JPH10308424A - プローブカードクランプ機構及びプローブ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来の空気圧を利用したクランプ機構１５の
場合には、検査中に万一何等かの原因で空気の供給が止
まると、気密室１５３内の空気圧が急激に低下してカー
ド受けリング１５４と共にプローブカード１３が検査中
のウエハＷ上へ落下し、プローブ針１３Ａ及びウエハＷ
を損傷する。 【解決手段】 本カードホルダークランプ機構は、操作
リング２４の内周面に操作用ピン２４１を半径方向に向
けて設けると共にカード受けリング２２５の外周面に操
作用ピン２４１が嵌入する溝２２７を設け、且つ、操作
リング２４の内周面に周方向に傾斜する傾斜面２４２Ａ
を有する第１係合部２４２を設けると共にカード受けリ
ング２２５の外周面に第１係合部２４２と係合可能な傾
斜面２２８Ａを有する第２係合部２２８を設け、空気圧
によるプローブカード３のクランプ時に、カード受けリ
ング２２５に対する操作リング２４の相対回転により第
１係合部２４２と第２係合部２２８がそれぞれ係合して
カード受けリング２２５を操作リング２４で固定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、プローブカードクラン
プ機構及びプローブ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のプローブ装置は、例えば図９に示
すように、装置本体１１と、この装置本体１１内にＸ、
Ｙ、Ｚ及びθ方向で移動可能に配設され、被検査体例え
ば半導体ウエハ（以下、「ウエハ」と称す。）Ｗを載置
する載置台１２と、この載置台１２上に載置されたウエ
ハＷに形成されたＩＣチップの電極パッドに対応するプ
ローブ針１３Ａを有するプローブカード１３と、このプ
ローブカード１３をカードホルダー１４を介して固定す
るインサートリング１５と、このインサートリング１５
に固定されたプローブカード１３と接続リング１６を介
して電気的に接続するテストヘッド１７とを備え、載置
台１２によりウエハＷの電極パッドをプローブ針１３Ａ
に対して位置決めした後、テストヘッド１７、接続リン
グ１６及びプローブカード１３を介して図示しないテス
タとウエハＷの各ＩＣチップとの間でテスト信号を送受
信して電気的検査を行なうようにしてある。

【０００３】ところで、上記インサートリング１５は自
動的あるいは半自動的に交換するプローブカード１３を
自動的にクランプして固定するプローブカードクランプ
機構（以下、単に「クランプ機構」と称す。）として構
成されている。従って、以下では必要に応じてインサー
トリング１５をクランプ機構１５として説明する。この
クランプ機構１５は、図９の○で囲んだ部分を拡大した
図１０のような構造を有している。このクランプ機構１
５は、例えば図１０に示すように、ヘッドプレート１１
Ａに固定された固定リング１５１と、この固定リング１
５１の下面に嵌合したシリンダリング１５２と、このシ
リンダリング１５２の外周上面全周に渡って形成された
リング状溝に装着されて気密室１５３を形成するＯリン
グ１５４と、このＯリング１５４を押さえるフランジ部
１５５Ａを有すると共にシリンダリング１５２の外周面
に従って昇降するピストンリング１５５と、このピスト
ンリング１５５の外面で係合すると共に周方向で回転自
在になったカード受けリング１５６とを備えて構成され
ている。

【０００４】また、上記カード受けリング１５６の内周
面には周方向等間隔に複数の係合部１５６Ａが内側に向
けて延設され、また、上記カードホルダー１４の外周面
には周方向等間隔に複数の係合部１４Ａが外側に向けて
延設されている。そして、カード受けリング１５６の各
係合部１５６Ａの間をカードホルダー１４の各係合部１
４Ａが通り抜け、カード受けリング１５６を周方向に回
転することで各係合部１５６Ａと各係合部１４Ａが係合
してカード受けリング１５６でカードホルダー１４を受
けるようにしてある。

【０００５】また、上記固定リング１５１及びシリンダ
リング１５２には外部から気密室１５３へ通じる通路１
５７がそれぞれ形成され、この通路１５７には例えば図
示しない空気供給源が接続され、この空気供給源から通
路１５７を介して気密室１５３に圧縮空気を供給するよ
うにしてある。気密室１５３では圧縮空気の受給により
上昇した空気圧でＯリング１５４がピストンリング１５
５と共に上昇し、これにより持ち上げられたカード受け
リング１５６とシリンダリング１５２とでカードホルダ
ー１４をクランプし、この時の空気圧によりカードホル
ダー１４を介してプローブカード１３を固定するように
してある。また、プローブカード１３を交換する時に
は、気密室１５３の圧縮空気を排気することによりピス
トンリング１５５と共にカード受けリング１５６を下降
させ、カードホルダー１４をシリンダリング１５２から
離し、この状態でカード受けリング１５６を回転させて
カードホルダー１４の係合突部１４Ａとカード受けリン
グ１５６の係合部１５６Ａとの係合状態を解除すること
で、プローブカード１３を取り外すようにしてある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
プローブ装置のクランプ機構（インサートリング）１５
の場合には、上述のように空気供給源から空気を圧送し
ながらシリンダリング１５２の気密室１５３内の空気圧
を利用してピストンリング１５５及びカードホルダー１
４を介してプローブカード１３を持ち上げてシリンダリ
ング１５２とカード受けリング１５６とでプローブカー
ド１３をクランプして固定しているため、検査中に万一
何等かの原因で空気の供給が止まると、気密室１５３内
の空気圧が急激に低下してカード受けリング１５４と共
にプローブカード１３が検査中のウエハＷ上へ落下し、
プローブ針１３Ａ及びウエハＷを損傷するという課題が
あった。

【０００７】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、被検査体の検査中に、万一、プローブカー
ドを固定するための空気供給が停止してもプローブカー
ドが落下することなくクランプ時の状態を保持すること
ができ、プローブカード及び被検査体の損傷を防止する
ことができるプローブカードクランプ機構及びこのプロ
ーブカードクランプ機構を備えたプローブ装置を提供す
ることを目的としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
のプローブカードクランプ機構は、被検査体の電気的特
性を行うプローブ装置の装置本体にカードホルダー付き
のプローブカードを空気圧を利用して固定するクランプ
機構において、上記装置本体のヘッドプレートに固定さ
れた固定リングと、この固定リングの下面において正逆
回転可能に取り付けられ且つ上記空気圧の増減により上
記固定リングに対して上記カードホルダーが昇降して上
記プローブカードをクランプしあるいはクランプを解除
するカード受けリングと、このカード受けリングを囲み
且つカード受けリングと操作用ピンを介して連結された
操作リングと、この操作リングを介して上記カード受け
リングを正逆回転させる駆動手段とを備え、上記操作リ
ングの内周面または上記カード受けリングの外周面に上
記操作用ピンを半径方向に向けて設けると共に上記カー
ド受けリングの外周面または上記操作リングの内周面に
上記操作用ピンが嵌入する溝を設け、且つ、上記操作リ
ングの内周面に周方向に傾斜する傾斜面を有する第１係
合部を設けると共に上記カード受けリングの外周面に第
１係合部と係合可能な傾斜面を有する第２係合部を設
け、上記空気圧を利用して上記プローブカードをクラン
プした時に、上記カード受けリングに対する上記操作リ
ングの相対回転により第１係合部と第２係合部が係合し
て上記カード受けリングを固定することを特徴とするも
のである。

【０００９】また、本発明の請求項２に記載のプローブ
カードクランプ機構は、請求項１に記載の発明におい
て、上記溝は、上記プローブカードをクランプする時に
使用される縦溝部と、この縦溝部と連続し且つ上記操作
リングを上記カード受けリングに対して回転させる時に
使用される横溝部からなることを特徴とするものであ
る。

【００１０】また、本発明の請求項３に記載のプローブ
装置は、被検査体に接触する接触子を有するプローブカ
ードと、このプローブカードを固定するプローブカード
クランプ機構とを備えたプローブ装置において、上記プ
ローブカードクランプ機構は、上記装置本体のヘッドプ
レートに固定された固定リングと、この固定リングの下
面において正逆回転可能に取り付けられ且つ上記空気圧
の増減により上記固定リングに対して上記カードホルダ
ーが昇降して上記プローブカードをクランプしあるいは
クランプを解除するカード受けリングと、このカード受
けリングを囲み且つカード受けリングと操作用ピンを介
して連結された操作リングと、この操作リングを介して
上記カード受けリングを正逆回転させる駆動手段とを備
え、上記操作リングの内周面または上記カード受けリン
グの外周面に上記操作用ピンを半径方向に向けて設ける
と共に上記カード受けリングの外周面または上記操作リ
ングの内周面に上記操作用ピンが嵌入する溝を設け、且
つ、上記操作リングの内周面に周方向に傾斜する傾斜面
を有する第１係合部を設けると共に上記カード受けリン
グの外周面に第１係合部と係合可能な傾斜面を有する第
２係合部を設け、上記空気圧を利用して上記プローブカ
ードをクランプした時に、上記カード受けリングに対す
る上記操作リングの相対回転により第１係合部と第２係
合部が係合して上記カード受けリングを固定することを
特徴とするものである。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、図１〜図７に示す実施形態
に基づいて本発明を説明する。本実施形態のプローブ装
置はインサートリングを除き基本的には従来のプローブ
装置に準じて構成されている。従って、以下では本実施
形態の特徴部分を中心に説明し、その他、従来のプロー
ブ装置と同様に構成されている部分についての説明は省
略する。本実施形態のプローブ装置は、図１に示すよう
に、装置本体１と、この装置本体１のヘッドプレート１
Ａの中央孔に固定されたインサートリング２と、このイ
ンサートリング２に対してプローブカード３を搬送する
カード搬送機構４を備え、カード搬送機構４を介してプ
ローブカード３を半自動的に交換できるように構成され
ている。

【００１２】上記カード搬送機構４は、図１に示すよう
に、例えばプローブカード３を真空吸着するトレイ４１
と、このトレイ４１を起倒自在に支持するアーム４２
と、このアーム４２を装置本体１の正面とインサートリ
ング２の真下との間で往復回転させると共にアーム４２
をインサートリング２の真下で昇降させる駆動機構（図
示せず）とを備え、トレイ４１を装置本体１の正面で起
倒させて折り畳みむことができ、トレイ４１を水平に起
こした状態でプローブカード３をインサートリング２の
真下まで搬送するようにしてある。尚、図１において、
５は装置本体１の正面でトレイ４１を被うカバーで、こ
のカバー５は昇降可能に構成されている。

【００１３】ところで、上記インサートリング２はプロ
ーブカード３をクランプしあるいはクランプを解除する
クランプ機構として構成されている。そこで、以下では
必要に応じてインサートリング２をクランプ機構２とし
て図２〜図７を参照しながら説明する。尚、図２はクラ
ンプ機構２の内側からの平面図で、図３は図２のＩＩＩ
−ＩＩＩ線方向の断面図である。このクランプ機構２
は、図２及び図３に示すように、装置本体１のヘッドプ
レート１Ａのフランジ部（図示せず）に固定された固定
リング２１と、この固定リング２１と中心を一致させて
その下面に図２の矢印Ａ方向で正逆回転可能に取り付け
られたロックリング２２と、このロックリング２２を囲
んだ状態で固定リング２１の下面に対して取り付けられ
た支持リング２３と、この支持リング２３により図２の
矢印Ｂ方向で正逆回転可能に支持され且つ後述のように
上記ロックリング２２を正逆転操作するために連結され
た操作リング２４と、この操作リング２４にレバー２５
を介して連結されたエアシリンダ２６とを備え、エアシ
リンダ２６のシリンダロッド２６１の伸縮により操作リ
ング２２を所定角度θだけ正逆回転させるようにしてあ
る。

【００１４】上記ロックリング２２は、図３に示すよう
に、固定リング２１内周の筒状部２１１と嵌合するシリ
ンダリング２２１と、このシリンダリング２２１の外周
のフランジ部２２１Ａ上面に装着されて気密室２２２を
形成するＯリング２２３と、このＯリング２２３が嵌装
されて気密室２２２を形成し得る下向きの溝を有すると
共にシリンダリング２２１に従って昇降するピストンリ
ング２２４と、このピストンリング２２４の全周に渡っ
て形成された溝に係合して周方向で回転自在になったカ
ード受けリング２２５とを備えて構成されている。更
に、固定リング２１下面には周方向等間隔に複数の窪み
がピストンリング２２４の真上に位置させて形成され、
これらの窪みにバネ２２６が装着されている。そして、
各バネ２２６によってピストンリング２２４を常に下方
へ付勢するようにしてある。

【００１５】上記カード受けリング２２５の内周面には
図２、図３に示すように周方向等間隔に複数の係合部２
２５Ａが中心に向けて延設され、また、上記カードホル
ダー１４の外周面には周方向等間隔に複数の係合部１４
Ａが外側に向けて延設されている。そして、カード受け
リング２２５の各係合部２２５Ａの間をカードホルダー
１４の各係合部１４Ａが通り抜け、カード受けリング２
２５を周方向に回転することで各係合部２２５Ａと各係
合部１４Ａが係合してカード受けリング２２５でカード
ホルダー１４を支持するようにしてある。そして、図示
してないが、従来と同様に固定リング２１及びシリンダ
リング２２１には外部から気密室２２２へ通じる空気通
路がそれぞれ形成され、この空気通路を介して図示しな
い空気供給源から気密室２２２内へ圧縮空気を供給する
ようにしてある。

【００１６】従って、気密室２２２では圧縮空気の受給
により上昇した空気圧でピストンリング２２４と共に持
ち上げられたカード受けリング２２５とシリンダリング
２２１とでカードホルダー１４を図３に示すようにクラ
ンプするようにしてある。また、プローブカード１３を
交換する時には、バネ２２６の付勢力と気密室２２２内
の排気によりピストンリング２２４を介してカード受け
リング２２５が下降してカードホルダー１４のクランプ
を解除し、この状態でカード受けリング２２５を回転さ
せてプローブカード３を取り外すようにしてある。

【００１７】また、上記ロックリング２２と上記操作リ
ング２４は図４に示すように構成されている。尚、図４
はロックリング２２のカード受けリング２２５と操作リ
ング２４との関係を示した斜視図である。即ち、同図に
示すようにカード受けリング２２５の外周面には縦溝部
２２７Ａ及び横溝部２２７Ｂからなる側面形状が逆Ｌ字
状の溝２２７が形成されている。操作リング２４の内周
面には半径方向の操作用ピン２４１が取り付けられ、こ
の操作用ピン２４１が溝２２７に嵌入して操作リング２
４とカード受けリング２２５を連結している。更に、操
作リング２４の内周面には操作用ピン２４１から周方向
に所定距離隔てた第１係合部２４２が設けられ、この第
１係合部２４２の下側には周方向に傾斜する傾斜面２４
２Ａが形成されている。カード受けリング２２５の外周
面には縦溝部２２７Ａから周方向に所定距離隔てた第２
係合部２２８が設けられ、この第２係合部２２８の下側
には第１係合部２４２の傾斜面２４２Ａと係合可能な同
一傾斜角の傾斜面２２８Ａが形成されている。そして、
操作リング２４の操作用ピン２４１がカード受けリング
２２５の縦溝部２２７Ａにある時には第１、第２係合部
２２８、２４２は互いに離れており、操作用ピン２４１
が縦溝部２２７Ａから横溝部２２７Ｂ内へ所定距離侵入
した時には図４に示すように第１、第２係合部２４２、
２２８は互いに傾斜面２４２Ａ、２２８Ａが係合する関
係にある。従って、各傾斜面２４２Ａ、２２８Ａが係合
している時には、ロックリング２２の気密室２２２内の
空気圧が低下しても第１、第２係合部２４２、２２８が
傾斜面２４２Ａ、２２８Ａで互いに係合し、両者間の摩
擦力でカード受けリング２２５を固定し、カード受けリ
ング２２５が落下しないようにしてある。

【００１８】次に、図５〜図８をも参照しながらクラン
プ機構の動作について説明する。尚、図５〜図８では本
発明の要部のみを図示してある。例えばプローブカード
３を新しいものと交換する時にはカード搬送機構４のト
レイ４１を図１に示すように水平に起こした後、カード
搬送機構４が駆動すると、アーム４２が反時計方向へ例
えば１００°回転し、トレイ４１がインサートリング２
の真下に来た時点で一旦停止し、この位置で上昇し、カ
ードホルダー１４の係合部１４Ａがロックリング２のカ
ード受けリング２２５の係合部２２５Ａの間を通り抜け
てカード受けリング２２５のやや上方に来ると、トレイ
４１が再び停止し、図５の（ａ）、（ｂ）で示した状態
になる。

【００１９】その直後、エアシリンダ２６が駆動してシ
リンダロッド２６１が伸びて操作リング２４が図５
（ｂ）の矢印方向へ所定角度回転すると、操作リング２
４と操作用ピン２４１で連結されたカード受けリング２
２５が操作リング２４と一緒に同方向へ回転して停止
し、図６の（ｂ）で示す状態になる。カード受けリング
２２５が停止して気密室２２２内で圧縮空気を受給する
と、図６（ａ）の矢印で示すようにピストンリング２２
４がカード受けリング２２５と一緒に距離ｈだけ上昇
し、図７（ａ）に示すようにシリンダリング２２１とで
カードホルダー１４をクランプする。

【００２０】この時カード受けリング２２５はシリンダ
リング２２１とでカードホルダー１４を図７の（ｂ）に
示すようにクランプし、回転できないが、操作用ピン２
４１が溝２２７の横溝部２２７Ｂに達しているため、操
作リング２４は逆方向に回転可能な状態になっている。
この状態でエアシリンダ２６が縮むと操作リング２４が
図７（ｂ）の矢印で示すように逆回転する。この回転に
より操作リング２４の第１係合部２４２が静止している
カード受けリング２２５の第２係合部２２８に向かって
進み、図４及び図８の（ａ）、（ｂ）に示すように第
１、第２係合部２２８、２４２がそれぞれの傾斜面２２
８Ａ、２４２Ａで係合し、操作リング２４もカード受け
リング２５５によって固定されてロック状態になり、一
連のプローブカード３のクランプ動作が終了する。

【００２１】インサートリング２へのプローブカード３
の装着が終了すると、ウエハＷの検査を行うことができ
る。検査時には装置本体内でウエハを載置した載置台が
Ｘ、Ｙ及びＺ及方向へ移動し、プローブカード３のプロ
ーブ針がウエハに接触して所定の電気的検査を行う。そ
して、検査中に何等かの原因でクランプ用の空気供給が
停止してロックリング２２の気密室２２２の空気圧が減
少すると、従来のプローブ装置であればバネ２２６の付
勢力と相俟ってピストンリング２２４がシリンダリング
２２１に従って落下し、ひいてはカード受けリング２２
５がプローブカード３と一緒にウエハ上に落下してプロ
ーブ針が押し潰され変形し、しかも載置台がＸ、Ｙ方向
へ移動するためプローブ針が損傷するばかりか、ウエハ
も損傷する。

【００２２】しかしながら、本実施形態では、万一、空
気の供給が停止しても、カード受けリング２２５の第２
係合部２２８と操作リング２４の第１係合部２４２がそ
れぞれの傾斜面２２８Ａ、２４２Ａで係合し、両者２２
８Ａ、２４２Ａ間に摩擦力が作用しているため、カード
受けリング２２５でプローブカード３をクランプした状
態を保持してプローブカード３の落下を防止し、プロー
ブカード３及びウエハの損傷を防止することができる。

【００２３】以上説明したように本実施形態によれば、
操作リング２４の内周面に操作用ピン２４１を半径方向
に向けて設けると共にカード受けリング２２５の外周面
に操作用ピン２４１が嵌入する溝２２７を設け、且つ、
操作リング２４の内周面に周方向に傾斜する傾斜面２４
２Ａを有する第１係合部２４２を設けると共にカード受
けリング２２５の外周面に第１係合部２４２と係合可能
な傾斜面２２８Ａを有する第２係合部２２８を設け、空
気圧を利用してプローブカード３をクランプした時に、
カード受けリング２２５に対する操作リング２４の相対
回転により第１係合部２４２と第２係合部２２８がそれ
ぞれの傾斜面２４２Ａ、２２８Ａで係合してカード受け
リング２２５を操作リング２４で固定するようにしたた
め、ウエハの検査中に、万一、プローブカード３を固定
するための空気供給が停止しても、第１、第２係合部２
４２、２２８ぞれぞれの傾斜面２４２Ａ、２２８Ａ間の
摩擦力でカード受けリング２２５及びプローブカード３
の落下を防止し、もってプローブカード３及びウエハの
損傷を防止することができる。

【００２４】尚、本発明は上記実施形態に何等制限され
るものではないことは云うまでもない。例えば、上記実
施形態では操作用ピンを操作リングに設けると共にこの
操作用ピンが嵌入する溝をカード受けリングに設けた場
合について説明したが、操作用ピンをカード受けリング
に設け、溝を操作リングに設けても良い。また、上記実
施形態では第１、第２係合部を１個ずつ設けた場合につ
いて説明したが、これらを複数個ずつ対をなして設けて
も良い。

【００２５】

【発明の効果】本発明の請求項１〜請求項３に記載の発
明によれば、被検査体の検査中に、万一、プローブカー
ドを固定するための空気供給が停止してもプローブカー
ドが落下することなくクランプ時の状態を保持すること
ができ、プローブカード及び被検査体の損傷を防止する
ことができるプローブカードクランプ機構及びプローブ
装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のプローブ装置の一実施形態を示す斜視
図である。

【図２】図１に示すインサートリング（クランプ機構）
をヘッドプレートに組み付けた状態の内部からの平面図
である。

【図３】図２に示すインサートリングのＩＩＩ−ＩＩＩ
線方向の断面図である。

【図４】図２に示すインサートリングの内、カード受け
リングと操作リングの関係を一部を破断して示す斜視図
である。

【図５】図２に示すロックリング内にプローブカードを
挿入した状態を示す図で、（ａ）はその断面図、（ｂ）
はロックリングと操作リングの関係を示す内側からの正
面図である。

【図６】図５に示す状態から所定角度だけ操作リング及
びロックリングのカード受けリングを移動させた状態を
示す図で、（ａ）はその断面図、（ｂ）はロックリング
と操作リングの関係を示す内側からの正面図である。

【図７】図６に示す状態からカード受けリングを所定距
離だけ上昇させた状態を示す図で、（ａ）はその断面
図、（ｂ）はロックリングと操作リングの関係を示す内
側からの正面図である。

【図８】図７に示す状態から操作リングだけ所定角度だ
け移動させた状態を示す図で、（ａ）はその断面図、
（ｂ）はロックリングと操作リングの関係を示す内側か
らの正面図である。

【図９】従来のプローブ装置の要部を示す構成図であ
る。

【図１０】図９に示すプローブ装置のインサートリング
の要部の断面を拡大して示す図である。

【符号の説明】

１ 装置本体 ２ インサートリング ３ プローブカード １４ カードホルダー ２１ 固定リング ２４ 操作リング ２２５ カード受けリング ２２７ 溝 ２２７Ａ 縦溝部 ２２７Ｂ 横溝部 ２２８ 第２係合部 ２２８Ａ 傾斜面 ２４１ 操作用ピン ２４２ 第１係合部 ２４２Ａ 傾斜面

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被検査体の電気的特性を行うプローブ装
   置の装置本体にカードホルダー付きのプローブカードを
   空気圧を利用して固定するクランプ機構において、上記
   装置本体のヘッドプレートに固定された固定リングと、
   この固定リングの下面において正逆回転可能に取り付け
   られ且つ上記空気圧の増減により上記固定リングに対し
   て上記カードホルダーが昇降して上記プローブカードを
   クランプしあるいはクランプを解除するカード受けリン
   グと、このカード受けリングを囲み且つカード受けリン
   グと操作用ピンを介して連結された操作リングと、この
   操作リングを介して上記カード受けリングを正逆回転さ
   せる駆動手段とを備え、上記操作リングの内周面または
   上記カード受けリングの外周面に上記操作用ピンを半径
   方向に向けて設けると共に上記カード受けリングの外周
   面または上記操作リングの内周面に上記操作用ピンが嵌
   入する溝を設け、且つ、上記操作リングの内周面に周方
   向に傾斜する傾斜面を有する第１係合部を設けると共に
   上記カード受けリングの外周面に第１係合部と係合可能
   な傾斜面を有する第２係合部を設け、上記空気圧を利用
   して上記プローブカードをクランプした時に、上記カー
   ド受けリングに対する上記操作リングの相対回転により
   第１係合部と第２係合部が係合して上記カード受けリン
   グを固定することを特徴とするプローブカードクランプ
   機構。
2. 【請求項２】 上記溝は、上記プローブカードをクラン
   プする時に使用される縦溝部と、この縦溝部と連続し且
   つ上記操作リングを上記カード受けリングに対して回転
   させる時に使用される横溝部からなることを特徴とする
   請求項１に記載のプローブカードクランプ機構。
3. 【請求項３】 被検査体に接触する接触子を有するプロ
   ーブカードと、このプローブカードを固定するプローブ
   カードクランプ機構とを備えたプローブ装置において、
   上記プローブカードクランプ機構は、上記装置本体のヘ
   ッドプレートに固定された固定リングと、この固定リン
   グの下面において正逆回転可能に取り付けられ且つ上記
   空気圧の増減により上記固定リングに対して上記カード
   ホルダーが昇降して上記プローブカードをクランプしあ
   るいはクランプを解除するカード受けリングと、このカ
   ード受けリングを囲み且つカード受けリングと操作用ピ
   ンを介して連結された操作リングと、この操作リングを
   介して上記カード受けリングを正逆回転させる駆動手段
   とを備え、上記操作リングの内周面または上記カード受
   けリングの外周面に上記操作用ピンを半径方向に向けて
   設けると共に上記カード受けリングの外周面または上記
   操作リングの内周面に上記操作用ピンが嵌入する溝を設
   け、且つ、上記操作リングの内周面に周方向に傾斜する
   傾斜面を有する第１係合部を設けると共に上記カード受
   けリングの外周面に第１係合部と係合可能な傾斜面を有
   する第２係合部を設け、上記空気圧を利用して上記プロ
   ーブカードをクランプした時に、上記カード受けリング
   に対する上記操作リングの相対回転により第１係合部と
   第２係合部が係合して上記カード受けリングを固定する
   ことを特徴とするプローブ装置。