JP2011165995A - プローブカードの搬送機構、プローブカードの搬送方法及びプローブ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のプローブカードの搬送機構は、プローブカードを搬送する第1のカード搬送機構11と、第1のカード搬送機構11とインサートリング54との間でプローブカード56を搬送する第2のカード搬送機構12と、を備え、第1のカード搬送機構11は、ヘッド旋回駆動機構57側に設けられ且つ第2のカード搬送機構12との間でプローブカード56の受け渡しを行う進退動可能なカード保持具13を有し、第2のカード搬送機構12は、第1のカード搬送機構11とインサートリング54の間でプローブカード56を搬送する載置台52と、載置台52の周囲に互いに所定間隔を空けて昇降可能に設けられ第1、第2、第3昇降機構16A、16B、16Cと、を有する。
【選択図】図1
Description
本実施形態のプローブカード搬送機構(以下、単に「搬送機構」と称す。)10は、例えば図1の(a)、(b)に示すように本実施形態のプローブ装置50に設けられて、プローブカードを交換する際に用いられる。
11 第1のカード搬送機構
12 第2のカード搬送機構
13 カード保持具
14A、14B、14C、14D 基板
15A、15B、15C、15D 直進駆動機構
16A、16B、16C 昇降機構
50 プローブ装置
52 載置台
51C 開閉扉
Claims (9)
- プローブ装置のインサートリングにプローブカードを着脱するために上記プローブカードを搬送する第1のカード搬送機構と、上記第1のカード搬送機構と上記インサートリングとの間で上記プローブカードを搬送する第2のカード搬送機構と、を備えたプローブカードの搬送機構であって、
上記第1のカード搬送機構は、テストヘッドを上記インサートリングまで旋回させる旋回駆動機構側に設けられ且つ上記第2のカード搬送機構との間で上記プローブカードの受け渡しを行う進退動可能なカード保持具を有し、
上記第2のカード搬送機構は、上記第1のカード搬送機構と上記インサートリングの間で上記プローブカードを搬送する載置台と、上記載置台の周囲に互いに所定間隔を空けて昇降可能に設けられ且つ上記第1のカード搬送機機構と上記載置台との間で上記プローブカードを受け渡す昇降機構と、を有する
ことを特徴とするプローブカードの搬送機構。 - 上記第1のカード搬送機構は、上記プローブ装置の上記旋回駆動機構側の側面に形成された開口部を開閉する開閉扉の外側に配置され、上記開閉扉は、上記第1のカード搬送機構のカード保持具が上記プローブ装置内に進出する時にのみ上記開口部を開くことを特徴とする請求項1に記載のプローブカードの搬送機構。
- 上記第1のカード搬送機構は、積層された複数の基板と、上記各基板を直進させる直進駆動機構と、を有し、上記カード保持具は、最上段の上記基板上に設けられ、上記直進駆動機構を介して直進することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のプローブカードの搬送機構。
- 上記第1のカード搬送機構及び上記昇降機構は、それぞれ上記プローブカードを検出するセンサを有することを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のプローブカードの交換機構。
- 上記昇降機構は、上記プローブカードを位置決めする位置決め部材を有することを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載のプローブカードの搬送機構。
- プローブ装置に用いられるテストヘッドを上記プローブ装置のインサートリングまで旋回させる旋回駆動機構側に設けられた第1のカード搬送機構にプローブカードを設置する工程と、
上記第1のカード搬送機構のカード保持具が直進して上記プローブ装置内に設けられた第2のカード機構まで上記プローブカードを搬送する工程と、
上記第2のカード搬送機構の複数の昇降機構の支持体が上昇して上記プローブカードを支持する工程と、
上記複数の昇降機構の内側に設けられた載置台が上記複数の昇降機構と一体的に上昇して上記プローブカードを上記カード保持具から受け取る共に上記カード保持具が上記載置台から後退する工程と、
上記載置体及び上記昇降機構が一体的に昇降して上記プローブカードを上記インサートリングまで搬送する工程と、を備えた
ことを特徴とするプローブカードの搬送方法。 - 上記インサートリングに装着された上記プローブカードを取り外す時には、上記第1、第2のカード搬送機構が上記の工程と逆の工程を辿って上記プローブカードを上記インサートリングから上記旋回駆動機構側へ搬送することを特徴とする請求項6に記載のプローブカードの搬送方法。
- 上記プローブ装置の上記旋回駆動機構側の側面には開閉扉が設けられ、上記第1、第2のカード搬送機構を介して上記プローブカードを搬送する時に上記開閉扉が開くことを特徴とする請求項6または請求項7に記載のプローブカードの搬送方法。
- インサートリングに装着されたプローブカードと、上記プローブカードの下方に移動可能に設けられた被検査体の載置台と、上記プローブカードと導通するために上記テストヘッドを上記インサートリングまで旋回させる旋回駆動機構と、上記プローブカードを着脱するために上記旋回駆動機構と上記インサートリングとの間で上記プローブカードを搬送するプローブカードの搬送機構と、を備えたプローブ装置であって、
上記プローブカードの搬送機構は、請求項1〜5のいずれか1項に記載のプローブカード搬送機構によって構成されている
ことを特徴とするプローブ装置。
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