JP2015161653A - 磁気特性測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】磁気特性測定装置上には、下面に角部を持たない、すなわち、下面が半円球状のフェライト芯202と、フェライト芯202の上側部にそれを取巻く励磁コイル201とからなる磁界印加部を設ける。
【選択図】図2
Description
まず、半導体ウェハに磁界を印加する磁界印加部と、前記磁界印加部と前記半導体ウェハとの間に配された、プローブ針を有するプローブカード部とを備えた磁気特性測定装置であって、前記磁界印加部の下面は半円球状であることを特徴とする磁気特性測定装置とした。
また、前記磁界印加部が、半円球状の下面を有するフェライト芯からなることを特徴とする磁気特性測定装置とした。
また、前記フェライト芯の上側部には励磁コイルが設けられていることを特徴とする磁気特性測定装置とした。
なお、実施例では芯材としてフェライトを図示しているが、鉄など他の部材を用いても良い。
102 プローブカード基板
103 プローブ針
104 半導体ウェハ
105 磁気センサーIC
106 磁界図
201 励磁コイル
202 フェライト芯
203 プローブカード基板
204 プローブ針
205 半導体ウェハ
206 磁気センサーIC
207 磁界図
301 永久磁石
302 フェライト芯
303 プローブカード基板
304 プローブ針
305 半導体ウェハ
306 磁気センサーIC
307 磁界図
401 励磁コイル
402 フェライト芯
403 中心部
404 外周部
405 磁界図
Claims (6)
- 半導体ウェハに磁界を印加する磁界印加部と、前記磁界印加部と前記半導体ウェハとの間に配された、プローブ針を有するプローブカード部とを備えた磁気特性測定装置であって、前記磁界印加部の下面は半円球状であることを特徴とする磁気特性測定装置。
- 半導体ウェハに磁界を印加する磁界印加部と、前記磁界印加部と前記半導体ウェハとの間に配された、プローブ針を有するプローブカード部とを備えた磁気特性測定装置であって、前記磁界印加部の下面は下に凸の曲面であって、前記曲面は周囲からもっとも低い頂点に向かって曲率半径が減少していることを特徴とする磁気特性測定装置。
- 前記磁界印加部が、永久磁石からなることを特徴とする請求項1または2に記載の磁気特性測定装置。
- 前記磁界印加部が、フェライト芯からなることを特徴とする請求項1または2に記載の磁気特性測定装置。
- 前記フェライト芯の上部には永久磁石が設けられていることを特徴とする請求項4記載の磁気特性測定装置。
- 前記フェライト芯の上側部には励磁コイルが設けられていることを特徴とする請求項4記載の磁気特性測定装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021012163A (ja) * | 2019-07-09 | 2021-02-04 | 日亜化学工業株式会社 | 磁気センサ装置 |
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-
2014
- 2014-02-28 JP JP2014038545A patent/JP2015161653A/ja active Pending
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