KR20150008302A - 커버결합장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치 - Google Patents

커버결합장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20150008302A
KR20150008302A KR1020130082293A KR20130082293A KR20150008302A KR 20150008302 A KR20150008302 A KR 20150008302A KR 1020130082293 A KR1020130082293 A KR 1020130082293A KR 20130082293 A KR20130082293 A KR 20130082293A KR 20150008302 A KR20150008302 A KR 20150008302A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
arm
coupling
arm mechanism
substrate
cover
Prior art date
Application number
KR1020130082293A
Other languages
English (en)
Inventor
윤대규
김태현
김동혁
김상현
Original Assignee
현대중공업 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 현대중공업 주식회사 filed Critical 현대중공업 주식회사
Priority to KR1020130082293A priority Critical patent/KR20150008302A/ko
Publication of KR20150008302A publication Critical patent/KR20150008302A/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J11/00—Manipulators not otherwise provided for
    • B25J11/0095—Manipulators transporting wafers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/0058—Means for cleaning manipulators, e.g. dust removing means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/007—Means or methods for designing or fabricating manipulators
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
    • H01L21/68742—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by a lifting arrangement, e.g. lift pins

Abstract

본 발명은 제1암기구에 기판이 이송되는 이송방향으로 제2암기구를 이동시키기 위한 구동장치로부터 발생하는 이물질을 차단하는 커버장치가 결합되기 위해, 상기 제1암기구에 결합되는 결합본체, 상기 결합본체에 형성되고, 상기 커버장치를 결합시키기 위한 결합부재가 체결되는 체결공, 및 상기 체결공에 연결되게 상기 결합본체를 관통하여 형성되는 관통홀을 포함하는 기판 이송장치용 커버결합장치에 관한 것으로,
본 발명에 따르면, 본 발명은 제1암기구와 별도로 제작됨으로써 제작이 용이하다. 또한, 본 발명은 커버장치가 제1암기구에 용이하게 체결되도록 하고, 결합력을 강화시킬 수 있다.

Description

커버결합장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치{Cover Fastening Apparatus and Transferring Apparatus having the same for Substrate}
본 발명은 기판을 이송하기 위한 기판 이송장치에 관한 것이다.
디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등(이하, '전자부품'이라 함)은 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조 공정은 상기 전자부품을 제조하기 위한 기판(Substrate)을 이용하여 이루어진다. 예컨대, 상기 제조 공정은 기판 상에 도전체, 반도체, 유전체 등의 박막을 증착하기 위한 증착공정, 증착된 박막을 소정 패턴으로 형성하기 위한 식각공정 등을 포함할 수 있다. 기판이 이물질에 오염되는 것을 방지하기 위해, 상기 제조 공정들은 해당 공정을 수행하는 공정챔버에서 이루어진다. 기판 이송장치는 상기 공정챔버들 간에 기판을 이송하기 위한 것이다.
도1은 종래 기술에 따른 기판 이송장치의 개략적인 블록도이고, 도2는 제1암기구와 커버장치가 결합되는 종래의 방식을 설명하기 위한 개략적인 사시도이다.
도1을 참고하면, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(100)는 이송암(110), 승강부(120), 선회부(130) 및 주행부(140)를 포함한다.
상기 이송암(110)은 상기 기판을 이송한다. 상기 이송암(110)은 상기 승강부(120)에 결합된다. 이에 따라, 상기 이송암(110)은 상기 승강부(120)가 상기 선회부(130)에 의해 회전됨에 따라 함께 회전될 수 있다.
상기 이송암(110)은 상기 승강부(120)에 승강 가능하게 결합되는 암베이스(111), 상기 암베이스(111)에 결합되는 암바디(112), 상기 암바디(112)에 이동 가능하게 결합되는 암유닛(113), 및 상기 암유닛(113)에 결합되어 기판을 지지하는 지지핸드(114)를 포함할 수 있다. 상기 암유닛(113)은 상기 암베이스(111)에 이동 가능하게 결합되는 제1암기구(115), 및 상기 제1암기구(115)에 이동 가능하게 결합되는 제2암기구(116)를 포함할 수 있다. 상기 제1암기구(115) 및 상기 제2암기구(116)에는 각각 별개의 상기 지지핸드(114)가 결합된다.
상기 승강부(120)는 상기 이송암(110)을 승강시킨다. 이에 따라, 상기 승강부(120)는 상기 이송암(110)이 위치하는 높이를 변경시킬 수 있다.
상기 선회부(130)는 상기 승강부(120)를 회전시킨다. 이에 따라, 상기 선회부(130)는 상기 이송암(110)이 향하는 방향을 변경시킬 수 있다.
상기 주행부(140)는 상기 선회부(130)를 주행방향을 따라 이동시킨다. 이에 따라, 상기 주행부(140)는 상기 이송암(110)에 지지된 기판을 주행방향으로 이동시킬 수 있다.
여기서, 상기 제1암기구(115)에는 상기 제2암기구(116)를 이동시키기 위한 모터와 구동벨트 등의 구동장치가 결합된다. 상기 구동장치는 상기 제2암기구(116)를 이동시키는 과정에서 마찰 등으로 인한 이물질을 발생시킨다. 이에 따라, 도2를 참고하면, 종래 기술에 따른 이송암(110)에는 상기 구동장치로부터 발생한 이물질이 기판에 부착되는 것을 방지하기 위한 커버장치(117)가 결합되고, 상기 커버장치(117)가 결합되기 위한 결합공(118)이 복수 개로 형성된다.
그러나, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(100)는 크기가 상당히 큰 상기 제1암기구(115)의 외피를 제작하는 과정에서 상기 결합공(118)을 동시에 형성시켜야 하므로 제작하기 어려운 문제가 있다. 또한, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 제1암기구(115)의 상기 결합공(118)이 형성된 위치에 상기 커버장치(117)를 맞추고, 볼트 등의 결합부재를 상기 결합공(118)에 정확하게 중첩시켜야 함으로써 체결이 어려운 문제가 있다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제를 해결하고자 안출된 것으로, 제1암기구와 별도로 제작되도록 하기 위한 커버결합장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명은 커버장치를 용이하게 체결하기 위한 커버결합장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치를 제공하기 위한 것이다.
상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 커버결합장치는 제1암기구에 기판이 이송되는 이송방향으로 제2암기구를 이동시키기 위한 구동장치로부터 발생하는 이물질을 차단하는 커버장치가 결합되기 위해, 상기 제1암기구에 결합되는 결합본체, 상기 결합본체에 형성되고, 상기 커버장치를 결합시키기 위한 결합부재가 체결되는 체결공, 및 상기 체결공에 연결되게 상기 결합본체를 관통하여 형성되는 관통홀을 포함하고, 상기 관통홀은 상기 커버장치가 체결되는 방향에 대해 수직한 방향으로 연장되게 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 커버결합장치는 상기 커버장치를 체결하기 위한 체결용 너트가 삽입되는 삽입공을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 커버결합장치에 있어서, 상기 결합본체는 상기 제1암기구로부터 상기 이송방향으로 돌출되는 위치에 결합될 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 커버결합장치에 있어서, 상기 결합본체는 상기 제1암기구가 상기 이송방향으로 연장된 길이에 비해 짧은 길이로 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치는 기판을 이송하기 위한 이송암, 상기 이송암의 높이가 변경되도록 상기 이송암을 승강시키는 승강부, 상기 이송암이 향하는 방향이 변경되도록 상기 승강부를 회전시키는 선회부, 상기 선회부를 주행방향을 따라 이동시키기 위한 주행부, 및 상기 커버장치를 결합시키기 위한 커버결합장치를 포함할 수 있다.
본 발명은 제1암기구와 별도로 제작됨으로써 제작이 용이하다. 또한, 본 발명은 커버장치가 제1암기구에 용이하게 체결되도록 하고, 결합력을 강화시킬 수 있다.
도1은 종래 기술에 따른 기판 이송장치의 개략적인 블록도
도2는 제1암기구와 커버장치가 결합되는 종래의 방식을 설명하기 위한 개략적인 사시도
도3은 본 발명에 따른 기판 이송장치의 이송암을 설명하기 위한 개략적인 사시도
도4는 본 발명에 따른 기판 이송장치용 커버결합장치를 설명하기 위한 개략적인 사시도
도5는 본 발명에 따른 기판 이송장치용 커버결합장치의 제1암기구에 결합된 제1위치를 설명하기 위한 개략적인 측면도
도6은 본 발명에 따른 기판 이송장치용 커버결합장치의 제1암기구에 결합된 제2위치를 설명하기 위한 개략적인 측면도
도7은 본 발명에 따른 기판 이송장치를 설명하기 위한 개략적인 사시도
본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다.
한편, 본 명세서에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 정의하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다.
"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
"적어도 하나"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 적어도 하나"의 의미는 제1항목, 제2항목 또는 제3항목 각각 뿐만 아니라 제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다.
본 발명에 따른 기판 이송장치(300)는 기판(350)을 이송하기 위한 것이다. 상기 기판(350)은 디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등의 전자부품을 제조하기 위한 것이다. 예컨대, 상기 기판(350)은 상기 전자부품을 제조하기 위한 유리기판일 수 있다. 상기 기판(350)은 금속(Metal) 기판, 폴리이미드(Polyimide) 기판, 플라스틱(Plastic) 기판 등일 수도 있다. 상기 전자부품이 디스플레이 장치인 경우, 상기 기판(350)은 2매 이상의 기판이 서로 합착된 합착 기판일 수도 있다. 본 발명에 따른 기판 이송장치(300)는 상기 기판(350)에 대한 증착공정, 식각공정 등의 제조공정을 수행하는 공정챔버들 간에 상기 기판(350)을 이송할 수 있다. 본 발명에 따른 기판 이송장치(300)는 상기 공정챔버들 및 상기 기판(350)이 저장되는 카세트 간에 상기 기판(350)을 이송할 수도 있다.
다음은 도면에 관한 설명이다. 도3은 본 발명에 따른 기판 이송장치의 이송암을 설명하기 위한 개략적인 사시도이고, 도4는 본 발명에 따른 기판 이송장치용 커버결합장치를 설명하기 위한 개략적인 사시도이고, 도5는 본 발명에 따른 기판 이송장치용 커버결합장치의 제1암기구에 결합된 제1위치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이고, 도6은 본 발명에 따른 기판 이송장치용 커버결합장치의 제1암기구에 결합된 제2위치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이고, 도7은 본 발명에 따른 기판 이송장치를 설명하기 위한 개략적인 사시도이다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 커버결합장치(200)를 설명하기 이전에 제1암기구(314), 제2암기구(315) 및 커버장치(202)에 관해 설명한다.
도3 및 도7을 참고하면, 상기 제1암기구(314)는 기판(350)을 이송하기 위한 것이다. 상기 제1암기구(314)는 암바디(312)에 기판(350)이 이송되는 이송방향으로 이동 가능하게 결합된다. 상기 제1암기구(314)에는 상기 제2암기구(315)를 이동시키기 위한 구동장치(201)가 설치될 수 있다. 상기 구동장치(201)는 구동력을 발생시키는 구동모터, 및 상기 구동모터에서 발생된 구동력으로 인해 이동하는 구동벨트를 포함할 수 있다. 상기 구동장치(201)는 상기 구동모터에 이격되게 설치되는 풀리를 포함할 수도 있다. 상기 구동벨트는 상기 구동장치(201)와 상기 풀리가 서로 연결되도록 설치될 수 있다. 상기 풀리는 상기 구동모터로부터 이격됨으로써 상기 구동벨트를 인장할 수 있다. 상기 구동벨트는 상기 풀리에 의해 인장됨으로써 느슨하게 쳐지는 것을 방지할 수 있다.
상기 제2암기구(315)는 기판(350)을 이송하기 위한 것이다. 상기 제2암기구(315)는 상기 제1암기구(314)에 상기 이송방향으로 이동 가능하게 결합된다. 더욱 상세하게 설명하면, 상기 제2암기구(315)는 상기 구동벨트에 결합될 수 있다. 상기 제2암기구(315)는 상기 구동벨트가 상기 구동모터로부터 발생되는 구동력에 의해 이동함에 따라 이동할 수 있다.
상기 커버장치(202)는 상기 구동장치(201)로부터 발생하는 이물질이 외부로 이동하는 것을 차단하기 위한 것이다. 상기 커버장치(202)는 상기 제1암기구(314)에 결합된다. 이에 따라, 상기 제1암기구(314) 및 상기 커버장치(202) 사이에는 상기 구동장치(201)가 위치된다. 상기 커버장치(202)는 상기 제1암기구(314)로부터 분리 가능하게 결합될 수 있다. 상기 커버장치(202)는 볼트 등의 결합부재가 삽입되도록 관통되게 형성될 수 있다.
도3을 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 커버결합장치(200)는 기판(350)을 이송하는 과정에서 발생되는 이물질을 차단하기 위한 커버장치(202)를 용이하게 체결하도록 하기 위한 것이다. 이를 위해, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 커버결합장치(200)는 결합본체(210), 체결공(220) 및 관통홀(230)을 포함한다.
상기 결합본체(210)는 제1암기구(314)에 결합된다. 상기 결합본체(210)에는 커버장치(202)가 결합된다. 상기 커버장치(202)는 상기 제1암기구(314)에 기판(350)이 이송되는 이송방향으로 제2암기구(315)를 이동시키기 위한 구동장치(201)로부터 발생하는 이물질을 차단하기 위한 것이다. 상기 체결공(220)은 상기 결합본체(210)에 형성된다. 상기 체결공(220)에는 상기 커버장치(202)를 결합시키기 위한 결합부재가 체결된다. 상기 관통홀(230)은 상기 결합본체(210)를 관통하여 형성된다. 상기 관통홀(230)은 상기 체결공(220)에 연결되게 형성된다. 상기 관통홀(230)은 상기 커버장치(202)가 체결되는 방향에 대해 수직한 방향으로 연장되게 형성된다.
이에 따라 본 발명에 따른 기판 이송장치용 커버결합장치(200)는 다음과 같은 효과를 도모한다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 커버결합장치(200)는 상기 제1암기구(314)와 별도로 제작됨으로써, 제작이 용이한 효과가 있다. 또한, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 커버결합장치(200)는 상기 관통홀(230)에 상기 커버장치(202)를 체결하기 위한 체결용 너트를 이동 가능하게 수용할 수 있으므로, 상기 커버장치(202)가 상기 제1암기구(314)에 용이하게 체결되도록 할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 커버결합장치(200)는 상기 커버장치(202)가 볼트 등의 결합부재와 상기 관통홀(230)에 수용되는 상기 체결용 너트 사이에서 조여짐으로써, 상기 커버장치(202) 및 상기 제1암기구(314)의 결합력을 강화시킬 수 있다.
이하에서는, 상기 결합본체(210), 상기 체결공(220) 및 상기 관통홀(230)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도3을 참고하면, 상기 결합본체(210)는 제1암기구(314)에 결합된다. 상기 결합본체(210)에는 커버장치(202)가 결합된다. 상기 커버장치(202)는 상기 제1암기구(314)에 상기 이송방향으로 제2암기구(315)를 이동시키기 위한 구동장치(201)로부터 발생하는 이물질을 차단하기 위한 것이다. 상기 결합본체(210)는 상기 구동벨트가 상기 제1암기구(314)에 설치되는 방향을 따라 상기 제1암기구(314)에 결합될 수 있다. 상기 결합본체(210)는 상기 이송방향을 따라 결합될 수도 있다.
도4를 참고하면, 상기 체결공(220)은 상기 결합본체(210)에 형성된다. 상기 체결공(220)에는 상기 커버장치(202)를 결합시키기 위한 결합부재가 체결된다. 상기 체결공(220)은 상기 커버장치(202)가 상기 제1암기구(314)에 결합되는 면을 따라 형성될 수 있다. 상기 체결공(220)는 상기 구동벨트가 상기 제1암기구(314)에 설치되는 방향을 따라 상기 결합본체(210)에 형성될 수 있다. 상기 체결공(220)는 상기 이송방향을 따라 상기 결합본체(210)에 형성될 수도 있다. 상기 체결공(220)은 상기 이송방향을 따라 연장되게 형성될 수 있다. 상기 체결공(220)은 원통형으로 형성될 수도 있다. 상기 체결공(220)은 원통형으로 형성되어 상기 이송방향을 따라 복수 개로 형성될 수도 있다.
도4를 참고하면, 상기 관통홀(230)은 상기 결합본체(210)를 관통하여 형성된다. 상기 관통홀(230)은 상기 체결공(220)에 연결되게 형성된다. 상기 관통홀(230)은 상기 구동벨트가 상기 제1암기구(314)에 설치되는 방향을 따라 연장되게 형성될 수 있다. 상기 관통홀(230)은 상기 이송방향으로 연장되게 형성될 수 있다. 상기 관통홀(230)은 상기 커버장치(202)가 체결되는 방향에 대해 수직한 방향으로 연장되게 형성된다. 예컨대, 상기 커버장치(202)가 볼트로 체결되면, 상기 볼트는 상기 결합본체(210)와 상기 커버장치(202)가 중첩된 위치의 상측으로부터 하측을 향하는 방향으로 체결될 수 있다. 이 경우, 상기 관통홀(230)은 상기 결합본체(210)의 좌측으로부터 우측을 향하는 방향으로 연장되게 형성될 수 있다. 또는 상기 관통홀(230)은 상기 결합본체(210)의 우측으로부터 좌측을 향하는 방향으로 연장되게 형성될 수도 있다. 또는 상기 관통홀(230)은 상기 결합본체(210)의 정면측으로부터 배면측을 향하는 방향으로 연장되게 형성될 수도 있다. 또는 상기 관통홀(230)은 상기 결합본체(210)의 배면측으로부터 정면측을 향하는 방향으로 연장되게 형성될 수도 있다.
도4를 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 커버결합장치(200)는 삽입공(240)을 포함할 수 있다. 상기 삽입공(240)은 상기 커버장치(202)를 체결하기 위한 체결용 너트가 삽입될 수 있다. 상기 삽입공(240)은 상기 체결용 너트가 출입하는 공간을 의미할 수 있다. 이 경우, 상기 결합본체(210)는 일부분이 절단되게 형성될 수 있다. 예컨대, 상기 결합본체(210)의 단(端)부가 절단될 수 있다. 이에 따라, 상기 삽입공(240)은 상기 결합본체(210)에서 상기 관통홀(230)이 형성된 면과 상이한 면이 내부와 내부가 연결되도록 관통될 수 있다. 더욱 구체적으로, 상기 삽입공(240)은 상기 결합본체(210)에서 상기 관통홀(230)이 연장되는 방향에 수직인 면에 형성될 수 있다.
상기 삽입공(240)은 상기 결합본체(210)의 중간 부분이 절단되게 형성될 수 있다. 상기 삽입공(240)은 상기 결합본체(210)의 절단된 부분이 서로 이격되게 형성될 수도 있다.
이에 따라, 상기 체결용 너트는 상기 삽입공(240)을 통해 상기 관통홀(230)에 수용될 수 있다. 상기 체결용 너트는 상기 관통홀(230)에 수용되면, 상기 관통홀(230)이 연장 형성된 공간을 따라 이동할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 커버결합장치(200)는 상기 커버장치(202)가 결합되는 과정에서 상기 체결용 너트를 상기 커버장치(202)의 체결 위치에 대응되도록 용이하게 이동시킬 수 있다.
도5를 참고하면, 상기 결합본체(210)는 상기 제1암기구(314)로부터 상기 이송방향으로 돌출되는 위치에 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 삽입공(240)은 상기 커버장치(202)의 외부에 위치될 수 있다. 따라서 본 발명에 따른 기판 이송장치용 커버결합장치(200)는 상기 제1암기구(314)에 상기 커버장치(202)가 결합된 후에도 상기 삽입공(240)으로 상기 체결용 너트를 출입시킬 수 있으므로, 상기 제1암기구(314)와 상기 커버장치(202)의 체결 상태를 수정할 수 있다.
도6을 참고하면, 상기 결합본체(210)는 상기 제1암기구(314)가 상기 이송방향으로 연장된 길이에 비해 짧은 길이로 형성될 수 있다. 상기 결합본체(210)는 일부가 절단됨으로써 상기 제1암기구(314)에 비해 짧은 길이로 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 삽입공(240)은 상기 커버장치(202)의 내부에 위치될 수 있다. 따라서 본 발명에 따른 기판 이송장치용 커버결합장치(200)는 전체적으로 크기가 감소될 수 있다. 또한, 본 발명에 다른 기판 이송장치용 커버결합장치(200)는 상기 삽입공(240)이 상기 커버장치(202)에 의해 폐쇄되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 다른 기판 이송장치용 커버결합장치(200)는 상기 제1암기구(314)에 상기 커버장치(202)가 결합된 후에도 상기 삽입공(240)으로 상기 체결용 너트를 출입시킬 수 있으므로, 상기 제1암기구(314)와 상기 커버장치(202)의 체결 상태를 수정할 수 있다.
도7을 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치(300)는 기판(350)을 이송하기 위한 이송암(310), 상기 이송암(310)의 높이가 변경되도록 상기 이송암(310)을 승강시키는 승강부(320), 상기 이송암(310)이 향하는 방향이 변경되도록 상기 승강부(320)를 회전시키는 선회부(330), 상기 선회부(330)를 주행방향을 따라 이동시키기 위한 주행부(340), 및 상기 커버장치(202)를 결합시키기 위한 커버결합장치를 포함할 수 있다. 상기 커버결합장치는 상술한 본 발명에 따른 기판 이송장치용 커버결합장치(200)와 대략 동일하므로 상세한 설명은 생략한다.
이하에서는, 상기 이송암(310), 상기 승강부(320), 상기 선회부(330) 및 상기 주행부(340)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.
상기 이송암(310)은 상기 기판(350)을 이송한다. 상기 이송암(310)은 상기 승강부(320)에 결합된다. 이에 따라, 상기 이송암(310)은 상기 승강부(320)가 상기 선회부(330)에 의해 회전됨에 따라 함께 회전될 수 있다. 상기 이송암(310)은 암베이스(311), 암바디(312), 암유닛(313) 및 지지핸드(316)를 포함할 수 있다.
상기 암베이스(311)는 상기 승강부(320)에 승강 가능하게 결합된다. 상기 암베이스(311)는 상기 승강부(320)에 의해 승강된다. 이에 따라, 상기 이송암(310)이 위치하는 높이가 변경될 수 있다. 상기 암베이스(311)는 상기 이송암브래킷(246)에 결합될 수 있다.
상기 암바디(312)는 상기 암베이스(311)에 결합된다. 상기 암베이스(311)의 일측이 상기 승강부(320)에 결합되는 경우, 상기 암바디(312)는 상기 암베이스(311)의 타측에 결합될 수 있다.
상기 암유닛(313)은 상기 암바디(312)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 암유닛(313)이 이동함에 따라 상기 지지핸드(316)가 함께 이동할 수 있다. 상기 암유닛(313)는 상기 지지핸드(316)를 직선으로 이동시킬 수 있다. 이 경우, 상기 암유닛(313)는 직선으로 이동함으로써, 상기 지지핸드(316)를 직선으로 이동시킬 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 암유닛(313)은 회전 이동함으로써, 상기 지지핸드(316)를 직선으로 이동시킬 수 있다. 상기 암유닛(313)는 제1암기구(314) 및 제2암기구(315)를 포함할 수 있다.
상기 제1암기구(314)는 상기 암바디(312)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 제1암기구(314)는 모터와 볼스크류(Ball Screw) 등을 이용한 볼스크류 방식으로 이동할 수 있다. 상기 제1암기구(314)는 모터와 랙기어(Rack Gear)와 피니언기어(Pinion Gear) 등을 이용한 기어 방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트 방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터(Linear Motor) 방식으로 이동할 수도 있다. 상기 암유닛(313)이 직선으로 이동하도록 구현되는 경우, 상기 제1암기구(314)는 상기 암바디(312)에 직선으로 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 암유닛(313)이 회전 이동하도록 구현되는 경우, 상기 제1암기구(314)는 상기 암바디(312)에 회전 가능하게 결합될 수 있다.
상기 제2암기구(315)는 상기 제1암기구(314)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 제2암기구(315)는 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트 방식으로 이동할 수 있다. 상기 제2암기구(315)는 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류 방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어 방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 방식으로 이동할 수도 있다. 상기 암유닛(313)이 직선으로 이동하도록 구현되는 경우, 상기 제2암기구(315)는 상기 제1암기구(314)에 직선으로 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 암유닛(313)이 회전 이동하도록 구현되는 경우, 상기 제2암기구(315)는 상기 제1암기구(314)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제2암기구(315) 및 상기 제1암기구(314)는 서로 반대되는 방향으로 회전함으로써, 상기 지지핸드(316)를 직선으로 이동시킬 수 있다.
상기 지지핸드(316)는 상기 암유닛(313)에 결합된다. 상기 지지핸드(316)는 상기 암유닛(313)이 이동함에 따라 직선으로 이동함으로써, 기판(350)을 이송할 수 있다. 상기 지지핸드(316)는 상기 제2암기구(315)에 결합될 수 있다.
상기 이송암(310)는 복수개의 기판(350)을 이송할 수 있도록 구현될 수 있다. 이 경우, 상기 이송암(310)은 상기 제2암기구(315) 및 상기 지지핸드(316)를 각각 복수개 포함할 수 있다. 예컨대, 상기 이송암(310)이 2개의 기판(350)을 이송할 수 있도록 구현되는 경우, 상기 이송암(310)은 상기 제2암기구(315) 및 상기 지지핸드(316)를 각각 2개씩 포함할 수 있다. 상기 제2암기구(315)들은 각각 상기 제1암기구(314)를 기준으로 서로 반대편에 위치되게 상기 제1암기구(314)에 결합될 수 있다. 상기 지지핸드(316)들은 각각 상기 승강부(320)가 상기 이송암(310)을 승강시키는 방향을 기준으로 서로 다른 높이에 위치되게 상기 제2암기구(315)들에 결합될 수 있다.
상기 승강부(320)는 상기 이송암(310)을 승강시킨다. 이에 따라, 상기 승강부(320)는 상기 이송암(310)이 위치하는 높이를 변경시킬 수 있다. 상기 승강부(320)는 상기 선회부(330)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 승강부(320)는 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어 방식으로 상기 이송암(310)을 승강시킬 수 있다. 상기 승강부(320)는 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트 방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류 방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 방식으로 상기 이송암(310)을 승강시킬 수도 있다.
상기 선회부(330)는 상기 승강부(320)를 회전시킨다. 이에 따라, 상기 선회부(330)는 상기 이송암(310)이 향하는 방향을 변경시킬 수 있다. 상기 선회부(330)는 상기 주행부(340)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 선회부(330)는 상기 주행부(340)에 결합된 상태에서 회전축을 중심으로 회전함으로써, 상기 승강부(320)를 회전시킬 수 있다.
상기 주행부(340)는 상기 선회부(330)를 주행방향을 따라 이동시킨다. 이에 따라, 상기 주행부(340)는 상기 이송암(310)에 지지된 기판(350)을 주행방향으로 이동시킬 수 있다. 상기 주행부(340)는 상기 선회부(330)를 지지하는 주행베이스(341), 및 상기 주행베이스(341)를 상기 주행방향을 따라 이동시키기 위해 안내하는 주행프레임(342)을 포함할 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
200 : 기판 이송장치용 커버결합장치
201 : 구동장치 202 : 커버장치
210 : 결합본체 220 : 체결공
230 : 관통홀 240 : 삽입공
300 : 기판 이송장치
310 : 이송암 311 : 암베이스
312 : 암바디 313 : 암유닛
314 : 제1암기구 315 : 제2암기구
316 : 지지핸드 320 : 승강부
330 : 선회부 340 : 주행부
341 : 주행베이스 342 : 주행프레임
350 : 기판

Claims (5)

  1. 제1암기구에 기판이 이송되는 이송방향으로 제2암기구를 이동시키기 위한 구동장치로부터 발생하는 이물질을 차단하는 커버장치가 결합되기 위해, 상기 제1암기구에 결합되는 결합본체;
    상기 결합본체에 형성되고, 상기 커버장치를 결합시키기 위한 결합부재가 체결되는 체결공; 및
    상기 체결공에 연결되게 상기 결합본체를 관통하여 형성되는 관통홀을 포함하고,
    상기 관통홀은 상기 커버장치가 체결되는 방향에 대해 수직한 방향으로 연장되게 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 커버결합장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 커버장치를 체결하기 위한 체결용 너트가 삽입되는 삽입공을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 커버결합장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 결합본체는 상기 제1암기구로부터 상기 이송방향으로 돌출되는 위치에 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 커버결합장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 결합본체는 상기 제1암기구가 상기 이송방향으로 연장된 길이에 비해 짧은 길이로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 커버결합장치.
  5. 기판을 이송하기 위한 이송암;
    상기 이송암의 높이가 변경되도록 상기 이송암을 승강시키는 승강부;
    상기 이송암이 향하는 방향이 변경되도록 상기 승강부를 회전시키는 선회부;
    상기 선회부를 주행방향을 따라 이동시키기 위한 주행부; 및
    상기 커버장치를 결합시키기 위한 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항의 커버결합장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
KR1020130082293A 2013-07-12 2013-07-12 커버결합장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치 KR20150008302A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130082293A KR20150008302A (ko) 2013-07-12 2013-07-12 커버결합장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130082293A KR20150008302A (ko) 2013-07-12 2013-07-12 커버결합장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20150008302A true KR20150008302A (ko) 2015-01-22

Family

ID=52572000

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020130082293A KR20150008302A (ko) 2013-07-12 2013-07-12 커버결합장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20150008302A (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101870579B1 (ko) * 2017-07-27 2018-06-22 캐논 톡키 가부시키가이샤 디스플레이 제조장치 및 이를 사용한 디스플레이 제조방법

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101870579B1 (ko) * 2017-07-27 2018-06-22 캐논 톡키 가부시키가이샤 디스플레이 제조장치 및 이를 사용한 디스플레이 제조방법

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6862233B2 (ja) 産業用ロボット
KR101586691B1 (ko) 캐리어 회전 장치
KR20160007946A (ko) 스토커 컨베이어용 대차
CN110234582B (zh) 空中搬送车
KR101209654B1 (ko) 트레이 틸트 장치
KR20150008302A (ko) 커버결합장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR20160041178A (ko) 이송가이드장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR101587337B1 (ko) 기판 이송장치용 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR20150004467A (ko) 기판 플립형 레이져 가공 장치 및 레이져 가공 방법
JP2006256768A (ja) 基板搬送装置、基板処理装置及び平面表示装置
KR20150073338A (ko) 기판 이송시스템
KR20140072988A (ko) 기판 이송 장치
KR101587335B1 (ko) 기판 이송장치
JP4334369B2 (ja) 基板搬送装置
KR101284665B1 (ko) 기판 이송 장치
KR20150009189A (ko) 주행장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR20130096072A (ko) 기판 반송 장치
KR101491925B1 (ko) 주행장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
JP2006073946A (ja) ガラス基板供給装置
WO2011148782A1 (ja) 基板処理装置および仮置き棚
KR101500158B1 (ko) 기판 이송장치용 주행장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR20150009195A (ko) 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
JPH11251421A (ja) 基板収納容器の蓋開閉装置および基板搬入搬出装置
KR101587336B1 (ko) 기판 이송장치용 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR100636514B1 (ko) 유기 발광표시장치 제조용 카세트 및 그 이송장치

Legal Events

Date Code Title Description
N231 Notification of change of applicant
WITN Withdrawal due to no request for examination