KR101248135B1 - 에어 베어링을 이용한 프로브 검사장치 - Google Patents

에어 베어링을 이용한 프로브 검사장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 에어 베어링을 이용한 프로브 검사장치에 관한 것으로, 엘시디 글라스의 패턴 검사 시 상.하 구동모터 및 에어 베어링을 포함하는 특정 구조의 검사장치를 통해 프로브핀을 수직으로 마찰없이 슬라이딩 이동시킴에 따라, 정밀 콘텍이 이루어지면서 콘텍 시의 오차가 최소화 될 수 있도록 한 에어 베어링을 이용한 프로브 검사장치를 제공함에 그 목적이 있다.
이를 위해, 본 발명에 따른 에어 베어링을 이용한 브로브 검사장치는, 상.하 방향으로 구동력을 인가하는 구동모터와, 수직으로 형성되는 한 쌍의 가이드레일과, 상기 가이드레일의 전.후에 각각 설치되는 전면 및 후면 마운트 베이스로 이루어진 구동수단과; 상기 구동수단의 전면 마운트 베이스의 전면 하측에 고정 설치되어 상.하 연동되는 판형상의 고정부재와; 상기 고정부재의 전면에 고정 설치되되, 직육면체 형상으로 이루어져 상.하로 관통된 부싱설치홀이 형성되며, 그 일측에는 연통홀이 형성된 부싱 설치블럭과; 상기 부싱 설치블럭의 부싱설치홀에 고정 설치되는 에어부싱과; 상기 부싱 설치블럭의 연통홀 측에 설치되어 상기 에어부싱 측에 공기를 공급하는 공기유입피딩과; 상기 에어부싱을 관통하여 수직으로 설치되는 샤프트와; 전단부 측이 하측을 향해 절곡된 사각판 형상으로 이루어져 상기 고정부재의 상단에 후단부 측이 고정된 상태로 설치되는 상부부재와; 측면이 "
Figure 112011102616473-pat00004
" 형상을 갖으며 절곡된 상단 및 하단 사이에 상기 샤프트의 상.하단이 각각 고정 결합되어, 상기 에어부싱을 매개로 한 샤프트의 수직 이동에 따라 상.하 방향으로 연동되는 제 1이동부재와; 측면이 "┘" 형상을 갖으며 상기 제 1연동부재의 전면에 고정 설치되어 상.하 방향으로 연동되는 제 2이동부재와; 상기 고정부재에 일단이 고정 설치된 센서설치블럭의 타단을 수직으로 관통하여 설치되는 콘텍센서와; 상기 콘텍센서의 상측에 해당되는 제 2이동부재 일측에 고정 설치되어, 상기 제 2이동부재의 상승 시 상기 콘텍센서와 분리되며 센싱신호가 발생되도록 하는 센서감지블럭과; 상기 제 2이동부재의 하단에 콘텍핀 설치부재를 매개로 고정 설치되어 선택적으로 글라스와 접촉되는 콘텍핀 및; 상기 제 2이동부재의 상단 및 상기 상부부재 타측 하단 사이에 구비되어, 상기 제 1 및 제 2이동부재의 상승 시 하측을 향한 복원력을 인가하는 압축스프링;을 포함하여 구성된다.

Description

에어 베어링을 이용한 프로브 검사장치{PROBE TEST APPARATUS USING BY AIR BEARING}
본 발명은 에어 베어링을 이용한 프로브 검사장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 엘시디 제품제조의 최종 공정인 검사공정에서 스테이지 상면에 엘시디 글라스를 고정시킨 상태에서 이송장치를 구동하여 원하는 위치의 글라스 패턴을 프루브 핀을 이용하여 물리적으로 콘텍한 후 데이터를 테스터 장비 측으로 전송하여 검사가 진행될 수 있도록 하는 에어 베어링을 이용한 프로브 검사장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판디스플레이(Flat Panel Display)에는 액정표시소자(Liquid Crystal Display: LCD)와, 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel: PDP), 전계 방출 디스플레이 소자(Field Emission Display: FED) 등이 포함된다.
이러한 평판디스플레이의 제조에 있어서는 하부 기판의 제조공정과, 상부 기판의 제조공정, 그리고 하부 기판과 상부 기판의 합착공정 등의 공정이 진행되게 된다.
이에 대해 보다 상세히 설명하면, 하부 기판을 제조하기 위한 글래스 원판 상에 다수의 셀들을 형성하고, 이 셀에 다수의 수평 라인과 수직 라인들을 매트릭스 형태로 서로 교차하도록 형성하며, 수평 라인과 수직 라인의 교차부마다 투명한 화소 전극을 포함하는 화소 셀들을 형성한다.
그리고, 화소 셀들에는 수평 라인과 수직 라인 및 화소 전극에 접속되는 박막 트랜지스터를 형성한다.
또, 상기 글래스 원판에 형성된 다수의 셀들은 검사공정을 거친 후 스크라이빙 공정에 의해 절단이 되며, 이렇게 글래스 원판에서 절단된 다수의 셀, 즉 하부 기판 각각은 상부 기판의 제조공정에서 완성된 상부 기판과 합착되고, 화소 셀들을 구동하기 위한 구동회로 및 여러 가지 요소들이 조립됨으로써 하나의 평판디스플레이가 완성되게 된다.
이때, 상술한 바와 같은 평판디스플레이의 제조공정 중, 상기 글래스 원판에 형성된 다수의 셀에 대한 검사공정에서는 프로브 장치를 이용하여 회로패턴에 전기적인 테스트 신호를 인가함으로써 회로의 상태를 검사하게 된다.
즉, 상기 회로패턴의 테스트 시에는 프로브 장치의 상.하 이동에 따라 프로로브 카드가 글래스 상면에 접촉되면, 그 상태를 콘텍핀 및 콘텍 체크 센서 측에서 검출하여, 테스트 신호를 발생시키도록 제어가 이루어지게 된다.
국내 등록특허 제10-0768914호
그러나, 상기 종래의 프로브 검사장치는 엘시디 글라스 및 콘텍핀의 콘텍 시, 핀이 한 개이거나 적을 때는 사용하는데 어려움이 없으나, 콘텍핀의 개수가 많아지거나 한방향이 아닌 양방향의 구조를 갖는 콘텍핀의 콘텍 시에는 정확한 콘텍이 불가능하여 측정이 어려운 문제점이 발생하게 되었다.
즉, 엘시디 글라스의 패턴 검사는 정확한 측정 포인트 및 미세한 콘텍 깊이를 유지하여 항상 일정하게 검사가 진행되어야만 하지만, 종래의 힌지 방식을 갖는 상.하 구동으로는 여러 개의 콘텍핀이나 양방향 구조를 갖는 콘텍핀의 경우 정밀한 콘텍이 이루어지지 못하는 문제점을 갖게 되는 것이다.
따라서, 본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 개선하기 위하여 안출된 것으로, 그 목적은 엘시디 글라스의 패턴 검사 시 상.하 구동모터 및 에어 베어링을 포함하는 특정 구조의 검사장치를 통해 프로브핀을 수직으로 마찰없이 슬라이딩 이동시킴에 따라, 정밀 콘텍이 이루어지면서 콘텍 시의 오차가 최소화 될 수 있도록 한 에어 베어링을 이용한 프로브 검사장치를 제공하고자 하는 것이다.
즉, 본 발명에 따른 에어베어링을 이용한 프로브 검사장치는 에어부싱을 매개로 프로부핀을 마찰없이 수직 이동시킴에 따라 콘텍 시의 오차가 최소화 됨과 아울러 콘텍 시의 압력이 최소화 될 수 있는 구조를 제공할 수가 있는 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 에어 베어링을 이용한 프로브 검사장치는, 상.하 방향으로 구동력을 인가하는 구동모터와, 수직으로 형성되는 한 쌍의 가이드레일과, 상기 가이드레일의 전.후에 각각 설치되는 전면 및 후면 마운트 베이스로 이루어진 구동수단과; 상기 구동수단의 전면 마운트 베이스의 전면 하측에 고정 설치되어 상.하 연동되는 판형상의 고정부재와; 상기 고정부재의 전면에 고정 설치되되, 직육면체 형상으로 이루어져 상.하로 관통된 부싱설치홀이 형성되며, 그 일측에는 연통홀이 형성된 부싱 설치블럭과; 상기 부싱 설치블럭의 부싱설치홀에 고정 설치되는 에어부싱과; 상기 부싱 설치블럭의 연통홀 측에 설치되어 상기 에어부싱 측에 공기를 공급하는 공기유입피딩과; 상기 에어부싱을 관통하여 수직으로 설치되는 샤프트와; 전단부 측이 하측을 향해 절곡된 사각판 형상으로 이루어져 상기 고정부재의 상단에 후단부 측이 고정된 상태로 설치되는 상부부재와; 측면이 "
Figure 112011102616473-pat00001
" 형상을 갖으며 절곡된 상단 및 하단 사이에 상기 샤프트의 상.하단이 각각 고정 결합되어, 상기 에어부싱을 매개로 한 샤프트의 수직 이동에 따라 상.하 방향으로 연동되는 제 1이동부재와; 측면이 "┘" 형상을 갖으며 상기 제 1연동부재의 전면에 고정 설치되어 상.하 방향으로 연동되는 제 2이동부재와; 상기 고정부재에 일단이 고정 설치된 센서설치블럭의 타단을 수직으로 관통하여 설치되는 콘텍센서와; 상기 콘텍센서의 상측에 해당되는 제 2이동부재 일측에 고정 설치되어, 상기 제 2이동부재의 상승 시 상기 콘텍센서와 분리되며 센싱신호가 발생되도록 하는 센서감지블럭과; 상기 제 2이동부재의 하단에 콘텍핀 설치부재를 매개로 고정 설치되어 선택적으로 글라스와 접촉되는 콘텍핀 및; 상기 제 2이동부재의 상단 및 상기 상부부재 타측 하단 사이에 구비되어, 상기 제 1 및 제 2이동부재의 상승 시 하측을 향한 복원력을 인가하는 압축스프링을 포함하여 구성된 것;을 특징으로 한다.
바람직하게, 상기 제 2이동부재의 전면 하측 및 상기 상부부재의 전단부 측에는 각각 인장스프링 설치블럭이 고정 설치되며, 상기 한 쌍의 인장스프링 설치블럭을 매개로 다수 개의 인장스프링이 수직방향으로 설치되어, 상기 제 1 및 제 2이동부재의 복귀 시 초기 위치값이 일정하게 유지될 수 있도록 구성된 것을 특징으로 한다.
바람직하게, 상기 부싱 설치블럭은 한 쌍이 구비되어 상.하로 배치되고, 각각의 부싱 설치블럭에는 한 쌍씩의 부싱설치홀이 관통 형성되어 총 4개의 에어부싱이 설치되도록 이루어져, 이를 매개로 한 쌍의 샤프트가 나란하게 관통 설치되도록 구성된 것을 특징으로 한다.
상기에서 설명한 바와 같이 이루어진 본 발명에 따르면, 상.하 구동모터 및 에어 베어링을 포함하는 특정 구조의 프로브 검사장치를 매개로 엘시디 글라스의 측정 검사 시 콘텍핀을 마찰없이 수직 슬라이딩 이동시킬 수 있으므로, 콘텍 시의 오차가 최소화 됨에 따라 콘텍핀의 매우 정밀한 콘텍을 구현할 수 있는 효과가 있게 된다.
이에, 보다 정확한 측정 결과 및 지속성을 제공할 수가 있게 되므로, 테스트의 정밀도가 향상됨과 아울러 매우 신뢰성이 높은 데이터를 얻을 수 있는 효과가 있게 된다.
도 1은 본 발명에 따른 에어 베어링을 이용한 프로브 검사장치의 구성을 나타내는 사시도,
도 2a 및 도 2b는 본 발명에 따른 에어 베어링을 이용한 프로브 검사장치의 구성을 나타내는 정면도 및 일측면도,
도 3은 본 발명에 따른 에어 베어링을 이용한 프로브 검사장치의 구성을 나타내는 일부분 분리사시도,
도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 에어 베어링을 이용한 프로브 검사장치의 동작상태를 나타내는 도면이다.
이하, 상기한 바와 같이 구성된 본 발명에 대해 첨부도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 에어 베어링을 이용한 프로브 검사장치의 구성을 나타내는 사시도, 도 2a 및 도 2b는 본 발명에 따른 에어 베어링을 이용한 프로브 검사장치의 구성을 나타내는 정면도 및 일측면도, 도 3은 본 발명에 따른 에어 베어링을 이용한 프로브 검사장치의 구성을 나타내는 일부분 분리사시도, 도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 에어 베어링을 이용한 프로브 검사장치의 동작상태를 나타내는 도면이다.
먼저, 본 발명에 따른 에어 베어링을 이용한 프로브 검사장치는, 상.하 구동수단 및 에어 베어링을 포함하는 특정 구조의 검사장치를 매개로 엘시디 글라스의 패턴 검사 시 프로브핀을 반복적으로 매우 정밀하게 콘텍 시키면서 검사를 진행할 수 있도록 구현된다.
이를 위해, 본 발명에 따른 에어 베어링을 이용한 프로브 검사장치는, 상.하 구동모터(10)를 포함하는 소정 구동수단 및 콘텍핀(90)과 연계된 샤프트(40)가 에어부싱(36)을 매개로 마찰력이 제거된 상태로 상.하 이동 가능한 상태로 설치되어 구성된다.
상기 구동수단은 스탭핑 모터로 이루어져 상.하 방향으로 구동력을 인가하는 구동모터(10)가 구비되고, 상기 구동모터(10)의 하측으로는 수직방향으로 한 쌍의 가이드레일(12) 형성되며, 상기 가이드레일(12)의 전.후에는 각각 전면 마운트 베이스(14) 및 후면 마운트 베이스(16)가 상.하 이동 가능한 상태로 설치되어 구성된다.
그리고, 상기 전면 마운트 베이스(14)의 전면 하측에는 대략 사각판 형태를 갖는 고정부재(20)가 밀착 고정되게 설치되어 상기 전면 마운트 베이스(14)와 상.하로 연동되도록 이루어지며, 상기 고정부재(20)의 상단에는 대략 그 전단부 측이 하측을 향해 절곡 형성된 사각판 형상으로 이루어진 상부부재(22)의 후단부 측이 고정 설치되어 구성된다.
또, 상기 고정부재(20)의 전면에는 대략 직육면체 형상으로 이루어져 그 내부에 수직방향으로 한 쌍의 부싱설치홀(32)이 나란하게 배열 형성된 부싱 설치블럭(30)이 고정 설치되며, 상기 각각의 부싱설치홀(32)에는 외부로부터 공기 공급에 따라 마찰력이 제거된 상태로 베어링 역할을 수행하는 에어부싱(36)이 설치되어 구성된다.
이때, 상기 부싱 설치블럭(30)은 한 쌍이 부재가 상.하로 배치된 상태에서, 각 부싱설치홀(32)에는 한 개씩의 에어부싱(36)이 대응되게 설치됨과 아울러, 상기 부싱 설치블럭(30)의 각 부싱설치홀(32)과 연통되도록 그 측면에는 연통홀(34)이 형성되어 구성된다.
또, 상기 부싱 설치블럭(30)의 각 연통홀(34) 측에는 상기 에어부싱(36)에 공기를 공급하기 위한 컴프레셔 등의 외부장치와 연계된 공기유입피딩(38)이 설치되어 구성된다.
한편, 상기 부싱 설치블럭(30)에 구비되는 에어부싱(36)을 관통해서는 한 쌍의 샤프트(40)가 외력에 의해 상.하 이동이 가능한 상태로 설치되며, 상기 샤프트(40)에는 상.하 방향으로 연동 가능한 구조로 제 1 및 제 2이동부재(50,60)가 연계되어 구성된다.
상기 제 1이동부재(50)는 그 측면의 형상이 대략 "
Figure 112011102616473-pat00002
" 형상을 갖도록 이루어진 상태에서, 절곡된 상단 및 하단 사이에 상기 샤프트(40)의 상.하단이 각각 고정 결합되어, 상기 에어부싱(36)을 매개로 한 샤프트(40)의 수직 이동과 연동되도록 이루어지며, 상기 제 2 이동부재(60)는 그 측면이 대략 "┘" 형상을 갖도록 이루어진 상태에서, 상기 제 1연동부재(50)의 전면에 고정 설치되어 상기 제 1연동부재(50)와 상.하 방향으로 연동되도록 이루어어진다.
또, 상기 제 2이동부재(60)의 전면 하단부 측에는 콘텍핀 설치부재(92)를 매개로 콘텍핀(90)이 고정 설치되어, 상기 구동수단을 통한 제 1 및 제 2이동부재(50,60)의 하강 시 글라스(도시안됨)와 선택적으로 접촉되면서 신호 발생을 유도하여 테스트가 진행될 수 있도록 구성된다.
한편, 상기 고정부재(20) 일측의 일정 높이를 갖는 지점에는 대략 직육면체 형상을 갖는 센서설치블럭(72)의 일단이 고정 설치되고, 상기 센서설치블럭(72)의 타단에는 콘텍센서(70)가 수직으로 관통 설치되며, 상기 콘텍센서(70)의 상측에 해당되는 상기 제 2이동부재(60) 일측에는 상기 제 2이동부재(60)의 상승 시 상기 콘텍센서(70)와 분리되며 센싱신호를 발생시키기 위한 센서감지블럭(62)이 고정 설치되어 구성된다.
또, 상기 제 2이동부재(60)의 상단 및 상기 상부부재(22) 상호 간의 사이에는 한 쌍의 압축스프링(80)이 고정 설치되어, 상기 제 1 및 제 2이동부재(50,60)의 상승 시 하측을 향한 복원력을 인가하도록 구성된다.
또한, 상기 제 2이동부재(60)의 전면 하측 및 상기 상부부재(22)의 전단부 측에는 각각 인장스프링 설치블럭(84)이 고정 결합되며, 상기 한 쌍의 인장스프링 설치블럭(84)을 통해서는 다수 개의 인장스프링(82)이 수직방향으로 배열 설치되어 구성되며, 이를 통해 상기 압축스프링(80)을 매개로 한 상기 제 1 및 제 2이동부재(50,60)의 복귀 시 초기 위치값이 일정하게 유지시키는 역할을 수행하도록 이루어진다.
이어, 상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 작용에 대해 상세히 설명하면 다음과 같다.
먼저, 소정 엘시디 글라스에 대한 테스트 공정을 진행하기 위하여, 본 발명에 따른 에어 베어링을 이용한 프로브 검사장치를 엘시디 글라스 상면의 테스트 위치로 이동시킨 상태에서, 상기 구동수단의 구동모터(10)를 구동시킴에 따라 상기 구동수단에 고정 설치된 고정부재(20) 및 상기 고정부재(20)와 연계된 제 1 및 제 2이동부재(50,60)를 포함하는 전체 기구물이 하강하게 되며, 상기 전체 기구물이 일정 높이만큼 하강한 후 상기 제 2이동부재(60) 전단부 측의 콘텍핀(90)이 해당 글라스의 검사지점에 접촉하게 된다(도 4a 참조).
또한, 상기 콘텍핀(90)이 상기 글라스 상면에 접촉함과 동시에 상기 제 1 및 제 2이동부재(50,60)는 샤프트(40)와 함께 상승하게 되는데(도 4b 참조), 이때 상기 샤프트(40)는 상기 에어부싱(36)의 내주면인 가이드 안내면을 따라 상승할 시에 상기 에어부싱(36)과 연결된 공기유입피딩(38)을 통해 공급되는 에어에 의해 마찰력이 제거된 상태로 원활한 수직이동이 이루어질 수 있게 된다(d1 < d2).
이때, 본 발명에서 프로브핀 측의 기구물들은 상기 에어부싱(36)을 매개로 미세하게 떠있는 상태가 되므로, 상.하 구동 시 미세한 힘만으로도 조정이 가능함은 물론이다.
한편, 상기 콘텍핀(90)의 글라스 접촉 시 상기 제 1 및 제 2이동부재(50,60)가 상승함에 따라, 상기 제 2이동부재(60)에 설치된 센서감지블럭(62) 연동하여 상승하면서 접촉된 콘텍센서(70)로부터 이탈하며 소정 센싱신호를 발생시키게 되며, 이에 검사장치의 콘트롤러(도시안됨)는 테스트 신호를 인가하여 해당 글라스의 신호배선 및 화소전극 등에 대한 소정 검사공정을 진행시키게 된다.
그 후, 상기 검사공정이 완료되어 상기 구동수단의 구동모터(10) 구동에 따라, 전체 기구물이 상승하게 되면, 상기 제 2이동부재(60) 및 상부부재(22) 사이에 설치된 압축스프링(80)의 작용에 의해 상기 콘텍핀(90)을 포함하는 제 1 및 제 2이동부재(50,60)가 샤프트(40)와 함께 하강하면서 원위치로 복귀하여 대기상태가 되게 된다(도 4a 참조).
이때, 상기 제 2이동부재(60)에 고정 설치된 센서체크블럭(62)은 상기 제 2이동부재(60)의 전면 하측 및 상기 상부부재의 전단부 측에 설치된 다수 개의 인장스프링(84)의 작용에 의해, 콘텍센서(70) 상단의 초기 위치값에 정확하게 위치할 수가 있게 된다.
한편, 본 발명에서 기재된 내용과 다른 변형된 실시예들이 돌출 된다고 하더라도 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안되며, 본 발명에 첨부된 청구범위 내에 속하게 됨은 물론이다.
10: 구동모터, 12: 가이드레일,
14: 전면 마운트 베이스, 16: 후면 마운트 베이스,
20: 고정부재, 22: 상부부재,
30: 부싱 설치블럭, 32: 부싱설치홀,
34: 연통홀, 36: 에어부싱,
38: 공기유입피딩, 40: 샤프트,
50: 제 1이동부재, 60: 제 2이동부재,
62: 센서감지블럭, 70: 콘텍센서,
72: 센서설치블럭, 80: 압축스프링,
82: 인장스프링, 84: 인장스프링 설치블럭,
90: 콘텍핀, 92: 콘텍핀 설치부재.

Claims (3)

  1. 상.하 방향으로 구동력을 인가하는 구동모터와, 수직으로 형성되는 한 쌍의 가이드레일과, 상기 가이드레일의 전.후에 각각 설치되는 전면 및 후면 마운트 베이스로 이루어진 구동수단과;
    상기 구동수단의 전면 마운트 베이스의 전면 하측에 고정 설치되어 상.하 연동되는 판형상의 고정부재와;
    상기 고정부재의 전면에 고정 설치되되, 직육면체 형상으로 이루어져 상.하로 관통된 부싱설치홀이 형성되며, 그 일측에는 연통홀이 형성된 부싱 설치블럭과;
    상기 부싱 설치블럭의 부싱설치홀에 고정 설치되는 에어부싱과;
    상기 부싱 설치블럭의 연통홀 측에 설치되어 상기 에어부싱 측에 공기를 공급하는 공기유입피딩과;
    상기 에어부싱을 관통하여 수직으로 설치되는 샤프트와;
    전단부 측이 하측을 향해 절곡된 사각판 형상으로 이루어져 상기 고정부재의 상단에 후단부 측이 고정된 상태로 설치되는 상부부재와;
    측면이 "
    Figure 112011102616473-pat00003
    " 형상을 갖으며 절곡된 상단 및 하단 사이에 상기 샤프트의 상.하단이 각각 고정 결합되어, 상기 에어부싱을 매개로 한 샤프트의 수직 이동에 따라 상.하 방향으로 연동되는 제 1이동부재와;
    측면이 "┘" 형상을 갖으며 상기 제 1연동부재의 전면에 고정 설치되어 상.하 방향으로 연동되는 제 2이동부재와;
    상기 고정부재에 일단이 고정 설치된 센서설치블럭의 타단을 수직으로 관통하여 설치되는 콘텍센서와;
    상기 콘텍센서의 상측에 해당되는 제 2이동부재 일측에 고정 설치되어, 상기 제 2이동부재의 상승 시 상기 콘텍센서와 분리되며 센싱신호가 발생되도록 하는 센서감지블럭과;
    상기 제 2이동부재의 하단에 콘텍핀 설치부재를 매개로 고정 설치되어 선택적으로 글라스와 접촉되는 콘텍핀 및;
    상기 제 2이동부재의 상단 및 상기 상부부재 타측 하단 사이에 구비되어, 상기 제 1 및 제 2이동부재의 상승 시 하측을 향한 복원력을 인가하는 압축스프링을 포함하여 구성된 것;을 특징으로 하는 에어 베어링을 이용한 프로브 검사장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제 2이동부재의 전면 하측 및 상기 상부부재의 전단부 측에는 각각 인장스프링 설치블럭이 고정 설치되며,
    상기 한 쌍의 인장스프링 설치블럭을 매개로 다수 개의 인장스프링이 수직방향으로 설치되어,
    상기 제 1 및 제 2이동부재의 복귀 시 초기 위치값이 일정하게 유지될 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 에어 베어링을 이용한 프로브 검사장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 부싱 설치블럭은 한 쌍이 구비되어 상.하로 배치되고,
    각각의 부싱 설치블럭에는 한 쌍씩의 부싱설치홀이 관통 형성되어 총 4개의 에어부싱이 설치되도록 이루어져,
    이를 매개로 한 쌍의 샤프트가 나란하게 관통 설치되도록 구성된 것을 특징으로 하는 에어 베어링을 이용한 프로브 검사장치.
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