CN102874530B - 搬送车 - Google Patents

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Abstract

本发明提供能够高精度地检测被搬送物中收纳的平板状部件的收纳状态的搬送车。搬送车(1)具有：设置成可沿规定的方向行走的行走台车(3)；可绕上下方向的轴中心旋转地设置在行走台车(3)上的转台(9)；设置在转台(9)上，载置盒(W)并且移动盒(W)的移载装置(11)；利用检测光(L)检测盒(W)中的玻璃基板(G)的收纳状态，并且，其光轴方向沿行走台车(3)的行走方向且设置在不与转台(9)一起旋转的位置上的测量传感器(13)；以由移载装置(11)放入盒(W)、使转台(9)旋转并使盒(W)旋转了以后、测量传感器(13)检测盒(W)中的玻璃基板(G)的收纳状态的方式进行控制的控制器(15)。

Description

搬送车
技术领域
本发明涉及例如在净化间内搬送收纳了多张玻璃基板的盒等被搬送物的搬送车。
背景技术
作为以往的搬送车，例如专利文献1中所记载的搬送车为一般所知。专利文献1中所记载的搬送车具备：具有多个收纳了晶片的架子的缓冲盒，进行晶片的移载的移载装置，以及检测缓冲盒中的晶片的有无的传感器。
先行技术文件
专利文献
专利文献1：日本特开2003-237941号公报
例如在制造半导体或液晶面板的生产线上，盒由前工序搬送至后工序时，为了把握盒内平板状部件的张数，需要如上述那样检测盒内收纳的平板状部件的有无。如此，在这个方面，需要能够精度良好地检测盒内收纳的平板状部件的收纳状态。
发明内容
本发明正是为了解决上述课题而做出的，其目的在于提供能够精度良好地检测被搬送物内收纳的平板状部件的收纳状态的搬送车。
本发明的搬送车为一种搬送收纳有平板状部件的被搬送物的搬送车，其特征在于，具有：主体部，设置成可沿规定的方向行走；旋转部，可绕上下方向的轴中心旋转地设置在主体部上；移载装置，设置在旋转部上，载置被搬送物，并且取放被搬送物；光学式检测单元，利用光来检测被搬送物中的平板状部件的收纳状态，并且，其光轴方向沿主体部的行走方向且设置在不与旋转部一起旋转的位置上；以及控制部，以如下方式进行控制：由移载装置放入被搬送物，使旋转部旋转并使被搬送物旋转了以后，光学式检测单元检测被搬送物中的平板状部件的收纳状态。
在该搬送车中，在利用光学式检测单元检测被搬送物所收纳的平板状部件时，使旋转部旋转并且使被搬送物旋转。在收纳平板状部件的被搬送物中，设置了用于支撑平板状部件的支撑部件。该支撑部件在被搬送物被移载装置放入了时，在与光学式检测单元的检测光正交的方向上延伸，有与检测光发生干涉的可能。因此，通过使被搬送物旋转后再进行检测，就可以避免检测光与支撑部件发生干涉。从而可以精度良好地地检测被搬送物所收纳的平板状部件的收纳状态。
光学式检测单元可以设置成固定在被搬送物旋转了时与该被搬送物不抵接的位置。通过这种结构，因为在使被搬送物旋转时不需要使光学式检测单元移动，所以不需要用于该移动的机构，并且可以削减运转时间。因此既能够实现构造简单又能够迅速地检测平板状部件。
平板状部件在被搬送物内沿上下方向相面对地被收纳，光学式检测单元在与各平板状部件的收纳位置相对应的部位设置有多个。通过这种结构，可以同时检测多个平板状部件。另外检测各平板状部件时不需要使光学式检测单元上下移动，所以不需要用于该移动的机构，并且能够削减运转时间。因此既能够实现构造简单又能够迅速地检测平板状部件。
被搬送物具有供平板状部件出入的开口以及支撑平板状部件的支撑部件；在由移载装置进行放入时，开口朝向与光轴方向在水平面内正交的方向；支撑部件为沿着经由开口取放上述平板状部件的方向延伸的棒状部件。在这种构成的被搬送物中，在被移载装置载置时，支撑部件的延伸方向与光学式检测单元的光轴方向正交。因此，检测光可能会与支撑部件发生干涉，从而平板状部件的检测变得不稳定。因而，通过使旋转部旋转而使被搬送物旋转，能够避免检测光与支撑部件发生干涉。因此可以精度良好地检测被搬送物所收纳的平板状部件的收纳状态。
发明的效果
通过本发明可以精度良好地检测被搬送物内收纳的平板状部件的收纳状态。
附图说明
图1为一实施方式中的搬送车的立体图。
图2为从前面看图1所示的搬送车的图。
图3为表示测量传感器(mapping sensor)的图。
图4为表示控制器的框图。
图5为放入盒时盒与测量传感器的位置关系图。
图6为盒旋转后盒与测量传感器的位置关系图。
附图标记
1.搬送车，3.行走台车(主体部)，9.转台(旋转部)，11.移载装置，13.测量传感器(光学式检测单元)，15.控制器(控制部)，B1、B2.后支撑件(支撑部件)，G.玻璃基板(平板状部件)，L.光，W.盒(被搬送物)。
具体实施方式
以下，参照附图，对优选的实施方式进行详细说明。另外，对于附图的说明，对相同或相当要素附以相同的符号，以省略重复的说明。
图1为一实施方式的搬送车的立体图。图2为从前方看图1所示的搬送车的图。
图1及图2中的搬送车是一种在设置了多个架子(图中未表示)的净化间内移动，在各个架子上取放盒(被搬送物)W的装置。盒W内收纳有例如用于液晶面板或太阳能电池板的多个玻璃基板(平板状部件)G(参照图5)。
搬送车1构成为包含：在净化间内移动的行走台车(主体部)3，立设在该行走台车3上的2台支柱装置5a和5b，相对于支柱装置5a和5b可在上下方向上移动地设置的升降台7，设置在升降台7上的转台(旋转部)9，转台9上设置的移载装置11，检测盒W内的玻璃基板G有无的测量传感器(光学式检测单元)13。此外，搬送车1还具有控制该搬送车1运行的控制器(控制部)15(参照图4)。
行走台车3被设定成可沿规定的方向行走，行走台车3具有车轮3a，沿着净化间内铺设的轨道R做直线移动。车轮3a由未图示的电动机旋转驱动。通过该行走台车3，搬送车1在净化间内可移动地设置。
支柱装置5a和5b在行走台车3的行走方向上相对置地设置有一对。在支柱装置5a和5b上沿上下方向设置有导轨17。在该导轨17上，升降台7的两侧所设置的支撑框架19的导向装置(未图示)被设置成可滑动。升降台7通过未图示的升降驱动单元，沿导轨17在支柱装置5a，5b的上下方向上升降。
转台9绕上下方向轴中心可旋转地设置在行走台车3上。转台9设置在升降台7上，通过未图示的电动机旋转驱动。
移载装置11包括水平多关节臂(SCARA Arm)20和设置有该水平多关节臂20的滑动部21。水平多关节臂20包括基端侧臂20a、前端侧臂20b和移载臂20c。基端侧臂20a的基端侧旋转自由地设置在基台22上。基端侧臂20a与前端侧臂20b设置成相互旋转自由，基端侧臂20a与前端侧臂20b构成自由臂23。另外，前端侧臂20b与移载臂20c也设置成相互旋转自由。移载臂20c的上面构成载置盒W的载置面。水平多关节臂20，通过相对于基台22的中心线对称地同步旋转驱动基端侧臂20a，使移载臂20c在与行走台车3的行走方向正交的方向(盒W的取放方向)上直线移动。
滑动部21沿与行走台车3的行走方向正交的方向直线前进移动，使水平多关节臂20滑动。滑动部21被设置在转台9上。由此，移载装置11设置成可从图1所示的移载臂20c的前端的方向旋转至180度的相反方向。
图3表示的是测量传感器。如图3所示，测量传感器13设置在支柱装置5a，5b上。测量传感器13，例如是使用了红外线的光学式传感器，包括投光部13a和受光部13b。测量传感器13通过利用受光部13b接受投光部13a投射的光L，来检测玻璃基板G。
测量传感器13为了使受光部13b接受投光部13a投射的光，受光部13b与投光部13a相对置地分别设置在支柱装置5a、5b的下部。即，测量传感器13的光轴方向沿着行走台车3的行走方向。测量传感器13设置在盒W在载置于移载装置11的状态下旋转时不与盒W抵接的位置。换而言之，测量传感器13设置在，从移载装置11所载置的盒W的旋转中心(转台9的旋转中心)离开该旋转中心与盒W的角部之间的距离以上的位置。
测量传感器13的投光部13a和受光部13b隔着规定的间隔沿上下方向地配置，设有与盒W所收纳的玻璃基板G的张数对应的个数(本实施方式中为13个)。投光部13a的高度位置与受光部13b的高度位置在上下方向上错开规定的高度的量。具体来说，投光部13a配置在相对于受光部13b向下方(或向上方)玻璃基板G的收纳间距的量的位置。即，从投光部13a投射的光L相对于水平方向(玻璃基板G的面方向)倾斜。
通过这种结构，投光部13a投射的光倾斜着射入玻璃基板G，透射玻璃基板G而由受光部13b受光。在测量传感器13中，通过从投光部13a投光了时的光强度以及由受光部13b受光了时的光强度的变化，来检测玻璃基板G的有无。
测量传感器13根据控制器15输出的指示信号，进行玻璃基板G的检测。测量传感器13在将盒W放入搬送车1时、或者将盒W从搬送车1向移动目的地的架子移动时，对盒W所收纳的玻璃基板G的有无进行检测。测量传感器13将显示检测结果的检测信号(测量数据：mapping data)输出给控制器15。
图4为表示控制器的框图。如图4所示，控制器15与测量传感器13(投光部13a及受光部13b)相连接。控制器15由CPU[Central ProcessingUnit]、ROM[Read Only Memory]、RAM[Random AccessMemory]等构成，通过程序执行各种控制。
控制器15是进行搬送车1的动作所涉及的控制的装置，包括控制行走台车3、支柱装置5a、5b、升降台7、转台9以及移载装置11的动作。并且，控制器15控制测量传感器13中的玻璃基板G的检测定时。具体来说，控制器15如下地进行控制：通过移载装置11放入盒W，在转台9上旋转了以后，测量传感器13实施盒W所收纳的玻璃基板G的检测。换而言之，控制器15如下地进行控制：在旋转了盒W之后，测量传感器13实施盒W所收纳的玻璃基板G的检测。控制器15向测量传感器13输出指示玻璃基板G的检测的指示信号。
另外，控制器15在接到测量传感器13输出的检测信号后，以此检测信号为依据记录盒W内的玻璃基板G的张数。然后，控制器15判断向自动仓库入库时盒W内的玻璃基板G的张数和配置与出库时盒W内的玻璃基板G的张数和配置是否一致。控制器15在判定结果为入库时与出库时玻璃基板G的张数不一致的情况下，将表示该情况的错误信号输出到例如报知单元。之后，控制器15以将检测到了错误的盒W移载到移送目的地的规定的架子以外的架子上(例如，维修用站或原架子等)的方式控制行走台车3及移载装置11。
接下来，对搬送车1的动作进行说明。控制器15通过程序控制各个装置，使搬送车在净化间内对盒W进行移载和搬送。搬送车1通过移载装置11从架子上取出放入盒W时，使转台9旋转约90度。此时，升降台7位于上方的情况下，使升降台7下降到设有测量传感器13的支柱装置5a、5b的下部。然后，再利用测量传感器13检测盒W所收纳的玻璃基板G。检测到玻璃基板G后，搬送车1使转台9旋转约90度，将盒W的开口K朝向架子一侧。然后，搬送车1移动至移动目的地的规定的架子，通过移载装置11将盒W移动至架子上。
接下来，对用测量传感器13检测玻璃基板G的检出方法进行详细说明。图5是放入盒时盒与测量传感器的位置关系示图。图6是表示盒旋转了以后盒与测量传感器的位置关系的图。在各图中，(a)是从前面看盒W的图，(b)是从下方看(a)所示的盒W的图，(c)是侧面看(a)所示的盒W的图。
首先，对盒W进行说明。盒W为长方体形状，由框架F构成。在盒W的前方(图5中(b)的上侧)具有让玻璃基板G出入的开口K。在盒W的后方(图5中(b)的下侧)具有沿上下方向(高度方向)隔着鬼规定的间隔在宽度方向上设置有两根柱部件C1、C2。柱部件C1、C2还起到从开口K一侧装入的玻璃基板G的止动器(挡块)的功能。
另外，在柱部件C1、C2上安装有棒状的后支撑件(支撑部件)B1、B2。后支撑件B1、B2从盒W的后方向前方延伸，基端部固定在柱部件C1、C2上，并且前端部延伸到开口K一侧。并且，在盒W的宽度方向的两侧，在前后方向上隔开规定的间隔设置了多个(这里是4个)侧支撑件S。通过后支撑件B1、B2及侧支撑件S支撑玻璃基板G下部，在上下方向上相面对地收纳于盒W。
如图5所示，通过移载装置11放入到搬送车1的盒W的开口K朝向架子一侧。即，盒W的开口K朝向与行走台车3的行走方向正交的方向，后支撑件B1、B2也延伸设置在与行走方向正交的方向上。此时，测量传感器13的光轴方向与后支撑件B1、B2方向正交。因此，从测量传感器13的投光部13a投射的光L可能会与后支撑件B1、B2发生干涉。
这里，本实施方式中，通过移载装置11放入盒W后，使转台9旋转，使盒W旋转约90度。由此，如图6所示，测量传感器13的光轴方向与后支撑件B1、B2的延伸方向大致平行。因此，可以避免由测量传感器13的投光部13a投射的光L与后支撑件B1、B2发生干涉。测量传感器13在盒W从初始状态(放入到搬送车1的状态)旋转约90度后检测玻璃基板G的有无。
如上述说明的那样，本实施方式中，在支柱装置5a、5b上设置测量传感器13，通过测量传感器13进行玻璃基板G有无的检测。使用测量传感器13检测玻璃基板G是在通过移载装置11将盒W放入到搬送车1、使转台9旋转约90度后进行的。由此，放入时，在与测量传感器13的光轴方向正交的方向上延伸的盒W的后支撑件B1、B2变成与光轴方向大致平行。因此，可以避免盒W的后支撑件B1、B2与测量传感器13的光L发生干涉。结果，可以通过测量传感器13稳定地检测玻璃基板G，高精度地检测盒W所收纳的玻璃基板G的收纳状态。
在本实施方式中，测量传感器13安装在支柱装置5a、5b上。支柱装置5a、5b，将移载装置11夹在中间地设置，配置在移载装置11所载置的盒W旋转了时不与盒W抵接的位置上。即，测量传感器13设置在盒W旋转时不与盒W抵接的位置上。因此，由于使盒W旋转时不需要移动测量传感器13，因而，不需要用于该移动的机构，并且可以削减运转时间。所以既能够实现构造简单又能够迅速地检测玻璃基板G。
测量传感器13，与盒W所收纳的玻璃基板G的张数相对应地，在盒W的上下方向上设置了多个投光部13a及受光部13b。因此能够同时检测盒W所收纳的多个玻璃基板G。另外，比起只设置一个投光部13a及受光部13b的情况，由于不需要为了检测玻璃基板G而使测量传感器13沿上下方向移动，因此，不需要用于该移动的机构，并且可以削减运转时间。所以既能实现构造简单又能够迅速地检测玻璃基板G。
本发明不限于上述实施方式。例如，在上述实施方式中，测量传感器13虽然设置在搬送车1的支柱装置5a、5b上，但也可以将测量传感器13设置在升降台7上。
上述实施方式中，虽然例示了投射接受红外线的测量传感器13，但测量传感器13也可以是使用了激光的光学式传感器。
另外，在上述实施方式中，用测量传感器13检测玻璃基板G时，虽然使盒W旋转约90度，但盒W的旋转角度不是90度也可以。重要的是将盒W旋转至使盒W的后支撑件B1、B2不与从测量传感器13的投光部13a投射的光L发生干涉的角度即可。
另外，在上述实施方式中，作为被搬送物，虽然例示了具有后支撑件B1、B2的盒W，但通过钢丝支撑玻璃基板G的所谓钢丝盒(wire cassette)也可以。
以上，是对本发明的一实施方式进行了说明，但本发明并不限于上述的实施方式，在不脱离发明主旨的范围内可以有各种变化。特别是本说明书所记载的多个实施方式及变化例可以根据不同需求任意组合。

Claims (4)

1.一种搬送车，搬送收纳有平板状部件的被搬送物，其特征在于，具有：
主体部，设置成可沿规定的方向行走；
旋转部，可绕上下方向的轴中心旋转地设置在上述主体部上；
移载装置，设置在上述旋转部上，载置上述被搬送物，并且取放上述被搬送物；
光学式检测单元，利用光来检测上述被搬送物中的上述平板状部件的收纳状态，并且，其光轴方向沿上述主体部的行走方向且设置在不与上述旋转部一起旋转的位置上；以及
控制部，以如下方式进行控制：由上述移载装置放入上述被搬送物，使上述旋转部旋转并使上述被搬送物旋转了以后，上述光学式检测单元检测上述被搬送物中的上述平板状部件的收纳状态。
2.如权利要求1所述的搬送车，其特征在于，上述光学式检测单元设置成固定在上述被搬送物旋转了时与该被搬送物不抵接的位置。
3.如权利要求1所述的搬送车，其特征在于，
上述平板状部件在上述被搬送物内沿上下方向相面对地被收纳，
上述光学式检测单元在与各上述平板状部件的收纳位置相对应的部位设置有多个。
4.如权利要求1～3的任意一项所述的搬送车，其特征在于，
上述被搬送物具有供上述平板状部件出入的开口以及支撑上述平板状部件的支撑部件；
在由上述移载装置进行放入时，上述开口朝向与上述光轴方向在水平面内正交的方向；
上述支撑部件为沿着经由上述开口取放上述平板状部件的方向延伸的棒状部件。
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