KR101587336B1 - 기판 이송장치용 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치 - Google Patents

기판 이송장치용 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101587336B1
KR101587336B1 KR1020140000173A KR20140000173A KR101587336B1 KR 101587336 B1 KR101587336 B1 KR 101587336B1 KR 1020140000173 A KR1020140000173 A KR 1020140000173A KR 20140000173 A KR20140000173 A KR 20140000173A KR 101587336 B1 KR101587336 B1 KR 101587336B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
lifting frame
substrate
transfer arm
guide mounting
cover
Prior art date
Application number
KR1020140000173A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20150080735A (ko
Inventor
윤대규
김상현
Original Assignee
현대중공업 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 현대중공업 주식회사 filed Critical 현대중공업 주식회사
Priority to KR1020140000173A priority Critical patent/KR101587336B1/ko
Priority to CN201580011368.0A priority patent/CN106062944B/zh
Priority to PCT/KR2015/000005 priority patent/WO2015102420A1/ko
Publication of KR20150080735A publication Critical patent/KR20150080735A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101587336B1 publication Critical patent/KR101587336B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/0075—Means for protecting the manipulator from its environment or vice versa

Abstract

본 발명은 기판을 지지하기 위한 이송암이 승강 가능하게 결합되는 승강프레임; 상기 이송암을 승강시키기 위한 구동력을 제공하기 위해 상기 승강프레임에 결합되는 구동부; 상기 이송암이 승강됨에 따라 상기 구동부로부터 발생하는 이물질이 비산되는 것을 차단하기 위한 커버; 상기 커버를 지지하기 위해 상기 승강프레임으로부터 돌출되게 형성되는 커버지지부; 및 상기 이송암의 승강경로를 가이드하기 위한 가이드부가 설치되는 가이드설치부를 포함하고; 상기 커버지지부 및 상기 승강프레임은 일체로 형성되며, 상기 가이드설치부는 상기 구동부의 일측에 위치되게 상기 승강프레임으로부터 돌출되게 형성되는 제 1 가이드설치부재, 및 상기 구동부의 타측에 위치되게 상기 승강프레임으로부터 돌출되게 형성되는 제 2 가이드설치부재를 포함하되, 상기 제 1 가이드설치부재, 상기 제 2 가이드설치부재 및 상기 승강프레임은 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 구동부로부터 비산되는 이물질의 이동을 차단함으로써, 이물질에 의해 상기 기판 및 주변환경이 오염되는 것을 방지할 수 있으므로, 기판의 품질이 저하되는 것을 방지할 수 있다.

Description

기판 이송장치용 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치{GOING UP AND DOWN APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE AND APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE}
본 발명은 기판을 이송하기 위한 기판 이송장치에 관한 것이다.
디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등(이하, '전자부품'이라 함)은 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조 공정은 상기 전자부품을 제조하기 위한 기판(Substrate)을 이용하여 이루어진다. 예컨대, 상기 제조 공정은 기판 상에 도전체, 반도체, 유전체 등의 박막을 증착하기 위한 증착공정, 증착된 박막을 소정 패턴으로 형성하기 위한 식각공정 등을 포함할 수 있다. 이러한 제조 공정들은 해당 공정을 수행하는 공정챔버에서 이루어진다.
기판 이송장치는 상기 카세트와 상기 공정챔버들 간에 기판을 이송하기 위한 것이다.
도 1은 종래 기술에 따른 기판 이송장치를 나타내는 블록도이다.
도 1을 참고하면, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(1)는 기판을 지지하는 이송암(10), 상기 이송암(10)을 승강시키기 위한 승강부(20), 상기 승강부(20)를 회전시키기 위한 선회부(30), 및 상기 선회부(30)를 이동시키기 위한 주행부(40)를 포함한다.
상기 이송암(10)은 상기 기판을 이송하기 위해 이동한다. 상기 이송암(10)은 상기 기판을 지지하는 지지핸드(11), 상기 지지핸드(11)를 이동시키기 위한 암유닛(12), 및 일측에 상기 암유닛(12)이 결합되고 타측에 상기 승강부(20)가 결합되는 암베이스(13)를 포함한다.
상기 승강부(20)는 상기 이송암(10)을 상하방향으로 이동시킨다. 상기 승강부(20)는 상기 암베이스(13)를 승강시킴으로써, 상기 암베이스(13)에 결합된 상기 암유닛(12) 및 상기 암유닛(12)에 결합된 상기 지지핸드(11)를 승강시킨다. 도시되지 않았지만, 상기 승강부(20)는 상기 이송암(10)을 승강시키기 위한 구동부(미도시)를 포함한다.
상기 선회부(30)는 상기 승강부(20)를 회전시킨다. 상기 선회부(30)는 상기 주행부(40)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 선회부(30)는 회전축을 중심으로 회전하여 상기 승강부(20)를 회전시킴으로써, 상기 이송암(10)을 회전시킨다.
상기 주행부(40)는 주행방향으로 상기 선회부(30)를 이동시킨다. 상기 주행부(40)는 상기 선회부(30)를 상기 주행방향으로 이동시킴으로써, 상기 승강부(20) 및 상기 이송암(10)을 상기 주행방향으로 이동시킨다.
여기서, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 승강부(20)가 상기 이송암(10)을 승강시키는 과정에서 상기 구동부로부터 윤활유 등의 이물질이 비산된다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(1)는 비산되는 이물질에 의해 상기 기판 및 주변환경이 오염됨으로써, 기판에 대한 품질을 저하시키는 문제가 있다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제를 해결하고자 안출된 것으로, 구동부로부터 비산되는 이물질에 의해 기판 및 주변환경이 오염되는 것을 방지하기 위한 기판 이송장치용 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치에 관한 것이다.
상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치는 기판을 지지하기 위한 이송암이 승강 가능하게 결합되는 승강프레임; 상기 이송암을 승강시키기 위한 구동력을 제공하기 위해 상기 승강프레임에 결합되는 구동부; 상기 이송암이 승강됨에 따라 상기 구동부로부터 발생하는 이물질이 비산되는 것을 차단하기 위한 커버; 상기 커버를 지지하기 위해 상기 승강프레임으로부터 돌출되게 형성되는 커버지지부; 및 상기 이송암의 승강경로를 가이드하기 위한 가이드부가 설치되는 가이드설치부를 포함하고; 상기 커버지지부 및 상기 승강프레임은 일체로 형성되며, 상기 가이드설치부는 상기 구동부의 일측에 위치되게 상기 승강프레임으로부터 돌출되게 형성되는 제 1 가이드설치부재, 및 상기 구동부의 타측에 위치되게 상기 승강프레임으로부터 돌출되게 형성되는 제 2 가이드설치부재를 포함하되, 상기 제 1 가이드설치부재, 상기 제 2 가이드설치부재 및 상기 승강프레임은 일체로 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치에 따르면 상기 구동부는 상기 이송암이 승강하는 승강방향으로 상기 승강프레임에 결합되는 랙기어, 및 상기 랙기어에 치합되는 피니언기어를 포함하고, 상기 커버지지부는 상기 랙기어와 상기 피니언기어가 설치되는 설치홈을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치는 상기 이송암의 승강경로를 가이드하기 위한 가이드부가 설치되는 가이드설치부를 포함하고, 상기 가이드설치부는 상기 구동부의 일측에 위치되게 상기 승강프레임으로부터 돌출되게 형성되는 제 1 가이드설치부재, 및 상기 구동부의 타측에 위치되게 상기 승강프레임으로부터 돌출되게 형성되는 제 2 가이드설치부재를 포함하고 상기 제 1 가이드설치부재, 상기 제 2 가이드설치부재 및 상기 승강프레임은 일체로 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치는 상기 커버가 상기 승강프레임으로부터 이격되게 위치되도록 일측이 상기 승강프레임에 결합되고 타측이 상기 커버에 결합되는 이격부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치에 따르면 상기 승강프레임에는 상기 커버지지부가 복수 개 형성되고, 상기 커버지지부들은 상기 이송암이 승강하는 승강방향을 따라 서로 이격되게 상기 승강프레임에 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 기판 이송장치는 기판을 지지하기 위한 이송암 상기 이송암이 위치하는 높이가 변경되도록 상기 이송암을 승강시키기 위한 제1항 내지 제5항 중에서 어느 하나의 승강장치 상기 이송암이 향하는 방향이 변경되도록 상기 승강장치를 회전시키는 선회부 및 상기 선회부를 주행방향으로 이동시키기 위한 주행부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
본 발명은 구동부로부터 비산되는 이물질의 이동을 차단함으로써, 이물질에 의해 상기 기판 및 주변환경이 오염되는 것을 방지할 수 있으므로, 기판의 품질이 저하되는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 기판 이송장치를 나타내는 블록도이고,
도 2는 본 발명에 따른 기판 이송장치를 나타내는 사시도이고,
도 3은 도 2의 기판 이송장치에서 승강장치를 나타내는 사시도이고,
도 4는 도 3의 승강장치를 나타내는 단면도이다.
본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다.
한편, 본 명세서에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 정의하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다.
"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
"적어도 하나"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 적어도 하나"의 의미는 제1항목, 제2항목 또는 제3항목 각각 뿐만 아니라 제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다.
이하에서는 본 발명에 따른 기판 이송장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 본 발명에 따른 승강장치는 본 발명에 따른 기판 이송장치에 포함되므로, 본 발명에 따른 기판 이송장치의 바람직한 실시예를 설명하면서 함께 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명에 따른 기판 이송장치를 나타내는 사시도이고, 도 3은 도 2의 기판 이송장치에서 승강장치를 나타내는 사시도이고, 도 4는 도 3의 승강장치를 나타내는 단면도이다.
본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 기판(110)을 이송하기 위한 것이다. 상기 기판(110)은 디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등의 전자부품을 제조하기 위한 것이다. 예컨대, 상기 기판(110)은 상기 전자부품을 제조하기 위한 유리기판일 수 있다. 상기 기판(110)은 금속(Metal) 기판, 폴리이미드(Polyimide) 기판, 플라스틱(Plastic) 기판 등일 수도 있다. 상기 전자부품이 디스플레이 장치인 경우, 상기 기판(110)은 2매 이상의 기판이 서로 합착된 합착기판일 수도 있다. 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 기판(110)에 대한 증착공정, 식각공정 등의 제조공정을 수행하는 공정챔버들 간에 상기 기판(110)을 이송할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 공정챔버들 및 상기 기판(110)이 저장되는 카세트 간에 상기 기판(110)을 이송할 수도 있다.
도 2 내지 도 4를 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 기판(110)을 이송하기 위한 이송암(120), 상기 이송암(120)을 승강시키기 위한 승강장치(200), 상기 승강장치(200)를 회전시키기 위한 선회부(130), 및 상기 선회부(130)를 이동시키기 위한 주행부(140)를 포함한다.
상기 승강장치(200)는 상기 이송암(120)이 승강 가능하게 결합되는 승강프레임(210), 상기 승강프레임(210)에 결합되는 구동부(220), 이물질이 비산되는 것을 차단하기 위한 커버(230), 및 상기 커버를 지지하기 위한 커버지지부(240)를 포함한다.
상기 이송암(120)은 상기 구동부(220)에 의해 상기 승강프레임(210)에 결합된 상태에서 승강된다. 이 경우, 상기 커버(230)는 상기 구동부(220)로부터 발생하는 이물질이 비산되는 것을 차단한다.
이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 구동부(220)로부터 발생하는 이물질이 비산되는 것을 차단할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 이물질이 비산되는 것을 차단함으로써, 상기 기판(110) 및 주변환경이 오염되는 것을 방지할 수 있으므로, 기판의 품질이 저하되는 것을 방지할 수 있다.
이하에서는 상기 이송암(120), 상기 승강장치(200), 상기 선회부(130), 및 상기 주행부(140)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.
상기 이송암(120)은 상기 기판(110)을 이송한다. 상기 이송암(120)은 상기 승강장치(200)에 결합된다. 이에 따라, 상기 이송암(120)은 상기 승강장치(200)가 상기 선회부(140)에 의해 회전됨에 따라 함께 회전될 수 있다. 상기 이송암(120)은 암베이스(121), 암바디(122), 암유닛(123) 및 지지핸드(124)를 포함할 수 있다.
상기 암베이스(121)는 상기 승강장치(200)에 승강 가능하게 결합된다. 상기 암베이스(121)는 상기 승강장치(200)에 의해 승강된다. 이에 따라, 상기 이송암(120)이 위치하는 높이가 변경될 수 있다.
상기 암바디(122)는 상기 암베이스(121)에 결합된다. 상기 암베이스(121)의 일측이 상기 승강장치(200)에 결합되는 경우, 상기 암바디(122)는 상기 암베이스(121)의 타측에 결합될 수 있다.
상기 암유닛(123)은 상기 암바디(122)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 암유닛(123)이 이동함에 따라 상기 지지핸드(124)가 함께 이동할 수 있다. 상기 암유닛(123)은 상기 지지핸드(123)를 직선으로 이동시킬 수 있다. 이 경우, 상기 암유닛(123)은 직선으로 이동함으로써, 상기 지지핸드(123)를 직선으로 이동시킬 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 암유닛(123)은 회전 이동함으로써, 상기 지지핸드(123)를 직선으로 이동시킬 수 있다. 상기 암유닛(123)는 제 1 암기구(123a), 및 제 2 암기구(123b)를 포함할 수 있다.
상기 제 1 암기구(123a)는 상기 암바디(122)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 제 1 암기구(123a)는 모터와 볼스크류(Ball Screw) 등을 이용한 볼스크류 방식으로 이동할 수 있다. 상기 제 1 암기구(123a)는 모터와 랙기어(Rack Gear)와 피니언기어(Pinion Gear) 등을 이용한 기어 방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트 방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터(Linear Motor) 방식으로 이동할 수도 있다. 상기 암유닛(123)이 직선으로 이동하도록 구현되는 경우, 상기 제1암기구(123a)는 상기 암바디(122)에 직선으로 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 암유닛(123)이 회전 이동하도록 구현되는 경우, 상기 제1암기구(123a)는 상기 암바디(122)에 회전 가능하게 결합될 수 있다.
상기 제2암기구(123b)는 상기 제1암기구(123a)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 제1암기구(123a)는 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트 방식으로 이동할 수 있다. 상기 제1암기구(123a)는 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류 방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어 방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 방식으로 이동할 수도 있다. 상기 암유닛(123)이 직선으로 이동하도록 구현되는 경우, 상기 제2암기구(123b)는 상기 제1암기구(123a)에 직선으로 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 암유닛(123)이 회전 이동하도록 구현되는 경우, 상기 제2암기구(123b)는 상기 제1암기구(123a)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제2암기구(123b) 및 상기 제1암기구(123a)는 서로 반대되는 방향으로 회전함으로써, 상기 지지핸드(124)를 직선으로 이동시킬 수 있다.
상기 지지핸드(124)는 상기 암유닛(123)에 결합된다. 상기 지지핸드(124)는 상기 암유닛(123)이 이동함에 따라 직선으로 이동함으로써, 기판(110)을 이송할 수 있다. 상기 지지핸드(124)는 상기 제2암기구(123b)에 결합될 수 있다.
상기 이송암(120)은 복수 개의 상기 기판(110)을 이송할 수 있도록 구현될 수 있다. 이 경우, 상기 이송암(120)은 상기 제 2 암기구(123b) 및 상기 지지핸드(124)를 각각 복수 개 포함할 수 있다. 예컨대, 상기 이송암(120)이 2개의 상기 기판(110)을 이송할 수 있도록 구현되는 경우, 상기 이송암(120)은 상기 제 2 암기구(123b) 및 상기 지지핸드(124)를 각각 2개씩 포함할 수 있다. 상기 제 2 암기구(123b)들은 각각 상기 제 1 암기구(123a)를 기준으로 서로 반대편에 위치되게 상기 제 1 암기구(123a)에 결합될 수 있다. 상기 지지핸드(124)들은 각각 상기 승강장치(200)가 상기 이송암(120)을 승강시키는 방향을 기준으로 서로 다른 높이에 위치되게 상기 제 2 암기구(123b)들에 결합될 수 있다.
상기 승강장치(200)는 상기 이송암(120)을 승강시킨다. 이에 따라, 상기 승강장치(200)는 상기 이송암(120)이 위치하는 높이를 변경할 수 있다. 상기 승강장치(200)는 상기 승강프레임(210), 상기 구동부(220), 상기 커버(230), 및 상기 커버지지부(240)를 포함한다.
상기 승강프레임(210)은 상기 선회부(130)에 결합된다. 상기 승강프레임(210)에는 상기 이송암(120)이 승강 가능하게 결합된다. 이에 따라 상기 승강장치(200)는 상기 이송암(120)이 위치하는 높이를 변경할 수 있다.
상기 구동부(220)는 상기 승강프레임(210)에 결합된다. 상기 구동부(220)는 상기 이송암(120)을 승강시키기 위한 구동력을 제공한다. 상기 구동부(220)는 랙기어(221), 및 피니언기어(222)를 포함한다.
상기 랙기어(221)는 상기 이송암(120)이 승강하는 승강방향으로 상기 승강프레임(210)에 결합된다. 상기 랙기어(221)의 일면에는 나사산이 형성된다. 상기 랙기어(221)는 나사산에 의해 상기 피니언기어(222)와 치함된다. 상기 랙기어(221)는 상기 피니언기어(222)가 이동하는 경로를 제공한다.
상기 피니언기어(222)는 상기 이송암(120)에 결합된다. 상기 피니언기어(222)의 외면에는 나사산이 형성된다. 상기 피니언기어(222)는 나사산에 의해 상기 랙기어(222)와 치합된다. 이에 따라, 상기 피니언기어(222)와 상기 랙기어(221)가 치합된 상태에서, 상기 피니언기어(222)가 모터(미도시)에 의해 회전됨으로써, 상기 이송암(120)이 승강될 수 있다.
상기 커버(230)는 상기 이송암(120)이 승강됨에 따라 상기 구동부(220)로부터 발생하는 이물질이 비산되는 것을 차단한다. 상기 커버(230)는 상기 커버지지부(240) 사이에 위치되게 상기 승강프레임(210)에 결합된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 구동부(220)로부터 발생하는 이물질이 상기 커버(230) 외부로 비산되는 것을 차단할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 이물질이 상기 커버(230) 외부로 비산되는 것을 차단함으로써, 상기 기판(110) 및 주변환경이 오염되는 것을 방지할 수 있으므로, 상기 기판(110)의 품질이 저하되는 것을 방지할 수 있다.
상기 커버지지부(240)는 상기 커버(230)를 지지하기 위해 상기 승강프레임(210)으로부터 돌출되게 형성된다. 상기 커버지지부(240)는 상기 이송암(120)의 승강방향을 따라 상기 승강프레임(210)과 일체로 형성된다. 이 경우, 상기 커버지지부(240)는 상기 승강프레임(210)의 강도를보강할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 커버지지부(240)가 상기 커버(230)를 지지함으로써, 상기 커버(230)가 흔들리는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 커버(230)가 흔들림에 따라 이물질이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 이물질에 의해 상기 기판(110) 및 주변환경이 오염되는 것을 방지할 수 있으므로, 상기 기판(110)의 품질이 저하되는 것을 더 방지할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 커버지지부(240)와 상기 승강프레임(210)이 일체로 형성됨으로써, 상기 승강프레임(210)의 강도를 보강할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 기판(110)을 이송하는 과정에서 상기 승강프레임(210)이 휘어지는 등의 변형이 발생하는 것을 줄일 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 승강프레임(210)이 변형됨에 따라 상기 승강프레임(210)을 유지보수하는데 소요되는 시간 및 비용을 줄일 수 있고, 더 나아가 상기 이송암(120)의 승강경로가 변형되는 것을 방지할 수 있으므로, 상기 기판(110)을 이송하는 작업의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
상기 커버지지부(240)는 상기 구동부(220)가 설치되는 설치홈(241)을 포함한다. 상기 설치홈(241)은 상기 커버지지부(240)로부터 상기 승강프레임(210)을 향하는 방향으로 함몰되도록 형성될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 구동부(220)가 상기 설치홈(241)에 설치됨으로써, 상기 구동부(220)가 상기 승강장치(200)로부터 돌출되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 기판 이송장치(100)를 소형화하는데 기여할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 가이드부(250)가 설치되는 가이드설치부(260), 및 이격부재(270)를 포함할 수 있다.
상기 가이드설치부(260)는 상기 이송암(120)의 승강경로를 가이드 하기 위한 가이드부(250)를 지지한다. 상기 가이드설치부(260)는 상기 승강프레임(210)으로부터 돌출되게 형성된다. 상기 가이드설치부(260)는 제 1 가이드설치부재(261), 및 제 2 가이드설치부재(262)를 포함한다.
상기 제 1 가이드설치부재(261)는 상기 승강프레임(210)으로부터 돌출되도록 형성된다. 상기 제 1 가이드설치부재(261)는 상기 구동부(220)의 일측에 위치되게 형성된다. 상기 제 1 가이드설치부재(261)는 상기 승강방향을 따라 상기 승강프레임(210)과 일체로 형성된다.상기 제 2 가이드설치부재(262)는 상기 승강프레임(210)으로부터 돌출되도록 형성된다. 상기 제 2 가이드설치부재(262)는 상기 구동부(220)의 일측에 위치되게 형성된다. 상기 제 2 가이드설치부재(262)는 상기 승강방향을 따라 상기 승강프레임(210)과 일체로 형성된다.
이에 따라, 본 발명에따른 기판 이송장치(100)는 상기 가이드설치부(260)와 상기 승강프레임(210)이 일체로형성됨으로써, 상기 승강프레임(210)의 강도를보강할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에따른 기판 이송장치(100)는 상기 기판(110)을 이송하는 과정에서 상기 승강프레임(210)이 휘어지는 등의 변형이 발생하는 것을 더 줄일 수 있다. 따라서, 본 발명에따른 기판 이송장치(100)는 상기 승강프레임(210)이 변형됨에 따라 상기 승강프레임(210)을 유지보수하는데 소요되는 시간 및 비용을 더 줄일 수 있을 뿐만 아니라 상기 이송암(120)의 승강경로가 변형되는 것을 더 방지할 수 있으므로, 상기 기판(110)을 이송하는 작업의 신뢰성을 더 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 가이드설치부(260)에 상기 가이드부(250)를 설치함으로써, 상기 가이드부(250)가 흔들리는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 이송암(120)이 상기 가이드부(250)를 따라 이동함에 있어서, 상기 승강경로가 흔들리는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 기판(110)을 이송하는 작업의 정확성을 향상시킬 수 있다.
상기 이격부재(270)는 상기 구동부(220)에 전원을 공급하기 위한 케이블 베어(미도시)를 설치하기 위한 공간에 위치된 상기 커버(230)를 지지한다. 이를 위해, 상기 이격부재(270)는 일측이 상기 승강프레임(210)에 결합되고, 타측이 상기 커버(230)에 결합된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 승강프레임(210)과 상기 커버(230)를 지지함으로써, 상기 케이블 베어를 설치하기 위한 공간의 상기 커버(230)가 흔들리는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 커버(230)가 흔들림에 따라 상기 기판(110) 및 주변환경이 오염되는 것을 방지할 수 있고, 상기 커버(230)의 강성을 보강하는데 기여할 수 있다.
상기 선회부(130)는 상기 승강부(120)를 회전시킨다. 이에 따라, 상기 선회부(130)는 상기 이송암(200)이 향하는 방향을 변경시킬 수 있다. 상기 선회부(130)는 상기 주행부(140)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 선회부(130)는 상기 주행ㅂ부(140)에 결합된 상태에서 회전축을 중심으로 회전함으로써, 상기 승강부(120)를 회전시킬 수 있다.
상기 주행부(140)는 상기 선회부(130)를 주행방향을 따라 이동시킨다. 이에 따라, 상기 주행부(140)는 상기 이송암(200)에 기기된 기판(110)을 주행방향으로 이동시킬 수 있다. 상기 주행부(140)는 주행베이스(141) 및 주행가이드부(142)를 포함한다.
상기 주행베이스(141)는 상기 주행가이드부(142) 따라 주행방향으로 이동한다. 상기 주행베이스(141)는 구동부(미도시)로부터 제공되는 구동력에 의해 주행방향으로 이동한다. 예컨대, 상기 주행베이스(141)가 주행방향을 따라 이동함으로써, 상기 기판(110)이 주행방향을 따라 이송될 수 있다. 상기 주행베이스(141)에는 상기 선회부(130)가 결합된다.
상기 주행가이드부(142)는 주행방향을 따라 설치된다. 상기 주행가이드부(142)는 상기 주행베이스(141)가 이동되는 경로를 제공한다. 상기 주행가이드부(142)에는 상기 주행베이스(141)가 결합된다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
100: 기판 이송장치 110: 기판
120: 이송암 121: 암베이스
122: 암바디 123: 암유닛
123a: 제 1 암기구 123b: 제 2 암기구
124: 지지핸드 130: 선회부
140: 주행부 141: 주행베이스
142: 주행가이드부 200: 승강장치
210: 승강프레임 220: 구동부
221: 랙기어 222: 피니언기어
230: 커버 240: 커버지지부
241: 설치홈 250: 가이드부
260: 가이드설치부 261: 제 1 가이드설치부재
262: 제 2 가이드설치부재 270: 이격부재

Claims (5)

  1. 기판을 지지하기 위한 이송암이 승강 가능하게 결합되는 승강프레임;
    상기 이송암을 승강시키기 위한 구동력을 제공하기 위해 상기 승강프레임에 결합되는 구동부;
    상기 이송암이 승강됨에 따라 상기 구동부로부터 발생하는 이물질이 비산되는 것을 차단하기 위한 커버;
    상기 커버를 지지하기 위해 상기 승강프레임으로부터 돌출되게 형성되는 커버지지부; 및
    상기 이송암의 승강경로를 가이드하기 위한 가이드부가 설치되는 가이드설치부를 포함하고;
    상기 커버지지부 및 상기 승강프레임은 일체로 형성되며,
    상기 가이드설치부는 상기 구동부의 일측에 위치되게 상기 승강프레임으로부터 돌출되게 형성되는 제 1 가이드설치부재, 및 상기 구동부의 타측에 위치되게 상기 승강프레임으로부터 돌출되게 형성되는 제 2 가이드설치부재를 포함하되, 상기 제 1 가이드설치부재, 상기 제 2 가이드설치부재 및 상기 승강프레임은 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 승강장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 구동부는 상기 이송암이 승강하는 승강방향으로 상기 승강프레임에 결합되는 랙기어, 및 상기 랙기어에 치합되는 피니언기어를 포함하고,
    상기 커버지지부는 상기 랙기어와 상기 피니언기어가 설치되는 설치홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 승강장치.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 커버가 상기 승강프레임으로부터 이격되게 위치되도록 일측이 상기 승강프레임에 결합되고 타측이 상기 커버에 결합되는 이격부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 승강장치.
  5. 기판을 지지하기 위한 이송암;
    상기 이송암이 위치하는 높이가 변경되도록 상기 이송암을 승강시키기 위한 제1항, 제2항, 제4항 중에서 어느 하나의 승강장치;
    상기 이송암이 향하는 방향이 변경되도록 상기 승강장치를 회전시키는 선회부; 및
    상기 선회부를 주행방향으로 이동시키기 위한 주행부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
KR1020140000173A 2014-01-02 2014-01-02 기판 이송장치용 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치 KR101587336B1 (ko)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140000173A KR101587336B1 (ko) 2014-01-02 2014-01-02 기판 이송장치용 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
CN201580011368.0A CN106062944B (zh) 2014-01-02 2015-01-02 基板传送装置用升降装置以及基板传送装置
PCT/KR2015/000005 WO2015102420A1 (ko) 2014-01-02 2015-01-02 기판 이송장치용 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140000173A KR101587336B1 (ko) 2014-01-02 2014-01-02 기판 이송장치용 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20150080735A KR20150080735A (ko) 2015-07-10
KR101587336B1 true KR101587336B1 (ko) 2016-02-02

Family

ID=53792563

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140000173A KR101587336B1 (ko) 2014-01-02 2014-01-02 기판 이송장치용 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101587336B1 (ko)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007261743A (ja) * 2006-03-28 2007-10-11 Daifuku Co Ltd 搬送装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007261743A (ja) * 2006-03-28 2007-10-11 Daifuku Co Ltd 搬送装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR20150080735A (ko) 2015-07-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20160007946A (ko) 스토커 컨베이어용 대차
US20140314539A1 (en) Non-contact substrate transfer turner
KR101587337B1 (ko) 기판 이송장치용 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR102279408B1 (ko) 멀티 암 반송 로봇
KR101563780B1 (ko) 기판 이송장치용 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR101587336B1 (ko) 기판 이송장치용 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR20150008297A (ko) 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR20160041178A (ko) 이송가이드장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR101500158B1 (ko) 기판 이송장치용 주행장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR101133438B1 (ko) 이송 로봇
KR200463079Y1 (ko) 기판 이송장치
JP2009206315A (ja) テーブルへの基板搭載装置
KR100743031B1 (ko) 유체 디스펜싱 시스템
KR101000494B1 (ko) 이송장치
KR100730459B1 (ko) 액정표시장치의 글라스 셀 자동 로딩장치
KR101587335B1 (ko) 기판 이송장치
KR101488091B1 (ko) 이물질 차단장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR20150009195A (ko) 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
CN106062944A (zh) 基板传送装置用升降装置以及基板传送装置
KR20150009189A (ko) 주행장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR101488604B1 (ko) 이송암 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR101614201B1 (ko) 이송암 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR101491925B1 (ko) 주행장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR101580390B1 (ko) 기판 이송장치용 선회장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR20150008302A (ko) 커버결합장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181226

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191226

Year of fee payment: 5