JP6895772B2 - 検査装置およびコンタクト方法 - Google Patents
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Description
上記第2の観点において、前記押圧力付与手段としては、前記ベローズの周囲に設けられ、内部が封止空間となる複数の補助ベローズを有し、前記封止空間にガスが供給されることにより前記封止空間が加圧され、その加圧力により前記基板保持部材を押し下げる押圧力を及ぼすものを用いることができる。
上記第4の観点において、前記押圧力付与手段は、前記ベローズの周囲に設けられ、内部が封止空間となる複数の補助ベローズを有し、前記封止空間にガスが供給されることにより前記封止空間が加圧され、その加圧力により前記基板保持部材を押し下げる押圧力を及ぼすようにしてもよい。
まず、本発明の第1の実施形態に係る検査装置を含む検査システムの全体構成の一例について説明する。
図1は、検査システムの一例の構成を概略的に示す水平断面図であり、図2は、図1の検査システムの縦断面図である。
次に、検査装置の第1の実施形態である検査装置30について詳細に説明する。
図3は検査装置30を示す断面図、図4は図3のIV−IV線による断面図である。
図3に示すように、検査装置30は、テスタ50を一体的に組み込んでおり、テスタ50はその下端部にマザーボード22を有している。なお、テスタ50は、マザーボード22に垂直姿勢で嵌め込まれる複数の検査回路ボード(図示せず)を有している。
次に、以上のように構成された検査装置30の動作の一例について、図5のフローチャートに基づいて説明する。
次に、検査装置の第2の実施形態について説明する。
図11は第2の実施形態に係る検査装置を示す断面図、図12は図11のXII−XII線による断面図である。
なお、本発明は上記実施形態に限定されることなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形可能である。
18;プローブカード
18a;コンタクトプローブ
20;チャックトップ
21;アライナー
21a;昇降部
22;マザーボード
23;ポゴフレーム
24;ポゴブロック
32;ベローズ
36;メカニカルストッパ
30,30′;検査装置
31,35;バキューム機構
42;制御部
45;補助ベローズ
47;加圧ユニット
P;封止空間
S;密閉空間
W;半導体ウエハ
Claims (13)
- 減圧状態で基板に複数のコンタクトプローブを接触させて前記基板上のデバイスの電気特性を検査する検査装置であって、
前記基板を保持する基板保持部材と、
前記基板保持部材に保持された前記基板に対向して設けられ、前記基板の対向面に複数のコンタクトプローブを有するプローブカードと、
前記プローブカードの前記基板側と反対の面を支持する支持部材と、
前記プローブカードおよび前記コンタクトプローブを囲繞し、前記基板が前記コンタクトプローブに近接または接触した際に、前記支持部材および前記基板保持部材とともに密閉空間を形成するベローズと、
前記密閉空間を減圧して減圧空間を形成するための排気経路と、
前記支持部材と前記基板保持部材との間に設けられ、前記基板と前記複数のコンタクトプローブとの間に所定のコンタクトが形成された際に、前記基板保持部材の上下方向の傾きを規制する傾き規制機構と
を具備し、
前記傾き規制機構は、前記ベローズの外側に設けられたメカニカルストッパを有することを特徴とする検査装置。 - 前記密閉空間を減圧した後、前記メカニカルストッパにより前記基板保持部材の上下方向の傾きを規制することを特徴とする請求項1に記載の検査装置。
- 前記メカニカルストッパは、基端部が上下動自在に保持され、先端部が前記基板保持部材側に位置して前記基板保持部材の上下動に追随して上下動するロッドと、前記基板と前記複数のコンタクトプローブとの間に所定のコンタクトが形成された際に、前記ロッドの上方への移動をロックするロック機構とを有し、前記メカニカルストッパは、前記ベローズの周囲に3つ以上設けられていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の検査装置。
- 前記基板保持部材に前記基板が保持された後、前記基板保持部材が上昇されることにより、前記密閉空間が形成されることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の検査装置。
- 減圧状態で基板に複数のコンタクトプローブを接触させて前記基板上のデバイスの電気特性を検査する検査装置であって、
前記基板を保持する基板保持部材と、
前記基板保持部材に保持された前記基板に対向して設けられ、前記基板の対向面に複数のコンタクトプローブを有するプローブカードと、
前記プローブカードの前記基板側と反対の面を支持する支持部材と、
前記プローブカードおよび前記コンタクトプローブを囲繞し、前記基板が前記コンタクトプローブに近接または接触した際に、前記支持部材および前記基板保持部材とともに密閉空間を形成するベローズと、
前記密閉空間を減圧して減圧空間を形成するための排気経路と、
前記支持部材と前記基板保持部材との間に設けられ、前記基板と前記複数のコンタクトプローブとの間に所定のコンタクトが形成された際に、前記基板保持部材の上下方向の傾きを規制する傾き規制機構と、
前記ベローズの周囲に、前記基板保持部材を押し下げる押圧力を及ぼす押圧力付与手段と
を具備することを特徴とする検査装置。 - 前記押圧力付与手段は、前記ベローズの周囲に設けられ、内部が封止空間となる複数の補助ベローズを有し、前記封止空間にガスが供給されることにより前記封止空間が加圧され、その加圧力により前記基板保持部材を押し下げる押圧力を及ぼすことを特徴とする請求項5に記載の検査装置。
- 基板を保持する基板保持部材と、前記基板保持部材に保持された前記基板に対向して設けられ、前記基板の対向面に複数のコンタクトプローブを有するプローブカードとを有する検査装置を用いて、減圧状態で前記基板に複数のコンタクトプローブを接触させるコンタクト方法であって、
前記基板保持部材に前記プローブカードの下方位置で、前記基板保持部材が前記基板を受け取り、アライナーにより前記基板が前記プローブカードに正対するように前記基板保持部材の位置調節する工程と、
アライナーにより前記基板保持部材を前記基板が前記コンタクトプローブと近接または接触する位置まで上昇させて、ベローズにより前記プローブカードと前記コンタクトプローブと前記基板とを含む領域に密閉空間を形成する工程と、
前記密閉空間が形成された状態で、アライナーにより前記基板保持部材を、前記基板と前記コンタクトプローブとが所定のコンタクトを形成する位置まで上昇させる工程と、
前記密閉空間を減圧する工程と、
前記ベローズの外側に設けられたメカニカルストッパを有する傾き規制機構により前記基板保持部材の傾きを規制する工程と、
アライナーを前記基板保持部材から退避させる工程と
を有することを特徴とするコンタクト方法。 - 前記傾きを規制する工程は、前記密閉空間を減圧する工程の後に、前記メカニカルストッパにより前記基板保持部材の上下方向の傾きを規制することを特徴とする請求項7に記載のコンタクト方法。
- 前記メカニカルストッパは、基端部が上下動自在に保持され、先端部が前記基板保持部材側に位置して前記基板保持部材の上下動に追随して上下動するロッドと、前記基板に形成された複数のデバイスの電極と前記複数のコンタクトプローブとの間に所定のコンタクトが形成された際に、前記ロッドの上方への移動をロックするロック機構とを有し、前記メカニカルストッパは、前記ベローズの周囲に3つ以上設けられており、前記ロッドは、前記傾きを規制する工程の前にはアンロック状態で前記基板保持部材に追随して上昇し、前記傾きを規制する工程の際には、前記ロック機構により上方への移動がロックされることを特徴とする請求項7または請求項8に記載のコンタクト方法。
- 前記傾きを規制する工程の後、前記密閉空間の圧力が前記基板保持部材を保持できる値になるよう減圧を調整する工程をさらに有することを特徴とする請求項7から請求項9のいずれか1項に記載のコンタクト方法。
- 前記基板と前記コンタクトプローブとが所定のコンタクトを形成する位置は、前記基板と前記コンタクトプローブが接触した後、前記コンタクトプローブに所定量のオーバードライブが生じる位置であることを特徴とする請求項7から請求項10のいずれか1項に記載のコンタクト方法。
- 基板を保持する基板保持部材と、前記基板保持部材に保持された前記基板に対向して設けられ、前記基板の対向面に複数のコンタクトプローブを有するプローブカードとを有する検査装置を用いて、減圧状態で前記基板に複数のコンタクトプローブを接触させるコンタクト方法であって、
前記基板保持部材に前記プローブカードの下方位置で、前記基板保持部材が前記基板を受け取り、アライナーにより前記基板が前記プローブカードに正対するように前記基板保持部材の位置調節する工程と、
アライナーにより前記基板保持部材を前記基板が前記コンタクトプローブと近接または接触する位置まで上昇させて、ベローズにより前記プローブカードと前記コンタクトプローブと前記基板とを含む領域に密閉空間を形成する工程と、
前記密閉空間が形成された状態で、アライナーにより前記基板保持部材を、前記基板と前記コンタクトプローブとが所定のコンタクトを形成する位置まで上昇させる工程と、
前記密閉空間を減圧する工程と、
傾き規制機構により前記基板保持部材の傾きを規制する工程と、
アライナーを前記基板保持部材から退避させる工程とを有し、
前記基板と前記コンタクトプローブにコンタクトが形成された後、前記基板保持部材を下降させる際に、押圧力付与手段により前記基板保持部材を押し下げる押圧力を及ぼすことを特徴とするコンタクト方法。 - 前記押圧力付与手段は、前記ベローズの周囲に設けられ、内部が封止空間となる複数の補助ベローズを有し、前記封止空間にガスが供給されることにより前記封止空間が加圧され、その加圧力により前記基板保持部材を押し下げる押圧力を及ぼすことを特徴とする請求項12に記載のコンタクト方法。
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