JP2016105046A - 磁気的非破壊検査装置。 - Google Patents
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Abstract
Description
2 励磁コイル用電源
3 電流源
4 発信器
5 磁気検出部
6 磁気センサ用計測回路
7 ロックインアンプ回路
8 測定対象
9 解析部
10 Bx用磁気センサ
11 By用磁気センサ
12−1 ナノグラニュラーTMR素子
12−2 ナノグラニュラーTMR素子
Claims (3)
- 測定対象に交流磁場を作用させる励磁コイルと、
この励磁コイルで発生させた交流磁場によって前記測定対象に生じた渦電流に基づく磁場を検出する磁気検出部と、
この磁気検出部で検出された磁気の大きさ情報と位相情報に基づいて前記測定対象に生じた欠陥を検出可能する解析部と
を備えた磁気的非破壊検査装置において、
前記磁気検出部は2つの磁気センサを有し、この各磁気センサは前記励磁コイルのコイル面と平行となる平面上で互いに直行する第1の方向と第2の方向のベクトル成分を検出し、
前記解析部はロックインアンプ回路を有し、このロックインアンプ回路で、前記励磁コイルで発生させた交流磁場の周波数の偶数倍の高調波で前記磁気センサの出力信号を検出して解析すること
を特徴とする磁気的非破壊検査装置。 - 前記解析部は、前記計測対象が存在しない、または前記計測対象に欠陥が存在しない状態で磁場を検出した初期条件を記憶しておき、この初期条件からの変化量を解析していることを特徴とする請求項1に記載の磁気的非破壊検査装置。
- 前記励磁コイル又は前記1組の磁気検出部を複数個設け、それぞれの磁気検出部を等距離に配置した請求項1または請求項2に記載の磁気的非破壊検査装置。
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- 2014-12-01 JP JP2014242858A patent/JP6083613B2/ja active Active
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