KR20150009189A - 주행장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치 - Google Patents

주행장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 기판을 이송하기 위한 구동력을 제공하는 구동부, 상기 구동부가 수용되는 수용부를 포함하고, 상기 구동부로부터 제공되는 구동력으로 이동하는 주행베이스, 및 상기 구동부로부터 발생하는 열을 방열(放熱)시키기 위해 상기 구동부 쪽으로 기체가 공급되도록 상기 수용부 내부와 외부 간에 기체를 순환시키는 순환부를 포함하는 것을 특징으로 하는 주행장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 구동부가 과열되는 것을 방지함으로써 구동부에 작동오류가 발생하는 것을 방지할 수 있고, 이에 따라 기판 이송장치에 대한 가동률을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라 유지 보수 비용을 절감할 수 있다.

Description

주행장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치{APPARATUS FOR DRIVING AND APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE}
본 발명은 기판을 이송하기 위한 기판 이송장치에 관한 것이다.
디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등(이하, '전자부품'이라 함)은 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조 공정은 상기 전자부품을 제조하기 위한 기판(Substrate)을 이용하여 이루어진다. 예컨대, 상기 제조 공정은 기판 상에 도전체, 반도체, 유전체 등의 박막을 증착하기 위한 증착공정, 증착된 박막을 소정 패턴으로 형성하기 위한 식각공정 등을 포함할 수 있다. 이러한 제조 공정들은 해당 공정을 수행하는 공정챔버에서 이루어진다. 기판 이송장치는 상기 공정챔버들 간에 기판을 이송하기 위한 것이다.
도 1은 종래 기술에 따른 기판 이송장치를 나타내는 블록도이다.
도 1을 참고하면, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(1)는 기판을 지지하는 이송암(10), 상기 이송암(10)을 승강시키기 위한 승강부(20), 상기 승강부(20)를 회전시키기 위한 선회부(30), 및 상기 선회부(30)를 이동시키기 위한 주행부(40)를 포함한다.
상기 이송암(10)은 상기 기판을 지지한 상태에서 상기 기판을 이송하기 위해 이동한다. 상기 이송암(10)은 상기 기판을 지지하는 지지핸드(11), 상기 지지핸드(11)를 이동시키기 위한 암유닛(12), 및 일측에 상기 암유닛(12)이 결합되고 타측에 상기 승강부(20)가 결합되는 암베이스(13)를 포함한다.
상기 승강부(20)는 상기 이송암(10)을 상하방향으로 이동시킨다. 상기 승강부(20)는 상기 암베이스(13)를 승강시킴으로써, 상기 암베이스(13)에 결합되는 상기 지지핸드(11), 및 상기 암유닛(12)을 승강시킨다.
상기 선회부(30)는 상기 승강부(20)를 회전시킨다. 상기 선회부(30)는 상기 주행부(40)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 선회부(30)는 회전축을 중심으로 회전하여 상기 승강부(20)를 회전시킴으로써, 상기 이송암(10)에 지지된 상기 기판을 회전시킨다.
상기 주행부(40)는 주행방향으로 상기 선회부(30)를 이동시킨다. 상기 주행부(40)는 상기 선회부(30)를 주행방향으로 이동시킴으로써, 상기 이송암(10), 및 상기 승강부(20)를 상기 주행방향으로 이동시킨다. 상기 주행부(40)는 주행베이스(41), 주행구동부(42) 및 커버(41a)를 포함한다.
상기 주행베이스(41)는 상기 선회부(30)를 지지한다. 상기 선회부(30)는 상기 주행베이스(41)에 회전 가능하게 결합된다.
상기 주행구동부(42)는 상기 주행베이스(41)를 주행방향으로 이동시킨다. 상기 주행구동부(42)는 상기 주행베이스(41) 내부의 수용공간에 결합된다.
상기 커버(41a)는 상기 주행베이스(41) 내부의 수용공간을 폐쇄하기 위해 상기 주행베이스(41)에 결합된다. 이에 따라, 상기 커버(41a)는 상기 주행구동부(42)로부터 발생하는 먼지가 상기 주행베이스(41) 외부로 비산되는 것을 차단한다.
이에 따라, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 주행구동부(42)가 상기 주행베이스(41)를 이동시키는 과정에서 발생되는 열이 상기 커버(31a)로 인해 상기 주행베이스(41)의 외부로 배출되지 못한다.
따라서, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 주행베이스(41)를 이동시키는 과정에서 발생되는 열이 상기 주행베이스(41) 내부의 온도를 높이게 됨으로써, 상기 주행구동부(42)가 과열된다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 주행구동부(42)가 과열됨에 따라 발생하는 작동오류로 인해 상기 주행구동부(42)에 대해 잦은 유지 보수 작업이 요구됨으로써, 기판 이송장치(1)에 대한 가동률이 저하될 뿐만 아니라 유지 보수비용이 증가하는 문제가 있다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 주행구동부가 과열되는 것을 방지하기 위한 주행장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치에 관한 것이다.
상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 주행장치는 기판을 이송하기 위한 구동력을 제공하는 구동부; 상기 구동부가 수용되는 수용부를 포함하고, 상기 구동부로부터 제공되는 구동력으로 이동하는 주행베이스; 및 상기 구동부로부터 발생하는 열을 방열(放熱)시키기 위해 상기 구동부 쪽으로 기체가 공급되도록 상기 수용부 내부와 외부 간에 기체를 순환시키는 순환부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 주행장치에 따르면 상기 순환부는 상기 수용부 외부의 기체를 흡입하여 상기 구동부 측으로 공급하기 위한 순환기구를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 주행장치에 따르면 상기 순환부는 상기 수용부가 형성되도록 상기 주행베이스에 결합되는 커버기구, 상기 수용부 내부와 외부 간에 기체를 순환시키기 위한 순환기구, 및 상기 수용부 내부와 외부 간에 기체가 순환되도록 상기 커버기구를 관통하여 형성되는 순환공을 포함하고; 상기 커버기구는 L(L은 0보다 큰 실수)의 높이를 갖도록 형성되는 제1커버부재를 포함하고, 상기 순환공은 상기 제1커버부재의 높이를 기준으로 L/2 이하의 높이에 위치되게 상기 제1커버부재에 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 주행장치에 따르면 상기 순환부는 상기 수용부가 형성되도록 상기 주행베이스에 결합되는 커버기구, 상기 수용부 내부와 외부 간에 기체를 순환시키기 위한 순환기구, 및 상기 수용부 내부와 외부 간에 기체가 순환되도록 상기 커버기구를 관통하여 형성되는 순환공을 포함하고; 상기 순환공은 상기 커버기구에서 상기 수용부를 향하는 내면으로부터 상기 내면에 대해 반대되는 외면을 향할수록 높이가 낮아지도록 기울어지게 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 기판 이송장치는 기판을 이송하기 위한 이송암; 상기 이송암이 위치하는 높이가 변경되도록 상기 이송암을 승강시키기 위한 승강부; 상기 이송암이 향하는 방향이 변경되도록 상기 승강부를 회전시키는 선회부; 및 상기 선회부를 이동시키기 위한 제1항 내지 제3항 중에서 어느 하나의 주행장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
본 발명은 구동부가 과열되는 것을 방지함으로써 구동부에 작동오류가 발생하는 것을 방지할 수 있고, 이에 따라 기판 이송장치에 대한 가동률을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라 유지 보수 비용을 절감할 수 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 기판 이송장치를 나타내는 블록도이고,
도 2는 본 발명에 따른 주행장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치를 나타내는 사시도이고,
도 3은 도 2의 주행장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치에서 순환부를 설명하기 위한 평면도이고,
도 4는 도 2의 주행장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치에서 기체가 순환되는 것을 나타내는 단면도이고,
도 5는 본 발명에 따른 주행장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치에서 순환공의 변형예를 나타내는 단면도이다.
본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다.
한편, 본 명세서에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 정의하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다.
"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
"적어도 하나"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 적어도 하나"의 의미는 제1항목, 제2항목 또는 제3항목 각각 뿐만 아니라 제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다.
이하에서는 본 발명에 따른 기판 이송장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 본 발명에 따른 주행장치는 본 발명에 따른 기판 이송장치에 포함되므로, 본 발명에 따른 기판 이송장치의 바람직한 실시예를 설명하면서 함께 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명에 따른 주행장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치를 나타내는 사시도이고, 도 3은 도 2의 주행장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치에서 순환부를 설명하기 위한 평면도이고, 도 4는 도 2의 주행장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치에서 기체가 순환되는 것을 나타내는 단면도이고, 도 5는 본 발명에 따른 주행장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치에서 순환공의 변형예를 나타내는 단면도이다.
본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 기판(110)을 이송하기 위한 것이다. 상기 기판(110)은 디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등의 전자부품을 제조하기 위한 것이다. 예컨대, 상기 기판(110)은 상기 전자부품을 제조하기 위한 유리기판일 수 있다. 상기 기판(110)은 금속(Metal) 기판, 폴리이미드(Polyimide) 기판, 플라스틱(Plastic) 기판 등일 수도 있다. 상기 전자부품이 디스플레이 장치인 경우, 상기 기판(110)은 2매 이상의 기판이 서로 합착된 합착기판일 수도 있다. 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 기판(110)에 대한 증착공정, 식각공정 등의 제조공정을 수행하는 공정챔버들 간에 상기 기판(110)을 이송할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 공정챔버들 및 상기 기판(110)이 저장되는 카세트 간에 상기 기판(110)을 이송할 수도 있다.
도 2 내지 도 5를 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 기판(110)을 이송하기 위한 이송암(120), 상기 이송암(120)을 승강시키기 위한 승강부(130), 상기 승강부(130)를 회전시키기 위한 선회부(140), 및 상기 선회부(140)를 이동시키기 위한 주행장치(200)를 포함한다.
상기 주행장치(200)는 상기 기판(110)을 이송하기 위한 구동력을 제공하는 구동부(210), 상기 구동부(210)로부터 제공되는 구동력으로 이동하는 주행베이스(220), 및 기체를 순환시키는 순환부(230)를 포함한다.
상기 구동부(210)는 상기 주행베이스(220)에 구동력을 제공한다. 상기 주행베이스(220)는 상기 기판(110)을 이송하기 위해 주행방향으로 상기 선회부(140)를 이동시킨다. 따라서, 상기 주행베이스(220)는 상기 이송암(120), 및 상기 승강부(130)를 이동시킴으로써, 상기 기판(110)을 이송할 수 있다.
이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)에 있어서, 상기 순환부(230)는 상기 구동부(210) 쪽으로 기체가 공급되도록 상기 수용부(221) 내부와 외부 간에 기체를 순환시킨다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 순환부(230)가 상기 수용부(221) 내부와 외부 간에 기체를 순환시킴으로써, 상기 구동부(210)가 과열되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 구동부(210)에 작동오류가 발생하는 것을 방지할 수 있고, 기판 이송장치(100)에 대한 가동률을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라 유지 보수 비용을 절감할 수 있다.
이하에서는 상기 이송암(120), 상기 승강부(130), 상기 선회부(140), 및 상기 주행장치(200)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.
상기 이송암(120)은 상기 기판(110)을 이송한다. 상기 이송암(120)은 상기 승강부(130)에 결합된다. 이에 따라, 상기 이송암(120)은 상기 승강부(130)가 상기 선회부(140)에 의해 회전됨에 따라 함께 회전될 수 있다. 상기 이송암(120)은 암베이스(121), 암바디(122), 암유닛(123) 및 지지핸드(124)를 포함할 수 있다.
상기 암베이스(121)는 상기 승강부(130)에 승강 가능하게 결합된다. 상기 암베이스(121)는 상기 승강부(130)에 의해 승강된다. 이에 따라, 상기 이송암(120)이 위치하는 높이가 변경될 수 있다.
상기 암바디(122)는 상기 암베이스(121)에 결합된다. 상기 암베이스(121)의 일측이 상기 승강부(130)에 결합되는 경우, 상기 암바디(122)는 상기 암베이스(121)의 타측에 결합될 수 있다.
상기 암유닛(123)은 상기 암바디(122)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 암유닛(123)이 이동함에 따라 상기 지지핸드(124)가 함께 이동할 수 있다. 상기 암유닛(123)은 상기 지지핸드(123)를 직선으로 이동시킬 수 있다. 이 경우, 상기 암유닛(123)은 직선으로 이동함으로써, 상기 지지핸드(123)를 직선으로 이동시킬 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 암유닛(123)은 회전 이동함으로써, 상기 지지핸드(123)를 직선으로 이동시킬 수 있다. 상기 암유닛(123)는 제 1 암기구(123a), 및 제 2 암기구(123b)를 포함할 수 있다.
상기 제 1 암기구(123a)는 상기 암바디(122)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 제 1 암기구(123a)는 모터와 볼스크류(Ball Screw) 등을 이용한 볼스크류 방식으로 이동할 수 있다. 상기 제 1 암기구(123a)는 모터와 랙기어(Rack Gear)와 피니언기어(Pinion Gear) 등을 이용한 기어 방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트 방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터(Linear Motor) 방식으로 이동할 수도 있다. 상기 암유닛(123)이 직선으로 이동하도록 구현되는 경우, 상기 제1암기구(123a)는 상기 암바디(122)에 직선으로 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 암유닛(123)이 회전 이동하도록 구현되는 경우, 상기 제1암기구(123a)는 상기 암바디(122)에 회전 가능하게 결합될 수 있다.
상기 제2암기구(123b)는 상기 제1암기구(123a)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 제1암기구(123a)는 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트 방식으로 이동할 수 있다. 상기 제1암기구(123a)는 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류 방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어 방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 방식으로 이동할 수도 있다. 상기 암유닛(123)이 직선으로 이동하도록 구현되는 경우, 상기 제2암기구(123b)는 상기 제1암기구(123a)에 직선으로 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 암유닛(123)이 회전 이동하도록 구현되는 경우, 상기 제2암기구(123b)는 상기 제1암기구(123a)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제2암기구(123b) 및 상기 제1암기구(123a)는 서로 반대되는 방향으로 회전함으로써, 상기 지지핸드(124)를 직선으로 이동시킬 수 있다.
상기 지지핸드(124)는 상기 암유닛(123)에 결합된다. 상기 지지핸드(124)는 상기 암유닛(123)이 이동함에 따라 직선으로 이동함으로써, 기판(110)을 이송할 수 있다. 상기 지지핸드(124)는 상기 제2암기구(123b)에 결합될 수 있다.
상기 이송암(120)은 복수 개의 상기 기판(110)을 이송할 수 있도록 구현될 수 있다. 이 경우, 상기 이송암(120)은 상기 제 2 암기구(123b) 및 상기 지지핸드(124)를 각각 복수 개 포함할 수 있다. 예컨대, 상기 이송암(120)이 2개의 상기 기판(110)을 이송할 수 있도록 구현되는 경우, 상기 이송암(120)은 상기 제 2 암기구(123b) 및 상기 지지핸드(124)를 각각 2개씩 포함할 수 있다. 상기 제 2 암기구(123b)들은 각각 상기 제 1 암기구(123a)를 기준으로 서로 반대편에 위치되게 상기 제 1 암기구(123a)에 결합될 수 있다. 상기 지지핸드(124)들은 각각 상기 승강부(130)가 상기 이송암(120)을 승강시키는 방향을 기준으로 서로 다른 높이에 위치되게 상기 제 2 암기구(123b)들에 결합될 수 있다.
상기 승강부(130)는 상기 이송암(120)을 승강시킨다. 이를 위해, 상기 승강부(130)에는 상기 암베이스(121)가 결합된다. 이에 따라, 상기 승강부(130)는 상기 이송암(120)이 위치하는 높이를 변경시킬 수 있다. 상기 승강부(130)는 상기 선회부(140)에 회전 가능하게 결합된다.
상기 선회부(140)는 상기 승강부(130)를 회전시킨다. 이에 따라, 상기 선회부(140)는 상기 이송암(120)이 향하는 방향을 변경시킬 수 있다. 상기 선회부(140)는 상기 주행장치(200)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 선회부(140)는 상기 주행장치(200)에 결합된 상태에서 회전축을 중심으로 회전함으로써, 상기 승강부(130)를 회전시킬 수 있다.
상기 주행장치(200)는 상기 선회부(140)를 주행방향을 따라 이동시킨다. 이에 따라, 상기 주행장치(200)는 상기 이송암(120)에 지지된 상기 기판(110)을 주행방향으로 이동시킬 수 있다. 상기 주행장치(200)는 구동부(210), 주행베이스(220), 및 순환부(230)를 포함한다.
상기 구동부(210)는 상기 주행베이스(220)를 이동시키기 위한 구동력을 제공한다. 상기 구동부(210)는 상기 주행베이스(220)를 이동시킴에 따라 상기 이송암(120), 상기 승강부(130), 및 상기 선회부(140)를 상기 주행방향을 따라 이동시킬 수 있다.
상기 주행베이스(220)는 상기 구동부(210)로부터 제공되는 구동력에 의해 상기 주행방향으로 이동한다. 예컨대, 상기 주행베이스(220)가 상기 주행방향을 따라 이동함으로써, 상기 기판(110)이 상기 주행방향을 따라 이송될 수 있다. 상기 주행베이스(220)에는 상기 선회부(140)가 결합된다. 상기 주행베이스(220)는 상기 구동부(210)가 수용되는 수용부(221)를 포함한다.
상기 수용부(221)는 상기 구동부(210)가 상기 주행베이스(220)에 수용되는 공간을 제공한다.
상기 순환부(230)는 상기 수용부(221) 외부의 기체를 흡입하여 상기 구동부(210) 측으로 공급하기 위한 순환기구(231), 상기 수용부(221)가 형성되도록 상기 주행베이스(220)에 결합되는 커버기구(232), 및 상기 수용부(221) 내부와 외부 간에 기체가 순환되도록 상기 커버기구(232)를 관통하여 형성되는 순환공(233)을 포함한다.
상기 순환기구(231)는 상기 수용부(221) 내부와 외부 간에 기체를 순환시키기 위해 상기 수용부(221) 외부의 기체를 흡입하여 상기 구동부(210) 측으로 공급할 수 있다. 상기 순환기구(231)가 상기 구동부(210) 측으로 기체를 공급할 경우, 상기 순환기구(231)는 상기 구동부(210)로부터 발생되는 열에 의해 가열된 상기 수용부(221) 내부의 기체가 상기 순환공(233)을 통해 상기 수용부(221) 외부로 배출시킬 수 있다. 상기 순환기구(231)는 팬(Fan)일 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 순환기구(231)가 상기 구동부(210) 측으로 기체를 공급함으로써, 직접적으로 상기 구동부(210)의 온도를 내릴 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 구동부(210)가 과열되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 순환기구(231)가 상기 구동부(210)로부터 발생되는 열에 의해 가열된 상기 수용부(221) 내부 기체를 상기 수용부(221) 외부로 배출시킴으로써, 상기 구동부(210)의 온도를 더 내릴 수 있다.이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 구동부(210)를 보수하는데 소요되는 시간을 더 줄일 수 있다.
따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(110)는 기판 이송장치(110)에 대한 가동률을 향상시킬 수 있으므로 상기 기판(110)을 이송시키는 작업에 있어서 효율성을 더 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라 유지 보수 비용을 절감할 수 있다.
상기 커버기구(232)는 상기 주행베이스(220)에 결합된다. 상기 커버기구(232)가 상기 주행베이스(220)에 결합됨으로써, 상기 수용부(221)가 형성될 수 있다. 상기 커버기구(232)는 제 1 커버부재(232a)를 포함한다.
상기 제 1 커버부재(232a)는 상기 수용부(221)의 일면이 마감되도록 상기 주행베이스(220)의 일면에 결합된다. 상기 제 1 커버부재(232a)는 L(L은 0보다 큰 실수)의 높이를 갖도록 형성된다. 상기 제 1 커버부재(232a)에는 상기 순환공(233)이 형성된다. 상기 제 1 커버부재(232a)의 높이는 상기 수용부(221) 일면의 높이일 수 있다.
상기 커버기구(231)는 상기 제 1 커버부재(231a)와 수직되도록 상기 주행베이스(220)에 결합되는 제 2 커버부재(231b)를 포함할 수 있다.
상기 제 2 커버부재(232b)는 상기 수용부(221)의 타면이 마감되도록 상기 주행베이스(220)의 타면에 결합된다. 상기 제 2 커버부재(232b)는 상기 제 1 커버부재(232a)와 수직되도록 상기 제 1 커버부재(232a)에 결합된다.
상기 순환공(233)은 상기 순환기구(231)가 상기 수용부(221) 내부와 외부의 기체를 순환시키는 과정에 있어서, 상기 수용부(221) 외부의 기체를 상기 구동부(210) 측으로 공급하기 위한 경로를 제공한다. 상기 순환공(233)은 상기 제 1 커버부재(232a)를 관통하여 형성된다. 상기 순환기구(231)가 상기 수용부(221) 내부와 외부 간에 기체를 순환시킬 경우, 상기 수용부(221) 내부의 기체는 상기 순환공(233)을 통해 상기 수용부(221) 외부로 배출될 수 있다. 상기 순환공(233)은 상기 제 1 커버부재(232a)의 높이(L)을 기준으로 L/2 이하의 높이에 위치되도록 상기 제 1 커버부재(232a)에 형성된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 순환공(233)이 상기 제 1 커버부재(232a)의 높이(L)를 기준으로 L/2 이하의 높이에 위치됨으로써, 상기 순환공(233)이 상기 제 1 커버부재(232a)의 높이(L)를 기준으로 L/2 높이를 초과한 위치될 경우와 비교하면, 상기 수용부(221) 내부로부터 발생되는 먼지가 상기 수용부(221) 외부로 비산되는 것을 줄일 수 있다.
또한, 상기 순환공(233)은 상기 커버기구(232)에서 상기 수용부(221)를 향하는 내면으로부터 상기 내면에 대해 반대되는 외면을 향할수록 높이가 낮아지도록 기울어지게 형성된다. 따라서, 상기 순환기구(231)가 상기 수용부(221) 내부와 외부 간에 기체를 순환시킬 경우, 상기 수용부(221) 외부로 배출되는 기체는 상기 순환공(233)을 통해 상기 수용부(221) 외부 하측으로 배출될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 수용부(221) 외부로 배출되는 기체가 상기 순환공(233)을 통해 상기 수용부(221) 외부 하측으로 배출될 수 있으므로, 상기 순환공(233)이 상기 수용부(221)의 상측을 향하도록 형성될 경우와 비교하면, 상기 수용부(221) 내부로부터 발생되는 먼지가 상기 수용부(221) 외부로 비산되는 것을 더 줄일 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
100: 기판 이송장치 110: 기판
120: 이송암 121: 암베이스
122: 암바디 123: 암유닛
123a : 제 1 암기구 123b: 제 2 암기구
124: 지지핸드 130: 승강부
140: 선회부 200: 주행장치
210: 구동부 220: 주행베이스
221: 수용부 230: 순환부
231: 순환기구 232: 커버기구
232a : 제 1 커버기구 232b: 제 2 커버기구
233: 순환공

Claims (5)

  1. 기판을 이송하기 위한 구동력을 제공하는 구동부;
    상기 구동부가 수용되는 수용부를 포함하고, 상기 구동부로부터 제공되는 구동력으로 이동하는 주행베이스; 및
    상기 구동부로부터 발생하는 열을 방열(放熱)시키기 위해 상기 구동부 쪽으로 기체가 공급되도록 상기 수용부 내부와 외부 간에 기체를 순환시키는 순환부를 포함하는 것을 특징으로 하는 주행장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 순환부는 상기 수용부 외부의 기체를 흡입하여 상기 구동부 측으로 공급하기 위한 순환기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 주행장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 순환부는 상기 수용부가 형성되도록 상기 주행베이스에 결합되는 커버기구, 상기 수용부 내부와 외부 간에 기체를 순환시키기 위한 순환기구, 및 상기 수용부 내부와 외부 간에 기체가 순환되도록 상기 커버기구를 관통하여 형성되는 순환공을 포함하고;
    상기 커버기구는 L(L은 0보다 큰 실수)의 높이를 갖도록 형성되는 제1커버부재를 포함하고,
    상기 순환공은 상기 제1커버부재의 높이를 기준으로 L/2 이하의 높이에 위치되게 상기 제1커버부재에 형성되는 것을 특징으로 하는 주행장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 순환부는 상기 수용부가 형성되도록 상기 주행베이스에 결합되는 커버기구, 상기 수용부 내부와 외부 간에 기체를 순환시키기 위한 순환기구, 및 상기 수용부 내부와 외부 간에 기체가 순환되도록 상기 커버기구를 관통하여 형성되는 순환공을 포함하고;
    상기 순환공은 상기 커버기구에서 상기 수용부를 향하는 내면으로부터 상기 내면에 대해 반대되는 외면을 향할수록 높이가 낮아지도록 기울어지게 형성되는 것을 특징으로 하는 주행장치.
  5. 기판을 이송하기 위한 이송암;
    상기 이송암이 위치하는 높이가 변경되도록 상기 이송암을 승강시키기 위한 승강부;
    상기 이송암이 향하는 방향이 변경되도록 상기 승강부를 회전시키는 선회부; 및
    상기 선회부를 이동시키기 위한 제1항 내지 제4항 중에서 어느 하나의 주행장치를 포함하는 기판 이송장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US20190013504A1 (en) * 2016-01-15 2019-01-10 Samsung Sdi Co., Ltd. Separator for secondary battery and lithium secondary battery comprising same
CN109531620A (zh) * 2018-12-12 2019-03-29 福州麦辽自动化设备有限公司 一种自动机器人手臂

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20190013504A1 (en) * 2016-01-15 2019-01-10 Samsung Sdi Co., Ltd. Separator for secondary battery and lithium secondary battery comprising same
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