KR20020053000A - 오토핸들러 및 측정방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 각 처리장치당 총처리시간을 단축하여 연속적으로 수행하는 오토핸들러에 관한 것이다. 보다 상세하게 상기 오토핸들러는, 미측정의 장치가 장착된 트레이(tray)가 있는 로더(loader)와; 측정준비위치로 트레이를 이송하기 위한 공급셔틀(sending shuttle)과; 측정준비위치에서 대기하는 공급셔틀상의 트레이를 유지하기 위한 측정스테이지(test stage)와; 순차적으로 트레이에 확보된 장치를 이송하고, 트레이를 수용준비위치로 이송하고, 수용준비위치에서 측정스테이지로부터 트레이를 수용하기 위한 수용셔틀(receiving shuttle)과; 수용버퍼(receiving buffer)로 트레이를 이송하고, 측정부에 의해 수행된 측정결과에 기초하여, 수용셔틀상의 트레이내의 장치를 분류하기 위한 분류부를 구성한다.

Description

오토핸들러 및 측정방법{AUTOHANDLER AND TESTING METHOD}

본 발명은, 미측정의 장치를 측정부로 이송하고, 측정부에서의 측정결과에 기초하여 측정 완료된 장치를 분류 수용하는 오토핸들러에 관한 것이다.

종래의 오토핸들러의 구성은 도 5를 참조한다.

종래의 오토핸들러는, 로더(51), 공트레이버퍼(52), 언로더(53), 분류유닛(54), 공급핸드(55), 공급셔틀(56), 측정핸드(57), 수용셔틀(58) 및 수용핸드(59)를 구비한다.

상기 로더(51)는, 복수의 트레이(50)를 수용하고, 각 트레이(50)는 미측정된 복수의 IC(1)(장치)를 탑재한다. 상기 트레이(50)내의 각 IC(1)는 공급핸드(55)에 의해 순차적으로 빼내지고, IC(1)가 모두 빼내져서 빈 것이 된 트레이(50)는 공트레이버퍼(52)로 이송한다.

상기 공트레이버퍼(52)는 빈 것이 된 트레이(50)를 일시적으로 수용한다.

상기 언로더(53)는 복수의 트레이(50)를 수용하고, 각 트레이(50)는 양품(良品)으로 판정된 측정 완료된 복수의 IC(1)를 수용한다. 언로더(53)는 공트레이버퍼(52)에서 이송되는 공트레이(50)를 수용하여 수용한 공트레이(50)에양품으로 판정된 측정 완료된 IC(1)를 충전시킨다.

분류유닛(54)은 하나의 트레이(50)를 탑재하고, 그 트레이(50)에는 불량품으로 판정된 측정 완료된 IC(1)를 수용한다.

공급핸드(55)는 로더(51)에 수용되는 트레이(50)내의 미측정의 IC(1)를 한 개씩 흡착시켜서 공급셔틀(56)상으로 이송한다.

공급셔틀(56)은, 공급핸드(55)로부터 수용한 IC(1)를 하나씩 측정핸드(57)의 흡착위치(S2)로 이송한다.

측정핸드(57)는 공급셔틀(56)상의 IC(1)를 흡착한 후, 회전아암(arm)(60)의 회전에 의해 180도 선회해서 흡착한 IC(1)를 IC소켓(4)(측정부)과 대향하는 위치로 이송한다.

이어서 IC(1)를 IC소켓(4)에 압축접촉으로 접촉시킨 후 소정시간이 경과하면[즉 IC(1)의 전기적특성의 측정이 종료되면], IC(1)를 IC소켓(4)으로부터 이탈시킨다.

그 후 회전아암(60)의 회전에 의해 180도 선회하여 흡착한 IC(1)를 수용셔틀(58)상으로 이송한다.

수용셔틀(58)은, 측정핸드(57)로부터 측정이 완료된 IC(1)를 수용해서 수용한 IC(1)를 한 개씩 수용핸드(59)의 흡착위치(S4)로 이송한다.

수용핸드(59)는, 수용셔틀(58)상의 IC(1)를 흡착해서 양품으로 판정된 IC(1)를 언로더(53)로 이송하는 한편, 불량품으로 판정된 IC(1)를 분류유닛(54)으로 이송한다.

IC소켓(4)은 측정핸드(57)의 선회궤도의 바로 아래에 배치되고, 도시를 생략한 IC측정기와 전기적으로 접속한다.

IC소켓(4)에는 접촉자가 설치되고, 접촉자는 IC의 리드가 접촉한 상태에서 IC(1)의 전기적 특성을 측정한다.

다음, 상기 자동처리장치 각부의 동작과 처리시간에 대해서 도 6을 참조하여 설명한다.

공급핸드(55)의 동작은, 공급셔틀(56)상으로부터 로더(51)로 이동하는 공정, 로더(51)의 IC(1)를 흡착하는 공정, 로더(51)로부터 공급셔틀(56)상으로 이동하는공정, 공급셔틀(56)상에서 IC(1)의 흡착을 해제하는 공정으로 이루어지고, 이들 일련의 동작을 실행하는 한 주기로는 3.8초가 필요하다.

결국, 로더(51)의 미측정IC(1)를 공급셔틀(56)상에 이송하는 데에 IC(1) 1개당 3.8초를 요한다.

공급셔틀(56)의 동작은, 공급핸드(55)의 흡착해제위치(S1)로부터 측정핸드(57)의 흡착위치(S2)로 이동하는 공정, 및 측정핸드(57)의 흡착위치(S2)로부터 공급핸드(55)의 흡착해제위치(S1)로 이동하는 공정으로 이루어진다.

여기서 공급셔틀(56)이 공급핸드(55)로부터 IC(1)를 수용하는 경우, 및 측정핸드(57)에 IC(1)를 인도하는 경우, 각각의 위치(S1), (S2)에서 정지가 필요하므로, 공급셔틀(56)은 상기 공정의 한 주기를 수행하는데 2.4초가 필요하다.

이에 따라 공급핸드(55)로부터 수용한 IC(1)를 측정핸드(57)에 인도하는 데에는 IC(1) 1개당 2.4초가 필요하다.

측정핸드(57)의 동작은 공급셔틀(56)상의 IC(1)를 흡착하는 공정, 공급셔틀(56)상으로부터 IC소켓(4)의 대향위치로 회전시키는 공정, 흡착한 IC(1)를 IC소켓(4)에 접촉시키는 공정, IC소켓(4)의 대향위치로부터 수용셔틀(58)상으로 회전시키는 공정, 수용셔틀(58)상에서 IC(1)의 흡착을 해제하는 공정으로 이루어지고, 이들 일련의 동작을 실행하는 한 주기로 3.0초가 소요된다.

결국, IC(1)의 전기적 특성을 측정하는 데에 IC(1)당 3.0초를 요한다.

또한, 양 측정핸드(57)는 상기 한 주기의 동작을 교대로 실행하고, 대기중의 측정핸드(57)는 모두 회전동작만을 실행한다.

수용셔틀(58)의 동작은, 측정핸드(57)의 흡착해제위치(S3)로부터 수용핸드(59)의 흡착위치(S4)로 이동하는 공정, 수용핸드(59)의 흡착위치(S4)로부터 측정핸드(57)의 흡착해제위치(S3)로 이동하는 공정으로 이루어진다.

상기 수용셔틀(58)의 경우, 공급셔틀(56)의 경우와 마찬가지로 각각의 위치(S3)·(S4)에서 정지가 필요하기 때문에 한 주기를 수행하는 데에 2.4초가 필요하다.

결국, 측정핸드(57)로부터 수용한 IC(1)를 수용핸드(59)에 인도하는 데에 IC(1)개당 2.4초를 요한다.

수용핸드(59)의 동작은, 수용셔틀(58)상의 IC(1)를 흡착하는 공정, 수용셔틀(58)상으로부터 언로더(53) 또는 분류유닛(54)으로 이동하는 공정, 언로더(53) 또는 분류유닛(54)에서 IC(1)의 흡착을 해제하는 공정, 언로더(53) 또는 분류유닛(54)으로부터 수용셔틀(58)상으로 이동하는 공정으로 이루어지고, 이들일련의 동작을 실행하기 위해 한 주기에 3.8초를 요한다.

결국, 측정 완료된 IC(1)를 수용셔틀(58)로부터 언로더(53) 또는 분류유닛(54)에 이송하는 데에 IC(1) 1개당 3.8초가 필요하다.

종래의 오토핸들러에 있어서는, 측정핸드(57)가 한주기의 동작을 실행하는데 요하는 시간보다 공급핸드(55)나 수용핸드(59)가 1주기의 동작을 실행하는 데에 요하는 시간이 길기 때문에, IC(1) 1개당 측정시간[IC(1)과 IC소켓(4)의 접촉시간]을 아무리 단축해도 IC(1) 1개당 총처리시간을 단축할 수 없다는 문제점이 있었다.

결국, 측정시간이 짧은 IC(1)의 경우 공급핸드(55)나 수용핸드(59)에 의한 IC(1)의 이송처리가 병목현상을 일으켜 측정핸드(57)에 의한 IC(1)의 측정처리에 있어서 대기시간이 발생하여 오토핸들러 전체 처리효율이 떨어지는 문제점이 있다.

이에 따라 본 발명은, 오토핸들러에 의한 장치의 연속처리에서, 각 장치당 총처리시간을 단축하는 것을 목적으로 한다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 오토핸들러의 개략적인 구성을 나타내는 평면도.

도 2는 도 1의 오토핸들러의 구성을 나타내는 정면도.

도 3은 오토핸들러의 측정스테이지의 동작을 나타내는 도면.

도 4는 도 1의 오토핸들러로 실행되는 각 처리의 타임차트를 나타내는 도면.

도 5는 종래의 오토핸들러의 구성예를 나타내는 평면도.

도 6은 도 5의 오토핸들러로 실행되는 각 처리의 타임차트를 나타내는 도면.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

1. IC(장치) 2. 트레이

2a. 오목부 2b. 접속용개구부

2c, 2e. 안내구멍 3. 리드

4. IC소켓 5. 접촉자

11. 로더 12. 공급셔틀

13. 수용셔틀 14. 수용핸드

15. 언로더 16. 분류유닛

20. 측정스테이지 21. 트레이파지부

22. 베이스부 24. 개폐클램프

25. 접촉푸셔 26, 27. 가이드핀

100. 오토핸들러

본 발명은 상기에 기술한 바와 같은 종래 문제점을 감안하여 제안된 것으로서, 본 발명은 예를들어, 도 1 및 도 2에 나타난 바와 같이, 미측정의 장치[예컨데 IC(1) 등]를 측정부[예컨데 IC소켓(4) 등]로 이송하고, 상기 측정부에서의 측정결과에 기초하여 측정 완료된 장치를 분류수용하는 오토핸들러(100)로서, 상기 오토핸들러는: 미측정의 장치가 복수 탑재된 트레이(2)를 수용하는 로더(11)와; 상기 로더의 트레이를 측정준비위치(P1)로 이송하는 공급셔틀(12)과; 상기 측정준비위치에서 대기하는 공급셔틀상의 트레이를 유지하고 상기 유지한 트레이내의 미측정장치를 트레이에 탑재시킨 상태에서 순차적으로 상기 측정부로 이송함과 동시에, 트레이내의 모든 장치에 대해서 상기 측정부에서의 측정이 종료된 곳에서 트레이를 수용준비위치(P2)로 이송하는 측정스테이지(20)와; 상기 수용준비위치에서 상기 측정스테이지로부터 트레이를 수용하여 수용한 트레이를 수용버퍼(P3)로 이송하는 수용셔틀(13)과; 상기 수용버퍼에서 대기하는 상기 수용셔틀상의 트레이에 탑재되는 측정 완료된 장치를 상기 측정부에서의 측정결과에 기초해서 분류수용하는 분류수용부[예컨데, 언로더(15), 분류유닛(16), 및 수용핸드(14)에 의해 구성되는 분류수납부 등]를 구비한 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제 1측면에 의하면, 트레이내의 미측정장치를 트레이에 탑재시킨 상태에서 순차적으로 측정부로 이송하는 구성이므로, 미측정장치를 하나씩 측정부로 이송하는 경우와 비교하면, 미측정장치를 측정부로 이송하는 때의 각 장치당의 처리시간을 보다 단축시키는 것이 가능하다.

따라서, 측정시간이 짧은 장치라도 장치당의 측정시간을 단축시킴므로써 한 장치당 총처리시간을 단축시킬 수 있다.

또한, 공급셔틀, 측정스테이지 및 수용셔틀의 각각이 트레이마다 장치를 이송하기 때문에 장치의 교체탑재작업을 생략할 수 있다.

따라서, 장치의 외관불량이나 정전파괴 등의 발생을 격감시킬 수 있다.

본 발명의 제 2측면에 있어서, 오토핸들러는 예를들어, 도 3에 나타난 바와 같이, 트레이(2)에 장치를 수용하는 복수의 오목부(2a)를 형성하고, 이 오목부의저면에는 오목부에 수용한 장치의 리드(3)를 트레이의 아래쪽으로 임하게 하는 접속용개구부(2b)를 형성하는 것을 특징으로 한다.

상기 본 발명의 제 2측면에 의하면, 트레이에 복수의 오목부를 형성하여 각 오목부의 저면에 접속개구부를 형성시킴으로써, 복수의 장치를 일시에 이송하는 것이 가능함과 동시에, 트레이에 수용된 상태에서 장치의 전기적 특성을 측정하는 것이 가능하다.

본 발명의 제 3측면에 의하면, 상기 제 1 또는 제 2측면에 의한 오토핸들러에 있어서, 예를들어 도 3에 나타난 바와 같이, 상기 측정스테이지(20)는 트레이(2)를 파지(把持)하는 트레이파지부(21)와, 상기 트레이파지부를 수평방향으로 이동시키는 XY스테이지와, 상기 트레이파지부를 승강시키는 엘리베이터를 구비하고, 상기 XY스테이지는 상기 트레이파지부를 수평방향으로 이동시킴으로서, 트레이내의 장치를 순차적으로 상기 측정부에 대향배치시키고, 상기 엘리베이터는 상기 트레이파지부를 승강시켜서 상기 측정부에 대향배치된 트레이내의 장치를 상기 측정부에 접촉이간시키는 것을 특징으로 한다.

상기 제 3측면에 따른 본 발명에 의하면, XY스테이지가 트레이파지부를 수평방향으로 이동시키므로서 트레이내의 장치를 순차적으로 측정부로 대향배치하고, 엘리베이터가 트레이파지부를 승강시키므로서 측정부에 대향배치된 트레이내의 장치를 측정부에 접촉이간한다.

따라서, 트레이에 수용한 상태인 채로 각 장치를 측정부에 이송 할 수 있다.

제 4측면에 의한 본 발명은, 상기 제 3측면의 오토핸들러에 있어서, 예를들면 도 3에 나타난 바와 같이, 트레이(2)에 걸어맞추어지는 부[예컨데 안내구멍(2e) 등]를 형성함과 동시에, 트레이파지부(21)에는 상기 걸어맞추어지는 부와 걸어맞춤이탈이 자유로운 걸어맞춤 부[예컨데 가이드핀(26) 등]를 설치하고, 상기 걸어맞춤 부와 걸어맞추어지는 부가 걸어맞추어진 상태에서 트레이가 상기 트레이파지부에 대해서 위치결정되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제 4측면에 의하면, 트레이에 걸어맞추어지는 부를 형성하고, 트레이파지부에 걸어맞추어지는 부와, 걸어맞춤이탈이 자유로운 걸어맞춤 부를 형성함으로써 트레이파지부에 대해서 트레이를 정확히 위치결정하는 것이 가능하게 된다.

따라서, 트레이내의 장치를 측정부에 정확히 이송시킬 수 있다.

본 발명의 제 5측면에 의하면, 상기 제 4측면의 오토핸들러에 있어서, 예를들면 도 3에 나타난 바와 같이, 트레이파지부(21)에는 상기 걸어맞춤부를 갖는 베이스부(22)를 설치하고, 상기 베이스부(22)에는 트레이(2)내의 각 장치를 트레이에 압축접촉되는 접촉푸셔(contact pusher)(25)를 부착하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제 5측면에 의하면, 접촉푸셔가 트레이내의 각 장치를 트레이에 압축접촉하기 때문에 트레이로부터 각 장치가 쏟아져 떨어지는 것을 방지할 수 있으면서, 측정부에 설치되는 접촉자 등의 접속부분에 각 장치의 리드를 확실히 접촉시킬 수 있다.

본 발명의 제 6측면에 의하면, 제 5측면에 기재된 오토핸들러에 있어서, 예를들어 도 3에 나타난 바와 같이, 접촉푸셔(25)를 트레이(2)내의 각 장치마다에 설치하고, 각 접촉푸셔(25)는 헐거운 상태로 베이스부(22)에 부착하는 것을 특징으로 한다.

상기 제 6측면에 의하면, 각 접촉푸셔가 헐거운 상태로 베이스부에 부착되기 때문에, 장치의 수용위치에 다소의 불균일이 있다해도, 상기 불균일을 흡수할 수 있으며, 각 접촉푸셔로 각 장치를 안정된 상태로 압축접촉 시킬 수 있다.

본 발명의 제 7측면에 의하면, 상기 제 1측면 내지 6측면 중 어느 한 측면에 따른 오토핸들러에 있어서, 예를들면 도 1 및 도 2에 나타난 바와 같이, 상기 분류수용부는 양품으로 판정된 측정 완료된 장치를 수용하는 언로더(unloader)(15)와, 불량품으로 판정된 측정 완료된 장치를 수용하는 분류유닛(16)과, 수용버퍼(P3)에서 대기하는 수용셔틀(13)상의 트레이(2)에 탑재되는 측정완료 장치중에서 불량품으로 판정된 장치만을 빼내서 상기 분류유닛에 이송하는 불량품이송수단(예컨데 수용핸드 등)과, 불량품으로 판정된 장치가 제거되고 양품으로 판정된 장치만이 수용된 트레이를 상기 수용셔틀로부터 상기 언로더로 이송하는 양품이송수단(예컨데 수용핸드 등)을 구비한 것을 특징으로 한다.

상기 제 7측면에 의하면, 불량품으로 판정된 장치를 트레이로부터 제거하여 분류유닛에 수용하고, 양품으로 판정된 장치를 트레이에 탑재된 상태로 언로더에 수용한다.

따라서, 양품으로 판정된 장치를 언로더에서 교체탑재시키는 작업을 생략하는 것이 가능하다.

본 발명의 제 8측면에 따른 오토핸들러에 있어서, 불량품으로 판정된 장치가상기 불량품이송수단에 의해 상기 분류유닛으로 이송된 후에 불량품으로 판정된 장치가 제거됨에 따라 생기는 트레이의 빈위치에 대해, 양품으로 판정된 장치를 보충함으로써 트레이내를 가득 채운 상태의 보충수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.

상기 제 8측면에 의하면, 불량품으로 판정된 장치가 제거됨으로써 생긴 트레이의 빈위치에 양품으로 판정된 장치가 보충되기 때문에 양품으로 판정된 장치가 언로더의 트레이내에 간극없이 충전된다.

(실시예)

다음에 도면을 참조하여 본 발명의 실시 형태를 상세히 설명한다.

우선 구성을 설명한다.

도 1 및 도 2에 나타난 바와 같이, 본 발명에 따른 오토핸들러(100)는, 로더(11), 공급셔틀(12), 측정스테이지(20), 수용셔틀(13), 수용핸드(14), 언로더(15) 및 분류유닛(16)을 구비한다.

상기 로더(11)에 승강 자유롭게 유지된 트레이탑재대(11A)를 설치하고, 트레이탑재대(11A)상에는 미측정의 IC(1)(장치)를 복수개 수용한 트레이(2)를 적층해서 탑재한다.

로더(11)에는 트레이탑재대(11A)상에 적층된 트레이(2)의 상단위치를 검출하는 트레이검출센서(도시생략)를 설치함과 동시에, 트레이탑재대(11A)상에 적층된 최상단의 트레이(2)를 분리하는 분리기구를 설치한다.

분리기구는, 예를들면 상호 대향배치된 한쌍의 지지아암(11B), 각 지지아암(11B)을 상호 근접 이간시키는 방향으로 수평이동시키는 실린더장치(도시생략) 등으로 구성된다.

예를들면, 트레이탑재대(11A)상에 적층된 최상단의 트레이(2)를 분리하는 경우, 최상단의 트레이(2)를 지지아암(11B)의 높이위치에 배치하기 위해 트레이검출센서의 검출에 기초하여 트레이탑재대(11A)의 높이를 조정한다.

다음에 실린더장치의 구동에 의해 지지아암(11B)을 상호 근접시켜 최상단의 트레이(2)를 지지아암(11B)으로 끼워 유지하게 한다.

그 다음 트레이탑재대(11A)를 하강시킴으로서 최상단의 트레이(2)를 트레이탑재대(11A)상의 다른 트레이(2)로부터 분리한다.

공급셔틀(12)은, 트레이(2)를 탑재시키는 트레이탑재부(12A)를 가지며, 로더(11)와 측정스테이지(20) 사이를 왕복한다.

공급셔틀(12)은, 로더(11)의 분리기구에 의해 분리된 최상단의 트레이(2)를 수용하며, 상기 수용한 트레이(2)를 측정스테이지(20)의 아래쪽의 측정준비위치(P1)로 이송한다. 그리고, 측정준비위치(P1)에서 트레이탑재부(12A)상의 트레이(2)를 인도하고, 인도종료 후 다음의 트레이(2)를 수용하기 위해 로더(11)로 복귀한다.

측정스테이지(20)는, 측정준비위치(P1)에서 대기하는 공급셔틀상(12)의 트레이(2)를 파지하며, 상기 파지한 트레이(2)내의 미측정IC(1)를 트레이(2)에 탑재시킨 상태로 순차 IC소켓(4)(측정부)으로 이송한다. 그리고 트레이(2)내부의 모든 IC(1)에 대한 측정이 종료된 위치에서 트레이(2)를 수용준비위치(P2)로 이송한다.

수용셔틀(13)은, 트레이(2)를 탑재시키는 트레이탑재부(13A)를 가지며, 수용준비위치(P2)와 수용버퍼(P3) 사이를 왕복한다.

수용셔틀(13)은, 수용준비위치(P2)에서 측정스테이지(20)로부터 트레이(2)를 수용해서 수용한 트레이(2)를 수용버퍼(P3)로 이송한다.

그리고, 수용버퍼(P3)에서 트레이탑재부(13A)상의 트레이(2)를 인도하고, 인도종료 후 다음의 트레이(2)를 수용하기 위해 수용준비위치(P2)로 복귀한다.

수용핸드(14)는, 본 발명에 따른 불량품이송수단을 구성하므로써, 수용버퍼(P3)에서 대기하는 수용셔틀(13)상의 트레이(2)에 탑재되는 측정 완료된 IC(1)중에서 불량품으로 판정된 IC(1)만을 빼내어 분류유닛(16)으로 이송한다.

또, 수용핸드(14)는 본 발명에 따른 양품이송수단도 겸하며, 불량품으로 판정된 IC(1)가 제거됨에 따라 양품으로 판정된 IC(1)만이 수용된 트레이(2)를 수용셔틀(13)에서 언로더(15)로 이송한다.

상기 언로더(15)는 승강이 자유롭게 유지된 트레이탑재대(15A)를 구비한다. 언로더(15)는, 양품으로 판정된 IC(1)만이 수용된 트레이(2)를 수용핸드(14)에서 수용하고 상기 수용한 트레이(2)를 트레이탑재대(15A)상에 적층해서 탑재시킨다.

상기 분류유닛(16)은 불량품 수용트레이(16A)를 구비하고, 불량품 수용트레이(16A)에 불량품으로 판정된 IC(1)를 수용한다.

결국, 분류유닛(16), 언로더(15) 및 수용핸드(14)에 의해 본 발명의 분류수용부가 구성된다.

다음은 측정스테이지(20)의 구성을 상세히 기술한 것이다.

상기 측정스테이지(20)는 트레이(2)를 파지하는 트레이파지부(21), 트레이파지부(21)를 승강시키는 엘리베이터(도시생략), 트레이파지부(21)를 수평방향으로 이동시키는 XY스테이지(도시생략)로 이루어진다.

상기 엘리베이터는 트레이파지부(21)를 승강시킴으로서 IC소켓(4)에 대향배치된 트레이(2)내의 IC(1)를 IC소켓(4)에 근접 이간시킨다.

엘리베이터는 주지된 장치로 구성되는 것으로, 예를들어 트레이파지부(21)를 수직방향으로 이동이 자유롭게 지지하는 지지부, 구동원인 모터, 모터의 출력축의 회전운동을 트레이파지부(21)의 승강운동으로 변환시키는 동력전달기구(예컨데, 랙·피니언기구, 볼나사기구) 등으로 구성된다.

상기 XY스테이지는 트레이파지부(21)를 수평방향으로 이동시킴으로써 트레이(2)내의 IC(1)를 순차적으로 IC소켓(4)에 대향배치시킨다.

XY스테이지는 주지된 장치로 구성되는 것으로, 예를들어 트레이파지부(21)를 지지하는 지지부를 X축방향(수평면내의 한방향)으로 이동이 자유롭게 유지하는 X축슬라이드테이블, X축슬라이드테이블을 Y축방향(수평면내에서, X축과 직각으로 교차하는 방향)으로 이동이 자유롭게 유지하는 Y축슬라이드테이블, 구동원인 X축 및 Y축모터, X축모터의 출력축의 회전운동을 지지부의 X축방향으로의 직선운동으로 변환시키는 X축동력전달기구, Y축모터의 출력축의 회전운동을 X축슬라이드테이블의 Y축방향으로의 직선운동으로 변환시키는 Y축동력전달기구 등으로 구성된다.

도 3에 나타나는 바와 같이, 트레이파지부(21)는, 베이스부(22), 접촉푸셔(25), 개폐클램프(24) 및 가이드핀(26, 27)으로 이루어진다.

상기 베이스부(22)는, 기판(22A)의 하면에 푸셔베이스부(22B)를 부착시킨 것으로, 엘리베이터에 의해 수평방향으로 이동이 자유롭게 유지되면서 XY스테이지에 의해 승강 자유롭게 유지된다.

상기 개폐클램프(24)는, 한쌍의 지지아암(24a)으로 이루어지고, 각 지지아암(24a)은 요동 자유로운 상태로 기판(2A)의 각 측면단말부에 설치되어 있다.

각 지지아암(24a)에는 도시를 생략한 실린더장치가 부착되며, 각 실린더장치의 구동에 의해 도 3(a)의 상태와 도 3(b)의 상태와 같이 각각으로 가역적으로 회전변환가능하게 된다.

또, 각 지지아암(24a)의 선단부에는 내측쪽으로 돌출하는 걸어맞춤부(24b)가 설치되어 있다.

도 3(b)에 나타나는 바와 같이, 각 지지아암(24a)의 선단부가 아래쪽으로 향해서 개폐클램프(24)가 폐쇄된 상태의 경우, 각 지지아암(24a)의 사이에 끼워진 트레이(2)가 각 지지아암(24a)선단의 걸어맞춤부(24b)에 의해 아래쪽방향으로의 이동이 규제된 상태가 됨으로써 트레이(2)가 트레이파지부(21)로부터 이탈불가능한 상태[결국, 트레이파지부(21)에 의해 파지된 상태]가 된다.

이 상태로부터 실린더장치의 구동에 의해 지지아암(24a)의 선단부가 상호 이간하는 방향으로 회전함으로써 개폐클램프(24)가 개방된 상태로 변환되면, 각 걸어맞춤부(24b)에 의한 상기 규제가 해제되어, 트레이(2)가 해방된 상태가 된다.

가이드핀(26)은 푸셔베이스부(22B)의 하면으로부터 아래쪽으로 향해서 세워서 설치된다.

가이드핀(26)은 본 발명에 따른 걸어맞춤부를 구성하고, 개폐클램프(24)로 트레이(2)를 파지한 때에, 트레이(2)의 안내구멍(2e)(걸어맞추어지는 부)에 끼워넣어진다.

이에 의해, 개폐클램프(24)로 파지된 트레이(2)가 트레이파지부(21)에 대하여 위치결정된다.

상기 접촉푸셔(25)는, 그 하단부가 아래쪽으로 돌출한 상태에서 또한 헐겁게 유지된 상태로 베이스부(22)에 설치되어 있다.

접촉푸셔(25)는, 트레이(2)의 각 오목부(2a)(후술)에 대응하는 복수개가 설치되며, 개폐클램프(24)로 트레이(2)를 파지한 때에, 각 접촉푸셔(25)의 하단부가 각 오목부(2a)에 끼워넣어지므로, 각 오목부(2a)내의 IC(1)를 트레이(2)에 압축접촉하는 구성을 이룬다.

각 접촉푸셔(25)의 하단부에는, IC(1)의 리드(3)를 IC소켓(4)의 접촉자(5)에 압축접촉시키는 압축접촉부(25a)가 아래쪽으로 돌출하는 상태로 설치되고, 각 접촉푸셔(25) 상단의 플랜지부(25b)에는 푸셔베이스부(22B)의 연출부(22c)를 상하로 관통하는 상태로 가이드핀(27)이 아래쪽으로 향하여 세워 설치되어 있다.

IC소켓(4)(측정부)은 측정스테이지(20)의 아래쪽에 배치되고, IC측정기(도시생략)와 전기적으로 접속된다.

IC소켓(4)의 상면 구석부에는, 위쪽으로 향하여 가이드핀(4a)이 세워 설치되어 있다.

또한, IC소켓(4)의 상면중앙에는 한쌍의 접촉자(5)가 위쪽으로 돌출하는 상태로 설치되고, 각 접촉자(5)에 IC(1)의 리드(3)가 접촉한 상태에서, IC(1)의 전기적특성이 측정된다.

트레이(2)는 직사각형 판상으로 형성되어 복수단으로 적층가능하도록 구성된다.

트레이(2)에는 IC(1)를 수평자세로 수용하는 평면상에서 직사각형의 오목부(2a)가 종횡으로 나란히 복수개 형성되고, 각 오목부(2a)의 저면에는 오목부(2a)에 수용한 IC(1)를 위치결정하는 리브(2f)가 돌출설치됨과 동시에, 오목부(2a)에 수용한 IC(1)의 리드(3)를 트레이(2)의 아래쪽으로 임하는 접속용 개구부(2b)가 형성되어 있다.

따라서, 트레이(2)에 수용한 상태에서 IC(1)의 전기적 특성을 측정하는 것이 가능하다.

또한, 트레이(2)에는 트레이파지부(21)의 각 가이드핀(26, 27)을 통과시키는 안내구멍(2e, 2c)이 상하로 관통하는 상태로 형성됨과 동시에, IC소켓(4)의 각 가이드핀(4a)을 통과시키는 안내구멍(2d)이 상하로 관통하는 상태로 형성되어 있다.

다음은 측정스테이지(20)의 동작을 상세히 기술한 것이다.

측정준비위치(P1)에서 대기하는 공급셔틀(12)상의 트레이(2)를 유지한다.

즉, XY스테이지가 트레이파지부(21)를 공급셔틀(12)상의 트레이(2)와 대향하는 위치에 수평이동시킨 후, 엘리베이터가 트레이파지부(21)를 하강시켜 트레이파지부(21)의 각 가이드핀(26, 27)을 트레이(2)의 각 안내구멍(2e, 2c)에 끼워넣음과 동시에 각 접촉푸셔(25)의 하단부를 트레이(2)의 각 오목부(2a)에 끼워 넣는다.

이로 인해 트레이(2)가 베이스부(22) 및 각 접촉푸셔(25)에 대해 위치결정됨과 동시에 트레이(2)의 각 오목부(2a)에 수용되는 각 IC(1)가 각각에 대응하는 접촉푸셔(25)에 의해 압축접촉된다.

이 상태에서 실린더장치의 구동에 의해 개폐클램프(24)가 폐쇄된 상태로 변환되고, 이로 인해 도 3(b)에 나타내는 바와 같이 공급셔틀(12)상의 트레이(2)가 트레이파지부(21)에 파지된 상태가 된다.

다음 트레이파지부(21)로 파지한 트레이(2)내의 각 IC(1)를 트레이(2)에 탑재된 상태로 순차적으로 IC소켓(4)으로 이송한다.

즉, XY스테이지가 트레이파지부(21)를 수평이동시킴으로서 트레이(2)내의 임의의 IC(1)(이하 제1의 IC로한다)를 IC소켓(4)과 대향하는 위치로 수평이동시킨 후, 엘리베이터가 파지부(21)를 하강시킴으로써 상기 제1의 IC를 IC소켓(4)에 이송한다.

그 때에 트레이(2)의 안내구멍(2d)에 IC소켓(4)의 가이드핀(4a)이 끼워넣어져서 상기 제1의 IC가 IC소켓(4)에 대해 위치결정된다.

또, 상기 제1의 리드(3)가 IC소켓(4)의 접촉자(5)와 접촉푸셔(25)의 압축접촉부(25a) 사이에 끼워진 상태가 됨에 따라, 상기 제1의 IC의 리드(3)가 IC소켓(4)의 접촉자(5)에 접촉된다.

상기 상태에서 상기 제1의 IC의 전기적 특성을 측정하고, 측정이 종료되면, 엘리베이터가 트레이파지부(21)를 상승시킴으로서 트레이(2)를 IC소켓(4)에서 이탈시킨다.

그다음, XY스테이지가 트레이파지부(21)를 수평 이동시킴으로서 트레이(2)내의 별도의 IC(1)[이하, 제2의 IC라 한다]을 IC소켓(4)과 대응하는 위치에 수평이동시켜 상기 제1의 IC와 동일한 형태로 상기 제2의 IC를 IC소켓(4)으로 이송한다.

그후, 상기 일련의 동작을 반복하여 트레이(2)내의 각 IC(1)를 순차적으로 IC소켓(4)으로 이송한다.

이에 따라 트레이(2)내의 모든 IC(1)의 전기적 특성의 측정이 종료되면, 수용준비위치(P2)에서 대기하는 수용셔틀(13)상에 트레이(2)를 이송한다.

즉, XY스테이지가 트레이파지부(21)를 수용셔틀(13)상에 수평이동시킨 후 엘리베이터가 파지부(21)를 하강시켜서 트레이(2)를 수용셔틀(13)상에 탑재한다.

그후, 실린더장치의 구동에 의해 개폐클램프(24)가 개방된 상태로 변환되고, 이로 인해 걸어맞춤부(24b)에 의해 걸어맞춤이 해제됨에 따라 트레이(2)가 수용셔틀(13)상에서 해방된다.

이에 따라 수용셔틀(13)상에 트레이(2)를 이송하는 것이 종료되면, 다음의 트레이(2)를 수용하도록 측정준비위치(P1)로 이동한다.

다음에 상기 오토핸들러(100)에 의해 실행되는 각 처리에 대해서 도 4를 참조하여 설명한다.

우선 로더(11)로부터 측정스테이지(20)로 트레이(2)를 이송하는 처리를 실행한다.

상기 처리는 공급셔틀(12)이 로더(11)의 트레이(2)를 측정준비위치(P1)로 이송하는 공정, 측정준비위치(P1)에서 대기하는 공급셔틀(12)상의 트레이(2)를 트레이파지부(21)가 파지하는 공정으로 이루어지고, 전체적으로 3.0초가 필요하다.

트레이(2)내에는 복수의 미측정IC(1)가 수용되기 때문에 IC 한 개당의 처리시간이 3.0초 미만이 된다.

예를들어, 트레이(2)에 수용되는 IC(1)의 수량이 10개인 경우, IC 한 개당의 처리시간은 0.3초가 된다.

이어서 트레이(2)내의 미측정IC(1)를 IC소켓(4)에 이송하는 처리를 실행한다.

상기 처리는 XY스테이지가 트레이파지부(21)를 수평방향으로 이동시켜 트레이(2)내의 IC(1)의 하나(제1의 IC)를 IC 소켓(4)에 대향배치시키는 공정, 엘리베이터가 트레이파지부(21)를 하강시켜서 상기 제1의 IC를 IC소켓(4)에 이송시키는 공정, 상기 제1의 IC를 IC소켓(4)에 접촉시키는 공정[IC 1의 전기적특성을 측정하는 공정], 엘리베이터가 트레이파지부(21)를 상승시켜서 트레이(2)를 IC소켓(4)으로부터 이탈시키는 공정, XY스테이지가 트레이파지부(21)를 수평방향으로 이동시켜서 트레이(2)를 원점위치로 복귀시키는 공정으로 이루어지고, 이들 일련의 동작을 실행하는 한주기에 3.0초를 요한다.

결국, IC(1)의 전기적 특성을 측정하는 데에 IC 1개당 3.0초를 요한다.

이 처리는 트레이(2)내의 IC(1)의 수량분만큼 반복된다.

또한, 도 4에서는 트레이(2)내에 IC(1)가 2개 수용되는 경우의 타임차트를 예시했으나 이에 한정되는 것은 아니다.

다음에 측정스테이지(20)로부터 수용버퍼(P3)로 트레이(2)를 이송하는 처리를 실행한다.

상기 처리는 트레이파지부(21)가 수용셔틀(13)에 트레이(2)를 인도하는 공정, 수용셔틀(13)이 트레이파지부(21)로부터 수용한 트레이(2)를 수용버퍼(P3)로 이송하는 공정으로 이루어지며, 전체로는 3.0초를 요한다.

트레이(2)내에는 복수의 미측정IC(1)가 수용되므로 IC 1개당의 처리시간은 3.0초미만이 된다.

다음, 전술한 로더(11)로부터 측정스테이지(20)에 트레이(2)를 이송하는 처리를 실행하고, 이 처리에 이어서 트레이(2)내의 각 미측정IC(1)를 IC소켓(4)에 이송하는 처리, 측정스테이지(20)로부터 수용버퍼(P3)에 트레이(2)를 이송하는 처리를 순차적으로 실행한다.

또, 트레이(2)내의 각 미측정IC(1)를 IC소켓(4)에 이송하는 처리가 종료되면, 로더(11)로부터 측정스테이지(20)에 트레이(2)를 이송하는 상기 처리와 동시에, 수용버퍼(P3)에서 대기하는 수용셔틀(13)상의 트레이(2)에 탑재되는 측정완료의 IC(1)중에서 불량품이라고 판정된 IC(1)를 빼내어 분류유닛(16)에 이송하는 처리를 개시한다.

상기 처리는 수용핸드(14)가 수용셔틀(13)상의 IC(1)를 흡착하는 공정, 수용핸드(14)가 수용셔틀(13)상으로부터 분류유닛(16)으로 이동하는 공정, 수용핸드(12)가 분류유닛(16)에서 IC(1)의 흡착을 해제하는 공정으로 이루어지고, 이들 일련의 동작을 실행하는 한주기에 2.6초를 요한다.

상기 처리는 불량품으로 판정된 IC(1)가 트레이(2)로부터 모두 제거될 때까지 반복한다.

불량품으로 판정된 IC(1)를 분류유닛(16)에 이송하는 처리가 종료되면, 양품으로 판정된 IC(1)만이 수용된 트레이(2)를 수용셔틀(13)로부터 언로더(15)로 이송하는 처리를 실행한다.

상기 처리는 수용핸드(14)가 수용셔틀(13)상의 트레이(2)를 흡착하는 공정, 수용핸드(14)가 수용셔틀(13)상으로부터 언로더(15)로 이동하는 공정, 수용핸드(14)가 언로더(15)에서 트레이(2)의 흡착을 해제하는 공정으로 이루어지고, 이들 일련의 동작을 실행하는 한주기에 3.0초를 요한다.

트레이(2)내에는 복수의 측정 완료된 IC(1)가 수용되므로 IC 1개당의 처리시간은 3.0초 미만이 된다.

이와같은 실시 형태의 오토핸들러(100)에 의하면, 트레이(2)내의 미측정IC(1)를 트레이(2)에 탑재시킨 상태로 순차적으로 IC소켓(4)으로 이송함으로써 미측정IC(1)를 1개씩 IC소켓(4)에 이송하는 경우와 비교하면 IC(1) 1개당 이송시간을 대폭 단축하는 것이 가능하다.

또, 공급셔틀(12), 수용셔틀(13) 및 수용핸드(14)의 각각에 의한 IC 1개당의 이송시간이 측정스테이지(20)에 의한 IC 1개당의 측정시간보다 짧기 때문에 IC 1개당의 측정시간을 단축시키므로서 IC 1개당의 총처리시간을 단축시키는 것이 가능하다.

또한, 공급셔틀(12), 측정스테이지(20) 및 수용셔틀(13)의 각각이 트레이(2)마다 IC(1)를 이송함으로써 IC(1)의 교체탑재작업을 생략 할 수 있다.

따라서, IC(1)의 외관불량이나 정전파괴 등의 발생을 방지 할 수 있다.

또, 불량품으로 판정된 IC(1)가 트레이(2)로부터 제거된 후 분류유닛(16)에 수용되는 반면, 양품으로 판정된 IC(1)가 트레이(2)에 탑재된 상태로 언로더(15)에 수용됨으로써 양품으로 판정된 IC(1)를 언로더(15)로 교체탑재시키는 작업을 생략 할 수 있다.

또한, 트레이(2)에 안내구멍(2e, 2c)을 형성하는 반면, 트레이파지부(21)에 안내구멍(2e, 2c)과 걸어맞춤 이탈이 자유로운 가이드핀(26, 27)이 설치됨으로써 트레이파지부(21)에 대해 트레이(2)를 정확히 위치결정 할 수 있다.

또, 접촉푸셔(25)가 트레이(2)내의 각 IC(1)를 트레이(2)로 압축접촉시킴에 따라 트레이(2)로부터 각 IC(1)가 흘러 떨어지는 것을 방지할 수가 있음과 동시에, IC(1)의 리드(3)를 IC소켓(4)의 접촉자(5)에 확실히 접촉시킬 수 있다.

또한, 각 접촉푸셔(25)가 헐거운상태로 베이스부(22)에 부착되므로, IC(1)의 수용위치에 다소 불균일하더라도 그 불균일을 흡수할 수 있고, 각 접촉푸셔(25)로 각 IC(1)를 안정된 상태로 압축접촉 시킬 수 있다.

또, 본 발명은 이 실시의 형태의 오토핸들러에 한정되는 것은 아니며, 이것이외에도 각종의 변형이 있을 수 있다.

예를 들면, 이 실시의 형태에서는 IC소켓(4)의 수를 단수로 했으나 복수로 하는 것도 가능하다.

예를들어, 트레이(2)에 수용되는 IC(1)의 수량분만큼 IC소켓(4)을 설치해도 무방하다.

또한, 상기 실시의 형태에서는 불량품으로 판정된 IC(1)가 제거됨에 따라 양품으로 판정된 IC(1)만으로 된 트레이(2)를 그대로 언로더(15)에 수용하는 구성으로 하였지만, 예를들어 불량품으로 판정된 IC(1)가 제거되어서 생긴 트레이(2)의 빈위치에 양품으로 판정된 IC(1)를 보충해서 트레이(2)내를 가득 채운 상태에서 트레이(2)를 언로더(15)에 수용하는 구성으로 하는 것 또한 가능하다.

이 경우, 양품으로 판정된 IC(1)만이 수용되는 트레이(2)를 일시적으로 보류하는 양품보류부를 수용버퍼(3)의 근방에 설치하여 양품보류부에 보류되는 트레이(2)내의 IC(1)를 보충용의 IC로서 사용한다.

또, 양품보류부에의 트레이(2)의 이송이나 양품보류부로부터 수용버퍼(P3)에의 IC(1)의 이송에는 수용핸드(14)를 사용한다.

즉, 본 발명에 관한 보충수단은 양품보류부 및 수용핸드(14)에 의해 구성된다.

이와 같은 구성에 의하면, 양품으로 판정된 IC(1)를 언로더(15)의 트레이(2)내에 간격없이 충전시킬 수 있다.

본 발명의 제 1측면에 기재된 바에 의하면, 미측정장치를 1개씩 측정부에 이송하는 경우와 비교해서 미측정장치를 측정부에 이송하는 때의 하나의 장치당의 처리시간을 대폭으로 단축시키는 것이 가능하다.

따라서, 측정시간이 짧은 장치라도 1장치당의 측정시간을 단축시킴으로서 장치당 총처리시간을 단축시킬 수 있다.

또한, 공급셔틀, 측정스테이지, 및 수용셔틀의 각각이 트레이마다 장치를 이송시키기 때문에 장치의 교체탑재 작업을 생략할 수 있다.

따라서, 장치의 외관불량이나 정전파괴 등의 발생을 격감시킬 수 있다.

본 발명의 제 2측면에 의하면, 복수의 장치를 일시에 이송시킬수 있음과 동시에, 트레이에 수용한 상태에서 장치의 전기적 특성을 측정 할 수 있다.

본 발명의 제 3측면에 의하면, 트레이에 수용한 상태에서 각 장치를 측정부에 이송시킬 수 있다.

본 발명의 제 4측면에 의하면, 트레이파지부에 대해서 트레이를 정확히 위치결정 할 수 있다.

본 발명의 제 5측면에 의하면, 트레이로부터 각 장치가 흘러떨어지는 것을 방지할 수가 있음과 동시에, 측정부에 설치되는 접촉자등의 접속부분에 각 장치의 리드를 확실히 접촉시킬 수 있다.

본 발명의 제 6측면에 의하면, 장치의 수용위치에 다소 불균일하더라도 그 불균일을 흡수할 수 있고, 각 접촉푸셔로 각 장치를 안정된 상태로 압축접촉시킬 수 있다.

본 발명의 제 7측면에 의하면, 양품으로 판정된 장치를 언로더로 교체탑재시키는 작업을 생략할 수 있다.

본 발명의 제 8측면에 의하면, 양품으로 판정된 장치를 언로더의 트레이내에 간극없이 충전시킬 수 있다.

Claims (9)

1. 미측정의 장치를 측정부로 이송하고, 상기 측정부에서의 측정결과에 기초하여 측정 완료된 장치를 분류수용하는 오토핸들러로서:

   미측정의 장치가 복수개 탑재된 트레이를 수용하는 로더;

   상기 로더의 트레이를 측정준비위치로 이송하는 공급셔틀;

   상기 측정준비위치에서 대기하는 공급셔틀상의 트레이를 파지하며, 상기 파지한 트레이내의 미측정장치를 트레이에 탑재한 상태로 순차적으로 상기 측정부로 이송함과 동시에, 트레이내의 모든 장치에 대하여 상기 측정부에서의 측정이 종료된 곳에서, 트레이를 수용준비위치로 이송하는 측정스테이지;

   상기 수용준비위치에서 상기 측정스테이지로부터 트레이를 수용하며, 상기 수용한 트레이를 수용버퍼로 이송하는 수용셔틀; 및

   상기 수용버퍼에서 대기하는 상기 수용셔틀상의 트레이에 탑재되는 측정 완료된 장치를 상기 측정부에서의 측정결과에 기초하여 분류수용하는 분류수용부를 구비하는 것을 특징으로 하는 오토핸들러.
2. 제1항에 있어서,

   상기 트레이에는, 장치를 수용하는 복수의 오목부를 형성하고, 각 오목부의 저면에는 오목부에 수용한 장치의 리드를 트레이의 아래쪽으로 임하도록 하는 접속용개구부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 오토핸들러.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 측정스테이지는 :

   트레이를 파지하는 트레이파지부;

   상기 트레이파지부를 수평방향으로 이동시키는 것으로, 트레이내의 장치를 순차적으로 상기 측정부에 대향배치시키는 XY스테이지; 및

   상기 트레이파지부를 승강시키는 것으로, 상기 측정부에 대향배치된 트레이내의 장치를 상기 측정로부터 분리시키는 엘리베이터를 구비하는 것을 특징으로 하는 오토핸들러.
4. 제3항에 있어서,

   트레이에는 걸어맞추어지는 부가 형성되는 한편,

   상기 트레이파지부에는 상기 걸어맞추어지는 부와 걸어맞춤 이탈이 자유로운 걸어맞춤부가 설치되며,

   상기 걸어맞춤부와 걸어맞추어지는 부가 걸어맞추어진 상태에서, 트레이가 상기 트레이파지부에 대하여 위치되는 것을 특징으로 하는 오토핸들러.
5. 제4항에 있어서,

   상기 트레이파지부에는 상기 걸어맞춤부를 갖는 베이스부가 설치되며, 상기 베이스부에는 트레이내의 각 장치를 트레이에 가압접촉시키는 접촉푸셔가 설치되어있는 것을 특징으로 하는 오토핸들러.
6. 제5항에 있어서,

   상기 접촉푸셔는 트레이내의 각 장치마다에 설치되고, 각 접촉푸셔는 헐거운 상태로 상기 베이스부에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 오토핸들러.
7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 분류수용부는 :

   양품으로 판정된 측정 완료된 장치를 수용하는 언로더;

   불량품으로 판정된 측정 완료된 장치를 수용하는 분류유닛;

   상기 수용버퍼에서 대기하는 수용셔틀상의 트레이에 탑재되는 측정 완료된 장치 중에서, 불량품으로 판정된 장치만을 빼내서 상기 분류유닛에 이송하는 불량품이송수단; 및

   불량품으로 판정된 장치가 제거되고 양품으로 판정된 장치만이 수용된 트레이를, 상기 수용셔틀로부터 상기 언로더로 이송하는 양품이송수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 오토핸들러.
8. 제7항에 있어서,

   불량품으로 판정된 장치가 상기 불량품이송수단에 의해 상기 분류유닛으로 이송된 후, 불량품으로 판정된 장치가 제거되어 생긴 트레이의 빈위치에, 양품으로판정된 장치를 보충하여 트레이내를 채운상태로 하기 위해 트레이내로 양품을 보충하는 보충수단을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 오토핸들러.
9. 로더에 미측정된 복수의 장치를 포함하는 트레이를 장착하는 단계;

   측정준비위치로 로더에 장착된 트레이를 이송하는 단계;

   측정준비위치에서 대기하는 트레이를 파지하는 단계;

   순차적으로 측정부로, 측정되지 않고 트레이에 파지된 상태로 유지된 장치를 이송하는 단계;

   측정부에 의해 트레이에 포함되어 유지된 장치를 측정하는 단계;

   측정부가 트레이에 포함된 모든 장치를 측정할 때, 수용준비위치로 트레이를 이송하는 단계;

   수용준비위치에서 트레이를 수용하는 단계;

   수용버퍼에 수용된 트레이를 이송하는 단계; 및

   측정부에 의해 측정된 결과에 기초하여, 수용버퍼에서 대기하는 트레이내의 측정된 장치를 분류하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 처리 및 측정장치에 대한 측정방법.