JP2011003575A - 磁界プローバ及び磁界印加方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る磁界プローバ1A(1)は、磁界印加手段2を有する磁界印加装置3と、プローブピン4を有するプローブカード6と、磁界印加手段の下側に配され、被測定物20を載置するステージ7と、磁界印加手段とステージとの間に配され、プローブカードをステージの一面と略平行に保持するガイド8と、を少なくとも備え、磁界印加装置とガイドとの間に配され、ガイドを上下移動させることにより、磁界印加手段とプローブカードの間の距離を変化させることが可能な、非磁性体からなる調節機構10A(10)を備えたこと、を特徴とする。
【選択図】図1
Description
従来の磁界プローバの構成例を図5に示す。この磁界プローバ100は、磁界印加手段101を有する磁界印加装置102の下側に、プローブピン103を有するプローブカード104が、ガイド105に保持されて設置されている。このような磁界プローバ100は、ステージ106上に載置された、磁性体デバイスが形成されたウエハ110(被測定物)に対して、磁界を印加する構造となる。
また、例えば特許文献1、特許文献2、特許文献3に記載されているように、プローブカード上に磁界印加装置を設ける手法もあるが、プローブカード毎にコイルが必要であり、また、kOe(キロエルステッド)レベルの強磁界を印加することは困難である。
また、本発明は、プローブカードをガイドに保持させたときのZ方向の設置精度を向上させることができ、ひいては、磁界印加装置からの磁界を磁性体デバイスに対して精度良く印加させることができ、精度の高い特性を得ることができる磁界印加方法を提供することを第二の目的とする。
本発明の請求項2に記載の磁界プローバは、磁界印加手段を有する磁界印加装置と、プローブピンを有するプローブカードと、前記磁界印加手段の下側に配され、被測定物を載置するステージと、前記磁界印加手段と前記ステージとの間に配され、前記プローブカードを前記ステージの一面と略平行に保持するガイドと、を少なくとも備えた磁界プローバであって、前記プローブカードが、非磁性体からなる調節機構を有すること、を特徴とする。
本発明の請求項3に記載の磁界プローバは、請求項2において、前記プローブカードは、非磁性金属から構成されたプローブボード、及びプリント基板から構成され、前記プローブピンを有するプローブピン基板を有し、前記プローブピン基板は、前記ステージの一面と略平行になるように前記プローブボードの一方の面に載置されるとともに、前記プローブボードに設けられた開口部を通じて、該プローブボードの一方の面側から他方の面側へ向けて前記プローブピンが突出しており、前記プローブピン基板が、非磁性体からなる調節機構を有すること、を特徴とする。
本発明の請求項4に記載の磁界印加方法は、磁界印加手段を有する磁界印加装置と、プローブピンを有するプローブカードと、前記磁界印加手段の下側に配され、被測定物を載置するステージと、前記磁界印加手段と前記ステージとの間に配され、前記プローブカードを前記ステージの一面と略平行に保持するガイドと、を少なくとも備えた磁界プローバを用いた磁界印加方法であって、前記プローブカードをカードエッジコネクタに挿入する工程と、前記プローブカードを前記ガイドに保持させる工程と、前記ステージの一面に前記被測定物を載置する工程と、非磁性体からなる調節機構により、前記プローブカードと前記磁界印加手段との間の距離を調節する工程と、を少なくとも有することを特徴とする。
また、本発明の磁界印加方法では、調節機構により、前記プローブカードと前記磁界印加手段との間の距離を調節しているので、磁界印加手段、プローブカード、被測定物の位置関係でZ方向の整合を取ることが可能となる。これにより、磁界印加装置からの磁界を磁性体デバイスに対して精度良く印加させることができる。その結果、本発明では、精度の高い特性を得ることができる磁界印加方法を提供することができる。
図1は、本発明の磁界プローバの一構成例を模式的に示す断面図である。
この磁界プローバ1A(1)は、磁界印加手段2を有する磁界印加装置3と、プローブピン4及びプローブピン基板5を有するプローブカード6と、前記磁界印加手段2の下側に配され、ウエハ20(被測定物)を載置するステージ7と、前記磁界印加手段2と前記ステージ7との間に配され、前記プローブカード6を前記ステージ7の一面と略平行に保持するガイド8と、を少なくとも備える。
このような磁界プローバ1A(1)は、ステージ7上に載置された被測定物であるウエハ20に対してある磁界を印加したときの出力を測定する。磁界プローバ1A(1)は、磁界印加手段2を除いて、外部磁界の影響を抑えるため適宜、非磁性材料で構成される。
本発明の磁界プローバ1A(1)では、ガイド8に保持させたプローブカード6の高さを変えることにより、プローバ本体を改造することなく、プローブカード6をガイド8に保持させたときのZ方向の設置精度を向上することが可能となる。これにより均一磁界範囲に正確にプローブピン4を設置することが可能であり、ひいては、磁界印加装置3からの磁界を磁性体デバイスに対して精度良く印加させることができる。具体的には磁界均―度を±0.5%以内に制御することが可能となった。その結果、本発明の磁界プローバ1A(1)は測定精度が高いものとなる。
プローブカード6は、プローブピン4と、該プローブピン4が固定されたプローブピン基板5とを有する。プローブピン基板5は、プローブピン部分の絶縁性を確保するため、プリント基板から構成される。
プローブカード6の幅は、例えば4.5インチ(114.31ミリ)である。
ガイド8は、前記磁界印加手段2と前記ステージ7との間に配され、前記プローブカード6を前記ステージ7の一面と略平行に保持するものである。ガイド8は、例えば断面略L字形状をなす2本のガイド部材8aを有するとともに、該2本のガイド部材8aが対向して配され、レール状に構成されている。
調節機構10A(10)は、例えば、ガイド8の片側で2ケ所ずつ、両側で4ケ所設置される。この調節機構10A(10)においては、マイクロメータ付きのレール等で高さを調整することが可能である。これにより、細かい高さ調整が可能となり、プローブカード6の設置精度をさらに向上することができる。
本発明の磁界印加方法は、プローブカード6をカードエッジコネクタに挿入する工程と、プローブカード6をガイド8に保持させる工程と、ステージ7の一面に被測定物(ウエハ20)を載置する工程と、非磁性体からなる調節機構10により、プローブカード6と前記磁界印加手段2との間の距離を調節する工程と、を少なくとも有することを特徴とする。
本発明の磁界印加方法では、調節機構10により、前記プローブカード6と前記磁界印加手段2との間の距離を調節しているので、磁界印加手段2、プローブカード6、被測定物20の位置関係でZ方向の整合を取ることが可能となる。これにより、磁界印加装置3からの磁界を磁性体デバイスに対して精度良く印加させることができる。その結果、本発明の磁界印加方法では、精度の高い特性を得ることができる。
まず、プローバ本体に備えられたプローブピン用のアライメントカメラ(図示せず)でプローブピン4の先端の高さを測定する。プローブピン用アライメントカメラは予め校正されており、プローブピン4の先端の高さを測定することにより、磁界印加手段2とプローブピン4の先端までの高さが測定可能となる。
次に、プローバ本体に備えられたプローブピン用のアライメントカメラで、再度、プローブピン4の高さを測定し、磁界印加手段2とプローブピン4の先端までを計測する。必要があれば再度調整を行ってもよい。
次に、本発明の磁界プローバの第二実施形態について説明する。
図2は、本実施形態の磁界プローバ1B(1)の一例を示す断面図である。
なお、以下の説明では、上述した第一実施形態と異なる部分について主に説明し、同様の部分についてはその説明は省略する。
本実施形態では、プローブカード6のエッジ部分に高さ調節機構10B(10)を付与している。プローブカード6のエッジ部分下側に可動式のスペーサ10bを設け、マイクロメータ等で調整を行う。本実施形態では、第一実施形態の場合と比較して、プローバ本体の改造が不要という利点がある。
調節機構10B(10)は、例えば、プローブカード6の片側で2ケ所ずつ、両側で4ケ所設置される。これにより、プローブカード6の設置精度をさらに向上することができる。
まず、プローバ本体に備えられたプローブピン用のアライメントカメラ(図示せず)でプローブピン4の先端の高さを測定する。プローブピン用アライメントカメラは予め校正されており、プローブピン4の先端の高さを測定することにより、磁界印加手段2とプローブピン4の先端までの高さが測定可能となる。
次に、プローバ本体に備えられたプローブピン用のアライメントカメラで、再度、プローブピン4の高さを測定し、磁界印加手段2とプローブピン4の先端までを計測する。必要があれば再度調整を行ってもよい。
次に、本発明の磁界プローバの第三実施形態について説明する。
図3は、本実施形態の磁界プローバ1C(1)の一例を示す断面図である。
なお、以下の説明では、上述した第一実施形態と異なる部分について主に説明し、同様の部分についてはその説明は省略する。
そして、前記プローブピン基板5は、前記ステージ7の一面と略平行になるように前記プローブボード9の一方の面に載置されるとともに、前記プローブボード9に設けられた開口部9cを通じて、該プローブボード9の一方の面側から他方の面側へ向けて前記プローブピン4が突出しており、前記プローブピン基板5が、非磁性体からなる調節機構10C(10)を有する。
調節機構10C(10)は、例えば、プローブピン基板5の片側で2ケ所ずつ、両側で4ケ所設置される。また、調節機構10C(10)は、例えばネジ構造を有しており、このネジ構造により高さ調整を行う。これにより、細かい高さ調整が可能となり、プローブカード6の設置精度をさらに向上することができる。また、本実施形態において、調節機構10C(10)は、プローブピン基板5とプローブボード9との固定機構をも兼ね備えている。
本実施形態では、第一実施形態及び第二実施形態の場合と比較して、プローブカード6の剛性が高いため、高精度を維持しやすい利点がある。また、ブローバ本体の改造が不要である。
プローブピン基板5は、プローブボード9の一方の面9aに載置されるとともに例えば調整機構10Cによって、プローブボード9に固定されている。また、プローブボード9に設けられた開口部9cを通じて、該プローブボード9の一方の面9a側から他方の面9b側へ向けてプローブピン4が突出している。
また、図4に示すように、カードエッジコネクタ30はプローブピン基板5に設けられた接点31を介して、電気的導通を確保する。
まず、プローバ本体に備えられたプローブピン用のアライメントカメラ(図示せず)でプローブピン4の先端の高さを測定する。プローブピン用アライメントカメラは予め校正されており、プローブピン4の先端の高さを測定することにより、磁界印加手段2とプローブピン4の先端までの高さが測定可能となる。
次に、プローバ本体に備えられたプローブピン用のアライメントカメラで、再度、プローブピン4の高さを測定し、磁界印加手段2とプローブピン4の先端までを計測する。必要があれば再度調整を行ってもよい。
Claims (4)
- 磁界印加手段を有する磁界印加装置と、
プローブピンを有するプローブカードと、
前記磁界印加手段の下側に配され、被測定物を載置するステージと、
前記磁界印加手段と前記ステージとの間に配され、前記プローブカードを前記ステージの一面と略平行に保持するガイドと、を少なくとも備えた磁界プローバであって、
前記磁界印加装置と前記ガイドとの間に配され、前記ガイドを上下移動させることにより、前記磁界印加手段と前記プローブカードの間の距離を変化させることが可能な、非磁性体からなる調節機構を備えたこと、を特徴とする磁界プローバ。 - 磁界印加手段を有する磁界印加装置と、
プローブピンを有するプローブカードと、
前記磁界印加手段の下側に配され、被測定物を載置するステージと、
前記磁界印加手段と前記ステージとの間に配され、前記プローブカードを前記ステージの一面と略平行に保持するガイドと、を少なくとも備えた磁界プローバであって、
前記プローブカードが、非磁性体からなる調節機構を有すること、を特徴とする磁界プローバ。 - 前記プローブカードは、非磁性金属から構成されたプローブボード、及びプリント基板から構成され、前記プローブピンを有するプローブピン基板を有し、
前記プローブピン基板は、前記ステージの一面と略平行になるように前記プローブボードの一方の面に載置されるとともに、前記プローブボードに設けられた開口部を通じて、該プローブボードの一方の面側から他方の面側へ向けて前記プローブピンが突出しており、
前記プローブピン基板が、非磁性体からなる調節機構を有すること、を特徴とする請求項2に記載の磁界プローバ。 - 磁界印加手段を有する磁界印加装置と、プローブピンを有するプローブカードと、前記磁界印加手段の下側に配され、被測定物を載置するステージと、前記磁界印加手段と前記ステージとの間に配され、前記プローブカードを前記ステージの一面と略平行に保持するガイドと、を少なくとも備えた磁界プローバを用いた磁界印加方法であって、
前記プローブカードをカードエッジコネクタに挿入する工程と、
前記プローブカードを前記ガイドに保持させる工程と、
前記ステージの一面に前記被測定物を載置する工陛と、
非磁性体からなる調節機構により、前記プローブカードと前記磁界印加手段との間の距離を調節する工程と、を少なくとも有することを特徴とする磁界印加方法。
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