JP6861580B2 - 検査装置および検査システム - Google Patents
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Description
まず、検査システムの一例の全体構成の一例について説明する。
図1は、検査システムの一例の全体構成を概略的に示す水平断面図であり、図2は図1のII-II′線による縦断面図である。
次に、検査部30および搬送ステージ18の一実施形態について説明する。
図3は、検査部30および搬送ステージ18の構成を、検査部30を中心に説明する断面図であり、図4は、搬送ステージ18を詳細に説明する断面図であり、図5は、搬送ステージのチャックトップ29とアライナー32とが接続された状態を示す図であり、図6は、その際のVI-VI′線による断面図である。なお、図3、4において、左右方向がX方向、奥行き方向がY方向、上下方向がZ方向、Z方向の軸回りの回転方向がθ方向である。
検査システム10においては、プローブカード19を交換する際に、搬送ステージ18を用いてローダポート17cに従前のプローブカード19を戻し、新しいプローブカード19を装着するが、この際に、プローブカード19のコンタクトプローブ25を保護するために、図9に示すように、装着治具80を用いる。装着治具80は、プローブカード19よりも大きな径を有するプレート81と、プレート81の下面の周縁部に取り付けられた円筒状の脚部82と、プレート81の上面の周縁部に取り付けられた円筒状のプローブカード支持部83とを有する。
次に、本実施形態に係る検査システムの動作について説明する。
ウエハ搬入出ポート17aのFOUPから、搬送ステージ18によりウエハWを受け取り、チャックトップ29上にウエハWが載せられた搬送ステージ18を、所定の検査部30(テスタ15)の下方位置に移動させる。
なお、本発明は上記実施の形態に限定されることなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形可能である。
15;テスター
16;テスター側カメラ
18;搬送ステージ
19;プローブカード
29;チャックトップ
30;検査装置
32;アライナー
42;チャックベース
55;位置決めピン
55a;エアライン(エア供給機構)
57;ピン挿通部材
57a;ピン挿通孔
58;本体
59;拡径部
S;空間
W;ウエハ
Claims (11)
- 被検査体に接触される複数のコンタクトプローブを有し、被検査体の電気的検査を行うためのテスターに接続されるプローブカードと、
前記被検査体を前記プローブカードへ向けて搬送する搬送ステージと
を備え、
前記搬送ステージは、
前記被検査体が載置されるチャックトップと、
前記チャックトップに接離可能に設けられ、前記チャックトップを移動させるアライナーと、
前記チャックトップと前記アライナーとの位置合わせを行う位置合わせ機構と
を有し、
前記位置合わせ機構は、前記チャックトップの下面および前記アライナーの上面の一方の複数箇所に設けられた拡径可能な位置決めピンと、前記チャックトップの下面および前記アライナーの上面の他方の、前記位置決めピンと対応する位置に設けられ、拡径していない前記位置決めピンの径よりも大きなピン挿通孔を有するピン挿通部材とを有し、
前記アライナーを前記チャックトップに向けて移動させて、前記位置決めピンを前記ピン挿通孔に挿通させ、前記位置決めピンを拡径させることにより前記チャックトップと前記アライナーとが位置合わせされることを特徴とする検査装置。 - 拡径していない状態の前記位置決めピンを前記ピン挿通孔に挿通させた際に、前記チャックトップの下面と前記アライナーの上面とが当接して垂直方向の位置合わせがなされ、前記位置決めピンが拡径することで水平方向の位置合わせがなされることを特徴とする請求項1に記載の検査装置。
- 前記位置決めピンは、中空状の本体と、本体内に収容された拡径部と、前記拡径部を本体の外側に突出させて拡径する駆動部とを有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の検査装置。
- 前記位置決めピンおよび前記ピン挿通部材は2つ有し、前記位置決めピンの一方の拡径部は径方向に突出し、前記位置決めピンの他方の拡径部は円周方向に突出することを特徴とする請求項3に記載の検査装置。
- 前記位置決めピンおよび前記ピン挿通部材は、同一円周上に3つ有することを特徴とする請求項3に記載の検査装置。
- 前記3つの位置決めピンにおいて、前記拡径部はいずれも同一の円周方向に突出することを特徴とする請求項5に記載の検査装置。
- 前記3つの位置決めピンにおいて、前記拡径部はいずれも径方向内側に突出することを特徴とする請求項5に記載の検査装置。
- 前記3つの位置決めピンにおいて、前記拡径部はいずれも径方向外側に突出することを特徴とする請求項5に記載の検査装置。
- 前記ピン挿通部材は円筒状をなし、その内壁は垂直な円周面であることを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の検査装置。
- 前記ピン挿通部材は、円筒状をなし、その内壁は垂直な円周面である垂直部と、前記垂直部における前記位置決めピンの挿通口側に設けられ、前記位置決めピンの挿通口が前記垂直部の径よりも大きく形成され、その内壁が前記垂直部に至る傾斜面となっていることを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の検査装置。
- 被検査体に接触される複数のコンタクトプローブを有し、被検査体の電気的検査を行うためのテスターに接続されるプローブカードを有する複数の検査部と、
前記複数の検査部に被検査体を搬送し、前記被検査体を前記プローブカードの前記コンタクトプローブに接触させる搬送ステージと
を備え、
前記搬送ステージは、
前記被検査体が載置されるチャックトップと、
前記チャックトップに接離可能に設けられ、前記チャックトップを移動させるアライナーと、
前記チャックトップと前記アライナーとの位置合わせを行う位置合わせ機構と
を有し、
前記被検査体を前記検査部に搬送する際には、前記チャックトップと前記アライナーとは接続され、
前記検査部の一つにおいて、前記アライナーにより前記チャックトップ上の前記被検査体が前記プローブカードの前記コンタクトプローブに接触され、前記チャックトップはその状態に保持され、
前記アライナーは、前記チャックトップから分離され、他の前記検査部のチャックトップと接続されて、検査後の被検査体を搬送し、
前記位置合わせ機構は、前記チャックトップの下面および前記アライナーの上面の一方の複数箇所に設けられた拡径可能な位置決めピンと、前記チャックトップの下面および前記アライナーの上面の他方の、前記位置決めピンと対応する位置に設けられ、拡径していない前記位置決めピンの径よりも大きなピン挿通孔を有するピン挿通部材とを有し、
前記アライナーを前記チャックトップに向けて移動させて、前記位置決めピンを前記ピン挿通孔に挿通させ、前記位置決めピンを拡径させることにより前記チャックトップと前記アライナーとが位置合わせされることを特徴とする検査システム。
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