KR100880843B1 - Ｔｆｔ－ｌｃｄ패널 어레이 테스트 장비의 에어 클리닝시스템 및 모듈레이터 에어 클리닝 머신 - Google Patents

Ｔｆｔ－ｌｃｄ패널 어레이 테스트 장비의 에어 클리닝시스템 및 모듈레이터 에어 클리닝 머신 Download PDF

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김용길
신진섭
박상영
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주식회사 리뷰텍
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Abstract

본 발명은 TFT-LCD 패널 어레이 테스트 장비의 에어 클리닝 시스템 및 모듈레이터 에어 클리닝 머신에 관한 것으로, TFT-LCD 패널 어레이 테스트 불량 유무 판단 작업 중에 TFT-LCD 패널 표면에 부착된 이물질을 에어 분사하여 TFT-LCD 패널에 부착된 이물질을 제거하고, TFT-LCD 패널의 불량 유무 판단하는 어레이 장비의 모듈레이터에 에어 분사로 이물질을 제거하여 모듈레이터 테스트기의 손상을 최소화하기 위한 것이다.
이러한, 본 발명의 TFT-LCD 패널 어레이 테스트 장비의 에어 클리닝 시스템은, TFT-LCD 패널 어레이 테스트 불량 유무 판단 작업 중 TFT-LCD 패널 이송 중에 TFT-LCD 패널 표면에 압축공기를 분사하여 TFT-LCD 패널에 부착된 이물질을 제거하고, TFT-LCD 패널의 불량 유무 판단하는 어레이 장비의 모듈레이터 하단 측에 압축공기를 분사하여 이물질을 제거하는 것으로 모듈레이터의 손상을 최소화하게 되는 TFT-LCD 패널 어레이 테스트 장비의 에어 클리닝 시스템을 제공하는 데 있다.
TFT-LCD 패널, 어레이 테스트, 에어 클리닝, 모듈레이터, PDLC 필름

Description

ＴＦＴ－ＬＣＤ패널 어레이 테스트 장비의 에어 클리닝 시스템 및 모듈레이터 에어 클리닝 머신{Air cleaning system for testing equipment of TFT-LCD panel array and modulator air cleaning machine for the same}
본 발명은 TFT-LCD 패널 어레이 테스트 장비의 에어 클리닝 시스템 및 모듈레이터 에어 클리닝 머신에 관한 것으로 더욱 상세하게는 TFT-LCD 패널 어레이 테스트 불량 유무 판단 작업 중에 TFT-LCD 패널에 부착된 이물질에 에어 분사하여 TFT-LCD 패널에 부착된 이물질을 제거하고, TFT-LCD 패널의 불량 유무 판단하는 어레이 장비의 모듈레이터에 에어를 분사하여 이물질을 제거하여 테스트기의 손상을 최소화하기 위한 TFT-LCD 패널 어레이 테스트 장비의 에어 클리닝 시스템 및 모듈레이터 에어 클리닝 머신에 관한 것이다.
일반적으로 전기에너지를 공급받아서 빛을 발하는 장치로서, LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 등의 평판 디스플레이 장치들을 포함하는 개념이다. 이 경우, 평판 디스플레이 장치는, 통상 상부 및 하부 기판 사이에 전극들이 형성되어 있다.
예를 들어 TFT-LCD 기판은, 하부 기판상에 TFT가 형성된 TFT 패널과, 칼라 필터 및 공통전극이 형성되어 상기 TFT 패널과 대향 배치된 필터 패널과, 상기 TFT 패널과 필터 패널 사이에 주입된 액정과, 백라이트를 구비한다.
여기서 하부 기판 위에 형성된 TFT의 결함은 어레이 테스트 장치(array tester)에 의하여 검사된다.
이를 상세히 설명하면, 어레이 테스트 장치에 설치된 모듈레이터 및 TFT 패널에 일정한 전압을 인가한 상태에서, 상기 모듈레이터가 TFT 패널에 근접하도록 하여서 이들 사이에 전기장이 발생하도록 한다.
이때에, TFT 패널에 형성된 전극에 결함이 있는 경우가 결함이 없는 경우보다 상기 전기장의 크기가 작아지게 되며, 따라서 상기 전기장의 크기에 따라서 TFT 패널의 결함 여부를 검출하게 된다.
이 경우, 상기 모듈레이터는, 상기 TFT 패널의 전극과 전기장을 형성하기 위한 전극층과, 상기 전기장의 크기에 따라서 빛을 편광 또는 편광시키지 않는 PDLC(polymer dispersed liquid crystal)를 구비할 수 있다. 이 경우 상기 PDLC에 포함된 액정은 편광성을 가져서 TFT 패널에 형성된 전극과 모듈레이터에 형성된 공통전극 사이에 결함이 없는 경우에는 일정 전기장이 형성되기 때문에, 이 전기장에 의해 PDLC 내의 액정이 수직으로 배양되어서 빛을 통과시키고, TFT 패널에 결함이 있어서 TFT 패널에 형성된 전극과 모듈레이터에 형성된 공통전극과의 사이에 전기장이 형성되지 않은 경우에는 모듈레이터가 PDLC를 향하는 빛을 통과시키지 않는다.
이로 인하여 TFT 패널의 결함 여부에 따라서 PDLC의 각 영역의 투광도(投光度) 및 상기 투광도에 따른 콘트라스트 비가 차이가 나며, 이 원리를 이용하여 TFT 패널의 결함 여부를 검출하게 된다.
이와 같이, TFT-LCD의 불량 여부를 검사하는 많은 공정 중에 TFT 공정 완료 후 패턴의 불량을 검사하는 어레이 테스트 공정에서 가격이 비싸고, 부품수명이 매우 짧은 모듈레이터에 의해 검사가 이루어지는 것이다.
이때, 상기 모듈레이터에 부착된 미세 두께의 PDLC 필름은 수명이 매우 짧은데 그 이유는 모듈레이터에 부착되어 있는 PDLC 필름이 검사 과정에서 TFT-LCD 패널 표면에 있는 이물질에 의한 숏트(short)에 의해 손상되기 때문이다. 많은 양의 TFT-LCD의 불량 여부를 검사하는데 있어 평균적으로 한 달에 3번 이상 이 모듈레이터를 교체해야하는 어려움이 발생하는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 감안하여 안출된 것으로, 그 목적은 TFT-LCD 패널과 어레이 테스트 불량 유무 판단하는 모듈레이터에 각각 에어를 분사하여 이물질을 제거하여 TFT-LCD 패널의 정확한 불량 유무 검사와 모듈레이터의 손상 방지하여 불량 검사 시간을 단축하면서 정확한 검사가 이루어지며 고가의 모듈레이터의 수명을 연장하여 자재비를 절감시키게 되는 TFT-LCD 패널 어레이 테스트 장비의 에어 클리닝 시스템 및 모듈레이터 에어 클리닝 머신을 제공하는 데 있다.
이러한 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명은, TFT-LCD 패널 어레이 테스트 불량 유무 판단 작업 중 TFT-LCD 패널 이송 중에 TFT-LCD 패널 표면에 압축공기를 분사하여 TFT-LCD 패널에 부착된 이물질을 제거하고, TFT-LCD 패널의 불량 유무 판단하는 어레이 장비의 모듈레이터 하단 측에 압축공기를 분사하여 이물질을 제거하는 것으로 모듈레이터의 손상을 최소화하는 것을 특징으로 하는 시스템이다.
위의 구체적인 시스템은, 상기 TFT-LCD 패널을 적재 공간에서 단위적으로 테스트 공간부로 이송시키는 이송부와,
상기 이송부에 의해 TFT-LCD 패널이 테스트 공간부로 투입시 입출감지하는 센서블록이 작동 지시하여 TFT-LCD 패널 표면으로부터 이물질을 용이하게 제거시키기 위해 테스트 공간부의 외측 분사 흐름을 가지는 에어를 하단방향으로 분사하는 분사관을 구비하는 에어 커튼부와,
상기 에어 커튼부를 통과하여 테스트 공간부로 유입된 TFT-LCD 패널이 정위치하면 테스트 공간부의 일측에 위치하여 테스트 공간부 측으로 이동하여 각각의 액정 셀의 불량 유무를 판단하는 광반사수단을 가지는 모듈레이터와,
상기 모듈레이터는 TFT-LCD 패널의 액정 셀 불량 유무 판단 후 테스트 공간부의 일측으로 이동하여 안착되는 원위치 복귀장치인 것으로 모듈레이터의 하단 일부를 내입하면서 TFT-LCD 패널의 하면측에 에어를 분사하여 이물질을 제거하는 에어 클리닝 머신과,
상기 모듈레이터에 클리닝 에어 분사가 이루어짐과 대기상태가 되고, TFT-LCD 패널은 이송부에 의해 테스트 공간부에서 후방으로 이동하여 에어 커튼부를 통과하면서 에어 분사되어 외부로 이송 적재되며, 이송부는 다른 TFT-LCD 패널을 테스트 공간부로 이송하여 클리닝과 검사를 순차적으로 반복하는 것을 특징한다.
아울러, 상기 에어 클리닝 머신은 내부에서 압축공기를 발생하는 콤프레셔를 구비하여 상기 콤프레셔에서 발생되는 압축공기는 배관에 공급되고, 공급된 공기는 배관을 통해 에어 클리닝 머신 상단에 위치한 에어 분사관에 다수개로 형성된 에어 분사홈을 통해서 압축공기는 분사시키게 되는 에어 공급부와,
상기 에어 클리닝 머신의 에어 분사관이 본체 상단에서 상하 이동을 가능하도록 본체의 상단과 에어 분사관 사이 중앙에는 수직한 상하 이동실린더와 상하 이송을 가이드하기 위한 다수개의 가이드봉을 따라 에어 분사관이 상하 직선이동을 하는 슬라이드 가이드부로 이루어지는 것이다.
그리고, 상기 에어 클리닝 머신의 에어 분사관 내에 모듈레이터를 삽입과 인출할 수 있도록 소정 폭의 개구부가 형성된 구조이다.
아울러, 상기 에어 클리닝 머신은 TFT-LCD 패널의 불량 유무 검사를 종료하고 복귀하여 테스트 공간부의 일측에 정지한 모듈레이터를 하단에서 상측으로 분사관이 이동하여 모듈레이터의 하면을 내입하고, 분사관의 분사홀에서 압축공기가 분사되어 모듈레이터의 하면을 클리닝하는 것이다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 본 발명의 TFT-LCD 패널 어레이 테스트 장비의 에어 클리닝 시스템 및 모듈레이터 에어 클리닝 머신은 TFT-LCD 패널과 모듈레이터에 이물질이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
그리고, LCD 패턴 검사장비에 사용되는 모듈레이터와 LCD 패널을 매 사이클(Cycle) 마다 무인 세척하여 모듈레이터의 손상을 극소화하고 장비 가동률 향상과 모듈레이터의 수명을 연장할 수 있는 효과가 있다.
아울러, TFT-LCD 패널 어레이 테스트 시간이 현저히 저감되고, 정비인원의 상시 근무대기를 해결하여 인건비 절감하며, 공정의 완전 자동화가 이루어진다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, TFT-LCD 패널 어레이 테스트 불량 유무 판단 작업 중 TFT-LCD 패널 이송 중에 TFT-LCD 패널 표면에 압축공기를 분사 하여 TFT-LCD 패널에 부착된 이물질을 제거하고, TFT-LCD 패널의 불량 유무 판단하는 어레이 장비의 모듈레이터 하단 측에 압축공기를 분사하여 이물질을 제거하는 것으로 모듈레이터의 손상을 최소화하는 것을 특징으로 한다.
이에, 상기 TFT-LCD 패널의 정확한 불량 유무 검사와 모듈레이터의 손상을 최소화하는 시스템은,
상기 어레이 테스터 장비의 내부에서 TFT-LCD 패널을 적재 공간에서 단위적으로 테스트 공간부로 이송시키는 이송부와;
상기 이송부에 의해 TFT-LCD 패널이 테스트 공간부로 투입시 입출감지하는 출입센서에 의해 작동 지시하여 TFT-LCD 패널 표면으로부터 이물질을 용이하게 제거시키기 위해 테스트 공간부의 외측 분사 흐름을 가지면서 에어를 하단방향으로 분사하는 길이방향으로 길게 형성된 분사라인을 구비하는 에어 커튼부와;
상기 에어 커튼부를 통과하여 테스트 공간부로 유입된 TFT-LCD 패널이 정위치하면 테스트 공간부의 일측에 위치하여 테스트 공간부 측으로 이동하여 각각의 액정 셀의 불량 유무를 판단하는 광반사수단을 가지는 모듈레이터와;
상기 모듈레이터가 TFT-LCD 패널의 액정 셀 불량 유무 판단 후 복귀장소인 테스트 공간부의 일측으로 이동하여 안착되는 원위치 복귀장치인 것으로 모듈레이터의 하단 일부를 내입하면서 TFT-LCD 패널의 하면측에 압축공기를 분사하여 이물질을 제거하는 에어 클리닝 머신과;
상기 모듈레이터에 압축공기 분사가 이루어짐과 대기상태가 되고, TFT-LCD 패널은 이송부에 의해 테스트 공간부에서 후방으로 이동하여 에어 커튼부를 통과하 면서 에어 분사되어 외부로 이송 적재되고, 이송부는 다른 TFT-LCD 패널을 테스트 공간부로 이송하여 TFT-LCD 패널의 클리닝과 불량 유무 검사를 순차적으로 반복하는 것을 특징으로 하는 TFT-LCD 패널 어레이 테스트 장비의 에어 클리닝 시스템을 제공함으로써 달성하였다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부한 도면에 의하여 더욱 상세하게 설명한다.
이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
따라서, 본 명세서에 기재된 실시 예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 하나의 실시 예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
도 1은 본 발명에 따른 TFT-LCD 패널 어레이 테스트 장비의 에어 클리닝 시스템을 나타낸 도면이다.
도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 어레이 테스트 장비(100) 내부 공정에서 모듈레이터(130)는 TFT-LCD 패널(10)에 형성된 각각의 셀에 근접하여 결함 여부를 검출하는 것이다.
이 경우, 상기 모듈레이터(130)는, 상기 TFT-LCD 패널(10)의 전극과 전기장 을 형성하기 위한 전극층과, 상기 전기장의 크기에 따라서 빛을 편광 또는 편광시키지 않는 PDLC(polymer dispersed liquid crystal)를 구비하게 된다.
여기서, 상기 어레이 테스트 장비(100) 내부 공정에서 이루어지는 작업에는 이송을 한 이송장치, 집기를 위한 흡탈착 장치, 센서 및 작업의 통제를 위한 제어부를 기본적으로 구성하여 이루어지게 된다.
이러한, TFT-LCD 패널(10)의 정확한 불량 유무 검사와 모듈레이터(130)의 손상을 최소화하는 시스템은, 상기 TFT-LCD 패널(10) 어레이 테스트 불량 유무 판단 작업 중 TFT-LCD 패널(10) 이송 중에 TFT-LCD 패널(10) 표면에 압축공기(122)를 분사하여 TFT-LCD 패널(10)에 부착된 이물질을 제거하고, TFT-LCD 패널(10)의 불량 유무 판단하는 어레이 테스트 장비(100)의 모듈레이터(130) 하단 측에 압축공기(122)를 분사하여 이물질을 제거하는 것으로 모듈레이터(130)의 손상을 최소화하는 것을 특징으로 한다.
상기 모듈레이터(130)가 테스트 공간부(102)에서 TFT-LCD 패널(10)의 셀을 검사하며, 상기 테스트 공간부(102) 일측에 모듈레이터(130)가 시작하는 지점에는 에어 클리닝 머신(140)이 위치한다.
그리고, 상기 에어 클리닝 머신(140)은 모듈레이터(130)가 원위치하여 대기 상태이면서 검사 후 모듈레이터(130)의 이물질 제거를 위한 작업을 하는 곳이다.
또한, 모듈레이터(130)가 불량 유무를 검사하는 TFT-LCD 패널(10)은 적재 공간에서 이송되어 테스트 공간부(102) 투입 측에는 테스트 공간부(102)의 외측방향으로 압축공기(122)를 분사하는 에어 커튼부(120)가 위치하여 TFT-LCD 패널(10)이 테스트 공간부(102) 투입시 TFT-LCD 패널(10)의 표면에 포진한 이물질을 압축공기(122)를 분사하여 제거하게 된다.
아울러, 도 2는 본 발명에 따른 TFT-LCD 패널 어레이 테스트 장비의 모듈레이터 에어 클리닝 머신을 나타낸 도면이고, 도 3은 본 발명에 따른 TFT-LCD 패널 어레이 테스트 장비의 모듈레이터 에어 클리닝 머신의 내부 일부 개폐를 나타낸 도면이며, 도 4는 본 발명에 따른 TFT-LCD 패널 어레이 테스트 장비의 모듈레이터 에어 클리닝 머신의 내부를 나타낸 도면이다.
상기 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 TFT-LCD 패널(10) 어레이 테스트 장비(100)의 에어 클리닝 시스템을 설명하면,
상기 TFT-LCD 패널(10)을 적재 공간에서 이송부(110)는 단위적으로 테스트 공간부(102)로 이송시키게 된다.
그리고, 상기 이송부(110)에 의해 TFT-LCD 패널(10)이 테스트 공간부(102) 내부로 투입시에 테스트 공간부(102) 일측에 입출감지하는 출입센서(124)가 위치하여 TFT-LCD 패널(10)의 이동을 감지하게 된다.
상기 TFT-LCD 패널(10)이 이송부(110)에 의해 테스트 공간부(102)로 투입되면 출입센서(124)에서 출입을 감지하여 에어 커튼부(120)에서 길이방향으로 길게 형성된 분사라인이 하단방향으로 압축공기(122)를 분사하게 된다.
이때, 상기 에어 커튼부(120)의 분사라인에서 분사되는 압축공기(122)를 테스트 공간부(102)의 하단 외측방향으로 분사를 가해 TFT-LCD 패널(10)의 표면에 있는 이물질을 외부로 제거하게 된다.
상기 에어 커튼부(120)의 분사라인에서 외측방향으로 분사되는 압축공기(122)로 인해 제거되는 이물질은 테스트 공간부(102) 측으로 유입되지 않으며 테스트 공간부(102) 외측으로 모두 분산된다.
즉, 상기 에어 커튼부(120)는 테스트 공간부(102)로 TFT-LCD 패널(10)이 유입되기 전에 출입센서(124)로 이동을 감지하여 TFT-LCD 패널(10) 표면으로부터 이물질을 용이하게 제거시키기 위해 테스트 공간부(102)의 외측 분사 흐름을 가지는 압축공기(122)를 에어 커튼부(120)에서 하단방향으로 TFT-LCD 패널(10) 표면에 분사한다.
이후, 상기 에어 커튼부(120)를 통과하면서 테스트 공간부(102)로 유입된 TFT-LCD 패널(10)은 테스트 공간부(102)의 정해진 정위치에 위치하면 테스트 공간부(102) 일측에 위치한 에어 클리닝 머신(140)에 위치한 모듈레이터(130)가 이동하게 된다.
이때, 상기 모듈레이터(130)는 TFT-LCD 패널(10)의 셀을 각각 이동하면서 불량 유무를 검사한다.
그리고, 상기 모듈레이터(130)에 의해 TFT-LCD 패널(10) 검사가 종료되면 모듈레이터(130)는 수평하게 에어 클리닝 머신(140) 측으로 이동을 시작한다.
여기서, 본 발명의 어레이 테스트 장비(100)의 테스트 공간부(102)에 위치하여 모듈레이터(130) 클리닝을 담당하는 에어 클리닝 머신(140)은 본체부(141)와 에어 공급부(146)로 설명할 수 있다.
상기 본체부(141)는 어레이 테스터 장비(100)의 내부 테스트 공간부(102) 일 측에 위치하여 압축공기(122) 분사량과 분사 종류선택, 좌우 수평조절 기능을 가진 것이다.
이때, 상기 어레이 테스터 장비(100)의 일측에 압축공기(122)를 발생하여 공급하는 콤프레셔(미도시)가 따로 마련되어 상기 콤프레셔는 배관(20)으로 에어 클리닝 머신(140)의 본체부(141)를 통해 에어 공급부(146)를 압축공기(122)를 공급한다.
이러한, 상기 본체부(141)의 일측에는 에어 조절부(152)가 구성되어 콤프레셔에서 공급되는 압축공기(122)의 량을 조절한다.
이때, 상기 본체부(141)의 에어 조절부(152)로 압축공기(122)의 량을 조절하면서 분사 량에 따라 압축공기(122)의 분사 세기도 함께 조절되는 것이다.
그리고, 상기 본체부(141)의 수평조절부(154)는 내부에 수평센서를 내장하여 본체부(141)의 수평이 어긋나면 모듈레이터(130) 클리닝 작업 작동 멈춤을 제어한다.
이러한, 상기 본체부(141)의 내장된 수평센서로 본체부(141)의 수평을 감지 틀어짐을 인식하여 에어 클리닝 머신(140)과 모듈레이터(130)의 작업 중단을 제어하는 수평조절부(154)는 불량 유무 검사 후 수평하게 복귀하는 모듈레이터(130)와 본체부(141)의 기울어짐으로 인해 에어 분사관(144)과 충돌을 방지하기 위한 것이다.
즉, 어레이 테스터 장비(100)에서 모듈레이터(130)가 TFT-LCD 패널(10) 검사시 어레이 테스터 장비(100)의 진동이 있을 수 있는데 이때, 어레이 테스터 장 비(100)의 기울어짐이나 에어 클리닝 머신(140)의 틀어짐으로 검사 후 수평하게 복귀하는 모듈레이터(130)가 에어 클리닝 머신(140)의 에어 분사관(144)과 출동 위험이 있어 미리 수평조절부(154)는 수평을 감지하여 틀어짐 즉시 작업을 중단시키게 된다.
예를 들어, 상기 에어 클리닝 머신(140)은 수평한 수치가 X:156, Y:134 일 때, X와 Y의 수평 수치가 ±10 범위 안에 있으면 에어 클리닝 머신(140)은 작동을 하게 되며, 수평 수치가 ±10 범위를 벗어나게 되면 수평조절부(154)는 틀어짐으로 인한 작업을 중단시키게 된다.
이것은, 작업의 안정성을 위한 것으로 어레이 테스터 장비(100)의 하중에 문제가 있어 기울어짐이 있거나 에어 클리닝 머신(140)의 기울어짐으로 인한 모듈레이터(130)의 손상을 방지하면서 전체적인 어레이 테스터 장비(100)의 안정을 위함이다.
여기서, 상기 수평조절부(154)의 작동은 상기 본체부(141)의 전면부에 LCD창(151)에서 수평조절을 시각적으로 표시하여 작업자가 작업 중 파악할 수 있으며, 별도의 음성 알람을 설치하여 어레이 테스터 장비(100)의 틀어짐 이상 유무를 에어 클리닝 머신(140)의 수평조절부(154)에서 알람을 작동시키게 되어 청각적으로 작업자에서 알리게 된다.
아울러, 상기 본체부(141)의 전면부의 일측에는 버튼이 구비되며, 에어 분사, 흡입, 세정액 분사 모듈을 선택하는 선택부(156)로 구성된다.
또한, 상기 본체부(141)의 선택부(156) 기능으로 압축공기(122)가 분사되는 에어 분사관(144)의 에어 분사홈(143)으로 압축공기(122) 분사에서 선택부(156)의 선택에 의해 공기를 흡입으로 전환하여 모듈레이터(130)의 밑면에 부착된 이물질을 흡입하게 된다.
또한, 상기 본체부(141)에 구성된 선택부(156)의 매뉴얼에 따라 세정액을 분사할 수 있는데 이는 콤프레셔에 연결된 배관(20)에 유압조절로 세정액을 공급할 수 있는 세정액 본관통을 연결하여 세정액이 에어 분사홈(143)을 통해 모듈레이터(130)의 하단측으로 세정액을 분사하여 모듈레이터(130)의 클리닝 작업이 이루어질 수 있다.
이러한, 상기 본체부(141)의 상단에 위치하여 모듈레이터(130)에 직접 압축공기(122)를 분사하는 에어 공급부(146)는 상기 모듈레이터(130)를 소정의 깊이로 내입하는 에어 분사관(144)은 소정의 공간부를 형성한 것이다.
그리고, 상기 에어 분사관(144)의 내부 바닥 중앙에는 길이 방향으로 길게 소정의 폭으로 개구된 이동공간부(162)가 형성된 구조이다.
아울러, 상기 에어 분사관(144)의 가로 길이방향으로 형성된 이동공간부(162)에서 세로로 교차되도록 위치한 에어 분사부(145)는 이동공간부(162)에서 좌우 이동하게 되며, 상기 이동공간부(162)를 좌우 이동하면서 모듈레이터(130)를 클리닝하게 된다.
이때, 상기 에어 분사부(145)는 모듈레이터(130)를 클리닝하기 위해 이동공간부(162)를 여러번 좌우 반복하여 이동하면서 클리닝하게 되는 것이다.
여기서, 도 5에 도시한 바와 같이 상기 에어 분사부(145)의 양측에는 압축공 기(122)가 공급되는 배관(20)이 연결되어 에어 분사홈(143)으로 압축공기(122)가 분사되도록 공급한다.
그리고, 상기 에어 분사부(145)의 좌우 이동을 위해서 본체부(141)의 내부에는 에어 분사부(145)를 이동시키기 위한 가이드 레일(164)이 형성되며, 가이드 레일(164)은 에어 분사관(144)을 좌우 이동하면서 상기 가이드 레일(164)에 장착되어 가이드 레일(164)을 따라 이동하는 레일바(165)는 상하로 인입 및 인출이 가능하여 본체부(141)에서 에어 분사관(145)을 상하 이동하도록 하는 것이다.
이같이, 상기 본체부(141)에서 상하 이동하는 에어 분사관(145)은 본체부(141) 상단에서 에어 공급부(146)가 상하 이동을 가능하도록 본체부(141)의 상단과 에어 분사관(144) 사이 중앙에는 수직한 상하 이송을 가이드하기 위한 상하 직선이동을 하는 슬라이드 가이드부(148)로 이루어지는 것이다.
즉, 상기 본체부(141) 내부에서 외부로 인출을 가능한 레일바(165)와 슬라이드 가이드부(148)는 동시에 같이 상하 이동을 갖는 것으로 상기 슬라이드 가이드(148)와 레일바(165)는 본체부(141) 내부에서 상측으로 길이가 조절되는 것이다.
여기서, 도 6은 본 발명에 따른 TFT-LCD 패널 어레이 테스트 장비의 모듈레이터 에어 클리닝 머신의 에어 분사관 상하 이동을 나타낸 도면이다.
상기 도면에 도시된 바와 같이, 상기 슬라이드 가이드부(148)는 에어 분사관(144)을 상승하도록 들어올리는 것이며, 에어 분사관(144)이 상승하면서 내부에 결합된 에어 분사부(145)가 상승하도록 레일바(165)에서도 슬라이딩 상승된다.
여기서, 상기 슬라이드 가이드부(148)는 에어 분사관(144)을 상하 이동 조절 하는 것이며, 상기 레일바(165)는 슬라이드 가이드부(148)와 동시에 상측으로 길이 조절된 후 상측에 위치한 본체부(141)의 이동공간부(162) 사이에서 에어 분사부(145)가 좌우 이동을 가지는 것이다.
여기서, 상기 에어 분사관(144)의 내부 일측 바닥 측에는 물체의 위치를 감지하여 에어 분사부(145)의 동작 유무를 전달하는 감지센서(149)를 구비한다.
상기 감지센서(149)는 모듈레이터(130)가 에어 분사관(144) 측으로 복귀한 것을 감지하여 작동 유무를 전달하게 된다.
이때, 상기 감지센서(149)는 모듈레이터(130)가 에어 분사관(144)에 수직하게 도착한 후 4~5초 동안을 감지한 후 본체부(141)에 에어 분사관(144)을 상승 동작을 전달하는 것이다.
상기 모듈레이터(130)가 에어 클리닝 머신(140)으로 이동하면 감지센서(149)의 감지로 인해 에어 클리닝 머신(140)의 본체부(141) 측에서 에어 분사관(144)이 상승하여 모듈레이터(130)의 하단 일부를 내입하면서 안착된다.
이때, 상기 에어 클리닝 머신(140)의 에어 분사관(144)은 모듈레이터(130)를 안전하게 내입할 수 있도록 같은 형태로 형성되면서 소정의 깊이를 가지고 있는 것이다.
여기서, 상기 에어 클리닝 머신(140)의 에어 분사관(144) 내부에서 에어 분사부(145)가 좌우 이동하면서 압축 공기(122)를 분사하는 것으로 에어 분사관(144)에 일부 내입된 모듈레이터(130)의 밑면을 격리하여 에어 분사관(144)에서 압축공기(122) 분사로 이물질을 제거하게 된다.
여기서, 상기 에어 분사관(144)은 모듈레이터(130)를 클리닝 할 때는 본체부에서 상승하며 모듈레이터가 클리닝 후 에어 클리닝 머신에서 벗어나면 에어 분사관은 본체부(144) 측으로 하강하여 정지한 상태로 대기하게 된다.
이같이, 상기 에어 클리닝 머신(140)의 에어 공급부(146) 내부에 압축공기(122)를 공급하는 콤프레셔(미도시)와 배관(20) 연결되어 상기 에어 클리닝 머신(140)의 에어 분사관(144) 내부 공간에 압축 공기(122)를 분사하도록 좌우 이동이 가능한 에어 분사부(145)에는 에어 분사홈(143)이 다수개로 형성된다.
상기 에어 공급부(146)는 에어 분사부(145)로 압축 공기(122)를 분사하도록 콤프레셔(미도시)와 연결된 배관(20) 내 통로를 유동하게 되는 먼지나 이물질을 여과시키기 위한 에어필터(미도시)가 내장된 구조로 이루어져 있다.
상기 에어 분사관(144)의 에어 분사홈(143)으로 분사되는 압축공기(122)를 미리 에어필터에 의해 여과시켜 분사되는 압축공기(122)에 의해 모듈레이터(130) 표면에 이물질 부착되는 것을 최소화하게 되는 것이다.
즉, 상기 모듈레이터(130)에 분사되는 압축공기(122)는 에어 클리닝 머신(140) 내부에 콤프레셔(미도시)를 구비하여 상기 콤프레셔(미도시)에서 발생되는 압축공기(122)는 배관(20)에 공급되고, 공급된 압축공기(122)는 배관(20)을 통해 에어 클리닝 머신(140) 상단에 설치된 에어 분사관(144)에 다수개로 형성된 에어 분사부(145)을 통해서 압축공기(122)를 분사시키게 되는 것이다.
아울러, 상기 에어 클리닝 머신(140)의 에어 분사관(144)에 내입되어 모듈레이터(130)의 하면 측을 클리닝 후와 대기 상태에서 모듈레이터(130)가 다시 TFT- LCD 패널(10)의 불량 유무 검사를 하기 위해 모듈레이터(130)가 시작 시점에서 에어 클리닝 머신(140)의 에어 분사관(144)은 하측 방향으로 하강을 하게 되고, 모듈레이터(130)는 TFT-LCD 패널(10) 측으로 이동하여 검사를 시작하게 된다.
이와 같이, 상기 에어 클리닝 머신(140)의 순차적인 작동을 설명하면, 모듈레이터(130)가 에어 분사관(144) 측으로 수직한 위치에 정지하면 에어 분사관(144)의 감지센서(149)가 모듈레이터(130)의 감지하여 본체부(141)에서 에어 분사관(144)이 상승하면서 모듈레이터(130)의 일부를 내입한다.
그리고, 상승한 에어 분사관(144)의 내부에 구비된 에어 분사부(145)는 모듈레이터(130)의 하면에 좌우 이동을 반복하면서 압축공기(122)를 분사하면서 클리닝 작업을 하게 된다.
이후, 상기 모듈레이터(130)의 클리닝 작업 종료되면 에어 분사관(144)은 본체부(141) 측으로 하강을 하며 클리닝 작업이 종료되면서 모듈레이터(130)는 다시 불량유무 검사를 하러 테스트 공간부(102) 측으로 이동하여 TFT-LCD 패널(10) 검사 후 다시 에어 클리닝 머신(140)으로 이동하여 클리닝 작업을 자동으로 반복하는 것이다.
또한, 상기 에어 클리닝 머신(140)에 모듈레이터(130)가 내입된 후 상기 모듈레이터(130)에 클리닝 압축공기(122) 분사가 이루어짐과 대기상태가 되고, TFT-LCD 패널(10)은 이송부(110)에 의해 테스트 공간부(102)에서 후방으로 이동하여 에어 커튼부(120)를 통과하면서 외부로 이송 적재되며, 이송부(110)는 다른 TFT-LCD 패널(10)을 테스트 공간부(102) 측으로 이송하여 클리닝과 검사를 순차적으로 반복 하는 것이다.
이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 TFT-LCD 패널 어레이 테스트 장비의 에어 클리닝 시스템을 나타낸 도면.
도 2는 본 발명에 따른 TFT-LCD 패널 어레이 테스트 장비의 모듈레이터 에어 클리닝 머신을 나타낸 도면.
도 3은 본 발명에 따른 TFT-LCD 패널 어레이 테스트 장비의 모듈레이터 에어 클리닝 머신의 내부 일부 개폐를 나타낸 도면.
도 4는 본 발명에 따른 TFT-LCD 패널 어레이 테스트 장비의 모듈레이터 에어 클리닝 머신의 내부를 나타낸 도면.
도 5는 본 발명에 따른 TFT-LCD 패널 어레이 테스트 장비의 모듈레이터 에어 클리닝 머신의 에어 분사부를 나타낸 도면.
도 6은 본 발명에 따른 TFT-LCD 패널 어레이 테스트 장비의 모듈레이터 에어 클리닝 머신의 에어 분사관 상하 이동을 나타낸 도면.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
10:TFT-LCD 패널 20:배관
100:어레이 테스트 장비 102:테스트 공간부
110:이송부 120:에어 커튼부
122:압축공기 124:출입센서
130:모듈레이터 140:에어 클리닝 머신
141:본체부 143:에어 분사홈
144:에어 분사관 145:에어 분사부
146:에어 공급부 148:슬라이드 가이드부
149:감지센서 151:LCD창
152:에어 조절부 154:수평조절부
156:선택부 162:이동공간부
164:가이드 레일 165:레일바

Claims (9)

  1. 다수개의 액정 셀로 이루어진 TFT-LCD 패널 어레이 테스터 장비(100) 내부에서 TFT-LCD 패널(10) 어레이 테스트 불량 유무 판단 작업시 TFT-LCD 패널(10)을 테스트 공간부(102)로 이송 중에 TFT-LCD 패널(10) 표면에 압축공기(122)를 분사하여 TFT-LCD 패널(10)에 부착된 이물질을 제거하고, TFT-LCD 패널(10)의 불량 유무 판단 후 복귀하여 대기 중인 어레이 테스터 장비(100)의 모듈레이터(130) 측에 압축공기(122)를 분사하는 TFT-LCD 패널 어레이 테스트 시스템에 있어서,
    상기 어레이 테스터 장비(100)의 내부에서 TFT-LCD 패널(10)을 적재 공간에서 단위적으로 테스트 공간부(102)로 이송시키는 이송부(110)와;
    상기 이송부(110)에 의해 TFT-LCD 패널(10)이 테스트 공간부(102)로 투입시 입출감지하는 출입센서(124)에 의해 작동 지시하여 TFT-LCD 패널(10) 표면으로부터 이물질을 용이하게 제거시키기 위해 테스트 공간부(102)의 외측 분사 흐름을 가지면서 압축공기를 하단방향으로 분사하는 길이방향으로 길게 형성된 분사라인을 구비하는 에어 커튼부(120)와;
    상기 에어 커튼부(120)를 통과하여 테스트 공간부(102)로 유입된 TFT-LCD 패널(10)이 정위치하면 테스트 공간부(102)의 일측에 위치하여 각각의 액정 셀의 불량 유무를 판단하는 광반사수단을 가지는 모듈레이터(130)와;
    상기 모듈레이터(130)가 TFT-LCD 패널(10)의 액정 셀 불량 유무 판단 후 테스트 공간부(102)의 일측으로 이동하여 안착되는 원위치 복귀장치인 것으로 모듈레이터(130)의 하단 일부를 내입하면서 TFT-LCD 패널(10)의 하면측에 압축공기(122)를 분사하여 이물질을 제거하는 에어 클리닝 머신(140)과;
    상기 모듈레이터(130)에 압축공기(122) 분사가 이루어짐과 대기상태가 되고, TFT-LCD 패널(10)은 이송부(110)에 의해 테스트 공간부(102)에서 후방으로 이동하여 에어 커튼부(120)를 통과하면서 외부로 이송 적재되고, 이송부(110)는 다른 TFT-LCD 패널(10)을 테스트 공간부(102)로 이송하여 TFT-LCD 패널(10)의 클리닝과 불량 유무 검사를 순차적으로 반복하는 것을 특징으로 하는 TFT-LCD 패널 어레이 테스트 장비의 에어 클리닝 시스템.
  2. 삭제
  3. 다수개의 액정 셀로 이루어진 TFT-LCD 패널(10)을 검사하는 모듈레이터(130)를 클리닝 하는 에어 클리닝 머신(140)은,
    어레이 테스터 장비(100)의 내부 테스트 공간부(102) 일측에 위치하여 압축공기(122) 분사량과 분사 종류선택, 좌우 수평조절 기능을 가지는 본체부(141)와;
    상기 압축공기(122)를 발생하는 콤프레셔에서 발생된 압축공기(122)는 배 관(20)에 공급되고, 공급된 공기는 배관(20)을 통해 본체부(141)의 상단에 위치한 에어 분사관(144) 내부에 구비된 에어 분사부(145)의 분사홈(143)을 통해서 압축공기(122)를 분사시키게 되는 에어 공급부(146)와;
    상기 본체부(141) 상단에서 에어 공급부(146)가 상하 이동을 가능하도록 본체부(141)의 상단과 에어 분사관(144) 사이 중앙에는 수직한 상하 이송을 가이드하기 위해 에어 분사관(144)과 연결되어 상하 직선이동을 하는 슬라이드 가이드부(148);로 이루어지는 것을 특징으로 하는 TFT-LCD 패널 어레이 테스트 장비의 모듈레이터 에어 클리닝 머신.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 본체부(141)의 일측에 장착되어 콤프레셔에서 공급되는 압축공기(122)의 량을 조절하는 에어 조절부(152)와;
    상기 본체부(141)의 내부에 수평센서를 내장하여 본체부(141)의 수평이 어긋나면 모듈레이터(130) 클리닝 작업 작동 멈춤을 제어하는 수평조절부(154)와;
    상기 본체부(141)의 전면부에 LCD창(151)과 버튼이 구비되어 에어 분사, 흡입, 세정액 분사 모듈을 선택하는 선택부(156);로 구성되는 것을 포함함을 특징으로 하는 TFT-LCD 패널 어레이 테스트 장비의 모듈레이터 에어 클리닝 머신.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 본체부(141)의 내장된 수평조절부(154)로 본체부(141)의 수평을 감지하여 틀어짐을 인식하는 것으로 에어 클리닝 머신(140)과 모듈레이터(130)의 작업 중단을 제어하는 수평조절부(154)는 불량 유무 검사 후 수평하게 복귀하는 모듈레이터(130)와 본체부(141)의 기울어짐으로 인한 충돌을 방지하기 위한 것을 포함함을 특징으로 하는 TFT-LCD 패널 어레이 테스트 장비의 모듈레이터 에어 클리닝 머신.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 에어 공급부(146)는 모듈레이터(130)를 소정의 깊이로 내입하는 공간부를 형성하면서 바닥측에 길이 방향으로 소정의 폭으로 개구된 이동공간부(147)를 형성한 에어 분사관(144)과;
    상기 에어 분사관(144)의 가로 길이방향으로 형성된 이동공간부(147)에서 세로로 교차되도록 위치하여 개구된 상기 이동공간부(147)에서 좌우 이동이 가능한 것으로 양측에 에어 배관(20)의 연결로 에어 분사홈(143)으로 압축공기(122)를 분사하는 에어 분사부(145)와;
    상기 에어 분사관(144)의 내부 일측 바닥 측에는 물체의 위치를 감지하여 에어 분사부(145)의 동작 유무를 전달하는 감지센서(149);로 이루어지는 것을 포함함을 특징으로 하는 TFT-LCD 패널 어레이 테스트 장비의 모듈레이터 에어 클리닝 머신.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 에어 분사관(144)의 가로 길이방향으로 형성된 이동공간부(162)에서 세로로 교차되도록 위치한 에어 분사부(145)는 이동공간부(162)에서 좌우 이동하게 되며, 상기 이동공간부(162)를 좌우 이동하면서 모듈레이터(130)를 클리닝하는 것으로 상기 에어 분사부(145)의 양측에는 압축공기(122)가 공급되는 배관(20)과 공급된 압축공기(122)를 직접 분사하는 에어 분사부(145)에 형성된 에어 분사홈(143)으로 압축공기(122)가 분사하면서 모듈레이터(130)의 하면 측 이동공간부(162)를 여러번 좌우 반복하여 이동하면서 모듈레이터(130)의 하면을 클리닝하는 것을 포함함을 특징으로 하는 TFT-LCD 패널 어레이 테스트 장비의 모듈레이터 에어 클리닝 머신.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 압축공기(122)가 분사되는 에어 분사관(144)의 에어 분사홈(143)의 분사는 선택부(156)의 선택에 의해 공기를 흡입으로 전환, 선택부(156)의 세정액 분사 선택에 의해 배관(20)에 연결된 세정액이 에어 분사홈(143)으로 분출되어 모듈레이터(130)의 클리닝 작업을 다양화시킬 수 있는 것을 포함함을 특징으로 하는 TFT-LCD 패널 어레이 테스트 장비의 모듈레이터 에어 클리닝 머신.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 에어 분사부(145)의 좌우 이동을 위해서 본체부(141)의 내부에는 에어 분사부(145)를 이동시키기 위한 가이드 레일(164)이 형성되고, 가이드 레일(164)에는 상하측으로 길이 조절이 가능하도록 인출입되는 레일바(165)와 연결되며, 상기 레일바(165)는 에어 분사관(144) 내부에 장착된 에어 분사부(145)와 연결되는 것으로 상기 에어 분사관(144)이 상하 이동을 갖는 슬라이드 가이드(148)를 따라 상측으로 이동시 에어 분사부(145)는 레일바(165)에 의해 본체부(141)와 상승하여 이동공간부(162)에서 좌우 이동하는 것을 포함함을 특징으로 하는 TFT-LCD 패널 어레이 테스트 장비의 모듈레이터 에어 클리닝 머신.
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