JP5646288B2 - スクリーンマスクの観察装置および印刷装置 - Google Patents

Description

本発明は、スクリーンマスクの観察装置および印刷装置に関し、特に、スクリーンマスクを固定する固定部と、スクリーンマスクを撮像する撮像部とを備えたスクリーンマスクの観察装置および印刷装置に関する。

従来、スクリーンマスクを固定する固定部と、スクリーンマスクを撮像する撮像部とを備えた印刷装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。

上記特許文献１には、電子部品が実装される基板にマスクを介して半田ペーストを印刷する機構を備えたスクリーン印刷装置が開示されている。この印刷装置では、スクリーンマスクの表面を撮像するマスクスキャン動作を行うことにより、マスクが有する開口部の形状を画像データに基づいて計測することが可能である。なお、シート状のマスクは、外縁部が枠状のホルダ部材に貼り付けられており、マスクを水平に配置した状態でホルダ部材が装置本体の台座部に固定されている。そして、マスクの上方に配置されたカメラによって、マスク開口部の形状が撮像されるように構成されている。

特開２００４−７９７８３号公報

しかしながら、上記特許文献１に記載のスクリーン印刷装置では、ホルダ部材が装置本体の台座部に固定されるため、枠状のホルダ部材に貼り付けられたマスクには、マスク自身の自重に起因して外縁部よりも内側の部分に局所的な撓みが発生する場合があると考えられる。したがって、マスクに撓みが生じた状態では、マスクが有する開口部の平面的な形状が歪むため、開口部の形状を正確に観察（計測）することができないという問題点がある。

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、マスクが有する開口部の形状を正確に観察することが可能なスクリーンマスクの観察装置および印刷装置を提供することである。

課題を解決するための手段および発明の効果

上記目的を達成するために、この発明の第１の局面におけるスクリーンマスクの観察装置は、スクリーンマスクを固定する固定部と、スクリーンマスクを撮像する撮像部と、スクリーンマスクが固定部に固定された状態で撮像部によりスクリーンマスクの表面を撮像する際に、スクリーンマスクの撓みを矯正する矯正手段と、所定の方向に移動可能なヘッド部とを備え、矯正手段は、ヘッド部に装着されるとともにスクリーンマスクの表面のうちの上面に面接触した状態で上面を押圧することによりスクリーンマスクの上方への撓みを矯正する第１矯正部材を含む。

この発明の第１の局面によるスクリーンマスクの観察装置では、上記のように、スクリーンマスクが固定部に固定された状態で撮像部によりスクリーンマスクの表面を撮像する際に、スクリーンマスクの撓みを矯正する矯正手段を備えることによって、スクリーンマスクは、矯正手段により撓む状態が回避されて撓まない状態が維持されるので、マスクが有する開口部の平面的な形状も歪まない。これにより、撮像部は、歪みが生じていないスクリーンマスクの表面を撮像することができるので、開口部の形状を正確に観察（計測）することができる。また、矯正手段は、スクリーンマスクの表面のうちの上面に面接触した状態で上面を押圧することによりスクリーンマスクの上方への撓みを矯正する第１矯正部材を含む。このように構成すれば、固定部に固定されたスクリーンマスクが上方に反る部分を有していても、第１矯正部材がスクリーンマスクの上面と面接触して上面を下方に押圧するので、スクリーンマスクが上方に撓む（反る）ことを第１矯正部材によって容易に防止することができる。また、所定の方向に移動可能なヘッド部をさらに備え、第１矯正部材は、ヘッド部に装着されている。このように構成すれば、ヘッド部の移動機能を利用して、第１矯正部材を撮像部の移動に同期させて容易に移動させることができる。

上記第１の局面によるスクリーンマスクの観察装置において、好ましくは、矯正手段は、スクリーンマスクの表面のうちの少なくとも撮像部により撮像される領域に生じる撓みを矯正するように構成されている。このように構成すれば、開口部の計測に際して実際に撮像される領域（撮像範囲）に生じうるスクリーンマスクの撓みを確実に防止することができる。

上記第１の局面によるスクリーンマスクの観察装置において、好ましくは、矯正手段は、第１矯正部材に加えて、スクリーンマスクの表面のうちの下面に面接触した状態で下面を支持することによりスクリーンマスクの下方への撓みを矯正する第２矯正部材をさらに含む。このように構成すれば、固定部に固定されたスクリーンマスクの自重に起因してスクリーンマスクが下方に撓みやすい状態であっても、第２矯正部材がスクリーンマスクの下面と面接触した状態で下面を支持するので、スクリーンマスクが下方に撓むことを第２矯正部材によって容易に防止することができる。

この場合、好ましくは、第２矯正部材は、スクリーンマスクと固定部との間に配置された状態で、スクリーンマスクの下面を支持することによりスクリーンマスクの下方への撓みを矯正するように構成されている。このように構成すれば、固定部に固定されたスクリーンマスクの下面に対して、第２矯正部材を容易に面接触させることができる。

上記矯正手段が第２矯正部材をさらに含む構成において、好ましくは、第２矯正部材は、少なくとも撮像部が有する撮像範囲に対応する部分が透明であり、撮像部は、第２矯正部材を介してスクリーンマスクの下面を下方から撮像するように構成されている。このように構成すれば、スクリーンマスクの下面のうちの第２矯正部材が面接触して撓まない状態となった部分を、透明な第２矯正部材自身を通して確実に撮像することができる。なお、スクリーンマスクを使用して基板に半田を印刷する場合、スクリーンマスクの下方に基板が配置されるので、基板に印刷された半田のサイズは、基板に接するスクリーンマスクの下面での開口サイズに対応する。したがって、撮像部が下方から撮像することによりスクリーンマスクの下面での開口サイズを計測する方が、上面側での開口サイズを計測する場合よりも印刷される半田の形状によりよく対応した計測データを得ることができる。また、スクリーンマスクに対して第２矯正部材および撮像部を同じ側（マスクの下面側）に配置することができるので、スクリーンマスクの上面側のスペースを確保することができる。これにより、観察装置へのスクリーンマスクの固定および取り外し作業を容易に行うことができる。なお、本発明において、撮像部が有する撮像範囲とは、撮像部の視野領域（視野角または画角）に対応する範囲と、撮像部が被写体に沿って走査しながら複数の画像を順次撮像して得られる広範囲の撮像範囲とを含む広い概念である。

上記第１の局面によるスクリーンマスクの観察装置において、好ましくは、撮像部は、スクリーンマスクの表面に沿って移動可能に構成されており、第１矯正部材は、撮像部の移動に同期して移動することにより、撮像部により撮像される領域のスクリーンマスクの撓みを矯正するように構成されている。このように構成すれば、第１矯正部材は、撮像部の移動とともに移動しながら、撮像部が実際に撮像する領域を常に撓まない状態に矯正することができる。これにより、撮像部は、常に歪みが生じていないスクリーンマスクの表面を撮像することができる。また、スクリーンマスクを使用して基板に半田を印刷する際には、移動するスキージ（ヘラ部材）でスクリーンマスクの上面を押圧する状態となる。したがって、本発明のスクリーンマスクの観察装置においても、移動する第１矯正部材を用いて同様の状況を再現しながらスクリーンマスクの表面を撮像することができるので、開口部の形状をより正確に計測することができる。

上記第１の局面によるスクリーンマスクの観察装置において、好ましくは、第１矯正部材は、少なくとも撮像部が有する視野領域に対応するスクリーンマスクの上面の領域を押圧可能な大きさおよび形状を有する。このように構成すれば、第１矯正部材を、撮像部が有する視野領域（画角）に対応する領域に生じるスクリーンマスクの撓みを矯正するための最小限の大きさを有するように構成することができる。これにより、第１矯正部材の大きさおよび形状を簡素化かつ小型化することができる。

この発明の第２の局面における印刷装置は、スクリーンマスクを固定する固定部と、スクリーンマスク上に半田を供給する半田供給部と、ヘラ部材が装着され、半田供給部により半田が供給されたスクリーンマスクに対してヘラ部材を当接させた状態で所定の方向に移動可能なヘッド部と、スクリーンマスクを撮像する撮像部と、スクリーンマスクが固定部に固定された状態で撮像部によりスクリーンマスクの表面を撮像する際に、スクリーンマスクの撓みを矯正する矯正手段とを備え、矯正手段は、ヘッド部に装着されるとともにスクリーンマスクの表面のうちの上面に面接触した状態で上面を押圧することによりスクリーンマスクの上方への撓みを矯正する第１矯正部材を含む。

この発明の第２の局面による印刷装置では、上記のように、スクリーンマスクが固定部に固定された状態で撮像部によりスクリーンマスクの表面を撮像する際に、スクリーンマスクの撓みを矯正する矯正手段を備えることによって、スクリーンマスクは、矯正手段により撓む状態が回避されて撓まない状態が維持されるので、マスク開口部の平面的な形状も歪まない。これにより、この印刷装置では、撮像部が歪みが生じていないスクリーンマスクの表面を撮像することができるので、マスク開口部の形状を正確に観察（計測）する機能を備えた印刷装置を実現することができる。

上記第２の局面による印刷装置において、好ましくは、矯正手段は、第１矯正部材に加えて、スクリーンマスクの表面のうちの下面に面接触した状態で下面を支持することによりスクリーンマスクの下方への撓みを矯正する第２矯正部材をさらに含む。このように構成すれば、固定部に固定されたスクリーンマスクの自重に起因してスクリーンマスクが下方に撓みやすい状態であっても、第２矯正部材がスクリーンマスクの下面と面接触しながら下面を支持するので、スクリーンマスクが下方に撓むことを第２矯正部材によって容易に防止することができる。また、スクリーンマスクが上方に反る部分を有していても、第１矯正部材がスクリーンマスクの上面と面接触して上面を下方に押圧するので、スクリーンマスクが上方に撓む（反る）ことを第１矯正部材によって容易に防止することができる。さらには、第１矯正部材と第２矯正部材との両方を備える場合には、スクリーンマスクがいずれの方向にも容易に撓まなくなるので、スクリーンマスクの平坦性を確実に維持することができる。

上記第２の局面による印刷装置において、好ましくは、ヘッド部は、ヘラ部材が装着された状態からヘラ部材を取り外してヘッド部に第１矯正部材を装着することが可能に構成されており、第１矯正部材は、ヘッド部に装着された状態でスクリーンマスクの上面に面接触して上面を押圧することによりスクリーンマスクの上方への撓みを矯正するように構成されている。このように構成すれば、半田印刷時に使用されるヘッド部の機能を有効に利用して、スクリーンマスクの上方への撓み（反り）を矯正することができる。また、第１矯正部材を水平方向に移動させたり、スクリーンマスクを押圧したりする専用の機構を別途設ける必要がないので、既存の印刷装置の構成を有効に利用してスクリーンマスクの撓みを矯正する機能を得ることができる。

本発明の一実施形態による印刷装置の構成を示した斜視図である。 図１における印刷装置をＸ１方向に沿って見た場合の側面図である。 本発明の一実施形態による印刷装置においてマスクスキャン動作を行う際の構成を示した側面図である。 本発明の一実施形態による印刷装置においてマスクスキャン動作を行う際の構成を示した側面図である。 本発明の一実施形態による印刷装置が通常の半田印刷動作を行う際の構成を示した側面図である。 本発明の一実施形態による印刷装置においてマスクスキャン動作を行う際の構成を示した概略的な斜視図である。 図１に示した印刷装置の構成を示したブロック図である。 本発明の一実施形態の第１変形例による下面側矯正治具の構成を示した斜視図である。 本発明の一実施形態の第２変形例による下面側矯正治具および昇降テーブルの構成を示した上面図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

図１〜図７を参照して、本発明の一実施形態による印刷装置１００の構造について説明する。

本発明の一実施形態による印刷装置１００は、図１および図２に示すように、基台１０と、基台１０上に設けられ、プリント基板（配線基板）１５０を搬送する基板搬送部２０と、基板搬送部２０の上方（Ｚ１側）に設けられ、プリント基板１５０に対して半田の印刷を行う印刷部３０とを備えている。

基板搬送部２０は、印刷前のプリント基板１５０の搬入を行う一対のコンベア２１と、印刷後のプリント基板１５０の搬出を行う一対のコンベア２２と、コンベア２１および２２の間に設けられた基板位置決め昇降装置７０とを含んでいる。基板位置決め昇降装置７０は、プリント基板１５０を保持した状態のコンベア７５を昇降する機能と、プリント基板１５０をマスクプレート９０の下面９０ａに当接する印刷位置Ｐ（図２参照）に配置する機能とを有している。また、コンベア２１および２２は、基台１０上を基板搬送方向（Ｘ方向）に延びるように設けられている。なお、マスクプレート９０は、本発明の「スクリーンマスク」の一例であり、下面９０ａは、本発明の「スクリーンマスクの表面」の一例である。

また、基板位置決め昇降装置７０は、Ｙ軸テーブル７１と、Ｘ軸テーブル７２と、Ｒ軸テーブル７３と、Ｚ軸テーブル７４とを含んでいる。これにより、プリント基板１５０は、基板搬送方向（Ｘ方向）、印刷方向（Ｙ方向）、上下方向（Ｚ方向）および水平面内（Ｘ−Ｙ平面）での回転方向（Ｒ方向）に自在に移動されるように構成されている。

また、図２に示すように、基台１０上にはＹ方向に延びるレール７１ａが設けられている。また、Ｙ軸テーブル７１は、レール７１ａに対してスライド可能に取り付けられているので、Ｙ軸テーブル７１は、図示しないサーボモータおよびボールネジ機構によってレール７１ａ上をＹ方向に移動可能に構成されている。また、Ｙ軸テーブル７１上には、Ｘ方向に延びるレール７２ａが設けられている。そして、Ｘ軸テーブル７２は、レール７２ａにスライド可能に取り付けられているので、Ｘ軸テーブル７２は、図示しないサーボモータおよびボールネジ機構によってＹ軸テーブル７１に対してレール７２ａ上をＸ方向に移動可能に構成されている。

Ｘ軸テーブル７２上には支持機構７３ａが設けられている。そして、Ｒ軸テーブル７３は、支持機構７３ａにより水平面内で回転可能に支持されているので、Ｒ軸テーブル７３は、図示しないサーボモータおよびボールネジ機構によってＸ軸テーブル７２上で回転駆動されるように構成されている。また、Ｒ軸テーブル７３には、Ｚ軸テーブル７４に固定されたＺ方向に延びる複数のガイド軸７４ａが挿入されている。そして、Ｚ軸テーブル７４は、図示しないサーボモータおよびボールネジ機構７４ｂによってＲ軸テーブル７３に対してＺ方向に昇降可能に構成されている。

また、Ｚ軸テーブル７４上には一方向（Ｘ方向）に延びる一対のコンベア７５が配置されている。コンベア７５は、図１に示すように、Ｚ軸テーブル７４が下降した状態で、上面がコンベア２１および２２と同じ高さ位置で接続される。これにより、コンベア２１上をＸ１方向に移動する印刷前のプリント基板１５０が、コンベア７５まで搬入されるとともに、印刷後のプリント基板１５０は、コンベア７５からコンベア２２に移動されて印刷装置１００外に搬出することが可能に構成されている。

また、Ｚ軸テーブル７４には、一対のコンベア７５に挟まれた領域に配置されＺ方向に昇降可能な昇降テーブル７６（図２参照）と、コンベア７５上のプリント基板１５０を一時的に保持するクランプ片７７ａおよび７７ｂとが設けられている。また、昇降テーブル７６の上面（Ｚ１側）には、プリント基板１５０を下方から支える複数のピン（図示せず）が配置されている。昇降テーブル７６は、Ｚ方向に延びるスライド軸７６ａを介してＺ軸テーブル７４に対してＺ方向にスライド可能に取り付けられているので、昇降テーブル７６は、図示しないサーボモータおよびラック・ピニオン機構によってＺ方向に昇降可能に構成されている。

昇降テーブル７６が駆動されることにより、コンベア７５上に載置されたプリント基板１５０が上昇してクランプ片７７ａおよび７７ｂと同一の高さ位置まで移動される。そして、プリント基板１５０は、クランプ片７７ａおよび７７ｂにより保持されるとともに、プリント基板１５０の下面が図示しないピンにより支持される。また、印刷後には、クランプ片７７ａおよび７７ｂによる保持が解除された後、昇降テーブル７６が下降することにより、印刷済みのプリント基板１５０は、コンベア７５上に戻されて、搬出動作に移行される。なお、プリント基板１５０がコンベア７５上に載置された後は、昇降テーブル７６は、搬出入されるプリント基板１５０とは干渉しない位置までさらに下降される。

なお、クランプ片７７ａはＺ軸テーブル７４に対して固定的に設けられている一方、クランプ片７７ｂはＹ方向に移動可能に設けられている。これにより、コンベア７５上では、クランプ片７７ｂがプリント基板１５０のＹ１側の側端面をＹ２方向に押圧しながらクランプ片７７ｂをＹ２方向に移動させることにより、プリント基板１５０のＹ２側の側端面がクランプ片７７ａに当接される。このようにして、クランプ片７７ａおよび７７ｂにより、プリント基板１５０が挟み込まれて印刷方向（Ｙ方向）の位置決めが行われるように構成されている。

印刷部３０は、図１に示すように、半田印刷に用いられるマスクプレート９０を支持するマスク支持部３１と、マスクプレート９０を介してプリント基板１５０に半田を印刷する印刷ユニット４０と、印刷時に印刷ユニット４０を印刷方向（Ｙ方向）に駆動する駆動部８０とを含んでいる。ここで、マスクプレート９０は、約２０μｍ以上約１５０μｍ以下の厚みを有する板状（シート状）の部材からなり、複数の開口部９１（図３参照）がパターニングされた開口領域９２を有している。このようにシート状のマスクプレート９０は屈曲性を有するため、マスクプレート９０は、周囲が剛性の高い部材からなるフレーム９５に固定されている。フレーム９５は、最大で約７５０ｍｍ角（縦×横）の大きさを有しており、マスクプレート９０のサイズに応じて、フレーム９５のサイズも適宜決定される。なお、マスク支持部３１は、本発明の「固定部」の一例である。また、マスクプレート９０が固定されたフレーム９５は、本発明の「スクリーンマスク」の一例である。

Ｘ方向の両側に設けられたマスク支持部３１は、基板位置決め昇降装置７０の上方（Ｚ１側）において基台１０のフレーム部材１１および１２を介して固定的に設置されている。また、各々のマスク支持部３１は、フレーム９５の外縁部を下方（Ｚ２側）から支持する支持板３１ａと、支持板３１ａ上に載置されたフレーム９５の上面を上方から押圧するクランプ片３１ｂ（４箇所）とを有している。なお、フレーム９５がマスク支持部３１を介して固定されることにより、マスクプレート９０の下面９０ａは、印刷位置Ｐ（図２参照）に配置されるように構成されている。

ここで、本実施形態では、図２に示すように、基板搬送部２０と印刷部３０との間に、マスクプレート９０を観察するためのカメラ１５が設けられている。具体的には、印刷部３０は、マスク支持部３１の下面側に設けられ、Ｙ方向に沿って移動可能に取り付けられたビーム部材１６を備えている。また、カメラヘッド部１７が、ビーム部材１６に対してＸ方向（図１参照）に移動可能に取り付けられている。そして、カメラ１５は、レンズを上向き（Ｚ１方向）の状態にしてカメラヘッド部１７のＹ１側の側面に固定されている。これにより、カメラ１５は、コンベア７５および昇降テーブル７６がカメラ１５よりも下方（Ｚ２側）に位置した状態で、Ｘ−Ｙ平面内の任意の位置に移動することが可能に構成されている。

印刷装置１００では、プリント基板１５０への半田印刷機能に加えて、マスクプレート９０の下面９０ａを撮像して、複数の開口部９１を有する開口領域９２の画像データを得ることが可能に構成されている。この下面９０ａの観察は、マスクスキャン動作と呼ばれる。通常、マスクプレート９０が有する開口部９１（図３参照）の大きさや形成位置などを含む元データ（ガーバデータ）がマスク製造元より提供されるので、この元データに基づいて印刷後の検査が行われる。一方、マスクの元データが製造元より供給されない場合には、マスクプレート９０を直接観察して開口部９１の大きさや形成位置を取得するマスクスキャン動作を行う必要がある。したがって、カメラ１５は、このマスクスキャン動作を行う場合に使用される。そして、このマスクスキャン動作により取得した開口部９１の大きさや形成位置などのデータに基づいて、半田印刷後の検査が行われる。なお、カメラ１５は、本発明の「撮像部」の一例であり、印刷装置１００は、本発明の「スクリーンマスクの観察装置」の一例である。

また、本実施形態では、図３に示すように、一対のマスク支持部３１は、透明な材料からなる平板状の下面側矯正治具１１０が取り付け可能に構成されている。これにより、マスクスキャン動作を行う際には、下面側矯正治具１１０の上面１１０ａ上にマスクプレート９０を載置した状態で下面９０ａを撮像することが可能に構成されている。

詳細に説明すると、下面側矯正治具１１０は、約２ｍｍ以上約５ｍｍ以下の厚みを有するガラス板からなり、Ｘ方向に対向する一対のマスク支持部３１間に架橋された状態でマスク支持部３１上に固定されている。下面側矯正治具１１０は、マスク支持部３１上に固定された状態では、上面１１０ａが印刷装置１００のＸ−Ｙ平面に対して平行に配置されている。ここで、各々の支持板３１ａの上面には下面側矯正治具１１０の厚みと略同じ深さを有する段差部３１ｃがＹ方向（紙面に垂直な方向）に延びて形成されており、下面側矯正治具１１０のＸ方向の端部が各々の段差部３１ｃに嵌め込まれている。したがって、支持板３１ａの上面と、下面側矯正治具１１０の平坦な上面１１０ａとが同一面上に揃えられている。下面側矯正治具１１０には、窓ガラスなどに使用されるフロートガラス（透明ガラス）を用いてもよいし、合成石英ガラスを用いてもよい。

また、図６に示すように、下面側矯正治具１１０の平面積は、マスクプレート９０の開口領域９２が有する平面積以上の大きさであればよい。ただし、ガラス板の厚み（Ｚ方向）に応じて下面側矯正治具１１０の最大サイズが規格化されている。より大きなサイズで下面側矯正治具１１０を構成する場合、より厚いガラス板を適用するのが好ましい。なお、下面側矯正治具１１０は、本発明の「矯正手段」および「第２矯正部材」の一例である。また、開口領域９２は、本発明の「撮像部により撮像される領域」の一例である。

これにより、図３に示すように、シート状のマスクプレート９０は、下面９０ａが下面側矯正治具１１０の上面１１０ａに対して面接触した状態で下面側矯正治具１１０上に載置されるので、マスクスキャン動作中は、マスクプレート９０の下方（Ｚ２方向）への撓みが矯正されて撓まない状態が維持されるように構成されている。なお、図５に示す通常の半田印刷時には、下面側矯正治具１１０は、マスク支持部３１から取り外されている。

また、図１および図２に示すように、印刷ユニット４０は、マスクプレート９０の上面９０ｂに対して半田を押圧しながら摺動するスキージユニット５０と、マスクプレート９０の上面９０ｂ上に半田を供給する半田供給部６０と、スキージユニット５０および半田供給部６０を支持するように構成され、印刷方向（Ｙ方向）に往復移動可能な支持部材４１とを含んでいる。スキージユニット５０は、マスクプレート９０に形成された開口部９１を介して半田をプリント基板１５０上に押し出す機能を有している。これにより、半田がプリント基板１５０に印刷される。

スキージユニット５０は、図５に示すように、支持部材４１のＹ１側の側面に設けられている。また、スキージユニット５０は、通常の印刷時に昇降テーブル７６により支持されたプリント基板１５０がマスクプレート９０の下面９０ａに接した状態でマスクプレート９０の上面９０ｂを摺動するスキージ５１と、スキージ５１を上下方向に移動させるとともに、印刷時に下方への印圧荷重をスキージ５１に付加する昇降機構部５２と、Ｘ方向に延びる回動軸５３ｂを中心にスキージ５１を回動させる回動機構部５３とを含んでいる。

印刷時には、昇降機構部５２によりスキージ５１をＺ２方向に下降させてマスクプレート９０の上面９０ｂに当接させるとともに、印刷方向を転換する場合には、昇降機構部５２によりスキージ５１を一時的に上昇させた状態でスキージ５１が回動機構部５３により回動される。回動機構部５３は、Ｙ１方向への印刷時には半田押圧面５１ａがＹ１側を向くようにスキージ５１を回動し、Ｙ２方向への印刷時には半田押圧面５１ａがＹ２側を向くようにスキージ５１を回動するように構成されている。回動機構部５３によってスキージ５１の傾斜角度を交互に切り替えることにより、１つのスキージ５１によりＹ１方向の印刷動作とＹ２方向の印刷動作とが行われる。なお、スキージ５１および昇降機構部５２は、それぞれ、本発明の「ヘラ部材」および「ヘッド部」の一例である。

昇降機構部５２は、支持部材４１の側面に固定された固定部５２ａと、固定部５２ａのＸ方向の側方に設けられたサーボモータ５２ｂ（図１参照）と、ボールネジ軸５２ｃと、サーボモータ５２ｂのモータ軸の回転をボールネジ軸５２ｃに伝達するベルト５２ｄとを含んでいる。ボールネジ軸５２ｃは回転可能に固定部５２ａに固定されている。また、固定部５２ａの側面には固定部５２ａに対して上下方向に移動可能な可動部５２ｅが設けられている。可動部５２ｅはボールネジ軸５２ｃと螺合しており、サーボモータ５２ｂによりベルト５２ｄを介してボールネジ軸５２ｃを回転させることによって、可動部５２ｅを上下方向に移動させることが可能である。なお、可動部５２ｅは、固定部５２ａに図示しない圧縮コイルばねを介して取り付けられており、サーボモータ５２ｂの駆動力は、ベルト５２ｄ、ボールネジ軸５２ｃおよび圧縮コイルばねを介して可動部５２ｅに伝えられる。また、サーボモータ５２ｂの駆動力は、昇降テーブル７６によりプリント基板１５０がマスクプレート９０の下面９０ａに当接した状態において、スキージ５１が上方からマスクプレート９０の上面９０ｂを押圧する際の荷重となるように構成されている。

回動機構部５３は、昇降機構部５２の可動部５２ｅ内に設けられたサーボモータ５３ａと、スキージ５１が固定される回動軸５３ｂと、回動軸５３ｂが収納されたハウジング５３ｃとを含んでいる。サーボモータ５３ａのモータ軸の回転は、図示しない複数のギアにより回動軸５３ｂに伝達されるように構成されている。

ここで、本実施形態では、図２に示すように、昇降機構部５２は、回動機構部５３にスキージ５１（図５参照）が装着された状態からスキージ５１を取り外して上面側矯正治具１２０を装着することが可能に構成されている。これにより、通常の半田印刷時とは異なるマスクスキャン動作では、上述した下面側矯正治具１１０に加えて上面側矯正治具１２０を使用してマスクプレート９０の撓みをさらに矯正することが可能に構成されている。なお、上面側矯正治具１２０は、本発明の「矯正手段」および「第１矯正部材」の一例である。

詳細に説明すると、上面側矯正治具１２０は、図４に示すように、Ｘ１方向に見た断面が逆さＴ字形状を有するステンレス製の部材からなり、回動機構部５３のハウジング５３ｃに下方から取り付けられる取付部１２０ａと、取付部１２０ａの下端に接続されＸ方向に短冊状に延びる押圧部１２０ｂとを含んでいる。押圧部１２０ｂは、約５ｍｍ程度の厚みを有するとともに、平坦な下面１２０ｃを有している。また、上面側矯正治具１２０は、押圧部１２０ｂを常に真下（Ｚ２方向）に向けることにより、下面１２０ｃがマスクプレート９０の上面９０ｂに対して略平行となる状態でハウジング５３ｃに取り付けられており回動しない。また、押圧部１２０ｂの大きさおよび形状は、カメラ１５が有する視野領域（視野角）に対応するマスクプレート９０の上面９０ｂの領域を押圧可能な大きさおよび形状を有していればよい。この場合、Ｙ方向における押圧部１２０ｂの幅が、カメラ１５のＹ方向に沿った視野領域以上の長さが確保されていればよい。

これにより、マスクプレート９０は、上面９０ｂが上面側矯正治具１２０の下面１２０ｃに対して面接触した状態で、上面側矯正治具１２０の押圧部１２０ｂにより下方に押圧されるので、撮像中は、マスクプレート９０の上方（Ｚ１方向）への反り（撓み）が矯正されて反らない状態が維持されるように構成されている。

また、本実施形態では、カメラ１５がＸ−Ｙ平面内を移動する際、スキージユニット５０は、カメラ１５のＹ方向の移動に同期して、上面側矯正治具１２０が固定された昇降機構部５２をＹ方向に移動させることが可能に構成されている。したがって、Ｘ−Ｙ平面におけるカメラ１５の光軸１５ａ上に、常に上面側矯正治具１２０の押圧部１２０ｂが配置された状態で、上面９０ｂが押圧部１２０ｂにより押圧されるように構成されている。また、撮像と共に上面側矯正治具１２０がＹ方向に移動されるので、マスクプレート９０に対して通常の印刷時と同様の状況を再現しながらマスクスキャンが行われる。なお、押圧状態での上面側矯正治具１２０のＹ方向への移動を考慮して、押圧部１２０ｂのＹ方向の両端部に、面取り加工が施されているのが好ましい。なお、Ｘ方向へのスキャニングについては、図６に示すように、カメラ１５がＸ方向に延びる押圧部１２０ｂに沿ってＸ方向に移動して、押圧部１２０ｂに押圧された領域の下面９０ａの撮像を順次行う。

また、図１および図２に示すように、半田供給部６０は、半田が収容されたシリンジ６１と、シリンジ６１を支持するとともに支持部材４１のＹ１側の側面に固定されたアーム６２とを含んでいる。アーム６２により支持されたシリンジ６１は、上面側矯正治具１２０のＸ方向の略中央部に対してＹ１側に所定の間隔を隔てて配置されている。また、シリンジ６１の下部には半田を吐出する供給口６１ａ（図２参照）が設けられている。シリンジ６１にはピストン（図示せず）が内蔵されているとともに、支持部材４１に取り付けられた吐出バルブ６３を用いてシリンジ６１内のピストンに対して加圧することによって供給口６１ａから半田が吐出されるように構成されている。また、シリンジ６１の側方には静電容量型のセンサ６４が設けられている。このセンサ６４によりシリンジ６１内の半田が所定量以下であることを検知することが可能である。

駆動部８０は、図１に示すように、支持部材４１をＹ方向に移動可能に支持する一対のガイドレール８１と、Ｙ方向に延びるボールネジ軸８２と、ボールネジ軸８２を回転させるサーボモータ８３とを含んでいる。また、支持部材４１にはボールネジ軸８２が螺合されるボールナット４２が設けられている。支持部材４１は、サーボモータ８３によりボールネジ軸８２が回転されることによってＹ方向に移動するように構成されている。また、スキージユニット５０と半田供給部６０とが支持部材４１に支持された状態で支持部材４１を駆動部８０により駆動することによって、スキージユニット５０の上面側矯正治具１２０と半田供給部６０のシリンジ６１とが一体的に駆動されるように構成されている。

また、図７に示すように、この印刷装置１００には、ＣＰＵと基板回路とにより構成された制御部８５が内蔵されている。制御部８５は、駆動部８０に設けられたサーボモータ８３、スキージ５１または上面側矯正治具１２０（図４参照）を昇降させるためのサーボモータ５２ｂ、スキージ５１を回動させるためのサーボモータ５３ａ、半田を吐出するための吐出バルブ６３などの駆動制御を行うように構成されている。また、制御部８５は、マスクスキャン動作時には、カメラ１５（図６参照）をＸ−Ｙ平面に沿って移動させる制御を行うように構成されている。この際、カメラ１５の位置制御とともに、駆動部８０およびサーボモータ５２ｂを制御して上面側矯正治具１２０（図６参照）の位置をカメラ１５の動きに追従させるように構成されている。また、印刷装置１００の外部には表示部１０１が設けられており、印刷装置１００の動作状態などが表示されるように構成されている。このようにして、印刷装置１００は構成されている。

本実施形態では、上記のように、フレーム９５がマスク支持部３１（支持板３１ａ）に固定された状態でカメラ１５によりマスクプレート９０の下面９０ａを撮像する際に、マスクプレート９０の撓みを矯正する下面側矯正治具１１０および上面側矯正治具１２０を備えることによって、マスクプレート９０は、下面側矯正治具１１０と上面側矯正治具１２０とによって撓む状態が回避されて撓まない状態が維持されるので、マスクが有する開口部９１の平面的な形状も歪まない。これにより、カメラ１５は、歪みが生じていないマスクプレート９０の下面９０ａを撮像することができるので、開口部９１の形状を正確に観察（計測）することができる。

また、本実施形態では、ガラス板からなる下面側矯正治具１１０は、マスクプレート９０の下面９０ａのうちの少なくともカメラ１５により撮像される開口領域９２に生じる撓みを矯正するように構成されている。これにより、開口部９１の計測に際して実際に撮像される開口領域９２に生じうるマスクプレート９０の撓みを確実に防止することができる。

また、本実施形態では、下面側矯正治具１１０は、マスクプレート９０の下面９０ａに面接触した状態で下面９０ａを支持することによりマスクプレート９０の下方への撓みを矯正するように構成されている。これにより、マスク支持部３１（支持板３１ａ）に固定されたマスクプレート９０の自重に起因してマスクプレート９０が下方に撓みやすい状態であっても、下面側矯正治具１１０がマスクプレート９０の下面９０ａと面接触した状態で下面９０ａを支持するので、マスクプレート９０が下方に撓むことを下面側矯正治具１１０によって容易に防止することができる。

また、本実施形態では、下面側矯正治具１１０は、マスクプレート９０とマスク支持部３１との間に配置された状態で、マスクプレート９０の下面９０ａを支持することによりマスクプレート９０の下方への撓みを矯正するように構成されている。これにより、マスク支持部３１に固定されたマスクプレート９０の下面９０ａに対して、下面側矯正治具１１０の平坦な上面１１０ａを容易に面接触させることができる。

また、本実施形態では、下面側矯正治具１１０は、少なくともカメラ１５が有する撮像範囲に対応する部分が透明であり、カメラ１５は、下面側矯正治具１１０を介してマスクプレート９０の下面９０ａを下方から撮像するように構成されている。これにより、下面９０ａのうちの下面側矯正治具１１０が面接触して撓まない状態となった部分を、透明な下面側矯正治具１１０自身を通して確実に撮像することができる。なお、半田印刷時には、マスクプレート９０の下方にプリント基板１５０が配置されるので、プリント基板１５０に印刷された半田のサイズは、プリント基板１５０に接するマスクプレート９０の下面９０ａでの開口部９１のサイズに対応する。したがって、カメラ１５が下方から撮像することにより下面９０ａでの開口サイズを計測する方が、上面９０ｂ側での開口サイズを計測する場合よりも印刷される半田の形状によりよく対応した計測データを得ることができる。また、マスクプレート９０に対して下面側矯正治具１１０およびカメラ１５を同じ側（マスクの下面９０ａの下方）に配置することができるので、マスクプレート９０の上面９０ｂ側のスペースを確保することができる。これにより、印刷装置１００へのマスクプレート９０の固定および取り外し作業を容易に行うことができる。

また、本実施形態では、上面側矯正治具１２０は、マスクプレート９０の上面９０ｂに面接触した状態で上面９０ｂを押圧することによりマスクプレート９０の上方への撓みを矯正するように構成されている。これにより、マスク支持部３１に固定されたマスクプレート９０が上方に反る部分を有していても、上面側矯正治具１２０がマスクプレート９０の上面９０ｂと面接触して上面９０ｂを下方に押圧するので、マスクプレート９０が上方に撓む（反る）ことを上面側矯正治具１２０によって容易に防止することができる。

また、本実施形態では、カメラ１５は、マスクプレート９０の下面９０ａに沿って移動可能に構成されており、上面側矯正治具１２０は、カメラ１５の移動に同期して移動することにより、カメラ１５により撮像される領域のマスクプレート９０の撓みを矯正するように構成されている。これにより、上面側矯正治具１２０は、カメラ１５の移動とともに移動しながら、カメラ１５が実際に撮像する領域を常に撓まない状態に矯正することができる。これにより、カメラ１５は、常に歪みが生じていないマスクプレート９０の下面９０ａを撮像することができる。また、マスクプレート９０を使用してプリント基板１５０に半田を印刷する際には、移動するスキージ５１で上面９０ｂを押圧する状態となる。したがって、マスクスキャン動作の際も、Ｙ方向に移動する上面側矯正治具１２０を用いて同様の状況を再現しながらマスクプレート９０の下面９０ａを撮像することができるので、開口部９１の形状をより正確に捉えることができる。

また、本実施形態では、上面側矯正治具１２０は、少なくともカメラ１５が有する視野領域に対応するマスクプレート９０の上面９０ｂの領域を押圧可能な大きさおよび形状を有する。これにより、上面側矯正治具１２０では、カメラ１５が有する視野領域（画角）に対応する領域に生じるマスクプレート９０の撓みを矯正するための最小限の平面積を有するように押圧部１２０ｂを構成することができる。したがって、上面側矯正治具１２０の大きさおよび形状を簡素化かつ小型化することができる。

また、本実施形態では、昇降機構部５２は、スキージ５１が装着された状態からスキージ５１を取り外して回動機構部５３のハウジング５３ｃに上面側矯正治具１２０を装着することが可能に構成されている。そして、上面側矯正治具１２０がハウジング５３ｃに装着された状態でマスクプレート９０の上面９０ｂに面接触して上面９０ｂを押圧することによりマスクプレート９０の上方への撓みを矯正するように構成されている。これにより、半田印刷時に使用される昇降機構部５２の機能を有効に利用して、マスクプレート９０の上方への撓み（反り）を矯正することができる。また、昇降機構部５２がスキージユニット５０に設けられているので、上面側矯正治具１２０を水平方向（Ｙ方向）に移動させたり、マスクプレート９０を押圧したりする専用の機構を別途設ける必要がないので、既存の印刷装置１００の構成を有効に利用してマスクプレート９０の撓みを矯正する機能を得ることができる。

なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。

たとえば、上記実施形態では、マスクプレート９０と略同じ大きさ（平面積）を有する下面側矯正治具１１０を全て透明なガラス板により構成した例について示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、下面側矯正治具は、実際の観察範囲となるマスクプレート９０の開口領域９２に対応する部分が透明であればよく、これ以外の部分は透明でなくてもよい。すなわち、図８に示す第１変形例のような下面側矯正治具を用いてもよい。

図８において、下面側矯正治具１１５は、開口１１５ｂを有する枠状のフレーム部１１５ａと、開口１１５ｂを塞ぐ窓部１１５ｃとを備えている。窓部１１５ｃにガラスなどの透明な材料を用いるとともに、フレーム部１１５ａにはガラスよりも安価な部材を用いることが可能である。窓部１１５ｃの開口１１５ｂへの取付方法としては、接着剤を用いて開口１１５ｂの内側面と窓部１１５ｃの外周面とを接合してもよいし、図３に示した下面側矯正治具１１０のマスク支持部３１への取付方法を適用して、窓部１１５ｃを段差加工が施された開口１１５ｂに嵌め込むようにして固定してもよい。また、カメラ１５によりマスクプレート９０の開口部９１（図３参照）と開口部９１以外の部分とが判別可能な撮像データが取得可能であるのならば、窓部１１５ｃは、所定の色を有する色付きガラス板であってもよい。なお、下面側矯正治具１１５は、本発明の「矯正手段」および「第２矯正部材」の一例である。

また、上記実施形態では、マスクプレート９０のマスクスキャン動作を行う際、マスクプレート９０の開口領域９２よりも広い平面積を有する下面側矯正治具１１０をマスク支持部３１上に固定して下方からカメラ１５による下面９０ａの撮像を行うように構成した例について示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、図９に示す第２変形例のように構成してもよい。

具体的には、下面側矯正治具１１０よりも小さな平面積を有するガラス製の下面側矯正治具１１６を昇降テーブル７６上に固定し、昇降テーブル７６の昇降機能を利用して、下面側矯正治具１１６の上面をマスクプレート９０の下面９０ａ（図３参照）に面接触させてもよい。この場合、昇降テーブル７６を開口７６ｇを有する枠体として構成するとともに、平面的に見て、開口７６ｇ内に露出する位置にカメラ１５を上向きに配置すればよい。たとえば、開口７６ｇの真下（紙面奥側）のＺ軸テーブル７４上にカメラ１５を固定することが可能である。そして、基板位置決め昇降装置７０が有するＸ軸テーブル７２およびＹ軸テーブル７１（図２参照）の移動機能を利用して、カメラ１５と下面側矯正治具１１６とをＸ−Ｙ平面内で一体的に移動させることにより、マスクプレート９０の開口領域９２をスキャニングすることが可能である。なお、Ｘ−Ｙ平面内での移動時には、昇降テーブル７６を若干下げて下面側矯正治具１１６を下面９０ａ（図３参照）から一時的に離間させるのが好ましい。なお、下面側矯正治具１１６は、本発明の「矯正手段」および「第２矯正部材」の一例である。この第２変形例のように構成すれば、下面側矯正治具１１６は、撮像される領域（開口領域９２）のみのマスクの撓みを矯正することができるので、下面側矯正治具１１６をより小型化することができる。また、基板位置決め昇降装置７０を用いて下面側矯正治具１１６をマスクプレート９０の下面９０ａに押し当てることができるので、印刷装置１００が有する機構を有効に利用して、撮像時のマスクの撓みを矯正することができる。

また、上記第２変形例では、下面側矯正治具１１６の全体がガラス製である例について示したが、本発明はこれに限られない。すなわち、上記第２変形例における下面側矯正治具１１６を、上記第１変形例（図８参照）と同様の趣旨で構成してもよい。下面側矯正治具１１６のうち、少なくともカメラ１５が有する視野領域に対応する部分が透明であればよい。この場合、下面側矯正治具１１６自体がＸ−Ｙ平面内で移動可能であり、カメラ１５の視野領域（画角）と下面側矯正治具１１６の透明部分との位置関係は変化しない。したがって、下面側矯正治具１１６の透明部分の大きさ（平面積）を、撮像可能な最小限のサイズにまで小さくすることができる。

また、上記実施形態では、上面側矯正治具１２０の押圧部１２０ｂが平坦な下面１２０ｃを有する例について示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、下面１２０ｃに、Ｙ方向に延びるとともにＸ方向に複数並べられたストライプ状（細長状）の溝部を形成してもよい。これにより、下面１２０ｃの溝部とは反対側の凸状の頂面のみをマスクプレート９０の上面９０ｂに接触させながら上面側矯正治具１２０をＹ方向に移動させることができる。押圧により撓みを矯正しつつ、完全な平坦面からなる下面１２０ｃと上面９０ｂとが接触する場合よりも摩擦抵抗を低減させた状態で上面側矯正治具１２０を容易に移動させることができる。また、摺動に伴う上面９０ｂへのキズ発生なども抑制することができる。あるいは、下面１２０ｃ側にエンボス加工を施してもよい。摩擦抵抗を低減しつつ、マスクプレート９０の上面９０ｂを、複数の島状の凸部で押圧することが可能である。

また、上記実施形態では、ステンレス製の上面側矯正治具１２０を用いた例について示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、上面側矯正治具１２０をウレタン樹脂やフッ素系樹脂などの樹脂材料を用いて形成してもよい。特に、フッ素系樹脂は他の部材（上面９０ｂ）との接触時に摺動性を発揮する。

また、上記実施形態では、下面側矯正治具１１０および上面側矯正治具１２０を用いてマスクプレート９０を上下から挟み込んで撓みを矯正した状態でマスクスキャン動作を行わせる例について示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、下面側矯正治具１１０のみを用いて撓みを矯正した状態で下面９０ａの観察を行ってもよい。あるいは、上面側矯正治具１２０のみを用いて撓み（反り）を矯正した状態で下面９０ａの観察を行ってもよい。

また、上記実施形態では、カメラ１５によってマスクプレート９０の下面９０ａ（プリント面）を下面側矯正治具１１０を介して撮像した例について示したが、本発明はこれに限られない。カメラをマスクプレート９０の上方に配置して、マスクプレート９０の上面９０ｂ（スキージ面）を撮像するように構成してもよい。この場合、上面側矯正治具１２０は不要となるが、下面側矯正治具１１０によりマスクプレート９０の撓みが矯正されているので、開口部９１の正確な形状データを得ることができる。

また、上記実施形態では、印刷装置１００が有する諸機能を利用するとともに印刷装置１００に下面側矯正治具１１０、上面側矯正治具１２０およびカメラ１５を組み込んでマスクプレート９０のマスクスキャン動作を担わせる例について示したが、本発明はこれに限られない。スクリーンマスク９０のスキャン動作を行う専用の観察装置に、本発明を適用してもよい。すなわち、マスクプレート９０を固定する固定部と、マスクプレート９０を撮像するカメラ１５と、マスクプレート９０が固定部に固定された状態でマスクプレート９０の下面９０ａを撮像する際にマスクの撓みを矯正する矯正手段（矯正治具）とを備えたスクリーンマスクの観察装置を、印刷装置１００とは別に単体で構成してもよい。印刷装置におけるマスクスキャン動作は、印刷動作と比較した場合にもその使用頻度が低い傾向にある。したがって、上記構成を備えた専用の観察装置を実現することにより、印刷装置への矯正治具の着脱作業などが省かれて、オペレータの負担が軽減される。

１５ カメラ（撮像部）
３１ マスク支持部（固定部）
５１ スキージ（ヘラ部材）
５２ 昇降機構部（ヘッド部）
６０ 半田供給部
９０ マスクプレート（スクリーンマスク）
９０ａ 下面（スクリーンマスクの表面）
９０ｂ 上面
９２ 開口領域（撮像部により撮像される領域）
９５ フレーム（スクリーンマスク）
１００ 印刷装置（スクリーンマスクの観察装置）
１１０、１１５、１１６ 下面側矯正治具（矯正手段、第２矯正部材）
１２０ 上面側矯正治具（矯正手段、第１矯正部材）

Claims (10)

1. スクリーンマスクを固定する固定部と、
   前記スクリーンマスクを撮像する撮像部と、
   前記スクリーンマスクが前記固定部に固定された状態で前記撮像部により前記スクリーンマスクの表面を撮像する際に、前記スクリーンマスクの撓みを矯正する矯正手段と、
   所定の方向に移動可能なヘッド部とを備え、
   前記矯正手段は、前記ヘッド部に装着されるとともに前記スクリーンマスクの前記表面のうちの上面に面接触した状態で前記上面を押圧することにより前記スクリーンマスクの上方への撓みを矯正する第１矯正部材を含む、スクリーンマスクの観察装置。
2. 前記矯正手段は、前記スクリーンマスクの前記表面のうちの少なくとも前記撮像部により撮像される領域に生じる撓みを矯正するように構成されている、請求項１に記載のスクリーンマスクの観察装置。
3. 前記矯正手段は、前記第１矯正部材に加えて、前記スクリーンマスクの前記表面のうちの下面に面接触した状態で前記下面を支持することにより前記スクリーンマスクの下方への撓みを矯正する第２矯正部材をさらに含む、請求項１または２に記載のスクリーンマスクの観察装置。
4. 前記第２矯正部材は、前記スクリーンマスクと前記固定部との間に配置された状態で、前記スクリーンマスクの前記下面を支持することにより前記スクリーンマスクの下方への撓みを矯正するように構成されている、請求項３に記載のスクリーンマスクの観察装置。
5. 前記第２矯正部材は、少なくとも前記撮像部が有する撮像範囲に対応する部分が透明であり、
   前記撮像部は、前記第２矯正部材を介して前記スクリーンマスクの前記下面を下方から撮像するように構成されている、請求項３または４に記載のスクリーンマスクの観察装置。
6. 前記撮像部は、前記スクリーンマスクの前記表面に沿って移動可能に構成されており、
   前記第１矯正部材は、前記撮像部の移動に同期して移動することにより、前記撮像部により撮像される領域の前記スクリーンマスクの撓みを矯正するように構成されている、請求項１〜５のいずれか１項に記載のスクリーンマスクの観察装置。
7. 前記第１矯正部材は、少なくとも前記撮像部が有する視野領域に対応する前記スクリーンマスクの前記上面の領域を押圧可能な大きさおよび形状を有する、請求項１〜６のいずれか１項に記載のスクリーンマスクの観察装置。
8. スクリーンマスクを固定する固定部と、
   前記スクリーンマスク上に半田を供給する半田供給部と、
   ヘラ部材が装着され、前記半田供給部により半田が供給された前記スクリーンマスクに対して前記ヘラ部材を当接させた状態で所定の方向に移動可能なヘッド部と、
   前記スクリーンマスクを撮像する撮像部と、
   前記スクリーンマスクが前記固定部に固定された状態で前記撮像部により前記スクリーンマスクの表面を撮像する際に、前記スクリーンマスクの撓みを矯正する矯正手段とを備え、
   前記矯正手段は、前記ヘッド部に装着されるとともに前記スクリーンマスクの前記表面のうちの上面に面接触した状態で前記上面を押圧することにより前記スクリーンマスクの上方への撓みを矯正する第１矯正部材を含む、印刷装置。
9. 前記矯正手段は、前記第１矯正部材に加えて、前記スクリーンマスクの前記表面のうちの下面に面接触した状態で前記下面を支持することにより前記スクリーンマスクの下方への撓みを矯正する第２矯正部材をさらに含む、請求項８に記載の印刷装置。
10. 前記ヘッド部は、前記ヘラ部材が装着された状態から前記ヘラ部材を取り外して前記ヘッド部に前記第１矯正部材を装着することが可能に構成されており、
    前記第１矯正部材は、前記ヘッド部に装着された状態で前記スクリーンマスクの前記上面に面接触して前記上面を押圧することにより前記スクリーンマスクの上方への撓みを矯正するように構成されている、請求項８または９に記載の印刷装置。

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