JP2007095993A - プローブの針先と被検査体の電極との位置合わせ方法 - Google Patents
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- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 366
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 25
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title abstract description 41
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 claims abstract description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 32
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 13
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 19
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 10
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
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Abstract
【解決手段】プローブカードがプローバに配置される前に、複数のプローブ38のうち少なくとも3つの基準プローブP4,P5,P6に関するプローブ情報を決定する。プローブカードがプローバに配置された状態で、基準プローブP4,P5,P6の針先の座標位置を表す針先位置、及び、プローブ38に個々に対応された複数の電極を有する平板状の被検査体12が前記プローバに配置された状態で、基準プローブP4,P5,P6に対応する電極の座標位置を表す電極位置の少なくとも一方を決定する。プローブ情報と、針先位置及び電極位置の少なくとも一方とを基に、プローブカードとプローバに配置された被検査体12とを相対的に変位させて、基準プローブP4,P5,P6の針先と被検査体の電極との位置合わせをする。
【選択図】図5
Description
[プローバ及び被検査体の実施例]
12 被検査体
14 チップ領域(被検査領域)
16 電極
16a 電極の中心
20 チャックトップ
22 検査ステージ
24 ベースプレート
26 プローブカード
28 カードホルダ
30,32 カメラ
34 開口
36 段部
38 プローブ
38a 針先
40 プローブ基板
42 配線基板
43 調整ねじ
Claims (11)
- 複数のプローブを備えたプローブカードがプローバに配置される前に実行される第1のステップであって、前記複数のプローブのうち少なくとも3つのプローブを基準プローブと決定して、それら基準プローブに関するプローブ情報を決定する第1のステップと、
前記プローブカードが前記プローバに配置された状態で、前記基準プローブの針先の座標位置を表す針先位置、及び、前記プローブに個々に対応された複数の電極を有する平板状の被検査体が前記プローバに配置された状態で、前記基準プローブに対応する電極の座標位置を表す電極位置の少なくとも一方を決定する第2のステップと、
前記プローブ情報と、前記針先位置及び前記電極位置の少なくとも一方とを基に、前記プローブカードと前記プローバに配置された被検査体とを相対的に変位させて、前記基準プローブの針先と前記被検査体の電極との位置合わせをする第3のステップとを含む、プローブの針先と被検査体の電極との位置合わせ方法。 - 前記第1のステップは、前記基準プローブの針先の高さ位置を表す針先高さ基準位置を含む前記プローブ情報を決定し、
前記第2のステップは、前記プローバに設定された仮想的な基準面からの前記針先の高さ位置を表す針先高さ位置を含む前記針先位置を決定し、
前記第3のステップは、前記針先高さ位置が前記針先高さ基準位置と等しくなるように、前記プローブカードと前記被検査体とを相対的に変位させることを含む、請求項1に記載のプローブの針先と被検査体の電極との位置合わせ方法。 - 前記第1のステップは、前記針先の高さ方向と直交する面内における前記針先の二次元位置を表す針先二次元基準位置を含む前記プローブ情報を決定し、
前記第2のステップは、前記プローバに設定された仮想的な基準面内における前記針先の二次元位置を表す針先二次元位置を含む前記針先位置を決定し、
前記第3のステップは、前記針先二次元位置が前記針先二次元基準位置と一致するように、前記プローブカードと前記被検査体とを相対的に変位させることを含む、請求項1に記載のプローブの針先と被検査体の電極との位置合わせ方法。 - 前記第1のステップは、前記基準プローブの針先の高さ位置を表す針先高さ基準位置と、前記針先の高さ方向と直交する面内における前記針先の二次元位置を表す針先二次元基準位置とを含む前記プローブ情報を決定し、
前記第2のステップは、前記プローバに設定された仮想的な基準面からの前記針先の高さ位置を表す針先高さ位置と、前記基準面内における前記針先の二次元位置を表す針先二次元位置とを含む前記針先位置を決定し、
前記第3のステップは、前記針先高さ位置が前記針先高さ基準位置と等しくなるように、前記プローブカードと前記被検査体とを相対的に変位させると共に、前記針先二次元位置が前記針先二次元基準位置と一致するように、前記プローブカードと前記被検査体とを相対的に変位させることを含む、請求項1に記載のプローブの針先と被検査体の電極との位置合わせ方法。 - 前記第2のステップは、前記プローバに設定された仮想的な基準面からの前記針先の高さ位置を表す針先高さ位置を含む前記針先位置と、前記仮想的な基準面からの電極の高さ位置を表す電極高さ位置を含む前記電極位置とを決定し、
前記第3のステップは、前記針先高さ位置及び前記電極高さ位置を基にプローブ面と基板面とが平行になるように、前記プローブカードと前記被検査体とを相対的に変位させることを含む、請求項1に記載のプローブの針先と被検査体の電極との位置合わせ方法。 - 前記第2のステップは、前記針先の高さ方向と直交する面内における前記針先の二次元位置を表す針先二次元位置を含む前記針先位置を決定すると共に、前記被検査体と平行の面内における前記電極の二次元位置を表す電極二次元位置を含む前記電極位置を決定し、
前記第3のステップは、前記針先二次元位置が前記電極二次元位置と一致するように、前記プローブカードと前記被検査体とを相対的に変位させることを含む、請求項1に記載のプローブの針先と被検査体の電極との位置合わせ方法。 - 前記第2のステップは、前記プローバに設定された仮想的な基準面からの前記針先の高さ位置を表す針先高さ位置と、前記針先の高さ方向と直交する面内における前記針先の二次元位置を表す針先二次元位置とを含む前記針先位置を決定すると共に、前記仮想的な基準面からの電極の高さ位置を表す電極高さ位置と、前記被検査体と平行の面内における前記電極の二次元位置を表す電極二次元位置とを含む前記電極位置を決定し、
前記第3のステップは、前記針先高さ位置及び前記電極高さ位置を基にプローブ面と基板面とが平行になるように、前記プローブカードと前記被検査体とを相対的に変位させると共に、前記針先二次元位置が前記電極二次元位置と一致するように、前記プローブカードと前記被検査体とを相対的に変位させることを含む、請求項1に記載のプローブの針先と被検査体の電極との位置合わせ方法。 - 前記第2のステップは、自動焦点合わせをする機能を備えた第1の撮像装置を前記被検査体と平行な面内で二次元的に移動させつつ、前記第1の撮像装置により前記針先を撮像する補助ステップ、及び前記被検査体をこれと平行な面内で二次元的に移動させつつ、自動焦点合わせをする機能を備えた第2の撮像装置により前記電極を撮像する補助ステップの少なくとも一方を含む、請求項1に記載のプローブの針先と被検査体の電極との位置合わせ方法。
- さらに、前記第2のステップを実行する前に、前記被検査体と平行の面内における当該被検査体の特定の方向を前記プローバの特定の方向と一致させるように、前記プローブカード及び前記被検査体を相対的に変位させて前記被検査体を前記プローバに対し位置決める第4のステップを含む、請求項1に記載のプローブの針先と被検査体の電極との位置合わせ方法。
- 前記基準プローブは、前記針先の高さ位置が最も近い少なくとも3つのプローブを含む、請求項1に記載のプローブの針先と被検査体の電極との位置合わせ方法。
- 前記基準プローブは、前記針先がこれに対応する電極の中心に接触される少なくとも3つのプローブを含む、請求項1に記載のプローブの針先と被検査体の電極との位置合わせ方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005283483A JP4965101B2 (ja) | 2005-09-29 | 2005-09-29 | プローブの針先と被検査体の電極との位置合わせ方法 |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007095993A true JP2007095993A (ja) | 2007-04-12 |
JP4965101B2 JP4965101B2 (ja) | 2012-07-04 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005283483A Active JP4965101B2 (ja) | 2005-09-29 | 2005-09-29 | プローブの針先と被検査体の電極との位置合わせ方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4965101B2 (ja) |
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A621 | Written request for application examination |
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