２アーム７４のＸ字状に交差する部分に設けた貫通孔を貫通する連動軸７６であることを特徴とする請求項１または２に記載のミニマル装置の運搬装置。
4. 前記第１アーム７２の前記フレーム４８上の支点には支点軸８１が設けられ、この支点軸８１を越えて前記第１アームを延長した場所に前輪５４を配置したことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のミニマル装置の運搬装置。
5. 前記第２アーム７４の前記昇降板４２と接する部分には、昇降板４２と連結する板支持軸８８が設けられ、前記第２アーム７４の前記フレーム４８上の支点には、運搬装置の前後方向に長い軸孔８６にはまり合う支点軸８３が設けられ、第１支持腕８０が上昇してくさびガイド７８のくさび状の斜面を離れたとき、第２アーム７４の支点軸８３またはその近傍に前記スライダ７０が接して運搬装置の前方に向かって押し、前記第２アーム７４の前記フレーム４８上の支点が前記軸孔８６に沿って前方に移動することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のミニマル装置の運搬装置。
6. フレーム４８の左右側面には、固定構造１１６の側面に接してフレーム４８の固定構造１１６に対する向きを規制する幅決めガイド８４が取り付けられていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載のミニマル装置の運搬装置。
7. フレーム４８の前端には、固定構造１１６の前輪ストッパに乗り上げる位置に前輪５４が設けられていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載のミニマル装置の運搬装置。

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