CN209798090U - 校准工装和校准系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种校准工装，用于校准磁场扫描设备与靶材安装座的相对位置。校准工装包括工装主体。工装主体包括第一校准平面、第一校准平面以及第三校准平面。第一校准平面、第一校准平面以及第三校准平面两两相互垂直且相交。第一校准平面、第一校准平面以及第三校准平面分别作为校准的参考面。在校准时，可以通过比较磁场扫描设备与第一校准平面、第一校准平面或第三校准平面上不同区域的相对位置是否一致，来判断磁场扫描设备与靶材安装座的相对位置是否符合要求。同时，在校准过程中，可以明确得到磁场扫描设备安装上不符合要求的具体部位及原因，便于用户做针对性调整，从而避免了盲目调整验证，节省了工作流程，提高了工作效率。

Description

校准工装和校准系统

技术领域

本实用新型涉及磁场扫描仪器领域，特别是涉及一种校准工装和校准系统。

背景技术

目前薄膜太阳能电池芯片采用磁控溅射镀膜方法制备，而磁控溅射用靶材为核心材料。通常靶材安装到磁控溅射设备之前需要利用高斯计探针检测靶材内的磁场分布是否合格，检测时，靶材一般被安装在靶材安装座上，高斯计探针一般被安装在磁场扫描设备上。在对靶材测量前，需要保证靶材与磁场扫描设备的相对安装位置满足要求。

目前，通过验证工具验证靶材与磁场扫描设备的相对安装位置是否满足要求，若验证工具与磁场扫描设备的相对位置为我们需要的靶材与磁场扫描设备的相对安装位置时，用高斯计探针扫描验证工具时，会输出一组标准数据，磁场扫描设备的控制器会预先存储这一标准数据；在通过验证工具验证靶材与磁场扫描设备的相对安装位置是否满足要求时，先将验证工具安装在安装座上，用高斯计探针扫描验证工具的磁场分布情况，将扫描得到的数据与标准数据进行对比，看是否有差异，若存在差异，再根据经验对磁场扫描设备的位置进行试探调节，调节后，再用高斯计探针对验证工具进行再次扫描，重复上述操作，直至高斯计探针的扫描结果与磁场扫描设备的控制器内预先存储的标准数据相近，目前对磁场扫描设备位置的调节依赖于操作人员的经验和目测，没有可依据的具体调节参数，需要反复试探调节，调节过程较长，工作效率较低。

实用新型内容

基于此，有必要针对验证靶材与磁场扫描设备的相对安装位置是否满足要求时，过程复杂且时间成本高的问题，提供一种校准工装和校准系统。

本实用新型提供了一种校准工装，用于校准磁场扫描设备与靶材安装座的相对位置，包括：

工装主体，所述工装主体包括第一校准平面、第二校准平面以及第三校准平面，所述第一校准平面、所述第二校准平面以及所述第三校准平面两两相互垂直且相交。

在其中一个实施例中，所述工装主体还包括减重孔，所述减重孔设置于所述第一校准平面和/或所述第二校准平面上。

在其中一个实施例中，所述第一校准平面和所述第三校准平面连接处具有第一台阶结构，所述第一台阶结构包括分别与所述第一校准平面和与所述第三校准平面平行的第一台阶面和第二台阶面。

在其中一个实施例中，所述第一校准平面和所述第二校准平面连接处具有第二台阶结构，所述第二台阶结构包括分别与所述第一校准平面和所述第二校准平面平行的第三台阶面和第四台阶面。

在其中一个实施例中，所述校准工装还包括磁性件，所述磁性件可拆卸地设置于所述第一校准平面上。

在其中一个实施例中，所述校准工装还包括屏蔽件，所述屏蔽件可拆卸地设置于所述第一校准平面上，所述屏蔽件上设有容纳结构，所述磁性件设置于所述容纳结构内。

在其中一个实施例中，所述校准工装还包括一验证件，所述验证件可拆卸地设置于所述第一校准平面上，所述验证件内部均匀设置有多个标准磁体，所述验证件用于验证磁场扫描设备与靶材安装座的相对位置。

在其中一个实施例中，上述任一项所述的校准工装还包括水平度检测装置，所述水平检测装置用于以所述第一校准平面、所述第二校准平面和所述第三校准平面为参考面对待校准装置进行检测。

本实用新型还提供了一种校准系统，包括上述实施例所述的校准工装，磁场扫描设备以及靶材安装座，所述校准工装固定于所述靶材安装座上，所述磁场扫描设备与所述校准工装间隔设置，所述水平度检测装置设置于所述磁场扫描设备上。

在其中一个实施例中，所述磁场扫描设备包括能够沿第一方向和第二方向移动的移动模组，所述水平度检测装置包括磁性表座以及设置于所述磁性表座端部的杠杆表，其中所述第一方向与所述第三校准平面垂直，所述第二方向与所述第二校准平面垂直。

上述校准工装和校准系统，包括工装主体。所述工装主体包括互相垂直的第一校准平面、第二校准平面以及第三校准平面。校准磁场扫描设备与靶材安装座的相对位置时，以上述三个校准平面为参考面，可以通过分别比较磁场扫描设备与第一校准平面、第一校准平面和第三校准平面上不同区域的相对位置是否一致，来判断磁场扫描设备与靶材安装座的相对位置是否满足要求。同时，在校准过程中，可以明确得到磁场扫描设备安装上不符合要求的具体部位及需要调节的尺度，便于用户做针对性调整，从而避免了盲目调整验证，节省了工作流程，提高了工作效率。

附图说明

图1为本申请一实施例提供的校准工装的结构示意图；

图2为图1圈A区域的局部放大示意图；

图3为本申请一实施例提供的校准工装的结构分解示意图；

图4为本申请一实施例提供的屏蔽件的剖视示意图；

图5为本申请一实施例提供的验证件的结构示意图；

图6为本申请一实施例提供的水平度检测装置的结构示意图；

图7为本申请一实施例提供的校准系统的结构示意图。

附图标号说明书：

10 校准工装

100 工装主体

110 第一校准平面

120 第二校准平面

130 第三校准平面

140 减重孔

150 第一台阶结构

151 第一台阶面

152 第二台阶面

160 第二台阶结构

161 第三台阶面

162 第四台阶面

200 磁性件

300 屏蔽件

310 容纳结构

320 屏蔽部

330 安装部

400 验证件

410 标准磁体

500 支撑部

20 水平度检测装置

21 磁性表座

22 杠杆表

30 磁场扫描设备

31 移动模组

32 第二滑轨

33 第一滑轨

34 扫描探头

35 扫描架

40 靶材安装座

41 弧形槽

50 校准系统

具体实施方式

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施的限制。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本申请。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

参见图1，本实用新型一实施例提供一种校准工装10，用于校准磁场扫描设备30与靶材安装座40的相对位置。所述校准工装10包括工装主体100。所述工装主体100包括第一校准平面110、第二校准平面120以及第三校准平面130。所述第一校准平面110、所述第二校准平面120以及所述第三校准平面130两两相互垂直且相交。

本实施例中，所述校准工装10的形状、大小不限，只要满足具有两两相互垂直且相交的所述第一校准平面110、所述第二校准平面120以及所述第三校准平面130即可。所述第一校准平面110、所述第二校准平面120以及所述第三校准平面130的具体设置位置可以根据需要校准的装置决定。

在一个实施例中，如图2所示，所述第一校准平面110、所述第二校准平面120均位于所述第三校准平面130的同一侧，便于校准工作的进行。上述工装主体100的具体形状可以有多种，如图1所示，可选的，所述工装主体100的形状可以为长方体，所述第一校准平面110、所述第二校准平面120以及所述第三校准平面130可以为所述长方体相邻的三个互相垂直的表面。并且所述长方体的校准工装10与需要发生溅射的靶材长度一致，以便安装在校准系统的靶材安装座40上。

如图1所示，本实用新型实施例提供的所述校准工装10安装在所述靶材安装座40上，替代靶材的位置，从而校准磁场扫描设备30与靶材安装座40的相对位置。在校准过程中，所述靶材安装座40的位置是固定的，从而使安装在上面的所述校准工装10位置固定，校准过程中以所述靶材安装座40和所述校准工装10为参照物，校准磁场扫描设备30与校准工装10的第一校准面110、第二校准面120和第三校准面130之间的距离，调整所述磁场扫描设备30与校准工装10的相对位置，从而达到校准目的。

可以理解，磁场扫描设备30包括扫描探头34，所述磁场扫描设备30在进行磁场扫描时，扫描探头34需要在靶材上方移动，若磁场扫描设备30与靶材安装座40的相对位置不符合要求，则扫描探头34的移动轨迹也会异常，导致扫描结果存在差异。在本实施例中，所述第一校准平面110、所述第二校准平面120以及所述第三校准平面130分别作为校准的参考面，理论上是完全平整的平面。所述磁场扫描设备30进行校准时，可以通过比较与所述第一校准平面110、所述第二校准平面120和所述第三校准平面130上不同区域的相对位置是否一致，来判断与所述靶材安装座40的相对位置是否符合要求。同时，在校准过程中，通过与所述校准工装10的比较可以明确得到所述磁场扫描设备30安装上不符合要求的具体部位及调整尺度(比如相对于三个校准面的远近)，便于用户做针对性调整，从而避免了盲目调整验证的繁琐过程，使得调整结果可视化，大大节省了工作流程，提高了工作效率。

在对所述磁场扫描设备30以所述校准工装10为参照物进行位置校准时，可以采用任意比较工具对所述两者进行比较，比如可以采用水平尺作为校准工装10与磁场扫描设备30之间的距离参考部件。

本实用新型提供的实施方式中，对所述校准工装10的材质不限，只要可以保持形状，并且满足具有两两相互垂直且相交的所述第一校准平面110、所述第二校准平面120以及所述第三校准平面130即可。可选的实施方式中，为了加工方便，且使所述校准工装10上的所述第一校准平面110、所述第二校准平面120以及所述第三校准平面130的平整程度更接近甚至达到理论上的平整度，所述校准工装10可以采用大理石或45钢。

如图1所示，为了降低工装主体100的整体重量，所述工装主体100还包括减重孔140。所述减重孔140设置于所述第一校准平面110和/或所述第二校准平面120上。可以理解，所述减重孔140可以同时在所述第一校准平面110和第二校准平面120，也可以任选二者中的其一进行设置。减重孔140在第一校准平面110和第二校准平面120的排列方式以及数量可以根据实际需要设置。本实用新型提供的实施例中对于减重孔140的形状、大小、深度也不做限定，只要不影响第一校准平面110和第二校准平面120校准工作即可。

一种可选的实施方式中，所述减重孔140可以为通孔，以提高所述减重孔140的减重效果。较佳的实施方式中，所述减重孔140可以为圆孔，圆形的减重孔140便于工业加工和大规模生产。

如图2所示，所述第一校准平面110和所述第三校准平面130连接处具有第一台阶结构150。所述第一台阶结构150包括分别与所述第一校准平面110和所述第三校准平面130平行的第一台阶面151和第二台阶面152。所述第一台阶面151和所述第二台阶面152的大小不限，可以根据需要进行设计。可以理解，如图2所示，所述第一校准平面110和所述第三校准平面130连接处“内凹”形成所述第一台阶结构150。所述第一台阶面151和所述第二台阶面152在相交处形成垂直的直角。通过设置的第一台阶结构150，进一步便于校准工装10与磁场扫描设备30的对位，例如采用水平尺辅助对齐时，水平尺的一端与磁场扫描设备相抵，水平尺的另一端搭接在第一台阶结构150上，若测量某一位置时，水平尺的另一端与第二台阶面152不相抵时，通过调节磁控扫描设备30的位置，使得水平尺的另一端与第一台阶结构150的第二台阶面152相抵。

可选的实施方式中，所述第一校准平面110和所述第二校准平面120连接处具有第二台阶结构160。所述第二台阶结构160包括分别与所述第一校准平面110与所述第二校准平面120平行的第三台阶面161和第四台阶面162。所述第三台阶面161和所述第四台阶面162的大小不限，可以根据需要进行设计。可以理解，如图2所示，所述第一校准平面110和所述第二校准平面120的连接处“内凹”形成所述第二台阶结构160。所述第三台阶面161和所述第四台阶面162在相交处形成垂直的直角结构。当所述校准工装10包括所述第一台阶结构150和所述第二台阶结构160时，所述第一台阶面151和所述第三台阶面161可以在一个平面上，便于加工。

在本实施例中，所述第二台阶结构160为所述磁场扫描设备30提供了更方便的校准区域，可以以所述第三台阶面161和所述第四台阶面162为参考面进行校准，更便于操作。

请一并参见图3和图4，所述校准工装10还包括磁性件200。所述磁性件200可拆卸地设置于所述第一校准平面110上。可以理解，所述磁场扫描设备30在工作过程中需要对靶材进行多次扫描，为了使每次的扫描过程保持一致，需要使得每次扫描的起点相同。通过设置的磁性件200可以作为扫描探头34的每次起始位置参考点。

在本实施例中，当所述磁性件200设置在所述第一校准平面110时，所述磁性件200周围磁场的磁场数据是唯一确定的。所述磁场扫描设备30通过对所述磁性件200周围磁场进行扫描，选取其中一点作为扫描原点，并记录这一点的磁场数据。当进行再次扫描时，可以通过对磁场数据的比对找到上一次的扫描原点，这一过程可称之为原点找正。所述原点找正过程可以达到使多次扫描的起点相同的目的，减小扫描误差，避免对靶材情况的误判。所述磁性件200使得所述校准工装10增加了原点找正的功能，增大了应用范围。

上述磁性件200可以为标准磁体，可以为所述磁场扫描设备30的扫描探头34提供标准磁场，用以对所述扫描探头34进行校准。可选的，如图3所示，所述磁性件200具有与所述第一校准平面110平行的对准面210，便于扫描探头34进行扫描对准。上述磁性件200的具体结构可以有多种，例如圆柱形等。

本实用新型提供的一种可选的实施方式中，所述磁性件200远离所述校准平面的一端可以设置为锥台形，锥台形的上表面即为所述对准面210，将对准面210设置为锥台形可以减小扫面探头34需要扫描的区域的面积，使所述扫描探头34更容易对准。可选的，所述磁性件200可以为磁钢。

如图3所示，所述校准工装10还包括屏蔽件300。所述屏蔽件300可拆卸地设置于所述第一校准平面110上。所述屏蔽件300上设有容纳结构310，所述磁性件200设置于所述容纳结构310内，所述磁性件的对准面210伸出所述屏蔽件300，以便磁性件的对准面210的磁性不被屏蔽，可以进行对准操作。

本实用新型实施方式中，对所述屏蔽件300的大小、形状不限，只要可以容纳于所述第一校准平面110即可。可选的，所述屏蔽件300的材质可以为铁。上述容纳结构310的具体结构也可以有多种，可选的，所述容纳结构310可以为凹槽，磁性件200位于凹槽内，被屏蔽件300包裹，以便屏蔽件300可以最大程度的屏蔽周围磁场对所述磁性件200的干扰。

在本实施例中，所述屏蔽件300可以屏蔽周围磁场对所述磁性件200的磁场干扰，使得扫描探头34在扫描原点时，不会受到其他磁场的干扰，便于找正，并且有利于保证每次扫描探头34的扫描原点的一致性。

上述屏蔽件300可以卡设于所述第一校准平面110。如图3所示，所述屏蔽件300包括屏蔽部320和安装部330，所述屏蔽部320包括所述容纳结构310。所述第一校准平面110开设有安装孔，安装孔用于容纳所述安装部330，使得所述屏蔽件300和所述磁性件200装卸方便。

在一个实施例中，参见图5，所述校准工装10还包括验证件400。所述验证件400可拆卸地设置于所述第一校准平面110上，所述验证件400内部均匀设置有多个标准磁体410，所述验证件400用于验证磁场扫描设备与靶材安装座40的相对位置。可以理解，所述磁场扫描设备30在所述验证件400上方进行扫描，通过将扫描磁场数据与标准数据进行比较，可以验证校准后的磁场扫描设备30与靶材安装座40的相对位置是否符合要求。可选地，所述验证件400可以为平板状，且覆盖于所述第一校准平面110。所述多个标准磁体410可以沿所述第一校准平面110的延伸方向均匀设置。可选的，所述验证件400可以卡接或螺接于所述第一校准平面110。

在本实施例中，通过所述验证件400进行验证，可以避免校准过程中出现失误导致校准不准的情况发生，从而更大程度上保证磁场扫描设备30的安装位置的准确性。

请一并参见图6。在一个实施例中，所述校准工装10还包括水平度检测装置20，所述水平度检测装置20用于以所述第一校准平面110、所述第二校准平面120和所述第三校准平面130为参考面对待校准装置进行水平度检测。在本实施例中，所述水平度检测装置20可以安装在磁场扫描设备30上。通过所述水平度检测装置20比较所述磁场扫描设备30相对于所述第一校准平面110不同位置的水平度是否一致，所述待磁场扫描设备30相对于所述第二校准平面120不同位置的水平度是否一致，所述磁场扫描设备30相对所述第三校准平面130上不同位置的水平度是否一致，来判断所述磁场扫描设备30的安装是否合格，并可以根据水平度检测装置20反馈的数据，进行相应调整，实现校准。

请一并参见图7，本申请一实施例还提供一种校准系统50，包括如上述任一项实施例所述的校准工装10，磁场扫描设备30以及靶材安装座40。所述校准工装10固定于所述靶材安装座40上。所述磁场扫描设备30与所述校准工装10间隔设置。所述水平度检测装置20设置于所述磁场扫描设备30上。

可选的，所述校准工装10还包括设置在所述工装主体100两端的支撑部500，所述支撑部500用于与所述靶材安装座40安装配合。优选地，为了装配及生产方便，所述支撑部500与所述靶材安装座40的配合结构形状相同，例如支撑部500为圆柱形，靶材安装座40设有与支撑部500配合的弧形槽41，支撑部500卡合在弧形槽41内。

在一个实施例中，所述水平度检测装置20可拆卸连接于所述磁场扫描设备30，当校准完毕时，所述水平度检测装置20可以拆卸下来后单独放置。

在本实施例中，通过校准所述磁场扫描设备30与所述校准工装10的相对位置，即校准所述磁场扫描设备30与靶材的相对位置。在校准时，使所述水平度检测装置20在所述第一校准平面110、所述第二校准平面120和所述第三校准平面130上移动，从而监测并校准对应方向上的水平度。

在一个实施例中，所述磁场扫描设备30包括能够沿第一方向和第二方向移动的移动模组31。其中所述第一方向与所述第三校准平面130垂直，所述第二方向与所述第二校准平面120垂直。所述水平度检测装置20包括磁性表座21以及设置于所述磁性表座21端部的杠杆表22。所述磁性表座21可拆卸地设置于所述移动模组31上。通过所述移动模组31带动所述杠杆表22沿所述第一校准平面110、所述第二校准平面120和所述第三校准平面130移动，以校准所述磁场扫描设备30在第一方向、第二方向和第三方向的安装精度。

所述移动模组31沿所述第一方向移动时，可以调整所述磁性表座21，使所述杠杆表22的表头在所述第二校准平面120上移动，以检测并校准所述移动模组31与所述第二校准平面120的水平度是否一致。当所述杠杆表22的数值变化显示所述移动模组31在所述第二方向上远离或靠近所述第二校准面时，调整所述移动模组31在所述第二方向上的位置直到所述杠杆表22的数值不变为止。同样的原理，可以检测并校准所述移动模组31与所述第一校准平面110和第三校准平面130的水平度是否一致。

为了实现所述移动模组31沿所述第一方向和所述第二方向的平稳性，所述移动模组31设置有沿所述第一方向延伸的第一滑轨33和沿所述第二方向延伸的第二滑轨32。所述第二滑轨32与所述第一滑轨33滑动连接，再将所述磁性表座21滑动安装在所述第二滑轨32上，使所述磁性表座21可以沿所述第一滑轨33和所述第二滑轨32移动。位于所述磁性表座21端部的所述杠杆表22靠近所述工装主体100以待校准使用。可以理解，所述磁性表座21包括升降部和可旋转支臂，所述杠杆表22设置在可旋转支臂的端部，可旋转支臂与升降部连接，可以通过调节可旋转支臂使所述杠杆表22朝向任意方向，通过升降部的驱动可以调节杠杆表22的高度。所述杠杆表22具有测头和与测头连接的表盘，表盘内指针可以随着测头的伸缩进行逆时针或顺时针的偏转。

为便于所述磁性表座21的拆卸，可以在所述第二滑轨32上设置一滑块，所述磁性表座21的磁性部位吸附于滑块上，磁性表座21可以跟随滑块安装在所述第二滑轨32，并可以随着第二滑轨32沿第一滑轨33移动。当所述磁性表座21不再使用时，可以消磁后，从滑块上轻松取下。可选的，所述滑块的材质可以为铁。

在对所述磁场扫描设备30进行校准之前，可以根据经验先将磁场扫描设备30和靶材安装座40相对放置好，之后再通过所述校准工装10对所述磁场扫描设备30的安装精度进行校准。假设第二滑轨32在第一滑轨33上的安装精度满足要求，所述磁场扫描设备30的安装精度的校准简化为所述第一滑轨33相对于所述工装主体100的相对位置的校准。

本实用新型提供的实施方式中，在检测靶材内的磁场分布是否合格时，先需要对磁场扫描设备30和靶材安装座40的相对位置进行校准和验证，其中所述第一滑轨33的具体校准过程如下：

首先，校准所述第一滑轨33在第三方向上与所述第一校准平面110的水平度：

保持所述磁性表座21与所述第二滑轨32的相对位置不变，所述第一滑轨33的两端分别作为校准的起始端和终止端。将所述磁性表座21设置于第一滑轨33的起始端，调整所述磁性表座21的可旋转支臂，使所述杠杆表22的测头垂直接触所述第一校准平面110。移动所述第二滑轨32使所述磁性表座21随之沿所述第一滑轨33的起始端向终止端移动，使得所述杠杆表22的测头在所述第一校准平面110上滑动，若所述杠杆表22的指针发生顺时针或逆时针偏转，且随着移动进行，偏转角度越来越大，则说明所述第一滑轨33在第三方向上与所述第一校准平面110距离逐渐变长或变短。需要相应地调整所述第一滑轨33相对第一校准平面11的距离，直到所述杠杆表22的指针在第一校准平面110上滑动过程中不发生偏转或偏转角度在误差允许范围内。从而实现所述第一滑轨33在第三方向上与所述第一校准平面110的水平度校准。

其次，校准所述第一滑轨33在第一方向上与所述第二校准平面120的水平度：

保持所述磁性表座21与所述第二滑轨32的相对位置不变。所述第一滑轨33的两端分别作为校准的起始端和终止端。将所述磁性表座21置于第一滑轨33的起始端，调整所述磁性表座21的可旋转支臂和升降部，使所述杠杆表22的测头垂直接触所述第二校准平面120。移动所述第二滑轨32使所述磁性表座21随之沿所述第一滑轨33的起始端向终止端移动，所述杠杆表22的测头在所述第二校准平面120上滑动。若所述杠杆表22的指针发生顺时针或逆时针偏转，且随着移动进行，偏转角度越来越大，则说明所述第一滑轨33在第二方向上与所述第二校准平面120距离逐渐变长或变短。需要调整所述第一滑轨33的终止端与所述第二校准平面之间的距离，直到所述杠杆表22的指针在第二校准平面120上滑动过程中不发生偏转或偏转角度在误差允许范围内。

最后，校准所述第一滑轨33在第二方向上与所述第三校准平面130的水平度：

通过所述第二滑轨32在第二方向上与所述第三校准平面130的水平度的校准来校准所述第一滑轨33在第二方向上与所述第三校准平面130的水平度：保持所述第二滑轨32与所述第一滑轨33的相对位置不变，使所述磁性表座21沿所述第二滑轨32滑动。所述第二滑轨21的两端分别作为校准的起始端和终止端。将所述磁性表座21置于所述第二滑轨32的起始端，调整所述磁性表座21的可旋转支臂，使所述杠杆表22的测头垂直接触所述第三校准平面130。移动所述磁性表座21使之沿所述第二滑轨32的起始端向终止端滑动，所述杠杆表22的测头在所述第三校准平面130上滑动。

若所述杠杆表22的指针发生顺时针或逆时针偏转，且随着移动进行，偏转角度越来越大，则说明所述第二滑轨32在第二方向上与所述第三校准平面130距离逐渐变长或变短，即所述第一滑轨33在第二方向上与所述第三校准平面130距离逐渐变长或变短。需要相应地调整所述第一滑轨33的起始端与所述第三校准平面130之间的距离，直到所述杠杆表22的指针在第三校准平面130上滑动过程中不发生偏转或偏转角度在可许范围内。从而实现所述第一滑轨33在第二方向上与所述第三校准平面130的水平度校准。

需要说明的是，上述校准磁场扫描设备30与第一校准平面110、第二校准平面120以及第三校准平面130的位置顺序时，不限于上述列举的先校准第一校准平面110再校准第二校准平面120和第三校准平面130，也可以先校准第二校准平面120和第三校准平面130，再校准第一校准平面110。

校准后，需要对校准的位置再进行验证，首先通过校准工装上的磁性件200，确认磁场扫描设备30的扫描探头34每次扫描的起始点。将验证件400安装在校准工装10的第一校准平面110上，或者将校准工装10从靶材安装座40上拆卸下来，将验证件400直接安装在靶材安装座40上，用扫描探头34对验证件400进行扫描，将扫描到的数据与预先存储的标准数据进行对比，若相同，则说明磁场扫描设备30与靶材安装座40的相对位置是我们需要的位置，若不相同，细微调节磁场扫描设备30与靶材安装座40的位置，直至扫描探头34对验证件400进行扫描，扫描到的数据与预先存储的标准数据相同，然后可以将验证件400和校准工装10从靶材安装座40上拆卸下来，将待检测的靶材安装在靶材安装座40上进行检测，若检测的数据与预先存储的标准数据相同，则说明这个靶材的磁场分布是我们需要的，反之不是。

为了保证对靶材扫描时，每次扫描的起点相同。可以再扫描第二个靶材前，将校准工装10安装在靶材安装座40上，进行扫描起始点的确认，然后再对靶材的磁场强度进行检测。

综上，上述校准和验证过程操作较简单，且可以提高靶材磁场强度的检测精度。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种校准工装，用于校准磁场扫描设备与靶材安装座的相对位置，其特征在于，包括：

工装主体(100)，所述工装主体(100)包括第一校准平面(110)、第二校准平面(120)以及第三校准平面(130)，所述第一校准平面(110)、所述第二校准平面(120)以及所述第三校准平面(130)两两相互垂直且相交。

2.如权利要求1所述的校准工装，其特征在于，所述工装主体(100)还包括减重孔(140)，所述减重孔(140)设置于所述第一校准平面(110)和/或所述第二校准平面(120)上。

3.如权利要求1所述的校准工装，其特征在于，所述第一校准平面(110)和所述第三校准平面(130)连接处具有第一台阶结构(150)，所述第一台阶结构(150)包括分别与所述第一校准平面(110)和所述第三校准平面(130)平行的第一台阶面(151)和第二台阶面(152)。

4.如权利要求1所述的校准工装，其特征在于，所述第一校准平面(110)和所述第二校准平面(120)连接处具有第二台阶结构(160)，所述第二台阶结构(160)包括分别与所述第一校准平面(110)和所述第二校准平面(120)平行的第三台阶面(161)和第四台阶面(162)。

5.如权利要求1所述的校准工装，其特征在于，所述校准工装还包括磁性件(200)，所述磁性件(200)可拆卸地设置于所述第一校准平面(110)上。

6.如权利要求5所述的校准工装，其特征在于，所述校准工装还包括屏蔽件(300)，所述屏蔽件(300)可拆卸地设置于所述第一校准平面(110)上，所述屏蔽件(300)上设有容纳结构(310)，所述磁性件(200)设置于所述容纳结构(310)内。

7.如权利要求1所述的校准工装，其特征在于，所述校准工装(10)还包括验证件(400)，所述验证件(400)可拆卸地设置于所述第一校准平面(110)上，所述验证件(400)内部均匀设置有多个标准磁体(410)，所述验证件(400)用于验证磁场扫描设备(30)与靶材安装座(40)的相对位置。

8.如权利要求1-7任一项所述的校准工装，其特征在于，所述校准工装(10)还包括水平度检测装置(20)，所述水平度检测装置(20)用于以所述第一校准平面(110)、所述第二校准平面(120)和所述第三校准平面(130)为参考面对待校准装置进行检测。

9.一种校准系统，其特征在于，包括如权利要求8中所述的校准工装(10)，磁场扫描设备(30)以及靶材安装座(40)，所述校准工装(10)固定于所述靶材安装座(40)上，所述磁场扫描设备(30)与所述校准工装(10)间隔设置，所述水平度检测装置(20)设置于所述磁场扫描设备(30)上。

10.如权利要求9所述的校准系统，其特征在于，所述磁场扫描设备(30)包括能够沿第一方向和第二方向移动的移动模组(31)，所述水平度检测装置(20)包括磁性表座(21)以及设置于所述磁性表座(21)端部的杠杆表(22)，所述磁性表座(21)可拆卸地设置于所述移动模组(31)上，其中所述第一方向与所述第三校准平面(130)垂直，所述第二方向与所述第二校准平面(120)垂直。