CN101346635A - Tcp处理装置以及tcp处理装置中的连接端子的对位方法 - Google Patents

Tcp处理装置以及tcp处理装置中的连接端子的对位方法 Download PDF

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CN101346635A CNA2005800524398A CN200580052439A CN101346635A CN 101346635 A CN101346635 A CN 101346635A CN A2005800524398 A CNA2005800524398 A CN A2005800524398A CN 200580052439 A CN200580052439 A CN 200580052439A CN 101346635 A CN101346635 A CN 101346635A
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Abstract

本发明提供一种TCP处理装置以及TCP处理装置中的连接端子的对位方法。利用第2照相机(6b)对被测试TCP的测试焊盘(P)进行拍照以取得该测试焊盘(P的坐标数据，同时对探针卡(8)的探针(81)进行拍照以取得该探针(81)的坐标数据，根据测试焊盘(P)的坐标数据和探针(81)的坐标数据求出测试焊盘(P)与探针(81)的位置偏移量，根据该位置偏移量，通过探针卡台(7)使探针卡(8)移动，并自动地进行探针(81)相对于被测试TCP的测试焊盘(P)的对位。由此，可准确且容易地进行TCP的测试焊盘(P)与探针卡(8)的探针(81)的对位。

Description

TCP处理装置以及TCP处理装置中的连接端子的对位方法
技术领域
本发明涉及用于测试作为IC器件的1种的TCP(带载封装)或COF(芯片在膜上)(以下，将TCP、COF、其它的利用TAB(带自动键合)安装技术制造的器件统称为“TCP”)的TCP处理装置、以及TCP处理装置中的连接端子的对位方法。
背景技术
在IC器件等的电子部件的制造过程中，必须有测试最终制造的IC器件或处于其中间阶段的器件等的性能或功能的电子部件测试装置，在TCP的情况下，可使用TCP用的测试装置。
TCP用的测试装置一般来说由测试器主体、测试头和TCP处理装置(以下有时称为“TCP处理器”)构成。该TCP处理器具备下述功能：通过运送在带(假定也包含膜的概念，以下相同)上形成有多个TCP的载带，将载带按压到与测试头电连接的探针卡的探针上，并使TCP的测试焊盘与探针接触，将多个TCP依次交付测试。
但是，为了使用TCP处理器来高效且准确地进行测试，必须使TCP的测试焊盘与探针卡的各探针可靠地接触。
根据这样的情况，在使用TCP处理器的情况下，在使其实际工作来进行测试之前，预先对于TCP处理器进行初始设定，以便能使TCP的测试焊盘与探针卡的各探针可靠地接触，并进行登录该设定的操作。
例如，如下述那样进行TCP处理器的初始设定。首先，将TCP运送到测试位置，用推动单元来保持所运送的TCP。然后，将推动单元移动到能利用照相机清晰地识别TCP的高度，用照相机对TCP的测试焊盘进行拍照，在监视器中显示其图像。操作者观看监视器，并通过目视掌握TCP的旋转角。其次，为了利用照相机清晰地识别探针卡的探针，在将推动单元移动到不能利用照相机清晰地识别TCP的高度之后，用照相机对探针卡的探针进行拍照，在监视器中显示其图像。操作者一边观看监视器，一边通过手动操作使探针卡台旋转，调整相对于TCP的旋转角的探针卡的旋转角。然后，将推动单元移动到能利用照相机清晰地同时识别TCP和探针的高度。操作者一边观看监视器，一边通过手动操作沿X轴方向和/或Y轴方向移动探针卡台，并确认TCP的所有的测试焊盘是否都能与探针卡的探针接触。将这样设定的位置作为初始设定进行登录。
发明内容
(发明要解决的问题)
但是，在上述的初始设定方法中，由于TCP的旋转角的掌握和探针卡的旋转角的调整是根据操作者的感觉来进行的，故通过操作者进行有时需要大量的操作时间。此外，在调整探针卡的旋转角时，由于在监视器中不能显示TCP的测试焊盘，故相对于TCP的旋转角的探针卡的旋转角调整非常困难。而且，在TCP的所有的测试焊盘不能都与探针卡的探针接触的情况下，有必要交替地重复进行推动单元的移动和探针卡台的旋转，其操作是非常烦杂的。
特别是，由于伴随近年来的TCP的多插脚化和小型化，TCP的测试焊盘越来越小且间距越来越窄，故初始设定中的焊盘与探针的对位操作变得更加困难，初始设定所花费的操作时间也越来越长。此外，有时不一定能准确地进行TCP与探针的对位，有时会由于这样的情况导致在实际工作中发生接触不良、接触电阻的不稳定、邻接插脚间的短路等。
本发明就是鉴于这样的实际情况而提出的，其目的在于提供能准确且容易地进行接触部的接触端子与TCP的外部端子的对位的TCP处理装置、以及能在TCP处理装置中准确且容易地进行对位处理的方法。
(用于解决问题的方案)
为了达到上述目的，第1，本发明提供一种TCP处理装置，通过运送形成有多个TCP的载带，将载带按压到与测试头电连接的接触部的多个连接端子上，并使TCP的外部端子与上述连接端子连接，可将多个TCP依次交付测试，其特征在于，具备：可使具有上述多个连接端子的接触部在其平面方向上以及绕垂直轴移动的移动装置、以及可对被测试TCP的外部端子和上述连接端子进行拍照的摄像装置，利用上述摄像装置对被测试TCP的外部端子进行拍照以取得该外部端子的坐标数据，同时对上述连接端子进行拍照以取得该连接端子的坐标数据，根据上述外部端子的坐标数据和上述连接端子的坐标数据求出上述外部端子与上述连接端子的位置偏移量，根据上述位置偏移量，通过移动装置移动上述接触部，进行上述连接端子相对于被测试TCP的外部端子的对位(发明1)。
根据上述发明(发明1)，由于可以根据作为对位对象的TCP的外部端子和接触部的接触端子的坐标数据求出这些端子的位置偏移量，并基于该位置偏移量自动地移动接触部，故可准确且容易地进行TCP的外部端子与接触部的接触端子的对位。因而，在使用TCP处理装置时，可在短时间内高效地进行其初始设定。
优选地，在上述发明(发明1)中，第1，取得上述外部端子的坐标数据和上述连接端子的坐标数据，并求出上述外部端子与上述连接端子的绕垂直轴的位置偏移量，根据该绕垂直轴的位置偏移量通过上述移动装置绕垂直轴移动上述接触部，第2，再次取得上述连接端子的坐标数据，并求出上述外部端子与上述连接端子的平面方向的位置偏移量，根据该平面方向的位置偏移量通过上述移动装置沿平面方向移动上述接触部(发明2)。根据这样的发明(发明2)，由于分别依次进行绕垂直轴的对位和平面方向的对位，故可更准确地进行TCP与接触部的对位。
在上述发明(发明1)中，可根据从上述外部端子的大于等于2个部位的坐标数据得到的第1直线的角度与从上述连接端子的大于等于2个部位的坐标数据得到的第2直线的角度的差求出上述外部端子与上述连接端子的绕垂直轴的位置偏移量(发明3)。
优选地，在上述发明(发明3)中，上述TCP处理装置还具备显示装置，能够在上述显示装置中显示上述第1直线和/或上述第2直线(发明4)。根据这样的发明(发明4)，由于在显示装置中显示第1直线和/或第2直线，故可以通过视觉确认绕垂直轴的位置偏移。
优选地，在上述发明(发明4)中，能够将上述第1直线与通过上述摄像装置拍摄的上述外部端子的图像重叠地叠加显示在上述显示装置中(发明5)，此外，优选地，在上述发明(发明4)中，能够将上述第2直线与通过上述摄像装置拍摄的上述连接端子的图像重叠地叠加显示在上述显示装置中(发明6)。
优选地，在上述发明(发明4)中，能够在上述显示装置中显示上述第1直线的角度与上述第2直线的角度的差的值(发明7)。根据这样的发明(发明7)，由于在显示装置中显示第1直线的角度与第2直线的角度的差值，故可以将绕垂直轴的位置偏移的量作为数值通过视觉来进行确认。
优选地，在上述发明(发明4)中，使上述接触部绕垂直轴移动，在上述第1直线的角度与上述第2直线的角度的差比既定值小时，变更在上述显示装置中显示的上述第1直线和/或上述第2直线的颜色(发明8)。根据这样的发明(发明8)，可利用显示装置通过视觉确认绕垂直轴的位置偏移已被校正。
优选地，在上述发明(发明4)中，使上述接触部绕垂直轴移动，在上述第1直线的角度与上述第2直线的角度的差比既定值小时，发出通知音(发明9)。根据这样的发明(发明9)，即使是操作者未观看显示装置的情况下，也能通过听觉确认绕垂直轴的对位结束。
优选地，在上述发明(发明3)中，上述TCP处理装置还具备可使上述摄像装置移动的摄像装置移动装置，上述摄像装置通过利用上述摄像装置移动装置的移动对上述外部端子的大于等于2个部位和上述连接端子的大于等于2个部位进行拍照(发明10)。根据这样的发明(发明10)，由于摄像装置可对外部端子的彼此处于较远的位置的多个部位和连接端子的彼此处于较远的位置的多个部位进行拍照，故可以更良好的精度求出TCP与接触部的位置偏移量，能更准确地进行TCP与接触部的对位。
优选地，在上述发明(发明1)中，上述TCP处理装置还具备可移动的漫反射板，在对上述接触部的连接端子进行拍照时，在上述连接端子与上述载带之间插入上述漫反射板(发明11)。根据这样的发明(发明11)，由于可以通过将漫反射板作为背景而得到高对比度的连接端子的图像，故能以良好的精度取得连接端子的坐标数据，能更准确地进行TCP与接触部的对位。
第2，本发明提供一种TCP处理装置，通过运送形成有多个TCP的载带，将载带按压到与测试头电连接的接触部的多个连接端子上，并且使TCP的外部端子与上述连接端子连接，可将多个TCP依次交付测试，其特征在于，具备可对被测试TCP的外部端子和上述连接端子进行拍照的摄像装置、和显示装置，具备上述多个连接端子的接触部可在其平面方向上和绕垂直轴移动，可在上述显示装置中显示根据通过上述摄像装置对被测试TCP的外部端子的大于等于2个部位进行拍摄而取得的上述外部端子的坐标数据得到的第1直线和/或根据通过上述摄像装置对上述连接端子的大于等于2个部位进行拍摄而取得的上述连接端子的坐标数据得到的第2直线(发明12)。
根据上述发明(发明12)，由于操作者可以一边观看在显示装置中显示的第1直线和/或第2直线，一边使接触部绕垂直轴移动，故可准确且容易地进行TCP与接触部的绕垂直轴的对位。
优选地，在上述发明(发明12)中，能够将上述第1直线与通过上述摄像装置拍摄的上述外部端子的图像重叠地叠加显示在上述显示装置中(发明13)，此外，优选地，能够在上述发明(发明12)中，将上述第2直线与通过上述摄像装置拍摄的上述连接端子的图像重叠地叠加显示在上述显示装置中(发明14)。
优选地，在上述发明(发明12)中，也可以设定为能够进一步在上述显示装置中显示上述第1直线和/或上述第2直线的倾斜角度和/或既定的点的坐标数值(发明15)。根据这样的发明(发明15)，由于操作者可以将在显示装置中显示的倾斜角度和/或坐标数值也作为基准来进行TCP与接触部的对位，故可准确且容易地进行TCP与接触部的对位。
优选地，在上述发明(发明12)中，能够在上述显示装置中显示上述第1直线的角度与上述第2直线的角度的差值(发明16)。根据这样的发明(发明16)，通过显示两直线的角度的差值，操作者能以使该值接近于0度的方式进行TCP与接触部的对位，可更准确且容易地进行该对位。
优选地，在上述发明(发明12)中，使上述接触部绕垂直轴移动，在上述第1直线的角度与上述第2直线的角度的差比既定值小时，变更在上述显示装置中显示的上述第1直线和/或上述第2直线的颜色(发明17)。根据这样的发明(发明17)，通过变更第1直线和/或第2直线的颜色，操作者可辨认绕垂直轴的位置偏移的校正结束，故可更容易地进行TCP与接触部的对位。
优选地，在上述发明(发明12)中，使上述接触部绕垂直轴移动，在上述第1直线的角度与上述第2直线的角度的差比既定值小时，发出通知音(发明18)。根据这样的发明(发明18)，由于发出通知音，操作者能通过听觉确认绕垂直轴的位置偏移的校正结束，故可更容易地进行TCP与接触部的对位。
优选地，在上述发明(发明12)中，上述TCP处理装置还具备可使上述摄像装置移动的摄像装置移动装置，上述摄像装置通过利用上述摄像装置移动装置的移动对上述外部端子的大于等于2个部位和上述连接端子的大于等于2个部位进行拍照(发明19)。根据这样的发明(发明19)，由于摄像装置可对外部端子的彼此处于较远的位置的多个部位和连接端子的彼此处于较远的位置的多个部位进行拍摄，故可更准确地求出第1直线的角度和第2直线的角度，能更准确地进行TCP与接触部的对位。
优选地，在上述发明(发明12)中，上述TCP处理装置还具备可移动的漫反射板，在对上述接触部的连接端子进行拍照时，在上述连接端子与上述载带之间插入上述漫反射板(发明20)。根据这样的发明(发明20)，由于通过将漫反射板作为背景可得到高对比度的连接端子的图像，故能更准确地求出第2直线的角度，能更准确地进行TCP与接触部的对位。
第3，本发明提供一种TCP处理装置中的连接端子的对位方法，该TCP处理装置通过运送形成有多个TCP的载带，将载带按压到与测试头电连接的接触部的多个连接端子上，使TCP的外部端子与上述连接端子连接，可将多个TCP依次交付测试，该方法的特征在于，第1，取得上述外部端子的坐标数据和上述连接端子的坐标数据，求出上述外部端子与上述连接端子的绕垂直轴的位置偏移量，根据该绕垂直轴的位置偏移量使上述接触部绕垂直轴移动，第2，再次取得上述连接端子的坐标数据，求出上述外部端子与上述连接端子的平面方向的位置偏移量，根据该平面方向的位置偏移量使上述接触部在平面方向上移动(发明21)。
此外，本发明提供一种TCP处理装置中的连接端子的对位方法，该TCP处理装置通过运送形成有多个TCP的载带，将载带按压到与测试头电连接的接触部的多个连接端子上，使TCP的外部端子与上述连接端子连接，可将多个TCP依次交付测试，该方法的特征在于，取得上述外部端子的坐标数据和上述连接端子的坐标数据，求出上述外部端子与上述连接端子的绕垂直轴的位置偏移量和平面方向的位置偏移量，根据这些位置偏移量使上述接触部绕垂直轴和/或在平面方向上移动(发明22)。
优选地，在上述发明(发明21、22)中，根据从上述外部端子的大于等于2个部位的坐标数据得到的第1直线的角度和从上述连接端子的大于等于2个部位的坐标数据得到的第2直线的角度的差求出上述外部端子与上述连接端子的绕垂直轴的位置偏移量(发明23)。
优选地，在上述发明(发明23)中，在显示装置中显示上述第1直线的角度与上述第2直线的角度的差值(发明24)。
优选地，在上述发明(发明23)中，在显示装置中显示上述第1直线和上述第2直线，使上述接触部绕垂直轴移动，在上述第1直线的角度与上述第2直线的角度的差比既定值小时，变更在上述显示装置中显示的上述第1直线和/或上述第2直线的颜色(发明25)。
优选地，在上述发明(发明23)中，使上述接触部绕垂直轴移动，在上述第1直线的角度与上述第2直线的角度的差比既定值小时，发出通知音(发明26)。
优选地，在上述发明(发明21、22)中，在对上述接触部的连接端子进行拍照时，在上述连接端子与上述载带之间插入漫反射板(发明27)。
第4，本发明提供一种TCP处理装置中的连接端子的对位方法，该TCP处理装置通过运送形成有多个TCP的载带，将载带按压到与测试头电连接了的接触部的多个连接端子上，使TCP的外部端子与上述连接端子连接，可将多个TCP依次交付测试，该方法的特征在于，利用摄像装置对被测试TCP的外部端子的大于等于2个部位进行拍照，在显示装置中显示从所取得的上述外部端子的坐标数据得到的第1直线，利用摄像装置对上述连接端子的大于等于2个部位进行拍照，在显示装置中同时显示上述第1直线和从所取得的上述连接端子的坐标数据得到的第2直线，而且操作者可以一边观看在上述显示装置中显示的上述第1直线和上述第2直线，一边绕垂直轴移动上述接触部(发明28)。
优选地，在上述发明(发明28)中，在显示装置中显示上述第1直线的角度与上述第2直线的角度的差值(发明29)。
优选地，在上述发明(发明28)中，使上述接触部绕垂直轴移动，在上述第1直线的角度与上述第2直线的角度的差比既定值小时，变更在上述显示装置中显示的上述第1直线和/或上述第2直线的颜色(发明30)。
优选地，在上述发明(发明28)中，使上述接触部绕垂直轴移动，在上述第1直线的角度与上述第2直线的角度的差比既定值小时，发出通知音(发明31)。
优选地，在上述发明(发明28)中，在对上述接触部的连接端子进行拍照时，在上述连接端子与上述载带之间插入漫反射板(发明32)  。
(发明的效果)
根据本发明的TCP处理装置或连接端子的对位方法，可准确且容易地进行接触部的接触端子与TCP的外部端子的对位。
附图说明
图1是示出使用了根据本发明的一实施方式的TCP处理器的TCP测试装置的主视图。
图2是根据该实施方式的TCP处理器中的推动单元的侧视图。
图3是根据该实施方式的TCP处理器中的推动台的俯视图。
图4是根据该实施方式的TCP处理器中的探针卡台的俯视图。
图5是根据该实施方式的TCP处理器中的探针卡台的主视图。
图6A是示出根据该实施方式的TCP处理器的初始设定时的工作的流程图(其1)。
图6B是示出根据该实施方式的TCP处理器的初始设定时的工作的流程图(其2)。
图6C是示出根据该实施方式的TCP处理器的初始设定时的工作的流程图(其3)。
图7(a)～(g)是根据该实施方式的TCP处理器的初始设定时的监视器显示画面的概略图。
(符号的说明)
1TCP用的测试装置
2TCP处理器
3推动单元
4推动台
5载带
6b第2照相机(摄像装置)
7探针卡台
8探针卡
81探针(接触端子)
9显示装置
10测试头
11漫反射板
21卷出盘
22卷取盘
PTCP的测试焊盘(外部端子)
具体实施方式
以下，根据附图详细地说明本发明的实施方式。
图1是示出使用了根据本发明的一实施方式的TCP处理器的TCP测试装置的主视图，图2是根据该实施方式的TCP处理器中的推动单元的侧视图，图3是根据该实施方式的TCP处理器中的推动台的俯视图，图4是根据该实施方式的TCP处理器中的探针卡台的俯视图，图5是根据该实施方式的TCP处理器中的探针卡台的主视图。
首先，说明具备根据本发明的实施方式的TCP处理器的TCP用的测试装置的整体结构。TCP用的测试装置1由未图示的测试器主体、与测试器主体电连接的测试头10和在测试头10的上侧设置的TCP处理器2构成。
TCP处理器2将在载带5上形成的多个的各TCP依次交付测试，在本实施方式中，为了简化说明，假定将1个TCP交付测试。但是，本发明不限定于此，也可将在载带5上沿直线串行方向和/或并行方向排列的多个TCP同时交付测试。
TCP处理器2具备卷出盘21和卷取盘22，在卷出盘21中卷绕了测试前的载带5。载带5从卷出盘21卷出，并在交付了测试后被卷取在卷取盘22上。
在卷出盘21与卷取盘22之间设置有将从载带5剥离的保护带51从卷出盘21架设到卷取盘22的3个间隔辊23a、23b、23c。各间隔辊23a、23b、23c以能调整保护带51的张力的方式分别上下可动。
在卷出盘21的下侧设置有带引导板24a、卷出限制辊25a、内侧子链轮25b和内侧引导辊25c。从卷出盘21卷出的载带5一边被带引导板24a引导，一边经卷出限制辊25a、内侧子链轮25b和内侧引导辊25c运送到推动单元3上。
在卷取盘22的下侧设置有带导板24b、卷取限制辊25f、外侧子链轮25e和外侧引导辊25d。被交付测试后的载带5一边经外侧引导辊25d、外侧子链轮25e和卷取限制辊25f被带引导板24b引导，一边被卷取在卷取盘22上。
而且，在内侧引导辊25c与外侧引导辊25d之间设置有推动单元3。
如图1和图2中所示，在推动单元3的框(推动框)36中经托架361安装有可使滚珠丝杠32旋转的伺服马达31，并且经2根Z轴方向的线性运动导向件(以下称为“LM导向件”)37安装有与滚珠丝杠32螺合的推动主体部33。通过驱动伺服马达31，该推动主体部33可以一边被线性运动导向件37引导，一边在上下方向(Z轴方向)上移动。
在该推动主体部33的下端部设置有与负压源(省略图示)连接且可吸附保持载带5的吸附板34。
在推动主体部33的前级侧(图1中左侧)设置有张力链轮35a，在推动主体部33的后级侧(图1中右侧)设置有主链轮35b，形成以所希望的张力保持载带5的状态。
如图2和图3中所示，以被放置在基台38上的方式在推动框36中的推动主体部33的背面一侧设置有推动台4，将作为推动台4的旋转台的顶板(top table)48固定在推动框36上。
在推动台4的基座40上设置有使具有X轴方向上的轴的滚珠丝杠42a旋转的伺服马达41a、使具有Y轴方向上的轴的滚珠丝杠42b旋转的伺服马达41b和使具有Y轴方向上的轴的滚珠丝杠42c旋转的伺服马达41c，伺服马达41b和伺服马达41c分别位于基座40上的两端部。
被X轴方向的LM导向件43a、43a引导并在X轴方向上可滑动的滑动块44a螺合在滚珠丝杠42a上，滑动板46a以可以通过Y轴方向的LM导向件45a在Y轴方向滑动的方式安装在滑动块44a中。在滑动板46a的上侧固定有在内部具有滚动环的旋转构件47a，旋转构件47a可以自由旋转的方式安装在顶板48上。
被Y轴方向的LM导向件43b、43b引导并在Y轴方向上可滑动的滑动块44b螺合在滚珠丝杠42b上，滑动板46b可以通过X轴方向的LM导向件45b在X轴方向滑动的方式安装在滑动块44b中。在滑动板46b的上侧固定有在内部具有滚动环的旋转构件47b，旋转构件47b以可自由旋转的方式安装在顶板48上。
被Y轴方向的LM导向件43c、43c引导并在Y轴方向上可滑动的滑动块44c螺合在滚珠丝杠42c上，滑动板46c可以通过X轴方向的LM导向件45c在X轴方向滑动的方式安装在滑动块44c中。在滑动板46c的上侧固定有在内部具有滚动环的旋转构件47c，旋转构件47c以可自由旋转的方式安装在顶板48上。
在具有这样的结构的推动台4中，通过驱动伺服马达41a使滑动块44a、滑动板46b和滑动板46c在X轴方向上滑动，可使顶板48在X轴方向上移动。此外，通过驱动伺服马达41b和伺服马达41c使滑动块44b、滑动块44c和滑动块46a在Y轴相同方向上滑动，可使顶板48在Y轴方向上移动。进而，通过在驱动伺服马达41a使滑动块44a在X轴方向上滑动的同时驱动伺服马达41b和伺服马达41c使滑动块44b和滑动块44c在Y轴的彼此相反方向上滑动，而且使各旋转构件47a、47b、47c旋转，可使顶板48绕其垂直轴旋转。根据这样的推动台4，可使推动单元3在X轴-Y轴方向上移动且绕垂直轴旋转移动。
另一方面，如图1中所示，在推动单元3的下侧且在测试头10的上部设置有安装了探针卡8的探针卡台7。在此，探针卡台7有能用马达驱动机构进行移动控制的类型和只有手动调整功能的类型，但在本实施方式中，假定是具有马达驱动机构的类型。
如图4和图5中所示，在探针卡台7的基台71上设置有使在X轴方向上有轴的滚珠丝杠712旋转的伺服马达711和4个X轴方向的LM导向件713。在这些4个LM导向件713上设置有以在X轴方向上可滑动的方式被各LM导向件713引导的矩形的X基座72。在该X基座72的一个侧部上形成有与滚珠丝杠712螺合的螺合部721。
在X基座72上设置有使具有Y轴方向上的轴的滚珠丝杠723旋转的伺服马达722和2根Y轴方向的LM导向件724。在上述2根LM导向件724上设置有以在Y轴方向上可滑动的方式被各LM导向件724引导的矩形的Y基座73。在该Y基座73的一个侧部上形成有与滚珠丝杠723螺合的螺合部731。
在Y基座73上设置有使具有Y轴方向上的轴的滚珠丝杠733旋转的伺服马达732和以自由旋转的方式支持卡环735的连接环734。在卡环735的一部分中形成有与滚珠丝杠733螺合的螺合部736。利用4根销钉82将具备多个探针81的探针卡8以自由装卸的方式安装在卡环735上。
虽然在图4和图5中未示出，探针卡8的各探针81经测试头10与测试器主体电连接。
在具有这样的结构的探针卡台7中，通过驱动伺服马达711，可使X基座72、进而使探针卡8在X轴方向上移动，通过驱动伺服马达722，可使Y基座73、进而使探针卡8在Y轴方向上移动。此外，通过驱动伺服马达732使滚珠丝杠733旋转并使螺旋结合部736移动，可使卡环735和探针卡8绕其垂直轴旋转。再有，TCP处理器2具备能自动地控制伺服马达711、722、732的驱动的控制装置，由此，可使探针卡8自动地在X轴方向、Y轴方向和绕垂直轴移动。
如图1中所示，在推动单元3的前级侧(图1中左侧)设置有第1照相机6a，在测试头10的下侧设置有第2照相机(摄像装置)6b、在推动单元3的后级侧(图1中右侧)设置有第3照相机6c。再有，在测试头10中形成了使第2照相机6b能对探针卡8进行拍照的间隙。
在推动单元3与第3照相机6c之间设置有标记打孔器26a和废弃打孔器26b。标记打孔器26a根据测试的结果，在对应的TCP在既定的位置上开出1个或多个孔，废弃打孔器26b对测试结果被判断为不合格品的TCP进行冲孔。
各照相机6a、6b、6c以操作者可辨认的方式在显示装置9中显示利用这些照相机拍摄的图像。在这些照相机中，第1照相机6a和第3照相机6c用于判断在载带5上的TCP的有无或由标记打孔器26a开出的孔的位置和数目。然后，第2照相机6b用于取得TCP与探针卡8之间的位置偏移信息，形成可取得视野内的多个对象的位置偏移信息的状态。
第2照相机6b被安装在照相机台61上，可利用具有照相机台61的传动器在俯视图的纵横方向(X轴-Y轴方向)和上下方向(Z轴方向)上移动。通过第2照相机6b在俯视图的纵横方向(X轴-Y轴方向)上移动，第2照相机6b可对TCP的处于彼此较远的位置上的多个测试焊盘P和探针卡8的处于彼此较远的位置上的多个探针81进行拍照，因此，能以更良好的精度求出TCP与探针卡8的位置偏移量。此外，通过第2照相机6b在上下方向(Z轴方向)上移动，可变更第2照相机6b的焦点位置，以使焦点与作为摄像目标的测试焊盘P或探针81的期望部位重合。由此，可取得摄像目标部位的清晰的轮廓图像，能可靠地求出测试焊盘P或探针81的坐标数据。再有，第2照相机6b本身也可具备焦点调节功能，对第2照相机6b的焦点位置进行外部控制，并使焦点与作为摄像目标的测试焊盘P或探针81的希望部位重合。
而且，显示装置9具有图像处理部和显示第2照相机6b拍摄的图像的监视器。图像处理部具有在监视器中叠加地显示利用第2照相机6b拍摄的图像和既定的直线、文字等的单元。
在推动单元3与探针卡8之间，以在被吸附板34保持的载带5与探针卡8之间可以插入和拔出的方式设置有漫反射板11。在本实施方式中，漫反射板11可在X轴方向上往复移动。漫反射板11在其表面上形成有微细的凹凸，可扩散地反射来自照明光源(未图示)的光。因而，如果将漫反射板11插入到载带5与探针卡8之间，则可使探针81的背景成为均匀地亮或暗的状态，利用第2照相机6b可得到探针81的高对比度的图像。再有，也可不设置漫反射板11，变更照射光源的条件(照射光量、照射色、照射角度)，使对探针81的背景(测试焊盘)的识别变得更清晰。
其次，说明TCP处理器2的使用方法和工作。
在使用TCP处理器2的情况下，在使TCP处理器2实际工作之前，有必要预先进行使探针卡8移动的初始设定，以将探针卡8的全部的探针81定位到对应的测试焊盘P的中央位置。即，在变更了TCP的产品种类的情况或测试不同的生产批次的TCP的情况或变更探针卡8的情况下，必须决定并登录探针卡台7的X轴位置/Y轴位置/θ旋转角的基准位置，以使测试TCP的焊盘P与探针卡8的探针81接触(将该位置称为“登录位置”)。再有，由于推动台4在TCP的测试执行时使用，故在初始设定中假定仍为非控制状态。
图6A～图6C是示出上述TCP处理器2的初始设定的动作的流程图，图7(a)～(g)是上述TCP处理器2的初始设定时的监视器显示画面的概略图。
如果TCP处理器2开始初始设定的动作，则将作为基准的TCP运送到测试位置(步骤S01)，利用第2照相机6b对在TCP中位于多个测试焊盘P中的一个端部的多个测试焊盘P进行拍照(步骤S02)。TCP处理器2的图像处理部根据所拍摄的图像(第1图像)，取得在该第1图像中包含的多个测试焊盘P的中心部的各自的坐标数据(Xpd1，Ypd1)，同时在监视器中显示该第1图像(步骤S03，参照图7(a))。再有，将在本动作中得到的各坐标数据描绘在照相机台61的坐标系中。
其次，TCP处理器2利用照相机台61使第2照相机6b移动，利用第2照相机6b对在TCP中位于多个测试焊盘P中的另一个端部的多个测试焊盘P进行拍照(步骤S04)。TCP处理器2的图像处理部根据所拍摄的图像(第2图像)，取得在该第2图像中包含的多个测试焊盘P的中心部的各自的坐标数据(Xpd2，Ypd2)，同时在监视器中显示该第2图像(步骤S05)。
TCP处理器2的图像处理部根据所取得的坐标数据(Xpd1，Ypd1)和(Xpd2，Ypd2)，对通过第1图像中包含的测试焊盘P的中心部的位置坐标和第2图像中包含的测试焊盘P的中心部的位置坐标的直线(测试焊盘P的排列)与X轴方向的直线(图7中的水平线)的角度θpd进行运算(步骤S06)。然后，生成具有该角度θpd的第1直线L1，将第1直线L1与上述第2图像(现在的图像)重叠地叠加显示在监视器上(步骤S07，参照图7(b))。
其次，TCP处理器2在载带5与探针卡8之间插入漫反射板11(步骤S08)。然后，利用照相机台61使第2照相机6b移动，利用第2照相机6b对与在上述第1图像中包含的多个测试焊盘P对应的多个探针81进行拍照(步骤S09)。TCP处理器2的图像处理部根据所拍摄的图像(第3图像)，取得在该第3图像中包含的多个探针81的前端部的各自的坐标数据(Xpb1，Ypb1)，同时在监视器中显示该第3图像(步骤S10，参照图7(c))。在此，由于探针81的背景是漫反射板11，故可得到高对比度的探针81的图像。因而，能以良好的精度取得探针81的坐标数据，能更准确地进行TCP的测试焊盘P与探针卡8的探针81的对位。
TCP处理器2利用照相机台61使第2照相机6b移动，利用第2照相机6b对与在上述第2图像中包含的多个测试焊盘P对应的多个探针81进行拍照(步骤S11)。TCP处理器2的图像处理部根据所拍摄的图像(第4图像)，取得在该第4图像中包含的多个探针81的前端部的各自的坐标数据(Xpb2，Ypb2)，同时在监视器中显示该第4图像(步骤S12)。
TCP处理器2的图像处理部根据所取得的坐标数据(Xpb1，Ypb1)和(Xpb2，Ypb2)，对通过第3图像中包含的探针81的前端部的位置坐标和第4图像中包含的探针81的前端部的位置坐标的直线(探针81的排列)与X轴方向的直线(图7中的水平线)的角度θpb进行运算(步骤S13)。然后，生成具有该角度θpb的第2直线L2，将第1直线L1和第2直线L2与上述第4图像(现在图像)重叠地叠加显示在监视器上(步骤S14，参照图7(d))。这样，通过在监视器上显示第1直线L1和第2直线L2，可视觉确认绕垂直轴的位置偏移量。
其次，TCP处理器2对在步骤S06、S13中得到的第1直线L1的角度θpd和第2直线L2的角度θpb的差分值Δθ进行运算(步骤S15)。然后，在所得到的差分值Δθ的绝对值比既定值D大的情况下(步骤S16，是)，TCP处理器2根据差分值Δθ使探针卡台7旋转移动(步骤S17)，在差分值Δθ的绝对值小于等于既定值D的情况下(步骤S18，是)，停止探针卡台7的旋转移动(步骤S19)，变更第2直线L2的颜色(步骤S20，参照图7(e))。另一方面，在步骤S16中，在差分值Δθ的绝对值小于等于既定值D的情况下(步骤S16，否)，不使探针卡台7旋转移动，直接变更第2直线L2的颜色(步骤S20)。这样，通过变更第2直线L2的颜色，可在监视器上视觉确认测试焊盘P与探针81的绕垂直轴的位置偏移已被校正的情况。
其次，TCP处理器2利用照相机台61使第2照相机6b移动，利用第2照相机6b对与在上述第1图像中包含的多个测试焊盘P对应的多个探针81再次进行拍照(步骤S21)。由此，即使是在步骤S17中探针卡8绕垂直轴移动而使作为目的的探针81偏离第2照相机6b的视野的情况，也能再次进行拍照。TCP处理器2的图像处理部根据所拍摄的图像(第5图像)，取得在该第5图像中包含的多个探针81的前端部的各自的坐标数据(Xpb3，Ypb3)，同时将该第5图像与上述第1图像重叠地叠加显示在监视器中(步骤S22，参照图7(f))。
同样，TCP处理器2利用照相机台61使第2照相机6b移动，利用第2照相机6b对与在上述第2图像中包含的多个测试焊盘P对应的多个探针81再次进行拍照(步骤S23)。TCP处理器2的图像处理部根据所拍摄的图像(第6图像)，取得在该第6图像中包含的多个探针81的前端部的各自的坐标数据(Xpb4，Ypb4)，同时将该第6图像与上述第2图像重叠地叠加显示在监视器中(步骤S24，参照图7(f))。
接着，TCP处理器2根据测试焊盘P的2个部位的坐标数据(Xpd1，Ypd1)和(Xpd2，Ypd2)以及探针81的2个部位的坐标数据(Xpb3，Ypb3)和(Xpb4，Ypb4)，对测试焊盘P和探针81的X分量以及Y分量的差分值ΔX、ΔY进行运算(步骤S26)。然后，在所得到的ΔX、ΔY的绝对值比既定值P大的情况下(步骤S26，是)，TCP处理器2根据差分值ΔX、ΔY使探针卡台7在X轴方向和/或Y轴方向上移动(步骤S27)；在差分值ΔX、ΔY的绝对值小于等于既定值P的情况下(步骤S28，是)，停止探针卡台7的移动(步骤S29，参照图7(g))，登录探针卡台7的该位置(步骤S30)。另一方面，在步骤S26中的差分值ΔX、ΔY的绝对值小于等于既定值P的情况下(步骤S26，否)，不移动探针卡台7，并登录该位置(步骤S30)。
最后，TCP处理器2将漫反射板11从载带5与探针卡8之间退出(步骤S31)，结束初始设定。
如上所述，利用根据本实施方式的TCP处理器2，可自动地进行TCP的测试焊盘P与探针卡8的探针81的对位，因而，可准确且容易地进行该对位。特别是在本实施方式中，通过分别依次进行绕垂直轴的对位和X轴方向、Y轴方向的对位，能更准确地进行TCP的测试焊盘P与探针卡8的探针81的对位。
其次，作为本发明的另一实施方式，说明通过手动操作进行关于TCP的测试焊盘P与探针卡8的探针81的对位的初始设定的TCP处理器。
根据本实施方式的TCP处理器具有与上述TCP处理器2大致同样的结构，但作为探针卡台7的驱动源的伺服马达711、722、732也可是通过操作者的操作来驱动的，或省略伺服马达711、722、732而通过操作操作杆等来使探针卡台7工作的。
在根据本实施方式的TCP处理器的初始设定的工作中，与上述同样地执行步骤S01～S15。在TCP处理器对第1直线L1的角度θpd和第2直线L2的角度θpb的差分值Δθ进行运算的期间内(步骤S15)，操作者一边观看在监视器中显示的第1直线L1和第2直线L2(参照图7(d))，一边通过手动操作使探针卡台7旋转移动。
然后，TCP处理器在差分值Δθ的绝对值小于等于既定值D的情况下(步骤S101，是)，变更第2直线L2的颜色(步骤S102，参照图7(e))。操作者确认该变更，停止探针卡台7的旋转移动。TCP处理器在步骤S102之后，将漫反射板11从载带5与探针卡8之间退出(步骤S103)。
如上所述，操作者可一边观看在监视器中显示的第1直线L1和第2直线L2，一边使探针卡8绕垂直轴移动所希望的角度，同时利用第2直线L2的颜色的变更确认探针卡8的绕垂直轴的位置偏移的校正已结束，因此，能准确且容易、进而迅速地进行TCP的测试焊盘P与探针卡8的探针81的绕垂直轴的对位。
用手动操作进行的X轴方向和/或Y轴方向的位置偏移的校正用与以往同样的方法来进行即可。具体地说，移动推动单元3直到可利用第2照相机6b清晰地识别TCP和探针81的高度。操作者一边观看显示了测试焊盘P和探针81的监视器，一边通过手动操作在X轴方向和/或Y轴方向上移动探针卡台7，并确认TCP的全部的测试焊盘P是否都能与探针卡8的探针81接触。登录这样地设定的探针卡台7的位置(步骤S104)，结束初始设定。
以上说明的实施方式是为了使本发明的理解变得容易而记载的，不是为了限定本发明而记载的。因而，上述实施方式中公开的各要素包含属于本发明的技术范围的所有设计变更或同等物。
例如，在上述实施方式中，在步骤S14～S20或S102中，也可以与第1直线L1和第2直线L2一起，或代替第1直线L1和第2直线L2，而在监视器中对第1直线L1的角度θpd和第2直线L2的角度θpb进行数值显示，或对两直线间的相对的角度(例如，在以第1直线L1为基准时第2直线L2相对于该第1直线L1的角度)进行数值显示(参照图7(d)、(e))。通过这样，能通过数值来视觉确认TCP与探针卡8的位置偏移量。
为了通过手动操作进行TCP的测试焊盘P与探针卡8的探针81的绕垂直轴的对位，在监视器中对第1直线L1的角度θpd和第2直线L2的角度θpb进行数值显示的情况下，以使第2直线L2的角度θpb的值接近于第1直线L1的角度θpd的值的方式使探针卡台7旋转移动即可，在对两直线间的相对的角度进行数值显示的情况下，以使该角度值接近于0度的方式使探针卡台7旋转移动即可。
再者，在步骤S14～S20或S102中，也可在监视器中对第1直线L1和第2直线L2的中央部或两端部的坐标值进行数值显示，也可在监视器中对两直线间的相对的坐标值(例如，在将第1直线L1定为基准时的第2直线L2的中央部或两端部相对于该第1直线L1的中央部或两端部的坐标值)进行数值显示，通过这样，能通过数值来视觉确认TCP与探针卡8的位置偏移量。
此外，在步骤S17或通过手动操作进行的探针卡台7的旋转移动中，也可以根据第1直线L1的角度θpd与第2直线L2的角度θpb的差分值Δθ的大小，发出依次变更为既定的脉冲间隔的脉冲音、既定的频率的音或既定的音色的音，使操作者可通过听觉容易地识别对位状态。
此外，在步骤S20或S102中，在第1直线L1的角度θpd和第2直线L2的角度θpb的差分值Δθ小于等于既定值D时，为了通知绕垂直轴的对位的结束，可在监视器上显示消息，或在TCP处理器2中设置外部点亮装置来对该外部点亮装置进行点亮显示。通过这样发出报警信号，操作者可确认绕垂直轴的对位已结束。
再者，在上述实施方式中，分别进行了TCP和探针卡8的绕垂直轴的对位和平面方向的对位，但本发明不限定于此，也可同时进行这两者。具体地说，也可根据在步骤S03、S05中取得的测试焊盘P的坐标数据(Xpd1，Ypd1)和(Xpd2，Ypd2)以及在步骤S09、S11中取得的探针81的坐标数据(Xpb1，Ypb1)和(Xpb2，Ypb2)，求出绕垂直轴的位置偏移量以及X轴方向和Y轴方向的位置偏移量，根据各自的位置偏移量使探针卡台7绕垂直轴/在X轴方向/Y轴方向上移动，以进行测试焊盘P与探针81的对位。由此，可进一步缩短TCP与探针卡8的位置偏移校正的操作时间。
产业上利用的可能性
对在TCP处理装置的初始设定时准确且容易地进行接触部的接触端子与TCP的外部端子的对位操作而言，本发明是极为有用的。

Claims (32)

1.一种TCP处理装置，通过运送形成有多个TCP的载带，将载带按压到与测试头电连接的接触部的多个连接端子上，并使TCP的外部端子与上述连接端子连接，可将多个TCP依次交付测试，其特征在于：
具备：可使备有上述多个连接端子的接触部在其平面方向上和绕垂直轴移动的移动装置、以及可对被测试TCP的外部端子和上述连接端子进行拍照的摄像装置，
利用上述摄像装置对被测试TCP的外部端子进行拍照以取得该外部端子的坐标数据，同时对上述连接端子进行拍照以取得该连接端子的坐标数据，
根据上述外部端子的坐标数据和上述连接端子的坐标数据求出上述外部端子与上述连接端子的位置偏移量，
根据上述位置偏移量利用上述移动装置使上述接触部移动，并进行上述连接端子相对于被测试TCP的外部端子的对位。
2.如权利要求1中所述的TCP处理装置，其特征在于：
第1，取得上述外部端子的坐标数据和上述连接端子的坐标数据，求出上述外部端子与上述连接端子的绕垂直轴的位置偏移量，根据该绕垂直轴的位置偏移量，利用上述移动装置使上述接触部绕垂直轴移动，
第2，再次取得上述连接端子的坐标数据，求出上述外部端子与上述连接端子的平面方向的位置偏移量，并根据该平面方向的位置偏移量，利用上述移动装置使上述接触部在平面方向上移动。
3.如权利要求1中所述的TCP处理装置，其特征在于：
根据从上述外部端子的大于等于2个部位的坐标数据得到的第1直线的角度和从上述连接端子的大于等于2个部位的坐标数据得到的第2直线的角度的差，求出上述外部端子与上述连接端子的绕垂直轴的位置偏移量。
4.如权利要求3中所述的TCP处理装置，其特征在于：
上述TCP处理装置还具备显示装置，
能够在上述显示装置中显示上述第1直线和/或第2直线。
5.如权利要求4中所述的TCP处理装置，其特征在于：
能够将上述第1直线与用上述摄像装置拍摄的上述外部端子的图像重叠地叠加显示在上述显示装置中。
6.如权利要求4中所述的TCP处理装置，其特征在于：
能够将上述第2直线与用上述摄像装置拍摄的上述连接端子的图像重叠地叠加显示在上述显示装置中。
7.如权利要求4中所述的TCP处理装置，其特征在于：
能够在上述显示装置中显示上述第1直线的角度与上述第2直线的角度的差的值。
8.如权利要求4中所述的TCP处理装置，其特征在于：
使上述接触部绕垂直轴移动，在上述第1直线的角度与上述第2直线的角度的差比既定值小时，变更在上述显示装置中显示的上述第1直线和/或上述第2直线的颜色。
9.如权利要求4中所述的TCP处理装置，其特征在于：
使上述接触部绕垂直轴移动，在上述第1直线的角度与上述第2直线的角度的差比既定值小时，发出通知音。
10.如权利要求3中所述的TCP处理装置，其特征在于：
上述TCP处理装置还具备可使上述摄像装置移动的摄像装置移动装置，
上述摄像装置通过利用上述摄像装置移动装置的移动对上述外部端子的大于等于2个部位和上述连接端子的大于等于2个部位进行拍照。
11.如权利要求1中所述的TCP处理装置，其特征在于：
上述TCP处理装置还具备可移动的漫反射板，
在对上述接触部的连接端子进行拍照时，在上述连接端子与上述载带之间插入上述漫反射板。
12.一种TCP处理装置，通过运送形成有多个TCP的载带，将载带按压到与测试头电连接的接触部的多个连接端子上，并使TCP的外部端子与上述连接端子连接，可将多个TCP依次交付测试，其特征在于：
具备：可对被测试TCP的外部端子和上述连接端子进行拍照的摄像装置、和显示装置，
具备上述多个连接端子的接触部可在其平面方向上和绕垂直轴移动，
能够在上述显示装置中显示根据利用上述摄像装置对被测试TCP的外部端子的大于等于2个部位进行拍照而取得的上述外部端子的坐标数据得到的第1直线、和/或根据利用上述摄像装置对上述连接端子的大于等于2个部位进行拍照而取得的上述连接端子的坐标数据得到的第2直线。
13.如权利要求12中所述的TCP处理装置，其特征在于：
能够将上述第1直线与用上述摄像装置拍摄的上述外部端子的图像重叠地叠加显示在上述显示装置中。
14.如权利要求12中所述的TCP处理装置，其特征在于：
能够将上述第2直线与用上述摄像装置拍摄的上述连接端子的图像重叠地叠加显示在上述显示装置中。
15.如权利要求12中所述的TCP处理装置，其特征在于：
还能够在上述显示装置中显示上述第1直线和/或上述第2直线的倾斜角度和/或既定的点的坐标数值。
16.如权利要求12中所述的TCP处理装置，其特征在于：
能够在上述显示装置中显示上述第1直线的角度与上述第2直线的角度的差的值。
17.如权利要求12中所述的TCP处理装置，其特征在于：
使上述接触部绕垂直轴移动，在上述第1直线的角度与上述第2直线的角度的差比既定值小时，变更在上述显示装置中显示的上述第1直线和/或上述第2直线的颜色。
18.如权利要求12中所述的TCP处理装置，其特征在于：
使上述接触部绕垂直轴移动，在上述第1直线的角度与上述第2直线的角度的差比既定值小时，发出通知音。
19.如权利要求12中所述的TCP处理装置，其特征在于：
上述TCP处理装置还具备可使上述摄像装置移动的摄像装置移动装置，
上述摄像装置通过利用上述摄像装置移动装置的移动对上述外部端子的大于等于2个部位和上述连接端子的大于等于2个部位进行拍照。
20.如权利要求12中所述的TCP处理装置，其特征在于：
上述TCP处理装置还具备可移动的漫反射板，
在对上述接触部的连接端子进行拍照时，在上述连接端子与上述载带之间插入上述漫反射板。
21.一种TCP处理装置中的连接端子的对位方法，该TCP处理装置通过运送形成有多个TCP的载带，将载带按压到与测试头电连接的接触部的多个连接端子上，并使TCP的外部端子与上述连接端子连接，可将多个TCP依次交付测试，其特征在于：
第1，取得上述外部端子的坐标数据和上述连接端子的坐标数据，求出上述外部端子与上述连接端子的绕垂直轴的位置偏移量，根据该绕垂直轴的位置偏移量，使上述接触部绕垂直轴移动，
第2，再次取得上述连接端子的坐标数据，求出上述外部端子与上述连接端子的平面方向的位置偏移量，根据该平面方向的位置偏移量，使上述接触部在平面方向上移动。
22.一种TCP处理装置中的连接端子的对位方法，该TCP处理装置通过运送形成有多个TCP的载带，将载带按压到与测试头电连接的接触部的多个连接端子上，并使TCP的外部端子与上述连接端子连接，可将多个TCP依次交付测试，其特征在于：
取得上述外部端子的坐标数据和上述连接端子的坐标数据，求出上述外部端子与上述连接端子的绕垂直轴的位置偏移量和平面方向的位置偏移量，根据这些位置偏移量使上述接触部绕垂直轴和/或在平面方向上移动。
23.如权利要求21或22中所述的连接端子的对位方法，其特征在于：
根据从上述外部端子的大于等于2个部位的坐标数据得到的第1直线的角度与从上述连接端子的大于等于2个部位的坐标数据得到的第2直线的角度的差，求出上述外部端子与上述连接端子的绕垂直轴的位置偏移量。
24.如权利要求23中所述的连接端子的对位方法，其特征在于：
在显示装置中显示上述第1直线的角度与上述第2直线的角度的差的值。
25.如权利要求23中所述的连接端子的对位方法，其特征在于：
在显示装置中显示上述第1直线和上述第2直线，使上述接触部绕垂直轴移动，在上述第1直线的角度与上述第2直线的角度的差比既定值小时，变更在上述显示装置中显示的上述第1直线和/或上述第2直线的颜色。
26.如权利要求23中所述的连接端子的对位方法，其特征在于：
使上述接触部绕垂直轴移动，在上述第1直线的角度与上述第2直线的角度的差比既定值小时，发出通知音。
27.如权利要求21或22中所述的连接端子的对位方法，其特征在于：
在对上述接触部的连接端子进行拍照时，在上述连接端子与上述载带之间插入漫反射板。
28.一种TCP处理装置中的连接端子的对位方法，该TCP处理装置通过运送形成有多个TCP的载带，将载带按压到与测试头电连接的接触部的多个连接端子上，并使TCP的外部端子与上述连接端子连接，可将多个TCP依次交付测试，其特征在于：
利用摄像装置对被测试TCP的外部端子的大于等于2个部位进行拍照，并在显示装置中显示根据所取得的上述外部端子的坐标数据得到的第1直线，
利用摄像装置对上述连接端子的大于等于2个部位进行拍照，并将根据所取得的上述连接端子的坐标数据得到的第2直线与上述第1直线一起显示在显示装置中，并且
操作者可以一边观看在上述显示装置中显示的上述第1直线和上述第2直线，一边使上述接触部绕垂直轴移动。
29.如权利要求28中所述的连接端子的对位方法，其特征在于：
在显示装置中显示上述第1直线的角度与上述第2直线的角度的差的值。
30.如权利要求28中所述的连接端子的对位方法，其特征在于：
使上述接触部绕垂直轴移动，在上述第1直线的角度与上述第2直线的角度的差比既定值小时，变更在上述显示装置中显示的上述第1直线和/或上述第2直线的颜色。
31.如权利要求28中所述的连接端子的对位方法，其特征在于：
使上述接触部绕垂直轴移动，在上述第1直线的角度与上述第2直线的角度的差比既定值小时，发出通知音。
32.如权利要求28中所述的连接端子的对位方法，其特征在于：
在对上述接触部的连接端子进行拍照时，在上述连接端子与上述载带之间插入漫反射板。
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