JP2011002239A - 磁界プローバ - Google Patents
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Abstract
【課題】均一磁界範囲に正確にプローブピンを設置することができ、ひいては、磁界印加装置からの磁界を磁性体デバイスのX,Y,Z方向に対して精度良く印加させることができ、測定精度が高い磁界プローバを提供する。
【解決手段】本発明に係る磁界プローバ1A(1)は、磁界印加手段2を有する磁界印加装置3と、プローブピン4を有するプローブカード6と、磁界印加手段の下側に配され、被測定物を載置するステージ7と、磁界印加手段とステージとの間に配され、プローブカードをステージの一面と略平行に保持するガイド8と、を少なくとも備えた磁界プローバであって、プローブカードは、ガイドに保持されるとともに、非磁性体からなる固定部材9により、磁界印加装置に直接固定されていることを特徴とする。
【選択図】図1
【解決手段】本発明に係る磁界プローバ1A(1)は、磁界印加手段2を有する磁界印加装置3と、プローブピン4を有するプローブカード6と、磁界印加手段の下側に配され、被測定物を載置するステージ7と、磁界印加手段とステージとの間に配され、プローブカードをステージの一面と略平行に保持するガイド8と、を少なくとも備えた磁界プローバであって、プローブカードは、ガイドに保持されるとともに、非磁性体からなる固定部材9により、磁界印加装置に直接固定されていることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、磁界プローバに関する。
磁性体デバイスをウエハレベルで測定・評価するための装置として、磁界印加装置を搭載したウエハプローバ(磁界プローバ)が知られている(例えば、非特許文献1参照)。
従来の磁界プローバの構成例を図3に示す。この磁界プローバ100は、磁界印加手段101を有する磁界印加装置102の下側に、プローブピン103を有するプローブカード104が、ガイド105に保持されて設置されている。このような磁界プローバ100は、ステージ106上に載置された、磁性体デバイスが形成されたウエハ110(被測定物)に対して、磁界を印加する構造となる。
従来の磁界プローバの構成例を図3に示す。この磁界プローバ100は、磁界印加手段101を有する磁界印加装置102の下側に、プローブピン103を有するプローブカード104が、ガイド105に保持されて設置されている。このような磁界プローバ100は、ステージ106上に載置された、磁性体デバイスが形成されたウエハ110(被測定物)に対して、磁界を印加する構造となる。
この際、図3に示したような漏れ磁界型の磁界印加装置102では、一般的に磁界の均一範囲が1〜数mmレベルと狭く、磁界均一範囲内に正確にプローブピン103を設置する必要がある。また、デバイスによっては、磁界の角度(スキュー)が特性に影響を及ぼすため、プローブカード104と磁界印加装置102のθ方向の精度も重要となる。ここで、θは、XY平面におけるX方向またはY方向となす角度を表す。
磁界印加を行わないプローバでは、測定時にプローブカードとウエハの相対位置を補正可能であるため、プローバ本体とプローブカードのXYθ方向の位置決め精度は、重要とはならないが、磁界プローバでは、磁界印加装置(固定)、プローブカード(手動設置)、ウエハ(自動アライメント)の3つの位置関係がmm単位で整合が取れていることが必須となる。
プローブカード104は、一般的にプローブカードを保持するガイド105と、図4に示すように、プローブカード端で測定器との電気的導通を確保するカードエッジコネクタ107によって、プローバ本体に取り付けられている。
また、プローブカード104は、通常、FR4等のプリント基板からなる。しかしながら、従来の方法では、ガイド105と磁界印加装置102との間に設置誤差があること、ガイド105とプローブカード104、また、カードエッジコネクタ107とプローブカード104に、設置のための多少の遊びがあること、さらには、カード自体の剛性が不足していることから、均一磁界範囲に正確にプローブピン103を設置できないことがあった。
また、プローブカード104は、通常、FR4等のプリント基板からなる。しかしながら、従来の方法では、ガイド105と磁界印加装置102との間に設置誤差があること、ガイド105とプローブカード104、また、カードエッジコネクタ107とプローブカード104に、設置のための多少の遊びがあること、さらには、カード自体の剛性が不足していることから、均一磁界範囲に正確にプローブピン103を設置できないことがあった。
また、例えば、特許文献1乃至特許文献3に記載のように、プローブカード上に磁界印加装置を設ける手法もあるが、磁界印加装置をなすコイルを、プローブカード毎に設置する必要があり、また、kOe(キロエルステッド)レベルの強磁界を印加することが困難である。
http://www.toei-tc.co.jp/top.html
本発明は、このような従来の実情に鑑みて考案されたものであり、均一磁界範囲に正確にプローブピンを設置することができ、ひいては、磁界印加装置からの磁界を磁性体デバイスのX,Y,Z方向に対して精度良く印加させることができ、測定精度が高い磁界プローバを提供することを目的とする。
本発明の請求項1に記載の磁界プローバは、磁界印加手段を有する磁界印加装置と、プローブピンを有するプローブカードと、前記磁界印加手段の下側に配され、被測定物を載置するステージと、前記磁界印加手段と前記ステージとの間に配され、前記プローブカードを前記ステージの一面と略平行に保持するガイドと、を少なくとも備えた磁界プローバであって、前記プローブカードは、前記ガイドに保持されるとともに、非磁性体からなる固定部材により、前記磁界印加装置に直接固定されていることを特徴とする。
本発明の請求項2に記載の磁界プローバは、磁界印加手段を有する磁界印加装置と、プローブピンを有するプローブカードと、前記磁界印加手段の下側に配され、被測定物を載置するステージと、前記磁界印加手段と前記ステージとの間に配され、前記プローブカードを前記ステージの一面と略平行に保持するガイドと、を少なくとも備えた磁界プローバであって、前記プローブカードは、プローブボード、及び前記プローブピンを有するプローブピン基板を有し、前記プローブボードの一方の面には、前記磁界印加手段の先端と適合する凹部が設けられ、前記磁界印加手段の先端の少なくとも一部が、前記凹部に内在されており、前記プローブピン基板は、前記ステージの一面と略平行になるように前記プローブボードの一方の面に載置されるとともに、前記プローブボードに設けられた開口部を通じて、該プローブボードの一方の面側から他方の面側へ向けて前記プローブピンが突出していることを特徴とする。
本発明の請求項3に記載の磁界プローバは、請求項2において、前記プローブボードが、非磁性金属から構成され、前記プローブピン基板が、プリント基板から構成されたことを特徴とする。
本発明の請求項2に記載の磁界プローバは、磁界印加手段を有する磁界印加装置と、プローブピンを有するプローブカードと、前記磁界印加手段の下側に配され、被測定物を載置するステージと、前記磁界印加手段と前記ステージとの間に配され、前記プローブカードを前記ステージの一面と略平行に保持するガイドと、を少なくとも備えた磁界プローバであって、前記プローブカードは、プローブボード、及び前記プローブピンを有するプローブピン基板を有し、前記プローブボードの一方の面には、前記磁界印加手段の先端と適合する凹部が設けられ、前記磁界印加手段の先端の少なくとも一部が、前記凹部に内在されており、前記プローブピン基板は、前記ステージの一面と略平行になるように前記プローブボードの一方の面に載置されるとともに、前記プローブボードに設けられた開口部を通じて、該プローブボードの一方の面側から他方の面側へ向けて前記プローブピンが突出していることを特徴とする。
本発明の請求項3に記載の磁界プローバは、請求項2において、前記プローブボードが、非磁性金属から構成され、前記プローブピン基板が、プリント基板から構成されたことを特徴とする。
本発明の磁界プローバでは、プローブカードがガイドに保持されるとともに、非磁性体からなる固定部材により磁界印加装置に直接固定されているので、プローブカードのX,Y,Z方向に対する設置精度を向上させることができる。これにより、均一磁界範囲に正確にプローブピンを設置することができ、ひいては、磁界印加装置からの磁界を磁性体デバイスのX,Y,Z方向に対して精度良く印加させることができる。その結果、本発明では、測定精度が高い磁界プローバを提供することができる。
また、本発明の磁界プローバでは、プローブカードを構成するプローブボードの一方の面に磁界印加手段の先端と適合する凹部が設けられ、該磁界印加手段の先端の少なくとも一部が、前記凹部に内在されているので、プローブカードのX,Y,Z方向に対する設置精度を向上させることができる。これにより、均一磁界範囲に正確にプローブピンを設置することができ、ひいては、磁界印加装置からの磁界を磁性体デバイスのX,Y,Z方向に対して精度良く印加させることができる。その結果、本発明では、測定精度が高い磁界プローバを提供することができる。
また、本発明の磁界プローバでは、プローブカードを構成するプローブボードの一方の面に磁界印加手段の先端と適合する凹部が設けられ、該磁界印加手段の先端の少なくとも一部が、前記凹部に内在されているので、プローブカードのX,Y,Z方向に対する設置精度を向上させることができる。これにより、均一磁界範囲に正確にプローブピンを設置することができ、ひいては、磁界印加装置からの磁界を磁性体デバイスのX,Y,Z方向に対して精度良く印加させることができる。その結果、本発明では、測定精度が高い磁界プローバを提供することができる。
以下、本発明に係る磁界プローバの一実施形態を図面に基づいて説明する。
<第一実施形態>
図1は、本発明の磁界プローバの一構成例を模式的に示す断面図である。
この磁界プローバ1A(1)は、磁界印加手段2を有する磁界印加装置3と、プローブピン4及びプローブピン基板5を有するプローブカード6A(6)と、前記磁界印加手段2の下側に配され、被測定物を載置するステージ7と、前記磁界印加手段2と前記ステージ7との間に配され、前記プローブカード6A(6)を前記ステージ7の一面と略平行に保持するガイド8と、を少なくとも備える。
このような磁界プローバ1は、ステージ7上に載置された被測定物であるウエハ20に対してある磁界を印加したときの出力を測定する。磁界プローバ1は、磁界印加手段2を除いて、外部磁界の影響を抑えるため適宜、非磁性材料で構成される。
図1は、本発明の磁界プローバの一構成例を模式的に示す断面図である。
この磁界プローバ1A(1)は、磁界印加手段2を有する磁界印加装置3と、プローブピン4及びプローブピン基板5を有するプローブカード6A(6)と、前記磁界印加手段2の下側に配され、被測定物を載置するステージ7と、前記磁界印加手段2と前記ステージ7との間に配され、前記プローブカード6A(6)を前記ステージ7の一面と略平行に保持するガイド8と、を少なくとも備える。
このような磁界プローバ1は、ステージ7上に載置された被測定物であるウエハ20に対してある磁界を印加したときの出力を測定する。磁界プローバ1は、磁界印加手段2を除いて、外部磁界の影響を抑えるため適宜、非磁性材料で構成される。
そして本発明の磁界プローバ1は、前記プローブカード6は、前記ガイド8に保持されるとともに、非磁性体からなる固定部材9により、前記磁界印加装置3に直接固定されていることを特徴とする。
本発明では、プローブカード6がガイド8に保持されるとともに、非磁性体からなる固定部材9により磁界印加装置3に直接固定されているので、プローブカード6のX,Y,Z方向に対する設置精度を向上させることができる。これにより、本発明の磁界プローバ1は、均一磁界範囲に正確にプローブピン4を設置することができ、ひいては、磁界印加装置3からの磁界を磁性体デバイスのX,Y,Z方向に対して精度良く印加させることができる。その結果、本発明の磁界プローバ1A(1)は測定精度が高いものとなる。
本発明では、プローブカード6がガイド8に保持されるとともに、非磁性体からなる固定部材9により磁界印加装置3に直接固定されているので、プローブカード6のX,Y,Z方向に対する設置精度を向上させることができる。これにより、本発明の磁界プローバ1は、均一磁界範囲に正確にプローブピン4を設置することができ、ひいては、磁界印加装置3からの磁界を磁性体デバイスのX,Y,Z方向に対して精度良く印加させることができる。その結果、本発明の磁界プローバ1A(1)は測定精度が高いものとなる。
磁界印加装置3は、磁界印加手段2を有する。磁界印加手段2としては、例えばソレノイドコイルが挙げられる。図1に示す例では、1組(2つ)の磁界印加手段2が配されているが、XY方向に磁界を印加するため、磁界印加手段2は、2組(4つ)配される場合もある。
プローブカード6A(6)は、プローブピン4と、該プローブピン4が固定されたプローブピン基板5とを有する。プローブピン基板5は、プローブピン部分の絶縁性を確保するため、プリント基板から構成される。
プローブカード6A(6)は、プローブピン4と、該プローブピン4が固定されたプローブピン基板5とを有する。プローブピン基板5は、プローブピン部分の絶縁性を確保するため、プリント基板から構成される。
ステージ7は、被測定物であるウエハ20を載置するものであり、前記磁界印加手段2の下側に配される。
ガイド8は、前記磁界印加手段2と前記ステージ7との間に配され、前記プローブカード6を前記ステージ7の一面と略平行に保持するものである。ガイド8は、例えば断面略L字形状をなす2本のガイド部材8aを有するとともに、該2本のガイド部材8aが対向して配され、レール状に構成されている。
ガイド8は、前記磁界印加手段2と前記ステージ7との間に配され、前記プローブカード6を前記ステージ7の一面と略平行に保持するものである。ガイド8は、例えば断面略L字形状をなす2本のガイド部材8aを有するとともに、該2本のガイド部材8aが対向して配され、レール状に構成されている。
そして特に、本発明では、前記プローブカード6は、前記ガイド8に保持されるとともに、非磁性体からなる固定部材9により、前記磁界印加装置3に直接固定されている。これにより、プローブカード6の設置精度が向上する。
固定部材9は、例えば、プローブカード6の片側で2ケ所ずつ、両側で4ケ所設置される。これにより、プローブカード6の設置精度をさらに向上することができる。
固定部材9は、例えば、プローブカード6の片側で2ケ所ずつ、両側で4ケ所設置される。これにより、プローブカード6の設置精度をさらに向上することができる。
以下、プローブカード6A(6)を磁界印加装置3に直接固定する手順について説明する。
プローブカード6の幅は、例えば4.5インチ(114.31ミリ)である。まず、磁界印加装置3の支持基材に固定可能な位置決め部を形成する。
次に、プローブカード6の基板上に磁界印加装置3の位置決め部とZ方向上同じ位置に、位置決め兼固定用のネジ穴を形成する。位置決めと固定が可能ならば、ネジ以外の方法でも構わない。
プローブカード6の幅は、例えば4.5インチ(114.31ミリ)である。まず、磁界印加装置3の支持基材に固定可能な位置決め部を形成する。
次に、プローブカード6の基板上に磁界印加装置3の位置決め部とZ方向上同じ位置に、位置決め兼固定用のネジ穴を形成する。位置決めと固定が可能ならば、ネジ以外の方法でも構わない。
そして、プローブカード6をプローバに装着する際は、まず、プローブカード6をカードエッジコネクタ(図示せず)に挿入して仮位置を決定する。次に、磁界印加装置3の位置決め部とプローブカード6上の位置決め部をネジ等で固定する。
以上のような構成によって、磁界印加装置3とプローブカード6を直接固定することで、プローブカード6を、磁界印加装置3を基準に保持することが可能となり、XYθ方向の設置精度が向上した。具体的には、磁界印加装置3、プローブカード6、ウエハ20間のXY誤差を1mm以内とすることができた。また、磁界印加装置3、プローブカード6、ウエハ間のθ誤差を1°以下とすることができ、磁界均一度、また、プローブカード取り外しの際の再現性が向上した。
<第二実施形態>
次に、本発明の磁界プローバ1の第二実施形態について説明する。
図2は、本実施形態の磁界プローバ1B(1)の一例を示す断面図である。
なお、以下の説明では、上述した第一実施形態と異なる部分について主に説明し、同様の部分についてはその説明は省略する。
次に、本発明の磁界プローバ1の第二実施形態について説明する。
図2は、本実施形態の磁界プローバ1B(1)の一例を示す断面図である。
なお、以下の説明では、上述した第一実施形態と異なる部分について主に説明し、同様の部分についてはその説明は省略する。
本実施形態の磁界プローバ1B(1)では、プローブカード6B(6)が、プローブピン4と、該プローブピン4が固定されたプローブピン基板5と、プローブボード10と、を有する。前記プローブボード10の一方の面10aには、前記磁界印加手段2の先端と適合する凹部11が設けられ、前記磁界印加手段2の先端の少なくとも一部が、前記凹部11に内在されている。
そして、前記プローブピン基板5は、前記ステージ7の一面と略平行になるように前記プローブボード10の一方の面10aに載置されるとともに、前記プローブボード10に設けられた開口部12を通じて、該プローブボード10の一方の面10a側から他方の面10b側へ向けて前記プローブピン4が突出している。
そして、前記プローブピン基板5は、前記ステージ7の一面と略平行になるように前記プローブボード10の一方の面10aに載置されるとともに、前記プローブボード10に設けられた開口部12を通じて、該プローブボード10の一方の面10a側から他方の面10b側へ向けて前記プローブピン4が突出している。
本発明では、プローブカード6B(6)を構成するプローブボード10の一方の面10aに磁界印加手段2の先端と適合する凹部11が設けられ、該磁界印加手段2の先端の少なくとも一部が、前記凹部11に内在されているので、プローブカード6のX,Y,Z方向に対する設置精度を向上させることができる。これにより、本発明の磁界プローバ1B(1)は、均一磁界範囲に正確にプローブピン4を設置することができ、ひいては、磁界印加装置3からの磁界を磁性体デバイスのX,Y,Z方向に対して精度良く印加させることができる。その結果、本発明の磁界プローバ1は測定精度が高いものとなる。
プローブボード10は、非磁性金属から構成され、例えば板厚5mmのアルミニウム(Al)板を用いることができる。剛性が高い非磁性金属を用いることで、均一磁界範囲に精度良くプローブピン4を設置することができる。なお、プローブボード10は、非磁性金属に限定されるものではなく、たとえば、樹脂などの非磁性材料で構成してもよい。
前記プローブボード10の一方の面10aには凹部11が設けられている。この凹部11は、磁界印加装置3の先端形状とほぼ同一とする。
前記プローブボード10の一方の面10aには凹部11が設けられている。この凹部11は、磁界印加装置3の先端形状とほぼ同一とする。
プローブピン基板5は、プローブピン部分の絶縁性を確保するため、プリント基板から構成される。
プローブピン基板5は、プローブボード10の一方の面10aに載置されるとともに例えばネジ(図示せず)によって、プローブボード10に固定されている。また、プローブボード10に設けられた開口部12を通じて、該プローブボード10の一方の面10a側から他方の面10b側へ向けてプローブピン4が突出している。
プローブピン基板5は、プローブボード10の一方の面10aに載置されるとともに例えばネジ(図示せず)によって、プローブボード10に固定されている。また、プローブボード10に設けられた開口部12を通じて、該プローブボード10の一方の面10a側から他方の面10b側へ向けてプローブピン4が突出している。
プローブカード6B(6)をプローバに装着する際は、まず、該プローブカード6を構成するプローブボード10をカードエッジコネクタに(図示せず)挿入して仮位置を決定する。このプローブボード10の一方の面10aには、予め、プローブピン基板5が固定されている。
次に、プローブボード10の凹部11と、磁界印加手段2の先端部とがぴったりとはまるように調節し、磁界印加手段2の先端の少なくとも一部を、該凹部11に内在させる。このとき、磁界印加手段2の先端部は、樹脂等で被覆し絶縁する。
最後に、ガイド8にプローブボード10を固定する。プローブボード10は、さらに、固定部材によって磁界印加装置3に直接固定されていてもよい。
次に、プローブボード10の凹部11と、磁界印加手段2の先端部とがぴったりとはまるように調節し、磁界印加手段2の先端の少なくとも一部を、該凹部11に内在させる。このとき、磁界印加手段2の先端部は、樹脂等で被覆し絶縁する。
最後に、ガイド8にプローブボード10を固定する。プローブボード10は、さらに、固定部材によって磁界印加装置3に直接固定されていてもよい。
以上のような構成によって、磁界印加手段2の先端の少なくとも一部を、プローブボード10の一方の面10aに設けられた、該磁界印加手段2の先端と適合する凹部11に内在させているので、プローブカード6を、磁界印加装置3を基準に保持することが可能となり、XYZ方向の設置精度が向上した。具体的には、磁界印加装置3、プローブカード6、ウエハ間のXY誤差を1mm以内とすることができた。また、磁界印加装置3、プローブカード6、ウエハ20間のθ誤差を1°以下とすることができた。磁界均一度、また、プローブカード取り外しの際の再現性が向上した。さらに、本実施形態の磁界プローバ1B(1)では、磁界印加装置3とウエハ20間の距離をより近接させることが可能となるため、同サイズの磁界印加装置に比べて、より強磁界を印加することが可能となった。
以上、本発明の磁界プローバについて説明してきたが、本発明はこれに限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で、適宜変更が可能である。
本発明は、磁界プローバに広く適用可能である。
1A,1B(1) 磁界プローバ、2 磁界印加手段、3 磁界印加装置、4 プローブピン、5 プローブピン基板、6A、6B(6)プローブカード、7 ステージ、8 ガイド、8a ガイド部材、9 固定部材、10 プローブボード、11 凹部、12 開口部、20 ウエハ(被測定物)。
Claims (3)
- 磁界印加手段を有する磁界印加装置と、
プローブピンを有するプローブカードと、
前記磁界印加手段の下側に配され、被測定物を載置するステージと、
前記磁界印加手段と前記ステージとの間に配され、前記プローブカードを前記ステージの一面と略平行に保持するガイドと、を少なくとも備えた磁界プローバであって、
前記プローブカードは、前記ガイドに保持されるとともに、非磁性体からなる固定部材により、前記磁界印加装置に直接固定されていることを特徴とする磁界プローバ。 - 磁界印加手段を有する磁界印加装置と、
プローブピンを有するプローブカードと、
前記磁界印加手段の下側に配され、被測定物を載置するステージと、
前記磁界印加手段と前記ステージとの間に配され、前記プローブカードを前記ステージの一面と略平行に保持するガイドと、を少なくとも備えた磁界プローバであって、
前記プローブカードは、プローブボード、及び前記プローブピンを有するプローブピン基板を有し、
前記プローブボードの一方の面には、前記磁界印加手段の先端と適合する凹部が設けられ、前記磁界印加手段の先端の少なくとも一部が、前記凹部に内在されており、
前記プローブピン基板は、前記ステージの一面と略平行になるように前記プローブボードの一方の面に載置されるとともに、前記プローブボードに設けられた開口部を通じて、該プローブボードの一方の面側から他方の面側へ向けて前記プローブピンが突出していることを特徴とする磁界プローバ。 - 前記プローブボードが、非磁性金属から構成され、
前記プローブピン基板が、プリント基板から構成されたことを特徴とする請求項2に記載の磁界プローバ。
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Legal Events
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20111202 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130402 |
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A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20130621 |