JP2926565B1

JP2926565B1 - 製品供給装置

Info

Publication number: JP2926565B1
Application number: JP10031210A
Authority: JP
Inventors: 長光佐藤
Original assignee: NEC Yamagata Ltd
Current assignee: NEC Yamagata Ltd
Priority date: 1998-02-13
Filing date: 1998-02-13
Publication date: 1999-07-28
Anticipated expiration: 2018-02-13
Also published as: JPH11226822A; US6296434B1

Abstract

【要約】【課題】高精度で、且つ合理的な動作を行うことがで
きる、コンパクトな製品供給装置を実現する。【解決手段】第一の回転中心軸１１を中心に回転する
板構造体１０と、第二の回転中心軸２１を中心に回転す
る板構造体２０とが対面して配置されている。第一の回
転中心軸１１と第二の回転中心軸２１とは水平方向に所
定の距離を離して固定されている。板構造体１０と２０
の間には複数の支持体３１、３２、３３がそれぞれ、板
構造体１０、２０の回転中心軸１１、２１を中心とする
円周上の等分した位置となるように配置されている。支
持体３１、３２、３３は、連結軸１２、１３、１４によ
り板構造体１０に、連結軸２２、２３、２４により板構
造体２２に連結されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製品などの
製品の製造、組立時に使用する製品供給装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、製造直後の製品を収納した収納場
所から作業位置に供給し、作業後、その製品を別の場所
に収納することが製品供給装置によって自動化されてい
る。

【０００３】そこで、従来の製品供給装置を図８又は図
９を参照して説明する。

【０００４】図８に、従来の製品供給装置の一例の動作
原理図を示す。この図に示されるように従来の製品供給
装置には、カム又はボールねじ等とスライド機構等を組
み合わせた、ピック・アンド・プレース機構（以下、Ｐ
／Ｐ機構と称する）１０１、２０１が使われている。こ
の機構は、製品の供給動作、又は、収納動作を行う場
合、製品保持ノズルを往復動作させる事により、供給側
製品受け部１１０から製品を製品加工位置１００に供
給、又は、製品加工位置１００より収納側製品受け部２
１０に供給する装置である。

【０００５】また、図９に別の従来技術として、特開昭
６２−７９１３６号公報による従来の従来の製品供給装
置の動作原理図を示す。この図における従来例ではリン
ク機構が使用されている。このリンク機構は、回転中心
軸５１１、５０１に取付けられた構造体５１０、５００
の間に、支持体５２０を配置し、連結軸５１２、５０２
により平行な一対のリンクを構成して、その回転中心軸
５１１を駆動用電動機５３０により、動力伝達ベルト５
４０を介して回転動作させ、支持体５２０の最下点の位
置に設置されたマガジン５５０から製品５６０を取り出
し、更に回転移動のうえ搬送ローラ５７０側に供給する
装置である。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】図８に示される従来技
術では次のような理由で動作時間が遅いという問題点が
ある。その第一の理由としては、往復動作により製品の
供給、又は収納を行うため、復路は単に製品保持ノズル
が戻るだけで、供給、又は収納の仕事をしないで空動作
している事になり、動作時間が無駄に長く使っている事
になるからである。第二の理由としては、供給動作にお
いて、供給側製品受け部１１０からの製品の保持のため
の製品保持ノズルの上下動作、及び製品加工位置１００
での製品保持ノズルの上下動作、又は収納動作での収納
側製品受け部２１０での製品保持ノズルの上下動作な
ど、全て交互に動作するため、それぞれに動作時間を使
う事になるからである。

【０００７】図９に示される従来技術の場合は第一に、
回転動作が滑らかでないという問題点がある。その理由
は支持体が最下点の位置、および最上点の位置において
一対のリンクが一直線に並んだ時に、リンク機構の最大
の欠点である死点が発生し、回転動作を阻害するからで
ある。また、第二に、支持体の最下点の位置に割付られ
た、作業位置において精度が著しく低下するという問題
点がある。その理由は死点が発生することで、リンク機
構として最も不安定な構造状態になるからである。

【０００８】一方、製品供給装置は、半導体製品の電気
的特性試験やバーンイン試験などの自動化の為に利用さ
れる事があった。例えば電気的特性試験の場合は、製品
が供給トレーからＩＣテスターの測定ボックス上のコン
タクトピンに供給された後、所望の接触圧で押し付けら
れ、測定される。測定終了後は、試験結果に基づき製品
が所定の場所に選別、収納される。以上のような製品の
供給から収納まで製品供給装置で自動搬送されている。

【０００９】上記ＩＣテスター及び、被測定製品が搭載
される測定ボックスは、近年の半導体製品の高機能化に
伴い、大型化している。したがって、例えばＰ／Ｐ機構
を単純に使用した場合、図１０に示すように製品７００
の供給や収納の為のストッカー部（トレーエレベータ）
７０１は、そのストック量から、測定ボックス７０２の
平面方向外周部に配置される事となる。そのため、スト
ッカー部と測定用コンタクト７０３までの距離は遠くな
り、ストッカー部７０１と測定用コンタクト７０３との
間に要する動作時間が長くなる。また、装置が占有する
フロア面積も大きい。動作時間を短縮する為には、スト
ッカー部７０１と測定用コンタクト７０３との間の距離
を複数の搬送機構で中継する事により各搬送機構が担う
移動距離を縮小させると同時に、各搬送機構の水平方向
における移動速度を高速化する事が考えられる。この場
合の各搬送機構にはＰ／Ｐ機構だけでなく、回転テーブ
ルを用いた搬送機構も含まれる事が多い。しかしなが
ら、このような装置構成による場合、構成部品点数が多
くなる事から装置価格が高くなる。しかも、装置が占有
するフロア面積は大きいままで装置の外形面積の縮小化
ができないという問題は依然残る。

【００１０】このような問題を解決する為に、図１１に
示すように測定ボックス７０２の上面にストッカー部７
０１を重ね、ストッカー部７０１の最下面からトレー７
０４を取り出し、トレー７０４に対して製品を供給、収
納する方法が有る。しかし、この場合も、ストッカー部
７０１から取り出されたトレー７０４を載せる為のステ
ージ面積が必要となり、装置の外形面積の縮小化が行な
えない。

【００１１】そこで図１２に示すように、測定ボックス
７０２の上面にオバーラップさせたストッカー部７０２
の最上面のトレー７０４と測定用コンタクト７０３との
間で直接製品７００を供給、収納する機構を実現する事
が、動作時間の短縮と装置外形の縮小化に最も効果的と
言える。このような構成の場合、ストッカー部の最上部
の高さからストッカー部の下に在る測定ボックスまでの
落差による距離を移動させる必要が生じる。しかし、こ
の搬送にＰ／Ｐ機構を使用した場合、一つの機構で前述
の落差による距離を一気に移動させることになるので一
つの機構での動作距離が長くなり、往路の動作時間が大
きな無駄となってしまう。また、Ｐ／Ｐ機構に代え、図
９に示した回転リンク機構を使用した場合、製品保持体
が最下点である測定点に来た位置では製品の位置精度が
著しく低下するため、誤測定の原因になるという問題点
がある。

【００１２】本発明の目的は、上述した従来技術の実情
に鑑み、高精度で、且つ合理的な高速搬送を行うことが
できる、コンパクトな製品供給装置を実現することにあ
る。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、第一の回転中心軸を有する第一の板構造
体と、前記第一の回転中心軸とずれた第二の回転中心軸
を有する第二の板構造体とが対面して配置されている。
前記第一の板構造体と前記第二の板構造体との間には、
複数の支持体が前記第一の回転中心軸を中心とした円周
上に配されている。各支持体には製品を保持するための
製品保持手段が備えられている。また、各支持体は前記
第一の板構造体とは第一の連結軸で連結され、前記第二
の板構造体とは第二の連結軸で連結されている。

【００１４】この場合、前記第一の回転中心軸と前記第
一の連結軸の間の部分、および前記第二の回転中心軸と
前記第二の連結軸の間の部分によって平行な一対のリン
クをが構成されている。このような平行リンクは各々の
支持体について構成されるため、複数の平行リンクが同
時に存在する事となる。よって、いずれか一つの平行リ
ンクが一直線に重なってリンク機構の最大の欠点である
死点が生じても、他の平行リンクによって死点が打ち消
される。その結果、滑らかな回転運動が得られると共
に、供給点、作業点及び収納点に一時停止した場合も、
ガタの発生が少なく、停止位置精度が確保される。

【００１５】また、前記第一の回転中心軸と前記第二の
回転中心軸とは水平方向に一定の間隔でずれて配置され
ている。さらに、前記第一の連結軸と前記第二の連結軸
とが、前記第一の回転中心軸と前記第二の回転中心軸と
の間隔と同じ間隔で水平方向にずれて配置されている。
この構成によれば、支持体が最下点に来る位置を作業点
として割り付けた場合、平行な一対のリンクは最も安定
な長方形を構成するので、作業点での停止位置精度が最
も高くなる。

【００１６】さらに、第一の回転中心軸を中心とした回
転円周上の等分した位置に支持体及び製品保持ノズルが
配置されて、製品保持ノズルが回転移動可能になってい
る。そのため、作業点での作業中に、例えば供給又は、
収納の動作が同時にできると共に、作業点への製品供
給、又は、作業点からの製品収納の移動動作が、片道動
作ででき、動作時間が短縮され得る。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。

【００１８】（第１の実施の形態）図１は本発明の第１
の実施形態による製品供給装置の特徴部を示す正面図、
図２は図１に示した製品供給装置の特徴部の上面図、図
３は本発明の第１の実施形態による製品供給装置の駆動
ユニットを最もよく表した側面図である。

【００１９】本形態の製品供給装置では、図１及び図２
に示すように、第一の回転中心軸１１を中心に回転する
板構造体１０と、第二の回転中心軸２１を中心に回転す
る板構造体２０とが対面して配置されている。第一の回
転中心軸１１と第二の回転中心軸２１とは水平方向に所
定の距離を離して固定されている。板構造体１０と２０
の間には複数の支持体３１、３２、３３がそれぞれ、板
構造体１０、２０の回転中心軸１１、２１を中心とする
円周上の等分した位置となるように配置されている。

【００２０】支持体３１は、連結軸１２により板構造体
１０に、連結軸２２により板構造体２２に連結されてい
る。これにより、支持体３１の連結軸１２と回転中心軸
１１、および連結軸２２と回転中心軸２１によって平行
な一対のリンクが構成される。同様に支持体３２は、連
結軸１３により板構造体１０に、連結軸２３により板構
造体２０に連結されている。これにより、支持体３２の
連結軸１３と回転中心軸１１、および連結軸２３と回転
中心軸２１で平行な一対のリンクが構成される。さらに
支持体３３は、連結軸１４により板構造体１０に、連結
軸２４により板構造体２０に連結されている。これによ
り、支持体３３の連結軸１４と回転中心軸１１、および
連結軸２４と回転中心軸２１で平行な一対のリンクが構
成される。このように本装置は、対面させた２枚の板構
造体と、２つの板構造体の回転中心軸を中心に均等に配
置された複数の支持体とによって、複数の平行リンクを
同時に構成している。なお、リンクは図１に２点鎖線で
表されている。

【００２１】この実施形態では図１及び図２に示したよ
うに支持体を３個とし、支持体が最下点に来る位置を作
業点とし、残り支持体の位置を供給点及び収納点として
割付け、各点に各支持体を順次回転移動させる構造とし
た。また、支持体が作業点に位置した際に平行な一対の
リンクが長方形を成すように、回転中心軸１１と２１は
水平方向に３０〜４０ｍｍ離れた位置とし、連結軸１２
と２２、連結軸１３と２３、および連結軸１４と２４の
位置も水平方向に３０〜４０ｍｍ離している。さらに、
図１では板構造体１０，２０の形状を円形で示したが、
複数の平行リンクの構成を保てる範囲で、穴を開けたり
切り欠いたりして軽量化のために板構造体１０，２０の
形状を変えてもよい。

【００２２】また、支持体３１には製品供給時、又は製
品収納時に使用する複数の製品保持ノズル５１、５２が
それぞれ取付けられている。同様に支持体３２には複数
の製品保持ノズル５３、５４が、支持体３３には複数の
製品保持ノズル５５、５６が取付けられている。なお、
この形態では各支持体に製品保持ノズルが２個取付けら
れているが、このノズル数はいくつでも構わない。

【００２３】各製品保持ノズルは、上下に移動できる構
造で、普段はスプリング等により上方向に付勢されてい
る。また、供給点、作業点、収納点の各点には図３に示
すような上下駆動ユニット６４、６５等が配置されてい
る。製品保持ノズルの上下動作の駆動方法としては、供
給点、作業点、収納点で、上下駆動ユニット６４、６５
等を駆動させないことで製品保持ノズルをスプリング等
の弾性力で上位置に留め、上下駆動ユニット６４、６５
等を駆動させることで製品保持ノズルをそのスプリング
等に抗して下降させる。この場合の上下駆動ユニットに
はエアシリンダーやカムやボールねじ等が適用できる。
特に、ボールねじの場合は製品保持ノズルの停止位置、
動作速度を任意に設定できる。

【００２４】板構造体１０及び２０への回転動力の入力
手段は、図３に示すように回転中心軸１１側に取付けら
れた駆動インデックスユニット４０である。駆動インデ
ィックスユニット４０は回転中心軸１１の回転を所望の
均等な角度に分割するものである。よって、所望の均等
な角度の回転の度に、回転が一時停止する。なお、この
角度は一回転３６０度を支持体の数で割った値である。

【００２５】板構造体１０の回転中心軸１１は、ユニッ
トベース８０６に固定された構造体６１により回転自在
に支持されている。板構造体２０の回転中心軸２１は、
構造体６１に構造体６２を介して固定された構造体６３
により回転自在に支持されている。

【００２６】この形態の装置には、駆動インデックスユ
ニット４０から回転中心軸１１に入力された回転動力
を、回転中心軸１１の入力と同時に回転中心軸２１にも
伝達させる回転動力伝達手段が備えられている。すなわ
ち、回転動力伝達手段は、回転中心軸１１に取付けたプ
ーリー４４から、動力伝達ベルト４１を介して、動力伝
達軸４２に取付けたプーリー４５、４６を介し、更に、
動力伝達ベルト４３を介して、回転中心軸２１に取付け
たプーリー４７を介し、回転中心軸２１に回転動力を伝
達する構造である。このような回転動力伝達手段を構成
した場合、駆動インデックスユニット４０は回転中心軸
１１又は２１の回転入力でなくても、動力伝達軸４２へ
の回転入力であってもよい。

【００２７】また、上記のように、回転動力伝達手段を
介して回転中心軸２１へも回転動力を入力するのは、次
のような理由による。この装置では、駆動インデックス
ユニット４０により、板構造体及び支持体を高速回転さ
せる中、供給点、作業点および収納点の各々で一時停止
する事が実施される。そのため、一方の回転中心軸への
回転入力のみで２つの板構造体を回転させると、板構造
体及び支持体の回転及び停止による慣性モーメントを各
支持体の連結軸のみで受ける事となる。また、各支持体
に取付ける製品保持ノズルの本数及び間隔を広く構成し
た場合、２つの板構造体と支持体とを連結する連結軸へ
の力の作用点も間隔が広くなり、構造的に「ねじれ」が
発生しやすくなる。その結果、各製品保持ノズルの停止
位置精度が確保できなくなる危険性が生じる。これを防
止する一つの方法として、板構造体と連結軸の剛性を上
げて対応しようとすると、構成部品の重量が増加し、回
転と停止を繰り返す間欠動作時の慣性モーメントが更に
増え、駆動動力も大きくする必要が生じる。

【００２８】よって、それらを防止するために２つの板
構造体の回転軸が同期して回転するように、伝達手段を
介して回転中心軸２１へも回転動力を入力する事で、上
記の「ねじれ」の発生を防止する事が可能となる。その
結果、構成部品の剛性を上げなくて済むため軽量化され
た構成部品を使用でき、慣性モーメントも少なくなり、
そして高速回転と停止を繰り返す間欠動作が、小さい動
力で高精度に駆動できる。

【００２９】次に、本形態による製品供給装置の動作に
ついて説明する。

【００３０】製品を供給するには、まず製品保持ノズル
が供給点で停止する。ここで、供給点に併設した製品保
持ノズル上下駆動ユニットにて製品保持ノズルが上下動
作され、製品が保持される。そして、製品を保持した状
態で製品保持ノズルが作業点まで移動する。次に、作業
点に併設した製品保持ノズル上下駆動ユニットにて製品
保持ノズルが製品加工位置５０に下降し、製品が供給さ
れる。なお、作業点における製品保持ノズルの上下動作
の際は、供給点に位置した、次の製品保持ノズルが、作
業点における製品保持ノズルの上下動作と同じタイミン
グで上下動作され、製品が保持される。

【００３１】製品収納動作については、作業点での作業
を終了した製品が製品保持ノズルの上下動作により保持
され、収納点まで移動される。ここで、収納点に併設し
た製品保持ノズル上下駆動ユニットにて製品保持ノズル
が上下動作され、収納点に製品が収納される。その際、
作業点には、移動してきた次の製品保持ノズルが来てお
り、この製品保持ノズルが、収納点における製品保持ノ
ズルの上下動作と同じタイミングで上下動作され、収納
点に製品が収納する。

【００３２】以上のように、製品を保持したノズルを供
給点から作業点に移動させること、作業終了後の製品を
保持したノズルを収納点に移動させること、および収納
後の製品の保持のないノズルを供給点に移動させること
が同時に無駄無く行なえるので、動作時間が削減でき
る。

【００３３】また、回転中心軸１１に入力された回転動
力は、動力伝達ベルト４１、動力伝達軸４２および動力
伝達ベルト４３を介して、同時に回転中心軸２１にも伝
達される。この事により、板構造体１０及び２０、そし
て支持体３１、３２、３３、それらを連結する各連結軸
１２，２２と、１３，２３と、１４，２４により同時に
構成された複数の平行リンクはそれぞれ、各支持体に取
り付けられた製品保持ノズルを垂直方向の一定姿勢に保
ちながら、回転中心軸１１、２１を中心に回転移動す
る。各々の平行な一対のリンクは、板構造体１０及び２
０間に同時に構成されているため、回転動作中に何れか
の一対のリンクが一直線に重なって、リンク機構の最大
の欠点である死点が発生していても、他の一対のリンク
が一直線に重ならない安定した配置となる。この事によ
って、他のリンクからの拘束力により、死点が打ち消さ
れ、滑らかな回転運動を行う事ができる。また、最下点
とした作業点の位置に支持体が停止した場合、図１に示
したように、その位置に在る一対のリンクは、板構造体
１０の回転中心軸１１と、板構造体２０の回転中心軸２
１と、さらに、支持体３１と板構造体１０を連結する連
結軸１２と、支持体３１と板構造体２０を連結する連結
軸２２とにより、最も安定した長方形を構成する。さら
に、２枚の板構造体と支持体により構成された他の一対
のリンクにより、作業点に位置した一対のリンクは拘束
されることになる。この事により、作業点に位置した支
持体の停止位置精度が最大化されるのは勿論の事、供給
点と収納点に位置した支持体についても、互いに拘束力
が働き、停止位置精度の安定化を図ることができる。

【００３４】（第２の実施の形態）本発明の第２の実施
形態による製品供給装置の特徴部を最もよく表した上面
断面図である。

【００３５】本形態では上述した第１の実施形態と同
様、図４に示すように、第一の回転中心軸６１１を中心
に回転する板構造体６１２と、第二の回転中心軸６３１
を中心に回転する板構造体６４１とが対面して配置され
ている。第一の回転中心軸６１１と第二の回転中心軸６
１２とは水平方向に所定の距離を離して固定されてい
る。板構造体６１２と６４１の間には、複数の支持体６
２１、６２２等が、連結軸６１３、６１４及び６４２、
６４３により、複数の平行リンクを同時に構成し、板構
造体６１２と６４１の円周上の等分した位置となるよう
配置されている。

【００３６】本形態では、上記のような平行リンク機構
を構成する２つの板構造体６１２と６４１は凹状のボッ
クス構造体６０１内に収納されている。板構造体６４１
は軸支持体６０２により回転自在に支持されている。そ
して、ボックス構造体６０１の凹部開口は板構造体６４
１と軸支持体６０２とによって封止されている。

【００３７】板構造体６１２の回転中心軸６１１はボッ
クス構造体６０１の外部に突き出ており、駆動動力の入
力軸となっている。この回転中心軸６１１には、板構造
体の回転と停止を繰り返す間欠動作を行なうため、イン
デックスユニット、又はダイレクトドライブモーター等
が取付けられている。

【００３８】また、板構造体６４１に支持体６２１、６
２２を連結する連結軸６４２、６４３は、板構造体６４
１から外側に出力軸６６０として突き出ている。

【００３９】これらの出力軸６６０にはそれぞれ図５に
示すように、複数の製品保持ノズル６５１、６５３を持
つノズル保持部６６１、６６２が取付けられている。

【００４０】各製品保持ノズル６５１、６５３は、第１
の実施形態と同様、上下に移動できる構造で、普段はス
プリング等により上方向に付勢されている。また、供給
点、作業点、収納点の各点には図５に示すような上下駆
動ユニット６６４、６６５等が配置されている。製品保
持ノズルの上下動作の駆動方法は、第１の実施形態です
でに述べたとおりである。

【００４１】以上のように、第１の実施形態と異なる本
形態の特徴は、第一に、リンク機構をボックス構造で囲
った事である。これにより、ボックス構造内に潤滑油を
注入すれば、装置の耐久性を向上させることができる。

【００４２】第二に、２枚の板構造体６１２、６４１の
間に配置した支持体６２１、６２２に製品保持ノズルを
取付けるのでは無く、板構造体６４１のボックス構造体
６０１とは反対側面より突き出た出力軸６６０に製品保
持ノズルを取付けた事である。

【００４３】第三に、両側の板構造体の回転中心軸を同
時に駆動するのでは無く、一定方向の入力軸のみより、
駆動動力を入力する事である。本形態の場合は、製品保
持ノズルが板構造体の間ではなく、板構造体の外側に設
置する構造であるので、２つの板構造体どうしの間隔が
狭く、支持体の連結軸の力の作用点の間隔も狭くなる。
その結果、「ねじれ」の発生が少なく、各構成部品の剛
性で十分対応できる構造にする事ができる。よって、第
１の実施形態と異なり、一方の板構造体の回転中心軸へ
の入力のみとする事ができる。

【００４４】（第３の実施の形態）次に、第１又は第２
の実施形態の製品供給装置をＩＣテスターのハンドラー
に適用する場合の構成を、図６及び図７を参照して説明
する。

【００４５】図６は本発明の製品供給装置が測定ハンド
ラーとして適用されたＩＣテスターの外観斜視図、図７
は図６に示したＩＣテスターを矢印Ａ方向から見た側面
図である。

【００４６】図６及び図７に示すように、脚部で支えら
れているベース８０６下部にＩＣテスターの測定ボック
ス７０２が配置されている。ベース８０６上には上述の
実施形態の製品供給装置８００が設置されている。この
とき、測定ボックス７０２の測定用コンタクト部７０３
に製品供給装置８００の最下部の作業点が位置付けられ
ている。製品供給装置８００の供給点の近傍には、供給
点における製品保持ノズルに製品を受け渡すための供給
シャトル８０１が設けられている。同様に製品供給装置
８００の収納点の近傍には、収納点における製品保持ノ
ズルに保持された製品を受け取るための収納シャトル８
０２が設けられている。

【００４７】また、ベース８０６上には製品供給用、空
トレー用、不良品収納用、および良品収納用の４つのス
トッカー部７０１が製品供給装置８００に隣接して配設
されている。これらのストッカーは、製品７００を載せ
るためのトレーを昇降させるエレベータ機構を有してい
る。また、トレーには製品７００が碁盤の目状に配置さ
れる。

【００４８】製品供給用のストッカーは、供給シャトル
８０１に供給する製品８００を載置した供給トレー７０
４ａをストックしている。供給トレー７０４ａ上の任意
の点に在る製品は、定点である供給シャトル８０１に製
品供給ロボット８０３で搬送される。

【００４９】空トレー用のストッカーは、製品供給用ス
トッカー最上部の供給トレー７０４ａ上の製品７００が
製品供給装置８００に全て供給されて空になった空トレ
ー７０４ｂをストックする。空トレー７０４ｂは、製品
供給用ストッカー最上部から空トレー用のストッカーに
トレー交換ロボット８０４で搬送される。

【００５０】不良品用のストッカーは、測定用コンタク
ト部７０３での測定によって不良と判定されて収納シャ
トル８０２に運ばれてきた製品７００を載置する不良ト
レー７０４ｃをストックする。また良品収納用ストッカ
ーは、測定用コンタクト部７０３での測定によって良品
と判定されて収納シャトル８０２に運ばれてきた製品７
００を載置する収納トレー７０４ｄをストックする。不
良トレー７０４ｃ又は収納トレー７０４ｄ上の任意の点
には、定点である収納シャトル８０２上の製品が製品収
納ロボット８０５によって搬送される。

【００５１】製品供給ロボット８０３や製品収納ロボッ
ト８０４には、任意の点と定点との間でフレキシブルな
移動を可能にするため、Ｘ−Ｙ直交型ロボットによるＰ
／Ｐ機構を用いる事が好ましい。

【００５２】上記のような構成の場合、ストッカー部７
０１のうちの製品供給用ストッカーの最上部の供給トレ
ー７０４ａ上の製品７００は、製品供給ロボット８０３
によって供給シャトル８０１に搬送される。そして、供
給シャトル８０１によって、製品供給装置８００の供給
点に在る製品保持ノズルに製品７００が供給される。次
に、前記供給点に在る製品保持ノズルが、作業点である
測定用コンタクト部７０３に移動する。このとき、製品
供給装置８００の垂直方向の回転動作により、製品７０
０はストッカー最上部の高さからストッカー最下部下の
測定用コンタクト部７０３までの落差による距離を一気
に移動する。

【００５３】そして、測定用コンタクト部７０３で製品
７００の電気的特性が測定される。この時、製品７００
が測定されるのと同じタイミングで、次の製品７００
が、製品供給装置８００の供給点に在る製品保持ノズル
に供給される。

【００５４】測定後の製品７００は、製品供給装置８０
０の垂直方向の回転動作により、収納点に移動する。収
納点に来た製品７００は収納シャトル８０２によって受
け取られる。そして、収納シャトル８０１上の製品７０
０は測定結果に応じて、製品収納ロボット８０５によ
り、ストッカー部７０１の最上部の空トレー７０４ｃ又
は収納トレー７０４ｄ上に搬送される。

【００５５】このような製品７００の空トレー７０４ｃ
又は収納トレー７０４ｄへの収納の際には、測定用コン
タクト部７０３に次の製品７００が来ていて、収納シャ
トル８０２による製品の受け取りと同じタイミングで測
定される。

【００５６】以上のように本実施形態では、従来例のよ
うに、ストッカー部７０１の最上部の高さからストッカ
ー部７０１の下に在る測定ボックス７０２の測定コンタ
クト部７０３までの落差による距離を一つの機構で一気
に移動させる事は行われていない。すなわち、定点から
定点まで（例えば供給点から作業点まで）の動作が出来
る部分を一方向の回転運動による復路のない本発明のリ
ンク機構とし、この機構によって前述の落差による距離
を移動させている。そして、ストッカー部７０１の最上
部とほぼ同じ高さに位置した定点である供給点又は収納
点から、ストッカー部７０１の最上部のトレー上の任意
の点までの、フレキシブルな動作が必要な部分をＰ／Ｐ
機構にした。このようにリンク機構とＰ／Ｐ機構の両者
の特徴を活かせるように組み合わせることで、合理的に
高速化を実現することができる。また、装置外形のコン
パクト化を図るためにストッカー部を測定ボックス上面
に配置することで上述の落差による距離が生じても、動
作時間が短縮できる。言い換えれば、コンパクトな外形
の装置が動作時間を低下させることなく得られる。さら
に、本発明による回転リンク機構の場合、製品が最下点
である測定点に来た位置では製品の停止位置精度が最も
高いため、測定精度の信頼性を確保する事ができる。

【００５７】なお、本形態では本発明の製品供給装置を
ＩＣテスターのハンドラーに適用した場合を説明した
が、バーンインテスト工程用の製品挿抜機にも適用する
事ができる。すなわち、バーンインテスト工程用の製品
挿抜機は、製品供給機構の最下部にバーンインテスト用
基板が配置され、その基板に取付けられた任意のコンタ
クトソケットに製品を供給し、測定後、収納するもので
ある。したがって、製品供給装置の配置構成はＩＣテス
ターのハンドラーに適用したときと同様の状態になる。

【００５８】

【発明の効果】以上説明した本発明によれば、以下に記
載するような効果を有する。

【００５９】第一の効果は、滑らかな回転運動が得られ
ると共に、供給点、作業点及び収納点に一時停止した場
合も、ガタの発生が少なく、停止位置精度が確保される
事である。その理由は、２枚の板構造体と複数の支持体
との連結によって、複数の、同時構成されたリンク同士
により、互いに拘束しあい、リンク機構の欠点である死
点が打ち消される事と、各点での停止においても、互い
のリンク機構同士の拘束により、移動が制限されるため
である。

【００６０】第二の効果は、最も精度を必要とする作業
点において、停止位置精度が最大化する事である。その
理由は、回転中心軸を水平方向に、一定の距離を離した
事により、作業点で停止した状態において、平行な一対
のリンク機構は長方形を構成し、最も構造的に安定する
ためである。

【００６１】第三の効果は、作業点での作業中に、供給
又は、収納の動作が同時にできると共に、作業点への製
品供給、又は、作業点からの製品収納の移動動作が、片
道動作ででき、動作時間が短縮できることである。その
理由は、リンク機構の回転円周上の等分した位置に支持
体及び製品保持ノズルを配置し、インデックス回転移動
する構造とした事により、順次、次の製品保持ノズルが
移動して来るからである。

【００６２】第四の効果は、コンパクトな外形の装置が
動作時間を低下させることなく得られる事である。その
理由は、上記第三の効果によりＰ／Ｐ機構のような無駄
な復路の動作時間が生じないので、ストッカー部を測定
ボックス上面に配置しても、ストッカー部の最上部と測
定ボックス上面との落差による距離において効率よく製
品を移動させることができるからである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態による製品供給装置の
特徴部を示す正面図である。

【図２】図１に示した製品供給装置の特徴部の上面図で
ある。

【図３】本発明の第１の実施形態による製品供給装置の
駆動ユニットを最もよく表した側面図である。

【図４】本発明の第２の実施形態による製品供給装置の
特徴部を最もよく表した上面断面図である。

【図５】本発明の第２の実施形態による製品供給装置の
駆動ユニットを示す側面図である。

【図６】本発明の製品供給装置が測定ハンドラーとして
適用されたＩＣテスターの外観斜視図である。

【図７】図６に示したＩＣテスターを矢印Ａ方向から見
た側面図である。

【図８】従来の製品供給装置の一例の動作原理図であ
る。

【図９】特開昭６２−７９１３６号公報による従来の製
品供給装置の動作原理図である。

【図１０】従来の製品供給装置が搬送機構として適用さ
れた場合の装置構成図である。

【図１１】従来の製品供給装置が搬送機構として適用さ
れた場合の装置構成図である。

【図１２】従来の製品供給装置が搬送機構として適用さ
れた場合の装置構成図である。

【符号の説明】

１０、２０、６１２、６４１板構造体１１、２１、６１１、６３１回転中心軸１２、１３、１４、２２、２３、２４、６１３、６１
４、６４２、６４３連結軸３１、３２、３３、６２１、６２２支持体４０駆動インデックスユニット４１、４３動力伝達ベルト４２動力伝達軸４４、４５、４６、４７プーリー５０製品加工位置５１、５２、５３、５４、５５、５６、６５１、６５３
製品保持ノズル６１、６２、６３構造体６４、６５、６６４、６６５上下駆動ユニット６０１ボックス構造体６０２軸支持体６５０インデックス又はモーター取付部６６０出力軸６７０ノズル保持部７０２ＩＣテスターの測定ボックス７０３測定用コンタクト部７０４ａ供給トレー７０４ｂ空トレー７０４ｃ不良トレー７０４ｄ収納トレー８００製品供給装置８０１供給シャトル８０２収納シャトル８０３製品供給ロボット８０４トレー交換ロボット８０５製品収納ロボット８０６ベース

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) B23P 19/00 302 H01L 21/66 B23P 19/00 301

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】第一の回転中心軸を有する第一の板構造
体と、前記第一の板構造体と対面して配置され、前記第一の回
転中心軸とずれた第二の回転中心軸を有する第二の板構
造体と、前記第一の板構造体と前記第二の板構造体との間にあっ
て前記第一の回転中心軸を中心とした円周上に等ピッチ
で配され、前記第一の板構造体とは第一の連結軸で連結
され、前記第二の板構造体とは第二の連結軸で連結され
た複数の支持体と、前記複数の支持体の各々に設けられた、製品を保持する
ための製品保持手段と、前記第一の板構造体及び第二の板構造体を回転する駆動
手段とを備えた製品供給装置。
【請求項２】第一の回転中心軸を有する第一の板構造
体と、前記第一の板構造体と対面して配置され、前記第一の回
転中心軸とずれた第二の回転中心軸を有する第二の板構
造体と、前記第一の板構造体と前記第二の板構造体との間にあっ
て前記第一の回転中心軸を中心とした円周上に複数配さ
れ、前記第一の板構造体とは第一の連結軸で連結され、
前記第二の板構造体とは第二の連結軸で連結された支持
体と、前記支持体に設けられた、製品を保持するための製品保
持手段と、前記第一の板構造体及び第二の板構造体を回転する駆動
手段とを備えた製品供給装置。
【請求項３】前記第一の回転中心軸と前記第一の連結
軸の間の部分、および前記第二の回転中心軸と前記第二
の連結軸の間の部分によって平行な一対のリンクを構成
している請求項１又は２に記載の製品供給装置。
【請求項４】前記第一の回転中心軸と前記第二の回転
中心軸とは水平方向に一定の間隔でずれて配置されてい
る請求項３に記載の製品供給装置。
【請求項５】前記第一の連結軸と前記第二の連結軸と
が、前記第一の回転中心軸と前記第二の回転中心軸の間
隔と同じ間隔で水平方向にずれて配置されている請求項
４に記載の製品供給装置。
【請求項６】支持体が最下点に来る位置を作業点とし
て割り付けた請求項１から５のいずれかに記載の製品供
給装置。
【請求項７】前記製品保持手段を所定の位置で上下動
作させる上下駆動ユニットをさらに備えた請求項１から
５のいずれかに記載の製品供給装置。
【請求項８】前記駆動手段は、前記支持体の数に応じ
て一回転が均等に割り付けられた位置で回転動力を一時
停止させるものである請求項１から５のいずれかに記載
の製品供給装置。
【請求項９】前記第一又は第二の板構造体を収容する
ボックス構造体と、該ボックス構造体に収容されていな
い、前記第一又は第二の板構造体のいずれかを回転自在
に支持する軸支持体とを備え、該ボックス構造体と前記
軸支持体とにより前記第一及び第二の板構造体とを封じ
込めた請求項８に記載の製品供給装置。