JPH09178459A - 変位検出装置 - Google Patents
変位検出装置Info
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- JPH09178459A JPH09178459A JP34018595A JP34018595A JPH09178459A JP H09178459 A JPH09178459 A JP H09178459A JP 34018595 A JP34018595 A JP 34018595A JP 34018595 A JP34018595 A JP 34018595A JP H09178459 A JPH09178459 A JP H09178459A
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- scales
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 専用の製造装置に取付けて調整するといった
作業を必要とせず、非常に短時間で、高精度に調整され
た長尺スケールの製造に利用することができる変位検出
装置を提供する。 【解決手段】 スライダ２は、メインスケールユニット
１に具備されたスケール３、４のつなぎ目部分に配置さ
れ、スケール３、４との相対位置を検出し検出信号を出
力する検出部６と、各スケール３、４への出力信号の位
相と検出部６からの検出信号の位相との位相差に基づい
て各スケール３、４の相対位置を算出し、検出した変位
量に従って調整部５によりスケール４の位置合わせを行
い、精度の良い長尺スケールを製造する。
作業を必要とせず、非常に短時間で、高精度に調整され
た長尺スケールの製造に利用することができる変位検出
装置を提供する。 【解決手段】 スライダ２は、メインスケールユニット
１に具備されたスケール３、４のつなぎ目部分に配置さ
れ、スケール３、４との相対位置を検出し検出信号を出
力する検出部６と、各スケール３、４への出力信号の位
相と検出部６からの検出信号の位相との位相差に基づい
て各スケール３、４の相対位置を算出し、検出した変位
量に従って調整部５によりスケール４の位置合わせを行
い、精度の良い長尺スケールを製造する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は大型の工作機械等の
テーブル等で長ストロークの移動がなされる場合に必要
となる長尺の変位検出装置、特に長尺スケールを形成す
る各スケールの位置合わせを高精度に行うための変位量
の検出に関する。
テーブル等で長ストロークの移動がなされる場合に必要
となる長尺の変位検出装置、特に長尺スケールを形成す
る各スケールの位置合わせを高精度に行うための変位量
の検出に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、複数のスケールをつなぎ合わせる
長尺スケールは、一方のスケールを保持し、そのスケー
ル端部のつなぎ目において、スケールの縦縞目盛に別の
小型目盛板を対面させ、それが重なり合って発生するモ
アレ稿を目視にて検出して、整然としたモアレ稿が発生
するように他方のスケールを調整して製造している。
長尺スケールは、一方のスケールを保持し、そのスケー
ル端部のつなぎ目において、スケールの縦縞目盛に別の
小型目盛板を対面させ、それが重なり合って発生するモ
アレ稿を目視にて検出して、整然としたモアレ稿が発生
するように他方のスケールを調整して製造している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のリニア
エンコーダの長尺スケールの製法では、スケールカバー
を外してスケールのみを取り出す作業が必要となり、一
方のスケールを保持するための機構と、つなぎ合わせる
他方のスケールを長手方向に調整するための機構を有す
る専用の製造装置が必要となる。
エンコーダの長尺スケールの製法では、スケールカバー
を外してスケールのみを取り出す作業が必要となり、一
方のスケールを保持するための機構と、つなぎ合わせる
他方のスケールを長手方向に調整するための機構を有す
る専用の製造装置が必要となる。
【０００４】また、モアレ稿によって調整する方法で
は、人の知覚にたよることになり数値化できず、調整の
精度が悪いという問題がある。例えば、100 μｍ周期の
スケールを用いる場合、2 〜4 μｍ程度の位置合わせ誤
差を生じさせていた。また、熟練が必要であり、多大な
工数を要していた。
は、人の知覚にたよることになり数値化できず、調整の
精度が悪いという問題がある。例えば、100 μｍ周期の
スケールを用いる場合、2 〜4 μｍ程度の位置合わせ誤
差を生じさせていた。また、熟練が必要であり、多大な
工数を要していた。
【０００５】本発明は、上述のような事情から成された
ものであり、本発明の目的は、リニアエンコーダを取付
ける本機上において、スケールカバーを外したり、専用
の製造装置に取付けて調整するといった作業を必要とせ
ず、非常に短時間で、高精度に調整された長尺スケール
の製造を可能とする変位検出装置を提供することにあ
る。
ものであり、本発明の目的は、リニアエンコーダを取付
ける本機上において、スケールカバーを外したり、専用
の製造装置に取付けて調整するといった作業を必要とせ
ず、非常に短時間で、高精度に調整された長尺スケール
の製造を可能とする変位検出装置を提供することにあ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は大型の工作機械
等のテーブル等で長ストロークの移動がなされる場合に
必要となる長尺の変位検出装置に関するものであり、本
発明の上記目的を達成するために、本発明は、並設する
ことにより一の長尺スケールを形成する複数のスケール
と前記複数のスケールとの相対位置を検出するスライダ
手段を備えた変位検出装置において、前記スライダ手段
は、複数のスケールからの信号を同時に得ることのでき
る位置での前記各スケールからの信号に基づいて各スケ
ールの相対位置を算出し、複数のスケールの調整すべき
変位量を検出するスケール位置検出手段とを有すること
を特徴とする。
等のテーブル等で長ストロークの移動がなされる場合に
必要となる長尺の変位検出装置に関するものであり、本
発明の上記目的を達成するために、本発明は、並設する
ことにより一の長尺スケールを形成する複数のスケール
と前記複数のスケールとの相対位置を検出するスライダ
手段を備えた変位検出装置において、前記スライダ手段
は、複数のスケールからの信号を同時に得ることのでき
る位置での前記各スケールからの信号に基づいて各スケ
ールの相対位置を算出し、複数のスケールの調整すべき
変位量を検出するスケール位置検出手段とを有すること
を特徴とする。
【０００７】また、前記スケール位置検出手段は、所定
の位相差をもって出力すべき信号の位相差に基づいて、
各スケールの相対位置を算出することを特徴とする。
の位相差をもって出力すべき信号の位相差に基づいて、
各スケールの相対位置を算出することを特徴とする。
【０００８】また、前記スライダ手段は、少なくとも２
つの前記位置検出手段を有し、前記スケール位置検出手
段は、前記各位置検出手段が検出した信号に基づいて各
スケールの相対位置を算出することを特徴とする。
つの前記位置検出手段を有し、前記スケール位置検出手
段は、前記各位置検出手段が検出した信号に基づいて各
スケールの相対位置を算出することを特徴とする。
【０００９】更に、前記スケール位置検出手段は、前記
各位置検出手段が同一のスケールから検出した信号に基
づいて算出した基準位置からのずれ量と、前記各位置検
出手段がそれぞれ異なるスケールから検出した信号に基
づいて算出した基準位置からのずれ量とに基づいて各ス
ケールの相対位置を算出することを特徴とする。
各位置検出手段が同一のスケールから検出した信号に基
づいて算出した基準位置からのずれ量と、前記各位置検
出手段がそれぞれ異なるスケールから検出した信号に基
づいて算出した基準位置からのずれ量とに基づいて各ス
ケールの相対位置を算出することを特徴とする。
【００１０】本発明にあっては、長尺スケールを製造す
る際、スケールのつなぎ目部分の調整に特別な段取りや
装置を必要とせず、また、スケールユニットの開封など
の必要もない。よって、生産性の向上がはかれ、ひいて
はコストの削減が可能となる。また、変位検出装置を取
付ける本機上において、スケールの位置合わせが高精度
に実現できる。
る際、スケールのつなぎ目部分の調整に特別な段取りや
装置を必要とせず、また、スケールユニットの開封など
の必要もない。よって、生産性の向上がはかれ、ひいて
はコストの削減が可能となる。また、変位検出装置を取
付ける本機上において、スケールの位置合わせが高精度
に実現できる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて、本発明の
好適な実施の形態について説明する。
好適な実施の形態について説明する。
【００１２】図１は本発明に係る変位検出装置の一実施
の形態を示すブロック図であり、メインスケールユニッ
ト１とスライダ２で構成されている。
の形態を示すブロック図であり、メインスケールユニッ
ト１とスライダ２で構成されている。
【００１３】メインスケールユニット１は、相対的に変
位する２つの装置のうち一方に固定され、メインスケー
ルであるスケール３とスケール４、ならびに一方のスケ
ールを長手方向に位置が調整可能な調整部５とを備えて
いる。この例では、調整部５は、スケール４に装着され
ており、調整後に取り外しが可能となっている。
位する２つの装置のうち一方に固定され、メインスケー
ルであるスケール３とスケール４、ならびに一方のスケ
ールを長手方向に位置が調整可能な調整部５とを備えて
いる。この例では、調整部５は、スケール４に装着され
ており、調整後に取り外しが可能となっている。
【００１４】一方、相対的に変位する他方の装置に固定
されたスライダ２は、スケール３とスケール４からの検
出信号を得る検出部６と、スライダ２がスケール３とス
ケール４のつなぎ目部分に配置された際の検出信号に基
づいてスケール３とスケール４の位置関係を検出し出力
するスケール位置検出手段７とを備えている。
されたスライダ２は、スケール３とスケール４からの検
出信号を得る検出部６と、スライダ２がスケール３とス
ケール４のつなぎ目部分に配置された際の検出信号に基
づいてスケール３とスケール４の位置関係を検出し出力
するスケール位置検出手段７とを備えている。
【００１５】本実施の形態における動作を以下に説明す
る。本実施の形態における検出部６では、図２に示され
るようなインデックススケール８が用いられ、ここで、
検出信号は、互いに９０度位相が異なった信号が出力さ
れる。例えば、図２におけるスケール部８ａから得られ
るａ相信号と、スケール部８ｂから得られるｂ相信号と
は、Ｐ／４だけ位相が異なるように設けられている。な
お、Ｐは格子線の間隔である。スケール３、４が精度よ
く配置されていれば、ａ相ならびにｂ相信号は、９０度
位相差の信号となるはずである。例えば、インデックス
部８ａと８ｂが同じスケールに対向していれば、ａ相と
ｂ相信号の位相差は、概ね９０度となる。また、スケー
ル部８ｃから得られるｃ相信号と、スケール部８ｄから
得られるＤ相信号との関係についても同様である。
る。本実施の形態における検出部６では、図２に示され
るようなインデックススケール８が用いられ、ここで、
検出信号は、互いに９０度位相が異なった信号が出力さ
れる。例えば、図２におけるスケール部８ａから得られ
るａ相信号と、スケール部８ｂから得られるｂ相信号と
は、Ｐ／４だけ位相が異なるように設けられている。な
お、Ｐは格子線の間隔である。スケール３、４が精度よ
く配置されていれば、ａ相ならびにｂ相信号は、９０度
位相差の信号となるはずである。例えば、インデックス
部８ａと８ｂが同じスケールに対向していれば、ａ相と
ｂ相信号の位相差は、概ね９０度となる。また、スケー
ル部８ｃから得られるｃ相信号と、スケール部８ｄから
得られるＤ相信号との関係についても同様である。
【００１６】そこで、本実施の形態では、検出部６を前
記スケール３とスケール４のつなぎ目部分に配置する。
すなわち、スケール部８ａとスケール部８ｂとをつなぎ
目部分をまたぐような位置に配置する。これにより、異
なるスケール３、４からの信号を同時に検出することが
できる。このように検出部６を置いて変位させた場合に
同時に得られたａ相、ｂ相の信号を基に、スケールの位
置合わせの精度を判定する。例えば、スライダが相対変
位した際に得られたａ相、ｂ相信号の位相差を求めて、
この値をスケールの位置合わせ精度に換算して出力す
る。そして、外部の数値制御装置や表示装置に転送す
る。位相差の例として、例えば、検出信号の信号周期が
100 μｍの場合に、ａ相とｂ相信号の位相差が150 度で
あったとすると、16.67 μｍ ［＝（150-90)/360*100
］だけ、調整部５により、スケール４を微動させれば
よい。そして、最終的には、この値が９０度の位相差と
なるように調整すれば良い。ここで、ａ相とｂ相から得
られる信号の位相差は、理想的には、９０度となるはず
であるが、インデックススケール８の目盛の誤差などに
より誤差を含んでしまう場合もあり得る。そこで、イン
デックススケール８のａ相とｂ相が同じスケールに対向
した状態で、インデックススケールのａ相とｂ相、具体
的にはスケール部８ｂと８ｄの位相差を測定して、これ
を目標値としてもよい。
記スケール３とスケール４のつなぎ目部分に配置する。
すなわち、スケール部８ａとスケール部８ｂとをつなぎ
目部分をまたぐような位置に配置する。これにより、異
なるスケール３、４からの信号を同時に検出することが
できる。このように検出部６を置いて変位させた場合に
同時に得られたａ相、ｂ相の信号を基に、スケールの位
置合わせの精度を判定する。例えば、スライダが相対変
位した際に得られたａ相、ｂ相信号の位相差を求めて、
この値をスケールの位置合わせ精度に換算して出力す
る。そして、外部の数値制御装置や表示装置に転送す
る。位相差の例として、例えば、検出信号の信号周期が
100 μｍの場合に、ａ相とｂ相信号の位相差が150 度で
あったとすると、16.67 μｍ ［＝（150-90)/360*100
］だけ、調整部５により、スケール４を微動させれば
よい。そして、最終的には、この値が９０度の位相差と
なるように調整すれば良い。ここで、ａ相とｂ相から得
られる信号の位相差は、理想的には、９０度となるはず
であるが、インデックススケール８の目盛の誤差などに
より誤差を含んでしまう場合もあり得る。そこで、イン
デックススケール８のａ相とｂ相が同じスケールに対向
した状態で、インデックススケールのａ相とｂ相、具体
的にはスケール部８ｂと８ｄの位相差を測定して、これ
を目標値としてもよい。
【００１７】なお、この出力値は、位相差の形式でもよ
いし、位置データの形式でもよい。また、誤差の形式で
もよいし、微動指示値の形式でもよい。また、位置デー
タとともに出力するようにしてもよい。
いし、位置データの形式でもよい。また、誤差の形式で
もよいし、微動指示値の形式でもよい。また、位置デー
タとともに出力するようにしてもよい。
【００１８】調整部５は、調整が完了したらスケール４
の固定後に取り外してもよい。
の固定後に取り外してもよい。
【００１９】信号の位相差の検出は、各信号をフーリェ
変換して求めてもよいし、信号のゼロクロス点やピーク
点の位置関係から求めてもよい。また、信号の位相差は
その他各種の方法により求めることができ、本発明はこ
れに制限されない。
変換して求めてもよいし、信号のゼロクロス点やピーク
点の位置関係から求めてもよい。また、信号の位相差は
その他各種の方法により求めることができ、本発明はこ
れに制限されない。
【００２０】スケールの位置合わせの精度を判定する別
の手段として、前記スケール位置検出部７において、ス
ケール３とスケール４のつなぎ目部分にある相用のイン
デックススケールを配置した際のその相の検出信号のコ
ントラストから判定するようにしてもよい。例えば、ａ
相用の、インデックススケールの中心が、ちょうどスケ
ールのつなぎめにくるように配置する。スケール位置検
出部７では、スライダ２を変位させた場合のａ相信号の
コントラストにより、スケールの位置合わせの精度を判
定する。
の手段として、前記スケール位置検出部７において、ス
ケール３とスケール４のつなぎ目部分にある相用のイン
デックススケールを配置した際のその相の検出信号のコ
ントラストから判定するようにしてもよい。例えば、ａ
相用の、インデックススケールの中心が、ちょうどスケ
ールのつなぎめにくるように配置する。スケール位置検
出部７では、スライダ２を変位させた場合のａ相信号の
コントラストにより、スケールの位置合わせの精度を判
定する。
【００２１】ここで、コントラストは、次式により求め
られる。
られる。
【００２２】 ｃｏｎｔ＝（Ｉmax −Ｉmin ）／（Ｉmax ＋Ｉmin ） ＝Ａｍｐ／２ｏｆｓ なぜならば Ａｍｐ＝Ｉmax ーＩmin ｏｆｓ＝（Ｉmax ＋Ｉmin ）／２ ｃｏｎｔ：コントラスト Ａｍｐ ：振幅 ｏｆｓ ：オフセット ここで、コントラストの値が最大になるように調整部５
で調整するようにすれば良い。これは、２つのスケール
３、４の位置合わせが精密になされていれば、ａ相用の
インデックススケールに入射される光の強度分布は一様
となるが、位置合わせが不正確な場合、例えばＰ／２近
くの位置合わせの誤差を含んだ場合、入射される光の強
度分布が一様とならずコントラストが低下してしまうこ
とを利用したものである。この際、コントラストの最大
値の目安として、ａ相がつなぎ目でない位置で得られた
信号のコントラストを用いてもよいし、ａ相がつなぎ目
にある際の、他のつなぎ目でない相の信号のコントラス
トを用いてのよい。スケール位置検出部７は、外部に対
して、コントラストの値を出力してもよいし、コントラ
ストの目標値に対する差を出力してもよい。
で調整するようにすれば良い。これは、２つのスケール
３、４の位置合わせが精密になされていれば、ａ相用の
インデックススケールに入射される光の強度分布は一様
となるが、位置合わせが不正確な場合、例えばＰ／２近
くの位置合わせの誤差を含んだ場合、入射される光の強
度分布が一様とならずコントラストが低下してしまうこ
とを利用したものである。この際、コントラストの最大
値の目安として、ａ相がつなぎ目でない位置で得られた
信号のコントラストを用いてもよいし、ａ相がつなぎ目
にある際の、他のつなぎ目でない相の信号のコントラス
トを用いてのよい。スケール位置検出部７は、外部に対
して、コントラストの値を出力してもよいし、コントラ
ストの目標値に対する差を出力してもよい。
【００２３】図３、図４は本発明の他の実施の形態の例
を示すブロック図であり、少なくとも２つのスライダ１
０、スライダ１１を有するスライダユニット９とを備え
ている。上記の実施の形態では、スライダ手段として１
つのスライダのみを有していたが、本実施の形態におい
ては２組のスライダ１０、１１を用いる。スライダ１０
とスライダ１１は、所定の間隔で固定されている。メイ
ンスケールユニット１の構成は、前述の実施の形態と同
様である。また、各スライダユニット９は、スケール位
置検出部７とを有している。スケール位置検出部７は、
図３に示すような、スライダ１０、スライダ１１のいず
れもが１つのスケールに対向している際の各々の位置デ
ータと、図４に示すような、スライダ１０、１１をスケ
ールのつなぎ目部分をまたぐような位置に置いた際の位
置データとの関係により、スケール３とスケール４の位
相関係を検出するようになっている。
を示すブロック図であり、少なくとも２つのスライダ１
０、スライダ１１を有するスライダユニット９とを備え
ている。上記の実施の形態では、スライダ手段として１
つのスライダのみを有していたが、本実施の形態におい
ては２組のスライダ１０、１１を用いる。スライダ１０
とスライダ１１は、所定の間隔で固定されている。メイ
ンスケールユニット１の構成は、前述の実施の形態と同
様である。また、各スライダユニット９は、スケール位
置検出部７とを有している。スケール位置検出部７は、
図３に示すような、スライダ１０、スライダ１１のいず
れもが１つのスケールに対向している際の各々の位置デ
ータと、図４に示すような、スライダ１０、１１をスケ
ールのつなぎ目部分をまたぐような位置に置いた際の位
置データとの関係により、スケール３とスケール４の位
相関係を検出するようになっている。
【００２４】検出部６で得られる位置データは、メイン
スケールの格子周期Ｐの範囲内での絶対位置を検出する
ことができる。例えば、格子周期Ｐが100 μｍの場合
に、スライダ１０で得られた位置データをPosA、スライ
ダ１１で得られた位置データをPosBとする。ここで、両
方のスライダ１０、１１が１つのスケール、例えば図３
に示したようにスケール３に対向した場合において、そ
れぞれに設定されたある基準位置からのずれ量がPosAが
10μｍ、PosBが30μｍであったとする。そして、この関
係は、スライダ１０、スライダ１１がスケール３、４の
つなぎ目部分をまたぐような位置に置かれた場合も、保
持される必要があり、この場合にスケールの精密な位置
合わせがなされたことになる。ここで、つなぎ目部分を
またぐような位置に置かれた場合のずれ量がPosAが10μ
ｍ、PosBが70μｍであったとすると、スケールの位相合
わせ誤差は40μｍである。スケール位置検出部７は、こ
れらの関係から位置合わせ誤差つまり変位量を検出する
ことができる。そして、調整部５は、この値に基づいて
スケール４を40μｍだけ微動させればよい。このように
して、両者の関係が等しくなるように調整する。この場
合、前述した実施の形態と異なり、スライダ２及びスケ
ール４の位置を相対変位させ微調整するという作業を行
うことなく、スケール３、４の位置合わせの精度の測
定、調整が可能という長所を有する。
スケールの格子周期Ｐの範囲内での絶対位置を検出する
ことができる。例えば、格子周期Ｐが100 μｍの場合
に、スライダ１０で得られた位置データをPosA、スライ
ダ１１で得られた位置データをPosBとする。ここで、両
方のスライダ１０、１１が１つのスケール、例えば図３
に示したようにスケール３に対向した場合において、そ
れぞれに設定されたある基準位置からのずれ量がPosAが
10μｍ、PosBが30μｍであったとする。そして、この関
係は、スライダ１０、スライダ１１がスケール３、４の
つなぎ目部分をまたぐような位置に置かれた場合も、保
持される必要があり、この場合にスケールの精密な位置
合わせがなされたことになる。ここで、つなぎ目部分を
またぐような位置に置かれた場合のずれ量がPosAが10μ
ｍ、PosBが70μｍであったとすると、スケールの位相合
わせ誤差は40μｍである。スケール位置検出部７は、こ
れらの関係から位置合わせ誤差つまり変位量を検出する
ことができる。そして、調整部５は、この値に基づいて
スケール４を40μｍだけ微動させればよい。このように
して、両者の関係が等しくなるように調整する。この場
合、前述した実施の形態と異なり、スライダ２及びスケ
ール４の位置を相対変位させ微調整するという作業を行
うことなく、スケール３、４の位置合わせの精度の測
定、調整が可能という長所を有する。
【００２５】なお、これまでの実施の形態では、スケー
ル位置検出部７で得られたスケールの位置合わせ精度も
しくは、微動の指示値は、調整部５に直接フィードバッ
クされていないが、電動化された調整部にフィードバッ
クするようにしてもよい。また、調整部は、モータを備
えてもよいし、圧電素子などを利用した微動機構を備え
てもよい。
ル位置検出部７で得られたスケールの位置合わせ精度も
しくは、微動の指示値は、調整部５に直接フィードバッ
クされていないが、電動化された調整部にフィードバッ
クするようにしてもよい。また、調整部は、モータを備
えてもよいし、圧電素子などを利用した微動機構を備え
てもよい。
【００２６】また、スケール位置検出部７は、スライダ
の中にあってもよいし、外部の回路等にあってもよい。
の中にあってもよいし、外部の回路等にあってもよい。
【００２７】また、本発明は、光学式のエンコーダのみ
ならず、磁気式や静電容量式、電磁式のエンコーダにも
使用可能である。
ならず、磁気式や静電容量式、電磁式のエンコーダにも
使用可能である。
【００２８】以上のように、本実施の形態によれば、変
位検出装置を取付けた本機上において、特別な段取りや
装置を必要とせず、また、スケールユニットを開封する
必要もないので、生産性の向上がはかれ、ひいてはコス
トの削減が可能となる。
位検出装置を取付けた本機上において、特別な段取りや
装置を必要とせず、また、スケールユニットを開封する
必要もないので、生産性の向上がはかれ、ひいてはコス
トの削減が可能となる。
【００２９】また、位置の誤差を数値化することができ
るので、人の知覚などに頼ることなくスケールの位置合
わせを行うことが可能となる。従って、スケールの位置
合わせが高精度に実現できるので、長尺化された変位検
出装置の高精度化がはかれる。
るので、人の知覚などに頼ることなくスケールの位置合
わせを行うことが可能となる。従って、スケールの位置
合わせが高精度に実現できるので、長尺化された変位検
出装置の高精度化がはかれる。
【図１】 本発明のリニアエンコーダ用長尺スケールの
調整法における第１の実施の形態のブロック図である。
調整法における第１の実施の形態のブロック図である。
【図２】 本発明のリニアエンコーダ用長尺スケールの
調整法における第１の実施の形態のインデックススケー
ルの図である。
調整法における第１の実施の形態のインデックススケー
ルの図である。
【図３】 本発明のリニアエンコーダ用長尺スケールの
調整法における第２の実施の形態の調整前のブロック図
である。
調整法における第２の実施の形態の調整前のブロック図
である。
【図４】 本発明のリニアエンコーダ用長尺スケールの
調整法における第２の実施の形態の調整中のブロック図
である。
調整法における第２の実施の形態の調整中のブロック図
である。
１ メインスケールユニット、２，１０，１１ スライ
ダ、３，４ スケール、５ 調整部、６ 検出部、７
スケール位置検出部、８ インデックススケール、８
ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄ スケール部、９ スライダユニ
ット。
ダ、３，４ スケール、５ 調整部、６ 検出部、７
スケール位置検出部、８ インデックススケール、８
ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄ スケール部、９ スライダユニ
ット。
Claims (4)
- 【請求項１】 並設することにより一の長尺スケールを
形成する複数のスケールと前記複数のスケールとの相対
位置を検出するスライダ手段を備えた変位検出装置にお
いて、 前記スライダ手段は、 複数のスケールからの信号を同時に得ることのできる位
置での前記各スケールからの信号に基づいて各スケール
の相対位置を算出し、複数のスケールの調整すべき変位
量を検出するスケール位置検出手段とを有することを特
徴とする変位検出装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の変位検出装置において、 前記スケール位置検出手段は、所定の位相差をもって出
力すべき信号の位相差に基づいて、各スケールの相対位
置を算出することを特徴とする変位検出装置。 - 【請求項３】 請求項１記載の変位検出装置において、 前記スライダ手段は、少なくとも２つの前記位置検出手
段を有し、 前記スケール位置検出手段は、前記各位置検出手段が検
出した信号に基づいて各スケールの相対位置を算出する
ことを特徴とする変位検出装置。 - 【請求項４】 請求項３記載の変位検出装置において、 前記スケール位置検出手段は、前記各位置検出手段が同
一のスケールから検出した信号に基づいて算出した基準
位置からのずれ量と、前記各位置検出手段がそれぞれ異
なるスケールから検出した信号に基づいて算出した基準
位置からのずれ量とに基づいて各スケールの相対位置を
算出することを特徴とする変位検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07340185A JP3130463B2 (ja) | 1995-12-27 | 1995-12-27 | 変位検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07340185A JP3130463B2 (ja) | 1995-12-27 | 1995-12-27 | 変位検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09178459A true JPH09178459A (ja) | 1997-07-11 |
| JP3130463B2 JP3130463B2 (ja) | 2001-01-31 |
Family
ID=18334538
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP07340185A Expired - Fee Related JP3130463B2 (ja) | 1995-12-27 | 1995-12-27 | 変位検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3130463B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002310731A (ja) * | 2001-04-06 | 2002-10-23 | Mitsutoyo Corp | 光電式リニヤエンコーダ |
| JP2005147746A (ja) * | 2003-11-12 | 2005-06-09 | Olympus Corp | 形状測定機 |
| JP2006084419A (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-30 | Ntn Corp | リニアスケールの信号処理方法、リニアスケールの信号処理装置および位置決め装置 |
| JP2012207923A (ja) * | 2011-03-29 | 2012-10-25 | Nikon Corp | 位置検出用スケールの計測装置、位置検出用スケールの計測方法、及びスケールの製造方法 |
| CN103278121A (zh) * | 2013-04-28 | 2013-09-04 | 苏州工业园区高登威科技有限公司 | 检测装置 |
-
1995
- 1995-12-27 JP JP07340185A patent/JP3130463B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002310731A (ja) * | 2001-04-06 | 2002-10-23 | Mitsutoyo Corp | 光電式リニヤエンコーダ |
| JP4672894B2 (ja) * | 2001-04-06 | 2011-04-20 | 株式会社ミツトヨ | 光電式リニヤエンコーダ |
| JP2005147746A (ja) * | 2003-11-12 | 2005-06-09 | Olympus Corp | 形状測定機 |
| JP2006084419A (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-30 | Ntn Corp | リニアスケールの信号処理方法、リニアスケールの信号処理装置および位置決め装置 |
| JP2012207923A (ja) * | 2011-03-29 | 2012-10-25 | Nikon Corp | 位置検出用スケールの計測装置、位置検出用スケールの計測方法、及びスケールの製造方法 |
| CN103278121A (zh) * | 2013-04-28 | 2013-09-04 | 苏州工业园区高登威科技有限公司 | 检测装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3130463B2 (ja) | 2001-01-31 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |