KR101814702B1 - 반도체 검사 장치로부터 트레이를 반출하기 위한 장치 - Google Patents

반도체 검사 장치로부터 트레이를 반출하기 위한 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 검사 장치로부터 트레이를 반출하기 위한 장치에 관한 것으로, 이러한 본 발명은 길이 방향으로 왕복 운동력을 제공하는 실린더와, 상기 실린더를 고정 지지하는 고정 플레이트와, 상기 고정 플레이트의 일 측에서 제1 슬라이드 부재를 통해 연결되며, 상기 실린더의 운동력에 따라 초기 위치로부터 상기 반도체 검사 장치 내측인 소정 길이 전방으로 이동하거나 소정 길이 전방으로부터 상기 초기 위치로 복귀하는 메인 플레이트와, 상기 메인 플레이트 상부에서 제2 슬라이드 부재를 통해 연결되며, 외력에 의해 초기 위치로부터 상기 반도체 검사 장치 외측인 소정 길이 후방으로 이동하거나 소정 길이 후방에서 상기 초기 위치로 복귀하는 슬라이드 플레이트와, 상기 슬라이드 플레이트 상에 배치되어 트레이를 수납하는 스토커 플레이트를 포함하는 스토커 유닛과 복수의 스토커 유닛을 포함하는 스토커 장치를 제공한다.

Description

반도체 검사 장치로부터 트레이를 반출하기 위한 장치{Apparatus for ejecting tray from semiconductor test equipment}
본 발명은 반도체 검사 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 반도체 검사 장치로부터 트레이를 반출하기 위한 장치에 관한 것이다.
반도체 장비 산업은 반도체 칩 제조 산업에 있어 중요한 부분을 차지하고 있는데, 반도체 칩 제조업체들은 매출액의 약 20% 정도를 반도체 장비 구입에 쓰고 있다. 예전의 반도체 장비 산업은 반도체 칩 산업에 있어서 별로 중요하지 않은 부문으로 인식되었지만 반도체 산업이 발전함에 따라 장비 산업의 중요성이 점점 높아지고 있으며, 예전에는 칩 제조업체가 주도하였던 많은 기술 개발들이 장비 업체가 주도하게 되는 일이 점차로 늘어나고 있다. 반도체 장비 중에서도 반도체가 제품에 장착되기 전에 본래의 기능을 제대로 수행할 것인지에 대한 사전 평가를 하는 장비는 매우 중요한 부분이다. 메모리 반도체 제조공정에서 FAB 공정이 완료된 후 웨이퍼와 패키지 상태에서 반도체 칩이 제 기능을 올바로 수행할 수 있는지를 확인하고 불량 유무를 결정하는 장비를 일반적으로 검사장비 또는 테스트 장비라고 하며, 조기에 반도체의 기능과 신뢰성을 평가하여 불량 발생으로 인한 손실을 최소화하는 역할을 한다. 이러한 반도체 검사장비는 복수의 반도체 칩을 동시에 이송하기 위하여 트레이를 사용한다.
한국공개특허 제2009-0053303호 2009년 05월 27일 공개 (명칭: 테스트 핸들러용 트레이 공급회수장치 및 이를 이용한 트레이 이송방법)
본 발명의 목적은 반도체 검사 장비에서 복수의 반도체 칩을 이송하기 위해 사용되는 트레이를 반도체 검사 장비로부터 반출할 때, 반도체 검사 장비의 동작 중단 없이 트레이를 반출할 수 있는 장치를 제공함에 있다.
상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 반도체 검사 장치로부터 트레이를 반출하기 위한 스토커 유닛은 길이 방향으로 왕복 운동력을 제공하는 실린더와, 상기 실린더를 고정 지지하는 고정 플레이트와, 상기 고정 플레이트의 일 측에서 제1 슬라이드 부재를 통해 연결되며, 상기 실린더의 운동력에 따라 초기 위치로부터 상기 반도체 검사 장치 내측인 소정 길이 전방으로 이동하거나 소정 길이 전방으로부터 상기 초기 위치로 복귀하는 메인 플레이트와, 상기 메인 플레이트 상부에서 제2 슬라이드 부재를 통해 연결되며, 외력에 의해 초기 위치로부터 상기 반도체 검사 장치 외측인 소정 길이 후방으로 이동하거나 소정 길이 후방에서 상기 초기 위치로 복귀하는 슬라이드 플레이트와, 상기 슬라이드 플레이트 상에 배치되어 트레이를 수납하는 스토커 플레이트를 포함한다.
상기 스토커 유닛은 상기 고정 플레이트의 길이 방향 전방 단부 측면에서 상기 메인 플레이트 방향으로 돌출 형성되는 적재 위치 스토퍼와, 상기 고정 플레이트의 길이 방향 후방 단부 측면에서 상기 메인 플레이트 방향으로 돌출 형성되는 초기 위치 스토퍼와, 상기 메인 플레이트의 초기 위치에서 초기 위치 스토퍼에 걸리고, 적재 위치에서 적재 위치 스토퍼에 걸리도록 상기 메인 플레이트 길이 방향 후방 단부 측면에서 상기 고정 플레이트 방향으로 돌출 형성되는 메인 스토퍼를 더 포함한다.
상기 스토커 유닛은 상기 메인 플레이트의 길이 방향 전방 상면에서 상부로 돌출 형성되는 슬라이드 메인 스토퍼와, 상기 슬라이드 플레이트의 초기 위치에서 상기 슬라이드 메인 스토퍼에 걸리도록 상기 슬라이드 플레이트의 길이 방향 전방 단부에 형성되는 슬라이드 플레이트 스토퍼를 더 포함한다.
상기 스토커 유닛은 상기 메인 플레이트의 후방의 소정 영역에 래치 홀이 더 형성되며, 상기 슬라이드 플레이트의 후방에 연결되어 형성되며, 상기 슬라이드 플레이트의 초기 위치에서 잠금 부재가 회동하여 상기 래치 홀에 삽입될 때, 상기 슬라이드 플레이트의 이동을 구속하는 래치를 더 포함한다.
상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 반도체 검사 장치로부터 트레이를 반출하기 위한 스토커 장치는 기저판과, 상기 기저판의 양측벽과, 상기 기저판의 양측벽에 상하로 소정 간격 이격되어 형성되는 복수의 스토커 유닛을 포함하며, 상기 복수의 스토커 유닛 각각은 상기 복수의 스토커 유닛 각각은 상면에 트레이를 수납하는 스토커 플레이트를 포함하며, 외력이 작용되면 상기 반도체 검사 장치 외측인 후방으로 상기 스토커 플레이트를 이동시키는 것을 특징으로 한다.
상기 스토커 유닛은 길이 방향으로 왕복 운동력을 제공하는 실린더와, 상기 실린더를 고정 지지하는 고정 플레이트와, 상기 고정 플레이트의 일 측에서 제1 슬라이드 부재를 통해 연결되며, 상기 실린더의 운동력에 따라 초기 위치로부터 상기 반도체 검사 장치 내측인 소정 길이 전방으로 이동하거나 소정 길이 전방으로부터 상기 초기 위치로 복귀하는 메인 플레이트와, 상기 메인 플레이트 상부에서 제2 슬라이드 부재를 통해 연결되며, 외력에 의해 초기 위치로부터 상기 반도체 검사 장치 외측인 소정 길이 후방으로 이동하거나 소정 길이 후방에서 상기 초기 위치로 복귀하는 슬라이드 플레이트와, 상기 슬라이드 플레이트 상에 배치되어 트레이를 수납하는 상기 스토커 플레이트를 포함한다.
상기 스토커 유닛은 상기 고정 플레이트의 길이 방향 전방 단부 측면에서 상기 메인 플레이트 방향으로 돌출 형성되는 적재 위치 스토퍼와, 상기 고정 플레이트의 길이 방향 후방 단부 측면에서 상기 메인 플레이트 방향으로 돌출 형성되는 초기 위치 스토퍼와, 상기 메인 플레이트의 초기 위치에서 초기 위치 스토퍼에 걸리고, 적재 위치에서 적재 위치 스토퍼에 걸리도록 상기 메인 플레이트 길이 방향 후방 단부 측면에서 상기 고정 플레이트 방향으로 돌출 형성되는 메인 스토퍼를 더 포함한다.
상기 스토커 유닛은 상기 메인 플레이트의 길이 방향 전방 상면에서 상부로 돌출 형성되는 슬라이드 메인 스토퍼와, 상기 슬라이드 플레이트의 초기 위치에서 상기 슬라이드 메인 스토퍼에 걸리도록 상기 슬라이드 플레이트의 길이 방향 전방 단부에 형성되는 슬라이드 플레이트 스토퍼를 더 포함한다.
상기 메인 플레이트의 후방의 소정 영역에 래치 홀이 더 형성되며, 상기 스토커 유닛은 상기 슬라이드 플레이트의 후방에 연결되어 형성되며, 상기 슬라이드 플레이트의 초기 위치에서 잠금 부재가 회동하여 상기 래치 홀에 삽입될 때, 상기 슬라이드 플레이트의 이동을 구속하는 래치를 더 포함한다.
상기 스토커 장치는 상기 스토커 장치의 후방이 폐쇄되거나 개방되도록 상부 및 하부를 슬라이드 이동하는 도어를 더 포함한다.
상술한 바와 같은 본 발명에 따르면, 트레이 반출하고자 할 때, 트레이를 반도체 검사 장치 외측, 즉, 스토커 장치 후방으로 이동시킨 후, 트레이를 반출하기 때문에 반도체 검사 장치 동작의 중단 없이 트레이를 반출할 수 있다. 이에 따라, 반도체 검사 공정 시, 시간 손실 없이 전체 공정을 수행할 수 있다.
도 1은 일반적인 반도체 검사 장비의 스토커를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 검사 장비의 스토커를 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 스토커 장치의 개략적인 구성을 설명하기 위한 사시도이다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 스토커 장치의 어느 하나의 스토커 유닛의 동작을 설명하기 위한 사시도이다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 스토커 장치의 어느 하나의 스토커 유닛의 동작을 설명하기 위한 사시도이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 초기 위치의 스토커 유닛을 설명하기 위한 사시도이다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 적재 위치의 스토커 유닛을 설명하기 위한 사시도이다.
도 10은 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 반출 위치의 스토커 유닛을 설명하기 위한 사시도이다.
도 11은 본 발명의 실시예에 따른 래치를 설명하기 위한 사시도이다.
도 12는 본 발명의 실시예에 따른 래치의 동작을 설명하기 위한 사시도이다.
도 13은 본 발명의 실시예에 따른 도어를 설명하기 위한 사시도이다.
본 발명의 상세한 설명에 앞서, 이하에서 설명되는 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념으로 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 실시예에 불과할 뿐, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다. 이때, 첨부된 도면에서 동일한 구성 요소는 가능한 동일한 부호로 나타내고 있음을 유의해야 한다. 본 발명의 요지를 흐리게 할 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략할 것이다. 마찬가지의 이유로 첨부 도면에 있어서 일부 구성요소는 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었으며, 각 구성요소의 크기는 실제 크기를 전적으로 반영하는 것이 아니다. 또한, 도시된 도면에는 전방 및 후방 2개의 방위가 표시될 수 있다. 도시된 도면에서 반도체 검사 장비의 내측, 스토커 장치와 스토커 유닛의 앞쪽 방향을 전방으로 표시하며, 반도체 검사 장비의 외측, 스토커 장치와 스토커 유닛의 뒤쪽 방향을 후방으로 표시한다.
복수의 반도체 칩을 이송하기 위해 사용되는 트레이를 수납하거나 반출하기 위해 스토커가 사용된다. 먼저, 본 발명의 실시예에 따른 스토커와 일반적인 스토커의 차이를 설명하기로 한다. 도 1은 일반적인 반도체 검사 장비의 스토커를 설명하기 위한 도면이다. 그리고 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 검사 장비의 스토커를 설명하기 위한 도면이다.
도 1의 종래의 기술에 따른 반도체 검사 장비(NT) 내에 설치된 스토커 장치(NS)는 트레이(1)를 반출하기 위하여 화살표 방향, 즉, 반도체 검사 장비 내측, 스토커 장치의 전방으로 트레이(1)를 이동시킨 후, 작업자가 트레이(1)를 반출한다. 이러한 경우, 작업자의 안전을 위하여 반도체 검사 장비(NT)의 동작이 중단되어야 한다. 이에 따라, 전체 검사 공정에서 많은 시간이 손실된다.
반면, 도 2의 본 발명의 실시예에 따른 반도체 검사 장비(PT) 내에 설치된 스토커 장치(PS)는 트레이(1)를 반출하기 위하여 화살표 방향과 같이, 반도체 검사 장비 외측, 스토커 장치의 후방으로 트레이(1)를 이동시킨다. 그런 다음, 작업자가 트레이(1)를 반출한다. 이러한 경우, 반도체 검사 장비(NT)의 동작 중단 없이 작업자는 안전하게 트레이(1)를 반출할 수 있다. 이와 같이, 본 발명의 실시예에 따르면, 반도체 검사 장비(NT)의 동작 중단 없이 트레이(1)를 반출할 수 있기 때문에 검사 공정에서 불필요한 시간이 소모되지 않는다.
그러면, 본 발명의 실시예에 따른 스토커 장치의 개략적인 구성에 대해서 설명하기로 한다. 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 스토커 장치의 개략적인 구성을 설명하기 위한 사시도이다. 도 3에 보인 바와 같이, 스토커 장치는 스토커 장치의 기저를 이루는 기저판(11)과 기저판(11) 양측 벽(12)을 기초로 하며, 양측벽(12)에 의해 지지되어 복수의 스토커 유닛(10)이 상하로 소정 간격 이격되어 적층되는 구조를 가진다.
그러면, 보다 상세히 본 발명의 실시예에 따른 스토커 장치의 스토커 유닛(10)의 동작에 대해서 설명하기로 한다. 도 4 및 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 스토커 장치의 어느 하나의 스토커 유닛의 동작을 설명하기 위한 사시도이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 어느 하나의 스토커 유닛(10)은 하나의 트레이(1)를 수거하고, 보관하며, 반출하기 위한 위치로 이동시키기 위한 것이다. 이를 위하여, 트레이(1)를 수납하기 위한 스토커 플레이트(400)를 이동시킨다.
도 4의 (A)에 보인 바와 같이, 스토커 유닛(10)의 스토커 플레이트(400)는 초기 위치에 있다. 트레이(1)를 수거하기 위하여, 스토커 유닛(10)은 스토커 플레이트(400)를 도 4의 (B)에 도시된 바와 같이, 반도체 검사 장비 내측, 즉, 스토커 장치의 전방으로 이동시킨다. 그런 다음, 도 4 및 도 5의 (C)에 도시된 바와 같이, 스토커 플레이트(400) 상에 트레이(1)가 수납된다. 이어서, 스토커 유닛(10)은 도 4 및 도 5의 (D)에 도시된 바와 같이, 트레이(1)를 수납한 스토커 플레이트(400)를 초기 위치로 이동시켜 트레이(1)를 보관한다. 그런 다음, 스토커 유닛(10)은 트레이(1)를 반출하기 위하여 스토커 플레이트(400)를 도 4 및 도 5의 (E)에 도시된 바와 같이, 반도체 검사 장비 외측, 즉, 스토커 장치의 후방으로 이동시킨다.
그러면, 보다 상세히 본 발명의 실시예에 따른 스토커 유닛(10)에 대해서 설명하기로 한다. 도 6 및 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 스토커 장치의 어느 하나의 스토커 유닛의 동작을 설명하기 위한 사시도이다. 도 6 및 도 7을 참조하면, 스토커 유닛(10)은 고정 플레이트(100), 메인 플레이트(200), 슬라이드 플레이트(300) 및 스토커 플레이트(400)를 포함한다.
고정 플레이트(100)는 판형으로 즉, 스토커 장치(10)의 전방 및 후방인 길이 방향으로 형성된다. 고정 플레이트(100)의 일 측면에 메인 플레이트(200)가 형성된다. 메인 플레이트(200) 또한 판형으로 형성된다. 메인 플레이트(200)와 고정 플레이트(100)는 길이 방향으로 형성되는 제1 슬라이드 부재(120)를 통해 연결된다. 메인 플레이트(200)는 고정 플레이트(100)의 측면에서 제1 슬라이드 부재(120)에 의해 길이 방향으로 활주 가능하도록 형성된다.
슬라이드 플레이트(300)는 판형으로 고정 플레이트(100) 상에 형성된다. 고정 플레이트(100)와 슬라이드 플레이트는 길이 방향으로 형성되는 제2 슬라이드 부재(310)로 연결된다. 슬라이드 플레이트(300)는 메인 플레이트(200) 상에서 제2 슬라이드 부재(310)를 통해 길이 방향으로 활주 가능하도록 형성된다. 슬라이드 플레이트(300) 상에는 슬라이드 플레이트(300)에 고정되는 스토커 플레이트(400)가 형성된다. 스토커 플레이트(400)는 그 상면에 트레이(1)를 수납할 수 있다.
또한, 스토커 유닛(10)은 실린더(110)를 더 포함한다. 실린더(110)는 고정 플레이트(100)에 고정되어 형성된다. 실린더(110)의 전방 단부에는 플로팅 조인트(111)가 형성된다. 플로팅 조인트(111)는 메인 플레이트(200)의 전방 단부에서 측면으로 돌출된 돌출부와 결합된다. 실린더(110)는 길이 방향으로 왕복 운동력을 제공하며, 플로팅 조인트(111)를 통해 메인 플레이트(200)에 길이 방향 왕복 운동력을 제공한다. 전술한 바와 같이, 메인 플레이트(200)는 제1 슬라이드 부재(120)를 따라 활주하며, 제1 슬라이드 부재(120)와 평행한 길이 방향의 이동축을 따라 활주한다. 실린더(110) 또한 제1 슬라이드 부재(120)와 평행한 길이 방향의 이동축을 따라 압축되거나 신장되어 메인 플레이트(200)에 운동력을 제공하며, 이에 따라, 메인 플레이트(200)가 길이 방향으로 활주하도록 한다. 제1 슬라이드 부재(120)와 평행한 길이 방향의 이동축과 실린더(110)의 압축 혹은 신장되는 길이 방향의 이동축이 평행하지 않거나 틀어지는 경우, 실린더(110)의 운동력이 메인 플레이트(200)에 제대로 전달되지 않을 수 있다. 플로팅 조인트(111)는 이러한 중심축이 평행하지 않거나 틀어지는 것을 흡수하여 실린더(110)의 운동력이 메인 플레이트(200)에 온전히 전달되도록 할 수 있다.
또한, 고정 플레이트(100)는 적재 위치 스토퍼(130) 및 초기 위치 스토퍼(140)를 포함한다. 적재 위치 스토퍼(130)는 고정 플레이트(100)의 길이 방향 전방 단부 측면에서 메인 플레이트(200) 방향으로 돌출 형성된다. 초기 위치 스토퍼(140)는 고정 플레이트(100)의 길이 방향 후방 단부 측면에서 메인 플레이트(200) 방향으로 돌출 형성된다. 메인 플레이트(200)는 메인 스토퍼(220)를 포함한다. 메인 스토퍼(220)는 메인 플레이트(200) 길이 방향 후방 단부 측면에서 고정 플레이트(100) 방향으로 돌출 형성된다. 전술한 적재 위치 스토퍼(130), 초기 위치 스토퍼(140) 및 메인 스토퍼(220)는 메인 스토퍼(220)가 길이 방향으로 활주할 때, 상호간에 걸리게 되어 그 이동 범위를 제한하기 위한 것이다. 즉, 메인 스토퍼(220)는 도 4의 (A), 도 4의 (D) 및 도 5의 (D)에 도시된 바와 같은, 초기 위치에서 초기 위치 스토퍼(140)에 걸리도록 형성된다. 또한, 즉, 메인 스토퍼(220)는 도 4의 (B)에 도시된 바와 같은 적재 위치에서 적재 위치 스토퍼(130)에 걸리도록 형성된다.
메인 플레이트(200)는 또한 슬라이드 메인 스토퍼(230)를 포함한다. 슬라이드 메인 스토퍼(230)는 메인 플레이트(200)의 길이 방향 전방 상면에서 상부로 돌출되어 형성된다. 슬라이드 플레이트(300)는 슬라이드 플레이트 스토퍼(320)를 포함한다. 슬라이드 플레이트 스토퍼(320)는 슬라이드 플레이트(300)의 길이 방향 전방 단부에 형성된다. 슬라이드 메인 스토퍼(230) 및 슬라이드 플레이트 스토퍼(320)는 슬라이드 플레이트(300)가 제2 슬라이드 부재(310)를 통해 길이 방향으로 활주할 때 상호간에 걸리게 되어 슬라이드 플레이트(300)의 이동 범위를 제한하기 위한 것이다. 즉, 슬라이드 플레이트 스토퍼(320)는 도 4의 (A), 도 4의 (D) 및 도 5의 (D)에 도시된 바와 같은 초기 위치에서 슬라이드 메인 스토퍼(230)에 걸리도록 형성된다.
다음으로, 본 발명의 실시예에 따른 스토커 유닛(10)의 동작에 대해서 설명하기로 한다. 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 초기 위치의 스토커 유닛을 설명하기 위한 사시도이다. 도 9는 본 발명의 실시예에 따른 적재 위치의 스토커 유닛을 설명하기 위한 사시도이다. 도 10은 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 반출 위치의 스토커 유닛을 설명하기 위한 사시도이다. 전술한 바와 같이, 도 4의 (A), (B), (C), (D) 및 (E)는 순차적으로 스토커 유닛(10)의 초기 위치, 적재 위치, 적재 위치, 초기 위치, 반출 위치를 나타낸다. 이러한 도 4의 (A), (B), (C), (D) 및 (E)의 순서에 맞춰 스토커 유닛(10)의 동작에 대해서 설명하면 다음과 같다.
먼저, 도 4의 (A)에 대응하는 초기 위치에서, 도 8에 도시된 바와 같이, 스토커 유닛(10)은 실린더(110)가 압축된 상태이며, 고정 플레이트(100), 메인 플레이트(200) 및 슬라이드 플레이트(300) 모두 서로 포개진 상태이다. 이러한 초기 위치, 즉, 메인 플레이트(200)의 초기 위치에서 메인 플레이트(200)는 메인 스토퍼(220)가 초기 위치 스토퍼(140)에 걸려 더 이상 후방으로 이동할 수 없다. 또한, 슬라이드 플레이트(300)의 초기 위치에서 슬라이드 플레이트(300)는 슬라이드 플레이트 스토퍼(320)가 슬라이드 메인 스토퍼(230)에 걸리도록 형성되어 더 이상 전방으로 이동하지 못한다.
초기 위치에서, 실린더(110)가 신장되면서 플로팅 조인트(111)를 통해 메인 플레이트(200)에 전방으로 수직으로 이동하는 운동력을 제공한다. 그러면, 메인 플레이트(200)는 도 4의 (B) 혹은 도 9에 도시된 바와 같이, 제1 슬라이드 부재(120)를 따라 초기 위치에서 소정 길이 전방인 적재 위치로 이동된다. 이때, 메인 플레이트(200)의 이동에 따라, 메인 플레이트(200) 상에 형성된 슬라이드 플레이트(300)와 그 슬라이드 플레이트(300) 상에 형성된 스토커 플레이트(400)도 같이 전방으로 이동된다. 이러한 적재 위치에서 메인 플레이트(200)의 메인 스토퍼(220)는 적재 위치 스토퍼(130)에 걸리도록 형성된다. 따라서 메인 플레이트(200)는 더 이상 전방으로 이동할 수 없다.
적재 위치에서 도 4의 (C)에 도시된 바와 같이, 스토커 플레이트(400) 상에 트레이(1)가 수납된다. 도시되지는 않았지만, 스토커 플레이트(400) 상에 트레이(1)가 수납되는 동작은 예컨대, 픽업 장치 혹은 엘리베이터 장치 등의 반도체 검사 장치(PT)의 다른 도구를 통해 이루어질 수 있다.
스토커 플레이트(400) 상에 트레이(1)가 수납된 후, 도 4의 (D) 혹은 도 8에 도시된 바와 같이, 실린더(110)가 신장된 상태에서 다시 압축되는 상태로 전환된다. 그러면, 실린더(110)의 플로팅 조인트(111)를 통해 메인 플레이트(200)에 후방으로 수직으로 이동하는 운동력을 제공한다. 이에 따라, 메인 플레이트(200)는 제1 슬라이드 부재(120)를 따라 소정 길이 전방인 적재 위치로부터 초기 위치로 이동된다. 이때, 메인 플레이트(200)의 이동에 따라, 메인 플레이트(200) 상에 형성된 슬라이드 플레이트(300)와 그 슬라이드 플레이트(300) 상에 형성된 스토커 플레이트(400)도 같이 초기 위치로 이동된다. 마찬가지로, 이러한 초기 위치에서, 메인 플레이트(200)는 메인 스토퍼(220)가 초기 위치 스토퍼(140)에 걸려 더 이상 후방으로 이동할 수 없다. 또한, 슬라이드 플레이트(300)의 초기 위치에서 슬라이드 플레이트(300)는 슬라이드 플레이트 스토퍼(320)가 슬라이드 메인 스토퍼(230)에 걸리도록 형성되어 더 이상 전방으로 이동하지 못한다.
작업자는 초기 위치에 있는 트레이(1)를 반출하기 위하여 슬라이드 플레이트(300) 혹은 스토커 플레이트(400)가 반도체 검사 장치(PT) 외측으로, 즉, 스토커 장치(NT)의 후방으로 이동하도록 외력을 가할 수 있다. 이에 따라, 슬라이드 플레이트(300)는 도 10 및 도 4의 (E)에 도시된 바와 같이, 제2 슬라이드 부재(310)를 따라 반도체 검사 장치(PT) 외측으로, 즉, 스토커 장치(NT)의 후방인 반출 위치로 이동된다. 이때, 슬라이드 플레이트(300) 상에 고정된 스토커 플레이트(400) 또한 수거 위치로 이동되며, 스토커 플레이트(400) 상에 수납된 트레이(1) 역시 후방인 반출 위치로 이동된다. 이에 따라, 작업자는 반도체 검사 장비(PT)의 간섭 없이 트레이(1)를 반출할 수 있다.
한편, 스토커 유닛(10)은 래치(500)를 더 포함한다. 이러한 래치(500)에 대해서 보다 상세하게 설명하기로 한다. 도 11은 본 발명의 실시예에 따른 래치를 설명하기 위한 사시도이며, 도 12는 본 발명의 실시예에 따른 래치의 동작을 설명하기 위한 사시도이다.
도 11의 (L)에 도시된 바와 같이, 래치(500)는 슬라이드 플레이트(300)의 후방에 연결되어 설치된다. 한편, 도 11의 (U)에 도시된 바와 같이, 메인 플레이트(200)의 후방의 소정 영역에는 래치 홀(520)이 형성된다. 도 12에 도시된 바와 같이, 래치(500)는 래치 손잡이(501)를 조작함에 따라 길이 방향의 축을 회전축(AX)으로 회전하는 잠금 부재(510)를 포함한다. 슬라이드 플레이트(300)가 초기 위치에 있을 때, 작업자가 래치 손잡이(501)를 조작하면, 잠금 부재(510)는 회전축(AX)을 기준으로 회동하여 래치 홀(520)에 삽입된다. 이에 따라, 도 11의 (L)과 같이, 래치(500)의 잠금 부재(510)가 래치 홀(520)에 삽입될 때, 슬라이드 플레이트(300)의 이동을 구속한다. 또한, 도 11의 (U)와 같이, 작업자의 래치 손잡이(501) 조작에 따라 래치(500)의 잠금 부재(510)가 래치 홀(520)로부터 인출되면, 슬라이드 플레이트(300)는 제2 슬라이드 부재(310)를 따라 길이 방향 후방으로 이동할 수 있다.
한편, 본 발명의 실시예에 따른 스토커 장치(PS)는 도어(600)를 더 포함한다. 도 13은 본 발명의 실시예에 따른 도어를 설명하기 위한 사시도이다. 도어(600)는 스토커 장치의 후방을 폐쇄하거나, 개방하기 위한 것이다. 2개의 측벽(12) 각각의 후방에 제3 슬라이드 부재(601)가 형성된다. 도어(600)는 제3 슬라이드 부재(601)를 따라 상향 혹은 하향으로 이동한다. 즉, 도어(600)는 도 13의 (가)에 도시된 바와 같이, 제3 슬라이드 부재(601)를 따라 상향으로 이동하여 스토커 장치(PS) 후방을 폐쇄할 수 있다. 또한, 도어(600)는 도 13의 (나)에 도시된 바와 같이, 제3 슬라이드 부재(601)를 따라 하향으로 이동하여 스토커 장치(PS) 후방을 개방할 수 있다. 도시되지는 않았지만, 이러한 도어(600)를 상향 및 하향으로 이동시키기 위해 실린더가 사용될 수 있고, 하향으로 이동될 때 하중을 분산시키기 위한 정하중 스프링이 이용될 수 있다.
이상 본 발명을 몇 가지 바람직한 실시예를 사용하여 설명하였으나, 이들 실시예는 예시적인 것이며 한정적인 것이 아니다. 이와 같이, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 지닌 자라면 본 발명의 사상과 첨부된 특허청구범위에 제시된 권리범위에서 벗어나지 않으면서 균등론에 따라 다양한 변화와 수정을 가할 수 있음을 이해할 것이다.
PT: 반도체 검사 장치 NT: 스토커 장치
1: 트레이 10: 스토커 유닛
100: 고정 플레이트 110: 실린더
111: 플로팅 조인트 120: 제1 슬라이드 부재
130: 적재 위치 스토퍼 140: 초기 위치 스토퍼
200: 메인 플레이트 210: 롤러
220: 메인 스토퍼 230: 슬라이드 메인 스토퍼
300: 슬라이드 플레이트 310: 제1 슬라이드 부재
320: 슬라이드 플레이트 스토퍼 400: 스토커 플레이트
500: 래치 501: 래치 손잡이
510: 잠금 부재 520: 래치 홀
600: 도어 610: 제3 슬라이드 부재

Claims (10)

  1. 반도체 검사 장치로부터 트레이를 반출하기 위한 스토커 유닛에 있어서,
    길이 방향으로 왕복 운동력을 제공하는 실린더;
    상기 실린더를 고정 지지하는 고정 플레이트;
    상기 고정 플레이트의 일 측에서 제1 슬라이드 부재를 통해 연결되며, 상기 실린더의 운동력에 따라 초기 위치로부터 상기 반도체 검사 장치 내측인 소정 길이 전방으로 이동하거나 소정 길이 전방으로부터 상기 초기 위치로 복귀하는 메인 플레이트;
    상기 메인 플레이트 상부에서 제2 슬라이드 부재를 통해 연결되며, 외력에 의해 초기 위치로부터 상기 반도체 검사 장치 외측인 소정 길이 후방으로 이동하거나 소정 길이 후방에서 상기 초기 위치로 복귀하는 슬라이드 플레이트;
    상기 슬라이드 플레이트 상에 배치되어 트레이를 수납하는 스토커 플레이트;
    상기 고정 플레이트의 길이 방향 전방 단부 측면에서 상기 메인 플레이트 방향으로 돌출 형성되는 적재 위치 스토퍼;
    상기 고정 플레이트의 길이 방향 후방 단부 측면에서 상기 메인 플레이트 방향으로 돌출 형성되는 초기 위치 스토퍼; 및
    상기 메인 플레이트의 초기 위치에서 초기 위치 스토퍼에 걸리고, 적재 위치에서 적재 위치 스토퍼에 걸리도록 상기 메인 플레이트 길이 방향 후방 단부 측면에서 상기 고정 플레이트 방향으로 돌출 형성되는 메인 스토퍼;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커 유닛.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 메인 플레이트의 길이 방향 전방 상면에서 상부로 돌출 형성되는 슬라이드 메인 스토퍼; 및
    상기 슬라이드 플레이트의 초기 위치에서 상기 슬라이드 메인 스토퍼에 걸리도록 상기 슬라이드 플레이트의 길이 방향 전방 단부에 형성되는 슬라이드 플레이트 스토퍼;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커 유닛.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 메인 플레이트의 후방의 소정 영역에 래치 홀이 더 형성되며,
    상기 슬라이드 플레이트의 후방에 연결되어 형성되며, 상기 슬라이드 플레이트의 초기 위치에서 잠금 부재가 회동하여 상기 래치 홀에 삽입될 때, 상기 슬라이드 플레이트의 이동을 구속하는 래치;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커 유닛.
  5. 반도체 검사 장치로부터 트레이를 반출하기 위한 스토커 장치에 있어서,
    기저판;
    상기 기저판의 양측벽; 및
    상기 기저판의 양측벽에 상하로 소정 간격 이격되어 형성되는 복수의 스토커 유닛;을 포함하며,
    상기 복수의 스토커 유닛 각각은,
    길이 방향으로 왕복 운동력을 제공하는 실린더;
    상기 실린더를 고정 지지하는 고정 플레이트;
    상기 고정 플레이트의 일 측에서 제1 슬라이드 부재를 통해 연결되며, 상기 실린더의 운동력에 따라 초기 위치로부터 상기 반도체 검사 장치 내측인 소정 길이 전방으로 이동하거나 소정 길이 전방으로부터 상기 초기 위치로 복귀하는 메인 플레이트;
    상기 메인 플레이트 상부에서 제2 슬라이드 부재를 통해 연결되며, 외력에 의해 초기 위치로부터 상기 반도체 검사 장치 외측인 소정 길이 후방으로 이동하거나 소정 길이 후방에서 상기 초기 위치로 복귀하는 슬라이드 플레이트;
    상기 슬라이드 플레이트 상에 배치되어 트레이를 수납하는 스토커 플레이트;
    상기 고정 플레이트의 길이 방향 전방 단부 측면에서 상기 메인 플레이트 방향으로 돌출 형성되는 적재 위치 스토퍼;
    상기 고정 플레이트의 길이 방향 후방 단부 측면에서 상기 메인 플레이트 방향으로 돌출 형성되는 초기 위치 스토퍼; 및
    상기 메인 플레이트의 초기 위치에서 초기 위치 스토퍼에 걸리고, 적재 위치에서 적재 위치 스토퍼에 걸리도록 상기 메인 플레이트 길이 방향 후방 단부 측면에서 상기 고정 플레이트 방향으로 돌출 형성되는 메인 스토퍼;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커 장치.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 제5항에 있어서,
    상기 복수의 스토커 유닛 각각은,
    상기 메인 플레이트의 길이 방향 전방 상면에서 상부로 돌출 형성되는 슬라이드 메인 스토퍼; 및
    상기 슬라이드 플레이트의 초기 위치에서 상기 슬라이드 메인 스토퍼에 걸리도록 상기 슬라이드 플레이트의 길이 방향 전방 단부에 형성되는 슬라이드 플레이트 스토퍼;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커 장치.
  9. 제5항에 있어서,
    상기 복수의 스토커 유닛 각각은,
    상기 메인 플레이트의 후방의 소정 영역에 래치 홀이 더 형성되며,
    상기 슬라이드 플레이트의 후방에 연결되어 형성되며, 상기 슬라이드 플레이트의 초기 위치에서 잠금 부재가 회동하여 상기 래치 홀에 삽입될 때, 상기 슬라이드 플레이트의 이동을 구속하는 래치;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커 장치.
  10. 제5항에 있어서,
    상기 스토커 장치의 후방이 폐쇄되거나 개방되도록 상부 및 하부를 슬라이드 이동하는 도어;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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