JP2011165995A5 - - Google Patents
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また、本発明の請求項6に記載のプローブカード搬送方法は、プローブ装置に用いられるテストヘッドを上記プローブ装置のインサートリングまで旋回させる旋回駆動機構側に設けられた第1のカード搬送機構にプローブカードを設置する工程と、上記第1のカード搬送機構のカード保持具が直進して上記プローブ装置内に設けられた第2のカード搬送機構まで上記プローブカードを搬送する工程と、
上記第2のカード搬送機構の複数の昇降機機構の支持体が上昇して上記プローブカードを支持する工程と、上記複数の昇降機構の内側に設けられた載置台が上記複数の昇降機構と同時に上昇して上記プローブカードを上記カード保持具から受け取る共に上記カード保持具が上記載置台から後退する工程と、上記載置台及び上記複数の昇降機構が同時に昇降して上記プローブカードを上記インサートリングまで搬送する工程と、を備えたことを特徴とするものである。
上記第2のカード搬送機構の複数の昇降機機構の支持体が上昇して上記プローブカードを支持する工程と、上記複数の昇降機構の内側に設けられた載置台が上記複数の昇降機構と同時に上昇して上記プローブカードを上記カード保持具から受け取る共に上記カード保持具が上記載置台から後退する工程と、上記載置台及び上記複数の昇降機構が同時に昇降して上記プローブカードを上記インサートリングまで搬送する工程と、を備えたことを特徴とするものである。
本実施形の搬送機構10は、図1の(a)、(b)に示すように、ヘッド旋回駆動機構57の駆動軸57Aの下方に形成されたプローブ装置50の基台58上に設けられている。この搬送機構10は、同図に示すように、プローバ室51の外側へ張り出した基台58とプローバ室51内との間でプローブカード56を搬送する第1のカード搬送機構11(図2参照)と、第1のカード搬送機構11とインサートリング54との間でプローブカード56を搬送する第2のカード搬送機構12(図3参照)と、を備え、制御装置の制御下でプローブカード56を搬送する。プローブカード56をインサートリング54へ取り付ける時には、第1のカード搬送機構11がプローブカード56をプローバ室51の外側から内部へ搬送し、第2のカード搬送機構12が第1のカード搬送機構11からプローブカード56を受け取ってインサートリング54のプローブカード56の装着部位まで搬送する。インサートリング54は、第2のカード搬送機構12によって搬送されたプローブカード56をクランプ機構によって固定する。プローブカード56をインサートリング54から取り外す時には搬送機構10はプローブカード56を装着する時とは逆方向にプローブカード56を搬送する
また、第1基板14Aには図2の(b)に示すようにカード保持具13の連結部材13Bを介してカード保持具13を検出する復帰センサ14A1が設けられ、復帰センサ14A1が第1基板13上に復帰するカード保持具13を検出するようにしてある。
また、第2基板14Bには図2の(b)に示すように第1基板14Aを検出する進出センサ14B1が設けられ、進出センサ14B1が第1基板14Aを検出しないことによってカード保持具13が第1基板14Aを介して搬送方向への進出を検出するようにしてある。
第2基板14Bは、図2の(a)に示すように、第3基板14C上に配置された第3直進駆動機構15Cを介して第3基板14C上でプローブカード56の搬送方向に直進するようにしてある。この第3直進駆動機構15Cは、第3基板14Cの内側の前後に配置された一対のローラ15C1と、一対のローラ15C1にそれぞれ掛け回された無端ベルト15C2と、無端ベルト15C2の両側に無端ベルト15A2と平方に配設された一対のガイドレール15C3と、を有し、一対のガイドレール15C3が第2基板14Bの下面に形成された溝と係合している。一対のローラ15C1は、第1直進駆動機構15Aのものと同様に駆動ローラと従動ローラによって構成されている。従って、第3直進駆動機構15Cが駆動して一対のローラ15C1を介して無端ベルト15C2が回転すると、第2基板14Bが第3基板14C上で一対のガイドレール15C3に従って第2基板14Bからプローブカード56の搬送方向に直進するようになっている。
また、第2基板14Bには図2の(b)に示すように第2基板14Bを介して第1基板14Aにカード保持具13を検出する復帰センサ14A 1が設けられ、復帰センサ14A 1がカード保持具13の第2基板14B上への復帰を検出するようにしてある。
第3基板14Cは、図2の(a)に示すように、第4基板14D上に配置された第4直進駆動機構15Dを介して第4基板14D上でプローブカード56の搬送方向に直進するようにしてある。この第4直進駆動機構15Dは、第2の直進駆動機構15Bと同様にシリンダ機構15D1と、シリンダ機構15D1の両側にシリンダ機構15D1と平行に配設された一対のガイドレール15D2と、を有し、一対のガイドレール15D2が第3基板14Cの下面に形成された溝と係合している。従って、第4直進駆動機構15Dのシリンダ機構15D1が駆動すると、第3基板14Cが第4基板1D上で一対のガイドレール15D2に従ってプローブカード56の搬送方向に直進するようになっている。
また、第4基板14Dには第3基板14Cの直進を検出する一対のセンサ15D3が搬送方向の前後にそれぞれ設けられ、前後のセンサ15D3が第3基板14Cを検出し第3基板14Cが第4基板14Dから搬送方向の前後への直進を検出するようにしてある。この第4基板14Dは、プローバ室51からヘッド旋回駆動機構57側に張り出した基台58上に固定されている。
第1、第2昇降機構16A、16Bの支持体16A1、16B1の上面には、図3の(a)、(b)に示すようにカードホルダ55を支持する支持面16A2、16B2と、各支持面16A2、16B2より低い低位面16A3、16B3がそれぞれ形成されている。各低位面16A3、16B3には図3の(b)に示すようにカードホルダ55の下面に形成された凹部55Aに嵌入する位置決めピン16A4、16B4がぞれぞれの支持面16A2、16B2に隣接して設けられている。これらの位置決めピン16A4、16B4はそれぞれの支持面6A2、16B2から上方に突出する高さで、カード保持具13の位置決めピン13Cに対応して形成されていてカードホルダ55の凹部55Aに嵌入し、プローブカード56をインサートリング54に装着できる向きに位置決めするようにしてある。また、 第1、第2昇降機構16A、16Bの位置決めピン16A4、16B4は、図3の(b)に示すように初期位置では載置台52の載置面の高さと同一かそれ以下の高さに設定されている。
ところで、第1のカード搬送機構11は、使用しない時には第1、第2、第3、第4基板が垂直に積み重なり、カード保持具13が最上段の第1基板14A上に積み重なってヘッド旋回駆動機構57の駆動軸57Aの真下に収納され、プローバ室51の側面(側壁)に対向する。第1のカード搬送機構11が対向するプローバ室51の側壁51Aの上部には図4の(a)、(b)に示すように開口部51Bが形成されている。また、この側壁51Aには開口部51Bを開閉する開閉扉51Cが設けられている。この開閉扉51Cは、その内面の左右両側に設けられた一対のエアシリンダ等からなる開閉駆動機構51Dによって上下して開口部51Bを開閉するようにしてある。また、側壁51Aの内面には開閉扉51Cの下部に設けられた被検出部51Eを検出することによって開閉扉51Cの開閉を確認する開閉センサ51Fが設けられている。この開閉扉51Cは、第1のカード搬送機構11を使用しない時には開口部51Bを閉鎖してプローバ室51を外部から遮断する。
次に、図1〜図5を参照しながら本実施形態のプローブカードの搬送機構10を用いる本発明のプローブカードの搬送方法の一実施形態について説明する。プローブカード56をインサートリング54に装着する場合には、まず、制御装置の制御下で第1のカード搬送機構11の第3、第4直進駆動機構15C、15Dが同期して駆動し、第3基板14Cが第4基板14D上でプローバ室51の側壁51Aから離れる方向へ直進すると共に第2基板14Bが第3基板14C上で第3基板14Cと同一方向へ直進し、第4基板14D上のセンサ15D3が第3基板14Cの先端を検出すると、第3、第4直進駆動機構15C、15Dが停止し、第1のカード搬送機構11が図1の(a)、図2の(b)に示す状態になる。この時、第1、第2直進駆動機構15A、15Bは駆動しないため、カード保持具13及び第1基板14Aが第2基板14B上に積み重なって収納された状態にある。この状態で図1の(a)に示すように位置決めピン13Cを基準にしてカード保持具13上にプローブカード56を載置する。このようにカード保持具13がプローバ室51の外側へ延びても、この場所がテストヘッドの旋回空間であるため、プローブ装置50の正面側の通路を阻害する虞がない。
プローブカード56をカード保持具13上に載置し、第3、第4直進駆動機構15C、15Dが逆方向に駆動してカード保持具13と第1、第2、第3基板14A、14B、14Cが元の位置に戻ると、センサ15D3が第3基板14Cを検出し一時的に上下に重なる。引き続きプローバ室51の側壁51Aの開閉扉51Cが開閉駆動機構51Dを介して開くと共に第1、第2直進駆動機構15A、15Bが駆動してカード保持具13及び第1基板14Aが開口部51Bを通ってプローバ室51内へ一定の距離だけ進出し、カード保持具13上のプローブカード56が第2のカード搬送機構12の載置台52の真上に達した時点で第1、第2直進駆動機構15A、15Bが停止する。
図5の(a)に示すようにプローブカード56が載置台52の真上に達すると、同図の(b)に示すように第1、第2、第3昇降機構16A、16B、16Cが駆動し、それぞれの支持体16A1、16B1、16C1の支持面16A2、16B2 、16C 2 が載置台52の載置面を越えて上昇する。各支持体16A1、16B1、16C1が上昇端に達してもそれぞれの位置決めピン16A4、16B4はカードホルダ55に達しない。その後は、載置台52の昇降駆動機構が駆動し、載置台52が各昇降機構16A、16B、16Cと同時に上昇し、同図の(c)に示すように第1、第2昇降機構16A、16Bの位置決めピン16A4、16B4がそれぞれカードホルダ55の凹部55Aに嵌入すると共に各支持体16A1、16B1、16C1の支持面16A2、16B2 、16C 2 がカードホルダ55の下面と接触してプローブカード56を安定した状態で支持する。更に、載置台52が各昇降機構16A、16B、16Cと一体的に上昇すると、同図の(d)に示すように各昇降機構16A、16B、16Cで支持されたプローブカード56がカード保持具13から浮上し、カード保持具13から第2のカード搬送機構12へのプローブカード56の引渡しを終了する。この時、第1のカード搬送機構11が駆動しカード保持具13及び第1基板14Aが後退し、初期位置へ戻ると同時に開閉扉51Cが開口部51Bを閉じてプローバ室51内を外部から遮断する。
その後も載置台52が各昇降機構16A、16B、16Cと一体的に同時に上昇すると、プローブカード56がインサートリング54内に進入する。この状態でインサートリング54ではクランプ機構が作動してプローブカード56をインサートリング54に固定してプローブカード56の装着を終了すると共に載置台52及び各昇降機構16A、16B、16Cが下降し、それぞれ初期位置に戻る。この際、インサートリング54にプローブカード56が装着されずに第2のカード搬送機構12に残っていると、カードセンサ13Dによってそのことを確認することができる。
また、本実施形態によれば、第1のカード搬送機構11は、積層された第1、第2、第3、第4基板14A、14B、14C、14Dと、各基板を直進させる第1、第2、第3、第4直進駆動機構15A、15B、15C、15Dと、を有し、カード保持具13が第1基板14A上に設けられ、各直進駆動機構を介して直進するため、プローブカードの搬送機構10を小型化することができると共にプローブカード56の搬送作業を自動化することができる。
また、本実施形態によれば、第1のカード搬送機構11及び第1、第2昇降機構16A、16Bは、それぞれプローブカード56を検出するセンサ13D、16A5、16B5を有するため、第1、第2のカード搬送機構11、12においてプローブカード56を確実に検出することができ、プローブカード56の搬送漏れを確実に防止することができる。また、第1、第2昇降機構16A、16Bは、プローブカード56の位置決めピン16A4、16B4を有するため、インサートリング54に対するプローブカード56の位置決めを確実に行うことができ、プローブカード56の着脱ミスを確実に防止することができる。
Claims (1)
- プローブ装置に用いられるテストヘッドを上記プローブ装置のインサートリングまで旋回させる旋回駆動機構側に設けられた第1のカード搬送機構にプローブカードを設置する工程と、
上記第1のカード搬送機構のカード保持具が直進して上記プローブ装置内に設けられた第2のカード搬送機構まで上記プローブカードを搬送する工程と、
上記第2のカード搬送機構の複数の昇降機機構の支持体が上昇して上記プローブカードを支持する工程と、
上記複数の昇降機構の内側に設けられた載置台が上記複数の昇降機構と同時に上昇して上記プローブカードを上記カード保持具から受け取る共に上記カード保持具が上記載置台から後退する工程と、
上記載置台及び上記複数の昇降機構が同時に昇降して上記プローブカードを上記インサートリングまで搬送する工程と、を備えた
ことを特徴とするプローブカードの搬送方法。
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