JP2007125552A - ペーストディスペンサーのヘッドユニット - Google Patents
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Abstract
【課題を解決するための手段】
本発明のペーストディスペンサーのヘッドユニットは、基板とノズルとの間の相対位置を変化させながら、前記ノズルから前記基板上に所定パターンでペーストを塗布するペーストディスペンサーにおいて、前記ノズルを支持するヘッド本体、前記基板上に形成されたペーストパターンを一方向にスキャンして前記ペーストパターンの断面積を測定する断面積センサー、及び前記断面積センサーが前記ペーストパターンでX軸方向による断面積とY軸方向による断面積を測定できるように、前記断面積センサーを前記ヘッド本体に対して水平に回転させると共に往復回転させるセンサー用回転駆動部、を含むことを特徴とする。
【選択図】図4
Description
このような液晶ディスプレーに一般的に採用する液晶パネルの製造方法の一例を次に説明する。
そして、基板間のギャップを維持する一方、液晶が外部に漏れることを防止し、基板間を密封することができるように、いずれか一つの基板にペーストを所定パターンで塗布してペーストパターンを形成する。次に、基板間に液晶層を形成した後、液晶パネルを製造する。
ペーストディスペンサーは、基板が載置されるステージと、ステージ上に載置された基板にペーストを吐出するノズルが装着されたヘッドユニットと、ヘッドユニットを支持するヘッド支持部を含んでなるのが一般的である。
このような断面積センサー1は、レンズ2が所定の角度の範囲内で矢印に沿って一方向に往復回転するように設けることによって、レンズ2を通じて放出される検出ビームが基板S上のペーストパターンPを一方向にスキャンしてペーストパターンPの断面積を測定する。
すなわち、図2に示したように、断面積センサー1はペーストパターンPでX軸方向による断面積をスキャンできるようにヘッドユニットに装着されると、ペーストパターンPでY軸方向による断面積をスキャンすることができない。したがって、ペーストパターンPでY軸方向に形成された部位に不良が発生したかどうかを検出できない問題がある。
このような問題を解決するために、X軸及びY軸方向にペーストパターンの断面積をそれぞれ測定できるように、二つの断面積センサーをヘッドユニットに設ける場合もある。しかし、通常断面積センサーは高価であるので、製造費用が上昇する問題がある。
また、前記センサー用回転駆動部は、前記ヘッド本体に装着された回転アクチュエーターと、前記回転アクチュエーターから発生した回転力を前記断面積センサーに伝達する動力伝達部を備えることが好ましい。
さらに、前記断面積センサーは、レンズを所定角度の範囲内で一方向に往復回転させながら前記レンズを通じてレーザービームを連続的に放出し、前記ペーストパターンをスキャンするレーザーセンサーであることが好ましい。
ここで、前記断面積センサーは、45゜傾斜して配置されることが好ましい。
さらに、前記断面積センサーは、レンズを所定角度の範囲内で一方向に往復回転させながら前記レンズを通じてレーザービームを連続的に放出し、前記ペーストパターンをスキャンするレーザーセンサーであることが好ましい。
さらに、本発明によれば、断面積センサーがノズル用Z軸駆動部の下側に配置可能であるので、ヘッドユニットが最大限コンパクトな構造を有することができる。それによって、ヘッド支持部に多数のヘッドユニットを装着した場合、従来に断面積センサーがヘッド本体からX軸方向に突出するように装着した場合に比べて、ヘッドユニット間のピッチが減少する効果がある。
図3に示したペーストディスペンサー10はフレーム11を備える。このフレーム11は基礎に支持されて、ペーストディスペンサー10全体を支持する。
このようなフレーム11の上側にはペーストが吐出される基板を支持するためのステージ12が配置される。ここで、このステージ12はフレーム11の一側から供給されて載置された基板Sを下側で支持するように形成される。
一方、ステージ12はステージ用X軸駆動部によりX軸方向に摺動可能にしたり、ステージ用q
軸駆動部により水平にq 軸方向に回転可能にフレーム11上に支持することもできる。もちろん、ステージ12をフレーム11上に固定することも可能である。
ヘッド本体110には塗布ヘッド120が設けられる。この塗布ヘッド120にはノズル121が装着され、ノズル121に連結されたシリンジ(syringe)122が装着される。ノズル121は基板S上にペーストを吐出するためのものであり、シリンジ122はノズル121で供給するペーストを貯蔵するためのものである。そして、塗布ヘッド120には距離センサー123が装着できる。距離センサー123は基板Sに対するノズル121の距離を測定するためのものである。
このように断面積センサー部160がヘッド本体110に装着されると、断面積センサー部160がヘッド本体110からX軸方向に突出しなくなるので、ヘッドユニット100を最大限コンパクトな構造にすることができる。さらに、前述した構造の複数のヘッドユニット100をヘッド支持部13に装着した場合、ヘッド本体からX軸方向に突出するように装着される従来の断面積センサーに比べて、ヘッドユニット100間のピッチが減少できる。
センサー用回転駆動部170は、前述した断面積センサー161がペーストパターンPでX軸方向による断面積とY軸方向による断面積を全て測定できるように、断面積センサー161をヘッド本体110に対して水平に回転させると共に往復回転させるためのものである。
一方、センサー用回転駆動部170は、断面積センサー161がペーストパターンPでX軸方向による断面積とY軸方向による断面積を全て測定できる範疇で、多様な角度範囲に断面積センサー161を往復回転させることができるので、必ずしも前述した例に限定するものではない。
回転アクチュエーターは、一例として空気圧揺動型アクチュエーター171を利用することができる。空気圧揺動型アクチュエーター171は圧縮空気エネルギーを機械的な回転運動エネルギーに変換して回転軸を一定角度の範囲内で往復回転させるもので、シリンダーを利用する場合に比べてコンパクトな揺動運動を得ることができる。
このようなセンサー用回転駆動部170には空気圧揺動型アクチュエーター171の外側で断面積センサー161の往復回転時、90゜の範囲に回転を制限する回転制限手段をさらに設けることが好ましい。これは断面積センサー161の往復回転時、検知の精密度を向上させるためである。
図10及び図11を参照すると、本実施形態に係るヘッドユニット100は前述した実施形態に係るヘッドユニット200に比べて、断面積センサー部260の構成が相異なる。
詳述すると、本実施形態に係る断面積センサー部260は断面積センサー261がX軸及びY軸に対して所定角度で傾斜した方向に基板S上のペーストパターンPをスキャンできるように構成する。これはペーストパターンPでX軸方向による断面積とY軸方向による断面積を全て測定できるようにするためである。
このような断面積センサー261は、図11に示したように、X軸に対してθ0の角度で傾斜した状態を維持できるように、断面積センサー部260はセンサー支持ブロック262を備える。すなわち、センサー支持ブロック262は断面積センサー261がθ0の角度で傾斜した状態を支持するように傾斜面263を有する構造にする。そして、センサー支持ブロック262はヘッドブラケット124に固定したり、一体に形成したりすることができる。したがって、X軸及びY軸に対して所定角度で傾斜するように断面積センサー261をヘッドユニット200に設けることができる。
前述のように、断面積センサー261がX軸及びY軸に対して所定角度に傾斜した方向にペーストパターンPをスキャンするようになるので、ペーストパターンPが図11に示したように、X軸方向によるX軸直線部とY軸方向による直線部を有して閉ループをなした場合、ペーストパターンのX軸及びY軸直線部を全てスキャンできる。すなわち、一つの断面積センサー261でもペーストパターンPでX軸方向による断面積とY軸方向による断面積を全て測定できる。
〔数1〕
X軸方向による断面積=A0×cos(θ0−θ1)
Y軸方向による断面積=A0×sin(θ0−θ1)
上式で、A0は断面積センサー261により実際に測定した値である。そして、θ0はX軸に対する断面積センサー261の傾斜角を表し、θ1はX軸に対する基板Sの傾斜角を表す。
120 塗布ヘッド
121 ノズル
160、260 断面積センサー部
161、261 断面積センサー
170 センサー用回転駆動部
171 空気圧揺動型アクチュエーター
P ペーストパターン
Claims (11)
- 基板とノズルとの間の相対位置を変化させながら、前記ノズルから前記基板上に所定パターンでペーストを塗布するペーストディスペンサーにおいて、
前記ノズルを支持するヘッド本体、
前記基板上に形成されたペーストパターンを一方向にスキャンして前記ペーストパターンの断面積を測定する断面積センサー、及び
前記断面積センサーが前記ペーストパターンでX軸方向による断面積とY軸方向による断面積を測定できるように、前記断面積センサーを前記ヘッド本体に対して水平に回転させると共に往復回転させるセンサー用回転駆動部、
を含むことを特徴とするペーストディスペンサーのヘッドユニット。 - 前記センサー用回転駆動部は、前記断面積センサーが前記ペーストパターンをX軸及びY軸方向にスキャンできるように前記断面積センサーを90゜の範囲で往復回転させることを特徴とする請求項1に記載のペーストディスペンサーのヘッドユニット。
- 前記センサー用回転駆動部は、前記ヘッド本体に装着された回転アクチュエーターと、前記回転アクチュエーターから発生した回転力を前記断面積センサーに伝達する動力伝達部と、
を備えることを特徴とする請求項2に記載のペーストディスペンサーのヘッドユニット。 - 前記回転アクチュエーターは、回転軸の回転角度が90゜の範囲に制限された空気圧揺動型アクチュエーターであることを特徴とする請求項3に記載のペーストディスペンサーのヘッドユニット。
- 前記センサー用回転駆動部は、前記断面積センサーの往復回転時90゜の範囲に回転を制限する回転制限手段をさらに備えることを特徴とする請求項3に記載のペーストディスペンサーのヘッドユニット。
- 前記ヘッド本体は、前記ノズルが装着される塗布ヘッドと、前記ノズルが装着される反対側で前記塗布ヘッドをZ軸方向に昇降させるノズル用Z軸駆動部を備え、
前記断面積センサーは、前記ノズル用Z軸駆動部の下側に配置されることを特徴とする請求項1に記載のペーストディスペンサーのヘッドユニット。 - 前記断面積センサーは、レンズを所定角度の範囲内で一方向に往復回転させながら前記レンズを通じてレーザービームを連続的に放出し、前記ペーストパターンをスキャンするレーザーセンサーであることを特徴とする請求項1に記載のペーストディスペンサーのヘッドユニット。
- 基板とノズルとの間の相対位置を変化させながら、前記ノズルから前記基板上に所定パターンでペーストを塗布するペーストディスペンサーにおいて、
前記ノズルを支持するヘッド本体、及び
前記基板上に形成されたペーストパターンをX軸及びY軸に対して所定角度に傾斜した方向にスキャンできるように前記ヘッド本体に装着され、前記ペーストパターンでX軸方向による断面積とY軸方向による断面積を測定する断面積センサー、
を含むことを特徴とするペーストディスペンサーのヘッドユニット。 - 前記断面積センサーは、45゜傾斜して配置されることを特徴とする請求項8に記載のペーストディスペンサーのヘッドユニット。
- 前記ヘッド本体は、前記ノズルが装着される塗布ヘッドと、前記ノズルが装着される反対側で前記塗布ヘッドをZ軸方向に昇降させるノズル用Z軸駆動部を備え、
前記断面積センサーは、前記ノズル用Z軸駆動部の下側に配置されることを特徴とする請求項8に記載のペーストディスペンサーのヘッドユニット。 - 前記断面積センサーは、レンズを所定角度の範囲内で一方向に往復回転させながら前記レンズを通じてレーザービームを連続的に放出し、前記ペーストパターンをスキャンするレーザーセンサーであることを特徴とする請求項8に記載のペーストディスペンサーのヘッドユニット。
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- 2006-10-30 JP JP2006293544A patent/JP2007125552A/ja active Pending
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