KR100847577B1 - 프로빙 검사장치 - Google Patents

Abstract

웨이퍼 상에 형성된 반도체 소자를 테스트하는 프로빙 검사장치에 관한 것으로써, 상기 웨이퍼를 지지하는 척과, 상기 반도체 소자에 접촉되는 복수의 프로브가 구비되어 있는 프로브카드와, 상기 프로브 카드가 안착되는 프로브홀더와, 상기 프로브홀더를 상기 프로빙 검사장치의 외부로 수평 이동시켜 상기 프로브카드가 상기 프로브홀더에 안착되게 하고, 상기 프로브카드가 안착된 상기 프로브홀더를 상기 프로빙 검사장치 내부로 수평 이동시키는 이송부를 포함하되, 상기 이송부는 지지플레이트와, 상기 지지플레이트를 상기 프로빙 검사장치의 외측 방향으로 수평 이송되는 이송베이스와, 상기 이송베이스를 구동시키는 제1구동부와, 상기 지지플레이트를 상기 프로빙 검사장치의 내측 방향으로 수평 이송되는 이송지지부, 및 상기 이송지지부를 구동시키는 제2구동부를 포함한다.

본 발명의 프로빙 검사장치에 의하면, 외부에서 용이하게 프로브카드의 교체작업을 수행하는 것을 가능하게 한다.

이송부, 이송지지부, 이송지지부재, 이송플레이트

Description

프로빙 검사장치 {Probe tester for wafer}

도 1은 본 발명의 프로빙 검사장치에 구비된 이송부의 측면도이고,

도 2는 본 발명의 프로빙 검사장치에 구비된 이송부의 승강실린더가 작동한 경우의 측면도이고,

도 3은 본 발명의 프로빙 검사장치에 구비된 이송부의 승강실린더가 작동한 경우의 사시도이고,

도 4는 본 발명의 프로빙 검사장치에 구비된 이송부의 제 1구동부가 작동한 경우의 사시도이고,

도 5는 본 발명의 프로빙 검사장치에 구비된 이송부의 제 2구동부가 작동한 경우의 사시도이고,

도 6은 본 발명의 프로빙 검사장치에 구비된 이송부의 제 2구동부가 작동한 경우의 저면사시도이고,

도 7은 본 발명의 프로빙 검사장치에 구비된 이송부의 도 5의 A-A단면도이고,

도 8은 본 발명의 프로빙 검사장치에 구비된 이송부의 개략적인 사용상태에서 제 1구동부가 작동한 경우의 사시도이고,

도 9는 본 발명의 프로빙 검사장치에 구비된 이송부의 개략적인 사용상태에 서 제 2구동부가 작동한 경우의 사시도이고,

도 10은 본 발명의 프로빙 검사장치에 구비된 이송부의 개략적인 사용상태에서 도 9의 저면 사시도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

100 : 프로브홀더 110 : 안착부

120 : 체결부 200 : 지지플레이트

201 : 브래킷 210 : 제1구동부

211 : 실린더 212 : 고정부재

220 : 고정플레이트 221 : 보조브래킷

222 : 고정실린더 230 : 승강실린더

231 : 피스톤로드 232 : 승강실린더고정부재

240 : 이송베이스 241 : 연결안내홀

250 : 제2구동부 251 : 모터

252 : 고정브래킷 253 : 볼스크류

254 : 이송안내부재 255 : 연결부재

260 : 이송지지부 270 : 이송지지부재

280 : 유도부 281 : 풀리

282 : 풀리수용부 283 : 벨트

284 : 고정부 290 : 이송플레이트

300 : 이송부

본 발명은 프로빙 검사장치에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 프로브카드가 안착된 프로브홀더가 내ㆍ외부로 용이하게 반출입될 수 있는 프로빙 검사장치에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 웨이퍼(wafer) 상에는 복수개의 칩들이 규칙적으로 배열형성된다. 상기 각각의 칩에는, 수많은 전자 소자들(예를 들면, 트랜지스터들, 커패시터들, 저항체들 및 이들을 연결하는 배선들) 및 상기 전자 소자들과 전기적으로 접속하기 위한 복수개의 본딩 패드들(bonding pads)이 다양한 공정 단계들을 통해 형성된다. 이때, 상기 소자들은 상기 칩의 용도에 따른 고유한 기능을 수행할 수 있도록, 물리적 구조 및 전기적 연결을 형성한다.

이러한 칩들의 정상적인 동작을 위해서, 상기 칩들을 패키지 하기 전에, 즉 웨이퍼상에서 상기 칩들을 전기적으로 테스트하는 단계를 거친다. 이렇게 웨이퍼상에 형성된 반도체 칩은 프로브카드에 구비된 프로브들에 의해 접촉되어 검사되는바, 프로빙 검사장치에는 이러한 프로브카드의 장착을 위한 프로브홀더가 구비되게 된다.

종래의 프로빙 검사장치는 프로브카드를 장착 또는 교체할 때 테스터부를 180°회동시킨 후, 프로브카드를 테스터부에 장착하도록 구성되어 있다.

따라서, 종래의 프로빙 검사장치를 사용하는 경우에는 프로브카드를 장착 또 는 교체할 때마다, 테스터부를 180°회동시키는 불편함이 있었으며, 이와 같이 테스터부를 180°회동시킨 경우에는 프로빙 검사장치의 내부 온도가 외부와 같아지게 되기 때문에, 프로브카드의 장착 후, 다시 프로빙 검사장치의 온도를 조절해야 하는 번거로움이 있었다. 뿐만 아니라, 종래의 프로빙 검사장치는 테스터부의 180°회동을 위한 공간 및 그에 따른 작업자의 작업 공간이 필요한바, 공간 활용이 낮아지는 문제가 있었다.

본 발명은 위와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 프로브홀더를 슬라이드 방식으로 프로빙 검사장치의 내부 또는 외부로 이송시킬 수 있어 테스터를 회동 시키지 않아도 프로브카드를 프로빙 검사장치의 내부로 공급할 수 있게 하는 프로빙 검사장치를 제공하는데 있다.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 프로빙 검사장치는, 웨이퍼를 지지하는 척; 상기 반도체 소자에 접촉되는 복수의 프로브가 구비되어 있는 프로브카드; 상기 프로브 카드가 안착되는 프로브홀더; 상기 프로브홀더를 상기 프로빙 검사장치의 외부로 수평 이동시켜 상기 프로브카드가 상기 프로브홀더에 안착되게 하고, 상기 프로브카드가 안착된 상기 프로브홀더를 상기 프로빙 검사장치 내부로 수평 이동시키는 이송부;를 포함하되, 상기 이송부는 지지플레이트; 상기 지지플레이트를 상기 프로빙 검사장치의 외측 방향으로 수평 이송되는 이송베이스; 상기 이송베이스를 구동시키는 제1구동부; 상기 지지플레이트를 상기 프로빙 검사장치의 내측 방향으로 수평 이송되는 이송지지부; 및 상기 이송지지부를 구동시키는 제2구동부;를 포함한다.

삭제

상기 이송지지부는, 상기 이송베이스 상부에 구비되며 상기 이송베이스로부터 슬라이딩 되어 상기 프로빙 검사장치의 내측 방향으로 수평 이송되는 이송지지부재, 상기 이송지지부재의 상부에 구비되며 상기 이송지지부재의 이송에 따라 수평 이송되는 이송플레이트를 포함한다.

상기 이송지지부는, 상기 이송플레이트가 수평 이송될 수 있도록 구비되는 유도부;를 포함한다.

상기 제1구동부는, 상기 지지플레이트 내부에 구비되고 상기 이송베이스를 이송시키는 실린더로 구비된다.

상기 지지플레이트는, 그 일측에 구비되며 힌지로 고정되고, 상기 프로빙 검사장치의 본체 일측에 결합되는 고정플레이트를 더 포함한다.

일측이 상기 지지플레이트 저면에 결합되어, 상기 지지플레이트를 승강시키는 승강실린더를 더 포함한다.

상기 고정플레이트에 구비되며 상기 지지플레이트를 고정할 수 있도록 구비되는 고정실린더를 포함한다.

상기 유도부는, 상기 이송지지부재에 한쌍으로 구비되는 풀리, 상기 풀리들의 외주면을 감싸는 벨트, 상기 벨트의 일단 벨트와 상기 이송플레이트가 고정되는 상부고정부재, 상기 벨트의 타단 벨트와 상기 이송베이스가 고정되는 하부고정부재를 포함한다.

상기 제2구동부는, 모터, 상기 모터의 회전축에 결합되는 볼스크류, 상기 볼스크류에 결합되고 상기 볼스크류의 회전에 의해 전ㆍ후로 방향으로 이송되는 이송안내부재를 포함한다.

상기 이송안내부재의 일측에 고정되어 상기 이송지지부재와 연결되는 연결부재를 포함한다.

이하, 도 1 내지 도 7을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 프로브 스테이션에 대하여 구체적으로 설명한다.

본 발명의 한 실시예에 따른 프로빙 검사장치는 일방적으로 프로빙 검사장치에 사용되는 구성인 웨이퍼를 지지하는 척(도시하지 않음), 및 상기 웨이퍼에 형성된 반도체 소자에 접촉되는 복수의 프로브가 구비되어 있는 프로브카드(도시하지 않음) 등 외에 프로브홀더(100) 및 이송부(300)를 더 포함하여 구성한다.

본 발명의 프로빙 검사장치에서 프로브홀더(100) 및 이송부(300)를 제외한 척, 및 프로브카드 등의 구성은 프로빙 검사장치를 구성하는 통상적인 구성이므로 본 발명의 명세서에서는 그 구체적인 설명은 생략하도록 한다.

먼저, 프로브홀더(100)는 프로브카드를 안착시키기 위한 안착부(110)와 상기 프로브카드를 고정하기 위한 체결부(120)로 구성된다. 본 발명의 프로브홀더(100)의 형상은 도 3에서 도시된 바와 같이 링의 형상으로 구비되었으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 상기 프로브홀더(100)는 중심에서 동일한 반경을 갖는 내ㆍ외주면을 가지며, 그 상면에 프로브카드가 안착되는 것이다. 즉, 상기 안착부(110)는 상기 프로브홀더(100)의 내주면과 외주면 사이에 홈의 형태로 구비되고, 다수의 위치안내홈(111)을 포함한다. 상기 위치안내홈(111)은 상기 프로브홀더(100)의 중심에서 방사방향으로 다수개가 일정한 간격을 가지며 구비된다. 이 위치안내홈(111)은 상기 프로브카드의 저면부에 구비된 삽입돌기가 삽입되어 상기 프로브카드와 상기 프로브홀더(100)는 중심을 설정하게 되는 것이다.

또한, 상기 체결부(120)는 상기 프로브홀더(100)의 외주면에 형성된다. 이 체결부(120)는 상기 프로브홀더(100)를 홀더지지부(미도시)에 고정시키기 위한 것으로, 체결돌기(121)와 체결홈(122)으로 구성된다. 그리고, 상기 체결돌기(121)와 상기 체결홈(122)은 상기 프로브홀더(100)의 중심에서 동일한 간격을 가지며 구비된다.

상기 이송부(300)는 프로브홀더(100)를 지지하여 내ㆍ외측 방향으로 전ㆍ후 이송될 수 있도록 구비된다. 또한, 상기 이송부(300)는 지지플레이트(200), 이송베이스(240), 및 이송지지부(260)를 포함하여 이루어진다.

상기 지지플레이트(200)는 브래킷(201), 제1구동부(210), 고정플레이트(220), 및 승강실린더(230)를 포함한다. 또한, 상기 지지플레이트(200)는 상기 이송베이스(240)를 지지하고, 상기 지지플레이트(200)는 상기 이송베이스(240)를 프로빙 검사장치 본체의 외측 방향으로 이송시킬 수 있게 한다. 그리고, 다양한 각도를 유지할 수 있도록 승강 된다.

상기 지지플레이트(200)는 직사각의 형상으로 구비되고, 내측에 제1구동부(210)가 구비될 수 있도록 양측이 돌출되어 형성된다. 또한, 상기 지지플레이 트(200)는 상기 이송베이스(240)와 슬라이딩 되도록 상기 이송베이스(240)의 밀착부(미도시)에 결합된다. 그리고, 상기 브래킷(201)은 복수의 관통홀(미도시)이 형성되어 상기 지지플레이트(200)의 저면에 돌출되어 구비되고, 상기 고정플레이트(220)와 힌지 결합되는 것이다.

또한, 상기 제1구동부(210)는 상기 지지플레이트(200)의 내측에 구비되어 상기 이송베이스(240)를 동작시키는 역할을 한다. 상기 제1구동부(210)는 실린더(211), 고정부재(212)로 구비된다. 또한, 상기 고정부재(212)는 제1고정부재(212a) 및 제2고정부재(212b)로 이루어진다. 상기 실린더(211)는 일측에 상기 제1고정부재(212a)와 결합되어 상기 지지플레이트(200)에 고정되고, 상기 실린더(211)의 타측은 상기 제2고정부재(212b)와 결합되어 상기 지지플레이트(200)에 고정되는 것이다.

상기 고정플레이트(220)는 상기 브래킷(201)과 힌지 결합되어 상기 지지플레이트(200)가 다양한 각도를 유지할 수 있도록 구비되는 것이다. 또한, 상기 고정플레이트(220)는 보조브래킷(221) 및 고정실린더(222)를 포함한다. 상기 보조브래킷(221)은 상기 브래킷(201)과 힌지 결합될 수 있도록 구비된다. 상기 고정실린더(222)는 피스톤로드(미도시)가 상기 브래킷(201)에 구비되는 복수의 관통홀을 통과하여 상기 지지플레이트(200)를 고정해주는 역할을 하는 것이다.

상기 승강실린더(230)는 상기 지지플레이트(200) 저면 중앙에 고정되어 상기 승강실린더(230)의 승강에 따라 상기 지지플레이트(200)의 다양한 각도를 구현시킬 수 있도록 구비된다. 또한, 상기 승강실린더(230)는 피스톤로드(231), 승강실린더 고정부재(232)를 포함한다. 상기 피스톤로드(231)는 상기 지지플레이트(200)와 결합되며, 상기 승강실린더고정부재(232)는 상기 프로빙 검사장치 본체의 일부에 고정되는 것이다.

상기 이송베이스(240)는 지지플레이트(200)를 기준으로 외측 방향으로 전ㆍ후 이송되는 것이다. 또한, 상기 이송베이스(240)는 제2구동부(250)를 포함한다. 상기 이송베이스(240)는 전체적인 형상이 직사각의 형태이며 양측이 "ㄷ" 형상으로 돌출되어 상기 이송지지부재(270)와 결합되어 슬라이딩 될 수 있도록 구비된다. 또한, 연결안내홀(241)이 상기 이송베이스(240) 일측에 관통되며 구비되고, 상기 연결안내홀(241)이 구비된 일측 저면에 제2구동부(250)가 결합된다.

상기 제2구동부(250)는 모터(251), 고정브래킷(252), 볼스크류(253), 이송안내부재(254)를 포함한다. 상기 모터(251)는 회전동력을 공급한다. 또한, 상기 고정브래킷(252)은 상기 모터(251)가 일측에 결합하여 상기 이송베이스(240)에 고정되고, 상기 볼스크류(253)는 상기 고정브래킷(252)의 타측과 결합된다. 여기서, 상기 모터(251)의 회전축은 상기 볼스크류(253)의 축에 결합되어 구비된다. 또한, 상기 볼스크류(253)는 상기 모터(251)의 회전동력을 전달받아 회전하는 것이다. 여기서, 상기 제2구동부(250)는 실린더로도 구비될 있으나 상기 모터(251)로 구비되는 것이 바람직하다.

상기 이송안내부재(254)는 연결부재(255)를 포함하여 구비된다. 상기 연결부재(255)는 상기 이송안내부재(254)에 고정되고, 상기 이송베이스(240)의 관통된 연결안내홀(241)에 삽입되어 구비된다. 상기 연결안내홀(241)에 삽입된 연결부 재(255)는 후술되는 이송지지부재(270)의 일측에 고정되는 것이다. 또한, 상기 이송안내부재(254)는 상기 볼스크류(253)와 맞물리는 볼스크류 너트(미도시)를 포함하고 있어, 상기 볼스크류(253)의 회전운동을 직선운동으로 변환시킨다. 즉, 상기 이송안내부재(254)는 상기 볼스크류(253)에 맞물려 상기 볼스크류(253)의 회전에 따라 전ㆍ후진으로 이송된다.

상기 이송지지부(260)는 이송지지부재(270) 및 이송플레이트(290)를 포함하여 이루어진다. 상기 이송지지부(260)는 프로브홀더(100)를 지지플레이트(200)를 기준하여 상기 프로빙 검사장치의 내측 방향으로 전ㆍ후 이송되는 것이다.

상기 이송지지부재(270)는 상기 이송베이스(240)의 상부에 구비되어 내측 방향으로 슬라이딩 될 수 있도록 구비된다. 또한, 상기 이송지지부재(270)는 유도부(280)를 포함되며, 상기 유도부(280)는 풀리(281), 풀리수용부(282), 벨트(283), 고정부(284)를 포함한다. 상기 이송지지부재(270) 일측에는 복수개의 풀리(281)가 구비될 수 있으나, 한 쌍으로 구비되는 것이 바람직하다. 상기 한 쌍의 풀리(281)는 정육면체 형태의 풀리수용부(282)에 수용되어 상기 이송지지부재(270)에 고정된다. 또한, 상기 벨트(283)는 상기 풀리(281)가 구비되었을 때 상기 풀리(281)의 외주면을 감싸안으며 형성된다.

그리고, 상기 고정부(284)는 상부고정부재(284a) 및 하부고정부재(284b)로 구분된다. 여기서, 상기 상부고정부재(284a)는 직육면체의 형상으로 구비되어 상기 벨트(283)의 일단과 상기 이송플레이트(290)에 고정된다. 또한, 상기 하부고정부재(284b)는 "┘" 형상으로 구비되어 상기 벨트(283)의 타단과 이송베이스(240)에 고정될 수 있도록 구비된다. 여기서, 상기 이송지지부재(270)는 이송베이스(240)의 양측에 구비되어 상기 이송플레이트(290) 및 이송베이스(240)와 결합된다. 또한, 전술한 바와 같이 상기 연결부재(255)가 상기 이송지지부재(270)와 결합되는 것이다.

상기 이송플레이트(290)는 상기 이송지지부재(270)와 슬라이딩 결합되고, 상기 이송지지부재(270)가 내측 방향으로 이송될 때 상기 이송지지부재(270)와 같이 이송되는 것이다. 또한, 상기 이송플레이트(290)는 "ㄷ" 형상으로 구비되어 상기 이송지지부재(270)와 슬라이딩 결합되고, 상기 전술한 바와 같이 상부고정부재(284a)는 상기 이송플레이트(290)에 고정되는 것이다. 그리고, 상기 이송플레이트(290)는 상부에 상기 프로브홀더(100)가 안착될 수 있는 것이다.

이하, 도 7 내지 도 10을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 사용상태 설명은 다음과 같다. 먼저, 프로빙 검사장치는 프로브홀더(100) 및 이송부(300)와 결합하여 형성된다.

상기 프로빙 검사장치를 사용하기 위해 승강실린더(230)가 작동하여 지지플레이트(200)를 상승한다. 상기 지지플레이트(200)가 평행한 상태의 각도로 정지하게 되면 고정실린더(222)가 지지플레이트(200)에 구비되는 브래킷(201)을 관통하여 고정된다. 이송베이스(240)는 이송지지부(260)와 같이 제1구동부(210)에 의해 상기 지지플레이트(200)를 기준으로 외측 방향으로 이송된다. 상기 이송된 이송베이스(240) 및 이송지지부(260)는 그 상부에 구비되는 프로브홀더(100)에 프로프 카드가 안착된다. 상기 프로브 카드가 안착된 이송베이스(240) 및 이송지지부(260)는 상기 제1구동부(210)에 의해 원위치로 복귀된다. 상기 복귀된 이송지지부(260)는 제2구동부(250)에 의해 상기 안착된 프로브 카드를 지지플레이트(200)에 기준하여 내측 방향으로 이송된다. 여기서, 상기 제2구동부(250)에 구비되는 이송안내부재(254)는 연결부재(255)가 고정되고, 상기 연결부재(255)는 이송베이스(240)의 연결안내홀(241)을 관통하여 이송지지부재(270)와 고정된다. 그리고, 한 쌍의 풀리(281)는 벨트(283)와 결합되어 상기 이송지지부재(270)에 고정된다. 상기 벨트(283)의 양단에는 고정부(284)가 더 형성된다. 이는 이송지지부재(270) 및 이송플레이트(290)와 같이 고정되는 것이다.

상기한 바와 같이 고정부(284)가 고정되고 상기 제2구동부(250)가 구동함으로써, 상기 이송안내부재(254)가 이송된다. 또한, 상기 이송안내부재(254)가 이송되면 상기 연결부재(255)에 고정되는 이송지지부재(270)가 이송되고, 이는 상기 풀리(281) 및 벨트(283)를 작동시킨다. 상기 고정부(284)는 상기 벨트(283)에 고정되어 있음으로써, 상기 이송지지부재(270) 상부에 구비되는 이송플레이트(290)는 이송된다. 이때, 상기 이송플레이트(290)는 상기 이송지지부재(270)의 이송 거리에 1:1로 이송된다.

상기와 같이 프로빙 검사장치가 구비됨으로써, 작업자의 작업공간을 확보하여 작업 능률을 올릴 수 있는 것이다.

또한, 상기한 바와 같이 프로빙 검사장치는 상기 본체 측면에 구비되어 프로브 카드가 안착된 프로브홀더(100)를 슬라이딩 하여 상기 본체 내부로 이송한다.

상술한 바와 같이 구성된 본 발명의 프로빙 검사장치는 커버가 닫인 상태에서 프로브홀더가 슬라이딩 되고, 일측으로 배출되어 프로브 카드를 교체할 수 있는 효과가 있다.

여기서, 상기 커버를 완전히 열지 않으므로 웨이퍼 검사장치 내의 온도를 관리하며 일정 온도를 유지시킬 수 있다. 또한, 작업자의 작업공간을 확보하여 상기 프로브 카드 교체시 작업자가 작업공간을 원활히 사용할 수 있다.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명 되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (11)

1. 웨이퍼 상에 형성된 반도체 소자를 테스트하는 프로빙 검사장치에 있어서,

   상기 웨이퍼를 지지하는 척;

   상기 반도체 소자에 접촉되는 복수의 프로브가 구비되어 있는 프로브카드;

   상기 프로브 카드가 안착되는 프로브홀더;

   상기 프로브홀더를 상기 프로빙 검사장치의 외부로 수평 이동시켜 상기 프로브카드가 상기 프로브홀더에 안착되게 하고, 상기 프로브카드가 안착된 상기 프로브홀더를 상기 프로빙 검사장치 내부로 수평 이동시키는 이송부;를 포함하되,

   상기 이송부는,

   지지플레이트;

   상기 지지플레이트를 상기 프로빙 검사장치의 외측 방향으로 수평 이송되는 이송베이스;

   상기 이송베이스를 구동시키는 제1구동부;

   상기 지지플레이트를 상기 프로빙 검사장치의 내측 방향으로 수평 이송되는 이송지지부; 및

   상기 이송지지부를 구동시키는 제2구동부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로빙 검사장치.
2. 삭제
3. 제 1항에 있어서,

   상기 이송지지부는,

   상기 이송베이스 상부에 구비되며 상기 이송베이스로부터 슬라이딩 되어 상기 프로빙 검사장치의 내측 방향으로 수평 이송되는 이송지지부재;

   상기 이송지지부재의 상부에 구비되며 상기 이송지지부재의 이송에 따라 수평 이송되는 이송플레이트;를 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 프로빙 검사장치.
4. 제 3항에 있어서,

   상기 이송지지부는,

   상기 이송플레이트가 수평 이송될 수 있도록 구비되는 유도부;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 상기 프로빙 검사장치.
5. 제 1항에 있어서,

   상기 제1구동부는,

   상기 지지플레이트 내부에 구비되고, 상기 이송베이스를 이송시키는 실린더;로 구비되는 것을 특징으로 하는 상기 프로빙 검사장치.
6. 제 1항에 있어서,

   상기 지지플레이트는,

   그 일측에 구비되며 힌지로 고정되고, 상기 프로빙 검사장치의 본체 일측에 결합되는 고정플레이트;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 프로빙 검사장치.
7. 제 1항에 있어서,

   일측이 상기 지지플레이트 저면에 결합되어, 상기 지지플레이트를 승강시키는 승강실린더;를 더 포함하여 구비될 수 있는 것을 특징으로 하는 상기 프로빙 검사장치.
8. 제 6항에 있어서,

   상기 고정플레이트에 구비되며 상기 지지플레이트를 고정할 수 있도록 구비되는 고정실린더;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 상기 프로빙 검사장치.
9. 제 4항에 있어서,

   상기 유도부는,

   상기 이송지지부재에 한쌍으로 구비되는 풀리;

   상기 풀리들의 외주면을 감싸는 벨트;

   상기 벨트의 일단 벨트와 상기 이송플레이트가 고정되는 상부고정부재; 및

   상기 벨트의 타단 벨트와 상기 이송베이스가 고정되는 하부고정부재;를 포함 하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 상기 프로빙 검사장치.
10. 제 1항에 있어서,

    상기 제2구동부는,

    모터;

    상기 모터의 회전축에 결합되는 볼스크류; 및

    상기 볼스크류에 결합되고, 상기 볼스크류의 회전에 의해 전ㆍ후로 방향으로 이송되는 이송안내부재;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 상기 프로빙 검사장치.
11. 제 10항에 있어서,

    상기 이송안내부재의 일측에 고정되어 상기 이송지지부재와 연결되는 연결부재;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 상기 프로빙 검사장치.

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