CN103008265A - 探针清洁装置以及使用其的在线探针清洁方法 - Google Patents
探针清洁装置以及使用其的在线探针清洁方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103008265A CN103008265A CN2011102822242A CN201110282224A CN103008265A CN 103008265 A CN103008265 A CN 103008265A CN 2011102822242 A CN2011102822242 A CN 2011102822242A CN 201110282224 A CN201110282224 A CN 201110282224A CN 103008265 A CN103008265 A CN 103008265A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- probe
- cleaning device
- cleaning
- probe cleaning
- travel mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
本发明是关于一种探针清洁装置,其是设置在一发光二极管(LED,light emitting diode)点测设备上以执行在线(on-line)探针清洁作业,该点测设备可包含设有探针的一探针单元、以及能够在水平方向与垂直方向上移动的一移动机构,该探针清洁装置包含:一连接部,与该移动机构连接,并随着该移动机构移动;一清洁海棉,由三聚氰胺所制造,并用以清洁该探针单元的探针;以及一容器,设置在该连接部上,并用以容纳该清洁海棉,其中当该清洁海棉容纳在该容器内时,该清洁海棉是凸出该容器的上表面一距离。
Description
技术领域
本发明是关于一种探针清洁装置以及使用其的在线探针清洁方法。
背景技术
如图1所示,在公知的发光二极管点测程序中,探针在使用一段时间之后往往会在其表面上残留灰尘或污染物等微粒,这些微粒可能会影响点测的可靠度。因此,操作者必须定期将探针拆下并利用人工进行清洁,此种人工清洁方式虽然可使探针恢复清洁,但必须是在此点测设备停机的情况下才可进行,再者由于此人工清洁方式相当耗费时间,所以势必会降低产能。如TW200935063揭露一种探针清洁装置,其是利用毛刷来进行探针清洁作业,然而,毛刷清针的方向只会在探针的两侧,其无法全面性地清除探针上面的残金与微粒。因此,亟需一种可在线清洁探针的探针清洁装置,此探针清洁装置可在此点测设备不停机的情况下,直接对探针进行全面性清洁,因此可以节省拆装探针的时间,并且可节省人工清洁的时间。
发明内容
为解决上述问题,依照本发明的一实施态样,提供一种探针清洁装置,其是设置在一发光二极管点测设备上以执行在线探针清洁作业,该点测设备包含设有探针的一探针单元、以及能够在水平方向与垂直方向上移动的一移动机构,该探针清洁装置包含:一连接部,与该移动机构连接,并随着该移动机构移动;一清洁海棉,由三聚氰胺所制造,并用以清洁该探针单元的探针;以及一容器,设置在该连接部上,并用以容纳该清洁海棉,其中当该清洁海棉容纳在该容器内时,该清洁海棉是凸出该容器的上表面一距离。
依照本发明的另一实施态样,提供一种在线探针清洁方法,其是使用上述探针清洁装置,此方法包含下列步骤:通过该移动机构使该探针清洁装置与该探针对正;通过该移动机构使该探针清洁装置在垂直方向上朝该探针移动,以使该清洁海棉与该探针接触;通过该移动机构使该探针清洁装置在水平方向上移动一位移量;以及通过该移动机构使该探针清洁装置在垂直方向上移动,以使该清洁海棉离开该探针。
本发明的其他实施样态以及优点可从以下与用以例示本发明原理范例的随附图式相结合的详细说明而更显明白。此外,为了不对本发明造成不必要的混淆,在本说明书中将不再赘述为人所熟知的组件与原理。
附图说明
图1显示探针在使用一段时间之后于其表面上残留微粒的示意图。
图2显示依照本发明的一实施例的探针清洁装置的立体图。
图3是图2的探针清洁装置的局部放大图。
图4A显示探针在使用本发明的探针清洁装置进行清洁之前的电子显微影像。
图4B显示探针在使用本发明的探针清洁装置进行清洁之后的电子显微影像。
图5显示依照本发明的一实施例具有切割道的清洁海棉的立体图。
具体实施方式
图2显示依照本发明的一实施例的探针清洁装置1的立体图。探针清洁装置1是设置在一发光二极管(LED)点测设备上以执行在线探针清洁作业。此点测设备可包含设有探针3a的探针单元3、以及能够在水平方向(即,X、Y方向)与垂直方向(即,Z方向)上移动的移动机构5。此点测设备亦包含可与移动机构5连接并相对于探针单元3移动的点测台7,其中,于点测台7上放置待测LED组件。探针清洁装置1可包含:连接部9,与移动机构5连接,并随着移动机构5移动;清洁海棉11(图3),由三聚氰胺(melamine)所制造,并用以清洁探针单元3的探针3a;以及容器10,设置在连接部9上,并用以容纳清洁海棉11。
图3是图2的探针清洁装置1的局部放大图。如图3所示,当清洁海棉11容纳在容器10内时,清洁海棉11可凸出容器10的上表面一距离h。举例而言,此距离h较佳是至少为1mm。
如图3所示,在本发明的一实施例中,容器10可由容器本体10a与上盖10b所组成。上盖10b可具有开口13,以及清洁海棉11可具有约略与开口13的宽度等宽的切割道15(图5),如此能在上盖10b挤压清洁海棉11的两侧时,使清洁海棉11凸出容器10的上表面一距离h。在本发明的实施例中,容器本体10a与上盖10b可通过螺栓固定在一起,或者可通过扣合方式固定在一起。
以下将说明使用本发明的探针清洁装置1的在线探针清洁方法。
使用探针清洁装置1的在线探针清洁方法可包含下列步骤:通过移动机构5使探针清洁装置1与探针3a对正;通过移动机构5使探针清洁装置1在垂直方向(即,图2的Z方向)上朝探针3a移动,以使清洁海棉11与探针3a接触;通过移动机构5使探针清洁装置1在水平方向(即,图2的X或Y方向)移动一位移量,俾能使清洁海棉11在水平方向上清洁探针3a;以及通过移动机构5使探针清洁装置1在垂直方向(即,图2的Z方向)上移动,以使清洁海棉11离开探针3a。当探针清洁装置1在垂直方向(即,图2的Z方向)上移动而使清洁海棉11接触与离开探针3a时,即可完成探针3a在垂直方向上的清洁。上述位移量是指在不使探针3a发生变形或损坏的情况下的位移量,此位移量通常是依据例如探针的针径而订定。虽然,本发明的图式中的探针3a是呈现弯针的型态,但其仅为例示而非限制,我们应了解本发明的探针清洁装置亦可用在弯针以外的探针(例如直针等等)的在线清洁。当清洁海棉11与探针3a接触时,清洁海棉11可包覆探针3a的整个表面,因此可达到探针3a的全面性清洁。
图4A显示探针在使用本发明的探针清洁装置进行清洁之前的电子显微影像;以及图4B显示探针在使用本发明的探针清洁装置进行清洁之后的电子显微影像。
本发明的探针清洁装置可在此点测设备不停机的情况下,直接对探针进行清洁,因此可以节省拆装探针的时间,并且可节省人工清洁的时间。
上述实施例仅是为了方便说明而举例,虽遭所属技术领域的技术人员任意进行修改,均不会脱离如权利要求书中所欲保护的范围。
Claims (7)
1.一种探针清洁装置,其特征在于,其是设置在一发光二极管点测设备上以执行在线探针清洁作业,该点测设备包含设有探针的一探针单元、以及能够在水平方向与垂直方向上移动的一移动机构,该探针清洁装置包含:
一连接部,与该移动机构连接,并随着该移动机构移动;
一清洁海棉,由三聚氰胺所制造,并用以清洁该探针单元的探针;及
一容器,设置在该连接部上,并用以容纳该清洁海棉,
其中当该清洁海棉容纳在该容器内时,该清洁海棉是凸出该容器的上表面一距离。
2.如权利要求1所述的探针清洁装置,其特征在于,所述距离至少为1mm。
3.如权利要求1所述的探针清洁装置,其特征在于,所述容器是由一容器本体与一上盖所组成,其中该上盖具有一开口。
4.如权利要求3所述的探针清洁装置,其特征在于,所述清洁海棉具有与该开口的宽度近似等宽的切割道。
5.如权利要求3所述的探针清洁装置,其特征在于,所述容器本体与该上盖是通过螺栓固定在一起。
6.如权利要求3所述的探针清洁装置,其特征在于,所述容器本体与该上盖是通过扣合方式固定在一起。
7.一种在线探针清洁方法,其是使用如权利要求1所述的探针清洁装置,其特征在于,该方法包含下列步骤:
通过移动机构使探针清洁装置与探针对正;
通过该移动机构使该探针清洁装置在垂直方向上朝该探针移动,以使清洁海棉与该探针接触;
通过该移动机构使该探针清洁装置在水平方向上移动一位移量;及
通过该移动机构使该探针清洁装置在垂直方向上移动,以使该清洁海棉离开该探针。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2011102822242A CN103008265A (zh) | 2011-09-21 | 2011-09-21 | 探针清洁装置以及使用其的在线探针清洁方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2011102822242A CN103008265A (zh) | 2011-09-21 | 2011-09-21 | 探针清洁装置以及使用其的在线探针清洁方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN103008265A true CN103008265A (zh) | 2013-04-03 |
Family
ID=47957688
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2011102822242A Pending CN103008265A (zh) | 2011-09-21 | 2011-09-21 | 探针清洁装置以及使用其的在线探针清洁方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN103008265A (zh) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103212973A (zh) * | 2013-04-28 | 2013-07-24 | 哈尔滨工业大学 | 一种大口径光学元件的横向在线洁净拆装方法 |
CN103878150A (zh) * | 2014-03-05 | 2014-06-25 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 探针的清洁方法及探针清洁装置 |
CN107003352A (zh) * | 2017-03-22 | 2017-08-01 | 深圳市汇顶科技股份有限公司 | 测试头的清洁方法以及测试系统 |
CN109262412A (zh) * | 2018-09-20 | 2019-01-25 | 深圳市矽电半导体设备有限公司 | 磨针台驱动结构及全自动探针台 |
CN110328169A (zh) * | 2019-05-09 | 2019-10-15 | 德淮半导体有限公司 | 测试机台、探针清洁装置及其清洁方法 |
CN112877765A (zh) * | 2021-01-14 | 2021-06-01 | 韩金烙 | 一种扫描探针修整用的快速去除表面锈迹装置 |
CN113624984A (zh) * | 2021-08-11 | 2021-11-09 | 江苏拜明生物技术有限公司 | 一种具有液面压力探测功能的加样臂 |
CN113702815A (zh) * | 2021-10-26 | 2021-11-26 | 常州东村电子有限公司 | 多点智能检测装置及使用方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW544745B (en) * | 2001-08-07 | 2003-08-01 | Tokyo Electron Ltd | Probe card carrier and method of carrying probe card |
US6741086B2 (en) * | 2001-06-13 | 2004-05-25 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Member for removing foreign matter adhering to probe tip and method of manufacturing the probe tip, method of cleaning foreign matter adhering to probe tip, probe, and probing apparatus |
US20050255796A1 (en) * | 2004-05-14 | 2005-11-17 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Probe cleaning sheet and cleaning method |
TW200935063A (en) * | 2008-02-01 | 2009-08-16 | Fittech Co Ltd | Probe cleaning device |
JP2009198202A (ja) * | 2008-02-19 | 2009-09-03 | Epson Imaging Devices Corp | 異物除去装置および異物除去方法 |
CN102087333A (zh) * | 2009-12-03 | 2011-06-08 | 国际测试技术公司 | 清洁测试器接口接触元件和支持硬件的装置、器件和方法 |
JP2011149917A (ja) * | 2009-12-22 | 2011-08-04 | Micronics Japan Co Ltd | プローブ清掃ユニット及びそれを備えたパネル検査装置並びにプローブ清掃方法 |
-
2011
- 2011-09-21 CN CN2011102822242A patent/CN103008265A/zh active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6741086B2 (en) * | 2001-06-13 | 2004-05-25 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Member for removing foreign matter adhering to probe tip and method of manufacturing the probe tip, method of cleaning foreign matter adhering to probe tip, probe, and probing apparatus |
TW544745B (en) * | 2001-08-07 | 2003-08-01 | Tokyo Electron Ltd | Probe card carrier and method of carrying probe card |
US20050255796A1 (en) * | 2004-05-14 | 2005-11-17 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Probe cleaning sheet and cleaning method |
TW200935063A (en) * | 2008-02-01 | 2009-08-16 | Fittech Co Ltd | Probe cleaning device |
JP2009198202A (ja) * | 2008-02-19 | 2009-09-03 | Epson Imaging Devices Corp | 異物除去装置および異物除去方法 |
CN102087333A (zh) * | 2009-12-03 | 2011-06-08 | 国际测试技术公司 | 清洁测试器接口接触元件和支持硬件的装置、器件和方法 |
JP2011149917A (ja) * | 2009-12-22 | 2011-08-04 | Micronics Japan Co Ltd | プローブ清掃ユニット及びそれを備えたパネル検査装置並びにプローブ清掃方法 |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103212973B (zh) * | 2013-04-28 | 2015-06-17 | 哈尔滨工业大学 | 一种大口径光学元件的横向在线洁净拆装方法 |
CN103212973A (zh) * | 2013-04-28 | 2013-07-24 | 哈尔滨工业大学 | 一种大口径光学元件的横向在线洁净拆装方法 |
CN103878150A (zh) * | 2014-03-05 | 2014-06-25 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 探针的清洁方法及探针清洁装置 |
CN103878150B (zh) * | 2014-03-05 | 2016-02-24 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 探针的清洁方法及探针清洁装置 |
CN107003352B (zh) * | 2017-03-22 | 2020-11-06 | 深圳市汇顶科技股份有限公司 | 测试头的清洁方法以及测试系统 |
CN107003352A (zh) * | 2017-03-22 | 2017-08-01 | 深圳市汇顶科技股份有限公司 | 测试头的清洁方法以及测试系统 |
WO2018170806A1 (zh) * | 2017-03-22 | 2018-09-27 | 深圳市汇顶科技股份有限公司 | 测试头的清洁方法以及测试系统 |
CN109262412A (zh) * | 2018-09-20 | 2019-01-25 | 深圳市矽电半导体设备有限公司 | 磨针台驱动结构及全自动探针台 |
CN109262412B (zh) * | 2018-09-20 | 2024-04-19 | 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司 | 磨针台驱动结构及全自动探针台 |
CN110328169A (zh) * | 2019-05-09 | 2019-10-15 | 德淮半导体有限公司 | 测试机台、探针清洁装置及其清洁方法 |
CN112877765A (zh) * | 2021-01-14 | 2021-06-01 | 韩金烙 | 一种扫描探针修整用的快速去除表面锈迹装置 |
CN113624984A (zh) * | 2021-08-11 | 2021-11-09 | 江苏拜明生物技术有限公司 | 一种具有液面压力探测功能的加样臂 |
CN113702815A (zh) * | 2021-10-26 | 2021-11-26 | 常州东村电子有限公司 | 多点智能检测装置及使用方法 |
CN113702815B (zh) * | 2021-10-26 | 2021-12-24 | 常州东村电子有限公司 | 多点智能检测装置及使用方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN103008265A (zh) | 探针清洁装置以及使用其的在线探针清洁方法 | |
CN103399021B (zh) | 一种透明光学元件亚表面裂纹的检测方法 | |
CN211922209U (zh) | 一种机场路面检测车 | |
CN104028477B (zh) | 极片清粉模块,极片清粉装置及极片清粉方法 | |
CN203356136U (zh) | 电子设备屏幕擦洗装置 | |
CN201955320U (zh) | 一种汽车电机盖板质量检测装置 | |
CN108717046A (zh) | 一种遥感检测镜面自清洁装置 | |
CN103043039B (zh) | 一种电动汽车电池的更换装置及方法 | |
CN104057924A (zh) | 一种移动式车底检查工具 | |
CN207304728U (zh) | 环卫工作管理系统 | |
CN102848721B (zh) | 用于smt自动印刷工艺的钢网检测系统及流程 | |
CN206121389U (zh) | 一种车间除尘装置 | |
CN206450184U (zh) | 一种条形销检测装置 | |
CN209181753U (zh) | 一种建筑墙缝测量仪的检测单元保护装置 | |
CN203774269U (zh) | 具有异常碰撞或掉落检测功能的晶圆盒 | |
CN103903313B (zh) | 一种车辆运行状态监测系统及方法 | |
CN206450773U (zh) | 一种用于汽车abs线束高压绝缘电检测装置 | |
CN214053011U (zh) | 清洁及装配系统 | |
CN206773123U (zh) | 一种易清洁的汽车线束检测台 | |
CN201537581U (zh) | 一种抛光打磨组件 | |
CN212497735U (zh) | 检测机器人 | |
CN204389626U (zh) | 一种汽车线束测试台的对接式模块 | |
CN203299342U (zh) | 自洁式测试装置 | |
CN214077871U (zh) | 一种可以防止损害的多功能陶瓷球筛选装置 | |
CN215745217U (zh) | 电气屏柜除尘装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20130403 |