KR102412923B1

KR102412923B1 - 검사 장치

Info

Publication number: KR102412923B1
Application number: KR1020170161458A
Authority: KR
Inventors: 다쓰오 나카오; 가즈히로 도리모토
Original assignee: 가부시키가이샤 다이후쿠
Priority date: 2016-11-30
Filing date: 2017-11-29
Publication date: 2022-06-23
Also published as: JP6610518B2; TW201823668A; KR20180062398A; CN113758436A; CN113758436B; TWI733940B; CN108120388B; CN108120388A; JP2018091657A

Abstract

수용 용기(1)는, 수용 공간(21)을 가지는 용기 본체(22)와, 수용 공간(21)에 설치된 복수의 봉형체(23A)를 구비하고, 복수의 봉형체(23A)의 각각을, 제1 방향 D1을 따르는 자세로 설치되는 동시에 캔틸레버 형태로 용기 본체(22)에 지지하고, 복수의 봉형체(23A)를, 제2 방향 D2 및 제3 방향의 각각에 복수 배열되는 상태로 배치하고, 검출체(41)는, 투광부(41A)와 수광부(41B)를 제2 방향 D2로 배열되는 상태로 구비하고, 투광부(41A)는, 제3 방향으로 폭을 가지는 밴드형의 검출광을 수광부(41B)를 향해 투광하고, 투광부(41A)와 수광부(41B)는, 투광부(41A)와 수광부(41B)와의 사이를 봉형체(23A)의 선단부가 통과하도록 한 제1 방향 D1의 위치에 배치한다.

Description

검사 장치{INSPECTION EQUIPMENT}

본 발명은, 검출체와 상기 검출체를 이동시키는 구동부를 구비하여, 수용물을 수용하는 수용 용기를 검사 대상으로 하는 검사 장치에 관한 것이다.

이러한 검사 장치의 종래예가, 일본 공개특허 제2009―128338호 공보(특허문헌 1)에 기재되어 있다. 특허문헌 1의 검사 장치에서는, 유리 기판을 수용물로서 수용하는 와이어 카세트를, 검사 대상의 수용 용기로 하고 있다. 그리고, 검사 대상의 와이어 카세트는, 수용한 유리 기판을 위치 결정하기 위해 복수의 와이어가 구비되어 있다. 복수의 와이어의 각각은, 용기 좌우 방향을 따라 설치되어 있고, 복수의 와이어는, 용기 상하 방향 및 용기 전후 방향으로 배열되는 상태로 배치되어 있다.

일본 공개특허 제2009―128338호 공보

특허문헌 1의 검사 장치에서는, 투광부와 수광부를 용기 전후 방향으로 배열되는 상태로 구비하고, 이와 같이 구비된 투광부와 수광부와의 조(組)를, 와이어의 양 단부 각각을 검출하기 위한 2조와, 와이어의 중앙부를 검출하기 위한 1조와의, 3조 구비되어 있다. 그리고, 와이어 카세트를 지지하고 있는 승강대를 승강시켰을 때의, 3조의 투광부 및 수광부에 의해 와이어가 검출되는 타이밍의 어긋남으로부터, 와이어의 휨, 나아가서는, 수용물을 위치결정하기 위한 부재의 변형을 검출하고 있다.

그런데, 수용 용기가, 특허문헌 1의 검사 장치가 검사 대상으로 하고 있는 와이어 카세트의 경우에는, 와이어 카세트는 중량물이며, 와이어 카세트를 승강시키기 위해 사용되는 승강대의 구동부는 출력이 큰 것을 사용할 필요가 있으므로, 승강대의 제조 비용이 높아지고, 이로써, 검사 장치의 제조 비용이 높아진다.

또한, 수용 용기에는, 복수의 와이어 대신에, 캔틸레버(cantilever) 형태로 용기 본체에 지지된 복수의 봉형체(棒形體)를 구비하고 있는 것이 있다. 이와 같은 복수의 봉형체를 캔틸레버 형태로 구비되어 있는 수용 용기에 있어서, 봉형체의 변형을 검출할 수 있는 검사 장치는 지금까지 알려져 있지 않다.

그래서, 수용 용기에 구비되어 있는 봉형체의 변형을 검출할 수 있으면서 제조 비용을 억제할 수 있는 검사 장치의 실현이 요구된다.

상기 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명의 검사 장치의 특징적 구성은, 검출체와 상기 검출체를 이동시키는 구동부를 구비하여, 수용물을 수용하는 수용 용기를 검사 대상으로 하는 검사 장치로서,

상기 수용 용기는, 상기 수용물을 수용하는 수용 공간을 가지는 용기 본체와, 상기 수용 공간에 설치되어 상기 수용 공간에 수용한 상기 수용물을 위치결정하는 복수의 봉형체를 구비하고, 복수의 상기 봉형체의 각각은, 제1 방향을 따르는 자세로 설치되는 동시에, 상기 봉형체의 한쪽 측의 단부(端部)인 기단부(基端部)가 상기 용기 본체에 고정되고, 다른 쪽 측의 단부인 선단부가 고정되어 있지 않은 캔틸레버 형태로 상기 용기 본체에 지지되고, 복수의 상기 봉형체는, 상기 제1 방향에 대하여 직교하는 제2 방향, 및 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 대하여 직교하는 제3 방향의 각각에 복수 배열되는 상태로 배치되고, 상기 구동부는, 상기 검출체를 상기 제3 방향으로 이동시키고, 상기 검출체는, 투광부와 수광부를 상기 제2 방향으로 배열되는 상태로 구비하고, 상기 투광부는, 상기 제3 방향으로 폭을 가지는 밴드형의 검출광을 상기 수광부를 향해 투광(投光)하고, 상기 투광부와 상기 수광부는, 상기 용기 본체를 검사용의 탑재부에 탑재시킨 상태에서, 상기 투광부와 상기 수광부와의 사이를 상기 선단부가 통과하도록 한 상기 제1 방향의 위치에 배치되어 있는 점에 있다.

이들의 특징적 구성에 의하면, 수용 용기는, 복수의 봉형체에 의해 위치 결정한 상태로 수용물을 수용할 수 있다. 그리고, 이와 같은 수용 용기에서는, 수용한 수용물의 하중(荷重; load)나 봉형체의 자중(自重)에 의해 봉형체에 변형이 생길 가능성이 있지만, 검사 장치에 의해 검사함으로써 다음과 같이 봉형체의 변형을 검출할 수 있다.

봉형체에 변형이 생기고 있지 않은 경우의 봉형체의 선단부의 위치를 적정 위치로 하면, 봉형체에 변형이 생기고 있는 경우에는, 봉형체의 선단부의 위치가 적정 위치로부터 어긋난다. 그리고, 검출 장치는, 검출체를 이동시켰을 때의 검출체의 제3 방향에서의 위치나 밴드형의 검출광에서의 봉형체에 의해 차단된 위치에 기초하여, 봉형체의 선단부의 제3 방향에서의 위치를 검출할 수 있어, 봉형체의 선단부의 적정 위치로부터 어긋난 위치를 검출, 나아가서는, 봉형체의 변형을 검출할 수 있다.

또한, 구동부에 의해 검출체를 제3 방향으로 이동시켜 봉형체의 선단부의 위치를 검출함으로써, 수용 용기를 이동시킬 필요가 없다. 그리고, 검출체는 수용 용기에 비교하여 경량이므로, 수용 용기를 이동시키는 경우와 비교하여, 검사 장치의 제조 비용을 억제할 수 있다.

이와 같이, 수용 용기에 구비되어 있는 봉형체의 변형을 검출할 수 있으면서 제조 비용을 억제할 수 있는 검사 장치를 제공할 수 있다.

도 1은 물품 수납 설비의 평면도
도 2는 물품 수납 설비의 측면도
도 3은 수용 용기의 사시도
도 4는 검사부의 평면도
도 5는 검사부의 측면도
도 6은 검사부의 배면도
도 7은 지지 조작 기구(機構)를 나타낸 도면
도 8은 지지 조작 기구를 나타낸 도면
도 9는 검출부의 사시도
도 10은 검출체의 검출 상태를 나타낸 도
도 11은 검출체의 검출 상태를 나타낸 도
도 12는 검출체의 검출 상태를 나타낸 도

1. 실시형태

검사 장치를 용기 수납 설비에 채용한 실시형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.

도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 용기 수납 설비에는, 수용 용기(1)를 수납하는 수납 선반(storage rack)(2)과, 수용 용기(1)를 반송(搬送; transport)하는 반송 장치로서의 스태커 크레인(stacker crane)(3)이 구비되어 있다.

수납 선반(2)은, 수용 용기(1)를 수납하는 복수의 수납부(4)를 상하 방향 Z 및 선반 길이 방향 X로 배열되는 상태로 구비되어 있다. 또한, 수납 선반(2)은, 수용 용기(1)에 대하여 판형체(B)를 출입시키기 위한 기판 입출부(5)와, 판형체(B)를 수용하고 있지 않은 수용 용기(1)[이하, 빈 수용 용기(1)라고 하는 경우가 있음]를 수납 선반(2)으로부터 인출하기 위한 용기 입출부(6)와, 빈 수용 용기(1)를 검사하기 위한 검사부(7)를 구비하고 있다. 이와 같이, 수용 용기(1)에 수용되는 수용물은 판형체(B)이며, 상세하게는, 액정 TV 등에 사용되는 유리 기판이다. 물품 수납 설비에는, 팬 필터 유닛(fan filter unit)(8)이 설치되어 있고, 수납 선반(2) 및 스태커 크레인(3)은, 천정측으로부터 바닥측을 향해 공기[기체(氣體)]가 아래쪽으로 유동(流動)하는 공간에 설치되어 있다.

다음에, 용기 수용 설비에 대하여 설명하지만, 상하 방향 Z에서 볼 때, 수납 선반(2)에 따른 방향을 선반 길이 방향 X라고 하고, 그 선반 길이 방향 X에 대하여 직교하는 방향을 선반 안길이 방향 Y라고 하여 설명한다. 또한, 선반 안길이 방향 Y에 있어서, 수납 선반(2)에 대하여 스태커 크레인(3)이 존재하는 측을 전방측 Y1이라고 하고, 전방측 Y1와는 반대측을 후방측 Y2라고 하여 설명한다.

[스태커 크레인]

스태커 크레인(3)은, 수납 선반(2)의 전방측 Y1에 형성된 주행 경로에 선반 길이 방향 X를 따라 주행하는 주행 캐리지(travel carriage)(11)와, 주행 캐리지(11)에 세워 설치된 마스트(mast)(12)와, 마스트(12)를 따라 상하 방향 Z로 안내되는 승강대(13)와, 승강대(13)에 지지되어 수납 선반(2)과 자기(自己)와의 사이에서 수용 용기(1)를 이송탑재(transfer)하는 이송탑재 장치(transfer device)(14)를 구비하고 있다. 또한, 승강대(13)에는, 이송탑재 장치(14)를 상하 방향 Z를 따르는 축심(軸心) 주위로 선회(旋回)시키는 선회 장치(도시하지 않음)가 구비되어 있고, 이송탑재 장치(14)를 180°선회시킴으로써, 이송탑재 장치(14)는, 한 쌍의 수납 선반(2)의 어느 쪽과의 사이에서도 수용 용기(1)를 이송탑재(移載; transfer) 가능하게 되어 있다. 그리고, 스태커 크레인(3)은, 주행 캐리지(11)의 주행, 승강대(13)의 승강, 및 이송탑재 장치(14)의 출퇴(出退) 및 선회에 의해, 수납부(4)와 기판 입출부(5)와 용기 입출부(6)와 검사부(7)와의 사이에서 수용 용기(1)를 반송(transport)한다. 그리고, 용기 입출부(6)로 반송된 수용 용기(1)는, 수납 선반(2)으로부터 후방향 Y2로 인출되고, 그 인출된 수용 용기(1)는, 세정 장치(도시하지 않음)에 의해 세정된다. 세정 장치에 의해 세정된 세정 후의 수용 용기(1)는, 용기 입출부(6)로 되돌려진다.

용기 수납 설비에서는, 판형체(B)를 수용한 수용 용기(1)는 수납부(4)에 수납되어 있고, 상기 수용 용기(1)는, 스태커 크레인(3)에 의해, 수납부(4)로부터 기판 입출부(5)로 반송된다. 기판 입출부(5)에서는, 수용 용기(1)에 수용되어 있는 판형체(B1)가, 이송탑재 로봇(16)에 의해 1매 단위로 인출되어 반송 컨베이어(17)에 탑재되고, 또한 반송 컨베이어(17)에 의해 반송되어 온 판형체(B)가, 이송탑재 로봇(16)에 의해 1매 단위로 수용 용기(1)에 수용된다. 기판 입출부(5)에서의 판형체(B)의 출입이 종료된 수용 용기(1)는, 스태커 크레인(3)에 의해, 기판 입출부(5)로부터 수납부(4)로 반송된다.

수용 용기(1)에 대하여 검사가 필요한 경우에는, 상기 수용 용기(1)는, 스태커 크레인(3)에 의해 기판 입출부(5)로 반송되어 이송탑재 로봇(16)에 의해 판형체(B)가 모두 인출된 후, 스태커 크레인(3)에 의해 검사부(7)로 반송된다. 또한, 수용 용기(1)에 대하여 세정이 필요한 경우에는, 상기 수용 용기(1)는, 스태커 크레인(3)에 의해 기판 입출부(5)로 반송되어 이송탑재 로봇(16)에 의해 판형체(B)가 모두 인출된 후, 스태커 크레인(3)에 의해 용기 입출부(6)로 반송된다. 또한, 수용 용기(1)에 대하여 검사와 세정과의 양쪽이 필요한 경우에는, 상기 수용 용기(1)는, 스태커 크레인(3)에 의해 기판 입출부(5)로 반송되어 이송탑재 로봇(16)에 의해 판형체(B)가 모두 인출된 후, 스태커 크레인(3)에 의해 용기 입출부(6)로 반송되고, 세정 후의 수용 용기(1)가, 스태커 크레인(3)에 의해, 용기 입출부(6)로부터 검사부(7)로 반송된다. 그리고, 수용 용기(1)에 대한 검사와 세정과의 양쪽이 필요한 경우에 있어서, 용기 입출부(6)와 검사부(7)로 반송하는 순서를 교체해도 된다.

[용기]

다음에, 수용 용기(1)에 대하여 설명한다. 그리고, 용기 수납 설비에 있어서는, 수용 용기(1)는, 용기 전후 방향 D1(제1 방향)이 선반 안길이 방향 Y를 따르고, 용기 좌우 방향 D2(제2 방향)이 선반 길이 방향 X를 따르고, 용기 상하 방향 D3(제3 방향)이 상하 방향 Z를 따르는 자세로, 수납이나 반송이 행해진다. 그러므로, 수용 용기(1)가 검사부(7)에 위치하는 상태에서는, 용기 전후 방향 D1은 선반 안길이 방향 Y와 같은 방향으로 되고, 용기 좌우 방향 D2는 선반 길이 방향 X와같은 방향으로 되고, 용기 상하 방향 D3는 상하 방향 Z와 같은 방향으로 된다. 또한, 용기 전후 방향 D1의 전방측과 선반 안길이 방향 Y의 전방측 Y1은 같으며, 용기 전후 방향 D1의 후방측과 선반 안길이 방향 Y의 후방측 Y2는 같다.

도 3∼도 6에 나타낸 바와 같이, 수용 용기(1)는, 판형체(B)를 수용하는 수용 공간(21)을 가지는 용기 본체(22)와, 수용 공간(21)에 수용한 판형체(B)를 아래쪽으로부터 지지하는 지지부(23)를 구비하고 있다. 수용 용기(1)는, 지지부(23)를 용기 상하 방향 D3로 배열되는 상태로 복수 구비하고 있다. 그리고, 수용 용기(1)에는, 판형체(B)는, 용기 전후 방향 D1 및 용기 좌우 방향 D2을 따르는 자세로 수용 공간(21)에 수용된다.

용기 본체(22)는, 상부 프레임(26)과, 이 상부 프레임(26)보다도 용기 상하 방향 D3에서 아래쪽에 위치하는 하부 프레임(27)과, 상부 프레임(26)과 하부 프레임(27)과의 사이에 위치하여 상부 프레임(26) 및 하부 프레임(27)에 고정된 중간 프레임(28)을 구비하고 있다. 상부 프레임(26), 하부 프레임(27) 및 중간 프레임(28)의 각각은, 봉형(棒形)의 프레임재를 조합시켜 구성되어 있다.

상부 프레임(26)은, 용기 상하 방향 D3에서 볼 때 직사각형으로 형성된 상부 외측 프레임(26A)과, 상부 외측 프레임(26A)에 에워싸인 공간에 격자형으로 구비되어 상부 외측 프레임(26A)에 고정된 상부 내측 프레임(26B)으로 구성되어 있다. 하부 프레임(27)은, 용기 상하 방향 D3에서 볼 때 직사각형으로 형성된 하부 외측 프레임(27A)과, 하부 외측 프레임(27A)에 에워싸인 공간에 격자형으로 구비되어 하부 외측 프레임(27A)에 고정된 하부 내측 프레임(27B)으로 구성되어 있다.

중간 프레임(28)은, 수용 공간(21)에 대하여 용기 전후 방향 D1의 전방측에 위치하는 전방 프레임(28A)과, 수용 공간(21)에 대하여 용기 좌우 방향 D2의 우측에 위치하는 우측 프레임(28B)과, 수용 공간(21)에 대하여 용기 좌우 방향 D2의 좌측에 위치하는 좌측 프레임(28C)으로 구성되어 있다. 전방 프레임(28A)은, 상부 외측 프레임(26A) 및 하부 외측 프레임(27A)에 고정되어 용기 상하 방향 D3로 연장되는 1개의 프레임재에 의해 구성되어 있고, 용기 좌우 방향 D2로 배열되는 상태로 복수 개(본 실시형태에서는 3개) 구비되어 있다. 우측 프레임(28B) 및 좌측 프레임(28C)의 각각은, 용기 상하 방향 D3로 연장되는 1개의 프레임재에 의해 구성되어 있고, 용기 전후 방향 D1로 배열되는 상태로 복수 개(본 실시형태에서는 5개) 구비되어 있다.

수용 공간(21)에 대하여 용기 전후 방향 D1의 후방측에는 중간 프레임(28)은 구비되어 있지 않다. 이로써, 수용 용기(1)는, 수용 공간(21)에 대하여 용기 전후 방향 D1의 한쪽 측으로 되는 후방측에, 수용 공간(21)에 대하여 판형체(B)를 출입하는 출입구(29)가 형성되어 있다.

복수의 전방 프레임(28A)의 각각에는, 용기 상하 방향 D3로 배열되는 상태로 복수 개(본 실시형태에서는 3개)의 제1 봉형체(23A)가 연결되어 있고, 복수의 제1 봉형체(23A)는, 용기 좌우 방향 D2 및 용기 상하 방향 D3로 복수 배열되는 상태로 배치되어 있다. 제1 봉형체(23A)의 각각은, 용기 전후 방향 D1을 따르는 자세로 설치되는 동시에, 제1 봉형체(23A)의 전방측의 단부(한쪽 측의 단부)인 기단부가 용기 본체(22)의 전방 프레임(28A)에 고정되고, 후방측의 단부(다른 쪽 측의 단부)인 선단부가 고정되어 있지 않은 캔틸레버 형태로, 용기 본체(22)에 지지되어 있다. 복수의 제1 봉형체(23A)의 각각은, 기단부로부터 선단부 측일수록 가는 형상으로 형성되어 있다. 복수의 제1 봉형체(23A)의 각각은, 그 선단부가 용기 본체(22)의 후단(後端)보다도 전방에 위치하고 있고, 용기 전후 방향 D1에 있어서 가장 후방에 위치하는 제2 봉형체(23B)나 제3 봉형체(23C)와 같은 위치에 위치하고 있다. 그리고, 복수의 제1 봉형체(23A)가, 수용 공간(21)에 배치되어 수용 공간(21)에 수용한 판형체(B)를 위치결정하는 봉형체에 상당한다.

복수의 우측 프레임(28B)의 각각에는, 용기 상하 방향 D3로 배열되는 상태로 복수 개(본 실시형태에서는 5개)의 제2 봉형체(23B)가 연결되어 있고, 복수의 제2 봉형체(23B)는, 용기 전후 방향 D1 및 용기 상하 방향 D3로 복수 배열되는 상태로 배치되어 있다. 복수의 제2 봉형체(23B)의 각각은, 용기 좌우 방향 D2을 따르는 자세로 설치되는 동시에, 제2 봉형체(23B)의 우측의 단부인 기단부가 용기 본체(22)의 우측 프레임(28B)에 고정되고, 좌측의 단부인 선단부가 고정되어 있지 않은 캔틸레버 형태로, 용기 본체(22)에 지지되어 있다.

복수의 좌측 프레임(28C)의 각각에는, 용기 상하 방향 D3로 배열되는 상태로 복수 개(본 실시형태에서는 5개)의 제3 봉형체(23C)가 연결되어 있고, 복수의 제3 봉형체(23C)는, 용기 전후 방향 D1 및 용기 상하 방향 D3로 복수 배열되는 상태로 배치되어 있다. 복수의 제3 봉형체(23C)의 각각은, 용기 좌우 방향 D2을 따르는 자세로 설치되는 동시에, 제3 봉형체(23C)의 좌측의 단부인 기단부가 용기 본체(22)의 좌측 프레임(28C)에 고정되고, 우측의 단부인 선단부가 고정되어 있지 않은 캔틸레버 형태로, 용기 본체(22)에 지지되어 있다.

그리고, 수용 공간(21)에서의 용기 좌우 방향 D2의 중앙부에, 복수의 제1 봉형체(23A)가 배치되는 영역[배치 영역(E)]이 형성되어 있다. 수용 공간(21)에서의 중앙부보다도 우측에, 복수의 제2 봉형체(23B)가 배치되는 영역이 형성되어 있다. 수용 공간(21)에서의 중앙부보다도 좌측에, 복수의 제3 봉형체(23C)가 배치되는 영역이 형성되어 있다.

복수의 지지부(23)의 각각은, 같은 높이로 구비된 복수 개(본 실시형태에서는 3개)의 제1 봉형체(23A), 복수 개(본 실시형태에서는 5개)의 제2 봉형체(23B) 및 복수 개(본 실시형태에서는 5개)의 제3 봉형체(23C)에 의해 구성되어 있다. 이와 같이, 복수의 지지부(23)의 각각은, 용기 좌우 방향 D2로 1열로 배열되는 복수의 제1 봉형체(23A)를 포함하고 있다. 그리고, 같은 높이로 구비된 복수 개(본 실시형태에서는 3개)의 제1 봉형체(23A), 복수 개(본 실시형태에서는 5개)의 제2 봉형체(23B) 및 복수 개(본 실시형태에서는 5개)의 제3 봉형체(23C)를, 용기 상하 방향 D3로 복수 배열함으로써, 지지부(23)가 상하 방향 Z로 배열되는 상태로 복수 구비된다.

지지부(23)는, 판형체(B)에서의 용기 좌우 방향 D2에서의 중앙부를 복수의 제1 봉형체(23A)에 의해 아래쪽으로부터 지지하는 동시에, 판형체(B)에서의 용기 좌우 방향 D2의 우측부(중앙부보다도 용기 좌우 방향 D2에서 우측에 위치하는 부분)를 복수의 제2 봉형체(23B)에 의해 아래쪽으로부터 지지하고, 판형체(B)에서의 용기 좌우 방향 D2의 좌측부(중앙부보다도 용기 좌우 방향 D2에서 좌측에 위치하는 부분)를 복수의 제3 봉형체(23C)에 의해 아래쪽으로부터 지지한다. 그리고, 이와 같이, 지지부(23)에 의해 판형체(B)를 아래쪽으로부터 지지함으로써, 수용 공간(21)에 수용한 판형체(B)를 지지부(23)[특히 복수의 제1 봉형체(23A)]에 의해 위치결정하도록 구성되어 있다.

[검사부]

도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 검사부(7)는, 수용 용기(1)를 아래쪽으로부터 지지하는 지지대(31)와, 수용 용기(1)를 검사하기 위한 검사 장치(19)를 구비하고 있다. 검사부(7)와 용기 입출부(6)는, 선반 길이 방향 X에 있어서 1대의 스태커 크레인(3)이 주행하는 범위 내에 설치되어 있고, 1대의 스태커 크레인(3)에 의해 직접 반송 가능한 위치 관계로 설치되어 있다. 본 실시형태에서는, 검사부(7)와 용기 입출부(6)가 같은 수납 선반(2)에 구비되어 있고, 검사부(7)와 용기 입출부(6)와는 선반 길이 방향 X로 인접하고 있다. 그리고, 지지대(31)가, 검사용의 탑재부에 상당한다.

지지대(31)에는, 센터링 장치(32)가 구비되어 있다. 이 센터링 장치(32)는, 지지대(31)에 탑재되는 수용 용기(1)의 상하 방향 Z에서 본 위치가 적정 위치(도 4에 나타낸 위치)로부터 수평 방향(선반 길이 방향 X 및 선반 안길이 방향 Y)으로 위치가 어긋나고 있는 경우에, 그 수용 용기(1)를 적정 위치로 이동시킨다.

센터링 장치(32)는, 수용 용기(1)를 지지하는 동시에 수용 용기(1)의 측면을 가압하여 조작하는 지지 조작 기구(33)를 복수 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 센터링 장치(32)는 4개의 지지 조작 기구(33)를 구비하고 있다. 즉, 센터링 장치(32)는, 선반 길이 방향 X의 우측으로부터 수용 용기(1)의 측면을 가압하여 조작하는 지지 조작 기구(33)와, 선반 길이 방향 X의 좌측으로부터 수용 용기(1)의 측면을 가압하여 조작하는 지지 조작 기구(33)와, 선반 안길이 방향 Y의 전방측으로부터 수용 용기(1)의 측면을 가압하여 조작하는 지지 조작 기구(33)와, 선반 안길이 방향 Y의 후방측으로부터 수용 용기(1)의 측면을 가압하여 조작하는 지지 조작 기구(33)를 구비하고 있다.

도 7 및 도 8에 나타낸 바와 같이, 지지 조작 기구(33)는, 지지대(31)에 고정된 베이스부(36)와, 수용 용기(1)를 아래쪽으로부터 지지하는 용기 지지부(37)와, 수용 용기(1)의 측면을 가압하여 조작하는 압압부(押壓部)(38)와, 용기 지지부(37)와 압압부(38)를 연동(連動)시키는 연동부(39)를 구비하고 있다. 용기 지지부(37)는, 상하 방향 Z를 따라 이동 가능하게 베이스부(36)에 지지되어 있다. 압압부(38)는, 검사부(7)에 위치하는 수용 용기(1)에 대하여 원근 이동하도록, 수평 방향(선반 길이 방향 X 또는 선반 안길이 방향 Y)를 따라 이동 가능하게 베이스부(36)에 지지되어 있다. 그리고, 연동부(39)는, 용기 지지부(37)가 아래쪽으로 이동함에 따라서, 압압부(38)가 수용 용기(1)에 대하여 가까워지는 측으로 이동하고, 용기 지지부(37)가 위쪽으로 이동함에 따라서, 압압부(38)가 수용 용기(1)에 대하여 이격되는 쪽으로 이동하도록, 용기 지지부(37)와 압압부(38)를 연동하고 있다.

지지 조작 기구(33)의 각각의 구성에 대하여 설명을 추가한다.

연동부(39)는, 수평 방향을 따르는 요동 축심 주위로 요동(搖動) 가능하게 베이스부(36)에 지지되어 있다. 용기 지지부(37)는, 연동부(39)에 회전 가능하게 지지된 롤러체에 의해 구성되어 있고, 연동부(39)를 통하여 베이스부(36)에 지지되어 있다. 압압부(38)는, 연동부(39)에 회전 가능하게 지지된 롤러체에 의해 구성되어 있고, 연동부(39)를 통하여 베이스부(36)에 지지되어 있다. 그리고, 연동부(39)가, 요동 축심 주위로 요동함으로써 대기 자세(도 7 참조)와 지지 자세(도 8 참조)로에 자세 변경한다. 연동부(39)는, 가압 부재(도시하지 않음)에 의해, 지지 자세로부터 대기 자세를 향해 가압되어 있고, 지지대(31)가 수용 용기(1)를 지지하고 있지 않은 상태에서는, 연동부(39)는 대기 자세로 되어 있다. 이와 같이, 연동부(39)가 대기 자세로 되어 있는 상태에서는, 도 7에 나타낸 바와 같이, 용기 지지부(37)는 위쪽 위치에 위치하고, 압압부(38)는 이격 위치에 위치하고 있다.

그리고, 도 8에 나타낸 바와 같이, 검사부(7)에 있어서 지지대(31)가 수용 용기(1)를 지지하고 있는 상태에 있어서 상기 수용 용기(1)의 높이를 지지 높이로 하여, 스태커 크레인(3)에 의해 수용 용기(1)가 검사부(7)로 반송되는 경우에는, 스태커 크레인(3)은, 지지 높이보다도 높은 반송 높이(도 7 참조)로 지지한 상태에서, 수용 용기(1)를 선반 안길이 방향 Y의 후방측으로 이동시킨 후, 수용 용기(1)를 반송 높이로부터 지지 높이로 하강시킨다. 이와 같이, 수용 용기(1)를 반송 높이로부터 지지 높이로 하강시킴으로써, 수용 용기(1)의 하중에 의해 용기 지지부(37)가 위쪽 위치로부터 아래쪽 위치로 이동하는 동시에, 아래쪽 위치에 위치하는 용기 지지부(37)에 의해 수용 용기(1)가 지지 높이로 지지된다.

그리고, 이와 같이, 용기 지지부(37)가 아래쪽 위치로 이동함에 따라서 압압부(38)가 이격 위치(도 7 참조)로부터 근접 위치(도 8 참조)로 이동한다. 수용 용기(1)가 반송 높이로부터 지지 높이로 하강할 때, 수용 용기(1)의 상하 방향 Z에서 본 위치가 적정 위치로부터 수평 방향으로 어긋나 있는 경우에는, 근접 위치로 이동하는 압압부(38)에 의해 수용 용기(1)의 측면이 가압 조작되어, 수용 용기(1)의 위치가 적정 위치로 수정된다.

[검사 장치]

도 4, 도 6 및 도 9에 나타낸 바와 같이, 검사 장치(19)는, 검출체(41)에 의해 검출체(41)를 상하 방향 Z로 안내하는 안내체(42)와, 상기 검출체(41)를 이동시키는 구동부(43)와, 구동부(43)를 제어하는 제어부(H)(도 5 참조)를 구비하여, 판형체(B)를 수용하는 수용 용기(1)를 검사 대상으로 하고 있다. 그리고, 제어부(H)는, 검출체(41)의 검출 정보에 기초하여 제1 봉형체(23A)에 변형이 생기고 있는지의 여부를 판별한다.

검출체(41)는, 투광부(41A)와 수광부(41B)를 선반 길이 방향 X(용기 좌우 방향 D)로 배열되는 상태로 구비하고 있다. 그리고, 투광부(41A)는, 상하 방향 Z(용기 상하 방향 D3)로 폭을 가지는 밴드형의 검출광(L)을 수광부(41B)를 향해 투광한다. 투광부(41A)와 수광부(41B)는, 공통의 연결체(44)에 연결되어 상대(相對) 위치가 고정되어 있다. 구동부(43)는, 검출체(41)를 상하 방향 Z로 이동시킨다. 그리고, 제어부(H)는, 투광부(41A) 및 수광부(41B)의 높이를 나타내는 정보와, 수광부(41B)가 수광한 검출광(L)의 정보로부터 수용 용기(1)에 구비되어 있는 복수의 제1 봉형체(23A)에 변형이 생기고 있는지의 여부를 판별하게 되어 있다. 그리고, 제어부(H)에는, 수용 용기(1)를 지지대(31)에 탑재한 상태에서의 상하 방향 Z로 배열되는 복수의 제1 봉형체(23A)의 각각의 높이를 나타낸 높이 정보와, 제1 봉형체(23A)의 상하 방향 Z의 굵기를 나타내는 굵기 정보가 기억되어 있다.

다음에, 검출체(41)에 대하여 설명을 추가하지만, 검출체(41)와 수용 용기(1)와의 위치 관계를 설명하는 경우, 특별한 설명이 없는 경우에는, 수용 용기(1)가 지지대(31)에 지지시킨 상태를 전제로 설명한다. 그리고, 선반 길이 방향 X의 한쪽 측(우측)을 제1 측 X1, 그 반대측(좌측)을 제2 측 X2로 하여, 선반 길이 방향 X에 있어서, 수용 용기(1)에 같은 높이로 구비되어 있는 복수의 제1 봉형체(23A)에서의 가장 제1 측 X1에 위치하는 제1 봉형체(23A)로부터 가장 제2 측 X2에 위치하는 제1 봉형체(23A)까지의 범위를 배치 영역(E)으로 하고 있다.

그리고, 투광부(41A)는, 배치 영역(E)에 대하여 제2 측 X2에 위치하고, 수광부(41B)는, 배치 영역(E)에 대하여 제1 측 X1에 위치하고 있다. 이와 같이, 투광부(41A)와 수광부(41B)는, 지지부(23)에 포함되는 복수의 제1 봉형체(23A)의 배치 영역(E)을 포함하는 선반 길이 방향 X(용기 좌우 방향 D2)의 외측에 배치되어 있다.

또한, 투광부(41A) 및 수광부(41B)를 제1 봉형체(23A)에 대응하는 높이로 승강시킨 상태에서는, 투광부(41A)와 수광부(41B)는, 수용 용기(1)를 지지대(31)에 탑재시킨 상태에서, 투광부(41A)와 수광부(41B)와의 사이에 제1 봉형체(23A)의 선단부가 통과하도록 한 제1 방향의 선반 안길이 방향 Y의 위치에 배치되어 있다. 그러므로, 투광부(41A) 및 수광부(41B)를 제1 봉형체(23A)에 대응하는 높이로 승강시킨 상태에서는, 투광부(41A)로부터 투광한 밴드형의 검출광(L)이 제1 봉형체(23A)의 선단부에 의해 일부 차단되도록 되어 있다.

또한, 투광부(41A)는, 선반 길이 방향 X에 있어서 제1 봉형체(23A)와 제3 봉형체(23C)와의 사이에 위치하고, 수광부(41B)는, 선반 길이 방향 X에 있어서 제1 봉형체(23A)와 제2 봉형체(23B)와의 사이에 위치하고 있다. 즉, 투광부(41A)와 수광부(41B)는, 제2 봉형체(23B)와 제3 봉형체(23C)와의 사이에 위치하면서, 복수의 제1 봉형체(23A)의 배치 영역(E)에 대하여 선반 길이 방향 X에서 외측에 배치되어 있다. 그러므로, 투광부(41A)나 수광부(41B)는, 제1 봉형체(23A), 제2 봉형체(23B) 및 제3 봉형체(23C)에 간섭하지 않고 상하 방향 Z로 이동시킬 수 있다.

다음에, 제어부(H)가 실행하는 검사 제어에 대하여 설명한다.

제어부(H)가 검사 제어를 실행하기 전에는, 검출체(41)는 대기 높이(도 5에 나타낸 높이)에 위치하고 있다. 이 대기 높이는, 반송 높이의 수용 용기(1)에서의 하부 프레임(27)보다도 높은 높이에, 또한 지지 높이의 수용 용기(1)에서의 상부 프레임(26)보다도 낮은 높이에 위치하고 있다. 그리고, 제어부(H)는, 지지대(31)에 탑재된 것이 존부(存否) 센서(도시하지 않음)에 의해 검출되면, 검사 제어를 실행한다.

검사 제어에서는, 대기 높이로부터 개시 높이로 하강시킨 후, 종료 높이까지 상승시키고, 그 후, 대기 높이까지 하강시킨다. 개시 높이는, 상하 방향 Z로 배열되는 복수의 제1 봉형체(23A) 중 가장 아래쪽에 위치하는 제1 봉형체(23A)에 대응하는 높이이다. 검출체(41)가 개시 높이에 위치하는 상태에서는, 가장 아래쪽에 위치하는 적정 자세의 제1 봉형체(23A)의 선단부가 검출광(L)에서의 상하 방향 Z의 중앙부에 위치한다. 종료 높이는, 상하 방향 Z로 배열되는 복수의 제1 봉형체(23A) 중 가장 위쪽에 위치하는 제1 봉형체(23A)에 대응하는 높이이다. 검출체(41)가 종료 높이에 위치하는 상태에서는, 가장 위쪽에 위치하는 적정 자세의 제1 봉형체(23A)의 선단부가 검출광(L)에서의 상하 방향 Z의 중앙부에 위치한다.

그리고, 검사 제어에서는, 상하 방향 Z로 배열되는 복수의 제1 봉형체(23A)의 설정 높이의 각각에 있어서 수광부(41B)에서의 검출광(L)의 수광 상태를 확인하고, 각 설정 높이에 설치된 복수의 제1 봉형체(23A)에 대하여 제1 봉형체(23A)에 변형이 생기고 있는지의 여부를 판별한다. 구체적으로는, 예를 들면, 상하 방향 Z로 배열되는 복수의 제1 봉형체(23A) 중 가장 아래쪽에 위치하는 5개의 제1 봉형체(23A)에 대해서는, 검출체(41)를 가장 아래쪽에 위치하는 5개의 제1 봉형체(23A)에 대응하는 높이(개시 높이)에 위치시킨 상태에서, 수광부(41B)에서의 검출광(L)의 수광 상태를 확인한다. 이 때, 수광부(41B)가 검출광(L)을 수광하지 않는 상하 방향 Z의 범위가, 도 10에 나타낸 바와 같이, 제1 봉형체(23A)의 상하 방향 Z의 폭으로 허용 어긋남량(shift amount)을 부가한 폭 이하인 동시에, 검출광(L)을 수광하지 않는 상하 방향 Z의 위치가 미리 설정된 위치의 경우에는, 가장 아래쪽에 위치하는 5개의 제1 봉형체(23A)에 변형이 생기고 있지 않은 것으로 판단한다. 또한, 수광부(41B)가 검출광(L)을 수광하지 않는 상하 방향 Z의 범위가, 도 11이나 도 12에 나타낸 바와 같이, 제1 봉형체(23A)의 상하 방향 Z의 폭으로 허용 어긋남량을 부가한 폭보다도 넓은 경우나, 검출광(L)을 수광하지 않는 상하 방향 Z의 위치가 미리 설정된 위치로부터 상하 방향 Z로 어긋나 있는 경우에는, 가장 아래쪽에 위치하는 5개의 제1 봉형체(23A)에 변형이 생기고 있는 것으로 판별한다. 이와 같은 판별을, 검출체(41)를 개시 높이로부터 종료 높이까지 상승시킴에 따라 상하 방향 Z로 배열되는 복수의 제1 봉형체(23A)에 대하여 행한다.

2. 그 외의 실시형태

다음에, 검사 장치의 그 외의 실시형태에 대하여 설명한다.

(1) 상기 실시형태에서는, 용기 본체(22)를, 프레임재를 조합시켜 구성하였지만, 용기 본체(22)의 구성은 적절히 변경해도 된다. 구체적으로는, 예를 들면, 프레임재를 조합한 용기 본체(22)의 좌우의 측면이나 상면 및 하면에 판재를 구비하여, 용기 본체(22)를 가로로 설치한 통형(筒形)으로 구성으로 해도 된다. 또한, 이와 같이, 용기 본체(22)를 가로로 설치한 통형으로 구성한 경우, 용기 본체(22)의 전면(前面)을 막도록 팬 필터 유닛을 장착하여, 팬 필터 유닛에 의해 청정화된 외기를 수용 공간(21)에 받아들일 수 있도록 구성해도 된다.

(2) 상기 실시형태에서는, 투광부(41A)와 수광부(41B)를, 수용 용기(1)를 지지대(31)에 지지시킨 상태로, 출입구(29)로부터 수용 공간(21) 내에 들어간 위치에 배치하였으나, 투광부(41A)와 수광부(41B)와의 배치는 적절히 변경해도 된다. 구체적으로는, 예를 들면, 투광부(41A)와 수광부(41B)를, 용기 본체(22)에 대하여 용기 좌우 방향 D2의 외측에 위치하도록 배치하고, 투광부(41A)를, 수용 공간(21)의 외부로부터 수광부(41B)를 향해 검출광(L)을 투광하고, 수광부(41B)는, 수용 공간(21)을 통과한 검출광(L)을 수용 공간(21)의 외부에서 수광하도록 해도 된다.

(3) 상기 실시형태에서는, 투광부(41A)와 수광부(41B)를, 공통의 연결체(44)에 연결하여, 단일의 구동부(43)에 의해, 투광부(41A)와 수광부(41B)를 일체로 용기 상하 방향 D3로 이동시켰으나, 구동부(43)로서, 투광부(41A)를 용기 상하 방향 D3로 이동시키는 구동부(43)와 수광부(41B)를 용기 상하 방향 D3로 이동시키는 구동부(43)를 구비하여, 투광부(41A)와 수광부(41B)를 별개로 용기 상하 방향 D3로 이동시키도록 해도 된다.

(4) 상기 실시형태에서는, 스태커 크레인(3)에 의해 수용 용기(1)가 지지대(31)로 반송될 때의 동작을 이용하여, 투광부(41A)와 수광부(41B)가 출입구(29)로부터 수용 공간(21)에 들어가도록 했지만, 투광부(41A)와 수광부(41B)를 용기 전후 방향 D1로 이동시키는 제2 구동부를 구비하여, 수용 용기(1)가 지지대(31)에 지지되어 있는 상태로, 제2 구동부에 의해 투광부(41A)와 수광부(41B)를 용기 전후 방향 D1로 이동시킴으로써, 투광부(41A) 및 수광부(41B)가 수용 공간(21)에 대하여 용기 전후 방향 D1의 후방측의 위치[수용 공간(21)의 외부의 위치]와 투광부(41A) 및 수광부(41B)가 수용 공간(21)에 대하여 용기 전후 방향 D1의 전방측의 위치[수용 공간(21)에 들어간 위치]로 이동하도록 해도 된다.

(5) 상기 실시형태에서는, 지지부(23)를, 복수의 제1 봉형체(23A)와 복수의 제2 봉형체(23B)와 복수의 제3 봉형체(23C)로 구성하였지만, 지지부(23)를, 복수의 제1 봉형체(23A)만으로 구성해도 되고, 지지부(23)를, 복수의 제1 봉형체(23A)와 복수의 제2 봉형체(23B) 또는 복수의 제3 봉형체(23C) 중 어느 한쪽으로 구성해도 된다.

또한, 수용 용기(1)에 제1 봉형체(23A)를 포함하는 지지부(23)를 구비하였지만, 수용 용기(1)에 제1 봉형체(23A)를 포함하는 지지부(23)를 구비하지 않아도 된다. 구체적으로는, 수용 용기(1)의 바닥면에 지지판을 포함하고, 그 지지판 상에, 판형체(B)를 용기 전후 방향 D1 및 용기 상하 방향 D3을 따르는 자세(세로 자세)로 수용하고, 그 판형체(B)에 대하여 용기 좌우 방향 D2의 양측에 위치하는 복수의 제1 봉형체(23A)에 의해, 판형체(B)의 용기 좌우 방향 D2에서의 위치를 위치 결정하도록 해도 된다.

(6) 상기 실시형태에서는, 제1 방향을 용기 전후 방향 D1, 제2 방향을 용기 좌우 방향 D2, 제3 방향을 용기 상하 방향 D3로 하였으나, 이들 방향의 관계는 적절히 변경해도 된다. 구체적으로는, 예를 들면, 제1 방향을 용기 상하 방향 D3로 하여, 복수의 제1 봉형체(23A)의 각각을 용기 상하 방향 D3을 따르는 자세로 설치해도 되고, 또한 제2 방향을 용기 상하 방향 D3로 하여, 투광부(41A)와 수광부(41B)를 용기 상하 방향 D3로 배열되는 상태로 구비해도 된다.

(7) 상기 실시형태에서는, 수용 용기(1)에 수용하는 수용물을 판형체(B)로 하였으나, 수용 용기(1)에 수용하는 수용물은, 웨이퍼 등의 다른 판형체라도 되고, 또한 수용물의 형상은, 상자형이나 원기둥형 등의 다른 형상의 것이라도 된다.

(8) 그리고, 전술한 각각의 실시형태에서 개시된 구성은, 모순이 생기지 않는 한, 다른 실시형태에서 개시된 구성과 조합시켜 적용할 수도 있다. 그 외의 구성에 관해서도, 본 명세서에 있어서 개시된 실시형태는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않는다. 따라서, 본 개시의 취지를 벗어나지 않는 범위 내에서, 적절히, 각종 개변(改變; modification)을 행할 수 있다.

3. 상기 실시형태의 개요

이하, 상기에 있어서 설명한 검사 장치의 개요에 대하여 설명한다.

검사 장치는, 검출체와 상기 검출체를 이동시키는 구동부를 구비하여, 수용물을 수용하는 수용 용기를 검사 대상으로 하는 검사 장치로서,

상기 수용 용기는, 상기 수용물을 수용하는 수용 공간을 가지는 용기 본체와, 상기 수용 공간에 설치되어 상기 수용 공간에 수용한 상기 수용물을 위치결정하는 복수의 봉형체를 구비하고, 복수의 상기 봉형체의 각각은, 제1 방향을 따르는 자세로 설치되는 동시에, 상기 봉형체의 한쪽 측의 단부인 기단부가 상기 용기 본체에 고정되고, 다른 쪽 측의 단부인 선단부가 고정되어 있지 않은 캔틸레버 형태로 상기 용기 본체에 지지되고, 복수의 상기 봉형체는, 상기 제1 방향에 대하여 직교하는 제2 방향, 및 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 대하여 직교하는 제3 방향의 각각에 복수 배열되는 상태로 배치되고, 상기 구동부는, 상기 검출체를 상기 제3 방향으로 이동시키고, 상기 검출체는, 투광부와 수광부를 상기 제2 방향으로 배열되는 상태로 구비하고, 상기 투광부는, 상기 제3 방향으로 폭을 가지는 밴드형의 검출광을 상기 수광부를 향해 투광하고, 상기 투광부와 상기 수광부는, 상기 용기 본체를 검사용의 탑재부에 탑재시킨 상태에서, 상기 투광부와 상기 수광부와의 사이를 상기 선단부가 통과하도록 한 상기 제1 방향의 위치에 배치되어 있다.

이와 같은 구성에 의해, 수용 용기는, 복수의 봉형체에 의해 위치 결정한 상태로 수용물을 수용할 수 있다. 그리고, 이와 같은 수용 용기에서는, 수용한 수용물의 하중이나 봉형체의 자중에 의해 봉형체에 변형이 생길 가능성이 있지만, 검사 장치에 의해 검사함으로써 다음과 같이 봉형체의 변형을 검출할 수 있다.

또한, 구동부에 의해 검출체를 제3 방향으로 이동시켜 봉형체의 선단부의 위치를 검출함으로써, 수용 용기를 이동시킬 필요가 없다. 그리고, 검출체는 수용 용기에 비교하여 소형이고 경량이므로, 수용 용기를 이동시키는 경우와 비교하여, 검사 장치의 제조 비용을 억제할 수 있다.

여기서, 상기 제1 방향을 용기 전후 방향, 상기 제2 방향을 용기 좌우 방향, 상기 제3 방향을 용기 상하 방향으로 하여, 상기 수용물은, 상기 용기 전후 방향 및 상기 용기 좌우 방향을 따르는 자세로 상기 수용 공간에 수용되는 판형체이며, 상기 수용 용기는, 상기 수용 공간에 수용한 상기 판형체를 아래쪽으로부터 지지하는 지지부를, 상기 용기 상하 방향으로 배열되는 상태로 복수 구비하고, 복수의 상기 지지부의 각각은, 상기 용기 좌우 방향으로 1열로 배열되는 복수의 상기 봉형체를 포함하고, 상기 투광부와 상기 수광부는, 상기 지지부의 각각에 포함되는 복수의 상기 봉형체의 배치 영역에 대하여 상기 용기 좌우 방향의 외측에 배치되어 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 복수의 지지부의 각각에 판형체를 지지하게 함으로써, 수용 용기에는, 복수의 판형체를 용기 상하 방향으로 배열된 상태로 수용할 수 있다. 그리고, 이와 같이, 판형체를 수용함으로써, 판형체는, 용기 좌우 방향으로 1열로 배열되는 봉형체에 의해 아래쪽으로부터 지지된다. 봉형체는, 판형체의 하중이나 봉형체의 자중에 의해, 봉형체의 선단부가 아래쪽으로 내려가도록 봉형체가 변형될 가능성이 있지만, 검사 장치에 의해 검사함으로써 봉형체의 변형을 검출할 수 있다.

투광부와 수광부는, 지지부의 각각에 포함되는 복수의 봉형체의 배치 영역에 대하여 용기 좌우 방향의 외측에 배치되어 있으므로, 투광부와 수광부에 의해, 1개의 지지부에 포함되는 복수의 봉형체의 선단부의 위치를 모아 검출할 수 있다. 그러므로, 투광부와 수광부와의 조(組)를 복수 조 구비할 필요가 없기 때문에, 검출부의 비용을 억제할 수 있다.

또한, 상기 투광부와 상기 수광부는, 공통의 연결체에 연결되어 상대 위치가 고정되어 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 투광부와 수광부는 연결체에 의해 상대 위치가 고정되어 있으므로, 구동부에 의해 투광부와 수광부를 제3 방향으로 이동시키는 경우에, 투광부와 수광부와의 상대적으로 위치가 어긋나지 않는다. 그러므로, 투광부와 수광부가 상대적으로 제3 방향으로 어긋나는 것에 의해 봉형체의 검출에 오차가 생기는 것을 회피할 수 있다.

또한, 상기 수용 용기는, 상기 수용 공간에 대하여 상기 제1 방향의 한쪽 측에, 상기 수용 공간에 대하여 상기 수용물을 출입하는 출입구가 형성되고, 상기 투광부와 상기 수광부는, 상기 수용 용기를 상기 탑재부에 탑재시킨 상태에서, 상기 출입구로부터 상기 수용 공간 내에 들어간 위치에 배치되어 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 수용 용기를 탑재부에 탑재시킨 상태에서는, 제2 방향에 있어서 투광부와 수광부가 용기 본체의 내측에 위치하고 있다. 따라서, 예를 들면, 제2 방향에 있어서 투광부와 수광부가 용기 본체의 외측에 위치하고 있는 경우에는, 투광부로부터 투광하는 검출광이 용기 본체에 간섭하지 않도록 수용 용기의 형상이나 검출부의 설치 위치를 고려할 필요가 있지만, 제2 방향에 있어서 투광부와 수광부를 용기 본체의 내측에 위치시킴으로써, 전술한 바와 같이 수용 용기의 형상이나 검출부의 설치 위치를 고려할 필요가 없어진다.

본 개시에 관한 기술은, 수용물을 수용하는 수용 용기를 검사 대상으로 하는 검사 장치에 이용할 수 있다.

1: 수용 용기
19: 검사 장치
21: 수용 공간
22: 용기 본체
23: 지지부
23A: 제1 봉형체(봉형체)
29: 출입구
31: 지지대(탑재부)
41: 검출체
41A: 투광부
41B: 수광부
43: 구동부
B: 판형체(수용물)
D1: 용기 전후 방향(제1 방향)
D2: 용기 좌우 방향(제2 방향)
D3: 용기 상하 방향(제3 방향)
E: 배치 영역

Claims

검출체; 및
상기 검출체를 이동시키는 구동부;
를 포함하고,
수용물을 수용하는 수용 용기를 검사 대상으로 하고,
상기 수용 용기는, 상기 수용물을 수용하는 수용 공간을 구비하는 용기 본체와, 상기 수용 공간에 설치되어 상기 수용 공간에 수용한 상기 수용물을 위치결정하는 복수의 봉형체(棒形體)를 구비하고, 복수의 상기 봉형체의 각각은, 용기 전후 방향을 따르는 자세로 설치되는 동시에, 상기 봉형체의 한쪽 측의 단부인 기단부(基端部)가 상기 용기 본체에 고정되고, 다른 쪽 측의 단부인 선단부가 고정되어 있지 않은 캔틸레버(cantilever) 형태로 상기 용기 본체에 지지되고,
복수의 상기 봉형체는, 상기 용기 전후 방향에 대하여 직교하는 용기 좌우 방향, 및 상기 용기 전후 방향 및 상기 용기 좌우 방향에 대하여 직교하는 용기 상하 방향의 각각으로 복수 배열되는 상태로 배치되고,
상기 구동부는, 상기 검출체를 상기 용기 상하 방향으로 이동시키고,
상기 검출체는, 투광부와 수광부를 상기 용기 좌우 방향으로 배열되는 상태로 구비하고, 상기 투광부는, 상기 용기 상하 방향으로 폭을 가지는 밴드형의 검출광을 상기 수광부를 향해 투광하고,
상기 투광부와 상기 수광부는, 상기 용기 본체를 검사용의 탑재부에 탑재시킨 상태에서, 복수의 상기 봉형체의 배치 영역에 대하여 상기 용기 좌우 방향의 외측으로서, 상기 투광부와 상기 수광부와의 상기 용기 좌우 방향의 사이를 상기 선단부가 통과하도록 한 상기 용기 전후 방향의 위치에 배치되어 있는,
검사 장치.
제1항에 있어서,
상기 수용물은, 상기 용기 전후 방향 및 상기 용기 좌우 방향을 따르는 자세로 상기 수용 공간에 수용되는 판형체이며,
상기 수용 용기는, 상기 수용 공간에 수용한 상기 판형체를 아래쪽으로부터 지지하는 지지부를, 상기 용기 상하 방향으로 배열되는 상태로 복수 구비하고,
복수의 상기 지지부의 각각은, 상기 용기 좌우 방향으로 1열로 배열되는 복수의 상기 봉형체를 포함하는, 검사 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 투광부와 상기 수광부는, 공통의 연결체에 연결되어 상대(相對) 위치가 고정되어 있는, 검사 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 수용 용기는, 상기 수용 공간에 대하여 상기 용기 전후 방향의 한쪽 측에, 상기 수용 공간에 대하여 상기 수용물을 출입하는 출입구가 형성되고,
상기 투광부와 상기 수광부는, 상기 수용 용기를 상기 탑재부에 탑재시킨 상태에서, 상기 출입구로부터 상기 수용 공간 내에 들어간 위치에 배치되어 있는, 검사 장치.