KR20130050723A - 어레이 테스트 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 어레이 테스트 장치에서는, 모듈레이터의 요동을 방지할 수 있는 구성에 대하여 제시한다.

Description

어레이 테스트 장치{ARRAY TEST APPARATUS}
본 발명은 글라스패널을 검사하는 어레이 테스트 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판디스플레이(Flat Panel Display; FPD)로는, 액정디스플레이(Liquid Crystal Display; LCD), 플라즈마디스플레이패널(Plasma Display Panel; PDP), 전계방출디스플레이(Field Emission Display; FED), 유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diodes; OLED) 등이 개발되어 사용되고 있다.
이와 같은 평판디스플레이 중에서, 액정디스플레이는, 매트릭스형태로 배열된 액정셀들에 화상정보에 따른 데이터신호를 개별적으로 공급하여 액정셀들의 광투과율을 조절함으로써 원하는 화상을 표시할 수 있도록 한 표시장치이다. 액정디스플레이는 얇고 가벼우며 소비전력과 동작전압이 낮은 장점 등으로 인하여 널리 이용되고 있다. 이러한 액정디스플레이에 일반적으로 채용되는 액정패널의 제조방법을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 상부기판에 컬러필터 및 공통전극을 형성하고, 상부기판과 대응되는 하부기판에 박막트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT) 및 화소전극을 형성한다. 이어서, 기판들에 각각 배향막을 도포한 후 이들 사이에 형성될 액정층내의 액정분자에 프리틸트 각(pre-tilt angle)과 배향방향을 제공하기 위해 배향막을 러빙(rubbing)한다.
그리고, 기판들 사이의 간격을 유지하는 한편 액정이 외부로 새는 것을 방지하고, 기판들 사이를 밀봉시킬 수 있도록, 상부기판 또는 하부기판 중 적어도 어느 하나의 기판에 페이스트를 소정의 패턴으로 도포하여 페이스트 패턴을 형성한 다음, 기판들 사이에 액정층을 형성하는 과정을 통하여 액정패널을 제조한다.
이러한 공정 중에 박막트랜지스터(TFT) 및 화소전극이 형성된 하부기판(이하, 이를 '글라스패널'이라 한다.)에 구비되는 게이트라인 및 데이터라인의 단선, 화소셀의 색상불량 등의 결함이 있는지를 검사하는 공정을 수행한다. 이와 같은 글라스패널에 대한 검사를 수행하기 위하여, 글라스패널을 검사하는 테스트유닛과, 글라스패널을 테스트유닛으로 로딩하는 로딩유닛과, 검사가 완료된 글라스패널을 테스트유닛으로부터 언로딩하는 언로딩유닛으로 구성되는 어레이 테스트 장치가 이용된다.
테스트유닛에는, 광원과, 전광물질층이 구비되는 모듈레이터와, 모듈레이터를 촬상하는 촬상유닛이 구비된다. 글라스패널에 대한 검사는, 글라스패널을 지지플레이트상에 탑재시키고, 모듈레이터와 글라스패널에 소정의 전압을 가한 상태에서 모듈레이터를 글라스패널에 인접되게 위치시키는 과정을 통하여 진행된다. 글라스패널에 결함이 없는 경우에는, 모듈레이터와 글라스패널 사이에 전기장이 형성되지만, 글라스패널에 결함이 있는 경우에는, 모듈레이터와 글라스패널 사이에 전기장이 형성되지 않거나 전기장이 약하게 형성되는데, 어레이 테스트 장치는, 이러한 모듈레이터와 글라스패널 사이의 전기장의 크기를 검출하고, 이를 이용하여 글라스패널의 결함여부를 검출한다.
글라스패널의 정확한 검사를 위한 중요한 인자 중 하나는, 글라스패널과 모듈레이터 사이의 간격이다. 글라스패널에 대한 검사를 정확하게 수행하기 위해서는, 글라스패널과 모듈레이터 사이의 간격을 미리 설정된 최적의 간격으로 일정하게 유지할 필요가 있다. 따라서, 최근 기술에 따른 어레이 테스트 장치는, 글라스패널을 향하여 기체를 분사하고, 분사된 기체의 압력에 의하여 모듈레이터가 글라스패널로부터 부상되도록 하여, 글라스패널과 모듈레이터 사이의 간격을 일정하게 유지하고 있다.
한편, 글라스패널상에는 복수의 피검사영역들이 존재하는데, 모듈레이터가 이러한 복수의 피검사영역들로 순차적으로 이동되면서, 글라스패널상의 전체의 피검사영역들에 대한 검사가 수행된다. 이러한 과정에서, 모듈레이터는, 먼저, 글라스패널에 대하여 수직방향으로 상승하여, 모듈레이터의 수평방향으로의 이동을 위한 글라스패널과 모듈레이터 사이의 간격(이하, 이를 '제1간격'이라 정의한다.)으로 글라스패널로부터 이격된다. 그리고, 모듈레이터가 글라스패널의 상면과 평행한 방향으로 수평으로 이동하여, 글라스패널상의 복수의 피검사영역들 중 어느 하나의 피검사영역의 상부에 위치된다. 그리고, 글라스패널에 대하여 수직방향으로 하강하여, 글라스패널에 대한 검사를 수행하기 위한 글라스패널과 모듈레이터 사이의 간격(이하, 이를 '제2간격'이라 정의한다.)으로, 모듈레이터가 글라스패널에 인접된다.
제1간격은 제2간격에 비하여 크며, 제1간격으로 조절하기 위한 기체의 분사압력은 제2간격으로 조절하기 위한 기체의 분사압력에 비하여 크다.
여기에서, 제2간격은, 글라스패널과 모듈레이터 사이에서 발생되는 전기장의 크기를 최적으로 검출할 수 있도록, 가능한 최소한으로 설정되는 것, 즉, 글라스패널과 모듈레이터가 서로 접촉되지 않는 조건에서의 최소한의 간격으로 설정되는 것이 바람직하다.
그리고, 제1간격은, 모듈레이터가 수평방향으로 이동할 때, 모듈레이터가 글라스패널에 접촉되지 않을 정도의 간격으로 설정된다. 한편, 모듈레이터가 수평방향으로 이동하는 경우, 모듈레이터에 작용하는 가속도에 의하여, 모듈레이터가 요동되며, 이에 따라, 모듈레이터가 소정으로 기울어진 상태로 이동한다. 또한, 모듈레이터가 수평방향으로 이동하다가 정지하는 경우, 모듈레이터에 작용하는 감속도에 의하여, 모듈레이터가 소정으로 기울어지게 된다. 따라서, 종래의 어레이 테스트 장치에서는, 모듈레이터가 기울어진 상태에서도 모듈레이터가 글라스패널에 접촉되지 않도록 제2간격을 비교적 크게 설정하고 있다. 따라서, 종래의 어레이 테스트 장치에서는, 제1간격과 제2간격의 차가 비교적 크다.
이와 같이, 종래의 어레이 테스트 장치에서는, 제1간격과 제2간격의 차가 비교적 크기 때문에, 글라스패널과 모듈레이터 사이의 간격이 제1간격에서 제2간격으로 될 때까지의 시간 및 제2간격에서 제1간격으로 될 때까지의 시간이 비교적 많이 요구된다는 문제점이 있다.
또한, 전술한 바와 같이, 모듈레이터가 수평방향으로 이동하거나 모듈레이터가 수평방향으로 이동하다가 정지하는 경우에는, 모듈레이터가 소정의 각도로 기울어지기 때문에, 글라스패널과 모듈레이터의 접촉을 방지하기 위해, 모듈레이터의 수평방향으로의 이동속도를 크게 할 수 없었고, 이에 따라, 모듈레이터의 수평방향으로의 이동속도를 증가시키는 데에 한계가 있다.
본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은, 모듈레이터가 수평방향으로 이동되는 경우, 모듈레이터의 요동을 방지할 수 있는 어레이 테스트 장치를 제공하는 데에 있다.
또한, 본 발명의 목적은, 글라스패널과 모듈레이터 사이의 간격이 모듈레이터의 수평방향으로의 이동을 위한 간격에서 글라스패널에 대한 검사를 수행하기 위한 간격으로 될 때까지 소요되는 시간을 줄일 수 있는 어레이 테스트 장치를 제공하는 데에 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 글라스패널에 대향하도록 배치되는 모듈레이터와, 상기 모듈레이터의 주위에 배치되는 고정블록과, 상기 모듈레이터와 연결되며 상기 고정블록에 승강이 가능하게 지지되는 이동블록과, 상기 모듈레이터가 상기 글라스패널로부터 이격되는 제1방향으로 이동되도록 상기 글라스패널을 향하여 기체를 분사하는 분사유닛과, 상기 고정블록과 상기 이동블록 사이에 구비되며, 상기 제1방향과 반대되는 제2방향으로 상기 이동블록에 외력을 제공하는 외력제공유닛을 포함하여 구성될 수 있다.
본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 글라스패널을 향하여 분사되는 기체의 압력에 의하여 모듈레이터가 글라스패널로부터 이격되는 제1방향과 반대되는 제2방향으로 이동블록에 외력을 제공하는 외력제공유닛을 마련하고, 글라스패널과 모듈레이터 사이의 간격이 모듈레이터의 이동을 위한 간격이 될 때, 이동블록에 외력을 작용함으로써, 고정블록에 대한 이동블록의 위치, 즉, 모듈레이터의 위치를 견고하게 고정시킬 수 있으므로, 모듈레이터가 수평방향으로 이동될 때, 모듈레이터가 요동되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 모듈레이터의 요동에 의하여, 모듈레이터의 일부분이 글라스패널에 충돌되는 현상을 방지할 수 있다. 또한, 모듈레이터의 요동을 감안하여 모듈레이터의 수평방향으로의 이동속도를 작게 설정하였던 종래에 비하여 모듈레이터의 수평방향으로의 이동속도를 크게 할 수 있다. 또한, 모듈레이터의 요동을 감안하여 제1간격의 크기를 비교적 크게 설정하였던 종래에 비하여 제1간격의 크기를 감소시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 모듈레이터가 수평방향으로 이동하기 위하여 모듈레이터가 글라스패널로부터 이격될 때의 글라스패널과 모듈레이터 사이의 간격을 제1간격이라 하고, 글라스패널에 대한 검사를 수행하기 위해 모듈레이터가 글라스패널에 인접될 때의 글라스패널과 모듈레이터 사이의 간격을 제2간격이라 할 때, 글라스패널과 모듈레이터 사이의 간격이 제1간격에서 제2간격으로 되는 과정에서, 모듈레이터가 글라스패널에 인접되는 방향으로 외력제공유닛에 의한 외력이 모듈레이터에 작용될 수 있으므로, 글라스패널이 모듈레이터 사이의 간격이 제1간격에서 제2간격으로 되는 과정에 소요되는 시간을 줄일 수 있다.
도 1은 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치가 도시된 사시도이다.
도 2는 도 1의 어레이 테스트 장치의 테스트모듈이 도시된 개략도이다.
도 3은 도 1의 어레이 테스트 장치의 테스트모듈의 다른 예가 도시된 개략도이다.
도 4는 도 1의 어레이 테스트 장치의 테스트모듈이 개략적으로 도시된 단면도이다.
도 5는 도 1의 어레이 테스트 장치의 테스트모듈의 다른 예가 개략적으로 도시된 단면도이다.
도 6은 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 테스트모듈의 개략적인 하측면도이다.
도 7은 제3실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 테스트모듈이 개략적으로 도시된 단면도이다.
도 8은 제3실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 테스트모듈의 다른 예가 개략적으로 도시된 단면도이다.
도 9는 제3실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 테스트모듈의 또 다른 예가 개략적으로 도시된 단면도이다.
도 10은 제4실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 테스트모듈이 개략적으로 도시된 단면도이다.
도 11은 도 10의 테스트모듈이 개략적으로 도시된 일부확대도이다.
도 12는 도 10의 테스트모듈의 다른 예가 개략적으로 도시된 일부확대도이다.
도 13은 제5실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 테스트모듈이 개략적으로 도시된 단면도이다.
도 14는 도 13의 테스트모듈이 개략적으로 도시된 일부확대도이다.
도 15는 제6실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 테스트모듈이 개략적으로 도시된 단면도이다.
도 16은 도 14의 테스트모듈이 개략적으로 도시된 일부확대도이다.
도 17 내지 도 20은 제7실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 테스트모듈이 개략적으로 도시된 단면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치에 관한 바람직한 실시예에 대하여 설명한다.
도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치(10)는, 글라스패널(P)을 로딩하는 로딩유닛(20)과, 로딩유닛(20)에 의하여 로딩된 글라스패널(P)에 대한 검사를 수행하는 테스트유닛(30)과, 테스트유닛(30)에 의하여 검사가 완료된 글라스패널(P)을 언로딩하는 언로딩유닛(40)과, 글라스패널(P)을 검사하기 위한 동작을 제어하는 제어유닛(50)을 포함하여 구성될 수 있다.
로딩유닛(20)은 소정의 간격으로 이격되게 배치되어 검사의 대상이 되는 글라스패널(P)을 지지하는 복수의 제1지지플레이트(22)를 포함하여 구성되고, 언로딩유닛(40)은 소정의 간격으로 이격되게 배치되어 테스트유닛(30)에서 검사가 완료된 글라스패널(P)을 지지하는 복수의 제2지지플레이트(42)를 포함하여 구성된다. 로딩유닛(20)의 제1지지플레이트(22)와 언로딩유닛(40)의 제2지지플레이트(42)에는 글라스패널(P)의 하측면을 향하여 공기를 분사하여 글라스패널(P)을 부양시키기 위한 공기구멍(24)(44)이 형성될 수 있다. 또한, 로딩유닛(20) 및 언로딩유닛(40)에는 글라스패널(P)의 하측면을 흡착한 후 수평방향으로 이동하면서 글라스패널(P)을 이송하는 글라스패널이송유닛(70)이 구비될 수 있다.
테스트유닛(30)은, 글라스패널(P)의 전기적 결함여부를 검사하는 것으로, 로딩유닛(20)에 의하여 로딩된 글라스패널(P)이 배치되는 투광지지플레이트(31)와, 투광지지플레이트(31)상에 배치된 글라스패널(P)의 전기적 결함여부를 검사하는 테스트모듈(32)과, 투광지지플레이트(31)상에 배치된 글라스패널(P)상의 전극으로 전기신호를 인가하기 위한 프로브모듈(33)을 포함하여 구성될 수 있다. 여기에서, 테스트모듈(32)은 투광지지플레이트(31)의 상측에서 X축방향으로 연장되는 테스트모듈이송유닛(60)에 X축방향으로 이동이 가능하게 설치될 수 있고, 테스트모듈(32)은 테스트모듈이송유닛(60)의 연장방향(X축방향)을 따라 복수로 구비될 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 테스트모듈(32)은, 광원(321)과, 광원(321)으로부터 출사되는 광의 방향을 조절하는 하프프리즘(322)과, 글라스패널(P)의 상측에서 글라스패널(P)에 대향하도록 배치되는 모듈레이터(120)와, 모듈레이터(120)를 촬상하는 촬상유닛(90)을 포함하여 구성될 수 있다.
모듈레이터(120)는, 글라스패널(P)에 인접되게 배치되는 반사층(121)과, 글라스패널(P)과의 사이에서 발생되는 전기장의 크기에 따라 통과하는 광의 광량을 변경하는 전광물질층(electro-optical material layer)(122)과, 전원(미도시)과 연결되는 모듈레이터전극층(123)과, 모듈레이터전극층(123)의 상측에 배치되는 투광블록(124)으로 구성될 수 있다. 반사층(121)은 얇은 막 형태의 반사필름으로 이루어질 수 있으며, 유리에 반사막이 코팅된 미러 형태의 반사유리로 이루어질 수 있다. 반사층(121)이 반사유리로 이루어지는 경우에는 반사층(121)이 반사필름으로 이루어진 경우에 비하여 경도가 향상되므로 글라스패널(P)과의 접촉에 의한 스크래치 등의 손상을 방지할 수 있다.
전광물질층(122)은 글라스패널(P)상의 전극과 모듈레이터(120)의 모듈레이터전극층(123)으로 전기신호가 인가될 때 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이에서 발생되는 전기장에 의하여 특정의 물성이 변경되는 물질로 이루어질 수 있는데, 예를 들면, 전기장의 크기에 따라 광량을 변화시키는 액정(LC, liquid crystal)으로 이루어질 수 있다. 또한, 전광물질층(122)은, 전기장의 크기에 따라 일정한 방향으로 배열되는 특성을 가지는 물질로 이루어져 이에 입사하는 광을 편광시키는 고분자 분산형 액정표시소자(PDLC, polymer dispersed liquid crystal)로 이루어질 수 있다.
이와 같은 구성에 의하여, 글라스패널(P)상의 전극과 모듈레이터(120)의 모듈레이터전극층(123)으로 전기신호가 인가될 때 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이에는 전기장이 발생되는데, 이러한 전기장에 의하여 전광물질층(122)을 이루는 전광물질의 특성이 변경되며, 이에 따라, 광원(321)에서 발광되고 하프프리즘(322)을 통하여 모듈레이터(120)로 입사된 후 모듈레이터(120)의 반사층(121)으로부터 반사되는 광의 광량이 변경된다. 이때, 촬상유닛(90)을 이용하여 모듈레이터(120)를 촬상하고 촬상유닛(90)으로 촬상한 이미지로부터 광의 광량을 분석하면 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이에서 발생되는 전기장의 크기를 검출할 수 있다. 글라스패널(P)에 결함이 있는 경우에는 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이에 전기장이 형성되지 않거나 정상적인 경우에 비하여 작은 크기의 전기장이 형성되는데, 이에 따라, 검출된 전기장의 크기를 이용하여 글라스패널(P)의 결함여부를 측정할 수 있다.
한편, 테스트유닛(30)은, 상술한 바와 같이, 광원(321)이 테스트모듈(32)에 구비되고 모듈레이터(120)에 반사층(121)이 구비되는 반사방식의 구성 외에도, 도 3에 도시된 바와 같이, 광원(321)이 투광지지플레이트(31)의 하측, 즉, 모듈레이터(120)에 대향하는 투광지지플레이트(31)의 일측에 반대되는 타측에 구비되며, 광원(321)에서 발광되어 모듈레이터(120)를 투과하는 광의 광량을 측정하여 글라스패널(P)의 결함여부를 검출하는 투과방식으로 구성될 수 있다. 이러한 투과방식의 테스트유닛(30)에서는, 글라스패널(P)이 탑재되는 지지플레이트(31)가 광을 투과할 수 있는 재질로 형성되며, 글라스패널(P)에 대향하는 모듈레이터(120)의 일측에 보호층(125)이 구비될 수 있다. 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치의 테스트유닛(30)으로는 이러한 반사방식의 구성 및 투과방식의 구성이 모두 적용될 수 있다.
도 4 및 도 5는 모듈레이터(120)가 글라스패널(P)로부터 이격되는 방향으로 이동이 가능하게 설치되는 구성을 나타낸 것이다. 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 테스트모듈(32)은, 모듈레이터(120)의 주위에 배치되는 고정블록(110)과, 모듈레이터(120)와 연결되며 고정블록(110)에 승강이 가능하게 지지되는 이동블록(130)과, 모듈레이터(120)를 글라스패널(P)로부터 부양시키기 위하여 이동블록(130)과 연결되어 글라스패널(P)을 향하여 기체를 분사하는 분사유닛(140)과, 고정블록(110)과 이동블록(130) 사이에 구비되어 이동블록(130)에 외력을 제공하는 외력제공유닛(200)을 포함하여 구성될 수 있다.
이동블록(130)은 고정블록(110)의 하측에 승강이 가능하게 지지되는데, 이에 따라, 모듈레이터(120)가 이동블록(130)을 통하여 고정블록(110)에 승강이 가능하게 지지될 수 있다. 고정블록(110)의 상측에는 전술한 촬상유닛(90)이 배치될 수 있다.
분사유닛(140)은, 이동블록(130)의 하측에서 글라스패널(P)을 향하여 개방되는 토출구(141)와, 토출구(141)와 연통되는 통로부재(142)와, 통로부재(142)와 연통되어 통로부재(142)를 통하여 토출구(141)로 기체를 공급하는 기체공급기(143)를 포함하여 구성될 수 있다. 토출구(141)는 모듈레이터(120)를 중심으로 이동블록(130)의 둘레방향으로 복수로 배치될 수 있으며, 이 경우, 복수의 토출구(141) 사이의 간격은 일정하게 설정되는 것이 모듈레이터(120)가 균일한 높이로 상승될 수 있도록 하는 데에 바람직하다. 통로부재(142)의 적어도 일부는 이동블록(130)의 내부에 내장될 수 있다. 통로부재(142)는, 모듈레이터(120) 및 이동블록(130)의 이동을 방해하지 않도록, 예를 들면, 그 적어도 일부가 튜브 등의 유연한 재질로 형성될 수 있다. 기체공급기(143)는 제어유닛(50)에 의하여 제어된다. 기체공급기(143)로는 공기나 비활성기체를 공급하는 송풍기나 압축기가 적용될 수 있다. 이와 같은 구성에 따라, 기체공급기(143)로부터 통로부재(142)로 기체가 공급되어, 토출구(141)로부터 글라스패널(P)의 상면을 향하여 기체가 분사되면, 글라스패널(P)의 상면으로 분사되는 기체의 압력에 의하여 모듈레이터(120) 및 이동블록(130)이 글라스패널(P)로부터 이격되는 방향으로 상승한다. 제어유닛(50)이 기체공급기(143)로부터 토출구(141)로 공급되는 기체의 압력이 조절하는 것을 통하여, 모듈레이터(120) 및 이동블록(130)이 상승하는 높이가 결정되며, 이에 따라, 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이의 간격이, 모듈레이터(120)의 이동을 위한 제1간격 및 글라스패널(P)에 대한 검사를 수행하기 위한 제2간격으로 조절될 수 있다.
외력제공유닛(200)은, 이동블록(130)에 대하여 상하방향으로 대향하는 고정블록(110)의 일면에 설치되는 제1자성부재(211)와, 고정블록(110)에 대하여 상하방향으로 대향하는 이동블록(130)의 일면에 설치되는 제2자성부재(212)를 포함하여 구성될 수 있다. 제1자성부재(211)와 제2자성부재(212)는 서로 상하방향으로 대향되도록 배치된다.
여기에서, 제1자성부재(211) 및 제2자성부재(212)는 모두 전자석으로 이루어질 수 있으며, 제1자성부재(211) 및 제2자성부재(212) 중 적어도 어느 하나가 전자석으로 이루어지고 다른 하나는 자석에 부착되는 특성을 가지는 금속 등의 재질로 이루어질 수 있다. 도 4 및 도 5에서는 제1자성부재(211)가 전자석으로 이루어지고, 제1자성부재(211)에 전원(213)이 연결된 구성을 제시한다. 여기에서, 전원(213)에는 제1자성부재(211)로 인가되는 전류의 크기를 조절할 수 있는 제어회로가 구비될 수 있으며, 제어유닛(50)은 이러한 제어회로를 제어하여 전원(213)으로부터 제1자성부재(211)로 인가되는 전류의 크기를 조절할 수 있다.
제1자성부재(211) 및 제2자성부재(212)가 설치는 위치를 마련하기 위하여, 예를 들면, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 이동블록(130)의 외측둘레에는 외측방향으로 연장되는 연장부(131)가 형성될 수 있고, 고정블록(110)의 내부둘레에는 이동블록(130)의 연장부(131)가 상하방향으로 승강이 가능하게 수용되는 수용부(111)가 형성될 수 있다.
여기에서, 도 4에 도시된 바와 같이, 제1자성부재(211)가 고정블록(110)의 수용부(111)의 내부의 상면에 설치될 수 있고, 제2자성부재(212)가 이동블록(130)의 연장부(131)의 상면에 설치될 수 있다.
이와 같은 구성에 따르면, 제1자성부재(211)와 제2자성부재(212) 사이에 척력이 작용할 때, 모듈레이터(120) 및 이동블록(130)에는 하측방향으로의 힘이 작용된다.
여기에서, 제1자성부재(211)와 제2자성부재(212) 사이의 척력은, 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이의 간격이 모듈레이터(120)의 이동을 위한 제1간격으로 되는 경우에 작용될 수 있다. 이때, 분사유닛(140)에 의하여 글라스패널(P)을 향하여 분사되는 기체의 압력에 의하여, 모듈레이터(120)에는 글라스패널(P)로부터 이격되는 방향(A)(이하, '제1방향'이라 한다.)으로의 힘이 작용되는 것과 동시에, 제1자성부재(211)와 제2자성부재(212) 사이의 척력에 의하여, 모듈레이터(120)에는 글라스패널(P)로 인접되는 방향(B)(이하, '제2방향'이라 한다.)으로의 힘이 작용된다.
이때, 모듈레이터(120)에 작용하는 제1방향(A)으로의 힘은 모듈레이터(120)에 작용하는 제2방향(B)으로의 힘과 모듈레이터(120) 및 이동블록(130)의 하중을 합한 힘과 힘의 평형을 이루게 되며, 이를 수식으로 표현하면 아래와 같다.
F11 = F12 + FL (1)
여기에서, F11은 제1간격의 상태에서 글라스패널(P)에 분사되는 기체의 압력에 의하여 모듈레이터(120)에 제1방향(A)으로 작용되는 힘, F12는 제1간격의 상태에서 제1자성부재(211) 및 제2자성부재(212) 사이의 척력에 의하여 모듈레이터(120)에 제2방향(B)으로 작용되는 힘, FL은 제1간격의 상태에서 모듈레이터(120)에 제2방향(B)으로 작용되는 모듈레이터(120)와 이동블록(130)의 하중이다.
따라서, 제1간격의 상태에서는, 모듈레이터(120)에 작용되는 제1방향(A)의 힘(F11) 및 제2방향(B)의 힘(F12+FL)의 평형, 즉, 수식(1)와 같은 힘의 평형에 의하여, 고정블록(110)에 대한 이동블록(130)의 위치가 미리 설정된 위치에서 고정된다. 따라서, 제1간격의 상태에서, 모듈레이터(120)가 수평방향으로 이동함에 따라 모듈레이터(120)에 가속도가 작용되는 경우에도, 또한, 모듈레이터(120)가 수평방향으로 이동하다가 정지함에 따라 모듈레이터(120)에 감속도가 작용되는 경우에도, 모듈레이터(120)가 요동되는 것이 방지된다.
여기에서, 모듈레이터(120)의 수직방향(제1방향(A) 또는 제2방향(B))으로의 위치(높이)는, 글라스패널(P)을 향하여 분사되는 기체의 압력을 조절하는 방법 외에도, 제1자성부재(211) 및 제2자성부재(212) 사이에서 발생되는 자력의 크기를 조절하는 방법, 예를 들면, 제1자성부재(211)로 인가되는 전류의 크기를 조절하는 방법을 통하여서도 수행될 수 있다.
한편, 제1자성부재(211)와 제2자성부재(212) 사이의 척력은, 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이의 간격이 제1간격에서 제2간격이 되도록 글라스패널(P)이 제2방향(B)으로 이동될 때에도 작용될 수 있다. 글라스패널(P)이 제1간격에서 제2간격으로 되는 과정은, 글라스패널(P)을 향하여 분사되는 기체의 압력이 제1간격의 상태에 비하여 감소하면서, 모듈레이터(120)와 이동블록(130)의 하중에 의하여, 모듈레이터(120)가 제2방향(B)으로 하강하는 과정을 통하여 진행된다.
즉, 제1간격의 상태에서 제2간격의 상태로 되는 과정에서, 글라스패널(P)을 향하여 분사되는 기체의 압력에 의하여 모듈레이터(120)에 제1방향(A)으로 작용되는 힘은, 제1간격을 유지하기 위하여, 글라스패널(P)을 향하여 분사되는 기체의 압력에 의하여 모듈레이터(120)에 제1방향(A)으로 작용되는 힘(F11)에 비하여 작다, 이를 수식으로 표현하면 아래와 같다.
F21 < F11 (2)
여기에서, F21은 제1간격의 상태에서 제2간격의 상태로 되는 과정에서, 글라스패널(P)을 향하여 분사되는 기체의 압력에 의하여 모듈레이터(120)에 제1방향(A)으로 작용하는 힘이다.
제1간격의 상태에서 제2간격의 상태로 되는 과정에서는, 모듈레이터(120)와 이동블록(130)의 하중에 의하여, 모듈레이터(120)가 제2방향(B)으로 하강하게 되므로, 이때, 모듈레이터(120)에 작용되는 힘의 관계는 아래의 수식과 같이 표현할 수 있다.
F21 < FL (3)
이때, 제1자성부재(211)와 제2자성부재(212) 사이의 척력에 의하여 모듈레이터(120)에 제2방향(B)으로 작용되는 힘(F12)이 부가되는 경우, 모듈레이터(120)에 작용되는 힘의 관계는 아래의 수식과 같이 표현할 수 있다.
F21 ≪ F12 + FL (4)
이와 같이, 제1간격의 상태에서 제2간격의 상태로 되는 과정에서 제1자성부재(211)와 제2자성부재(212) 사이에 척력이 작용하는 경우에는, 모듈레이터(120)에 작용되는 제1방향(A)의 힘(F21)에 비하여, 모듈레이터(120)에 작용되는 제2방향(B)의 힘(F12 + FL)이 더욱 커지게 되므로, 모듈레이터(120)의 하강속도가 증가되며, 이에 따라, 모듈레이터(120)를 제1간격의 상태에서 제2간격의 상태로 위치시킬 때까지 소요되는 시간을 줄일 수 있다.
한편, 도 5에 도시된 바와 같이, 제1자성부재(211)가 고정블록(110)의 수용부(111)의 내부의 하면에 설치될 수 있고, 제2자성부재(212)가 이동블록(130)의 연장부(131)의 하면에 설치될 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같은 구성에 따르면, 도 4를 이용하여 설명한 바와 같은 작용효과, 즉, 수식(1) 내지 수식(4)를 이용하여 표현한 모듈레이터(120)에 작용되는 힘의 관계를 달성하기 위해서, 제1자성부재(211)와 제2자성부재(212) 사이에 인력이 발생된다.
도 5에 도시된 바와 같은 구성과 도 4에 도시된 바와 같은 구성을 서로 비교할 때, 제1자성부재(211) 및 제2자성부재(212)의 설치위치와, 제1자성부재(211) 및 제2자성부재(212) 사이에서 발생하는 자력의 형태(척력 또는 인력)에서 차이가 있으나, 전체적인 작용효과는 서로 동일하다.
한편, 본 발명은 도 4 및 도 5에 제시된 구성에 한정되지 아니하며, 고정블록(110)의 내측둘레에 내측방향으로 연장되는 연장부가 형성될 수 있고, 이동블록(130)의 외측둘레에 고정블록(110)의 연장부가 수용되는 수용부가 형성될 수 있다. 이와 같이, 제1자성부재(211) 및 제2자성부재(212)가 각각 고정블록(110) 및 이동블록(130)에 상하방향으로 대향되게 설치되어, 고정블록(110)에 대한 이동블록(130)의 위치를 미리 설정된 위치에 견고하게 고정시키는 외력을 작용시킬 수 있다면, 고정블록(110) 및 이동블록(130)의 형상과, 제1자성부재(211) 및 제2자성부재(212)의 설치위치는 다양한 형태로 변경될 수 있다.
이와 같이, 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 글라스패널(P)을 향하여 분사되는 기체의 압력에 의하여 모듈레이터(120)가 글라스패널(P)로부터 이격되는 제1방향(A)과 반대되는 제2방향(B)으로 이동블록(130)에 외력을 제공하는 외력제공유닛(200)을 마련하고, 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이의 간격이 제1간격의 상태일 때, 이동블록(130)에 외력을 작용함으로써, 고정블록(110)에 대한 이동블록(130)의 위치, 즉, 모듈레이터(120)의 위치를 견고하게 고정시킬 수 있으므로, 모듈레이터(120)가 수평방향으로 이동될 때, 모듈레이터(120)가 요동되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 모듈레이터(120)의 요동에 의하여, 모듈레이터(120)의 일부분이 글라스패널(P)에 충돌되는 현상을 방지할 수 있다. 또한, 모듈레이터(120)의 요동을 감안하여 모듈레이터(120)의 수평방향으로의 이동속도를 작게 설정하였던 종래에 비하여 모듈레이터(120)의 수평방향으로의 이동속도를 크게 할 수 있다. 또한, 모듈레이터(120)의 요동을 감안하여 제1간격의 크기를 비교적 크게 설정하였던 종래에 비하여 제1간격의 크기를 감소시킬 수 있다.
또한, 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이의 간격이 제1간격에서 제2간격으로 되는 과정에서, 모듈레이터(120)가 글라스패널(P)로 인접되는 방향인 제2방향(B)으로 이동블록(130)에 외력이 작용될 수 있으므로, 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이의 간격이 제1간격에서 제2간격으로 되는 과정에 소요되는 시간을 줄일 수 있다.
이하, 도 6을 참조하여 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치에 대하여 설명한다. 전술한 제1실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 부호를 부여하고 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
제2실시예에 따르면, 외력제공유닛(200)이 모듈레이터(120)를 중심으로 고정블록(110) 및 이동블록(130)의 둘레방향으로 복수로 마련될 수 있다. 또한, 제어유닛(50)은, 각 외력제공유닛(200)의 배치위치에 따라 각 외력제공유닛(200)에 의하여 제공되는 외력의 크기를 서로 다르게 제어한다.
예를 들면, 도 6에 도시된 바와 같이, 외력제공유닛(200)의 제1자성부재(211) 및 제2자성부재(212)가 모듈레이터(120)를 중심으로 고정블록(110) 및 이동블록(130)의 둘레방향으로 복수로 마련될 수 있다. 복수의 제1자성부재(211) 및 복수의 제2자성부재(212)는 일정한 간격으로 배치되는 것이 바람직하다. 또한, 복수의 제1자성부재(211)는 복수의 제어회로(214)를 통하여 전원(213)과 연결된다.
여기에서, 제어유닛(50)는 복수의 제어회로(214)를 개별적으로 제어할 수 있다. 따라서, 제어유닛(50)의 제어에 의하여, 전원(213)으로부터 공급되는 전류는, 그 크기가 복수의 제어회로(214)에 의하여 개별적으로 조절되어 복수의 제1자성부재(211)로 각각 인가될 수 있다. 따라서, 복수의 외력제공유닛(200)의 배치위치에 따라 복수의 제1자성부재(211) 및 복수의 제2자성부재(212) 사이에서 발생되는 척력(도 4의 구성) 또는 인력(도 5의 구성)의 크기가 서로 다를 수 있다.
테스트모듈이송유닛(60)의 동작에 의하여, 고정블록(110), 이동블록(130) 및 모듈레이터(120)가 X축방향으로 이동하는 경우, 즉, 모듈레이터(120)가 글라스패널(P)상의 피검사영역상에 위치되도록 수평방향으로 이동하는 경우, 모듈레이터(120)와 이동블록(130)에는 가속도가 작용된다. 또한, 모듈레이터(120)가 수평방향으로 이동하다가 정지하는 경우, 모듈레이터(120)와 이동블록(130)에는 감속도가 작용한다. 모듈레이터(120)와 이동블록(130)에 작용하는 가속도에 의하여, 모듈레이터(120)의 이동방향으로의 전방측에는 하측방향으로의 힘이 작용되고, 후방측에는 상측방향으로의 힘이 작용한다. 또한, 모듈레이터(120)와 이동블록(130)에 작용하는 감속도에 의하여, 모듈레이터(120)의 이동방향으로의 전방측에는 상측방향으로의 힘이 작용되고, 후방측에는 하측방향으로의 힘이 작용된다. 따라서, 모듈레이터(120)에 작용되는 가속도 및 감속도에 의하여 발생되는 힘에 의하여, 모듈레이터(120)가 기울어지는 현상이 발생될 수 있다.
제2실시예에 따른 구성에 따르면, 복수의 외력제공유닛(200)에서 제공되는 외력의 크기를 가속도 또는 감속도에 의하여 발생되는 힘에 대응되게 조절함으로써, 모듈레이터(120)가 수평방향으로 이동되는 경우 또는 모듈레이터(120)가 수평방향으로 이동되다가 정지하는 경우에도 모듈레이터(120)가 기울어지는 현상을 방지할 수 있다.
즉, 예를 들면, 모듈레이터(120)가 수평방향으로 이동하는 경우, 모듈레이터(120)의 이동방향으로의 전방측에 배치된 제1자성부재(211) 및 제2자성부재(212) 사이의 자력의 크기를 작게 하고, 후방측에 배치된 제1자성부재(211) 및 제2자성부재(212) 사이의 자력을 크게 한다. 따라서, 모듈레이터(120)의 전방측과 후방측에는 가속도에 의하여 작용되는 힘의 차이에 따라 자력에 의한 힘이 서로 다르게 작용되므로, 모듈레이터(120)가 기울어지는 것이 방지된다.
또한, 모듈레이터(120)가 수평방향으로 이동되다가 정지하는 경우, 모듈레이터(120)의 이동방향으로의 전방측에 배치된 제1자성부재(211) 및 제2자성부재(212) 사이의 자력의 크기를 크게 하고, 후방측에 배치된 제1자성부재(211) 및 제2자성부재(212) 사이의 자력의 크기를 작게 한다. 따라서, 모듈레이터(120)의 전방측과 후방측에는 감속도에 의하여 작용되는 힘의 차이에 따라 자력에 의한 힘이 서로 다르게 작용되므로, 모듈레이터(120)가 기울어지는 것이 방지된다.
이와 같이, 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 복수의 외력제공유닛(200)을 모듈레이터(120)를 중심으로 둘레방향으로 배치하고, 모듈레이터(120)의 수평방향으로의 이동 및 정지에 따라, 복수의 외력제공유닛(200)에서 제공되는 외력의 크기를 서로 다르게 제어함으로써, 모듈레이터(120)의 수평방향으로의 이동 및 정지 시, 모듈레이터(120)에 작용되는 가속도 및 감속도에 의하여, 모듈레이터(120)가 기울어지는 현상을 방지할 수 있다.
또한, 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 모듈레이터(120)에 가속도 및 감속도가 작용되지 않은 상태에서도, 모듈레이터(120)의 자세가 기울어진 경우, 각 외력제공유닛(200)에 의하여 작용되는 외력의 크기를 서로 다르게 제어하는 것을 통하여, 글라스패널(P)에 대향하는 모듈레이터(120)의 일면과 글라스패널(P)의 상면이 평행하게 되도록 모듈레이터(120)의 자세를 조절할 수 있다.
이하, 도 7 내지 도 9를 참조하여, 제3실시예에 따른 어레이 테스트 장치에 대하여 설명한다. 전술한 제1실시예 및 제2실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 부호를 부여하고 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 제3실시예에서 외력제공유닛(200)은, 제1자성부재(211) 및 제2자성부재(212)가 영구자석으로 이루어 질 수 있다. 물론, 제1자성부재(211) 및 제2자성부재(212) 중 어느 하나는 영구자석으로 이루어지고 다른 하나는 자석에 부착되는 재질로 이루어 질 수 있다.
이와 같은 구성에 의하여, 제1자성부재(211) 및 제2자성부재(212) 사이에는 일정한 크기의 자력이 발생하며, 이러한 자력은 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이의 간격이 제1간격인 상태에서, 모듈레이터(120)의 위치를 고정하는 힘으로 작용하며, 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이의 간격이 제1간격에서 제2간격으로 조절되는 과정에서, 모듈레이터(120)를 글라스패널(P)에 인접되는 방향(제2방향)으로 이동시키는 힘으로 작용한다.
도 7의 구성은 도 4의 구성과 유사한 것으로, 제1자성부재(211) 및 제2자성부재(212) 사이에는 척력이 발생한다. 마찬가지로, 도 8의 구성은 도 5의 구성과 유사한 것으로, 제1자성부재(211) 및 제2자성부재(212) 사이에는 인력이 발생한다.
한편, 제1자성부재(211) 및 제2자성부재(212) 사이에서 발생되는 자력의 크기를 조절하는 것을 통하여, 제1간격의 상태에서의 모듈레이터(120)의 상하방향으로의 위치 및 제1간격에서 제2간격으로 조절되는 과정에서의 모듈레이터(120)에 작용되는 힘을 조절할 수 있다.
이를 위하여, 제1자성부재(211)가 고정블록(110)에 설치되는 위치 또는 제2자성부재(212)가 이동블록(130)에 설치되는 위치를, 세트스크류, 마이크로 심링(shim ring) 등을 이용하여 수동적으로 조절할 수 있다.
또한, 제1자성부재(211) 또는 제2자성부재(212)의 위치를 자동적으로 조절할 수 있도록, 제1자성부재(211) 또는 제2자성부재(212) 중 적어도 어느 하나와 연결되어 제1자성부재(211) 또는 제2자성부재(212) 중 적어도 어느 하나를 제1자성부재(211)와 제2자성부재(212)가 서로 인접되는 방향 및 서로 이격되는 방향으로 이동시키는 자성부재이동장치(215)가 마련될 수 있다.
예를 들면, 도 9에 도시된 바와 같이, 자성부재이동장치(215)는 고정블록(215)에 설치되어 직선구동력을 발생시키는 액추에이터(215a)와, 액추에이터(215a)의 구동력을 제1자성부재(211)로 전달하는 연결로드(215b)를 포함하여 구성될 수 있다. 여기에서, 고정블록(110)의 수용부(111) 상측에 관통공(216)을 형성되고, 관통공(216)의 내부에 제1자성부재(211)가 슬라이드 가능하게 배치될 수 있다. 액추에이터(215a)는 공압 또는 유압으로 작동하는 실린더를 포함하여 구성될 수 있다. 다만, 본 발명은 이러한 구성에 한정되지 아니하며, 자성부재이동장치(215)에서 액추에이터(215a)가 회전모터로 이루어지고, 연결로드(215b)가 스크류로 이루어져, 회전모터의 회전에 의하여 연결로드(215b)가 회전되면서, 제1자성부재(211)의 위치가 변경되는 구성 등, 자성부재이동장치(215)로는 다양한 형태의 직선이동기구가 적용될 수 있다.
자성부재이동장치(215)는 제어유닛(50)에 의하여 제어되며, 이에 따라, 제1자성부재(211)와 제2자성부재(212) 사이의 자력의 크기는, 제어유닛(50)의 제어에 따른, 제1자성부재(211)의 위치변화과정을 통하여 조절될 수 있다.
한편, 도 9에서는, 자성부재이동장치(215)가 제1자성부재(211)에만 연결되는 구성을 제시하였으나, 본 발명은 이러한 구성에 한정되지 아니하며, 자성부재이동장치(215)가 제2자성부재(212)에만 연결되거나 제1자성부재(211) 및 제2자성부재(212) 모두에 연결되는 구성이 적용될 수 있다.
제3실시예의 구성에 따른 작용효과는 전술한 제1실시예의 구성에 따른 작용효과와 같다.
한편, 제3실시예에 따른 외력제공유닛(200)은, 제2실시예에 따른 구성과 같이, 모듈레이터(120)를 중심으로 둘레방향으로 복수로 배치될 수 있다. 따라서, 모듈레이터(120)의 수평방향으로의 이동 및 정지에 따라, 복수의 외력제공유닛(200)인 복수의 제1자성부재(211) 및 복수의 제2자성부재(212) 사이의 간격을 개별적으로 조절하여 그 사이에서 발생되는 자력의 크기를 조절함으로써, 모듈레이터(120)에 작용되는 가속도 및 감속도에 의하여, 모듈레이터(120)가 기울어지는 현상을 방지할 수 있고, 글라스패널(P)에 대향하는 모듈레이터(120)의 일면과 글라스패널(P)의 상면이 평행하게 되도록 모듈레이터(120)의 자세를 조절할 수 있다.
이하, 도 10 내지 도 12를 참조하여, 제4실시예에 따른 어레이 테스트 장치에 대하여 설명한다. 전술한 제1실시예 내지 제3실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 부호를 부여하고 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 10 내지 도 12에 도시된 바와 같이, 제4실시예에서 외력제공유닛(200)은, 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이의 간격이 제1간격이 될 때, 이동블록(130)에 탄성력을 제공하는 탄성부재(220)를 포함하여 구성될 수 있다.
탄성부재(220)는 탄성을 가지는 합성수지의 재질로 형성될 수 있다. 다만, 본 발명은 이러한 구성에 한정되지 아니하며, 탄성부재(220)로 코일스프링, 판스프링 등의 다양한 형태의 구성이 이용될 수 있다.
도 10 및 도 11에 도시된 바와 같이, 탄성부재(220)는 이동블록(130)의 연장부(131)의 상면에 대향하는 고정블록(110)의 수용부(111)의 내부의 상면에 설치될 수 있다. 따라서, 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이의 간격이 제1간격이 될 때, 탄성부재(220)는 이동블록(130)과 접촉되어 이동블록(130)에 제2방향(B)으로의 탄성력을 제공한다.
또한, 도 12에 도시된 바와 같이, 탄성부재(220)는 고정블록(110)의 수용부(111)의 내부의 상면에 대향하는 이동블록(130)의 연장부(121)의 상면에 설치될 수 있다. 따라서, 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이의 간격이 제1간격이 될 때, 탄성부재(220)는 고정블록(110)과 접촉되며, 이에 따라, 이동블록(130)에 제2방향(B)으로의 탄성력을 제공한다.
이와 같이, 탄성부재(220)는, 고정블록(110)과 이동블록(130) 사이에 설치되어, 이동블록(130)에 탄성력을 작용시킬 수 있다면, 탄성부재(220)의 종류, 형상 또는 설치위치는 다양한 형태로 변경될 수 있다.
제4실시예에 따르면, 글라스패널(P)을 향하여 분사되는 기체의 압력에 의하여 모듈레이터(120)가 글라스패널(P)로부터 이격되는 제1방향(A)과 반대되는 제2방향(B)으로 이동블록(130)에 외력(탄성력)을 제공하는 탄성부재(220)가 마련된다. 따라서, 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이의 간격이 제1간격의 상태에서, 모듈레이터(120)에는, 분사유닛(140)에 의하여 글라스패널(P)을 향하여 분사되는 기체의 압력에 따른 제1방향(A)의 힘과, 탄성부재(220)의 탄성력에 따른 제2방향(B)의 힘이 함께 작용한다. 따라서, 고정블록(110)에 대한 이동블록(130)의 위치, 즉, 모듈레이터(120)의 위치를 견고하게 고정시킬 수 있다.
또한, 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이의 간격이 제1간격에서 제2간격으로 되는 과정에서, 탄성부재(220)의 제2방향(B)으로의 탄성력(예를 들면, 코일스프링의 신장력)이 이동블록(130)에 작용될 수 있으므로, 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이의 간격이 제1간격에서 제2간격으로 되는 과정에 소요되는 시간을 줄일 수 있다.
제4실시예의 구성에 따른 작용효과는 전술한 실시예들의 구성에 따른 작용효과와 같다.
이하, 도 13 및 도 14를 참조하여, 제5실시예에 따른 어레이 테스트 장치에 대하여 설명한다. 전술한 제1실시예 내지 제4실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 부호를 부여하고 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 13 및 도 14에 도시된 바와 같이, 제5실시예에서 외력제공유닛(200)은, 고정블록(110)과 연결되어 이동블록(130)을 향하여 기체를 분사하는 제1기체분사장치(230)를 포함하여 구성될 수 있다.
제1기체분사장치(230)는, 고정블록(110)의 수용부(111)의 내부의 상면에서 이동블록(130)의 연장부(131)의 상면을 향하여 개방되는 토출구(231)와, 토출구(231)와 연통되는 통로부재(232)와, 통로부재(232)와 연통되어 통로부재(232)를 통하여 토출구(231)로 기체를 공급하는 기체공급기(233)를 포함하여 구성될 수 있다. 통로부재(232)는, 이동블록(130)의 이동을 방해하지 않도록, 예를 들면, 그 적어도 일부가 튜브 등의 유연한 재질로 형성될 수 있다. 기체공급기(233)는 제어유닛(50)에 의하여 제어된다. 기체공급기(233)로는 공기나 비활성기체를 공급하는 송풍기나 압축기가 적용될 수 있다.
한편, 도 14에 도시된 바와 같이, 토출구(231)와 대향하는 연장부(131)의 상면에는 토출구(231)로부터 분사되는 기체가 충돌하는 부분에 홈(234)이 형성되는 것이 바람직하다. 이러한 홈(234)에 의하여 토출구(241)로부터 분사된 기체의 힘이 보다 정확하게 이동블록(130)에 작용될 수 있다.
이와 같은 구성에 따르면, 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이의 간격이 제1간격으로 되는 경우, 제1기체분사장치(230)의 토출구(231)로부터 이동블록(130)을 향하여 기체가 분사되며, 이에 따라, 모듈레이터(120)에는 제2방향(B)으로의 힘이 작용된다. 따라서, 제1간격의 상태에서, 모듈레이터(120)에는, 분사유닛(140)에 의하여 글라스패널(P)을 향하여 분사되는 기체의 압력에 따른 제1방향(A)의 힘과, 제1기체분사장치(230)에 의하여 이동블록(130)을 향하여 분사되는 기체의 압력에 따른 제2방향(B)의 힘이 함께 작용한다. 따라서, 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이의 간격이 제1간격의 상태일 때, 고정블록(110)에 대한 이동블록(130)의 위치, 즉, 모듈레이터(120)의 위치를 견고하게 고정시킬 수 있다.
또한, 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이의 간격이 제1간격에서 제2간격으로 조절되는 과정에서, 제1기체분사장치(230)에 의하여 이동블록(130)을 향하여 분사되는 기체의 압력은 모듈레이터(120)를 글라스패널(P)에 인접되는 방향(제2방향)(B)으로 이동시키는 힘으로 작용한다. 따라서, 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이의 간격이 제1간격에서 제2간격으로 되는 과정에 소요되는 시간을 줄일 수 있다.
한편, 제5실시예에 따른 외력제공유닛(200)은, 제2실시예에 따른 구성과 같이, 모듈레이터(120)를 중심으로 둘레방향으로 복수로 배치될 수 있다. 따라서, 모듈레이터(120)의 수평방향으로의 이동 및 정지에 따라, 복수의 외력제공유닛(200)인 복수의 제1기체분사장치(230)에서 분사되는 기체의 압력을 개별적으로 조절함으로써, 모듈레이터(120)에 작용되는 가속도 및 감속도에 의하여, 모듈레이터(120)가 기울어지는 현상을 방지할 수 있고, 글라스패널(P)에 대향하는 모듈레이터(120)의 일면과 글라스패널(P)의 상면이 평행하게 되도록 모듈레이터(120)의 자세를 조절할 수 있다.
제5실시예의 구성에 따른 작용효과는 전술한 실시예들의 구성에 따른 작용효과와 같다.
이하, 도 15 및 도 16을 참조하여, 제6실시예에 따른 어레이 테스트 장치에 대하여 설명한다. 전술한 제1실시예 내지 제5실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 부호를 부여하고 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 15 및 도 16에 도시된 바와 같이, 제6실시예에서 외력제공유닛(200)은, 이동블록(130)과 연결되어 고정블록(110)을 향하여 기체를 분사하는 제2기체분사장치(240)를 포함하여 구성될 수 있다.
제2기체분사장치(240)는, 이동블록(130)의 연장부(131)의 상면에서 고정블록(110)의 수용부(111)의 내부의 상면을 향하여 토출구(241)와, 토출구(241)와 연통되는 통로부재(242)와, 통로부재(242)와 연통되어 통로부재(242)를 통하여 토출구(241)로 기체를 공급하는 기체공급기(243)를 포함하여 구성될 수 있다. 통로부재(242)는, 이동블록(130)의 이동을 방해하지 않도록, 예를 들면, 그 적어도 일부가 튜브 등의 유연한 재질로 형성될 수 있다. 기체공급기(243)는 제어유닛(50)에 의하여 제어된다. 기체공급기(243)로는 공기나 비활성기체를 공급하는 송풍기나 압축기가 적용될 수 있다.
한편, 도 16에 도시된 바와 같이, 토출구(241)와 대향하는 수용부(111)의 내부의 상면에는 토출구(241)로부터 분사되는 기체가 충돌하는 부분에 홈(244)이 형성되는 것이 바람직하다. 이러한 홈(244)에 의하여 토출구(241)로부터 분사된 기체의 힘이 보다 정확하게 고정블록(110)에 작용될 수 있으며, 고정블록(110)에서 충돌된 기체의 반발력이 이동블록(130)에 보다 정확하게 작용될 수 있다.
이와 같은 구성에 따르면, 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이의 간격이 제1간격으로 되는 경우, 제2기체분사장치(240)의 토출구(241)로부터 고정블록(140)을 향하여 기체가 분사되며, 이에 따른 반발력에 의하여, 모듈레이터(120)에는 제2방향(B)으로의 힘이 작용된다. 따라서, 제1간격의 상태에서, 모듈레이터(120)에는, 분사유닛(140)에 의하여 글라스패널(P)을 향하여 분사되는 기체의 압력에 따른 제1방향(A)의 힘과, 제2기체분사장치(240)에 의하여 고정블록(110) 향하여 분사되는 기체의 압력에 따른 제2방향(B)의 힘이 함께 작용한다. 따라서, 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이의 간격이 제1간격의 상태일 때, 고정블록(110)에 대한 이동블록(130)의 위치, 즉, 모듈레이터(120)의 위치를 견고하게 고정시킬 수 있다.
또한, 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이의 간격이 제1간격에서 제2간격으로 조절되는 과정에서, 제2기체분사장치(240)에 의하여 고정블록(110)을 향하여 분사되는 기체의 압력은 모듈레이터(120)를 글라스패널(P)에 인접되는 방향(제2방향)(B)으로 이동시키는 힘으로 작용한다. 따라서, 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이의 간격이 제1간격에서 제2간격으로 되는 과정에 소요되는 시간을 줄일 수 있다.
한편, 제6실시예에 따른 외력제공유닛(200)은, 제2실시예에 따른 구성과 같이, 모듈레이터(120)를 중심으로 둘레방향으로 복수로 배치될 수 있다. 따라서, 모듈레이터(120)의 수평방향으로의 이동 및 정지에 따라, 복수의 외력제공유닛(200)인 복수의 제2기체분사장치(240)에서 분사되는 기체의 압력을 개별적으로 조절함으로써, 모듈레이터(120)에 작용되는 가속도 및 감속도에 의하여, 모듈레이터(120)가 기울어지는 현상을 방지할 수 있고, 글라스패널(P)에 대향하는 모듈레이터(120)의 일면과 글라스패널(P)의 상면이 평행하게 되도록 모듈레이터(120)의 자세를 조절할 수 있다.
제6실시예의 구성에 따른 작용효과는 전술한 실시예들의 구성에 따른 작용효과와 같다.
이하, 도 17 내지 도 20을 참조하여, 제7실시예에 따른 어레이 테스트 장치에 대하여 설명한다. 전술한 제1실시예 내지 제6실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 부호를 부여하고 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 17 및 도 18에 도시된 바와 같이, 제7실시예에서 외력제공유닛(200)은, 고정블록(110)과 이동블록(130) 사이에 배치되어 내부에 제1기체분사장치(230)로부터 분사된 기체가 수용되는 팽창부재(235)를 포함하여 구성될 수 있다.
팽창부재(235)의 내부공간은 토출구(231)와 연결되어, 도 18에 도시된 바와 같이, 토출구(231)로부터 분사되는 기체의 압력에 의하여 팽창된다. 팽창부재(235)는, 팽창이 가능한 합성수지의 재질로 형성될 수 있다.
한편, 토출구(231)에 대향하는 연장부(131)의 상면에는, 팽창된 팽창부재(235)의 일부가 수용되는 수용홈(236)이 형성되는 것이 팽창부재(235)의 팽창력을 이동블록(130)으로 정확하게 전달하는 데에 있어 바람직하다.
한편, 도 19 및 도 20에 도시된 바와 같이, 전술한 구성과 다른 형태로, 외력제공유닛(200)은, 고정블록(110)과 이동블록(130) 사이에 배치되어 제2기체분사장치(240)로부터 분사된 기체가 수용되는 팽창부재(245)를 포함하여 구성될 수 있다.
팽창부재(245)의 내부공간은 토출구(241)와 연결되어, 도 20에 도시된 바와 같이, 토출구(241)로부터 분사되는 기체의 압력에 의하여 팽창된다. 팽창부재(245)는, 팽창이 가능한 합성수지의 재질로 형성될 수 있다.
한편, 토출구(241)에 대향하는 수용부(111)의 내부의 상면에는, 팽창된 팽창부재(245)의 일부가 수용되는 수용홈(246)이 형성되는 것이 팽창부재(245)의 팽창력을 이동블록(130)으로 정확하게 전달하는 데에 있어 바람직하다.
이와 같은 구성에 따르면, 도 18 및 도 20에 도시된 바와 같이, 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이의 간격이 제1간격으로 되는 경우, 제1기체분사장치(230) 또는 제2기체분사장치(240)의 토출구(231, 241)로부터 기체가 분사됨에 따라, 팽창부재(235, 245)가 팽창하면서, 팽창부재(235, 245)의 팽창력이 이동블록(130)에 작용한다. 따라서, 모듈레이터(120)에는 제2방향(B)으로의 힘이 작용된다. 따라서, 제1간격의 상태에서, 모듈레이터(120)에는, 분사유닛(140)에 의하여 글라스패널(P)을 향하여 분사되는 기체의 압력에 따른 제1방향(A)의 힘과, 팽창부재(235, 245)의 팽창력에 따른 제2방향(B)의 힘이 함께 작용한다. 따라서, 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이의 간격이 제1간격의 상태일 때, 고정블록(110)에 대한 이동블록(130)의 위치, 즉, 모듈레이터(120)의 위치를 견고하게 고정시킬 수 있다.
또한, 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이의 간격이 제1간격에서 제2간격으로 조절되는 과정에서, 팽창부재(235, 245)의 팽창력은 모듈레이터(120)를 글라스패널(P)에 인접되는 방향(제2방향)(B)으로 이동시키는 힘으로 작용한다. 따라서, 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이의 간격이 제1간격에서 제2간격으로 되는 과정에 소요되는 시간을 줄일 수 있다.
한편, 제7실시예에 따른 외력제공유닛(200)은, 제2실시예에 따른 구성과 같이, 모듈레이터(120)를 중심으로 둘레방향으로 복수로 배치될 수 있다. 따라서, 모듈레이터(120)의 수평방향으로의 이동 및 정지에 따라, 복수의 외력제공유닛(200)인 복수의 팽창부재(235, 245)가 팽창되는 팽창력을 개별적으로 조절함으로써, 모듈레이터(120)에 작용되는 가속도 및 감속도에 의하여, 모듈레이터(120)가 기울어지는 현상을 방지할 수 있고, 글라스패널(P)에 대향하는 모듈레이터(120)의 일면과 글라스패널(P)의 상면이 평행하게 되도록 모듈레이터(120)의 자세를 조절할 수 있다.
제7실시예의 구성에 따른 작용효과는 전술한 실시예들의 구성에 따른 작용효과와 같다.
상기한 각 실시예에서 설명한 기술적 사상들은 개별적으로 실시될 수 있으며, 서로 조합되어 실시될 수 있다.
110: 고정블록 120: 모듈레이터
130: 이동블록 140: 분사유닛
200: 외력제공유닛 211: 제1자성부재
212: 제2자성부재 220: 탄성부재
230: 제1기체분사장치 240: 제2기체분사장치
235: 팽창부재 245: 팽창부재

Claims (14)

  1. 글라스패널에 대향하도록 배치되는 모듈레이터;
    상기 모듈레이터의 주위에 배치되는 고정블록;
    상기 모듈레이터와 연결되며, 상기 고정블록에 승강이 가능하게 지지되는 이동블록;
    상기 모듈레이터가 상기 글라스패널로부터 이격되는 제1방향으로의 이동되도록 상기 글라스패널을 향하여 기체를 분사하는 분사유닛; 및
    상기 고정블록과 상기 이동블록의 사이에 구비되며, 상기 제1방향과 반대되는 제2방향으로 상기 이동블록에 외력을 제공하는 외력제공유닛을 포함하는 어레이 테스트 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 외력제공유닛은,
    상기 고정블록과 상기 이동블록에 서로 대향하도록 구비되어, 상기 고정블록과 상기 이동블록 사이에서 자력을 작용시키는 제1자성부재 및 제2자성부재를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1자성부재 및 상기 제2자성부재는 중 적어도 어느 하나는 전자석으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 제1자성부재 및 상기 제2자성부재 중 적어도 어느 하나는 영구자석으로 이루어지고,
    상기 외력제공유닛은, 상기 제1자성부재 또는 상기 제2자성부재 중 적어도 어느 하나와 연결되어 상기 제1자성부재 또는 상기 제2자성부재 중 적어도 어느 하나를 상기 제1자성부재와 상기 제2자성부재가 서로 인접되는 방향 및 서로 이격되는 방향으로 이동시키는 자성부재이동장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 모듈레이터가 수평방향으로 이동하기 위하여 상기 모듈레이터가 상기 글라스패널로부터 이격될 때의 상기 글라스패널과 상기 모듈레이터 사이의 간격을 제1간격이라 하고, 상기 글라스패널에 대한 검사를 수행하기 위해 상기 모듈레이터가 상기 글라스패널에 인접될 때의 상기 글라스패널과 상기 모듈레이터 사이의 간격을 제2간격이라 할 때,
    상기 외력제공유닛은,
    상기 글라스패널과 상기 모듈레이터 사이의 간격이 상기 제1간격이 될 때, 상기 이동블록에 탄성력을 제공하는 탄성부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 외력제공유닛은,
    상기 고정블록과 연결되어 상기 이동블록을 향하여 기체를 분사하는 제1기체분사장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1기체분사장치로부터 분사된 기체가 상기 이동블록에 충돌하는 부위에는 홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 고정블록과 상기 이동블록의 사이에는 제1기체분사장치로부터 분사된 기체가 수용되는 팽창부재가 마련되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 외력제공유닛은,
    상기 이동블록과 연결되어 상기 고정블록을 향하여 기체를 분사하는 제2기체분사장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제2기체분사장치로부터 분사된 기체가 상기 고정블록에 충돌하는 부위에는 홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 고정블록과 상기 이동블록의 사이에는 제2기체분사장치로부터 분사된 기체가 수용하는 팽창부재가 마련되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
  12. 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 외력제공유닛은 상기 모듈레이터를 중심으로 상기 고정블록 및 상기 이동블록의 둘레방향으로 복수로 마련되며,
    상기 복수의 외력제공유닛에 의하여 작용되는 외력의 크기는 개별적으로 조절되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 모듈레이터가 수평방향으로 이동하기 위하여 상기 모듈레이터가 상기 글라스패널로부터 이격될 때의 상기 글라스패널과 상기 모듈레이터 사이의 간격을 제1간격이라 하고, 상기 글라스패널에 대한 검사를 수행하기 위해 상기 모듈레이터가 상기 글라스패널에 인접될 때의 상기 글라스패널과 상기 모듈레이터 사이의 간격을 제2간격이라 할 때,
    상기 제1간격에서 상기 제2간격이 되도록 상기 모듈레이터가 상기 제2방향으로 이동할 때 상기 이동블록에 외력이 가해지도록 상기 외력제공유닛의 동작을 제어하는 제어유닛을 포함하는 어레이 테스트 장치.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 모듈레이터가 수평방향으로 이동하기 위하여 상기 모듈레이터가 상기 글라스패널로부터 이격될 때의 상기 글라스패널과 상기 모듈레이터 사이의 간격을 제1간격이라 하고, 상기 글라스패널에 대한 검사를 수행하기 위해 상기 모듈레이터가 상기 글라스패널에 인접될 때의 상기 글라스패널과 상기 모듈레이터 사이의 간격을 제2간격이라 할 때,
    상기 제1간격의 상태에서 상기 이동블록에 외력이 가해지도록 상기 외력제공유닛의 동작을 제어하는 제어유닛을 포함하는 어레이 테스트 장치.
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