KR100859026B1 - 프로브 카드의 고정 기구, 프로브 카드의 고정 방법 및프로브 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 컴팩트한 구조이고 저비용이며, 프로브 카드를 안정된 고정력으로 고정할 수 있고, 더욱이 구동 수단에 있어서 프로브 카드의 유지력을 간단하게 변경할 수 있는 프로브 카드의 고정 기구를 제공한다.

본 발명의 프로브 카드의 고정 기구(10)는 헤드 플레이트(11)의 개구부에 고정된 인서트 링(12)과, 이것에 회전 가능하게 지지된 로크 링(13)과, 이 로크 링(13)으로부터 지름 방향으로 연설된 레버(14)와, 이 레버(14)에 각각 연결된 스프링 기구(15) 및 에어 실린더(17)를 구비하며, 에어 실린더(17)가 스프링 기구(15)의 압축력을 해제하였을 때에 스프링 기구(15)로부터 레버(14)에 가압력을 부여하여 로크 링(13)을 회전시켜서 프로브 카드(16)를 그 홀더(161)를 개재하여 들어올림으로써, 로크 링(13)과 인서트 링(12)으로 카드 홀더(161)를 보유유지하여 프로브 카드(16)를 고정한다.

Description

프로브 카드의 고정 기구, 프로브 카드의 고정 방법 및 프로브 장치{LOCKING MECHANISM AND LOCKING METHOD OF PROBE CARD, AND PROBE APPARATUS}

본 발명은 반도체 웨이퍼 등의 피검사체의 전기적 특성 검사를 행하는 프로브 장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 프로브 카드를 고정하는 기구의 구동 수단을 컴팩트(compact)하게 하는 동시에 프로브 카드의 고정력을 항상 일정하게 유지할 수 있는 프로브 카드의 고정 기구 및 이 고정 기구를 이용하는 프로브 카드의 고정 방법에 관한 것이다.

종래의 프로브 장치는, 예를 들어 도 11에 나타낸 바와 같이, 프로브 장치 본체(1)와, 상기 프로브 장치 본체(11) 내에 X, Y, Z 및 θ방향에서 이동 가능하게 배치되고 또한 피검사체[예를 들어, 웨이퍼(W)]를 탑재하는 탑재대(2)와, 이 탑재대(2) 위에 탑재된 웨이퍼(W)에 형성된 복수의 전극 패드에 접촉하는 복수의 프로브(3A)를 갖는 프로브 카드(3)와, 이 프로브 카드(3)를, 카드 홀더(도시하지 않음)를 개재하여 고정하는 고정 기구(4)와, 프로브 카드(3)와 접속 링(5)을 개재하여 전기적으로 접속하는 테스트 헤드(T)를 구비하며, 테스트 헤드(T), 접속 링(5) 및 프로브 카드(3)를 거쳐 도시하지 않은 테스터와 웨이퍼(W)의 전극 패드와의 사이에 서 테스트 신호를 송수신하여 웨이퍼(W)의 전기적 검사를 행하도록 구성되어 있다. 또한, 도 11에 있어서 도면부호(6)는 탑재대와 협동하여 웨이퍼(W)와 프로브 카드의 위치 맞춤을 행하는 기구이고, 도면부호(6A)는 위쪽 카메라, 도면부호(6B)는 아래쪽 카메라이며, 도면부호(7)은 고정 기구(4)가 고정된 헤드 플레이트이다.

그런데, 프로브 카드(3)는 카드 홀더를 개재하여 고정 기구(4)에 고정되어 있다. 종래의 고정 방식으로는 예를 들어 특허문헌 1, 2에 기재된 에어 방식의 고정 기구가 있다. 에어 방식의 고정 기구는 피스톤 링을 압축공기에 의해서 상승시키고, 피스톤 링과 헤드 플레이트에 고정된 고정 링으로 카드 홀더를 고정하고, 또한 압축 공기의 배기에 의하여 피스톤 링을 하강시켜서 프로브 카드를 분리하도록 하고 있다.

그러나, 에어 방식의 경우에는 압축 공기를 이용하여 프로브 카드를 고정하기 때문에, 압축 공기의 공급원의 압력 변동에 의하여 프로브 카드의 보유유지력이 안정되지 않아, 최악의 경우에는 프로브 카드를 보유유지할 수 없어 낙하할 우려가 있다.

그래서, 압축 공기의 공급원의 압력 변동의 영향을 받지 않는 방식으로서, 특허문헌 3에 기재된 스프링 방식의 고정 기구가 있다. 이 스프링 방식의 고정 기구는 헤드 플레이트에 고정된 고정 링의 하면에 고정된 실린더 링과, 실린더 링에 대하여 승강 가능하게 감합(嵌合)하는 피스톤 링과, 이들 양자 사이에 둘레 방향으로 소정의 간격을 두고 배치된 복수의 코일 스프링을 구비하며, 복수의 코일 스프링의 움직임에 의해 피스톤 링을 거쳐 프로브 카드를 받는 카드 받침 링을 들어올 려, 프로브 카드를 고정 링에 고정하게 되어 있다.

또, 특허문헌 4에는 프로브 카드의 자동 교환 기구를 구비한 프로버가 기재되어 있다. 이 자동 교환 기구는 프로브 카드 고정 부재에 대하여 회전 가능하게 지지되고, 회전에 따라 상하 방향의 위치가 변화되는 안내 홈을 갖는 회전 링과, 안내 홈에 끼우는 핀과 내주에 카드 부착 링의 노치에 대응한 내주 플랜지를 갖고, 소정 각도를 회전한 후에는 그 이상 회전하지 않고 안내 홈을 따라서 상하 방향으로 변위하는 클램프 링과, 회전 링을 회전시키는 구동 수단을 구비하고 있다. 그리고, 구동 수단에 의해서 회전 링을 회전시켜서 프로브 카드의 접합력(보유유지력)을 얻고 있다. 이 구동 수단은 모터 및 볼 나사에 의해서 구성되어 있다.

특허문헌 1. 일본 공개 특허 공보 제 1996-139141 호

특허문헌 2. 일본 공개 특허 공보 제 1996-172116 호

특허문헌 3. 일본 공개 특허 공보 제 1998-031035 호

특허문헌 4. 일본 공개 특허 공보 제 2000-150596 호

그러나, 특허문헌 3의 고정 기구는 실린더 링과 피스톤 링 사이에 전체 둘레에 걸쳐서 개재하는 복수의 코일 스프링에 의해서 프로브 카드를 보유유지하기 때문에, 프로브 카드에 보유유지력을 부여하는 복수의 코일 스프링을 생략할 수 없어, 보유유지 기구를 간소화할 수 없다. 또, 특허문헌 4의 자동 교환 기구는 모터와 볼 나사를 구동 수단으로 이용하고 있기 때문에, 또한 모터의 토오크 제어를 위한 토오크 리미터나 동력원이 차단되었을 때 등을 위한 안전대책 등이 필요하기 때문에, 구동 수단으로서는 규모가 크고 고가이다. 또, 프로브 카드의 보유유지력을 조정하는 경우에는 클램프 링의 안내 홈 등의 링 구조를 변경해야만 하므로, 프로브 카드의 보유유지력을 간단하게 변경할 수 없다.

본 발명은 상기 과제를 해결하기 위하여 이루어진 것으로서, 구동 수단이 컴팩트한 구조이고 저비용이며, 프로브 카드를 항상 일정한 고정력으로 고정할 수 있고, 더욱이 구동 수단에 있어서 프로브 카드의 고정력을 간단하게 변경할 수 있는 프로브 카드의 고정 기구, 프로브 카드의 고정 방법 및 프로브 장치를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.

본 발명의 청구항 1에 기재된 프로브 카드의 고정 기구는, 프로브 장치의 헤드 플레이트의 개구부에 고정된 인서트 링과, 상기 인서트 링에 의해서 회전 가능 하게 지지된 로크 링(lock ring)과, 상기 로크 링으로부터 지름 방향으로 연설(延設)된 레버와, 상기 레버의 연설 단부(端部)에 연결되고 또한 상기 헤드 플레이트에 설치된 구동 수단을 구비하며, 상기 구동 수단에 의하여 상기 레버에 가압력을 부여하여 상기 로크 링을 회전시켜서 프로브 카드를 들어올림으로써, 상기 로크 링과 상기 인서트 링으로 상기 프로브 카드를 보유유지하여 상기 프로브 카드를 고정하는 기구에 있어서, 상기 구동 수단은 상기 레버에 가압력을 부여하는 스프링 기구와, 상기 스프링 기구에 연결되고 또한 상기 스프링 기구를 신축시키는 가압 기구를 구비하며, 상기 가압 기구가 상기 스프링 기구의 압축력을 해제하였을 때에 상기 스프링 기구로부터 상기 레버에 가압력을 부여하여 상기 로크 링을 회전시키는 것을 특징으로 하는 것이다.

또, 본 발명의 청구항 2에 기재된 프로브 카드의 고정 기구는, 청구항 1에 기재된 발명에 있어서, 상기 스프링 기구와 상기 가압 기구를 연결체에 의해서 연결하는 동시에, 상기 연결체를 상기 스프링 기구의 신축 방향으로 이동 안내하는 가이드 부재를 설치한 것을 특징으로 하는 것이다.

또, 본 발명의 청구항 3에 기재된 프로브 카드의 고정 기구는, 청구항 2에 기재된 발명에 있어서, 상기 연결체에 셔터를 설치하는 동시에 상기 가이드 부재의 근방에 상기 셔터를 검출하는 검출기를 설치하고, 상기 검출기에 의하여 상기 셔터를 검출하였을 때에 상기 가압 기구를 정지시켜서 상기 스프링 기구에 의하여 상기 프로브 카드를 고정하는 것을 특징으로 하는 것이다.

또, 본 발명의 청구항 4에 기재된 프로브 카드의 고정 기구는, 청구항 1 내 지 청구항 3 중 어느 한 항에 기재된 발명에 있어서, 상기 스프링 기구는 코일 스프링과, 이 코일 스프링을 관통하고 또한 상기 연결체에 연결된 샤프트와, 이 샤프트가 관통하고 또한 상기 코일 스프링을 보유유지하는 홀더를 갖는 것을 특징으로 하는 것이다.

또, 본 발명의 청구항 5에 기재된 프로브 카드의 고정 기구는, 청구항 4에 기재된 발명에 있어서, 상기 코일 스프링은 제 1, 제 2 코일 스프링으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 것이다.

또, 본 발명의 청구항 6에 기재된 프로브 카드의 고정 기구는, 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 기재된 발명에 있어서, 상기 가압 기구는 실린더 기구로 이루어지는 것을 특징으로 하는 것이다.

또, 본 발명의 청구항 7에 기재된 프로브 카드의 고정 기구는, 청구항 6에 기재된 발명에 있어서, 상기 실린더 기구는 배기 속도의 제어 기능을 갖는 에어 실린더로 이루어지는 것을 특징으로 하는 것이다.

또, 본 발명의 청구항 8에 기재된 프로브 카드의 고정 기구는 청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 기재된 발명에 있어서, 상기 프로브 카드는 카드 홀더를 갖는 것을 특징으로 하는 것이다.

또, 본 발명의 청구항 9에 기재된 프로브 카드의 고정 방법은, 프로브 장치의 헤드 플레이트의 개구부에 고정된 인서트 링과, 상기 인서트 링에 의해서 회전 가능하게 지지된 로크 링과, 상기 로크 링으로부터 지름방향으로 연설된 레버와, 상기 레버의 연설 단부에 연결된 구동 수단을 구비하며, 상기 구동 수단에 의하여 상기 레버에 가압력을 부여하여 상기 로크 링을 회전시켜서 프로브 카드를 들어올림으로써, 상기 로크 링과 상기 인서트 링으로 상기 프로브 카드를 보유유지하여 상기 프로브 카드를 고정하는 방법에 있어서, 상기 구동 수단으로서 스프링 기구와 상기 스프링 기구에 압축력을 부여하는 가압 기구를 이용하여 상기 프로브 카드를 고정할 때에, 상기 가압 기구에 의하여 상기 스프링 기구의 압축력을 해제하는 공정과, 상기 스프링 기구의 압축력의 해제에 의하여 상기 스프링 기구로부터 상기 레버에 가압력을 부여하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 것이다.

또, 본 발명의 청구항 10에 기재된 프로브 카드의 고정 방법은, 청구항 9에 기재된 발명에 있어서, 상기 가압 기구로서 실린더 기구를 이용하는 것을 특징으로 하는 것이다.

또, 본 발명의 청구항 11에 기재된 프로브 카드의 고정 방법은, 청구항 10에 기재된 발명에 있어서, 상기 실린더 기구로서 배기 속도의 제어 기능을 갖는 에어 실린더를 이용하는 것을 특징으로 하는 것이다.

또, 본 발명의 청구항 12에 기재된 프로브 카드의 고정 방법은, 청구항 9 내지 청구항 11 중 어느 한 항에 기재된 발명에 있어서, 상기 프로브 카드를 카드 홀더를 개재하여 고정하는 것을 특징으로 하는 것이다.

또, 본 발명의 청구항 13에 기재된 프로브 장치는, 피검사체를 탑재하는 이동 가능한 탑재대와, 상기 탑재대의 위쪽에 배치되고 또한 상기 피검사체와 전기적으로 접촉하는 복수의 프로브를 갖는 프로브 카드와, 상기 프로브 카드를 상기 탑재대의 위쪽에서 고정하는 고정 기구를 구비한 프로브 장치에 있어서, 상기 고정 기구는 청구항 1 내지 청구항 8 중 어느 한 항에 기재된 프로브 카드의 고정 기구에 의해서 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명에 의하면, 구동 수단이 컴팩트한 구조이고 저비용이며, 프로브 카드를 항상 일정한 고정력으로 고정할 수 있고, 더욱이 구동 수단에 있어서 프로브 카드의 고정력을 간단하게 변경할 수 있는 프로브 카드의 고정 기구, 프로브 카드의 고정 방법 및 프로브 장치를 제공할 수 있다.

이하에 도 1 내지 도 10에 나타낸 실시형태에 의거하여 본 발명을 설명한다. 또한, 각 도면 중 도 1은 본 발명의 프로브 카드의 고정 기구의 일 실시형태의 주요부인 구동 수단을 도시한 단면도, 도 2는 도 1에 나타낸 구동 수단을 확대하여 도시한 단면도, 도 3은 도 1에 나타낸 프로브 카드의 고정 기구의 전체 구조를 도시한 단면도, 도 4의 (a), (b)는 각각 도 3에 나타낸 인서트 링을 도시한 도면으로서, 도 4의 (a)는 그 하면측의 평면도, 도 4의 (b)는 그 단면도, 도 5의 (a), (b)는 각각 인서트 링과 로크 링의 관계를 도시한 주요부 단면도로서, 도 5의 (a)는 인서트 링의 제 1 캠 종동자(cam follower)와 로크 링의 관계를 도시한 단면도, 도 5의 (b)는 인서트 링의 제 2 캠 종동자와 로크 링의 관계를 도시한 단면도, 도 6의 (a), (b)는 각각 도 3에 나타낸 로크 링을 도시한 도면으로서, 도 6의 (a)는 그 하 면측의 평면도, 도 6의 (b)는 그 B-B선 방향의 단면도, 도 7의 (a), (b)는 각각 도 3에 나타낸 고정 기구와 카드 홀더의 관계를 도시한 도면으로서, 도 7의 (a)는 그 주요부 단면도, 도 7의 (b)는 카드 홀더의 돌출부와 지지 캠 종동자의 관계를 도시한 설명도, 도 8의 (a)∼(c)는 각각 고정 기구로 프로브 카드를 고정하는 공정을 도시한 도면, 도 9는 인서트 링의 제 2 위치 결정 핀과 카드 홀더의 관계를 도시한 단면도, 도 10의 (a)∼(c)는 각각 카드 홀더와 인서트 링의 관계를 도시한 단면도로서, 도 10의 (a)는 인서트 링의 릴리프 구멍에 회전 방지 핀이 감입(嵌入)하는 상태를 도시한 단면도, 도 10의 (b)는 인서트 링의 릴리프 구멍에 회전 방지 핀이 감입한 상태를 도시한 단면도, 도 10의 (c)는 도 10의 (a), 도 10의 (b)에 나타낸 회전 방지 핀에 인접하는 캠 종동자의 부분을 도시한 단면도이다.

본 실시형태의 프로브 카드의 고정 기구(이하, 단순히 「고정 기구」라 함)(10)는, 예를 들어 도 1 내지 도 3에 나타낸 바와 같이, 프로브 장치(도시하지 않음)의 헤드 플레이트(11)의 개구부에 고정된 인서트 링(12)과, 이 인서트 링(12)에 의해서 회전 가능하게 지지된 로크 링(13)(도 3 참조)과, 이 로크 링(13)으로부터 지름 방향으로 연설된 레버(14)와, 이 레버(14)의 연설 단부에 연결된 스프링 기구(15)를 구비하고 있다. 스프링 기구(15)는 후술하는 가압 기구와 협동하여 로크 링(13)을 회전 구동시키는 구동 수단으로서, 레버(14)에 가압력을 부여하여 로크 링(13)을 회전시켜서 프로브 카드(16)(도 3 참조)를 그 카드 홀더를 개재하여 들어올림으로써, 로크 링(13)과 인서트 링(12)으로 카드 홀더를 보유유지하여 프로브 카드(16)를 고정하도록 구성되어 있다. 인서트 링(12)과 로크 링(13)의 관계에 대해서는 후술한다.

도 1, 도 2에 나타낸 바와 같이 헤드 플레이트(11)에는 스프링 기구(15) 및 가압 기구(예를 들어, 에어 실린더)(17)가 설치되고, 후술하는 바와 같이 스프링 기구(15)와 에어 실린더(17)가 협동하여 레버(14)를 도 1, 도 2의 1점 쇄선으로 나타낸 위치와 실선으로 나타낸 위치 사이에서 요동시킴으로써 로크 링(lock ring)(13)을 회전시켜서 프로브 카드(16)를 착탈하게 되어 있다. 1점 쇄선으로 나타낸 레버 위치는 에어 실린더(17)의 로드가 가장 연장되어 코일 스프링(151)이 가장 압축된 위치이며, 이 위치에서 프로브 카드(16)를 분리시킬 수 있게 되어 있다. 또, 실선으로 나타낸 레버 위치는 에어 실린더(17)의 로드가 줄어들어 코일 스프링(151)의 압축력을 해제하여 코일 스프링(151)이 가장 연장된 위치이며, 이 위치에서 스프링 기구(15)에 의해서 프로브 카드(16)를 항상 일정한 스프링력으로 보유유지하게 되어 있다. 즉, 본 실시형태에서는 스프링 기구(15)는 스프링력으로 프로브 카드(16)를 보유유지하는 기능을 갖고, 에어 실린더(17)는 프로브 카드(16)를 보유유지할 때에 스프링 기구(15)의 코일 스프링(151)의 압축력을 해제하여, 프로브 카드(16)를 분리시킬 때에 스프링 기구(15)에 압축력을 부여하는 기능을 갖고 있다.

다음으로, 스프링 기구(15)와 에어 실린더(17)의 관계에 대하여, 도 2를 참조하면서 상세하게 설명한다. 스프링 기구(15)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 코일 스프링(151)과, 이 코일 스프링(151)을 관통하는 샤프트(152)와, 이 샤프트(152)가 관통하고 또한 코일 스프링(151)을 보유유지하는 홀더(153)를 구비하며, 샤프 트(152)의 우단(右端)이 에어 실린더(17)의 로드(171)에 연결체(18)를 개재하여 연결되어 있다. 샤프트(152)는 코일 스프링(151)의 신축 가이드로서의 기능을 갖고 있다. 또, 홀더(153)의 우단은 개구되고, 그 좌단(左端)은 단판(端板)(153A)에 의해서 폐색되어 있다. 이 단판(153A)의 중앙부에는 샤프트(152)가 관통하는 관통구멍이 형성되어 있다.

상기 코일 스프링(151)은 제 1, 제 2 코일 스프링(154, 155)이 샤프트(152)를 따라서 직렬로 배치하여 구성되어 있다. 제 1, 제 2 코일 스프링(154, 155)은 동일한 것이어도 되고 다른 것이어도 되며, 프로브 카드(16)의 고정력에 따라서 적절하게 동일한 것 또는 다른 것을 선택할 수 있다. 특히, 제 1, 제 2 코일 스프링(154, 155)의 스프링 정수를 개별적으로 선택함으로써, 고정력을 적절하게 설정할 수 있다. 물론, 코일 스프링(151)은 제 1, 제 2 코일 스프링(154, 155)으로 분할된 것이 아니라, 일체의 것이더라도 무방하다. 보유유지력을 조정하는 경우에는 두 개로 분할되어 있는 편이 바람직하다. 또, 프로브 카드(16)의 고정력은 레버(14)의 길이를 조정하는 것에 의해서도 조정할 수 있다.

도 2에 나타낸 바와 같이, 상기 제 1 코일 스프링(154)은 통체(156) 내에 수납되고, 제 2 코일 스프링(155)은 홀더(153) 내에 수납되어 있다. 통체(156)의 우단은 단판(156A)에 의해서 폐색되고, 좌단은 개구되어 있다. 통체(156)의 단판(156A)의 중앙부를 연결체(18)의 축 부재(181)의 좌단부가 관통하고, 그 좌단이 샤프트(152)의 우단에 연결되어 있다. 연결체(18)의 축 부재(181)의 우단은 에어 실린더(17)의 로드(171)에 연결되어 있다. 통체(156)의 외경은 홀더(153)의 내주 면보다 지름이 약간 작게 형성되어, 코일 스프링(151)의 압축시에 그 일부가 홀더(153) 내에 진출하게 되어 있다. 또, 제 1 코일 스프링(154)과 제 2 코일 스프링(155) 사이에는 원통 형상의 슬라이더(157)가 개재하고, 이 슬라이더(157)는 제 1, 제 2 코일 스프링(154, 155)의 신축에 의하여 통체(156) 내와 홀더(153) 내를 슬라이딩한다. 슬라이더(157)는 샤프트(152)가 관통하는 중앙구멍을 갖고 있다. 슬라이더(157)의 우단면에는 오목부가 형성되고, 이 오목부에서 제 1 코일 스프링(154)의 좌단을 받고 있다. 또, 슬라이더(157)의 좌단면에는 제 2 스프링(155)의 우단이 탄성접촉하고 있다.

도 2에 나타낸 바와 같이 상기 연결체(18)에는 캠 종동자(182)가 부착되고, 레버(14)의 연설 단부에는 긴 원형의 관통구멍이 형성되어 있어, 캠 종동자(182)가 레버(14)의 관통구멍에 감입함으로써, 연결체(18)와 레버(14)가 연결되어 있다. 연결체(18)의 측방에는 스프링 코일(151)의 신축 방향과 평행하게 리니어 가이드(19)가 배치되고, 이 리니어 가이드(19)에 연결체(18)가 자유롭게 슬라이딩하도록 계합(係合)되어 있다. 따라서, 연결체(18)는 스프링 기구(15)와 에어 실린더(17)의 구동력을 얻어 리니어 가이드(19)를 따라서 왕복 이동하게 되어 있다. 또, 리니어 가이드(19)의 좌단에는 연결체(18)의 왼쪽으로의 이동을 제지하는 스토퍼(20)가 배치되고, 리니어 가이드(19)의 우단에는 연결체(18)에 부착되어 셔터(183)를 검출하는 검출기(21)가 배치되어 있다. 검출기(21)는 셔터(183)를 검출하면 제어 장치로 신호를 송신하고, 제어 장치를 개재하여 에어 실린더(17)를 제지하게 되어 있다. 에어 실린더(17)는 제어 장치의 제어 하에서 스피드 컨트롤러를 개재하여 로드(171)의 신축 속도를 적절하게 조정할 수 있게 되어 있다.

다음으로, 인서트 링(12)과 로크 링(13)의 관계에 대해서 상세하게 설명한다. 인서트 링(12)은, 도 3에 나타낸 바와 같이, 통 형상부(12A)를 갖는 동시에 이 통 형상부(12A)의 상단부로부터 지름이 확대되어 형성된 플랜지부(12B)를 갖고, 플랜지부(12B)를 개재하여 헤드 플레이트(11)의 개구부에 고정되어 있다. 또, 로크 링(13)은 인서트 링(12)의 플랜지부(12B)의 하면에 형성된 고리 형상 홈(12C)에 상단부가 감입하고, 레버(14)의 요동에 의하여 고리 형상 홈(12C)을 따라서 회동하게 되어 있다. 로크 링(13)의 내주면에는 그 폭 방향의 대략 중앙에 전체 둘레에 걸쳐서 홈(13A)이 형성되고, 이 홈(13A)이 후술하는 바와 같이 캠으로서 기능하도록 하고 있다.

또, 인서트 링(12)의 통 형상부(12A)에는 도 4의 (a) 및 도 5의 (a)에 나타낸 바와 같이 로크 링(13)의 홈(13A) 내에 감입하는 제 1 캠 종동자(22)가 둘레 방향으로 소정 간격을 두고 적어도 3 개소(본 실시형태에서는 3 개소)에 2개씩 설치되고, 이들 제 1 캠 종동자(22)에 의해서 로크 링(13)을 소정의 높이로 보유유지하도록 하고 있다. 도 4의 (a)에서는 제 1 캠 종동자(22)는 3 개소에서 2개씩 설치되어 있는데, 1개씩 설치해도 무방하다. 제 1 캠 종동자(22)를 3 개소에 설치함으로써, 로크 링(13)을 모든 제 1 캠 종동자(22)에 의해서 균일하게 지지할 수 있다. 또, 제 1 캠 종동자(22)에는 프로브 카드(16)를 보유유지할 때에 큰 부하가 걸리기 때문에, 제 1 캠 종동자(22)는 각 부위에 2개씩 설치되어 기계적 강도를 확보하고 있다.

또, 도 4의 (a) 및 도 5의 (b)에 나타낸 바와 같이, 인서트 링(12)의 플랜지부(12B)에는 로크 링(13)의 홈(13A)의 상측의 내주면에 접촉하는 제 2 캠 종동자(23)가 둘레 방향으로 소정 간격을 두고 적어도 3 개소[도 4의 (a)에서는 3 개소]에 설치되고, 이들 제 2 캠 종동자(23)는 제 1 캠 종동자(22)가 로크 링(13)을 소정의 높이로 보유유지한 상태에서 도 5의 (b)에 나타낸 바와 같이 로크 링(13)의 내주면과의 접촉의 정도를 조정하도록 구성되어 있다. 즉, 제 2 캠 종동자(23)는, 도 5의 (b)에 나타낸 바와 같이, 인서트 링(12)의 플랜지부(12B) 상면에 회전 가능하게 배치된 위치 조정 부재(23A)에 연결되고, 위치 조정 부재(23A)를 회전시킴으로써 제 2 캠 종동자(23)가 로크 링(13)과 이탈/접촉하도록 구성되어 있다. 제 2 캠 종동자(23)의 축부는, 도 5의 (b)에 나타낸 바와 같이, 위치 조정 부재(23A)의 축부에 축심으로부터 치우친 위치에서 나사결합되어 있고, 위치 조정 부재(23A)의 회전에 의하여, 제 2 캠 종동자(23)는 위치 조정 부재(23A)의 축심을 중심으로 로크 링(13)의 내주면에 접근하거나 또는 멀어진다. 따라서, 위치 조정 부재(23A)를 회전 조작하여 제 2 캠 종동자(23)와 로크 링(13)의 내주면과의 접촉 상태를 조정함으로써, 인서트 링(12)에 대한 로크 링(13)의 수평위치(X, Y 위치)를 조정하여, 이들 양자(12, 13)의 축심을 일치시킨다.

또, 도 6의 (a)에 나타낸 바와 같이, 로크 링(13)에는 제 1 캠 종동자(22)에 대응하는 노치부(13B)가 둘레 방향으로 소정 간격(예를 들어, 120°씩)을 두고 형성되고, 로크 링(13)을 인서트 링(12)에 부착할 때에, 인서트 링(12) 측의 제 1 캠 종동자(22)가 노치부(13B)를 통과하여 로크 링(13)의 상단이 인서트 링(12)의 고리 형상 홈(12C)에 감입한 상태에서 로크 링(13)을 회전시키면 제 1 캠 종동자(22)가 로크 링(13)의 고리 형상 홈(13A) 내에 들어간다.

또한, 로크 링(13)에는 인서트 링(12)과의 사이의 위치 결정을 행하는 제 1 위치 결정 핀(도시하지 않음)을 삽입하는 2개의 구멍(13C)이 서로 둘레 방향으로 180° 거리를 둔 위치에 형성되고, 또한 인서트 링(12)에도 이들 위치 결정용 구멍(13C)에 대응하는 위치 결정용 구멍(도시하지 않음)이 형성되어 있다. 그리고, 로크 링(13)을 인서트 링(12)에 대하여 회전이 자유롭게 일체화한 상태에서, 이들 위치 결정용 구멍(13C)에 제 1 위치 결정 핀을 장착함으로써, 인서트 링(12)과 로크 링(13)을 소정의 위치 관계로 일체화할 수 있다. 인서트 링(12)과 로크 링(13)이 위치 결정된 상태에서, 도 3에 나타낸 바와 같이 로크 링(13)을 회전 조작하기 위한 연결체(18)와 로크 링(13)을 레버(14)를 개재하여 연결할 수 있다. 도 6의 (a)에 나타낸 바와 같이 로크 링(13)의 홈(13A)의 하측에는 지름 방향으로 관통하는 2 개소의 암나사부(13D)가 형성되고, 여기서 로크 링(13)과 레버(14)를 도 1, 도 2에 나타낸 바와 같이 연결하고 있다.

또, 도 6의 (a)에 나타낸 바와 같이, 로크 링(13)에는 둘레 방향으로 소정 간격을 두고 복수[도 6의 (a)에서는 6개]의 지지 캠 종동자(24)가 부착되고, 또한 도 7의 (a)에 나타낸 바와 같이 카드 홀더(161)에는 지지 캠 종동자(24)에 대응하는 돌출부(161A)가 형성되어 있다. 그리고, 프로브 카드(16)는 카드 홀더(161)를 개재하여 지지 캠 종동자(24)에 의해서 지지되고, 로크 링(13)이 회동함으로써 인서트 링(12)의 통 형상부(12A)에 대하여 이탈/접촉하도록 되어 있다.

즉, 카드 홀더(161)의 돌출부(161A)는, 도 7의 (b)에 나타낸 바와 같이, 일단부(이 도면에서는 우단부)가 가장 얇게 형성된 얇은 부분(161B)과, 타단부(이 도면에서는 좌단부)가 가장 두껍게 형성된 두꺼운 부분(161C)과, 얇은 부분(161B)으로부터 두꺼운 부분(161C)을 향하여 2단계로 경사각을 바꾸어 형성된 제 1, 제 2 경사부(161D, 161E)를 갖고 있다. 그리고, 로크 링(13)이 회전함에 따라, 지지 캠 종동자(24)가 얇은 부분(161B)으로부터 두꺼운 부분(161C)으로 이동하여 프로브 카드(16)를 서서히 들어올려(도 6 참조), 최종적으로 도 7의 (a)에 나타낸 바와 같이 지지 캠 종동자(24)와 인서트 링(12)의 플랜지부(12B)로 프로브 카드(16)를 보유유지하게 되어 있다.

또, 도 8의 (a) 내지 (c)에 나타낸 바와 같이, 인서트 링(12)에는 카드 홀더(161)를 검출하는 센서 기구(25)가 상기 돌출부(161A)의 두꺼운 부분(161C)에 위치하도록 장착되어 있다. 이 센서 기구(25)는, 상기 도면에 나타낸 바와 같이, 인서트 링(12)의 플랜지부(12B)에 형성된 관통구멍에 수납된 핀(25A)과, U자 형상의 노치부에서 관통구멍을 사이에 두도록 배치된 플레이트 센서(25B)와, 이들 양자(25A, 25B) 사이에 탄력 부착된 스프링(25C)을 갖고, 핀(25A)을 개재하여 카드 홀더(161A)를 검출하게 되어 있다. 관통구멍의 하단에는 내측으로의 돌출부가 형성되고, 핀(25A)은 직동부(直胴部)에 형성된 플랜지부에서 돌출부에 계지(係止)하게 되어 있다. 플레이트 센서(25B)는 노치부에 센서부를 갖고, 이 센서부에서 노치부를 출입하는 핀(25A)을 비접촉으로 검출하는 투과형 센서로서 구성되어 있다. 센서부는 예를 들어 발광 소자 및 수광 소자로 이루어지고, 발광 소자로부터의 광(L)을 수광 소자로 검출하는지 여부에 의해 카드 홀더(161)의 유무를 검출하는 것이다.

또, 도 9에 나타낸 바와 같이, 인서트 링(12)의 플랜지부(12B)에는 두 개의 제 2 위치 결정 핀(26)이 서로 둘레 방향으로 180° 거리를 두어 통 형상부(12A)를 따라서 늘어뜨려지도록 부착되고, 또한 카드 홀더(161)에는 제 2 위치 결정 핀(26)에 대응하는 두 개의 감입구멍(161F)이 형성되어 있다. 프로브 카드(16)를 고정 기구(10)에 장착할 때에, 인서트 링(12) 측의 제 2 위치 결정 핀(26)이 카드 홀더(161)의 감입구멍(161F)에 감입함으로써, 프로브 카드(16)와 인서트 링(12)의 둘레 방향의 위치를 정확하게 설정할 수 있다.

또, 도 10의 (a), (b)에 나타낸 바와 같이, 카드 홀더(161)의 인서트 링(12)의 통 형상부(12A)로부터의 돌출부에는 두 개의 회전 방지 핀(27)이 서로 둘레 방향으로 180° 거리를 두어 입설(立設)되고, 또한 인서트 링(12)의 플랜지부(12B)의 하면에는 블록(28)이 부착되어 있다. 이 블록(28) 및 플랜지부(12B)에는 회전 방지 핀(27)이 헐겁게 끼워지는 릴리프 구멍(28A, 12D)이 형성되어 있다. 또, 블록(28)에는 캠 종동자(29)가 둘레 방향에서 위치 조정 가능하게 부착되고, 이 캠 종동자(29)가 통 형상부(11A) 측으로 돌출하여, 회전 방지 핀(27)과 계합하여 인서트 링(12)에 있어서의 둘레 방향의 위치를 결정한다.

따라서, 도 8의 (a)에 나타낸 바와 같이 카드 홀더(161)의 돌출부(161A)가 인서트 링(12)의 통 형상부(12A)와 로크 링(13)의 간극에 들어가고, 이 상태에서 에어 실린더(17)가 스프링 기구(15)를 압축하고 있던 실린더의 구동 에어를 스피드 컨트롤러에 의하여 제어된 속도로 배기함으로써 스프링 기구(15)의 압축을 해제하고, 스프링 기구(15)로부터 연결체(18)에 가압력을 부여하면, 연결체(18)가 리니어 가이드(19)를 따라서 원하는 속도로 이동하여, 연결체(18)를 개재하여 레버(14)에 가압력을 부여하면 로크 링(13)이 회전하여, 돌출부(161A)의 얇은 부분(161B)이 지지 캠 종동자(24)와 접촉한다. 또한, 로크 링(13)이 스프링 기구(15)의 가압력을 얻어 회전하여, 도 7의 (b)에 나타낸 바와 같이 지지 캠 종동자(24)가 얇은 부분(161B)으로부터 제 1, 제 2 경사부(161C, 161D)를 따라서 연속적으로 전동(轉動)하여 프로브 카드(16)가 서서히 들어올려지면, 도 8의 (b)에 나타낸 바와 같이 센서 기구(25)의 핀(25A)은 돌출부(161A)의 상면에 접촉하여, 스프링(25B)의 탄력에 대항하여 카드 홀더(161)가 서서히 상승하고, 최종적으로 카드 홀더(161)가 도 7의 (a), 도 8의 (c)에 나타낸 바와 같이 상승단에 도달하여, 로크 링(13)의 지지 캠 종동자(24)와 인서트 링(12)의 플랜지부(12B)로 카드 홀더(161)를 보유유지하고, 프로브 카드(165)를 고정한다.

이 때, 연결체(18)가 에어 실린더(17)에 접근하고, 검출기(21)가 연결체(18)의 셔터(183)를 비접촉으로 검출하면, 에어 실린더(17)가 정지하고, 로크 링(13)의 위치를 설정한다. 에어 실린더(17)가 정지하였을 때, 지지 캠 종동자(24)와 인서트 링(12)의 플랜지부(12B)로 카드 홀더(161)의 돌출부(161A)를 보유유지하고, 그 결과로서 카드 홀더(161)를 고정 기구(10)로 고정한다. 이 때, 인서트 링(12)의 제 2 위치 결정 핀(26)이 카드 홀더(161)에 형성된 감입구멍(161F)에 감입한다. 센서 기구(25)에서는 도 8의 (c)에 나타낸 바와 같이 플레이트 센서(25B)가 노치부 에 진입한 핀(25A)을 검출한다.

다음으로, 프로브 카드의 고정 기구(10)를 이용하는 본 발명의 프로브 카드의 고정 방법에 대하여 설명한다. 먼저, 반송기구를 거쳐 카드 홀더가 있는 프로브 카드(16)를 인서트 링(12)의 바로 아래까지 반송한 후 상승하여, 도 8의 (a)에 나타낸 바와 같이 카드 홀더(161)의 돌출부(161A)가 인서트 링(12)의 통 형상부(12A)와 로크 링(13)의 간극에 도달한다. 이 때, 에어 실린더(17)의 로드(171)가 가장 연장되어, 스프링 기구(15)의 코일 스프링(151)이 가장 압축된 상태가 되어 있다.

여기서, 에어 실린더(17)가 스프링 기구(15)를 압축하고 있던 실린더의 구동 에어를 스피드 컨트롤러에 의하여 제어된 속도로 배기함으로써 로드(171)가 줄어들어, 스프링 기구(15)의 압축력을 해제하고, 스프링 기구(15)로부터 연결체(18)에 가압력을 부여하면, 연결체(18)가 리니어 가이드(19)를 따라서 좌단으로부터 오른쪽으로 원하는 속도로 이동하기 시작한다. 이에 의하여 레버(14)가 도 1, 도 2에 1점 쇄선으로 나타낸 위치로부터 시계 방향으로 회전하기 시작하여, 레버(14)를 거쳐 연결체(18)의 직진 운동을 로크 링(13)의 회전 운동으로 변환한다.

로크 링(13)이 회전하기 시작하면 지지 캠 종동자(24)가 돌출부(161A)의 얇은 부분(161B)과 접촉한다. 그리고, 에어 실린더(17)의 로드(171)가 줄어들어, 스프링 기구(15)의 코일 스프링(151)이 연장되어 연결체(18)를 이동시키고, 연결체(18)의 셔터(183)를 검출기(21)가 검출하면, 에어 실린더(17)가 멈추고, 코일 스프링(151)이 가장 연장된 상태가 되어 연결체(18)에 일정한 가압력을 부여한다.

그 동안에, 레버(14)는 도 1, 도 2의 1점 쇄선으로 나타낸 위치로부터 실선으로 나타낸 위치까지 요동한다. 이 레버(14)는 로크 링(13)을 회전시키고, 도 7의 (b)에 나타낸 바와 같이 지지 캠 종동자(24)가 얇은 부분(161B)으로부터 제 1, 제 2 경사부(161C, 161D)를 따라서 연속적으로 전동하면, 도 8의 (b)에 나타낸 바와 같이 센서 기구(25)의 핀(25A)은 돌출부(161A)의 상면에 접촉하여, 스프링(25B)의 탄력에 대항하여 카드 홀더(161)가 서서히 상승하고, 최종적으로 카드 홀더(161)가 도 7의 (a), 도 8의 (c)에 나타낸 바와 같이 상승단에 도달하여, 로크 링(13)의 지지 캠 종동자(24)와 인서트 링(12)의 플랜지부(12B)로 카드 홀더(161)를 보유유지하고, 프로브 카드(16)를 고정한다. 프로브 카드(16)를 헤드 플레이트(11)에 놓고 고정하면, 이 프로브 카드(16)를 이용하여 반도체 웨이퍼의 전기적 특성 검사를 실행할 수 있다.

검사 종료 후, 프로브 카드(16)를 교환을 위하여 분리하는 경우에는 에어 실린더(17)가 작동하여, 연결체(18)를 거쳐 스프링 기구(15)의 코일 스프링(151)을 압축시키면, 로크 링(13)이 연결체(18) 및 레버(14)를 거쳐 상술한 경우와는 반대 방향으로 회전한다. 그리고, 에어 실린더(17)의 로드(171)가 스프링 기구(15)에 압축력을 부여하면서 연장되고, 가장 연장된 시점에서 연결체(18)가 스토퍼(20)에 의하여 멈춘다. 그 동안에, 로크 링(13)의 지지 캠 종동자(24)가 카드 홀더(161)의 제 2 경사면(161E), 제 2 경사면(161D) 및 얇은 부분(161B)을 경유하여 로크 링(13)으로부터 분리되어, 대기하고 있는 반송기구 위에 프로브 카드(16)가 탑재된다.

이상으로 설명한 바와 같이 본 실시형태에 의하면, 스프링 기구(15)로부터 연결체(18)에 가압력을 부여하여 로크 링(13)을 프로브 카드(16)의 고정위치까지 회전시키고, 그 위치를 스프링 기구(15)의 스프링력으로 보유유지하도록 하였기 때문에, 스프링 기구(15)에 의한 항상 일정한 스프링력으로 프로브 카드(16)를 확실하게 인서트 링(12)에 고정할 수 있다. 또, 로크 링(13)의 구동 수단은 스프링 기구(15)와 에어 실린더(17)에 의해서 구성되어 있기 때문에, 컴팩트한 구조이고 저비용이며, 스프링 기구(15)에 의해서 프로브 카드(16)를 항상 일정한 고정력으로 확실하게 고정할 수 있다. 또, 프로브 카드(16)의 고정력을 변경하는 경우에는 스프링 기구(15)의 코일 스프링(151)을 바꾸거나 레버(14)를 바꿈으로써 간단하게 변경할 수 있다.

또, 본 실시형태에 의하면, 연결체(18)를 스프링 기구(15)의 신축 방향으로 이동 안내하는 리니어 가이드(19)를 설치하였기 때문에, 스프링 기구(15)로부터 연결체(18)로 안정된 직선 운동을 부여할 수 있고, 레버(14)의 요동 동작을 안정화할 수 있으며, 나아가서는 로크 링(13)을 원활하게 회전시킬 수 있다. 또, 연결체(18)에 셔터(183)를 설치하는 동시에 리니어 가이드(19)의 일단에 셔터(183)를 검출하는 검출기(21)를 설치하였기 때문에, 로크 링(13)으로 프로브 카드(16)를 고정한 시점에서 에어 실린더(17)를 확실하게 멈출 수 있다. 또한, 스프링 기구(15)는 코일 스프링(151)과, 이 코일 스프링(151)을 관통하고 또한 연결체(18)에 연결된 샤프트(152)와, 이 샤프트(152)가 관통하고 또한 코일 스프링(151)을 보유유지하는 홀더(153)를 갖기 때문에, 코일 스프링(151)을 원활하게 신축시킬 수 있다. 또, 코일 스프링(151)은 제 1, 제 2 코일 스프링(154, 155)으로 이루어지기 때문에, 스프링력을 세밀하게 설정할 수 있다.

또, 본 실시형태에 의하면, 에어 실린더는 스피드 컨트롤러를 갖기 때문에, 스피트 컨트롤러에 의하여 구동 에어의 배기 속도를 적절히 제어하여 스프링 기구(15)의 가압력을 제어하면서 로크 링(13)을 회전시켜서 프로브 카드(16)를 원활하게 고정할 수 있다.

또한, 본 발명은 상기 실시형태에 전혀 제한되는 것이 아니며, 각 구성요소를 필요에 따라서 적절히 설계 변경할 수 있다. 예를 들어, 상기 실시형태에서는 카드 홀더(161)를 갖는 프로브 카드(16)에 대하여 설명하였으나, 카드 홀더가 없고 프로브 카드를 직접 고정하는 타입의 것이더라도 무방하다. 또, 가압 기구로서 에어 실린더 등의 실린더 기구를 이용하는 것이 바람직하나, 가압 기구는 스프링 기구의 가압력을 적절히 조정할 수 있는 것이라면 실린더 기구 이외의 것이더라도 무방하다.

본 발명은 프로브 장치에 알맞게 이용할 수 있다.

도 1은 본 발명의 프로브 카드의 고정 기구의 일 실시형태의 주요부인 구동 수단을 도시한 단면도,

도 2는 도 1에 나타낸 구동 수단을 확대하여 도시한 단면도,

도 3은 도 1에 나타낸 프로브 카드의 고정 기구의 전체 구조를 도시한 단면도,

도 4의 (a), (b)는 각각 도 3에 나타낸 인서트 링을 도시한 도면으로서, 도 4의 (a)는 그 하면측의 평면도, 도 4의 (b)는 그 단면도,

도 5의 (a), (b)는 각각 인서트 링과 로크 링의 관계를 도시한 주요부 단면도로서, 도 5의 (a)는 인서트 링의 제 1 캠 종동자와 로크 링의 관계를 도시한 단면도, 도 5의 (b)는 인서트 링의 제 2 캠 종동자와 로크 링의 관계를 도시한 단면도,

도 6의 (a), (b)는 각각 도 3에 나타낸 로크 링을 도시한 도면으로서, 도 6의 (a)는 그 하면측의 평면도, 도 6의 (b)는 그 B-B선 방향의 단면도,

도 7의 (a), (b)는 각각 도 3에 나타낸 고정 기구와 카드 홀더의 관계를 도시한 도면으로서, 도 7의 (a)는 그 주요부 단면도, 도 7의 (b)는 카드 홀더의 돌출부와 지지 캠 종동자의 관계를 도시한 설명도,

도 8의 (a)∼(c)는 각각 고정 기구로 프로브 카드를 고정하는 공정을 도시한 도,

도 9는 인서트 링의 제 2 위치 결정 핀과 카드 홀더의 관계를 도시한 단면 도,

도 10의 (a)∼(c)는 각각 카드 홀더와 인서트 링의 관계를 도시한 단면도로서, 도 10의 (a)는 인서트 링의 릴리프 구멍에 회전 방지 핀이 감입하는 상태를 도시한 단면도, 도 10의 (b)는 인서트 링의 릴리프 구멍에 회전 방지 핀이 감입한 상태를 도시한 단면도, 도 10의 (c)는 도 10의 (a), (b)에 나타낸 회전 방지 핀에 인접하는 캠 종동자의 부분을 도시한 단면도,

도 11은 프로브 장치의 일례의 주요부를 파단하여 도시한 정면도.

도면의 주요 부부에 대한 부호의 설명

10 : 고정 기구 11 : 인서트 링

12 : 로크 링 14 : 레버

15 : 스프링 기구 16 : 프로브 카드

17 : 에어 실린더(가압 기구) 19 : 리니어 가이드(가이드 부재)

21 : 검출기 151 : 코일 스프링

152 : 샤프트 153 : 홀더

154 : 제 1 코일 스프링 155 : 제 2 코일 스프링

161 : 카드 홀더 183 : 셔터

Claims (13)

1. 프로브 장치의 헤드 플레이트의 개구부에 고정된 인서트 링과, 상기 인서트 링에 의해서 회전 가능하게 지지된 로크 링(lock ring)과, 상기 로크 링으로부터 지름 방향으로 연설된 레버와, 상기 레버의 연설 단부에 연결되고 또한 상기 헤드 플레이트에 설치된 구동 수단을 구비하며, 상기 구동 수단에 의하여 상기 레버에 가압력을 부여하여 상기 로크 링을 회전시켜서 프로브 카드를 들어올림으로써, 상기 로크 링과 상기 인서트 링으로 상기 프로브 카드를 보유유지하여 상기 프로브 카드를 고정하는 기구에 있어서,

   상기 구동 수단은 상기 레버에 가압력을 부여하는 스프링 기구와, 상기 스프링 기구에 연결되고 또한 상기 스프링 기구를 신축시키는 가압 기구를 구비하며, 상기 가압 기구가 상기 스프링 기구의 압축력을 해제하였을 때에 상기 스프링 기구로부터 상기 레버에 가압력을 부여하여 상기 로크 링을 회전시키는 것을 특징으로 하는

   프로브 카드의 고정 기구.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 스프링 기구와 상기 가압 기구를 연결체에 의해서 연결하는 동시에, 상기 연결체를 상기 스프링 기구의 신축 방향으로 이동 안내하는 가이드 부재를 설치한 것을 특징으로 하는

   프로브 카드의 고정 기구.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 연결체에 셔터를 설치하는 동시에 상기 가이드 부재의 근방에 상기 셔터를 검출하는 검출기를 설치하고, 상기 검출기에 의하여 상기 셔터를 검출하였을 때에 상기 가압 기구를 정지시켜서 상기 스프링 기구에 의하여 상기 프로브 카드를 고정하는 것을 특징으로 하는

   프로브 카드의 고정 기구.
4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 스프링 기구는 코일 스프링과, 이 코일 스프링을 관통하고 또한 상기 연결체에 연결된 샤프트와, 이 샤프트가 관통하고 또한 상기 코일 스프링을 보유유지하는 홀더를 갖는 것을 특징으로 하는

   프로브 카드의 고정 기구.
5. 제 4 항에 있어서,

   상기 코일 스프링은 제 1 및 제 2 코일 스프링으로 이루어지는 것을 특징으로 하는

   프로브 카드의 고정 기구.
6. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 가압 기구는 실린더 기구로 이루어지는 것을 특징으로 하는

   프로브 카드의 고정 기구.
7. 제 6 항에 있어서,

   상기 실린더 기구는 배기 속도의 제어 기능을 갖는 에어 실린더로 이루어지는 것을 특징으로 하는

   프로브 카드의 고정 기구.
8. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 프로브 카드는 카드 홀더를 갖는 것을 특징으로 하는

   프로브 카드의 고정 기구.
9. 프로브 장치의 헤드 플레이트의 개구부에 고정된 인서트 링과, 상기 인서트 링에 의해서 회전가능하게 지지된 로크 링과, 상기 로크 링으로부터 지름 방향으로 연설된 레버와, 상기 레버의 연설 단부에 연결된 구동 수단을 구비하며, 상기 구동 수단에 의하여 상기 레버에 가압력을 부여하여 상기 로크 링을 회전시켜서 프로브 카드를 들어올림으로써, 상기 로크 링과 상기 인서트 링으로 상기 프로브 카드를 보유유지하여 상기 프로브 카드를 고정하는 방법에 있어서,

   상기 구동 수단으로서 스프링 기구와 상기 스프링 기구에 압축력을 부여하는 가압 기구를 이용하여 상기 프로브 카드를 고정할 때에, 상기 가압 기구에 의하여 상기 스프링 기구의 압축력을 해제하는 공정과, 상기 스프링 기구의 압축력의 해제에 의하여 상기 스프링 기구로부터 상기 레버에 가압력을 부여하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는

   프로브 카드의 고정 방법.
10. 제 9 항에 있어서,

    상기 가압 기구로서 실린더 기구를 이용하는 것을 특징으로 하는

    프로브 카드의 고정 방법.
11. 제 10 항에 있어서,

    상기 실린더 기구로서 배기 속도의 제어 기능을 갖는 에어 실린더를 이용하는 것을 특징으로 하는

    프로브 카드의 고정 방법.
12. 제 9 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 프로브 카드를 카드 홀더를 개재하여 고정하는 것을 특징으로 하는

    프로브 카드의 고정 방법.
13. 피검사체를 탑재하는 이동 가능한 탑재대와, 상기 탑재대의 위쪽에 배치되고 또한 상기 피검사체와 전기적으로 접촉하는 복수의 프로브를 갖는 프로브 카드와, 상기 프로브 카드를 상기 탑재대의 위쪽에서 고정하는 고정 기구를 구비한 프로브 장치에 있어서,

    상기 고정 기구는 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 기재된 프로브 카드의 고정 기구에 의해서 구성되어 있는 것을 특징으로 하는

    프로브 장치.

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