KR101526436B1

KR101526436B1 - 반송차

Info

Publication number: KR101526436B1
Application number: KR1020120064950A
Authority: KR
Inventors: 히로시 타나카
Original assignee: 무라다기카이가부시끼가이샤
Priority date: 2011-07-12
Filing date: 2012-06-18
Publication date: 2015-06-05
Also published as: JP2013021166A; CN102874530A; JP5927791B2; TWI526381B; KR20130008456A; TW201305032A; CN102874530B

Abstract

본 발명의 과제는, 피반송물에 수납된 평판형상 부재의 수납상태를 양호한 정밀도로 검출할 수 있는 반송차를 제공하는 데 있다.
본 발명의 반송차(1)는, 소정의 방향을 따라 주행가능하게 설치된 주행대차(3)와, 주행대차(3)에 대해 상하방향의 축 중심으로 회전가능하게 설치된 턴테이블(9)과, 턴테이블(9)에 설치되어, 카세트(W)를 얹어 놓는 동시에, 카세트(W)를 이동시키는 이재장치(11)와, 카세트(W)에 있어서의 유리 기판(G)의 수납상태를 검출광(L)에 의해 검출하는 동시에, 그 광축방향이 주행대차(3)의 주행방향을 따라서 그리고 턴테이블(9)과 함께 회전하지 않는 위치에 설치된 매핑 센서(13)와, 이재장치(11)에 의해 카세트(W)를 받아들이고, 턴테이블(9)을 회전시켜서 카세트(W)를 회전시킨 후, 매핑 센서(13)가 카세트(W)에 있어서의 유리 기판(G)의 수납상태를 검출하도록 제어하는 컨트롤러(15)를 구비한다.

Description

반송차{TRANSPORT CARRIAGE}

본 발명은, 예컨대 클린 룸(clean room)에 있어서, 복수 장의 유리 기판을 수납한 카세트 등의 피반송물을 반송하기 위한 반송차에 관한 것이다.

종래의 반송차로서, 예컨대 특허문헌 1에 기재된 것이 알려져 있다. 특허문헌 1에 기재된 반송차는, 웨이퍼를 수납하는 복수의 선반을 구비한 버퍼 카세트와, 웨이퍼의 이재(移載)를 행하는 이재장치와, 버퍼 카세트 내에 있어서의 웨이퍼 유무를 검출하는 센서를 구비하고 있다.

일본 특허공개공보 제2003-237941호

예컨대, 반도체나 액정 패널의 제조 라인에서는, 카세트를 이전 공정으로부터 이후 공정으로 반송할 때, 카세트 내의 평판형상 부재의 매수를 파악하기 위해, 상술한 바와 같이 카세트 내에 수납된 평판형상 부재의 유무를 검출할 필요가 있다. 이와 같이, 동 분야에서는, 카세트에 수납된 평판형상 부재의 수납상태를 양호한 정밀도로 검출할 것이 요청되고 있다.

본 발명은, 상기의 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 피반송물에 수납된 평판형상 부재의 수납상태를 양호한 정밀도로 검출할 수 있는 반송차를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 반송차는, 평판형상 부재를 수납한 피(被)반송물을 반송하는 반송차로서, 소정의 방향을 따라 주행가능하게 설치된 본체부와, 본체부에 대해 상하방향의 축 중심으로 회전가능하게 설치된 회전부와, 회전부에 설치되어, 피반송물을 얹어 놓는 동시에, 피반송물을 출납하는 이재(移載)장치와, 피반송물에 있어서의 평판형상 부재의 수납상태를 광을 이용하여 검출하는 동시에, 그 광축방향이 본체부의 주행방향을 따라서 그리고 회전부와 함께 회전하지 않는 위치에 설치된 광학식 검출수단과, 이재장치에 의해 피반송물을 받아들이고, 회전부를 회전시켜서 피반송물을 회전시킨 후에, 광학식 검출수단이 피반송물에 있어서의 평판형상 부재의 수납상태를 검출하도록 제어하는 제어부를 구비하는 것을 특징으로 한다.

상기 반송차에서는, 피반송물에 수납된 평판형상 부재를 광학식 검출수단에 의해 검출할 때, 회전부를 회전시켜서 피반송물을 회전시킨다. 평판형상 부재를 수납하는 피반송물에는, 평판형상 부재를 지지하는 지지부재가 설치되어 있는 경우가 있다. 상기 지지부재는, 피반송물이 이재장치에 의해 받아들여졌을 때, 광학적 검출수단의 검출광과 직교하는 방향으로 연장(延伸)되어 있어, 검출광과 간섭할 우려가 있다. 따라서, 피반송물을 회전시키고 나서 검출함으로써, 지지부재가 검출광에 간섭하는 것을 회피할 수 있다. 이에 따라, 피반송물에 수납된 평판형상 부재의 수납상태를 양호한 정밀도로 검출하는 것이 가능해진다.

광학식 검출수단은, 피반송물이 회전했을 때 해당 피반송물과 접촉하지 않는 위치에 고정하여 설치할 수 있다. 이 구성에 따르면, 피반송물을 회전시킬 때 광학식 검출수단을 이동시킬 필요가 없기 때문에, 그 이동을 위한 기구가 불필요한 동시에 이동시간을 삭감할 수 있다. 따라서, 간이한 구성으로 할 수 있는 동시에, 신속하게 평판형상 부재를 검출할 수 있다.

평판형상 부재는, 피반송물 내에 상하방향에 있어서 서로 대면하도록 수납되어 있으며, 광학식 검출수단은, 각 평판형상 부재의 수납 위치에 대응하는 부분에 복수 개를 설치할 수 있다. 이 구성에 따르면, 복수의 평판형상 부재를 동시에 검출할 수 있다. 또한, 각 평판형상 부재를 검출할 때, 광학식 검출수단을 상하방향으로 이동시킬 필요가 없기 때문에, 그 이동을 위한 기구가 불필요한 동시에 이동시간을 삭감할 수 있다. 따라서, 간이한 구성으로 할 수 있는 동시에, 신속하게 평판형상 부재를 검출할 수 있다.

피반송물은, 평판형상 부재를 출납하는 개구와, 평판형상 부재를 지지하는 지지부재를 가지며, 개구는, 이재장치에 의해 받아들여졌을 때, 광축방향으로 수평면에서 직교하는 방향을 향하고 있으며, 지지부재는, 개구를 통해 평판형상 부재가 출납되는 방향을 따라 연장되는 막대형상 부재이다. 이러한 구성의 피반송물에서는, 이재장치에 얹어 놓일 때 지지부재의 연장방향과 광학식 검출수단의 광축방향이 직교한다. 이 때문에, 지지부재에 검출광이 간섭하여 평판형상 부재의 검출이 불안정해질 우려가 있다. 따라서, 회전부를 회전시켜서 피반송물을 회전시킴으로써, 지지부재에 검출광이 간섭하는 것을 회피할 수 있다. 이에 따라, 피반송물에 수납된 평판형상 부재의 수납상태를 양호한 정밀도로 검출할 수 있다.

본 발명에 따르면, 피반송물에 수납된 평판형상 부재의 수납상태를 양호한 정밀도로 검출할 수 있다.

도 1은 하나의 실시형태에 따른 반송차를 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1에 나타낸 반송차를 전방에서 바라본 도면이다.
도 3은 매핑 센서를 나타낸 도면이다.
도 4는 컨트롤러를 나타낸 블록도이다.
도 5는 카세트가 받아들여졌을 때의 카세트와 매핑 센서와의 위치 관계를 나타낸 도면이다.
도 6은 카세트가 회전한 후의 카세트와 매핑 센서와의 위치 관계를 나타낸 도면이다.

이하에서는, 첨부도면을 참조하면서, 바람직한 실시형태에 대해 상세히 설명한다. 참고로, 도면의 설명에 있어서 동일하거나 또는 그에 상당하는 요소에는 동일부호를 붙이고, 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

도 1은, 하나의 실시형태에 따른 반송차를 나타낸 사시도이고, 도 2는, 도 1에 나타낸 반송차를 전방에서 바라본 도면이다.

도 1 및 도 2에 나타낸 반송차(1)는, 다수의 선반(도시 생략)을 배치한 클린 룸 내부를 이동하여, 각 선반에 있어서 카세트(피반송물; W)의 출납을 행하는 장치이다. 카세트(W)에는, 예컨대 액정 패널이나 태양전지 패널에 이용되는 복수의 유리 기판(평판형상 부재; G)(도 5 참조)이 수납된다.

반송차(1)는, 클린 룸 내부를 이동하는 주행대차(본체부; 3)와, 상기 주행대차(3)에 세워 설치된 2개의 지지기둥장치(5a, 5b)와, 지지기둥장치(5a, 5b)에 대해 상하방향으로 이동가능하게 설치된 승강대(7)와, 승강대(7) 상에 설치된 턴테이블(회전부; 9)과, 턴테이블(9) 상에 설치된 이재장치(11)와, 카세트(W) 내의 유리 기판(G)의 유무를 검출하는 매핑 센서(광학식 검출수단; 13)를 포함하여 구성되어 있다. 또한, 반송차(1)는, 상기 반송차(1)의 동작을 제어하는 컨트롤러(제어부; 15)(도 4 참조)를 구비하고 있다.

주행대차(3)는, 소정의 방향을 따라 주행가능하게 설치되어 있다. 주행대차(3)는, 차륜(3a)을 가지고 있어, 클린 룸 내에 부설(敷設)된 레일(R)을 따라 직선이동한다. 차륜(3a)은, 도시되지 않은 모터에 의해 회전구동된다. 상기 주행대차(3)에 의해, 반송차(1)는, 클린 룸 내에 있어서 이동가능하게 설치되어 있다.

지지기둥장치(5a, 5b)는, 주행대차(3)의 주행방향에 있어서 마주보고 한 쌍이 설치되어 있다. 지지기둥장치(5a, 5b)에는, 상하방향을 따라 가이드 레일(17)이 설치되어 있다. 상기 가이드 레일(17)에는, 승강대(7)의 양측에 설치된 지지 프레임(19)의 가이드(도시 생략)가 슬라이딩 가능하게 설치되어 있다. 승강대(7)는, 도시되지 않은 승강구동수단에 의해, 가이드 레일(17)을 따라 지지기둥장치(5a, 5b)의 상하방향으로 승강된다.

턴테이블(9)은, 주행대차(3)에 대해 상하방향의 축 중심으로 회전가능하게 설치되어 있다. 턴테이블(9)은, 승강대(7) 상에 설치되며, 도시되지 않은 모터에 의해 회전 구동된다.

이재장치(11)는, 스칼라 아암(SCARA Arm; 20)과, 상기 스칼라 아암(20)이 설치되는 슬라이드부(21)에 의해 구성되어 있다. 스칼라 아암(20)은, 기저단측(基端側) 아암(20a)과, 선단측(先端側) 아암(20b)과, 이재 아암(20c)에 의해 구성되어 있다. 기저단측 아암(20a)의 기저단측은, 베이스(22)에 회동가능하게 설치되어 있다. 기저단측 아암(20a)과 선단측 아암(20b)은, 서로 회동가능하게 설치되어 있으며, 프리 아암(23)을 구성하고 있다. 또한, 선단측 아암(20b)과 이재 아암(20c)은, 서로 회동가능하게 설치되어 있다. 이재 아암(20c)의 상면은, 카세트(W)를 얹어 놓는 재치(載置)면을 구성하고 있다. 스칼라 아암(20)은, 기저단측 아암(20a)을 베이스(22)의 중심선을 기준으로 하여 대칭으로 동기되도록 회전구동시킴으로써, 이재 아암(20c)이 주행대차(3)의 주행방향에 직교하는 방향(카세트(W)가 출납되는 방향)으로 직선이동한다.

슬라이드부(21)는, 주행대차(3)의 주행방향에 직교하는 방향으로 직진이동하여, 스칼라 아암(20)을 슬라이드시킨다. 슬라이드부(21)는, 턴테이블(9) 상에 설치되어 있다. 이에 따라, 이재장치(11)는, 도 1에 나타낸 이재 아암(20c)의 선단방향으로부터, 180° 반대되는 방향까지 회전가능하게 설치되어 있다.

도 3은, 매핑 센서를 나타낸 도면이다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 매핑 센서(13)는, 지지기둥장치(5a, 5b)에 설치되어 있다. 매핑 센서(13)는, 예컨대 적외선을 이용한 광학식 센서이며, 투광부(13a)와, 수광부(13b)로 구성되어 있다. 매핑 센서(13)는, 투광부(13a)로부터 투광된 광(L)을 수광부(13b)에서 수광함으로써 유리 기판(G)을 검출한다.

매핑 센서(13)는, 투광부(13a)로부터 투광된 광을 수광부(13b)가 수광하기 위해, 투광부(13a)와 수광부(13b)가 마주보도록 지지기둥장치(5a, 5b)의 하부에 각각 설치되어 있다. 즉, 매핑 센서(13)의 광축방향은, 주행대차(3)의 주행방향을 따르고 있다. 매핑 센서(13)는, 카세트(W)가 이재장치(11)에 얹어 놓인 상태로 회전했을 때 카세트(W)에 접촉하지 않는 위치에 설치되어 있다. 환언하자면, 매핑 센서(13)는, 이재장치(11)에 얹어 놓인 카세트(W)의 회전 중심(턴테이블(9)의 회전 중심)으로부터, 상기 회전 중심과 카세트(W)의 모서리부(角部) 사이의 거리 이상 떨어진 위치에 설치되어 있다.

매핑 센서(13)의 투광부(13a) 및 수광부(13b)는, 상하방향을 따라 소정의 간격을 두고 배치되어 있으며, 카세트(W)에 수납되는 유리 기판(G)의 매수에 따른 개수(본 실시형태에서는 13개)가 설치되어 있다. 투광부(13a)의 높이 위치와 수광부(13b)의 높이 위치는, 상하방향에 있어서 소정의 높이만큼 어긋나있다. 구체적으로는, 투광부(13a)는, 수광부(13b)에 대해 유리 기판(G)의 수납 피치만큼 하방(혹은 상방)에 배치되어 있다. 즉, 투광부(13a)로부터 투광되는 광(L)은, 수평방향(유리 기판(G)의 면 방향)에 대해 기울어져 있다.

이러한 구성에 의해, 투광부(13a)로부터 투광된 광은, 유리 기판(G)에 대해 비스듬히 입사하고, 유리 기판(G)을 투과하여 수광부(13b)에서 수광된다. 매핑 센서(13)에서는, 투광부(13a)로부터 투광되었을 때의 광 강도와, 수광부(13b)에서 수광되었을 때의 광 강도 간의 강도 변화에 의해, 유리 기판(G)의 유무를 검출한다.

매핑 센서(13)는, 컨트롤러(15)로부터 출력되는 지시신호에 따라 유리 기판(G)을 검출한다. 매핑 센서(13)는, 반송차(1)에 카세트(W)를 받아들였을 때, 또는 반송차(1)로부터 카세트(W)를 이동처의 선반으로 이동시킬 때, 카세트(W)에 수납된 유리 기판(G)의 유무를 검출한다. 매핑 센서(13)는, 검출 결과를 나타내는 검출신호(매핑 데이터)를 컨트롤러(15)에 출력한다.

도 3은, 컨트롤러를 나타낸 블록도이다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 컨트롤러(15)에는, 매핑 센서(13)(투광부(13a) 및 수광부(13b))가 접속되어 있다. 컨트롤러(15)는, CPU[Central Processing Unit], ROM[Read Only Memory], RAM[Random Access Memory] 등으로 구성되어 있으며, 프로그램에 의해 각종 제어가 실행된다.

컨트롤러(15)는, 반송차(1)의 동작에 따른 제어를 행하는 장치로서, 주행대차(3), 지지기둥장치(5a, 5b), 승강대(7), 턴테이블(9) 및 이재장치(11)의 동작을 제어한다. 또한, 컨트롤러(15)는, 매핑 센서(13)에 있어서의 유리 기판(G)의 검출 타이밍을 제어한다. 구체적으로는, 컨트롤러(15)는, 이재장치(11)에 의해 카세트(W)를 받아들이고, 턴테이블(9)을 회전시킨 후, 매핑 센서(13)가 카세트(W)에 수납된 유리 기판(G)을 검출하도록 제어한다. 환언하자면, 컨트롤러(15)는, 카세트(W)를 회전시킨 후에, 매핑 센서(13)가 카세트(W)에 수납된 유리 기판(G)을 검출하도록 제어한다. 컨트롤러(15)는, 유리 기판(G)의 검출을 지시하는 지시신호를 매핑 센서(13)에 출력한다.

또한, 컨트롤러(15)는, 매핑 센서(13)로부터 출력된 검출신호를 받으면, 이 검출신호에 근거하여 카세트(W) 내의 유리 기판(G)의 매수를 기억한다. 그리고, 컨트롤러(15)는, 자동창고로의 입고시에 있어서의 카세트(W) 내의 유리 기판(G)의 매수 및 배치와, 출고시에 있어서의 카세트(W) 내의 유리 기판(G)의 매수 및 배치가 일치하는지의 여부를 판정한다. 컨트롤러(15)는, 판정 결과, 입고시와 출고시의 유리 기판(G)의 매수가 상이할 경우에는, 그러한 취지를 나타내는 에러신호를, 예컨대 통지수단에 출력한다. 그리고, 컨트롤러(15)는, 에러를 검지한 카세트(W)를 이송처의 소정의 선반이 아닌 선반(예컨대, 유지 보수용 스테이션이나 원래의 선반 등)에 이재하도록 주행대차(3) 및 이재장치(11)를 제어한다.

이어서, 반송차(1)의 동작에 대해 설명한다. 반송차(1)는, 컨트롤러(15)가 프로그램에 근거하여 각 장치를 제어하고, 클린 룸 내에 있어서 카세트(W)의 이재 및 반송을 행한다. 반송차(1)는, 이재장치(11)에 의해 선반으로부터 카세트(W)를 꺼내어 받아들이면, 턴테이블(9)을 대략 90° 회전시킨다. 이때, 승강대(7)가 상방에 위치하고 있을 경우에는, 매핑 센서(13)가 설치된 지지기둥장치(5a, 5b)의 하부까지 승강대(7)를 하강시킨다. 그리고, 매핑 센서(13)에 의해 카세트(W)에 수납된 유리 기판(G)을 검출한다. 유리 기판(G) 검출 후, 반송차(1)는, 턴테이블(9)을 대략 90° 회전시켜, 카세트(W)의 개구(K)를 선반측으로 향하게 한다. 그리고, 반송차(1)는, 이송처의 소정의 선반까지 이동하여 이재장치(11)에 의해 카세트(W)를 선반으로 이동시킨다.

다음으로는, 매핑 센서(13)에 의한 유리 기판(G)의 검출방법에 대해 상세히 설명한다. 도 5는, 카세트가 받아들여졌을 때의 카세트와 매핑 센서 간의 위치 관계를 나타낸 도면이다. 도 6은, 카세트가 회전한 후의 카세트와 매핑 센서 간의 위치 관계를 나타낸 도면이다. 각 도면에 있어서, (a)는 카세트(W)를 전방에서 바라본 도면이고, (b)는 (a)에 도시된 카세트(W)를 하방에서 바라본 도면이고, (c)는 (a)에 나타낸 카세트(W)를 옆에서 바라본 도면이다.

먼저, 카세트(W)에 대해 설명하기로 한다. 카세트(W)는, 직육면체 형상을 하고 있으며, 프레임(F)에 의해 구성되어 있다. 카세트(W)는, 유리 기판(G)이 출납되는 개구(K)를 전방(도 5(b)에 있어서의 상측)에 가지고 있다. 카세트(W)의 후방(도 5(b)에 있어서의 하측)에는, 상하방향(높이방향)을 따라 2개의 기둥부재(C1, C2)가 폭방향으로 소정의 간격을 두고 설치되어 있다. 기둥부재(C1, C2)는, 개구(K)측으로부터 삽입되는 유리 기판(G)의 스토퍼로서 기능한다.

또한, 기둥부재(C1, C2)에는, 막대형상의 백 서포트(지지부재; B1, B2)가 부착되어 있다. 백 서포트(B1, B2)는, 카세트(W)의 후방으로부터 전방을 향해 연장되어 있으며, 기저단부가 기둥부재(C1, C2)에 고정되어 있는 동시에, 선단부가 개구(K)측으로까지 연장되어 있다. 또한, 카세트(W)의 폭방향 양측에는, 전후방향으로 소정의 간격을 두고 복수(여기서는 4개)의 사이드 서포트(S)가 설치되어 있다. 유리 기판(G)은, 백 서포트(B1, B2) 및 사이드 서포트(S)에 의해 하부가 지지되고, 상하방향에 있어서 대면하도록 카세트(W)에 수납되어 있다.

도 5에 나타낸 바와 같이, 이재장치(11)에 의해 반송차(1)에 받아들여진 카세트(W)는, 개구(K)가 선반측을 향해 있다. 즉, 카세트(W)는, 개구(K)가 주행대차(3)의 주행방향에 직교하는 방향을 향해 있으며, 백 서포트(B1, B2)도 주행방향에 직교하는 방향으로 연장되어 있다. 이때, 매핑 센서(13)의 광축방향과 백 서포트(B1, B2)는 직교하고 있다. 이 때문에, 매핑 센서(13)의 투광부(13a)로부터 투광된 광(L)이 백 서포트(B1, B2)에 간섭할 우려가 있다.

따라서, 본 실시형태에서는, 이재장치(11)에 의해 카세트(W)를 받아들인 후에, 턴테이블(9)을 회전시켜서 카세트(W)를 대략 90° 회전시킨다. 이에 따라, 도 6에 나타낸 바와 같이, 매핑 센서(13)의 광축방향과 백 서포트(B1, B2)의 연장방향은 대략 평행이 된다. 따라서, 매핑 센서(13)의 투광부(13a)로부터 투광된 광(L)이 백 서포트(B1, B2)에 간섭하는 것이 회피된다. 매핑 센서(13)는, 카세트(W)를 초기 상태(반송차(1)에 받아들여진 상태)로부터 대략 90° 회전시킨 후에, 유리 기판(G)의 유무를 검출한다.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시형태에서는, 지지기둥장치(5a, 5b)에 매핑 센서(13)가 설치되어 있으며, 매핑 센서(13)에 의해 유리 기판(G)의 유무를 검출한다. 매핑 센서(13)에 의한 유리 기판(G)의 검출은, 이재장치(11)에 의해 카세트(W)를 반송차(1)에 받아들이고, 턴테이블(9)을 대략 90° 회전시킨 후에 행한다. 이에 따라, 받아들여졌을 때에는 매핑 센서(13)의 광축방향에 대해 직교하는 방향으로 연장되어 있던 카세트(W)의 백 서포트(B1, B2)가, 광축방향과 대략 평행이 된다. 따라서, 카세트(W)의 백 서포트(B1, B2)에 매핑 센서(13)의 광(L)이 간섭하는 것이 회피된다. 그 결과, 매핑 센서(13)에 의해 유리 기판(G)을 안정적으로 검출할 수 있고, 카세트(W)에 수납된 유리 기판(G)의 수납상태를 고정밀도로 검출할 수 있다.

또한, 본 실시형태에 있어서, 매핑 센서(13)는, 지지기둥장치(5a, 5b)에 부착되어 있다. 지지기둥장치(5a, 5b)는, 이재장치(11)를 사이에 두고 설치되어 있으며, 이재장치(11)에 얹어 놓인 카세트(W)가 회전했을 때 카세트(W)와 접촉하지 않는 위치에 배치되어 있다. 즉, 매핑 센서(13)는, 카세트(W)가 회전했을 때 카세트(W)와 접촉하지 않는 위치에 설치되어 있다. 따라서, 카세트(W)를 회전시킬 때 매핑 센서(13)를 이동시킬 필요가 없기 때문에, 그 이동을 위한 기구가 불필요한 동시에 이동시간을 삭감할 수 있다. 따라서, 간이한 구성으로 하는 것이 가능한 동시에, 유리 기판(G)의 검출을 신속하게 행할 수 있다.

또한, 매핑 센서(13)는, 카세트(W)에 수납되는 유리 기판(G)의 매수에 따라, 카세트(W)의 상하방향에 있어서 투광부(13a) 및 수광부(13b)가 복수 설치되어 있다. 따라서, 카세트(W)에 수납된 복수의 유리 기판(G)을 동시에 검출할 수 있다. 또한, 투광부(13a) 및 수광부(13b)가 하나만 설치된 경우에 비해, 유리 기판(G)의 검출을 위해 매핑 센서(13)를 상하방향으로 이동시킬 필요가 없기 때문에, 그 이동을 위한 기구가 불필요한 동시에 이동시간을 삭감할 수 있다. 따라서, 간이한 구성으로 할 수 있는 동시에, 유리 기판(G)의 검출을 신속하게 행할 수 있다.

본 발명은, 상기의 실시형태에 한정되는 것이 아니다. 예컨대, 상기 실시형태에서는, 매핑 센서(13)를 반송차(1)의 지지기둥장치(5a, 5b)에 설치하였지만, 매핑 센서(13)를 승강대(7)에 설치해도 된다.

또한, 상기 실시형태에서는, 적외선을 투수광(投受光)하는 매핑 센서(13)를 예시하였지만, 매핑 센서(13)는 레이저를 이용한 광학식 센서여도 좋다.

또한, 상기 실시형태에서는, 매핑 센서(13)에 의해 유리 기판(G)을 검출할 때, 카세트(W)를 대략 90° 회전시켰으나, 카세트(W)의 회전각은 90°가 아니어도 된다. 요컨대, 카세트(W)의 백 서포트(B1, B2)가 매핑 센서(13)의 투광부(13a)로부터 투광된 광(L)과 간섭하지 않는 각도까지 카세트(W)를 회전시키면 된다.

또한, 상기 실시형태에서는, 피반송물로서 백 서포트(B1, B2)를 가지는 카세트(W)를 예시하였으나, 와이어에 의해 유리 기판(G)을 지지하는 이른바 와이어 카세트여도 좋다.

이상, 본 발명의 하나의 실시형태에 대해 설명하였으나, 본 발명은 상기의 실시형태에 한정되는 것이 아니라, 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변경이 가능하다. 특히, 본 명세서에 기재된 복수의 실시형태 및 변형예는 필요에 따라서 임의로 조합이 가능하다.

1 : 반송차
3 : 주행대차(본체부)
9 : 턴테이블(회전부)
11 : 이재장치
13 : 매핑 센서(광학식 검출수단)
15 : 컨트롤러(제어부)
B1, B2 : 백 서포트(지지부재)
G : 유리 기판(평판형상 부재)
L : 광
W : 카세트(피반송물)

Claims

평판형상 부재를 수납한 피(被)반송물을 반송하는 반송차로서,
소정의 방향을 따라 주행가능하게 설치된 본체부와,
상기 본체부에 대해 상하방향의 축 중심으로 회전가능하게 설치된 회전부와,
상기 회전부에 설치되어, 상기 피반송물을 얹어 놓는 동시에, 상기 피반송물을 출납하는 이재(移載)장치와,
상기 피반송물에 있어서의 상기 평판형상 부재의 수납상태를 광을 이용하여 검출하는 동시에, 그 광축방향이 상기 본체부의 주행방향을 따라서 그리고 상기 회전부와 함께 회전하지 않는 위치에 설치된 광학식 검출수단과,
상기 이재장치에 의해 상기 피반송물을 받아들이고, 상기 회전부를 회전시켜서 상기 피반송물을 회전시킨 후에, 상기 광학식 검출수단이 상기 피반송물에 있어서의 상기 평판형상 부재의 수납상태를 검출하도록 제어하는 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 반송차.
제 1항에 있어서,
상기 광학식 검출수단은, 상기 피반송물이 회전했을 때 해당 피반송물과 접촉하지 않는 위치에 고정하여 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 반송차.
제 1항에 있어서,
상기 평판형상 부재는, 상기 피반송물 내에 상하방향에 있어서 서로 대면하도록 수납되어 있으며,
상기 광학식 검출수단은, 상기 각 평판형상 부재의 수납 위치에 대응하는 부분에 복수 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 반송차.
제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 피반송물은,
상기 평판형상 부재를 출납하는 개구와,
상기 평판형상 부재를 지지하는 지지부재를 가지며,
상기 개구는, 상기 이재장치에 의해 받아들여졌을 때, 상기 광축방향으로 수평면에서 직교하는 방향을 향하고 있으며,
상기 지지부재는, 상기 개구를 통해 상기 평판형상 부재가 출납되는 방향을 따라 연장되는 막대형상 부재인 것을 특징으로 하는 반송차.