KR101491925B1 - 주행장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판을 지지하기 위한 이송암을 주행방향으로 이동시키는 주행베이스가 주행방향으로 이동 가능하게 결합되는 주행기구, 상기 주행베이스가 상기 주행기구의 중간으로부터 일단을 향하는 제1방향으로 이동 가능한 주행거리를 제한하기 위해 상기 주행기구의 일단에 결합되는 제1제한기구, 상기 주행베이스가 상기 주행기구의 중간으로부터 타단을 향하는 제2방향으로 이동 가능한 주행거리를 제한하기 위해 상기 주행기구의 타단에 결합되는 제2제한기구, 및 상기 주행베이스가 상기 제1방향으로 이동 가능한 주행거리가 변경되도록 상기 제1제한기구를 상기 주행기구의 일단에 분리 가능하게 결합시키는 제1결합기구를 포함하는 주행장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치에 관한 것으로,
본 발명에 따르면, 공정환경에 대응되는 주행길이를 용이하게 구현할 수 있고, 이에 따라, 기판 이송장치 전체가 공정환경에 대응되도록 구현하는데 걸리는 시간을 단축시킬 수 있으며, 변경된 공정환경에 대응되는 주행길이로 용이하게 확장 내지 축소될 수 있으므로, 변경된 주행길이에 맞도록 새로이 제작할 필요가 없고, 이에 따라 전체적인 기판 이송작업 시간을 단축시킬 수 있다.

Description

주행장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치{Running Device and Apparatus for Transferring Substrate having the same}
본 발명은 기판을 이송하기 위한 기판 이송장치에 관한 것이다.
디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등(이하, '전자부품'이라 함)은 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조 공정은 상기 전자부품을 제조하기 위한 기판(Substrate)을 이용하여 이루어진다. 예컨대, 상기 제조 공정은 기판 상에 도전체, 반도체, 유전체 등의 박막을 증착하기 위한 증착공정, 증착된 박막을 소정 패턴으로 형성하기 위한 식각공정 등을 포함할 수 있다. 이러한 제조 공정들은 해당 공정을 수행하는 공정챔버에서 이루어진다. 기판 이송장치는 상기 공정챔버들 간에 기판을 이송하기 위한 것이다.
도1은 종래 기술에 따른 기판 이송장치의 개략적인 블록도이다.
도1을 참고하면, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(100)는 이송암(110), 승강부(120), 선회부(130) 및 주행부(140)를 포함한다.
상기 이송암(110)은 상기 기판을 이송한다. 상기 이송암(110)은 상기 승강부(120)에 결합된다.
상기 승강부(120)는 상기 이송암(110)을 승강시킨다. 이에 따라, 상기 승강부(120)는 상기 이송암(110)이 위치하는 높이를 변경시킬 수 있다.
상기 선회부(130)는 상기 승강부(120)를 회전시킨다. 이에 따라, 상기 선회부(130)는 상기 이송암(110)이 향하는 방향을 변경시킬 수 있다. 상기 선회부(130)는 상기 주행부(140)에 회전 가능하게 결합된다.
상기 주행부(140)는 상기 선회부(130)를 주행방향을 따라 이동시킨다. 이에 따라, 상기 주행부(140)는 상기 이송암(110)에 지지된 기판을 주행방향으로 이동시킬 수 있다. 상기 주행부(140)는 상기 선회부(130)를 지지하는 주행베이스(141), 및 상기 주행베이스(141)가 기판의 주행방향을 따라 이동하도록 안내하는 주행장치(142)을 포함한다.
여기서, 종래 기술에 따른 주행장치(142)는 일체형으로 제작된다. 그러나 상기 주행베이스(141)가 상기 주행방향을 따라 이동하는 주행길이는 기판의 종류, 공정챔버들의 개수, 공정챔버들의 배치 등과 같은 공정환경에 따라 달라진다. 따라서 종래 기술에 따른 주행장치(142)는 공정환경에 대응되는 주행길이를 구현하도록 제작되어야 하므로, 공정환경에 대응되는 기판 이송장치(100)를 구현하는데 걸리는 시간이 지연되는 문제가 있다. 또한, 이미 구현된 기판 이송장치(100)에 있어서 공정환경이 변경됨에 따라 주행길이가 변경되면, 종래 기술에 따른 주행장치(142)는 변경된 주행길이에 맞도록 새로이 제작되어야 한다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 주행장치(142)는 전체적인 기판 이송작업 시간을 지연시키는 문제가 있다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제를 해결하고자 안출된 것으로, 공정환경에 대응되는 주행길이를 용이하게 구현할 수 있는 주행장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명은 공정환경이 변경되면, 변경된 공정환경에 대응되는 주행길이로 용이하게 확장 내지 축소될 수 있는 주행장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치를 제공하기 위한 것이다.
상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 주행장치는 기판을 지지하기 위한 이송암을 주행방향으로 이동시키는 주행베이스가 주행방향으로 이동 가능하게 결합되는 주행기구, 상기 주행베이스가 상기 주행기구의 중간으로부터 일단을 향하는 제1방향으로 이동 가능한 주행거리를 제한하기 위해 상기 주행기구의 일단에 결합되는 제1제한기구, 상기 주행베이스가 상기 주행기구의 중간으로부터 타단을 향하는 제2방향으로 이동 가능한 주행거리를 제한하기 위해 상기 주행기구의 타단에 결합되는 제2제한기구, 및 상기 주행베이스가 상기 제1방향으로 이동 가능한 주행거리가 변경되도록 상기 제1제한기구를 상기 주행기구의 일단에 분리 가능하게 결합시키는 제1결합기구를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 주행장치에 있어서, 상기 제1결합기구는 상기 제1제한기구에 결합되기 위해 상기 주행기구에 형성되는 제1결합부재, 및 상기 제2방향으로 상기 제1결합부재로부터 돌출되게 형성되는 제1보강부재를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 주행장치에 있어서, 상기 제1보강부재는 상기 제2방향을 향할수록 크기가 감소되게 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 주행장치는 상기 주행베이스가 상기 제2방향으로 이동 가능한 주행거리가 변경되도록 상기 제2제한기구를 상기 주행기구의 타단에 분리 가능하게 결합시키는 제2결합기구를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 주행장치에 있어서, 상기 제2결합기구는 상기 제2제한기구에 결합되기 위해 상기 주행기구에 형성되는 제2결합부재, 및 상기 제1방향으로 상기 제2결합부재로부터 돌출되게 형성되는 제2보강부재를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 주행장치에 있어서, 상기 제2보강부재는 상기 제1방향을 향할수록 크기가 감소되게 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 주행장치에 있어서, 상기 주행기구는 상기 주행방향을 따라 서로 연결되는 N개(N은 1보다 큰 정수)의 주행프레임, 및 상기 주행거리가 변경되도록 상기 주행프레임들을 분리 가능하게 결합시키는 주행결합기구를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 주행장치에 있어서, 상기 주행프레임들은 상기 주행방향으로 서로 동일한 길이를 갖도록 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 주행장치에 있어서, 상기 주행프레임들 중에서 어느 하나의 주행프레임은 상기 주행방향으로 나머지 주행프레임들과 상이한 길이를 갖도록 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치는 기판을 이송하기 위한 이송암, 상기 이송암의 높이가 변경되도록 상기 이송암을 승강시키는 승강부, 상기 이송암이 향하는 방향이 변경되도록 상기 승강부를 회전시키는 선회부, 상기 선회부를 지지하는 주행베이스, 및 상기 주행베이스를 주행방향으로 이동시키기 위한 주행장치를 포함할 수 있다.
본 발명은 공정환경에 대응되는 주행길이를 용이하게 구현할 수 있으므로, 기판 이송장치 전체가 공정환경에 대응되도록 구현하는데 걸리는 시간을 단축시킬 수 있다.
또한, 본 발명은 변경된 공정환경에 대응되는 주행길이로 용이하게 확장 내지 축소될 수 있으므로, 변경된 주행길이에 맞도록 새로이 제작할 필요가 없고, 이에 따라 전체적인 기판 이송작업 시간을 단축시킬 수 있다.
도1은 종래 기술에 따른 기판 이송장치의 개략적인 블록도
도2는 본 발명에 따른 기판 이송장치용 주행장치의 개략적인 평면도
도3은 본 발명에 따른 기판 이송장치용 주행장치 중에서 제1결합기구를 설명하기 위한 개략적인 제1사시도
도4는 본 발명에 따른 기판 이송장치용 주행장치 중에서 제1결합기구를 설명하기 위한 개략적인 제2사시도
도5는 본 발명에 따른 기판 이송장치용 주행장치 중에서 제2결합기구를 설명하기 위한 개략적인 측면도
도6은 본 발명에 따른 기판 이송장치용 주행장치 중에서 주행프레임을 설명하기 위한 개략적인 평면도
도7은 본 발명에 따른 기판 이송장치의 개략적인 사시도
본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다.
한편, 본 명세서에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 정의하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다.
"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
"적어도 하나"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 적어도 하나"의 의미는 제1항목, 제2항목 또는 제3항목 각각 뿐만 아니라 제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다.
본 발명에 따른 기판 이송장치는 기판을 이송하기 위한 것이다. 상기 기판은 디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등의 전자부품을 제조하기 위한 것이다. 예컨대, 상기 기판은 상기 전자부품을 제조하기 위한 유리기판일 수 있다. 상기 기판은 금속(Metal) 기판, 폴리이미드(Polyimide) 기판, 플라스틱(Plastic) 기판 등일 수도 있다. 상기 전자부품이 디스플레이 장치인 경우, 상기 기판은 2매 이상의 기판이 서로 합착된 합착 기판일 수도 있다. 본 발명에 따른 기판 이송장치는 상기 기판에 대한 증착공정, 식각공정 등의 제조공정을 수행하는 공정챔버들 간에 상기 기판을 이송할 수 있다. 본 발명에 따른 기판 이송장치는 상기 공정챔버들 및 상기 기판이 저장되는 카세트 간에 상기 기판을 이송할 수도 있다.
이하에서는 본 발명에 따른 기판 이송장치용 안전장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도2는 본 발명에 따른 기판 이송장치용 주행장치의 개략적인 평면도이고, 도3은 본 발명에 따른 기판 이송장치용 주행장치 중에서 제1결합기구를 설명하기 위한 개략적인 제1사시도이고, 도4는 본 발명에 따른 기판 이송장치용 주행장치 중에서 제1결합기구를 설명하기 위한 개략적인 제2사시도이고, 도5는 본 발명에 따른 기판 이송장치용 주행장치 중에서 제2결합기구를 설명하기 위한 개략적인 측면도이고, 도6은 본 발명에 따른 기판 이송장치용 주행장치 중에서 주행프레임을 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도7은 본 발명에 따른 기판 이송장치의 개략적인 사시도이다.
도2를 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 주행장치(200)는 공정환경에 대응되는 주행길이를 용이하게 구현하고, 변경된 공정환경에 대응되는 주행길이로 용이하게 확장 내지 축소하기 위한 것이다. 이를 위해, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 주행장치(200)는 기판(350)을 지지하기 위한 이송암(310)을 주행방향으로 이동시키는 주행베이스(340)가 주행방향으로 이동 가능하게 결합되는 주행기구(210), 상기 주행기구(210)의 일단에 결합되는 제1제한기구(220), 상기 주행기구(210)의 타단에 결합되는 제2제한기구(230), 및 상기 제1제한기구(220)를 상기 주행기구(210)의 일단에 분리 가능하게 결합시키는 제1결합기구(240)를 포함한다.
상기 제1제한기구(220)는 상기 주행베이스(340)가 이동 가능한 주행거리를 제한한다. 상기 제1제한기구(220)는 상기 주행베이스(240)가 상기 주행기구(210)의 일단을 향하는 제1방향(A축 방향)으로 이동하는 것을 제한한다. 상기 제2제한기구(230)는 상기 주행베이스(340)가 이동 가능한 주행거리를 제한한다. 상기 제2제한기구(230)는 상기 주행베이스(340)가 상기 주행기구(210)의 타단을 향하는 제2방향(B축 방향)으로 이동하는 것을 제한한다. 상기 제1결합기구(240)는 상기 주행베이스(340)가 상기 제1방향(A축 방향)으로 이동 가능한 주행거리가 변경되도록 하기 위한 것이다.
상기 주행방향은 상기 기판(350)이 이송되는 방향일 수 있다. 상기 주행방향은 상기 주행베이스(340)가 이동하는 방향일 수 있다. 상기 주행방향은 상기 주행기구(210)가 상기 기판(350)이 제조되기 위한 공정챔버들 간에 설치되어 상기 주행베이스(340)를 이동하도록 하는 방향일 수 있다. 상기 주행방향은 상기 주행베이스(340)가 이동하도록 안내되는 방향일 수 있다.
이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 주행장치(200)는 다음과 같은 효과를 도모할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 주행장치(200)는 상기 제1결합기구(240)가 상기 제1제한기구(220)를 상기 주행기구(210)의 일단에 분리 가능하게 결합시킴으로써, 공정환경에 대응되도록 주행길이를 용이하게 변경시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 주행장치(200)는 기판 이송장치 전체가 공정환경에 대응되도록 구현하는데 걸리는 시간을 단축시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 주행장치(200)는 변경된 공정환경에 대응되는 주행길이로 용이하게 확장 내지 축소될 수 있으므로, 변경된 주행길이에 맞도록 새로이 제작할 필요가 없고, 이에 따라 전체적인 기판 이송작업 시간을 단축시킬 수 있다.
이하에서는, 상기 주행기구(210), 상기 제1제한기구(220), 상기 제2제한기구(230) 및 상기 제1결합기구(240)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도2를 참고하면, 상기 주행기구(210)에는 상기 주행베이스(340)가 주행방향으로 이동 가능하게 결합된다. 상기 주행기구(210)는 상기 주행베이스(340)를 주행방향을 따라 이동하도록 안내한다. 이에 따라, 상기 주행기구(210)는 상기 주행베이스(340)에 지지되는 기판(350)이 주행방향을 따라 이동하도록 안내할 수 있다.
상기 주행기구(210)는 상기 주행베이스(340)를 이동시키기 위한 이동부재(211)를 포함할 수 있다. 상기 이동부재(211)는 상기 주행베이스(340)가 이동하기 위한 동력을 제공할 수 있다. 예컨대, 상기 이동부재(211) 랙과 피니언기어(Rack and Pinion gear) 및 상기 피니언기어를 회전시키는 모터(Motor)를 포함할 수 있다. 상기 피니언기어는 상기 모터에 의해 회전함으로써, 상기 랙기어에 치합되어 이동할 수 있다. 또는, 상기 이동부재(211)는 볼스크류(Ball screw)와 볼캐치(Ball catch) 및 상기 볼스크류를 회전시키는 모터를 포함할 수 있다. 상기 볼스크류는 상기 모터에 의해 회전함으로써, 상기 볼캐치를 직선이동시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 주행기구(210)는 상기 주행베이스(340)를 이동시킬 수 있다.
상기 주행기구(210)는 상기 주행방향과 상이한 방향으로 결합되는 연결부재(212)를 포함할 수 있다. 상기 연결부재(212)는 상기 주행기구(210)의 강도를 보강할 수 있다. 상기 연결부재(212)는 상기 주행기구(210)에 복수 개로 결합될 수 있다.
상기 제1제한기구(220)는 상기 주행기구(210)의 일단에 결합된다. 상기 제1제한기구(220)는 상기 주행베이스(340)가 이동할 수 있는 주행거리를 제한하기 위한 것이다. 상기 제1제한기구(220)는 상기 주행베이스(340)가 상기 주행기구(210)에서 상기 주행방향을 따라 이동하는 과정에서, 상기 제1방향(A축 방향)으로 이동할 수 있는 주행거리를 제한하기 위한 것이다. 예컨대, 상기 주행베이스(340)가 상기 제1방향(A축 방향)으로 이동하는 과정에서 상기 주행기구(210)의 일단이 개방되면, 상기 주행베이스(340)는 상기 주행기구(210)로부터 이탈될 수 있다. 반면, 상기 주행기구(210)의 일단에 상기 제1제한기구(220)가 결합되면, 상기 주행베이스(340)는 상기 주행기구(210)로부터 이탈되지 않는다.
상기 제2제한기구(230)는 상기 주행기구(210)의 일단에 결합된다. 상기 제2제한기구(230)는 상기 주행베이스(340)가 이동할 수 있는 주행거리를 제한하기 위한 것이다. 상기 제2제한기구(230)는 상기 주행베이스(340)가 상기 주행기구(210)에서 상기 주행방향을 따라 이동하는 과정에서, 상기 제2방향(B축 방향)으로 이동할 수 있는 주행거리를 제한하기 위한 것이다. 예컨대, 상기 주행베이스(340)가 상기 제2방향(B축 방향)으로 이동하는 과정에서 상기 주행기구(210)의 일단이 개방되면, 상기 주행베이스(340)는 상기 주행기구(210)로부터 이탈될 수 있다. 반면, 상기 주행기구(210)의 일단에 상기 제2제한기구(230)가 결합되면, 상기 주행베이스(340)는 상기 주행기구(210)로부터 이탈되지 않는다.
상기 제1결합기구(240)는 상기 제1제한기구(220)를 상기 주행기구(210)의 일단에 분리 가능하게 결합시킨다. 상기 제1결합기구(240)는 상기 제1제한기구(220)를 상기 주행기구(210)에 결합시킴으로써, 상기 주행베이스(340)가 상기 주행기구(210)의 길이 이상 상기 제1방향(A축 방향)을 향해 이동하는 것을 제한할 수 있다. 상기 제1결합기구(240)는 상기 제1제한기구(220)를 상기 주행기구(210)로부터 분리시킴으로써, 상기 주행베이스(340)가 상기 주행기구(210)의 길이 이상 상기 제1방향(A축 방향)을 향해 이동할 수 있도록 한다. 상기 제1결합기구(240)는 상기 주행베이스(340)가 상기 제1방향(A축 방향)으로 이동 가능한 주행거리가 변경되도록 하기 위한 것이다. 상기 제1결합기구(240)는 상기 주행기구(210)에 결합될 수 있다.
도3을 참고하면, 상기 제1결합기구(240)는 제1결합부재(241) 및 제1보강부재(242)를 포함할 수 있다.
상기 제1결합부재(241)는 상기 주행기구(210)에 형성된다. 상기 제1결합부재(241)는 상기 주행기구(210)의 일단에 형성될 수 있다. 상기 제1결합부재(241)는 상기 제1제한기구(220)에 결합될 수 있다. 상기 제1결합부재(241)는 상기 주행기구(210)가 상기 제1제한기구(220)에 결합되기 위한 것이다.
상기 제1결합부재(241)는 상기 주행기구(210)로부터 상측 방향으로 돌출되게 형성될 수 있다. 상기 제1결합부재(241)는 상기 제1제한기구(220)에 볼트결합되기 위한 제1결합공(241')을 포함할 수 있다. 상기 제1결합공(241')은 상기 제1제한기구(220)를 관통한다. 상기 제1결합공(241')은 상기 제1방향(A축 방향)으로 상기 제1결합부재(241)를 관통할 수 있다.
상기 제1보강부재(242)는 상기 주행기구(210)에 대한 결합력을 강화하기 위한 것이다. 상기 제1보강부재(242)는 상기 제1결합부재(241)로부터 돌출되게 형성된다. 상기 제1보강부재(242)는 상기 주행기구(210)에 접하는 면적이 넓게 형성될 수 있다. 상기 제1보강부재(242)는 상기 제2방향(B축 방향)으로 상기 제1결합부재(241)로부터 돌출되게 형성될 수 있다.
이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 주행장치(200)는 상기 주행기구(210)가 상기 제1결합기구(240)를 통해 상기 제1제한기구(220)에 결합되는 과정에서, 상기 주행기구(210) 및 상기 제1결합기구(240) 간의 파손 등을 방지할 수 있고, 이는 상기 주행기구(210) 및 상기 제1제한기구(220) 간의 결합력을 강화시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 주행장치(200)는 상기 주행베이스(340)가 이동하는 과정에서 진동을 발생시키지 않도록 하여, 기판(350)을 안정적으로 이송할 수 있다.
도4를 참고하면, 상기 제1보강부재(242)는 상기 제2방향(B축 방향)을 향할수록 크기가 감소되게 형성될 수 있다. 상기 제1보강부재(242)는 상기 제1결합부재(241)로부터 상기 제2방향(B축 방향)을 향할수록, 상기 주행기구(210)로부터 돌출되는 거리가 감소되게 형성될 수 있다. 상기 제1보강부재(242)는 상기 제2방향(B축 방향)을 향할수록 상기 주행기구(210)로부터 돌출되는 거리가 감소되도록 계단형으로 형성될 수 있다. 상기 제1보강부재(242)는 상기 제1방향(A축 방향)을 향할수록 접선의 기울기가 증가하는 곡면으로 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1보강부재(242)는 상기 주행기구(210)에 접촉되는 면적 이외의 부분에 해당하는 재료량을 절감할 수 있다.
도5를 참고하면, 상기 제2결합기구(250)는 상기 제2제한기구(230)를 상기 주행기구(210)의 타단에 분리 가능하게 결합시킨다. 상기 제2결합기구(250)는 상기 제2제한기구(230)를 상기 주행기구(210)에 결합시킴으로써, 상기 주행베이스(340)가 상기 주행기구(210)의 길이 이상 상기 제2방향(B축 방향)을 향해 이동하는 것을 제한할 수 있다. 상기 제2결합기구(250)는 상기 제2제한기구(230)를 상기 주행기구(210)로부터 분리시킴으로써, 상기 주행베이스(340)가 상기 주행기구(210)의 길이 이상 상기 제2방향(B축 방향)을 향해 이동할 수 있도록 한다. 상기 제2결합기구(250)는 상기 주행베이스(340)가 상기 제2방향(B축 방향)으로 이동 가능한 주행거리가 변경되도록 하기 위한 것이다. 상기 제2결합기구(250)는 상기 주행기구(210)에 결합될 수 있다.
도5를 참고하면, 상기 제2결합기구(250)는 제2결합부재(251) 및 제2보강부재(252)를 포함할 수 있다.
상기 제2결합부재(251)는 상기 주행기구(210)에 형성된다. 상기 제2결합부재(251)는 상기 주행기구(210)의 타단에 형성될 수 있다. 상기 제2결합부재(251)는 상기 제2제한기구(230)에 결합될 수 있다. 상기 제2결합부재(251)는 상기 주행기구(210)가 상기 제2제한기구(230)에 결합되기 위한 것이다.
상기 제2결합부재(251)는 상기 주행기구(210)로부터 상측 방향으로 돌출되게 형성될 수 있다. 상기 제2결합부재(251)는 상기 제2제한기구(230)에 볼트결합되기 위한 제2결합공(241')을 포함할 수 있다. 상기 제2결합공(241')은 상기 제2제한기구(230)를 관통한다. 상기 제2결합공(241')은 상기 제1방향(A축 방향)으로 상기 제2결합부재(251)를 관통할 수 있다.
상기 제2보강부재(252)는 상기 주행기구(210)에 대한 결합력을 강화하기 위한 것이다. 상기 제2보강부재(252)는 상기 제2결합부재(251)로부터 돌출되게 형성된다. 상기 제2보강부재(252)는 상기 주행기구(210)에 접하는 면적이 넓게 형성될 수 있다. 상기 제2보강부재(252)는 상기 제1방향(A축 방향)으로 상기 제2결합부재(251)로부터 돌출되게 형성될 수 있다.
이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 주행장치(200)는 상기 주행기구(210)가 상기 제2결합기구(250)를 통해 상기 제2제한기구(230)에 결합되는 과정에서, 상기 주행기구(210) 및 상기 제2결합기구(250) 간의 파손 등을 방지할 수 있고, 이는 상기 주행기구(210) 및 상기 제2제한기구(230) 간의 결합력을 강화시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 주행장치(200)는 상기 주행베이스(340)가 이동하는 과정에서 진동을 발생시키지 않도록 하여, 기판(350)을 안정적으로 이송할 수 있다.
상기 제2보강부재(252)는 상기 제1방향(A축 방향)을 향할수록 크기가 감소되게 형성될 수 있다. 상기 제2보강부재(252)는 상기 제2결합부재(251)로부터 상기 제1방향(A축 방향)을 향할수록, 상기 주행기구(210)로부터 돌출되는 거리가 감소되게 형성될 수 있다. 상기 제2보강부재(252)는 상기 제1방향(A축 방향)을 향할수록 상기 주행기구(210)로부터 돌출되는 거리가 감소되도록 계단형으로 형성될 수 있다. 상기 제2보강부재(252)는 상기 제2방향(B축 방향)을 향할수록 접선의 기울기가 증가하는 곡면으로 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2보강부재(252)는 상기 주행기구(210)에 접촉되는 면적 이외의 부분에 해당하는 재료량을 절감할 수 있다.
도6을 참고하면, 상기 주행기구(210)는 상기 주행방향을 따라 서로 연결되는 N개(N은 1보다 큰 정수)의 주행프레임(213)을 포함할 수 있다.
상기 주행프레임(213)은 상기 주행기구(210)에서 상기 제1결합기구(240) 및 상기 제2결합기구(250) 사이에 위치된다. 상기 주행기구(210)는 N개의 주행프레임(213)이 상기 주행방향을 따라 연결되어 형성될 수 있다. N개의 주행프레임(213)이 연결되어 형성된 상기 주행기구(210)는 양단에 상기 제1제한기구(220) 및 상기 제2제한기구(230)가 각각 결합될 수 있다. 상기 제1제한기구(220) 및 상기 제2제한기구(230)는 상기 제1결합기구(240) 및 상기 제2결합기구(250) 각각에 의해 상기 주행기구(210)의 양단에 결합될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 주행장치(200)는 상기 주행방향을 따라 상기 주행베이스(340)가 이동 가능한 주행길이를 공정환경에 대응하여 용이하게 구현할 수 있고, 공정환경이 변경되더라도 상기 주행기구(210)의 주행길이를 용이하게 변경시킬 수 있다.
도6을 참고하면, 상기 주행프레임(213)들은 상기 주행방향으로 서로 동일한 길이를 갖도록 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 주행프레임(213)은 제조되는 과정에서 동일한 주형으로 주조될 수 있으므로, 제조가 용이한 효과가 있다.
도6을 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 주행장치(200)는 상기 주행프레임(213)들 중에서 어느 하나의 주행프레임(213)은 상기 주행방향으로 나머지 주행프레임(213)들과 상이한 길이를 갖도록 형성될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 주행장치(200)는 상기 주행베이스(340)가 이동 가능한 주행길이를 더욱 용이하게 구현할 수 있다. 예컨대, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 주행장치(200)는 제1길이(D₁)를 갖는 주행프레임(213)이 총 3개가 결합된다. 이 경우, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 주행장치(200)는 제2길이(D₂)를 갖는다. 이때, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 주행장치(200)는 변경된 공정환경에 대응하기 위해 제3길이(D₃)의 주행길이를 구현해야 한다. 이 경우, 상기 제1길이(D₁)를 갖는 주행프레임(213)을 연결하면, 제3길이(D₃)의 주행길이를 구현할 수 없다. 이를 위해, 상기 제1길이(D₁)와 상이한 제4길이(D₄)가 연결되면, 상기 제3길이(D₃)의 주행길이를 구현할 수 있다.
도3 내지 도7을 참고하면, 상기 주행기구(210)는 상기 주행거리가 변경되도록 상기 주행프레임(213)들을 분리 가능하게 결합시키는 주행결합기구(214)를 포함할 수 있다.
상기 주행결합기구(214)는 상기 주행프레임(213)들을 결합시킨다. 상기 주행결합기구(214)는 상기 주행프레임(213)들을 분리시킬 수 있다. 상기 주행결합기구(214)는 상기 주행베이스(340)가 상기 제1방향(A축 방향)으로 이동 가능한 주행거리가 변경되도록, 상기 주행프레임(213)들을 결합하여 연결하거나, 분리하여 해체하기 위한 것이다. 상기 주행결합기구(214)는 상기 주행프레임(213)의 일단에 결합되는 제1주행결합기구(215) 및 상기 주행프레임(213)의 타단에 결합되는 제2주행결합기구(216)를 포함할 수 있다. 상기 주행프레임(213)들이 결합되는 경우, 상기 제1주행결합기구(215) 및 상기 제2주행결합기구(216)는 각각 다른 주행프레임(213)에 속할 수 있고, 서로 결합될 수 있다.
도7을 참고하면, 상기 제1주행결합기구(215)는 상기 제1결합기구(240) 및 상기 제2결합기구(250)와 유사하게 형성될 수 있다. 상기 제1주행결합기구(215)는 제3결합부재(2151) 및 제3보강부재(2152)를 포함할 수 있다.
상기 제3결합부재(2151)는 상기 주행프레임(213)에 형성된다. 상기 제3결합부재(2151)는 상기 주행프레임(213)의 일단에 형성될 수 있다. 상기 제3결합부재(2151)는 다른 주행프레임(213)에 결합될 수 있다. 상기 제3결합부재(2151)는 상기 주행프레임(213)으로부터 상측 방향으로 돌출되게 형성될 수 있다. 상기 제3결합부재(2151)는 다른 주행프레임(213)에 볼트결합되기 위한 제3결합공을 포함할 수 있다.
상기 제3보강부재(2152)는 상기 주행프레임(213)에 대한 결합력을 강화하기 위한 것이다. 상기 제3보강부재(2152)는 상기 제3결합부재(2151)로부터 돌출되게 형성된다. 상기 제3보강부재(2152)는 상기 주행프레임(213)에 접하는 면적이 넓게 형성될 수 있다. 상기 제3보강부재(2152)는 상기 주행프레임(213)의 일단으로부터 상기 주행프레임(213)의 타단을 향하는 방향으로 상기 제3결합부재(2151)로부터 돌출되게 형성될 수 있다.
상기 제3보강부재(2152)는 상기 주행프레임(213)의 일단으로부터 상기 주행프레임(213)의 타단을 향하는 방향을 향할수록 크기가 감소되게 형성될 수 있다. 상기 제3보강부재(2152)는 상기 주행프레임(213)의 일단으로부터 상기 주행프레임(213)의 타단을 향하는 방향을 향할수록, 상기 주행프레임(213)으로부터 돌출되는 거리가 감소되게 형성될 수 있다.
상기 제2주행결합기구(216)는 상기 제1결합기구(240) 및 상기 제2결합기구(250)와 유사하게 형성될 수 있다. 상기 제2주행결합기구(216)는 제4결합부재(2161) 및 제4보강부재(2162)를 포함할 수 있다.
상기 제4결합부재(2161)는 상기 주행프레임(213)에 형성된다. 상기 제4결합부재(2161)는 상기 주행프레임(213)의 타단에 형성될 수 있다. 상기 제4결합부재(2161)는 다른 주행프레임(213)에 결합될 수 있다. 상기 제4결합부재(2161)는 상기 주행프레임(213)으로부터 상측 방향으로 돌출되게 형성될 수 있다. 상기 제4결합부재(2161)는 다른 주행프레임(213)에 볼트결합되기 위한 제4결합공을 포함할 수 있다.
상기 제4보강부재(2162)는 상기 주행프레임(213)에 대한 결합력을 강화하기 위한 것이다. 상기 제4보강부재(2162)는 상기 제4결합부재(2161)로부터 돌출되게 형성된다. 상기 제4보강부재(2162)는 상기 주행프레임(213)에 접하는 면적이 넓게 형성될 수 있다. 상기 제4보강부재(2162)는 상기 주행프레임(213)의 타단으로부터 상기 주행프레임(213)의 일단을 향하는 방향으로 상기 제4결합부재(2161)로부터 돌출되게 형성될 수 있다.
상기 제4보강부재(2162)는 상기 주행프레임(213)의 타단으로부터 상기 주행프레임(213)의 일단을 향하는 방향을 향할수록 크기가 감소되게 형성될 수 있다. 상기 제4보강부재(2162)는 상기 주행프레임(213)의 타단으로부터 상기 주행프레임(213)의 일단을 향하는 방향을 향할수록, 상기 주행프레임(213)으로부터 돌출되는 거리가 감소되게 형성될 수 있다.
상기 주행프레임(213)들이 결합되는 경우, 상기 제1주행결합기구(215) 및 상기 제2주행결합기구(216)는 각각 다른 주행프레임(213)에 속할 수 있고, 서로 결합될 수 있다. 예컨대, 상기 제1주행결합기구(215)의 상기 제3결합부재(2151) 및 상기 제2주행결합기구(216)의 상기 제4결합부재(2161)는 서로 결합될 수 있다. 즉, 상기 제1주행결합기구(215)의 상기 제3보강부재(2152) 및 상기 제2주행결합기구(216)의 상기 제4보강부재(2162)는 서로 반대되는 방향에 위치할 수 있다.
도8을 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치(300)는 기판(350)을 이송하기 위한 이송암(310), 상기 이송암(310)의 높이가 변경되도록 상기 이송암(310)을 승강시키는 승강부(320), 상기 이송암(310)이 향하는 방향이 변경되도록 상기 승강부(320)를 회전시키는 선회부(330), 상기 선회부(330)를 지지하는 주행베이스(340), 및 상기 주행베이스(340)를 주행방향으로 이동시키기 위한 주행장치를 포함할 수 있다. 상기 주행장치는 상술한 본 발명에 따른 기판 이송장치용 주행장치(200)와 대략 동일하므로 구체적인 설명은 생략한다.
이하에서는 상기 이송암(310), 상기 승강부(320), 상기 선회부(330) 및 상기 주행베이스(340)에 관해 상세히 설명한다.
상기 이송암(310)은 상기 기판(350)을 이송한다. 상기 이송암(310)은 상기 승강부(320)에 결합된다. 이에 따라, 상기 이송암(310)은 상기 승강부(320)가 상기 선회부(330)에 의해 회전됨에 따라 함께 회전될 수 있다. 상기 이송암(310)은 암베이스(311), 암바디(312), 암유닛(313) 및 지지핸드(316)를 포함할 수 있다.
상기 암베이스(311)는 상기 승강부(320)에 승강 가능하게 결합된다. 상기 암베이스(311)는 상기 승강부(320)에 의해 승강된다. 이에 따라, 상기 이송암(310)이 위치하는 높이가 변경될 수 있다.
상기 암바디(312)는 상기 암베이스(311)에 결합된다. 상기 암베이스(311)의 일측이 상기 승강부(320)에 결합되는 경우, 상기 암바디(312)는 상기 암베이스(311)의 타측에 결합될 수 있다.
상기 암유닛(313)은 상기 암바디(312)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 암유닛(313)이 이동함에 따라 상기 지지핸드(316)가 함께 이동할 수 있다. 상기 암유닛(313)는 상기 지지핸드(316)를 직선으로 이동시킬 수 있다. 이 경우, 상기 암유닛(313)는 직선으로 이동함으로써, 상기 지지핸드(316)를 직선으로 이동시킬 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 암유닛(313)은 회전 이동함으로써, 상기 지지핸드(316)를 직선으로 이동시킬 수 있다. 상기 암유닛(313)는 제1암기구(314) 및 제2암기구(315)를 포함할 수 있다.
상기 제1암기구(314)는 상기 암바디(312)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 제1암기구(314)는 모터와 볼스크류(Ball Screw) 등을 이용한 볼스크류 방식으로 이동할 수 있다. 상기 제1암기구(314)는 모터와 랙기어(Rack Gear)와 피니언기어(Pinion Gear) 등을 이용한 기어 방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트 방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터(Linear Motor) 방식으로 이동할 수도 있다. 상기 암유닛(313)이 직선으로 이동하도록 구현되는 경우, 상기 제1암기구(314)는 상기 암바디(312)에 직선으로 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 암유닛(313)이 회전 이동하도록 구현되는 경우, 상기 제1암기구(314)는 상기 암바디(312)에 회전 가능하게 결합될 수 있다.
상기 제2암기구(315)는 상기 제1암기구(314)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 제1암기구(314)는 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트 방식으로 이동할 수 있다. 상기 제1암기구(314)는 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류 방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어 방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 방식으로 이동할 수도 있다. 상기 암유닛(313)이 직선으로 이동하도록 구현되는 경우, 상기 제2암기구(315)는 상기 제1암기구(314)에 직선으로 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 암유닛(313)이 회전 이동하도록 구현되는 경우, 상기 제2암기구(315)는 상기 제1암기구(314)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제2암기구(315) 및 상기 제1암기구(314)는 서로 반대되는 방향으로 회전함으로써, 상기 지지핸드(316)를 직선으로 이동시킬 수 있다.
상기 지지핸드(316)는 상기 암유닛(313)에 결합된다. 상기 지지핸드(316)는 상기 암유닛(313)이 이동함에 따라 직선으로 이동함으로써, 기판(350)을 이송할 수 있다. 상기 지지핸드(316)는 상기 제2암기구(315)에 결합될 수 있다.
상기 이송암(310)는 복수개의 기판(350)을 이송할 수 있도록 구현될 수 있다. 이 경우, 상기 이송암(310)은 상기 제2암기구(315) 및 상기 지지핸드(316)를 각각 복수개 포함할 수 있다. 예컨대, 상기 이송암(310)이 2개의 기판(350)을 이송할 수 있도록 구현되는 경우, 상기 이송암(310)은 상기 제2암기구(315) 및 상기 지지핸드(316)를 각각 2개씩 포함할 수 있다. 상기 제2암기구(315)들은 각각 상기 제1암기구(314)를 기준으로 서로 반대편에 위치되게 상기 제1암기구(314)에 결합될 수 있다. 상기 지지핸드(316)들은 각각 상기 승강부(320)가 상기 이송암(310)을 승강시키는 방향을 기준으로 서로 다른 높이에 위치되게 상기 제2암기구(315)들에 결합될 수 있다.
상기 승강부(320)는 상기 이송암(310)을 승강시킨다. 이에 따라, 상기 승강부(320)는 상기 이송암(310)이 위치하는 높이를 변경시킬 수 있다. 상기 승강부(320)는 상기 선회부(330)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 승강부(320)는 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어 방식으로 상기 이송암(310)을 승강시킬 수 있다. 상기 승강부(320)는 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트 방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류 방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 방식으로 상기 이송암(310)을 승강시킬 수도 있다.
상기 선회부(330)는 상기 승강부(320)를 회전시킨다. 이에 따라, 상기 선회부(330)는 상기 이송암(310)이 향하는 방향을 변경시킬 수 있다. 상기 선회부(330)는 상기 주행부(340)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 선회부(330)는 상기 주행부(340)에 결합된 상태에서 회전축을 중심으로 회전함으로써, 상기 승강부(320)를 회전시킬 수 있다.
상기 주행베이스(340)는 상기 선회부(330)를 지지한다. 상기 주행베이스(340)는 상기 주행장치에 이동 가능하게 결합된다. 상기 주행베이스(340)는 상기 주행장치에서 주행방향을 따라 이동함으로써, 상기 선회부(330)를 이동시킨다. 이에 따라, 상기 주행베이스(340)는 상기 이송암(310)에 지지된 기판(350)을 주행방향으로 이동시킬 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
200 : 기판 이송장치용 주행장치
210 : 주행기구 211 : 이동부재 212 : 연결부재
213 : 주행프레임 214 : 주행결합기구 215 : 제1주행결합기구
216 : 제2주행결합기구 220 : 제1제한기구 230 : 제2제한기구
240 : 제1결합기구 241 : 제1결합부재 241' : 제1결합공
242 : 제1보강부재 250 : 제2결합기구 251 : 제2결합부재
251' : 제2결합공 252 : 제2보강부재 2151 : 제3결합부재
2152 : 제3보강부재 2161 : 제4결합부재 2162 : 제4보강부재
300 : 기판 이송장치 310 : 이송암 311 : 암베이스
312 : 암바디 313 : 암유닛 314 : 제1암기구
315 : 제2암기구 316 : 지지핸드

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  1. 삭제
  2. 기판을 지지하기 위한 이송암을 주행방향으로 이동시키는 주행베이스가 주행방향으로 이동 가능하게 결합되는 주행기구;
    상기 주행베이스가 상기 주행기구의 중간으로부터 일단을 향하는 제1방향으로 이동 가능한 주행거리를 제한하기 위해 상기 주행기구의 일단에 결합되는 제1제한기구;
    상기 주행베이스가 상기 주행기구의 중간으로부터 타단을 향하는 제2방향으로 이동 가능한 주행거리를 제한하기 위해 상기 주행기구의 타단에 결합되는 제2제한기구; 및
    상기 주행베이스가 상기 제1방향으로 이동 가능한 주행거리가 변경되도록 상기 제1제한기구를 상기 주행기구의 일단에 분리 가능하게 결합시키는 제1결합기구를 포함하고,
    상기 제1결합기구는 상기 제1제한기구에 결합되기 위해 상기 주행기구에 형성되는 제1결합부재, 및 상기 제2방향으로 상기 제1결합부재로부터 돌출되게 형성되는 제1보강부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 주행장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1보강부재는 상기 제2방향을 향할수록 크기가 감소되게 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 주행장치.
  4. 삭제
  5. 기판을 지지하기 위한 이송암을 주행방향으로 이동시키는 주행베이스가 주행방향으로 이동 가능하게 결합되는 주행기구;
    상기 주행베이스가 상기 주행기구의 중간으로부터 일단을 향하는 제1방향으로 이동 가능한 주행거리를 제한하기 위해 상기 주행기구의 일단에 결합되는 제1제한기구;
    상기 주행베이스가 상기 주행기구의 중간으로부터 타단을 향하는 제2방향으로 이동 가능한 주행거리를 제한하기 위해 상기 주행기구의 타단에 결합되는 제2제한기구;
    상기 주행베이스가 상기 제1방향으로 이동 가능한 주행거리가 변경되도록 상기 제1제한기구를 상기 주행기구의 일단에 분리 가능하게 결합시키는 제1결합기구; 및
    상기 주행베이스가 상기 제2방향으로 이동 가능한 주행거리가 변경되도록 상기 제2제한기구를 상기 주행기구의 타단에 분리 가능하게 결합시키는 제2결합기구를 포함하고,
    상기 제2결합기구는 상기 제2제한기구에 결합되기 위해 상기 주행기구에 형성되는 제2결합부재, 및 상기 제1방향으로 상기 제2결합부재로부터 돌출되게 형성되는 제2보강부재를 포함하고;
    상기 제2보강부재는 상기 제1방향을 향할수록 크기가 감소되게 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 주행장치.
  6. 기판을 지지하기 위한 이송암을 주행방향으로 이동시키는 주행베이스가 주행방향으로 이동 가능하게 결합되는 주행기구;
    상기 주행베이스가 상기 주행기구의 중간으로부터 일단을 향하는 제1방향으로 이동 가능한 주행거리를 제한하기 위해 상기 주행기구의 일단에 결합되는 제1제한기구;
    상기 주행베이스가 상기 주행기구의 중간으로부터 타단을 향하는 제2방향으로 이동 가능한 주행거리를 제한하기 위해 상기 주행기구의 타단에 결합되는 제2제한기구; 및
    상기 주행베이스가 상기 제1방향으로 이동 가능한 주행거리가 변경되도록 상기 제1제한기구를 상기 주행기구의 일단에 분리 가능하게 결합시키는 제1결합기구를 포함하고,
    상기 주행기구는 상기 주행방향을 따라 서로 연결되는 N개(N은 1보다 큰 정수)의 주행프레임, 및 상기 주행거리가 변경되도록 상기 주행프레임들을 분리 가능하게 결합시키는 주행결합기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 주행장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 주행프레임들은 상기 주행방향으로 서로 동일한 길이를 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 주행장치.
  8. 제6항에 있어서, 상기 주행프레임들 중에서 어느 하나의 주행프레임은 상기 주행방향으로 나머지 주행프레임들과 상이한 길이를 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 주행장치.
  9. 기판을 이송하기 위한 이송암;
    상기 이송암의 높이가 변경되도록 상기 이송암을 승강시키는 승강부;
    상기 이송암이 향하는 방향이 변경되도록 상기 승강부를 회전시키는 선회부;
    상기 선회부를 지지하는 주행베이스; 및
    상기 주행베이스를 주행방향으로 이동시키기 위한 제2항, 제3항, 제5항, 제6항, 제7항, 제8항 중 어느 하나의 주행장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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