WO2007074509A1

WO2007074509A1 - Ｔｃｐハンドリング装置およびｔｃｐハンドリング装置における接続端子の位置合わせ方法

Info

Publication number: WO2007074509A1
Application number: PCT/JP2005/023869
Authority: WO
Inventors: Masataka Onozawa; Masayoshi Ichikawa
Original assignee: Advantest Corporation
Priority date: 2005-12-27
Filing date: 2005-12-27
Publication date: 2007-07-05
Also published as: TWI312870B; JPWO2007074509A1; JP4926075B2; TW200730844A; CN101346635A

Abstract

　第２カメラ６ｂにより、被試験ＴＣＰのテストパッドＰを撮影して当該テストパッドＰの座標データを取得するとともに、プローブカード８のプローブ８１を撮影して当該プローブ８１の座標データを取得し、テストパッドＰの座標データおよびプローブ８１の座標データから、テストパッドＰとプローブ８１との位置ずれ量を求め、当該位置ずれ量に基づいてプローブカードステージ７によりプローブカード８を移動させ、被試験ＴＣＰのテストパッドＰに対するプローブ８１の位置合わせを自動的に行う。これにより、ＴＣＰのテストパッドＰとプローブカード８のプローブ８１との位置合わせを、正確にかつ容易に行うことができる。

Description

明細書

TCPハンドリング装置および TCPハンドリング装置における接続端子の位置合わせ方法

技術分野

[0001] 本発明は、 ICデバイスの 1種である TCP (Tape Carrier Package)や COF (Chip On Film) (以下、 TCP、 COF、その他 TAB (Tape Automated Bonding)実装技術によつて製造されたデバイスを纏めて「TCP」 t\、う。）を試験するのに用いられる TCPハンドリング装置、および TCPハンドリング装置における接続端子の位置合わせ方法に関するものである。

背景技術

[0002] ICデバイス等の電子部品の製造過程においては、最終的に製造された ICデバイスやその中間段階にあるデバイス等の性能や機能を試験する電子部品試験装置が必要であり、 TCPの場合には、 TCP用の試験装置が使用される。

[0003] TCP用の試験装置は、一般的にテスタ本体と、テストヘッドと、 TCPハンドリング装置（以下「TCPハンドラ」という場合がある。）とから構成される。この TCPハンドラは、テープ (フィルムの概念も含むものとする。以下同じ。）上に TCPが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているプローブカードのプローブにキャリアテープを押圧し、 TCPのテストパッドをプローブにコンタクトさせることにより、複数の TCPを順次試験に付す機能を備えている。

[0004] ところで、 TCPハンドラを使用して効率良く正確に試験を行うためには、 TCPのテストパッドとプローブカードの各プローブとを確実にコンタクトさせることが必要である。

[0005] このようなことから、 TCPハンドラを使用する場合には、実稼動させて試験を行う前に、 TCPのテストパッドとプローブカードの各プローブとを確実にコンタクトできるように、予め TCPハンドラについて初期設定を行い、その設定を登録する作業を行っている。

[0006] TCPハンドラの初期設定は、例えば、次のように行われる。まず、 TCPを試験位置まで搬送し、搬送した TCPをプッシャユニットで保持する。そして、 TCPがカメラによつて明瞭に認識できる高さまでプッシャユニットを移動し、 TCPのテストパッドをカメラで撮影し、その画像をモニターに表示する。オペレータは、モニターを見て、 TCPの回転角を目視で把握する。次に、プローブカードのプローブをカメラによって明瞭に認識するために、 TCPがカメラによって明瞭に認識できな、高さまでプッシャユニットを移動してから、プローブカードのプローブをカメラで撮影し、その画像をモニターに表示する。オペレータは、モニターを見ながら、マニュアル操作にてプローブカードステージを回転させて、 TCPの回転角に対するプローブカードの回転角を調整する。そして、 TCPがプローブとともにカメラによって明瞭に認識できる高さまでプッシャュニットを移動する。オペレータは、モニターを見ながら、マ-ユアル操作にてプローブカードステージを X軸方向および Zまたは Y軸方向に移動して、 TCPの全てのテストパッドがプローブカードのプローブと接触できるか確認する。このようにして設定した位置を初期設定として登録する。

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0007] し力しながら、上記の初期設定方法では、 TCPの回転角の把握およびプローブ力ードの回転角の調整は、オペレータの感覚によるものであるため、オペレータによつては多大な作業時間を要することがある。また、プローブカードの回転角を調整するときに TCPのテストパッドがモニターに表示されないため、 TCPの回転角に対するプローブカードの回転角の調整は非常に難しいものとなっている。そして、 TCPの全てのテストパッドがプローブカードのプローブと接触できな!ヽ場合には、プッシャユニットの移動とプローブカードステージの回転を交互に繰り返し行う必要があり、その作業は非常に煩雑である。

[0008] 特に、近年の TCPの多ピン化および小型化に伴い、 TCPのテストパッドが小さくかつ狭ピッチになっているため、初期設定におけるパッドとプローブとの位置合わせ作業はより困難なものになっており、初期設定にかかる作業時間も長くなつている。また

、 TCPとプローブとの位置合わせを必ずしも正確に行うことができないことがあり、このようなことが原因で実稼動中にコンタ外不良、接触抵抗の不安定化、隣接ピン間のショートなどが発生することもある。 [0009] 本発明は、このような実状に鑑みてなされたものであり、コンタクト部の接触端子と T CPの外部端子との位置合わせを正確にかつ容易に行うことができる TCPハンドリング装置、および TCPハンドリング装置にぉ、て位置合わせ処理を正確にかつ容易に行うことができる方法を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

[0010] 上記目的を達成するために、第 1に本発明は、 TCPが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部の複数の接続端子にキャリアテープを押圧し、 TCPの外部端子を前記接続端子に接続させることにより、複数の TCPを順次試験に付すことのできる TCPハンドリング装置であって、前記複数の接続端子を備えているコンタクト部を、その平面方向および垂直軸回りに移動させることのできる移動装置と、被試験 TCPの外部端子および前記接続端子を撮影することのできる撮像装置とを備えており、前記撮像装置により、被試験 TCPの外部端子を撮影して当該外部端子の座標データを取得するとともに、前記接続端子を撮影して当該接続端子の座標データを取得し、前記外部端子の座標データおよび前記接続端子の座標データから、前記外部端子と前記接続端子との位置ずれ量を求め、前記位置ずれ量に基づいて、前記移動装置により前記コンタクト部を移動させ、被試験 TCPの外部端子に対する前記接続端子の位置合わせを行うことを特徴とする TC Pハンドリング装置を提供する (発明 1)。

[0011] 上記発明（発明 1)によれば、位置合わせの対象である TCPの外部端子およびコンタクト部の接触端子の座標データ力これらの位置ずれ量を求め、その位置ずれ量に基づいてコンタクト部を自動的に移動させることができるため、 TCPの外部端子とコンタクト部の接触端子との位置合わせを、正確にかつ容易に行うことができる。したがって、 TCPハンドリング装置を使用する際、その初期設定を短時間で効率良く行うことができる。

[0012] 上記発明（発明 1)においては、第 1に、前記外部端子の座標データおよび前記接続端子の座標データを取得して、前記外部端子と前記接続端子との垂直軸回りの位置ずれ量を求め、当該垂直軸回りの位置ずれ量に基づいて、前記移動装置により前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させ、第 2に、再度前記接続端子の座標データを取得して、前記外部端子と前記接続端子との平面方向の位置ずれ量を求め、当該平面方向の位置ずれ量に基づいて、前記移動装置により前記コンタクト部を平面方向に移動させることが好ましい (発明 2)。力かる発明（発明 2)によれば、垂直軸回りの位置合わせと平面方向の位置合わせとを、別々に順次行うことで、 TCPとコンタクト部との位置合わせをより正確に行うことができる。

[0013] 上記発明（発明 1)においては、前記外部端子と前記接続端子との垂直軸回りの位置ずれ量は、前記外部端子の 2箇所以上の座標データから得られる第 1の直線の角度と、前記接続端子の 2箇所以上の座標データから得られる第 2の直線の角度との差から求めることができる（発明 3)。

[0014] 上記発明（発明 3)においては、前記 TCPハンドリング装置は、表示装置をさらに備えており、前記第 1の直線および Zまたは前記第 2の直線を前記表示装置に表示し得ることが好ましい (発明 4)。かかる発明（発明 4)によれば、第 1の直線および Zまたは第 2の直線を表示装置に表示することで、垂直軸回りの位置ずれを視覚的に確認することができる。

[0015] 上記発明（発明 4)においては、前記第 1の直線を、前記撮像装置で撮影した前記外部端子の画像に重ねて前記表示装置にオーバーレイ表示し得ることが好ましく（発明 5)、また、上記発明（発明 4)においては、前記第 2の直線を、前記撮像装置で撮影した前記接続端子の画像に重ねて前記表示装置にオーバーレイ表示し得ることが好ましい (発明 6)。

[0016] 上記発明（発明 4)においては、前記第 1の直線の角度と前記第 2の直線の角度との差の値を前記表示装置に表示し得ることが好ましい (発明 7)。かかる発明（発明 7) によれば、第 1の直線の角度と第 2の直線の角度との差の値を表示装置に表示することで、垂直軸回りの位置ずれの量を数値として視覚で確認することができる。

[0017] 上記発明（発明 4)においては、前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させて、前記第 1の直線の角度と前記第 2の直線の角度との差が所定値よりも小さくなつたときに、前記表示装置に表示する前記第 1の直線および Zまたは前記第 2の直線の色を変更することが好ましい (発明 8)。かかる発明（発明 8)によれば、垂直軸回りの位置ずれが補正されたことを表示装置により視覚的に確認することができる。 [0018] 上記発明（発明 4)にお、ては、前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させて、前記第 1の直線の角度と前記第 2の直線の角度との差が所定値よりも小さくなつたときに、通知音を発することが好ましい (発明 9)。かかる発明（発明 9)によれば、オペレータが表示装置を見ていない場合であっても、垂直軸回りの位置合わせが完了したことを聴覚で確認することができる。

[0019] 上記発明（発明 3)においては、前記 TCPハンドリング装置は、前記撮像装置を移動させることのできる撮像装置移動装置をさらに備えており、前記撮像装置は、前記撮像装置移動装置による移動により、前記外部端子の 2箇所以上および前記接続端子の 2箇所以上を撮影することが好ましい (発明 10)。かかる発明（発明 10)によれば、撮像装置が外部端子の互いに遠、位置にある複数部位および接続端子の互いに遠い位置にある複数部位を撮影することができるため、 TCPとコンタクト部との位置ずれ量をより良好な精度で求めることができ、 TCPとコンタクト部との位置合わせをより正確に行うことができる。

[0020] 上記発明（発明 1)にお、ては、前記 TCPハンドリング装置は、移動可能な拡散反射板をさらに備えており、前記コンタクト部の接続端子を撮影するときに、前記接続端子と前記キャリアテープとの間に前記拡散反射板を挿入することが好ま、(発明 11 )。力かる発明（発明 11)によれば、拡散反射板を背景にすることで高コントラストな接続端子の画像を得ることができるため、接続端子の座標データを良好な精度で取得することができ、 TCPとコンタクト部との位置合わせをより正確に行うことができる。

[0021] 第 2に本発明は、 TCPが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部の複数の接続端子にキャリアテープを押圧し、 TCPの外部端子を前記接続端子に接続させることにより、複数の TCPを順次試験に付すことのできる TCPハンドリング装置であって、被試験 TCPの外部端子および前記接続端子を撮影することのできる撮像装置と、表示装置とを備えており、前記複数の接続端子を備えているコンタクト部は、その平面方向および垂直軸回りに移動可能となっており、前記撮像装置により被試験 TCPの外部端子の 2箇所以上を撮影して取得した前記外部端子の座標データから得られる第 1の直線および Zまたは前記撮像装置により前記接続端子の 2箇所以上を撮影して取得した前記接続端子の座標データカゝら得られる第 2の直線を、前記表示装置に表示し得ることを特徴とする TC Pハンドリング装置を提供する (発明 12)。

[0022] 上記発明（発明 12)によれば、オペレータは、表示装置に表示された第 1の直線および Zまたは第 2の直線を見ながらコンタクト部を垂直軸回りに移動することができるため、 TCPとコンタクト部との垂直軸回りの位置合わせを正確かつ容易に行うことができる。

[0023] 上記発明（発明 12)においては、前記第 1の直線を、前記撮像装置で撮影した前記外部端子の画像に重ねて前記表示装置にオーバーレイ表示し得ることが好ましく (発明 13)、また、上記発明（発明 12)においては、前記第 2の直線を、前記撮像装置で撮影した前記接続端子の画像に重ねて前記表示装置にオーバーレイ表示し得ることが好ましい (発明 14)。

[0024] 上記発明（発明 12)においては、前記第 1の直線および Zまたは前記第 2の直線の、傾き角度および Zまたは所定のポイントの座標数値をさらに前記表示装置に表示し得るようにしてもよい (発明 15)。力かる発明（発明 15)によれば、オペレータは、表示装置に表示された傾き角度および Zまたは座標数値をも基準にして、 TCPとコンタクト部との位置合わせを行うことができるため、 TCPとコンタクト部との位置合わせをより正確にかつ容易に行うことができる。

[0025] 上記発明（発明 12)においては、前記第 1の直線の角度と前記第 2の直線の角度との差の値を前記表示装置に表示し得ることが好ましい (発明 16)。かかる発明（発明 1 6)によれば、両直線の角度の差の値を表示することで、オペレータは、その値を 0 (d eg)に近づけるようにして TCPとコンタクト部との位置合わせを行うことができ、当該位置合わせをより正確にかつ容易に行うことができる。

[0026] 上記発明（発明 12)においては、前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させて、前記第 1の直線の角度と前記第 2の直線の角度との差が所定値よりも小さくなつたときに、前記表示装置に表示する前記第 1の直線および Zまたは前記第 2の直線の色を変更することが好ましい (発明 17)。力かる発明（発明 17)によれば、第 1の直線および Zまたは第 2の直線の色を変更することで、オペレータは垂直軸回りの位置ずれの補正が終了したことを視認することができるため、 TCPとコンタクト部との位置合わせをより容易に行うことができる。

[0027] 上記発明（発明 12)においては、前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させて、前記第 1の直線の角度と前記第 2の直線の角度との差が所定値よりも小さくなつたときに、通知音を発することが好ましい (発明 18)。力かる発明（発明 18)によれば、通知音を発することで、オペレータは垂直軸回りの位置ずれの補正が終了したことを聴覚で確認することができるため、 TCPとコンタクト部との位置合わせをより容易に行うことができる。

[0028] 上記発明（発明 12)においては、前記 TCPハンドリング装置は、前記撮像装置を移動させることのできる撮像装置移動装置をさらに備えており、前記撮像装置は、前記撮像装置移動装置による移動により、前記外部端子の 2箇所以上および前記接続端子の 2箇所以上を撮影することが好ましい (発明 19)。かかる発明（発明 19)によれば、撮像装置が外部端子の互いに遠、位置にある複数部位および接続端子の互いに遠い位置にある複数部位を撮影することができるため、第 1の直線および第 2の直線の角度をより正確に求めることができ、 TCPとコンタクト部との位置合わせをより正確に行うことができる。

[0029] 上記発明（発明 12)においては、前記 TCPハンドリング装置は、移動可能な拡散反射板をさらに備えており、前記コンタクト部の接続端子を撮影するときに、前記接続端子と前記キャリアテープとの間に前記拡散反射板を挿入することが好ましい (発明 20 )。かかる発明（発明 20)によれば、拡散反射板を背景にすることで高コントラストな接続端子の画像を得ることができるため、第 2の直線の角度をより正確に求めることができ、 TCPとコンタクト部との位置合わせをより正確に行うことができる。

[0030] 第 3に本発明は、 TCPが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部の複数の接続端子にキャリアテープを押圧し、 TCPの外部端子を前記接続端子に接続させることにより、複数の TCPを順次試験に付すことのできる TCPハンドリング装置における接続端子の位置合わせ方法であつて、第 1に、前記外部端子の座標データおよび前記接続端子の座標データを取得して、前記外部端子と前記接続端子との垂直軸回りの位置ずれ量を求め、当該垂直軸回りの位置ずれ量に基づいて、前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させ、第 2に、再度前記接続端子の座標データを取得して、前記外部端子と前記接続端子との平面方向の位置ずれ量を求め、当該平面方向の位置ずれ量に基づいて、前記コンタタト部を平面方向に移動させることを特徴とする接続端子の位置合わせ方法を提供する (発明 21)。

[0031] また、本発明は、 TCPが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部の複数の接続端子にキャリアテープを押圧し、 TCPの外部端子を前記接続端子に接続させることにより、複数の TCPを順次試験に付すことのできる TCPハンドリング装置における接続端子の位置合わせ方法であつて、前記外部端子の座標データおよび前記接続端子の座標データを取得して、前記外部端子と前記接続端子との垂直軸回りの位置ずれ量および平面方向の位置ずれ量を求め、それらの位置ずれ量に基づいて、前記コンタクト部を垂直軸回りにおよび Zまたは平面方向に移動させることを特徴とする接続端子の位置合わせ方法を提供する (発明 22)。

[0032] 上記発明（発明 21, 22)においては、前記外部端子と前記接続端子との垂直軸回りの位置ずれ量は、前記外部端子の 2箇所以上の座標データから得られる第 1の直線の角度と、前記接続端子の 2箇所以上の座標データから得られる第 2の直線の角度との差から求めることが好ま、 (発明 23)。

[0033] 上記発明（発明 23)においては、前記第 1の直線の角度と前記第 2の直線の角度との差の値を表示装置に表示することが好ましい (発明 24)。

[0034] 上記発明（発明 23)においては、前記第 1の直線および前記第 2の直線を表示装置に表示し、前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させて、前記第 1の直線の角度と前記第 2の直線の角度との差が所定値よりも小さくなつたときに、前記表示装置に表示する前記第 1の直線および Zまたは前記第 2の直線の色を変更することが好ましい (発明 25)。

[0035] 上記発明（発明 23)においては、前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させて、前記第 1の直線の角度と前記第 2の直線の角度との差が所定値よりも小さくなつたときに、通知音を発することが好まし、 (発明 26)。

[0036] 上記発明（発明 21, 22)においては、前記コンタクト部の接続端子を撮影するときに、前記接続端子と前記キャリアテープとの間に拡散反射板を挿入することが好ましい (発明 27)。

[0037] 第 4に本発明は、 TCPが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部の複数の接続端子にキャリアテープを押圧し、 TCPの外部端子を前記接続端子に接続させることにより、複数の TCPを順次試験に付すことのできる TCPハンドリング装置における接続端子の位置合わせ方法であつて、撮像装置により被試験 TCPの外部端子の 2箇所以上を撮影し、取得した前記外部端子の座標データ力得られる第 1の直線を表示装置に表示し、撮像装置により前記接続端子の 2箇所以上を撮影し、取得した前記接続端子の座標データカゝら得られる第 2の直線を前記第 1の直線とともに表示装置に表示し、もってオペレータは、前記表示装置に表示されている前記第 1の直線および前記第 2の直線を見ながら前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させることができることを特徴とする接続端子の位置合わせ方法を提供する (発明 28)。

[0038] 上記発明（発明 28)においては、前記第 1の直線の角度と前記第 2の直線の角度との差の値を表示装置に表示することが好ましい (発明 29)。

[0039] 上記発明（発明 28)においては、前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させて、前記第 1の直線の角度と前記第 2の直線の角度との差が所定値よりも小さくなつたときに、前記表示装置に表示する前記第 1の直線および Zまたは前記第 2の直線の色を変更することが好ま U、 (発明 30)。

[0040] 上記発明（発明 28)においては、前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させて、前記第 1の直線の角度と前記第 2の直線の角度との差が所定値よりも小さくなつたときに、通知音を発することが好ましい (発明 31)。

[0041] 上記発明（発明 28)においては、前記コンタクト部の接続端子を撮影するときに、前記接続端子と前記キャリアテープとの間に拡散反射板を挿入することが好ましい (発明 32)。

発明の効果

[0042] 本発明の TCPハンドリング装置または接続端子の位置合わせ方法によれば、コンタクト部の接触端子と TCPの外部端子との位置合わせを正確にかつ容易に行うことができる。

図面の簡単な説明

[0043] [図 1]図 1は、本発明の一実施形態に係る TCPハンドラを用いた TCP試験装置を示す正面図である。

[図 2]図 2は、同実施形態に係る TCPハンドラにおけるプッシャユニットの側面図である。

[図 3]図 3は、同実施形態に係る TCPハンドラにおけるプッシャステージの平面図である。

[図 4]図 4は、同実施形態に係る TCPハンドラにおけるプローブカードステージの平面図である。

[図 5]図 5は、同実施形態に係る TCPハンドラにおけるプローブカードステージの正面図である。

[図 6A]図 6Aは、同実施形態に係る TCPハンドラの初期設定時の動作を示すフローチャート図（その 1)である。

[図 6B]図 6Bは、同実施形態に係る TCPハンドラの初期設定時の動作を示すフローチャート図（その 2)である。

[図 6C]図 6Cは、同実施形態に係る TCPハンドラの初期設定時の動作を示すフローチャート図（その 3)である。

[図 7]図 7 (a)〜 (g)は、同実施形態に係る TCPハンドラの初期設定時におけるモニタ一表示画面の概略図である。

符号の説明

[0044] 1 TCP用の試験装置

2 TCPハンドラ

3 プッシャユニット

4 プッシャステージ

5 キャリアテープ

6b 第 2カメラ (撮像装置）

7 プローブカードステージ 8 プローブカード

81 プローブ (接触端子）

9 表示装置

10 テストヘッド

11 拡散反射板

21 卷出リール

22 卷取リール

P TCPのテストパッド (外部端子)

発明を実施するための最良の形態

[0045] 以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。

図 1は、本発明の一実施形態に係る TCPハンドラを用いた TCP試験装置を示す正面図であり、図 2は、同実施形態に係る TCPハンドラにおけるプッシャユニットの側面図であり、図 3は、同実施形態に係る TCPハンドラにおけるプッシャステージの平面図であり、図 4は、同実施形態に係る TCPハンドラにおけるプローブカードステージの平面図であり、図 5は、同実施形態に係る TCPハンドラにおけるプローブカードステージの正面図である。

[0046] まず、本発明の実施形態に係る TCPハンドラを備えた TCP用の試験装置の全体構成について説明する。 TCP用の試験装置 1は、図示しないテスタ本体と、テスタ本体に電気的に接続されたテストヘッド 10と、テストヘッド 10の上側に設けられた TCP ハンドラ 2とから構成されて、る。

[0047] TCPハンドラ 2は、キャリアテープ 5上に複数形成された各 TCPを順次試験に付すものであり、本実施形態では、説明の簡略ィ匕のために TCPを 1個ごと試験に付すものとする。ただし、本発明はこれに限定されるものではなぐキャリアテープ 5上において直列方向および Zまたは並列方向に並んだ複数の TCPを同時に試験に付すようにしてもよい。

[0048] TCPハンドラ 2は、卷出リール 21と卷取リール 22とを備えており、卷出リール 21には試験前のキャリアテープ 5が巻き取られている。キャリアテープ 5は、卷出リール 21 力も巻き出され、試験に付された後に卷取リール 22に巻き取られる。 [0049] 卷出リール 21と卷取リール 22との間〖こは、キャリアテープ 5から剥離した保護テープ 51を卷出リール 21から卷取リール 22に架け渡す 3個のスぺーサロール 23a, 23b , 23cが設けられている。各スぺーサロール 23a, 23b, 23cは、保護テープ 51の張力を調整することができるように、それぞれ上下可動となって、る。

[0050] 卷出リール 21の下側には、テープガイド 24a、卷出リミットローラ 25a、イン側サブスプロケット 25bおよびイン側ガイドローラ 25cが設けられており、卷出リール 21から卷き出されたキャリアテープ 5は、テープガイド 24aによってガイドされつつ、卷出リミットローラ 25a、イン側サブスプロケット 25bおよびイン側ガイドローラ 25cを経てプッシャユニット 3に搬送される。

[0051] 卷取リール 22の下側には、テープガイド 24b、卷取リミットローラ 25f、アウト側サブスプロケット 25eおよびアウト側ガイドローラ 25dが設けられており、試験に付された後のキャリアテープ 5は、アウト側ガイドローラ 25d、アウト側サブスプロケット 25eおよび卷取リミットローラ 25fを経て、テープガイド 24bによってガイドされつつ、卷取リール 2 2に巻き取られる。

[0052] そして、イン側ガイドローラ 25cと、アウト側ガイドローラ 25dとの間には、プッシャュニット 3が設けられている。

[0053] 図 1および図 2に示すように、プッシャユニット 3のフレーム（プッシャフレーム） 36には、ボールねじ 32を回転させることのできるサーボモータ 31がブラケット 361を介して取り付けられているとともに、ボールねじ 32が螺合しているプッシャ本体部 33が 2 本の Z軸方向のリニアモーションガイド（以下「LMガイド」 t\、う。） 37を介して取り付けられている。このプッシャ本体部 33は、サーボモータ 31を駆動させることにより、リユアモーションガイド 37にガイドされながら上下方向（Z軸方向）に移動可能となっている。

[0054] このプッシャ本体部 33の下端部には、負圧源（図示省略）に接続されてキャリアテープ 5を吸着保持することのできる吸着プレート 34が設けられている。

プッシャ本体部 33の前段側（図 1中左側）には、テンションスプロケット 35aが設けられており、プッシャ本体部 33の後段側（図 1中右側）には、メインスプロケット 35bが設けられており、所望の張力でキャリアテープ 5を保持するようになっている。 [0055] 図 2および図 3に示すように、プッシャフレーム 36におけるプッシャ本体部 33の背面側には、基台 38に載せられるようにしてプッシャステージ 4が設置されており、プッシャステージ 4の回転台であるトップテーブル 48はプッシャフレーム 36に固定されている。

[0056] プッシャステージ 4のベース 40上には、 X軸方向に軸を有するボールねじ 42aを回転させるサーボモータ 41aと、 Y軸方向に軸を有するボールねじ 42bを回転させるサーボモータ 41bと、 Y軸方向に軸を有するボールねじ 42cを回転させるサーボモータ 41cとが設けられており、サーボモータ 41bおよびサーボモータ 41cは、それぞれべース 40上の両端部に位置している。

[0057] ボールねじ 42aには、 X軸方向の LMガイド 43a, 43aにガイドされて X軸方向に摺動可能な摺動ブロック 44aが螺合している。摺動ブロック 44aには、 Y軸方向の LMガイド 45aを介して摺動板 46aが Y軸方向に摺動可能に取り付けられて、る。摺動板 4 6aの上側には、内部にローラリングを有する回転部材 47aが固定されており、回転部材 47aは、トップテーブル 48に回転自在に取り付けられて、る。

[0058] ボールねじ 42bには、 Y軸方向の LMガイド 43b, 43bにガイドされて Y軸方向に摺動可能な摺動ブロック 44bが螺合している。摺動ブロック 44bには、 X軸方向の LMガイド 45bを介して摺動板 46bが X軸方向に摺動可能に取り付けられて、る。摺動板 4 6bの上側には、内部にローラリングを有する回転部材 47bが固定されており、回転部材 47bは、トップテーブル 48に回転自在に取り付けられて、る。

[0059] ボールねじ 42cには、 Y軸方向の LMガイド 43c, 43cにガイドされて Y軸方向に摺動可能な摺動ブロック 44cが螺合している。摺動ブロック 44cには、 X軸方向の LMガイド 45cを介して摺動板 46cが X軸方向に摺動可能に取り付けられて、る。摺動板 4 6cの上側には、内部にローラリングを有する回転部材 47cが固定されており、回転部材 47cは、トップテーブル 48に回転自在に取り付けられて、る。

[0060] このような構成を有するプッシャステージ 4においては、サーボモータ 41aを駆動して、摺動ブロック 44a、摺動板 46bおよび摺動板 46cを X軸方向に摺動させることにより、トップテーブル 48を X軸方向に移動させることができる。また、サーボモータ 41b およびサーボモータ 41cを駆動して、摺動ブロック 44b、摺動ブロック 44cおよび摺動板 46aを Y軸同方向に摺動させることにより、トップテーブル 48を Υ軸方向に移動させることができる。さらには、サーボモータ 41aを駆動して、摺動ブロック 44aを X軸方向に摺動させるとともに、サーボモータ 41bおよびサーボモータ 41cを駆動して、摺動ブロック 44bおよび摺動ブロック 44cを互いに Y軸反対方向に摺動させ、そして各回転部材 47a, 45b, 45cを回転させることにより、トップテーブル 48をその垂直軸回りに回転させることができる。このようなプッシャステージ 4によれば、プッシャユニット 3 を X軸 Y軸方向に移動させること、および垂直軸回りに回転移動させることができる

[0061] 一方、図 1に示すように、プッシャユニット 3の下側であって、テストヘッド 10の上部には、プローブカード 8を搭載したプローブカードステージ 7が設置されている。ここで、プローブカードステージ ₇は、モーター駆動機構で移動制御できるものと、手動調整機能のみを有するものとがあるが、本実施形態では、モーター駆動機構を有するものとする。

[0062] 図 4および図 5に示すように、プローブカードステージ 7の基台 71上には、 X軸方向に軸を有するボールねじ 712を回転させるサーボモータ 711と、 4つの X軸方向の L Mガイド 713とが設けられている。それら 4つの LMガイド 713上には、各 LMガイド 7 13により X軸方向に摺動可能にガイドされる矩形の Xベース 72が設けられている。この Xベース 72の一側部には、ボールねじ 712が螺合している螺合部 721が形成されている。

[0063] Xベース 72上には、 Y軸方向に軸を有するボールねじ 723を回転させるサーボモータ 722と、 2本の Y軸方向の LMガイド 724とが設けられている。それら 2本の LMガイド 724上には、各 LMガイド 724により Y軸方向に摺動可能にガイドされる矩形の Y ベース 73が設けられている。この Yベース 73の一側部には、ボールねじ 723が螺合して、る螺合部 731が形成されて!、る。

[0064] Yベース 73上には、 Y軸方向に軸を有するボールねじ 733を回転させるサーボモータ 732と、カードリング 735を回転自在に支持する接続リング 734とが設けられている。カードリング 735の一部には、ボールねじ 733が螺合している螺合部 736が形成されている。複数のプローブ 81を備えたプローブカード 8は、 4本のピン 82によってカードリング 735に着脱自在に取り付けられて！/、る。

[0065] 図 4および図 5には示さないが、プローブカード 8の各プローブ 81は、テストヘッド 1 0を介してテスタ本体に電気的に接続されている。

[0066] このような構成を有するプローブカードステージ 7においては、サーボモータ 711を駆動することにより、 Xベース 72、ひいてはプローブカード 8を X軸方向に移動させることができ、サーボモータ 722を駆動することにより、 Yベース 73、ひいてはプローブカード 8を Y軸方向に移動させることができる。また、サーボモータ 732を駆動してボールねじ 733を回転させ、螺合部 736を移動させることにより、カードリング 735およびプローブカード 8をその垂直軸回りに回転させることができる。なお、 TCPハンドラ 2は、サーボモータ 711, 722, 732の駆動を自動で制御し得る制御装置を備えており、これによりプローブカード 8を X軸方向、 Y軸方向、および垂直軸回りに自動で移動させることができる。

[0067] 図 1に示されるように、プッシャユニット 3の前段側（図 1中左側）に第 1カメラ 6aが、テストヘッド 10の下側に第 2カメラ (撮像装置） 6bが、プッシャユニット 3の後段側（図 1 中右側）に第 3カメラ 6cが、それぞれ設けられている。なお、テストヘッド 10には、第 2 カメラ 6bがプローブカード 8を撮影することのできる間隙が形成されている。

[0068] プッシャユニット 3と第 3カメラ 6cとの間には、マークパンチ 26aおよびリジェクトパンチ 26bが設けられている。マークパンチ 26aは、試験の結果に基づいて、該当する T CPにっき所定の位置に 1個または複数個の孔を開けるものであり、リジェクトパンチ 2 6bは、試験の結果不良品であると判断された TCPを打ち抜くものである。

[0069] 各カメラ 6a, 6b, 6cは、これらカメラによって撮影した画像を、オペレータが視認可能なように表示装置 9に表示させる。これらのカメラのうち、第 1カメラ 6aおよび第 3力メラ 6cは、キャリアテープ 5上における TCPの有無やマークパンチ 26aによる孔の位置や数を判断するためのものである。そして、第 2カメラ 6bは、 TCPとプローブカード 8との間の位置ずれ情報を取得するためのものであり、視野内の複数の対象について位置ずれ情報を取得できるようになって、る。

[0070] また、第 2カメラ 6bは、カメラステージ 61上に搭載されており、カメラステージ 61が有するァクチユエータによって平面視縦横方向（X軸 Y軸方向）および上下方向（Z 軸方向）に移動可能となっている。第 2カメラ 6bが平面視縦横方向 (X軸— Y軸方向）に移動することで、第 2カメラ 6bが TCPの互いに遠い位置にある複数のテストパッド P およびプローブカード 8の互いに遠い位置にあるプローブ 81を撮影することができるため、 TCPとプローブカード 8との位置ずれ量をより良好な精度で求めることができる。また、第 2カメラ 6bが上下方向（Z軸方向）に移動することで、第 2カメラ 6bの焦点位置を変更して、撮像目標であるテストパッド Pまたはプローブ 81の所望部位に焦点を合わせることができる。これにより撮像目標部位の明瞭な輪郭画像を取得でき、テストノ^ド Pまたはプローブ 81の座標データを的確に求めることができる。なお、第 2カメラ 6b自身が焦点調節機能を備えて、第 2カメラ 6bの焦点位置を外部制御し、撮像目標であるテストパッド Pまたはプローブ 81の所望部位に焦点を合わせることができるようにしてもよい。

[0071] そして、表示装置 9は、画像処理部と、第 2カメラ 6bが撮影した画像を表示するモ- ターとを有している。画像処理部は、第 2カメラ 6bにより撮影された画像と、所定の直線、文字等とをモニターにオーバーレイ表示する手段を有している。

[0072] プッシャユニット 3とプローブカード 8との間には、拡散反射板 11が、吸着プレート 3 4に保持されたキャリアテープ 5とプローブカード 8との間に挿脱可能に設けられている。本実施形態では、拡散反射板 11は X軸方向に往復移動可能となっている。拡散反射板 11は、その表面に微細な凹凸が形成されており、照明光源（図示せず)からの光を拡散して反射することができる。したがって、拡散反射板 11がキャリアテープ 5 とプローブカード 8との間に挿入されると、プローブ 81の背景を均一に明るい状態または暗い状態にすることができ、第 2カメラ 6bによってプローブ 81の高コントラストな画像を得ることができる。なお、拡散反射板 11を設けずに、照射光源の条件 (照射光量、照射色、照射角度)を変更して、プローブ 81の背景 (テストパッド）に対する識別力り明瞭になるようにしてもょ、。

[0073] 次に、 TCPハンドラ 2の使用方法および動作について説明する。

TCPハンドラ 2を使用する場合には、 TCPハンドラ 2を実稼動させる前に、予めプローブカード 8の全てのプローブ 81が、対応するテストパッド Pの中央位置へ位置決めされるようにプローブカード 8を移動させる初期設定を行う必要がある。すなわち、 TC Pの品種を変更した場合や、異なる生産ロットの TCPを試験する場合、あるいはプローブカード 8を変更した場合には、 TCPのテストパッド Pとプローブカード 8のプロ一ブ 81とがコンタクトするように、プローブカードステージ 7の X軸位置 ZY軸位置 Z Θ 回転角の基準位置を決定し、登録する必要がある（この位置を「登録位置」という）。なお、プッシャステージ 4は、 TCPの試験実行時に使用するので、初期設定では非制御状態のままと仮定する。

[0074] 図 6A〜図 6Cは、上記 TCPハンドラ 2の初期設定の動作を示すフローチャート図であり、図 7 (a)〜(g)は、上記 TCPハンドラ 2の初期設定時のモニター表示画面の概略図である。

[0075] TCPハンドラ 2は、初期設定の動作を開始すると、基準となる TCPを試験位置まで搬送し (ステップ S01)、第 2カメラ 6bによって、 TCPにおいて多数のテストパッド Pの中の一端部に位置する複数のテストパッド Pを撮影する (ステップ S02)。 TCPハンドラ 2の画像処理部は、撮影された画像 (第 1画像）に基づいて、当該第 1画像に含まれる複数のテストパッド Pの中心部のそれぞれの座標データ (X , Y )

pdl dl を取得するとともに、当該第 1画像をモニターに表示する (ステップ S03,図 7 (a)参照)。なお、本動作で得られる各座標データは、カメラステージ 61の座標系にマッピングするものとする。

[0076] 次に、 TCPハンドラ 2は、カメラステージ 61によって第 2カメラ 6bを移動させて、第 2 カメラ 6bによって、 TCPにおいて多数のテストパッド Pの中の別の端部に位置する複数のテストパッド Pを撮影する (ステップ S04)。 TCPハンドラ 2の画像処理部は、撮影された画像 (第 2画像）に基づいて、当該第 2画像に含まれる複数のテストパッド Pの中心部のそれぞれの座標データ (X , Y )を取得するとともに、当該第 2画像をモ pd2 pd2

二ターに表示する (ステップ S05)。

[0077] TCPハンドラ 2の画像処理部は、取得した座標データ (X , Y )および (X , Y pdl pdl pd2 p

)に基づいて、第 1画像に含まれるテストパッド Pの中心部の位置座標および第 2画 d2

像に含まれるテストパッド Pの中心部の位置座標を通る直線 (テストパッド Pの配列）の X軸方向の直線（図 7中水平線）との角度 Θ を演算する (ステップ S06)。そして、当 d

該角度 Θ を有する第 1の直線 L1を生成し、モニターに上記第 2画像 (現在画像）に重ねて第 1の直線 LIをオーバーレイ表示する (ステップ 07,図 7 (b)参照)。

[0078] 次に、 TCPハンドラ 2は、キャリアテープ 5とプローブカード 8との間に拡散反射板 1 1を挿入する (ステップ S08)。そして、カメラステージ 61によって第 2カメラ 6bを移動させて、第 2カメラ 6bによって、上記第 1画像に含まれる複数のテストパッド Pに対応する複数のプローブ 81を撮影する（ステップ S09)。 TCPハンドラ 2の画像処理部は、撮影された画像 (第 3画像）に基づいて、当該第 3画像に含まれる複数のプローブ 81 の先端部のそれぞれの座標データ (X , Y )を取得するとともに、当該第 3画像を pbl bl

モニターに表示する (ステップ S 10,図 7 (c)参照）。ここで、プローブ 81の背景は拡散反射板 11となっているため、高コントラストなプローブ 81の画像を得ることができる。したがって、プローブ 81の座標データを良好な精度で取得することができ、 TCPのテストパッド Pとプローブカード 8のプローブ 81との位置合わせをより正確に行うことができる。

[0079] TCPハンドラ 2は、カメラステージ 61によって第 2カメラ 6bを移動させて、第 2カメラ 6 bによって、上記第 2画像に含まれる複数のテストパッド Pに対応する複数のプローブ 81を撮影する (ステップ Sl l)。 TCPハンドラ 2の画像処理部は、撮影された画像 (第 4画像）に基づいて、当該第 4画像に含まれる複数のプローブ 81の先端部のそれぞれの座標データ (X , Y )を取得するとともに、当該第 4画像をモニターに表示す pb2 pb2

る（ステップ SI 2)。

[0080] TCPハンドラ 2の画像処理部は、取得した座標データ (X , Y )および (X , Y pbl pbl pb2 p

)に基づいて、第 3画像に含まれるプローブ 81の先端部の位置座標および第 4画 b2

像に含まれるプローブ 81の先端部の位置座標を通る直線 (プローブ 81の配列）の X 軸方向の直線（図 7中水平線）との角度 Θ を演算する (ステップ S 13)。そして、当該 b

角度 Θ を有する第 2の直線 L2を生成し、モニターに上記第 4画像 (現在画像）に重 b

ねて第 1の直線 L1および第 2の直線 L2をオーバーレイ表示する (ステップ S 14,図 7 (d)参照)。このように、第 1の直線 L1および第 2の直線 L2をモニター上に表示することで、垂直軸回りの位置ずれ量を視覚的に確認することができる。

[0081] 次に、 TCPハンドラ 2は、ステップ S06, S 13で得られた第 1の直線 L1の角度 Θ

d および第 2の直線 L2の角度 Θ の差分値 Δ Θを演算する (ステップ S 15)。そして、得られた差分値 Δ Θの絶対値が所定値 Dよりも大きい場合には (ステップ S 16, Yes ；)、 TCPハンドラ 2は、差分値 Δ Θに基づいてプローブカードステージ 7を回転移動させ (ステップ S 17)、差分値 Δ Θの絶対値が所定値 D以下になった場合に (ステップ S 18, Yes)、プローブカードステージ 7の回転移動を停止し (ステップ S19)、第 2の直線 L2の色を変更する (ステップ S20,図 7 (e)参照）。一方、ステップ S16において、差分値 Δ Θの絶対値が所定値 D以下である場合には (ステップ S16, No)、プロ一ブカードステージ 7を回転移動させることなぐそのまま第 2の直線 L2の色を変更する (ステップ S20)。このように、第 2の直線 L2の色を変更することで、テストパッド Pとプローブ 81との垂直軸回りの位置ずれが補正されたことをモニター上で視覚的に確認することができる。

[0082] 次に、 TCPハンドラ 2は、カメラステージ 61によって第 2カメラ 6bを移動させて、第 2 カメラ 6bによって、上記第 1画像に含まれる複数のテストパッド Pに対応する複数のプローブ 81を再度撮影する (ステップ S21)。これにより、ステップ S 17でプローブカード 8が垂直軸回りに移動して、目的とするプローブ 81が第 2カメラ 6bの視野力も外れた場合であっても、再度撮影することができる。 TCPハンドラ 2の画像処理部は、撮影された画像 (第 5画像）に基づいて、当該第 5画像に含まれる複数のプローブ 81の先端部のそれぞれの座標データ (X , Y )

pb3 pb3を取得するとともに、上記第 1画像に重ねて当該第 5画像をモニターにオーバーレイ表示する (ステップ S22,図 7 (f)参照)。

[0083] 同様に、 TCPハンドラ 2は、カメラステージ 61によって第 2カメラ 6bを移動させて、第 2カメラ 6bによって、上記第 2画像に含まれる複数のテストパッド Pに対応する複数のプローブ 81を再度撮影する (ステップ S23)。 TCPハンドラ 2の画像処理部は、撮影された画像 (第 6画像）に基づいて、当該第 6画像に含まれる複数のプローブ 81の先端部のそれぞれの座標データ (X , Y )を取得するとともに、上記第 2画像に重 pb4 pb4

ねて当該第 6画像をモニターにオーバーレイ表示する (ステップ S24,図 7 (f)参照)。

[0084] 続いて、 TCPハンドラ 2は、テストパッド Pの 2箇所の座標データ（X , Y )および pdl dl

(X ，Y )と、プローブ 81の 2箇所の座標データ（X , Υ )および (X , Υ )と pd2 pd2 pb3 pb3 pb4 pb4 から、テストパッド Pとプローブ 81との X成分および Y成分の差分値 ΔΧ, ΔΥを演算する (ステップ S25)。そして、得られた差分値 ΔΧ, ΔΥの絶対値が所定値 Pよりも大きい場合に (ステップ S26, Yes)、 TCPハンドラ 2は、差分値 ΔΧ, ΔΥに基づいてプローブカードステージ 7を X軸方向および Zまたは Y軸方向に移動させ (ステップ S27 )、差分値 ΔΧ, ΔΥの絶対値が所定値 P以下になった場合に (ステップ S28, Yes)、プローブカードステージ 7の移動を停止し (ステップ S29,図 7 (g)参照）、プローブ力ードステージ 7のその位置を登録する（ステップ S30)。一方、ステップ S26において、差分値 ΔΧ, ΔΥの絶対値が所定値 P以下である場合には (ステップ S26, No)、プローブカードステージ 7を移動させることなぐその位置を登録する（ステップ S30)。

[0085] 最後に、 TCPハンドラ 2は、拡散反射板 11をキャリアテープ 5とプローブカード 8との間から退出させて (ステップ S31)、初期設定を終了する。

[0086] 以上のように、本実施形態に係る TCPハンドラ 2によれば、 TCPのテストパッド Pとプローブカード 8のプローブ 81との位置合わせを自動的に行うことができ、したがつて当該位置合わせを正確にかつ容易に行うことができる。特に本実施形態では、垂直軸回りの位置合わせと X軸方向 ·Υ軸方向の位置合わせとを、別々に順次行うことで、 TCPのテストパッド Ρとプローブカード 8のプローブ 81との位置合わせをより正確に行うことができる。

[0087] 次に、本発明の別の実施形態として、 TCPのテストパッド Pとプローブカード 8のプローブ 81との位置合わせに関する初期設定をマニュアル操作で行う TCPハンドラについて説明する。

[0088] 本実施形態に係る TCPハンドラは、上記 TCPハンドラ 2と略同様の構成を有するが、プローブカードステージ 7の駆動源であるサーボモータ 711, 722, 732は、ォペレータの操作により駆動するものであってもよぐあるいはサーボモータ 711, 722, 73 2が省略されて、プローブカードステージ 7が操作杆等を操作することにより動作するものであってもよい。

[0089] 本実施形態に係る TCPハンドラの初期設定の動作では、上記と同様にしてステツプ S01〜S15を実行する。 TCPハンドラが第 1の直線 L1の角度 Θ および第 2の直 d

線 L2の角度 Θ の差分値 Δ Θを演算している間 (ステップ S 15)、オペレータは、モ b

二ターに表示された第 1の直線 L1および第 2の直線 L2 (図 7 (d)参照）を見ながら、マニュアル操作でプローブカードステージ 7を回転移動させる。 [0090] そして TCPハンドラは、差分値 Δ Θの絶対値が所定値 D以下になった場合に (ステップ SlOl, Yes)、第 2の直線 L2の色を変更する（ステップ S 102,図 7 (e)参照）。ォペレータは、それを確認してプローブカードステージ 7の回転移動を停止する。 TCP ハンドラは、ステップ S102の後、拡散反射板 11をキャリアテープ 5とプローブカード 8 との間から退出させる（ステップ S103)。

[0091] 上記のように、オペレータは、モニターに表示された第 1の直線 L1および第 2の直線 L2を見ながら、プローブカード 8を所望の角度量で垂直軸回りに移動させることができるとともに、プローブカード 8の垂直軸回りの位置ずれの補正が終了したことを第 2の直線 L2の色の変更により確認することができるため、 TCPのテストパッド Pとプローブカード 8のプローブ 81との垂直軸回りの位置合わせを正確かつ容易に、さらには迅速に行うことができる。

[0092] マニュアル操作による X軸方向および Zまたは Y軸方向の位置ずれの補正は、従来と同様の方法で行えばよい。具体的には、 TCPがプローブ 81とともに第 2カメラ 6b によって明瞭に認識できる高さまでプッシャユニット 3を移動する。オペレータは、テストパッド Pおよびプローブ 81が表示されたモニターを見ながら、マ-ユアル操作にてプローブカードステージ 7を X軸方向および Zまたは Y軸方向に移動して、 TCPの全てのテストパッド Pがプローブカード 8のプローブ 81と接触できるか確認する。このようにして設定したプローブカードステージ 7の位置を登録し (ステップ S 104)、初期設定を終了する。

[0093] 以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであつて、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。

[0094] 例えば、上記実施形態においては、ステップ S14〜S20または S102にて、第 1の直線 L1および第 2の直線 L2とともに、またはそれらの代わりに、第 1の直線 L1の角度 0 および第 2の直線 L2の角度 0 をモニターに数値表示したり、両直線間の相 pd pb

対的な角度 (例えば、第 1の直線 L1を基準としたときの当該第 1の直線 L1に対する第 2の直線 L2の角度)を数値表示したりしてもよい（図 7 (d) , (e)参照)。このようにすることで、 TCPとプローブカード 8との位置ずれ量を、数値によって視覚的に確認することがでさる。

[0095] TCPのテストパッド Pとプローブカード 8のプローブ 81との位置合わせをマニュアル操作で行うには、第 1の直線 L1の角度 0 および第 2の直線 L2の角度 0 をモニタ

pd pb

一に数値表示する場合は、第 2の直線 L2の角度 Θ の値を第 1の直線 L1の角度 Θ pb p の値に近づけるようにプローブカードステージ 7を回転移動させればよぐ両直線間 d

の相対的な角度を数値表示する場合には、当該角度値を O (deg)に近づけるようにプローブカードステージ 7を回転移動させればよ、。

[0096] さら〖こは、ステップ S 14〜S20または S 102〖こて、第 1の直線 L1および第 2の直線 L 2の中央部や両端部の座標値をモニターに数値表示してもよ!/、し、両直線間の相対的な座標値 (例えば、第 1の直線 L1を基準としたときの当該第 1の直線 L1の中央部や両端部に対する第 2の直線 L2の中央部や両端部の座標値)をモニターに数値表示してもよい。このようにすることで、 TCPとプローブカード 8との位置ずれ量を、数値によって視覚的に確認することができる。

[0097] また、ステップ S 17またはマニュアル操作によるプローブカードステージ 7の回転移動中にて、第 1の直線 L1の角度 Θ および第 2の直線 L2の角度 Θ の差分値 Δ Θ

pd pb

の大きさに応じて、所定のパルス間隔のパルス音、所定の周波数の音または所定の音色に順次変更した音を発生させたりして、オペレータが位置合わせ状態を聴覚で容易に認識できるようにしてもよ、。

[0098] また、ステップ S20または S 102にて、第 1の直線 L1の角度 0 および第 2の直線 L

d

2の角度 Θ の差分値 Δ Θが所定値 D以下になったときに、垂直軸回りの位置合わ

b

せの完了を通知するために、モニター上にメッセージを表示したり、外部点灯装置を

TCPハンドラ 2に設けて当該外部点灯装置を点灯表示したりしてもよい。このようにァラートを発することで、オペレータは垂直軸回りの位置合わせが完了したことを確認することができる。

[0099] さらに、上記実施形態では、 TCPおよびプローブカード 8の垂直軸回りの位置合わせと平面方向の位置合わせとを、別々に行うようにしたが、本発明はこれに限定されることなく、両者を同時に行ってもよい。具体的には、ステップ S03, S05で取得したテストパッド Pの座標データ（X , Y )および (X , Y )と、ステップ S09, S11で pdl dl pd2 pd2

取得したプローブ 81の座標データ (X , Y )および (X , Y )とに基づいて、垂 pbl bl pb2 pb2

直軸回りの位置ずれ量ならびに X軸方向および Y軸方向の位置ずれ量を求め、それらの位置ずれ量に基づいて、プローブカードステージ 7を垂直軸回り ZX軸方向 ZY 軸方向に移動させて、テストパッド Pとプローブ 81との位置合わせを行ってもよい。これにより、 TCPとプローブカード 8との位置ずれ補正の作業時間力より短縮される。産業上の利用可能性

本発明は、 TCPハンドリング装置の初期設定時において、コンタクト部の接触端子と TCPの外部端子との位置合わせ作業を正確にかつ容易に行うのに極めて有用である。

Claims

請求の範囲

[1] TCPが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されて、るコンタクト部の複数の接続端子にキャリアテープを押圧し、 TCPの外部端子を前記接続端子に接続させることにより、複数の TCPを順次試験に付すことのできる TCPハンドリング装置であって、

前記複数の接続端子を備えているコンタクト部を、その平面方向および垂直軸回りに移動させることのできる移動装置と、被試験 TCPの外部端子および前記接続端子を撮影することのできる撮像装置とを備えており、

前記撮像装置により、被試験 TCPの外部端子を撮影して当該外部端子の座標データを取得するとともに、前記接続端子を撮影して当該接続端子の座標データを取得し、

前記外部端子の座標データおよび前記接続端子の座標データから、前記外部端子と前記接続端子との位置ずれ量を求め、

前記位置ずれ量に基づいて、前記移動装置により前記コンタクト部を移動させ、被試験 TCPの外部端子に対する前記接続端子の位置合わせを行う

ことを特徴とする TCPハンドリング装置。

[2] 第 1に、前記外部端子の座標データおよび前記接続端子の座標データを取得して

、前記外部端子と前記接続端子との垂直軸回りの位置ずれ量を求め、当該垂直軸回りの位置ずれ量に基づいて、前記移動装置により前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させ、

第 2に、再度前記接続端子の座標データを取得して、前記外部端子と前記接続端子との平面方向の位置ずれ量を求め、当該平面方向の位置ずれ量に基づいて、前記移動装置により前記コンタクト部を平面方向に移動させる

ことを特徴とする請求項 1に記載の TCPハンドリング装置。

[3] 前記外部端子と前記接続端子との垂直軸回りの位置ずれ量は、前記外部端子の 2 箇所以上の座標データから得られる第 1の直線の角度と、前記接続端子の 2箇所以上の座標データ力得られる第 2の直線の角度との差から求めることを特徴とする請求項 1に記載の TCPハンドリング装置。

[4] 前記 TCPハンドリング装置は、表示装置をさらに備えており、

前記第 1の直線および Zまたは前記第 2の直線を前記表示装置に表示し得ることを特徴とする請求項 3に記載の TCPハンドリング装置。

[5] 前記第 1の直線を、前記撮像装置で撮影した前記外部端子の画像に重ねて前記表示装置にオーバーレイ表示し得ることを特徴とする請求項 4に記載の TCPハンドリング装置。

[6] 前記第 2の直線を、前記撮像装置で撮影した前記接続端子の画像に重ねて前記表示装置にオーバーレイ表示し得ることを特徴とする請求項 4に記載の TCPハンドリング装置。

[7] 前記第 1の直線の角度と前記第 2の直線の角度との差の値を前記表示装置に表示し得ることを特徴とする請求項 4に記載の TCPハンドリング装置。

[8] 前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させて、前記第 1の直線の角度と前記第 2の直線の角度との差が所定値よりも小さくなつたときに、前記表示装置に表示する前記第 1の直線および Zまたは前記第 2の直線の色を変更することを特徴とする請求項 4 に記載の TCPハンドリング装置。

[9] 前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させて、前記第 1の直線の角度と前記第 2の直線の角度との差が所定値よりも小さくなつたときに、通知音を発することを特徴とする請求項 4に記載の TCPハンドリング装置。

[10] 前記 TCPハンドリング装置は、前記撮像装置を移動させることのできる撮像装置移動装置をさらに備えており、

前記撮像装置は、前記撮像装置移動装置による移動により、前記外部端子の 2箇所以上および前記接続端子の 2箇所以上を撮影する

ことを特徴とする請求項 3に記載の TCPハンドリング装置。

[11] 前記 TCPハンドリング装置は、移動可能な拡散反射板をさらに備えており、

前記コンタ外部の接続端子を撮影するときに、前記接続端子と前記キャリアテープとの間に前記拡散反射板を挿入する

ことを特徴とする請求項 1に記載の TCPハンドリング装置。

[12] TCPが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されて、るコンタクト部の複数の接続端子にキャリアテープを押圧し、 TCPの外部端子を前記接続端子に接続させることにより、複数の TCPを順次試験に付すことのできる TCPハンドリング装置であって、

被試験 TCPの外部端子および前記接続端子を撮影することのできる撮像装置と、表示装置とを備えており、

前記複数の接続端子を備えているコンタクト部は、その平面方向および垂直軸回りに移動可能となっており、

前記撮像装置により被試験 TCPの外部端子の 2箇所以上を撮影して取得した前記外部端子の座標データから得られる第 1の直線および Zまたは前記撮像装置により前記接続端子の 2箇所以上を撮影して取得した前記接続端子の座標データ力ゝら得られる第 2の直線を、前記表示装置に表示し得る

ことを特徴とする TCPハンドリング装置。

[13] 前記第 1の直線を、前記撮像装置で撮影した前記外部端子の画像に重ねて前記表示装置にオーバーレイ表示し得ることを特徴とする請求項 12に記載の TCPハンドリング装置。

[14] 前記第 2の直線を、前記撮像装置で撮影した前記接続端子の画像に重ねて前記表示装置にオーバーレイ表示し得ることを特徴とする請求項 12に記載の TCPハンドリング装置。

[15] 前記第 1の直線および Zまたは前記第 2の直線の、傾き角度および Zまたは所定のポイントの座標数値をさらに前記表示装置に表示し得ることを特徴とする請求項 12 に記載の TCPハンドリング装置。

[16] 前記第 1の直線の角度と前記第 2の直線の角度との差の値を前記表示装置に表示し得ることを特徴とする請求項 12に記載の TCPハンドリング装置。

[17] 前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させて、前記第 1の直線の角度と前記第 2の直線の角度との差が所定値よりも小さくなつたときに、前記表示装置に表示する前記第 1の直線および Zまたは前記第 2の直線の色を変更することを特徴とする請求項 1 2に記載の TCPハンドリング装置。

[18] 前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させて、前記第 1の直線の角度と前記第 2の直線の角度との差が所定値よりも小さくなつたときに、通知音を発することを特徴とする請求項 12に記載の TCPハンドリング装置。

[19] 前記 TCPハンドリング装置は、前記撮像装置を移動させることのできる撮像装置移動装置をさらに備えており、

ことを特徴とする請求項 12に記載の TCPハンドリング装置。

[20] 前記 TCPハンドリング装置は、移動可能な拡散反射板をさらに備えており、

ことを特徴とする請求項 12に記載の TCPハンドリング装置。

[21] TCPが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されて、るコンタクト部の複数の接続端子にキャリアテープを押圧し、 TCPの外部端子を前記接続端子に接続させることにより、複数の TCPを順次試験に付すことのできる TCPハンドリング装置における接続端子の位置合わせ方法であって、

第 1に、前記外部端子の座標データおよび前記接続端子の座標データを取得して、前記外部端子と前記接続端子との垂直軸回りの位置ずれ量を求め、当該垂直軸回りの位置ずれ量に基づ!/、て、前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させ、

第 2に、再度前記接続端子の座標データを取得して、前記外部端子と前記接続端子との平面方向の位置ずれ量を求め、当該平面方向の位置ずれ量に基づいて、前記コンタクト部を平面方向に移動させる

ことを特徴とする接続端子の位置合わせ方法。

[22] TCPが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されて、るコンタクト部の複数の接続端子にキャリアテープを押圧し、 TCPの外部端子を前記接続端子に接続させることにより、複数の TCPを順次試験に付すことのできる TCPハンドリング装置における接続端子の位置合わせ方法であって、

前記外部端子の座標データおよび前記接続端子の座標データを取得して、前記外部端子と前記接続端子との垂直軸回りの位置ずれ量および平面方向の位置ずれ量を求め、それらの位置ずれ量に基づいて、前記コンタクト部を垂直軸回りにおよび

Zまたは平面方向に移動させる

ことを特徴とする接続端子の位置合わせ方法。

[23] 前記外部端子と前記接続端子との垂直軸回りの位置ずれ量は、前記外部端子の 2 箇所以上の座標データから得られる第 1の直線の角度と、前記接続端子の 2箇所以上の座標データ力得られる第 2の直線の角度との差から求めることを特徴とする請求項 21または 22に記載の接続端子の位置合わせ方法。

[24] 前記第 1の直線の角度と前記第 2の直線の角度との差の値を表示装置に表示することを特徴とする請求項 23に記載の TCPハンドリング装置。

[25] 前記第 1の直線および前記第 2の直線を表示装置に表示し、前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させて、前記第 1の直線の角度と前記第 2の直線の角度との差が所定値よりも小さくなつたときに、前記表示装置に表示する前記第 1の直線および Zまたは前記第 2の直線の色を変更することを特徴とする請求項 23に記載の接続端子の位置合わせ方法。

[26] 前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させて、前記第 1の直線の角度と前記第 2の直線の角度との差が所定値よりも小さくなつたときに、通知音を発することを特徴とする請求項 23に記載の接続端子の位置合わせ方法。

[27] 前記コンタ外部の接続端子を撮影するときに、前記接続端子と前記キャリアテープとの間に拡散反射板を挿入することを特徴とする請求項 21または 22に記載の接続端子の位置合わせ方法。

[28] TCPが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されて、るコンタクト部の複数の接続端子にキャリアテープを押圧し、 TCPの外部端子を前記接続端子に接続させることにより、複数の TCPを順次試験に付すことのできる TCPハンドリング装置における接続端子の位置合わせ方法であって、

撮像装置により被試験 TCPの外部端子の 2箇所以上を撮影し、取得した前記外部端子の座標データから得られる第 1の直線を表示装置に表示し、

撮像装置により前記接続端子の 2箇所以上を撮影し、取得した前記接続端子の座標データから得られる第 2の直線を前記第 1の直線とともに表示装置に表示し、もってオペレータは、前記表示装置に表示されている前記第 1の直線および前記第 2の直線を見ながら前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させることができることを特徴とする接続端子の位置合わせ方法。

[29] 前記第 1の直線の角度と前記第 2の直線の角度との差の値を表示装置に表示することを特徴とする請求項 28に記載の TCPハンドリング装置。

[30] 前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させて、前記第 1の直線の角度と前記第 2の直線の角度との差が所定値よりも小さくなつたときに、前記表示装置に表示する前記第 1の直線および Zまたは前記第 2の直線の色を変更する

ことを特徴とする請求項 28に記載の接続端子の位置合わせ方法。

[31] 前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させて、前記第 1の直線の角度と前記第 2の直線の角度との差が所定値よりも小さくなつたときに、通知音を発することを特徴とする請求項 28に記載の接続端子の位置合わせ方法。

[32] 前記コンタ外部の接続端子を撮影するときに、前記接続端子と前記キャリアテープとの間に拡散反射板を挿入することを特徴とする請求項 28に記載の接続端子の位置合わせ方法。