KR20080040017A - Ｔｃｐ 핸들링 장치 - Google Patents

Abstract

TCP 핸들러(2)에서 최초로 제공된 시험에서 불량 판정을 받은 TCP를, 불량 판정을 받은 때에 외부단자를 접촉시킨 프로브(81)와는 다른 별도의 프로브(81)에 접촉시켜서 재시험에 제공하도록 하면, 재시험에 의해 양품을 검출할 수 있어 TCP의 수율이 향상되고 또한 TCP 핸들러(2)를 정지시키지 않고 자동적으로 재시험을 수행할 수 있기 때문에 시험의 처리율이 향상된다.

TCP 핸들링 장치

Description

ＴＣＰ 핸들링 장치{TCP HANDLING APPARATUS}

본 발명은 IC 디바이스의 일종인 TCP(Tape Carrier Package)나 COF(Chip On Film)(이하, TCP, COF, 기타 TAB(Tape Automated Bonding) 실장기술에 의해 제조된 디바이스를 종합하여「TCP」라 한다.)를 시험하는데 사용되는 TCP 핸들링 장치에 관한 것이다.

IC 디바이스 등의 전자부품의 제조 과정에서는 최종적으로 제조된 IC 디바이스나 그 중간 단계에 있는 디바이스 등의 성능이나 기능을 시험하는 전자부품 시험장치가 필요하고, TCP의 경우에는 TCP용 시험장치가 사용된다.

TCP용 시험장치는 일반적으로 테스터 본체와, 테스트 헤드와, TCP 핸들링 장치(이하, 「TCP 핸들러」라고 하는 경우가 있다.)로 구성된다. 이 TCP 핸들러는 테이프(필름의 개념도 포함하는 것으로 한다. 이하 동일.) 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송하여, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 프로브 카드의 프로브에 캐리어 테이프를 압압하여, TCP의 외부단자를 프로브에 콘택트시킴으로써 복수의 TCP를 순차 시험에 제공하는 기능을 구비하고 있다.

그리고, 시험에서 TCP에 필요한 성능이나 기능이 확인되면 패스 판정(양품 판정)을 받는 한편, 확인할 수 없는 경우에는 페일 판정(불량 판정)을 받는다. 단, 페일 판정은 TCP 자체가 불량품인 경우 이외에 프로브 카드에 대한 TCP의 위치결정이 정확하지 않은 경우에 따른 불량 발생도 있고, 또한 콘택트 상태에서의 접촉 저항이 큰 경우에 따른 불량 발생도 있다. 위치결정 불량 등을 원인으로 페일 판정을 받은 TCP 중에는 양품이 포함되어 있기 때문에 재시험을 수행하여 양품을 찾아 회수할 수 있다면 TCP의 수율을 향상시킬 수 있다.

여기에서, 캐리어 테이프에는 각 TCP마다에 위치결정용 마크(얼라인먼트 마크)가 일개소 또는 복수 개소 부여되어 있고, 상기 얼라이먼트 마크를 기준으로 하여 위치결정이 수행된다. 즉, 프로브 카드에 대한 TCP의 위치를, 카메라 등을 사용하여 얼라인먼트 마크를 기준으로 하여 확인하는 동시에 필요에 따라 위치 어긋남을 보정하거나 하고 있지만 이것으로도 위치결정 불량을 원인으로 페일 판정을 받는 경우가 있다.

또한, 프로브 카드에 설치되어 있는 다수의 프로브 핀은 수십만회의 시험에 의해 TCP의 외부단자에 콘택트되는 선단부의 위치가 당초의 상태로부터 변경되어 불량이 발생된다. 이에 따라 페일 판정을 받는 경우가 있다. 또한, 프로브 핀의 선단에는 이물질이 부착되거나 프로브 핀의 선단에서의 접촉 저항이 증가하거나 하여 콘택트 상태가 불안정한 상태가 됨으로써 페일 판정을 받는 경우가 있다. 또한, 캐리어 테이프의 종류나 캐리어 테이프면의 반사조건에 따라서는 카메라에 의해 얼라인먼트 마크의 윤곽이 명료하게 검출될 수 없는 경우도 있다.

TCP가 페일 판정을 받은 경우, 작업자가 시험장치를 일단 정지시켜 페일 판정을 받은 TCP의 외부단자와 프로브의 위치관계를 확인하여 그 위치관계가 적정하 지 않은 경우에는 양자가 확실하게 접촉하도록 수작업으로 위치맞춤을 수행한 후 재시험을 수행한다. 그리고, 재시험으로 패스 판정을 받은 TCP를 양품으로 한다. 이와 같은 작업자에 의한 확인작업에 의해 TCP의 수율이 항상될 수 있지만, 시험장치의 정지시간이 길어지기 때문에 시험의 처리율이 저하되는 난점이 있다.

그런데, 동시에 2개 이상의 TCP의 시험을 수행할 수 있는, 프로브 카드와 테스트 헤드를 구비한 TCP용 시험장치가 있다. 이와 같이 동시에 2개 이상의 TCP의 시험을 수행함으로써 시험의 처리율을 향상시킬 수 있다.

그러나, 동시에 시험을 수행하는 TCP의 수를 복수로 하면 일괄하여 콘택트할 영역이 넓어진다. 특히, 일층의 다핀화 및 협피치화가 증진되는 TCP의 시험에서는 동시에 시험에 제공하는 모든 TCP의 위치결정을 정확하게 수행하는 것은 용이하지 않다. 복수개의 TCP를 동시에 시험하면 위치결정 불량을 원인으로 양품의 TCP가 페일 판정을 받는 빈도가 증가한다. 페일 판정을 받는 빈도가 증가하면 시험장치를 일시 정지시켜서 작업자가 확인하거나 수작업에 의해 위치맞춤을 수행하는 빈도가 높아져서 그 정도로 시험의 처리율이 저하된다. 결국, 동시에 시험에 제공하는 TCP의 수를 늘리거나 하여 처리율을 향상시키도록 하여도 그에 따른 시험장치의 일시 정지 빈도도 증가하기 때문에 시험장치의 가동시간이 저하되어 반드시 충분한 처리율 향상 효과가 얻어지지 는 않는다.

본 발명은 이와 같은 실상에 비추어 이루어진 것으로서, 각 회의 시험에서 동시에 2개 이상의 TCP를 시험에 제공할 수 있는 TCP 핸들링 장치에 대하여, 시험의 처리율이 보다 향상 가능한 TCP 핸들링 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 첫번째로 본 발명은 동시에 시험하는 복수의 TCP에 대응하는 프로브 카드를 적용하여, 캐리어 테이프 상의 복수의 TCP 외부단자와, 프로브 카드의 접촉단자를 전기적으로 접촉시킴으로써 복수의 TCP를 동시에 시험에 제공할 수 있는 TCP 핸들링 장치로서, 최초의 시험에서 복수의 TCP를 동시에 시험하여, 상기 동시 시험에서 불량 판정을 받은 불량 판정 TCP를, 해당 불량 판정 TCP가 접촉한 접촉단자와는 다른 별도의 접촉단자의 위치로 이동시킨 후 다시 시험에 제공하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치를 제공한다(발명 1).

상기 발명(발명 1)에 따르면, 불량 판정을 받은 TCP를, TCP 핸들링 장치를 정지시키지 않고 자동적으로 재시험에 제공할 수 있다. 즉, TCP가 실제로는 양품인것에 관계없이 각종 원인에 의해 불량 판정을 받는 경우가 있지만, 상기 발명(발명 1)에 따르면, 재시험에 의해 양품이라고 판정될 수 있는 경우가 있어, 디바이스 제조의 수율이 향상된다. 또한, 상기 발명(발명 1)에 따르면, TCP 핸들링 장치를 정지시키지 않고 자동적으로 재시험을 수행할 수 있기 때문에 시험의 처리율이 향상된다.

한편, 여기에서 말하는 재시험은 최초 시험의 다음에 수행되는 2회째의 시험만은 아니고 다른 접촉단자군을 사용할 수 있는 한, 3회째 이후의 시험도 포함된다. 예컨대, 접촉단자군이 3개인 경우, 재시험을 2회 수행할 수 있는 것이 된다.

상기 발명(발명 1)에서는, 캐리어 테이프의 반송 방향에 대하여 직렬로 늘어선 복수의 TCP, 캐리어 테이프의 반송 방향에 대하여 병렬로 늘어선 복수의 TCP, 또는 캐리어 테이프의 반송 방향에 대하여 직렬로 늘어선 복수의 TCP 및 반송 방향에 대하여 병렬로 늘어선 복수의 TCP를 동시에 시험에 제공하도록 하여도 좋다(발명 2).

상기 발명(발명 1)에서, 캐리어 테이프에는 각 TCP마다에 각 TCP의 위치를 특정하는 위치결정용 얼라인먼트 마크가 설치되어 있고, 동시에 시험에 제공되는 복수의 TCP의 외부단자와 대응하는 접촉단자의 위치결정은 적어도 하나의 상기 얼라인먼트 마크에 기초하여 수행하도록 하여도 좋다(발명 3). 이러한 TCP 핸들링 장치에 따르면, 캐리어 테이프의 위치결정을 단시간에 수행할 수 있고, 또한 본 발명의 효과는 이러한 TCP 핸들링 장치에서 현저하게 나타난다.

상기 발명(발명 1)에서는, 상기 불량 판정 TCP를 다시 시험에 제공할 때에 상기 불량 판정 TCP와 함께 압압되는 미검사 TCP를 동시에 시험에 제공하여도 좋다(발명 4).

예컨대, 시험을 수행한 때에 한개의 TCP가 불량 판정을 받은 경우, 다음의 시험에서 재시험에 제공되는 TCP는 한개이다. 따라서, 콘택트부에서 TCP에 콘택트시킬 수 있는 포지션이 예컨대 두개라면 재시험에 제공되는 TCP 이외에 재시험의 대상이 아닌 TCP도 콘택트부에 콘택트되는 것이 된다. 이때, 시험에 한번도 제공되지 않은 TCP가 콘택트부에 콘택트되는 경우가 있지만, 재시험시에 상기 TCP를 최초의 시험에 제공하도록 하면 재시험을 수행함과 동시에 최초의 시험도 수행할 수 있어 시험의 처리율이 더욱 향상된다.

상기 발명(발명 1)에서는, 상기 불량 판정 TCP를 다시 시험에 제공할 때에 상기 불량 판정 TCP와 함께 압압되는 검사 종료된 TCP를 시험의 실행으로부터 제외하는 것이 바람직하다(발명 5).

상기 발명(발명 1)에서는, 상기 동시 시험에서 불량 판정을 받은 불량 판정 TCP에 대하여 해당 불량 판정 TCP가 접촉한 접촉단자에 의해 적어도 1회의 재시험을 수행하는 것이 바람직하다(발명 6). 이러한 재시험에 의해, 간단하게 양품 판정을 받는 경우가 있고, 이 경우에는 TCP의 포지션 변경 동작을 수행할 필요가 없어 시험의 처리율을 보다 향상시킬 수 있다.

상기 발명(발명 1)에서는, 상기 불량 판정 TCP의 외부단자와 해당 외부단자에 접촉하는 접촉단자의 압압 조건을 변경하여 상기 재시험을 수행하도록 하여도 좋다(발명 7). 이러한 재시험에 의해, 간단하게 양품 판정을 받는 경우가 있고, 이 경우에는 TCP의 포지션 변경 동작을 수행할 필요가 없어 시험의 처리율을 보다 향상시킬 수 있다.

상기 발명(발명 7)에서는, 상기 불량 판정 TCP의 외부단자와 해당 외부단자에 접촉하는 접촉단자의 접촉 저항을 측정하여, 허용 가능한 접촉 저항치를 초과하는 것이 검출된 경우에 상기 압압 조건을 변경하여 상기 재시험을 수행하여도 좋다(발명 8). 이러한 재시험에 의해, 간단하게 양품 판정을 받는 경우가 있고, 이 경우에는 TCP의 포지션 변경 동작을 수행할 필요가 없어 시험의 처리율을 보다 향상시킬 수 있다.

상기 발명(발명 1)에서는, TCP의 외부단자와 해당 외부단자에 접촉하는 접촉단자의 전기적 접촉 상태를 검출하는 콘택트 체크 기능을 이용하여, 어떠한 접촉단자의 접촉 불량이 검출되기까지 프로브 카드를 이동시키는 프로브 카드 스테이지를 X축 방향 및/또는 Y축 방향으로 미동시켜 이동 가능 영역을 구하고, 상기 이동 가능 영역에서의 중앙 위치를 특정하고, 상기 특정한 중앙 위치에 기초하여 TCP의 위치결정을 수행하도록 하여도 좋다(발명 9). 이러한 발명에 따르면, 접촉단자의 최적의 위치결정을 수행할 수 있기 때문에 불량 판정을 받는 발생 빈도가 저감하여 수율과 시험의 처리율이 향상된다.

상기 발명(발명 1)에서는, 상기 TCP 핸들링 장치는 복수의 TCP를 동시에 흡착하여 상기 접촉단자로 압압하는 흡착·압압부재를 구비하고 있고, 상기 흡착·압압부재는 동시에 시험하는 TCP의 배열에 대응하여 적어도 2분할되어 있고, 상기 분할된 흡착·압압부재는 동시에 시험하는 TCP의 피치에 대응할 수 있도록 서로의 간격이 조정 가능하게 되어 있어도 좋다(발명 10). 이러한 발명에 따르면, 복수의 TCP 사이의 피치를 대응하는 접촉단자군의 피치에 일치시키는 조정을 수행할 수 있다.

두번째로 본 발명은, 복수의 TCP를 동시에 시험에 제공할 수 있는 TCP 핸들링 장치로서, 최초의 시험에서 복수의 TCP를 동시에 시험하여, 상기 동시 시험에서 불량 판정을 받은 불량 판정 TCP를, 해당 불량 판정 TCP가 접촉한 프로브 카드의 접촉단자와는 다른 별도의 접촉단자를 적용하여 다시 시험에 제공하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치를 제공한다(발명 11).

상기 발명(발명 11)에 따르면, 불량 판정을 받은 TCP를, TCP 핸들링 장치를 정지시키지 않고 자동적으로 재시험에 제공할 수 있다. 따라서, 디바이스 제조의 수율이 향상되는 동시에 TCP 핸들링 장치를 정지시킬 필요가 없어 시험의 처리율이 향상된다.

본 발명의 TCP 핸들링 장치에 따르면, 동시에 2개 이상의 TCP를 시험하기에 적합하여, 디바이스 제조의 수율과 동시에 시험의 처리율을 향상시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 TCP 핸들러를 포함하는 TCP용 시험장치의 전체 정면도.

도 2는 도 1의 TCP용 시험장치에서의 프로브 카드 스테이지의 평면도.

도 3은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 TCP 핸들러의 동작을 나타내는 플로우 차트도.

도 4는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 TCP 핸들러의 재시험시의 동작을 나타내는 플로우 차트도.

도 5는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 TCP 핸들러의 재시험시의 다른 태양의 동작을 나타내는 플로우 차트도.

부호의 설명

1…TCP용 시험장치

2…TCP 핸들러

3…푸셔 유니트

5…캐리어 테이프

7…프로브 카드 스테이지

8…프로브 카드

10…테스트 헤드

21…권출릴

22…권취릴

81…프로브(접촉단자)

이하, 본 발명의 실시 형태를 도면에 기초하여 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 TCP 핸들러를 포함하는 TCP용 시험장치의 전체 정면도이고, 도 2는 프로브 카드 스테이지의 평면도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 TCP 핸들러의 동작을 나타내는 플로우 차트도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 TCP 핸들러의 재시험시의 동작을 나타내는 플로우 차트도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 TCP 핸들러의 재시험시의 다른 태양의 동작을 나타내는 플로우 차트도이다.

우선, 본 발명의 실시 형태에 따른 핸들러를 구비한 TCP용 시험장치의 전체 구성에 대하여 설명한다.

도 1에 도시한 바와 같이, TCP용 시험장치(1)는 도시하지 않은 테스터 본체와, 테스터 본체에 전기적으로 접속된 테스트 헤드(10)와, 테스트 헤드(10)의 상측에 설치된 TCP 핸들러(2)로 구성된다.

TCP 핸들러(2)는 캐리어 테이프(5)를 반송함으로써 캐리어 테이프(5) 상에 그 길이 방향을 따라 일렬로 늘어서 형성되어 있는 각 TCP를 순차 시험에 제공하는 것이다. 한편, 캐리어 테이프(5)로서는 그 길이 방향을 따라 2열 또는 복수열의 배열로 TCP가 형성되어 있는 것도 있다. 예컨대, 동시에 시험하는 TCP가 4개인 경우 1열 4개의 배열이나 2열 2개 단위의 배열이 있다.

도 2에 도시한 바와 같이, 캐리어 테이프(5)에서의 각 TCP마다에 TCP 근방의 소정 위치에 얼라인먼트 마크(51)가 설치되어 있다.

한편, 본 실시 형태의 TCP 핸들러(2)는 TCP를 2개씩 시험에 제공하는 것이지만, 본 발명은 TCP를 2개씩 시험에 제공하는 장치로 한정되는 것은 아니고 캐리어 테이프(5) 상에서 직렬 방향 및/또는 병렬 방향으로 늘어선 3개 이상의 TCP를 동시에 시험에 제공하는 핸들러를 포함하는 것이다.

TCP 핸들러(2)는 권출릴(21)과 권취릴(22)을 구비하고 있다. 권출릴(21)에는 시험전의 캐리어 테이프(5)가 감겨져 있고, 캐리어 테이프(5)는 권출릴(21)로부터 풀려져서 시험에 제공된 후에 권취릴(22)에 감겨지도록 반송된다.

권출릴(21)과 권취릴(22)의 사이에는 캐리어 테이프(5)로부터 박리된 보호 테이프(52)를, 권출릴(21)로부터 권취릴(22)로 건네주는 3개의 스페이서 롤(23a),(23b),(23c)이 설치되어 있다. 각 스페이서 롤(23a),(23b),(23c)은 보호 테이프(52)의 장력을 조정할 수 있도록 각각 상하로 움직일 수 있게 되어 있다.

권출릴(21)의 하측에는 테이프 가이드(24a), 권출 리미트 롤러(25a), 내측 서브 스프로켓(25b) 및 내측 가이드 롤러(25c)가 설치되어 있고, 권출릴(21)로부터 풀려진 캐리어 테이프(5)는 테이프 가이드(24a)에 의해 가이드되면서 권출 리미트 롤러(25a), 내측 서브 스프로켓(25b) 및 내측 가이드 롤러(25c)를 통과하여 푸셔 유니트(3)로 반송된다.

권취릴(22)의 하측에는 테이프 가이드(24b), 권취 리미트 롤러(25f), 외측 서브 스프로켓(25e) 및 외측 가이드 롤러(25d)가 설치되어 있고, 푸셔 유니트(3)에서 시험에 제공된 후의 캐리어 테이프(5)는 외측 가이드 롤러(25d), 외측 서브 스프로켓(25e) 및 권취 리미트 롤러(25f)를 통과하여 테이프 가이드(24b)에 의해 가이드되면서 권취릴(21)에 감겨진다.

내측 가이드 롤러(25c)와, 외측 가이드 롤러(25d)의 사이에는 푸셔 유니트(3)가 설치되어 있다. 그리고, 푸셔 유니트(3)의 전단측(도 1 중 좌측)에는 제 1카메라(6a)가, 푸셔 유니트(3)의 하측(후술하는 프로브 카드 스테이지(7)의 내측)에는 제 2카메라(6b)가, 푸셔 유니트(3)의 후단측(도 1 중 우측)에는 제 3카메라(6c)가 설치되어 있다. 또한, 푸셔 유니트(3)와 제 3카메라(6c)의 사이에는 마크 펀치(26a) 및 리젝트 펀치(26b)가 설치되어 있다.

마크 펀치(26a)는 시험 결과에 기초하여, 해당되는 TCP에 대하여 소정의 위치에 한개 또는 복수개의 구멍을 뚫는 것이고, 리젝트 펀치(26b)는 시험 결과 불량품이라고 판단된 TCP를 펀칭하는 것이다. 한편, 마크 펀치(26a)나 리젝트 펀치(26b)를 동작시키지 않도록 개별로 제어할 수도 있다.

각 카메라(6a),(6b),(6c)는 도시하지 않은 화상 처리장치에 접속되어 있다. 제 1카메라(6a) 및 제 3카메라(6c)는 캐리어 테이프(5) 상에서의 TCP의 유무나 마크 펀치(26a)에 의한 구멍 위치나 개수를 판단하기 위한 것이다. 또한, 제 2카메라(6b)는 캐리어 테이프(5) 상의 얼라인먼트 마크의 위치정보나 TCP와 프로브의 위 치 어긋남 정보를 취득하거나, 촬영한 화상을 모니터 표시하여 작업자가 콘택트 상황을 파악할 수 있도록 하는 것이다. 본 실시 형태에서 제 2카메라(6b)는 시야 내의 복수의 대상에 대해서의 위치 어긋남 정보를 취득할 수 있는 것이다.

제 2카메라(6b)는 TCP의 테스트 패드와 프로브(81)(프로브 핀이라고도 함)의 위치관계를 정확하게 취득할 필요성이 있기 때문에 좁은 촬상 시야로 되어 있다. 이 때문에 제 2카메라(6b)는 카메라 스테이지(61) 상에 탑재되어 있고, 카메라 스테이지(61)가 갖는 액츄에이터에 의해 평면에서 볼 때 종횡 방향(X축-Y축 방향) 및 상하 방향(Z축 방향)으로 이동 가능하게 되어 있다. 이에 따라, 캐리어 테이프에서의 시험영역의 전체로 이동할 수 있기 때문에 TCP에서의 소망의 테스트 패드와 프로브(81)의 위치관계나 얼라인먼트 마크(51)의 위치를 선명하게 촬상할 수 있다.

여기에서, 제 2카메라(6b)에 관해서는 소망의 해상도를 유지한 상태로 화상처리에 사용하는 화상처리 영역보다도 예컨대 수배 이상 넓은 촬상 시야까지 촬상 가능한 고해상도의 카메라를 적용하여도 좋다. 이 경우에는 카메라 스테이지(61)를 이동시키는 영역을 저감시킬 수 있기 때문에 카메라 스테이지(61)의 이동에 따른 처리 시간이 단축된다. 또한, 카메라 스테이지(61)의 이동 횟수가 적어짐에 따라 이동량의 오차 요인이 저감할 수 있어 보다 미세한 피치의 TCP에 대해서도 정밀도가 양호하게 위치 결정할 수 있다. 또한, 소망의 해상도를 유지한 상태로 디지털 줌이 가능하게 되기 때문에 목적으로 하는 테스트 패드, 프로브(81) 및 얼라인먼트 마크(51)의 상대적인 위치관계를 용이하게 파악 특정할 수 있어 다수개의 테스트 패드와 프로브(81)의 위치 어긋남 보정을 처리할 수 있다. 또한, 복수 개소의 얼라 인먼트 마크(51)를 용이하게 검출할 수 있게 되기 때문에 복수 개소의 얼라인먼트 마크(51)에 기초하여 위치결정을 수행할 수 있다. 또한, 종래에는 작업자가 콘택트 상황을 확인하기 위하여 모니터에 표시된 화상을 스크롤 할 때에 목적의 위치를 빠뜨리는 경우가 있었지만, 디지털 줌으로 적절히 확대/축소 표시할 수 있기 때문에 작업자가 이용하기 쉬운 모니터 표시를 수행할 수 있다.

퓨셔 유니트(3)의 프레임(푸셔 프레임)(36)에는 볼 나사(32)를 회전시킬 수 있는 서보 모터(31)가 브래킷(361)을 개재하여 설치되어 있다. 그리고, 볼 나사(32)가 나사 결합하는 푸셔 본체부(33)가 Z축 방향으로 연장된 2개의 리니어 모션 가이드(이하 「LM 가이드」라 한다.)(37)를 개재하여 설치되어 있다. 상기 푸셔 본체부(33)는 서보 모터(31)를 구동시키면 LM 가이드(37)로 가이드되면서 상하 방향(Z축 방향)으로 이동한다.

상기 푸셔 본체부(33)의 하단부에는 부압원(도시 생략)에 접속되어 TCP를 흡인함으로써 캐리어 테이프(5)를 흡착 홀드하여 고정 상태로 할 수 있는 흡착 플레이트(34)가 설치되어 있다.

푸셔 본체부(33)의 전단측(도 1 중 좌측)에는 텐션 스프로켓(35a)이 설치되어 있고, 푸셔 본체부(33)의 후단측(도 1 중 우측)에는 메인 스프로켓(35b)이 설치되어 있다.

또한, 푸셔 유니트(3)의 하측으로서, 테스트 헤드(10)의 상부에는 도 2에 도시한 바와 같이, 2개의 TCP의 외부단자(이하 「테스트 패드」라고 말하는 경우가 있다.)와 콘택트할 수 있는 다수개의 프로브(접촉단자)(81)를 구비한 프로브 카 드(8)가 탑재된 프로브 카드 스테이지(7)가 설치되어 있다. 프로브 카드 스테이지(7)는 복수의 볼 나사를 개재하여 서보 모터에 접속되어 있고(도시 생략), 서보 모터의 구동에 의해 프로브 카드(8)를 수평 방향(XY 평면 방향)으로 이동시킬 수 있는 동시에 프로브 카드(8)를 수직축 둘레(Z축 둘레)로 회전시킬 수 있다.

복수의 프로브(81)를 구비한 프로브 카드(8)는 핀에 의해 프로브 카드 스테이지(7)의 카드링에 착탈이 자유롭게 설치되어 있다(도시 생략). 본 실시 형태에서의 프로브 카드(8)는 캐리어 테이프(5)의 반송 방향으로 직렬로 늘어선 2개의 TCP를 동시에 시험할 수 있도록 2개의 프로브군(전측의 포지션(8a)의 프로브군/후측의 포지션(8b)의 프로브군)을 구비하고 있다. 한편, 캐리어 테이프(5)에 2열의 TCP를 배열하는 캐리어 테이프(5)의 경우에는 이에 대응하여 4개의 프로브군을 갖는 프로브 카드를 적용한다.

전측의 포지션(8a)과 후측의 포지션(8b)의 간격은 캐리어 테이프(5)의 반송 방향에 대하여 TCP의 1피치분의 간격으로 설정되어 있다. 상기 TCP의 1피치분의 간격은 시험대상의 디바이스의 품종, 형상, 캐리어 테이프의 종류 등에 의해 다른 경우가 있기 때문에 전측의 포지션(8a)과 후측의 포지션(8b)의 간격을 수동 또는 자동으로 변경할 수 있는 피치 변경 기구를 구비하는 것이 요망된다.

프로브 카드(8)의 각 프로브(81)는 테스트 헤드(10)를 통하여 테스터 본체에 전기적으로 접속되어 있고, 프로브 카드(8)의 하측으로서 프로브 카드 스테이지(7)의 내측에는 제 2카메라(6b)가 위치하고 있다.

이와 같은 장치에서는, 푸셔 유니트(3)는 프로브 카드 스테이지(7)까지 반송 되어 온 캐리어 테이프(5)를, 흡착·지지하면서 테스트 헤드(10) 상의 프로브 카드(8)에 압압한다. 이렇게 하면, 캐리어 테이프(5) 상의 2개의 TCP가 프로브 카드(8) 상의 대응하는 포지션(8a),(8b)에 배치된 프로브(81)에 콘택트되는 상태가 된다. 이 상태로 우선 미소한 직류 전류를 각 IC단자로 인가하여 TCP의 내부 회로(예컨대 보호용 다이오드)에 흐르는 전류의 유무나 전압치의 측정으로부터 콘택트 체크를 수행하여 모든 테스트 패드가 전기적으로 프로브(81)에 접촉하고 있는 것이나 인접핀 간의 쇼트 유무를 확인한다. 이후에 테스터 본체로부터의 테스트 신호를 TCP에 인가하여 TCP로부터 판독한 응답신호를 테스트 헤드(10)를 통하여 테스터 본체로 보낸다. 이 응답신호에 기초하여 TCP의 성능이나 시험 등을 시험하여 TCP에 대하여 패스 판정(양품 판정) 또는 페일 판정(불량 판정)을 수행한다.

다음에, TCP 핸들러(2)의 사용 방법 및 동작에 대하여 설명한다.

TCP 핸들러를 사용하는 경우에는 TCP 핸들러(2)를 실가동시키기 전에 미리 초기 설정을 수행할 필요가 있다. 즉, TCP의 품종이나 이에 따라 프로브 카드(8)를 변경한 경우에는 TCP의 테스트 패드와 대응하는 프로브 카드(8)의 프로브(81)가 콘택트되도록 푸셔 스테이지(4) 및 프로브 카드 스테이지(7)의 기준위치를 결정하여 등록할 필요가 있다(이 위치를 「등록위치」라 한다).

예컨대, 매뉴얼 조작에서 작업자가 복수 개소(예컨대 3개소)의 프로브(81)와 이에 대응하는 테스트 패드를 선택하여 개략의 위치를 정하고, 다음에서 제 2카메라(6b) 및 화상 처리장치를 이용하여 각각의 프로브(81)가 가능한 한 각 테스트 패드의 중앙에 위치하도록 푸셔 스테이지(4) 및/또는 프로브 카드 스테이지(7)를 수 동 제어 또는 자동 제어로 이동시킴으로써 기준위치를 결정하여 등록한다. 한편, 필요에 따라서는 상기 개략의 위치 결정도 매뉴얼 조작이 아닌 자동 제어에 의해 수행하여도 좋다.

이때, 제 2카메라(6b)의 시야내에서의 소정 대상의 위치좌표를 병행하여 등록한다. 본 실시 형태에서는 캐리어 테이프(5)에서의 얼라인먼트 마크(51)의 위치좌표를 등록한다.

다음에, TCP 핸들러(2)의 실가동시의 동작을 도 3의 플로우 차트를 참조하면서 설명한다. 여기에서는 캐리어 테이프(5)의 길이 방향을 따라 일렬로 늘어선 두개의 TCP를 동시에 시험하는 것으로 한다. 또한, 캐리어 테이프(5)의 위치 결정을 수행하는 얼라인먼트 마크(51)는 도 2에 도시한 바와 같이 한개의 TCP에 대하여 상하(Y축 방향)에 2개소 존재하기 때문에 동시에 시험하는 두개의 TCP에서는 합계 4개소의 얼라인먼트 마크(51)가 존재하지만, 본 실시 형태에서는 전측의 포지션(8a)에 있는 한개의 얼라인먼트 마크(51)를 적용하여 TCP의 위치결정을 하는 것으로 한다.

TCP 핸들러(2)는 그 제어수단을 구비하고 있고, TCP 핸들러(2)를 실가동 가능한 상태로 하면 우선 푸셔 스테이지(4) 및 프로브 카드 스테이지(7)가 등록위치로 이동한다(스텝 S01). 그리고, 권출릴(21) 및 권취릴(22)이 소정 각도 회전하여 캐리어 테이프(5)를 이동시켜 한개째 및 두개째의 TCP를 흡착 플레이트(34)의 하측의 소정위치까지 반송한다(스텝 S02).

흡착 플레이트(34)의 하측으로 TCP가 반송되면 푸셔 유니트(3)의 서보 모 터(31)를 구동하여 흡착 플레이트(34)가 Z축 아래 방향으로 이동한다. 이동한 흡착 플레이트(34)는 캐리어 테이프(5)를 흡착하여 촬상위치까지 하강한다(스텝 S03).

이 상태로 제 2카메라(6b)는 촬상을 수행하여(스텝 S04), 화상정보를 화상 처리장치로 송신한다. 화상 처리장치는 수신한 화상정보로부터 미리 등록된 소정의 대상의 위치좌표와, 실제로 촬상한 대상의 위치좌표의 위치 어긋남의 정보를 취득한다. 예컨대 본 실시 형태에서는 포지션(8a)에 대응하는 등록된 얼라인먼트 마크의 위치좌표와, 실제로 촬상한 포지션(8a)에 대응하는 얼라인먼트 마크(51)의 위치좌표의 위치 어긋남의 정보를 취득한다.

화상 처리장치는 취득한 위치 어긋남 정보에 기초하여 X축 방향, Y축 방향 및 수직축 둘레의 위치 어긋남량을 연산하여 보정할 필요가 있는가를 판단한다(스텝 S05). 판단 결과, 보정할 필요가 있는 경우에는 필요한 보정동작을 수행한다(스텝 S06).

보정동작이 종료하면 푸셔 유니트(3)의 서보 모터(31)가 작동하여 푸셔 본체부(33)를 통하여 흡착 플레이트(34)가 또한 Z축 방향으로 이동한다. 캐리어 테이프(5)를 흡착한 흡착 플레이트(34)는 콘택트 위치까지 하강하게 되어 캐리어 테이프 반송 방향(A)(도 2 참조)의 전측에 위치하는 한개째의 TCP는 프로브 카드(8) 상의, 대응하는 전측의 포지션(8a)에 배치된 프로브(81)에 대하여 압압되고, 캐리어 테이프 반송 방향(A)의 후측에 위치하는 두개째의 TCP는 프로브 카드(8) 상의, 대응하는 후측의 포지션(8b)에 배치된 프로브(81)에 대하여 압압된다(스텝 S07).

그리고, 각 TCP의 테스트 패드가 프로브(81)에 콘택트되면 각 TCP에 최초의 시험(이하 「본 시험」이라고 말하는 경우가 있다.)이 실행된다(스텝 S08). 시험에서는 먼저 콘택트 체크를 수행하여 모든 테스트 패드가 프로브(81)에 전기적으로 접촉되어 있는 것을 확인하고, 흡착 플레이트(34)의 복수회의 상하 동작을 수행하여도 접촉 불량이 검출되는 경우에는 페일 판정한다.

콘택트 체크가 정상인 경우에는 각 TCP에 테스터 본체로부터 테스트 헤드(10)를 통하여 테스트 신호가 인가되어, 각 TCP로부터 판독된 응답신호가 테스트 헤드(10)를 통하여 테스터 본체로 보내진다. 테스터 본체에서는 이 응답신호에 기초하여 각 TCP의 양품여부 판정이나 등급 분류 등을 판정하여, TCP에 대하여 패스 판정(양품 판정) 또는 페일 판정(불량품 판정)을 수행한다(스텝 S09).

본 시험의 결과, 패스 판정을 받은 TCP가 있을 때에는 패스 판정을 받은 TCP만에 대하여 마크 펀치(26a)가 구동한다(스텝 S10). 한편, 마크 펀치(26a)를 동작시키지 않는 제어 형태도 있다.

여기에서, 앞의 본 시험 결과를 참조하여(스텝 S11), 어느 한쪽 또는 양쪽의 TCP가 페일 판정을 받은 경우에는 후술하는 재시험 동작(스텝 S21~스텝 S36)을 실행한다. 한편, 페일 판정을 받는 경우에는 소망에 의해 이 단계에서 예컨대 1회 재시험을 수행하여 패스 판정으로 변화하는가의 제어 동작을 추가하여도 좋다.

한편, 양 TCP가 패스 판정을 받은 경우에는 푸셔 유니트(3)의 서보 모터(31)가 구동하여 푸셔 본체부(33)를 통하여 흡착 플레이트(34)를 Z축 위 방향으로 이동시키는 동시에 푸셔 스테이지(4) 및 프로브 카드 스테이지(7)가 등록위치로 이동한다(스텝 S12). 그리고, 흡착 플레이트(34)는 캐리어 테이프(5)의 흡착을 정지하여 캐리어 테이프(5)를 해방하는 동시에 또한 Z축 방향으로 이동한다(스텝 S13).

그리고, 본 시험을 수행한 TCP가 최후의 디바이스인가의 여부를 판단하여(스텝 S14), 최후의 디바이스라고 판단한 경우에는 주동작을 종료하고, 최후의 디바이스가 아니라고 판단한 경우에는 스텝 S02로 돌아가서 다음의 두개 TCP를 시험한다.

다음에 재시험 동작을 설명한다. 여기에서, 상기 시험의 결과, 두개의 TCP의 페일 판정의 조합은 캐리어 테이프 반송 방향(A)의 전측의 포지션(8a)의 TCP만이 페일 판정을 받는 경우와, 후측의 포지션(8b)의 TCP만이 페일 판정을 받는 경우와, 양쪽의 포지션(8a),(8b)의 TCP가 페일 판정을 받는 경우가 있고 동작이 각각 다르다.

재시험 동작에서는 우선 앞에 설명한 스텝 S12 및 스텝 S13과 마찬가지의 동작을 실행하여 흡착 플레이트(34)에 의한 캐리어 테이프(5)의 흡착을 정지하여 캐리어 테이프(5)를 해방한다(스텝 S21).

다음에, 캐리어 테이프 반송 방향(A)의 전측의 포지션(8a)에 위치하는 TCP(여기에서는 한개째의 TCP)가 최초의 시험에서 패스 판정을 받지만, 페일 판정을 받고 있는가를 판단한다(스텝 S22). 여기에서, 전측의 포지션(8a)에 위치하는TCP가 최초의 시험에서 패스 판정을 받는 경우에는 후술하는 스텝 S28을 실행한다. 한편, 전측의 포지션(8a)에 위치하는 TCP가 페일 판정을 받는 경우에는 텐션 스프로켓(35a)과 함께 메인 스프로켓(35b)을 TCP의 1피치분만큼, 역전시켜 캐리어 테이프(5)를 역방향으로 이동시켜서(스텝 S23), 프로브 카드(8)의 전측의 포지션(8a)에 위치하고 있던 TCP를 후측의 포지션(8b)으로 이동시킨다. 그리고, 먼저 설명한 스 텝 S03로부터 스텝 S07까지와 마찬가지의 동작을 실행하여 해당 TCP의 외부단자를, 후측의 포지션(8b)의 프로브(81)에 접촉시킨다(스텝 S24).

그리고, 후측의 포지션(8b)의 프로브(81)에 콘택트된 TCP에 대하여 재시험을 실행하여(스텝 S25), 해당 TCP에 대하여 패스 판정 또는 페일 판정을 수행한다(스텝 S26). 여기에서, 재시험의 콘택트 체크로 접촉 불량이 검출된 경우, 곧바로 페일 판정하는 제 1처리 형태와, 캐리어 테이프(5)측을 미동시키거나 프로브 카드 스테이지(7)측을 미동시켜서 접촉 불량이 없게 되는 위치가 존재하는가의 시행 동작을 수행하는 제 2처리 형태가 있지만, 제 2처리 형태를 수행하는 것이 요망된다.

재시험의 결과, 재시험에 제공된 TCP가 두번째의 페일 판정을 받은 때에는 불량품으로서 확정시켜, 리젝트 펀치(26b)를 구동한다(스텝 S27a). 한편, 두번째에서 패스 판정을 받은 때에는 이 TCP에 대하여 양품으로서 확정시켜 마크 펀치(26a)를 구동한다(스텝 S27b).

다음에, 스텝 S22 또는 스텝 S25에서, 당초에서의 전측의 포지션(8a)에 위치하는 TCP가 패스 판정을 받고, 또한 후측의 포지션(8b)에 위치하고 있던 TCP가 패스 판정을 받은 경우에는 스텝 S12를 실행한다(스텝 S28).

한편, 후측의 포지션(8b)에 위치하고 있던 TCP가 페일 판정을 받는 경우에는 앞서 설명한 스텝 S12 및 스텝 S13과 마찬가지의 동작을 실행하여, 흡착 플레이트(34)에 의한 캐리어 테이프(5)의 흡착을 정지하여 캐리어 테이프(5)를 해방한다(스텝 S29). 계속하여, 텐션 스프로켓(35a)과 함께 메인 스프로켓(35b)을 TCP의 1치분만큼, 캐리어 테이프(5)를 전진시켜서 후측의 포지션(8b)에 위치하고 있던 TCP 를 전측의 포지션(8a)으로 이동시킨다(스텝 S30). 그리고, 앞에 설명한 스텝 S03으로부터 스텝 S07까지와 마찬가지의 동작을 실행하여 해당 TCP의 외부단자를, 전측의 포지션(8a)의 프로브(81)에 접촉시킨다(스텝 S31).

그리고, 전측의 포지션(8a)의 프로브(81)에 콘택트된 TCP에 대하여 재시험을 실행하여(스텝 S32), 해당 TCP에 대하여 패스 판정 또는 페일 판정을 수행한다(스텝 S33).

이 재시험의 결과, 재시험에 제공된 TCP가 두번째의 페일 판정을 받은 때에는 불량품으로서 확정시켜 리젝트 펀치(26b)를 구동한다(스텝 S34a). 한편, 두번째에서 패스 패스 판정을 받은 때에는 이 TCP에 대하여 양품으로서 확정시켜 마크 펀치(26a)를 구동한다(스텝 S34b). 그리고, 스텝 S12를 실행한다.

이와 같이, 본 실시 형태의 TCP 핸들러(2)에 따르면, 최초의 시험에서 페일 판정을 받은 TCP를, TCP 핸들러를 정지시키지 않고 자동적으로 재시험에 제공할 수 있다. 또한, 페일 판정의 원인으로서 한쪽의 포지션의 프로브(81)에 기인하는 TCP의 콘택트 불량이나 위치결정 불량이 있지만, 본 실시 형태의 TCP 핸들러와 같이, 최초의 시험에서의 프로브 카드 상의 포지션과는 다른 포지션의 프로브(81)로 재시험을 수행함으로써 양호한 콘택트 상태로 될 가능성이 있다. 이에 따라, 본래 양품인 TCP가 재시험에 의해 양품으로 판정될 수 있도록 되는 결과, TCP의 수율이 향상될 수 있다. 게다가, 앞에 설명한 바와 같이, 시험장치를 정지시키지 않고 자동적으로 재시험을 수행할 수 있기 때문에 시험장치의 가동율이 향상되는 결과, 시험의 처리율이 향상된다.

특히 본 실시 형태에서는 한쪽의 포지션(8a)에 대응하는 얼라인먼트 마크(51)를 이용하여 TCP의 위치결정을 수행하고 있기 때문에 다른쪽의 포지션(8b)에 위치하는 TCP는 상대적으로 위치결정 불량이 되기 쉽다. 그러나, 이와 같은 경우에서도 TCP를 포지션(8a)으로 이동시킨 후, 해당 TCP의 얼라인먼트 마크(51)를 이용하여 TCP의 위치결정이 수행되는 결과, 해당 TCP는 보다 정확한 위치결정 상태가 얻어져서 효과적으로 패스 판정을 받을 수 있다.

또한, 페일 판정의 원인은 TCP의 위치결정 불량의 경우만이 아니고, 각 포지션(8a),(8b)에 다수개 설치되어 있는 프로브(81) 중의 어느 것에서, 침 선단 열화가 발생하고 있는 경우나, 압압력 부족에 따라 접촉 저항치가 증대하고 있는 경우가 있지만, 본 실시 형태의 TCP 핸들러(2)에 따르면, 양호한 포지션측에서 재시험함으로써 효과적으로 패스 판정을 받을 수 있다. 이에 의해, 양품의 TCP가 불량품으로 처리되는 문제가 해소되어 수율의 향상 효과가 얻어진다. 더구나, 작업자가 시험장치를 일단 정지시킬 필요가 없어져서 장치의 가동률을 향상시킬 수 있다.

여기에서, 스텝 S32의 재시험은 프로브 카드(8) 상의 전측의 포지션(8a)에 위치하는 TCP에 대하여 재시험을 수행하는 공정이지만, 이때 프로브 카드(8) 상의 후측의 포지션(8b)에는 아직까지 시험에 제공되고 있지 않은 TCP(여기에서는 세개째)가 콘택트된다. 따라서, 이 스텝 S32의 재시험을 수행할 때에 동시에 프로브 카드(8) 상의 후측의 포지션(8b)에 위치하는 TCP를 최초의 시험에 제공하여도 좋다.

이 경우, 스텝 S32~ 스텝 S34의 공정(E1)을 대신하여 다음에 설명하는 공정(E2)(스텝 S41~스텝 S45; 도 5 참조)을 실행한다. 즉, 재시험에 제공된 TCP(여기 에서는 두개째)만이 아니고, 동시에, 캐리어 테이프 반송 방향(A)의 후측에 위치한 프로브 카드(8) 상의 후측의 포지션(8b)에 위치하는 TCP(여기에서는 세개째)에 대하여 시험을 수행한다(스텝 S41).

그리고, 우선은 재시험에 제공한 TCP에 대하여 판정을 수행한다(스텝 S42). 이 결과, 재시험에 제공한 TCP가 페일 판정을 받은 때에는 불량품으로 확정시켜 리젝트 펀치(26b)를 구동한다(스텝 S43a). 한편, 재시험에 제공한 TCP가 패스 판정을받은 때에는 양품으로 확정시켜 마크 펀치(26a)를 구동한다(스텝 S43b).

그리고, 재시험과 동시에 수행한 최초의 시험에 제공한 TCP(여기에서는 세개째 TCP)가 패스 판정을 받는가를 판단한다(스텝 S44). 해당 TCP가 패스 판정을 받는 경우에는 양품으로 확정시켜 마크 펀치(26a)를 구동시키고(스텝 S45), 다음에서 스텝 S12를 실행한다. 한편, 해당 TCP가 페일 판정을 받는 경우에는 스텝 S29를 실행한다.

이와 같이, 재시험과 동시에 최초의 시험을 수행하도록 하면 시험의 처리율을 보다 향상시킬 수 있다.

이상 설명한 실시 형태는, 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위해 기재된 것으로서, 본 발명을 한정하기 위해 기재된 것은 아니다. 따라서, 상기 실시 형태에 개시된 각 요소는 본 발명의 기술적 범위에 속하는 모든 설계 변경이나 균등물을 포함하는 취지이다.

예컨대, 상술한 시험 동작에서 프로브 카드(8) 상의 양쪽의 포지션(8a),(8b)에서의 TCP의 판정을 동시에 수행하여, 양쪽의 포지션(8a),(8b)의 TCP가 함께 페일 판정을 받는 경우에는 전후의 포지션(8a),(8b)의 TCP를 서로 교체하여 재시험 동작을 수행하여도 좋다. 한편, 양쪽의 포지션(8a),(8b)의 TCP가 함께 페일 판정을 받는 단계에서, 상기 교체를 수행하기 전에 푸셔 유니트(3)를 복수회 상하 동작시켜 재시험을 수행하는 것이 요망되고, 이에 따라 패스 판정을 받는 경우가 있다.

또한, 위치 어긋남 보정시에는 후측의 포지션(8b)에 대응하는 등록된 얼라인먼트 마크의 위치좌표와, 실제로 촬상한 후측의 포지션(8b)에 대응하는 얼라인먼트 마크(51)의 위치좌표의 위치 어긋남의 정보를 취득하도록 하여도 좋다. 또한, 전측의 포지션(8a)에 대응하는 얼라인먼트 마크(51)의 위치 어긋남량과 후측의 포지션(8b)에 대응하는 얼라인먼트 마크(51)의 위치 어긋남량의 평균치를 사용하여도 좋다.

또한, 상기 실시 형태에서는 한쪽의 포지션(8a)에 대응하는 얼라인먼트 마크(51)를 이용하여 TCP의 위치결정을 수행하고 있기 때문에, 다른쪽의 포지션(8b)에 위치하는 TCP는 상대적으로 위치결정 불량이 되기 쉽지만, 다른쪽의 포지션(8b)에 대응하는 다른쪽의 얼라인먼트(51)도 필요로 하는 경우에 이용하여도 좋다. 예컨대, 후측의 포지션(8b)의 TCP에서 페일 판정이 발생한 경우에, 후측의 얼라인먼트 마크(51)에 기초하여 위치결정을 수행한 후 TCP를 이동시키지 않은 상태로 재시험을수행하도록 하여도 좋고, 이에 의해 패스 판정을 받는 경우가 있다. 이에 따르면, 카메라 스테이지(61)를 크게 이동시켜 2개소의 얼라인먼트 마크(51)의 위치를 구하는 이동 동작을 대폭 줄일 수 있고, 제 2카메라(6b)의 이동 시간에 따른 처리율의 저하가 최소로 억제되기 때문에 실용적이다.

또한, 수만회의 압압 스트레스에 따라 다수개의 프로브(81)는 변형되기 때문에 TCP의 테스트 패드와 접촉하는 모든 프로브(81)가, 대응하는 각 테스트 패드의 중앙으로부터 어긋난 불량 상태가 된다. 여기에서, 어떠한 프로브(81)로 접촉 불량이 검출되기까지, 프로브 카드 스테이지(7)를 X축 방향 및 Y축 방향으로 순차 미동시켜 이동 가능 영역을 구하고, 현재 상태의 프로브(81)에서의 최적의 중앙 위치를 특정한다. 이에 기초하여 TCP의 위치결정을 수행함으로써 현재 상태의 프로브(81)에서의 최적의 위치결정을 수행할 수 있다. 또한, 소망에 따라, 얻어진 이동 가능 영역 정보와 중앙 위치 정보를 보존하여 두고, 시험 실시할 때에 있어서 이들 정보를 이용하여 위치 보정함으로써 최적의 위치결정을 수행할 수 있다. 이에 따라, 페일 판정을 받는 발생 빈도가 저감하여 수율과 시험의 처리율이 향상된다.

또한, 각 테스트 패드와, 해당 테스트 패드에 접촉하는 각 프로브(81)의 사이에 발생하는 접촉 저항치는 수만회의 압압 스트레스, 프로브(81)의 선단부의 위치 어긋남, 형상변화, 탄성특성의 변동, 전기적인 접촉부위의 상태 등에 따라 불규칙하거나 증대하거나 한다. 여기에서, 페일 판정이 발생한 TCP의 프로브(81)에 대하여, 해당 프로브(81)에서 허용 가능한 범위내에서 푸셔 유니트(3)의 흡착 플레이트(34)의 압압 방향의 높이 조건을 변경하여 재시험을 실행하도록 하여도 좋다. 이 재시험에서 패스 판정을 받는 경우에는 이 TCP를 양품으로 확정할 수 있다.

또한, 콘택트 체크에 의해 접촉 저항치를 실용적으로 측정할 수 있는 TCP의 경우에는 페일 판정을 받은 후 현재의 압압 상태 그대로 콘택트 체크를 실행하여 각각의 접촉 저항치를 측정하도록 하여도 좋다. 그리고, TCP의 각 IC단자의 종류 (입력핀, 출력핀, 전원핀)에 따라 허용 가능한 최대 저항치에 기초하여 접촉 저항치의 양품 여부 판단을 수행하여, 첫째로, 이상한 접촉 저항치의 프로브(81)가 검출된 경우에는 푸셔 유니트(3)를 상하 이동시켜 해당 프로브(81)의 접촉 저항을 다시 측정하여 정상 상태로 회복한 경우에는 이 상태로 재시험을 실행한다. 둘째로, 접촉 저항치가 정상인 경우에는 해당 TCP는 불량품의 가능성이 높기 때문에 별도의 프로브(81)로 이동시켜 재시험을 한다.

또한, 흡착 플레이트(34)는 TCP의 배열 방향(X축 방향, Y축 방향)에 대응하여 분할된 구조로 되어 있어도 좋고, 게다가 분할된 흡착 플레이트가 상대적으로 이동 가능한 미동 기구(도시 생략)를 구비하고 있어도 좋다. 이와 같은 분할 이동 구조에 의해 복수의 TCP 간의 피치를 대응하는 프로브군의 피치에 일치시키는 조정을 수행할 수 있다. 한편, 캐리어 테이프(5)의 얇은 필름은 피치 조정에 의해 활처럼 굽은 상태로 되지만, 이 조정폭은 수십 미크론 정도이기 때문에 실용적으로 실시할 수 있다. 단, 프로브 카드측의 프로브(81)의 TCP 간 피치는 예컨대 수십 미크론 정도 좁게 형성되어 있는 것이 요망된다.

상기와 같은 분할 이동 구조에 따르면, 다수개(2,4,8,16개)의 TCP를 동시에 시험하는 경우에서 열팽창에 따른 TCP 간 피치의 변동이나, 협피치로 위치 정밀도가 요구되는 TCP나, 많은 핀으로 대형의 TCP의 TCP 간 피치가 넓어지는 경우나, 캐리어 테이프(5)의 필름의 신장 변동 등에 정확하게 대응할 수 있다. 이 결과, 위치 어긋남에 따른 불량 판정을 받는 발생 빈도를 한층 저감할 수 있기 때문에 보다 다수개(4,8,16개)의 TCP를 동시에 시험할 수 있어 시험의 신뢰성 및 처리율을 향상시 킬 수 있다.

본 발명에 따른 TCP 핸들링 장치는 디바이스 제조의 수율 및 시험의 처리율을 향상시켜 효율이 양호한 TCP 시험을 수행하는데 유효하다.

Claims (11)

1. 동시에 시험하는 복수의 TCP에 대응하는 프로브 카드를 적용하여, 캐리어 테이프 상의 복수의 TCP 외부단자와, 프로브 카드의 접촉단자를 전기적으로 접촉시킴으로써 복수의 TCP를 동시에 시험에 제공할 수 있는 TCP 핸들링 장치로서,

   최초의 시험에서 복수의 TCP를 동시에 시험하여, 상기 동시 시험에서 불량 판정을 받은 불량 판정 TCP를, 해당 불량 판정 TCP가 접촉한 접촉단자와는 다른 별도의 접촉단자의 위치로 이동시킨 후 다시 시험에 제공하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
2. 청구항 1에 있어서,

   캐리어 테이프의 반송 방향에 대하여 직렬로 늘어선 복수의 TCP, 캐리어 테이프의 반송 방향에 대하여 병렬로 늘어선 복수의 TCP, 또는 캐리어 테이프의 반송 방향에 대하여 직렬로 늘어선 복수의 TCP 및 반송 방향에 대하여 병렬로 늘어선 복수의 TCP를 동시에 시험에 제공하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
3. 청구항 1에 있어서,

   캐리어 테이프에는 각 TCP마다에 각 TCP의 위치를 특정하는 위치결정용 얼라인먼트 마크가 설치되어 있고,

   동시에 시험에 제공되는 복수의 TCP의 외부단자와 대응하는 접촉단자의 위치 결정은 적어도 하나의 상기 얼라인먼트 마크에 기초하여 수행하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
4. 청구항 1에 있어서,

   상기 불량 판정 TCP를 다시 시험에 제공할 때에 상기 불량 판정 TCP와 함께 압압되는 미검사 TCP를 동시에 시험에 제공하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
5. 청구항 1에 있어서,

   상기 불량 판정 TCP를 다시 시험에 제공할 때에 상기 불량 판정 TCP와 함께 압압되는 검사 종료된 TCP를 시험의 실행으로부터 제외하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
6. 청구항 1에 있어서,

   상기 동시 시험에서 불량 판정을 받은 불량 판정 TCP에 대하여 해당 불량 판정 TCP가 접촉한 접촉단자에 의해 적어도 1회의 재시험을 수행하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
7. 청구항 6에 있어서,

   상기 불량 판정 TCP의 외부단자와 해당 외부단자에 접촉하는 접촉단자의 압 압 조건을 변경하여 상기 재시험을 수행하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
8. 청구항 7에 있어서,

   상기 불량 판정 TCP의 외부단자와 해당 외부단자에 접촉하는 접촉단자의 접촉 저항을 측정하여, 허용 가능한 접촉 저항치를 초과하는 것이 검출된 경우에 상기 압압 조건을 변경하여 상기 재시험을 수행하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
9. 청구항 1에 있어서,

   TCP의 외부단자와 해당 외부단자에 접촉하는 접촉단자의 전기적 접촉 상태를 검출하는 콘택트 체크 기능을 이용하여, 어떠한 접촉단자의 접촉 불량이 검출되기까지 프로브 카드를 이동시키는 프로브 카드 스테이지를 X축 방향 및/또는 Y축 방향으로 미동시켜 이동 가능 영역을 구하고,

   상기 이동 가능 영역에서의 중앙 위치를 특정하고,

   상기 특정한 중앙 위치에 기초하여 TCP의 위치결정을 수행하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
10. 청구항 1에 있어서,

    상기 TCP 핸들링 장치는 복수의 TCP를 동시에 흡착하여 상기 접촉단자로 압압하는 흡착·압압부재를 구비하고 있고,

    상기 흡착·압압부재는 동시에 시험하는 TCP의 배열에 대응하여 적어도 2분할되어 있고,

    상기 분할된 흡착·압압부재는 동시에 시험하는 TCP의 피치에 대응할 수 있도록 서로의 간격이 조정 가능하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
11. 복수의 TCP를 동시에 시험에 제공할 수 있는 TCP 핸들링 장치로서,

    최초의 시험에서 복수의 TCP를 동시에 시험하여, 상기 동시 시험에서 불량 판정을 받은 불량 판정 TCP를, 해당 불량 판정 TCP가 접촉한 프로브 카드의 접촉단자와는 다른 별도의 접촉단자를 적용하여 다시 시험에 제공하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.

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