KR100574054B1

KR100574054B1 - 자동 제어용 연동벨브 세정장치

Info

Publication number: KR100574054B1
Application number: KR1020040004643A
Authority: KR
Inventors: 이진로; 이재웅
Original assignee: 이진로; 이재웅
Priority date: 2004-01-26
Filing date: 2004-01-26
Publication date: 2006-04-27
Also published as: KR20050077070A

Abstract

본 발명은 반도체 장비에 사용되는 연동벨브를 자동으로 세정하는 자동 제어용 연동벨브 세정장치에 관한 것으로서, 전면 상부 일측에 위치하여 상기 연동벨브를 장착하여 세정하는 상·하부 장착구를 포함하는 세정부와; 후면에 위치하여 상기 연동벨브의 가압측정 및 세정에 필요한 N2와 세정제를 공급하는 파이프라인과 상기 파이프라인 중간에 설치되어 상기 N2와 세정제의 흐름을 개폐하는 벨브를 포함하는 라인구성부와; 전면 하부에 돌출되게 위치하여 세정과정을 자동 및 수동으로 제어하는 콘트롤부와; 전면 상부 타측에 위치하고 상기 콘트롤부와 연결되어 세정결과를 표시하고 프린터해주는 모니터 및 프린터가 위치하는 컴퓨터룸부와; 상기 세정장치의 전면과 측면을 감싸는 커버 및 후면 커버를 포함하는 프레임부: 를 포함하는 것을 특징으로 한다.

연동벨브, 세정장치

Description

자동 제어용 연동벨브 세정장치{Apparatus for cleaning gearing valve}

도1는 본 발명에 따른 자동 제어용 연동벨브 세정장치 전체를 나타낸 사시도이다.

도2는 본 발명에 따른 자동 제어용 연동벨브 세정장치의 정면도이다.

도3은 본 발명에 따른 자동 제어용 연동벨브 세정장치의 평면도이다.

도4은 본 발명에 따른 자동 제어용 연동벨브 세정장치의 측면도이다.

도5는 본 발명에 따른 자동 제어용 연동벨브 세정창치의 배면도이다.

도6은 본 발명에 따른 자동 제어용 연동벨브 세정장치의 작동 흐름도이다.

※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ※

10: 세정부 20: 라인구성부

26: 탱크 28: 펌프

40: 콘트롤부 50: 컴퓨터룸부

60: 프레임부 70: 윈도우

80: 센서 90: 필터

본 발명은 자동 제어용 연동벨브 세정장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 배기 장치에 사용되는 연동벨브를 자동으로 세정하고 또한 기능점검 및 압력 테스트를 실시할 수 있는 연동벨브 세정장치에 관한 것이다.

반도체 제조 장치의 반응 챔버에는 각 공정별로 여러 종류의 부식성 가스 및 가연성 가스가 공급된다. 이러한 가스들은 공정의 원활한 진행과 챔버 내부의 압력 조절을 위하여 지속적으로 공급 및 배기되어야 한다. 특히, 공정이 완료된 후에는 반응 챔버내에 공급된 반응 가스들 중 일부가 미반응되고 남게 되는데, 이러한 미반응 가스는 후속의 공정을 위해서라도 반응 챔버 외부로 완전히 배출시켜야 하므로 배기 장치에 의해 외부로 배출되는데, 연동벨브는 이러한 배기 장치에 사용된다.

이를 간단히 설명하면, 반응챔버는 상기 미반응 가스들을 펌핑시키기 위한 다수개의 펌프를 구비하며, 펌프에는 연동벨브가 연결되어 있다. 보통의 연동벨브는 입출구가 3개로 되어 있어서, 상기 펌프로부터 배출된 가스는 연동벨브에서 가연성 가스와 부식성 가스로 분리된 다음, 각 가스에 해당하는 스크러버(scrubber)에서 세정 및 희석된 후에 외부로 배출된다.

이 과정에서 상기 연동벨브에는 반응가스와 물이 반응하여 파우더를 형성하므로서 통로가 막히기 때문에 정기적으로 이를 세척해 주어야 한다.

그런데 종래에는 연동벨브를 세정하기 위해서 배기 장치로부터 상기 연동벨브를 분리한 후에 수작업으로 이를 세척해야만 했다. 또한, 연동벨브는 부품이 파손되어 유해한 가스등이 새게 되면 작업장을 오염시킬 뿐만 아니라 인체에도 악영향을 미치므로 매우 주의깊게 세정을 해야 하며, 이는 숙련자가 세정한다 하더라도 매우 많은 작업시간을 필요로 하는 문제점이 있었다.

또한 수작업으로 세정을 완료한 후, 배기 장치에 상기 연동벨브를 장착한 후 성능검사를 하기 위해 상기 배기 장치를 정지시켜야 하는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 발명된 것으로, 자동으로 연동벨브를 세정하여 종래의 수작업으로 하는 연동벨브의 세정 작업 소요시간을 단축시켜 작업 인건비를 절감하고, 부품의 파손 방지로 인한 수명 연장을 목적으로 한다.

그리고, 본 발명은 세정작업 완료 후 성능 검사를 하여 배기 장치에 장착한 후 따로 배기장치를 정지하지 않고 바로 설비를 가동하게 되므로, 장치의 정지로 인한 손실 감소를 목적으로 한다.

본 발명은 상기한 목적을 달성하기 위해,

반도체 설비에 사용되는 연동벨브(2)를 세정하는 연동벨브 세정장치(1)에 있어서,

전면 상부 일측에 위치하여 상기 연동벨브(2)를 장착하여 세정하는 상하부 장착구(12,13)를 포함하는 세정부(10)와;

후면에 위치하여 상기 상부 장착구와 연결되어 세정에 필요한 N2와 DI를 공급하는 다수의 파이프라인(21-25)과 상기 파이프라인 중간에 설치되어 상기 N2와 DI의 흐름을 개폐하는 다수의 벨브(31-35)를 포함하는 라인구성부(20)와;

전면 하부에 돌출되게 위치하여 세정과정을 자동으로 제어하는 콘트롤부(40)와;

전면 상부 타측에 위치하여 세정결과를 나타내고 프린터해주는 모니터 및 프린터가 위치하는 컴퓨터룸부(50)와;

상기 세정장치의 전면과 측면을 감싸는 커버 및 후면을 감싸는 도어를 포함하는 프레임(60)부:

를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한 상기 프레임부(60)의 상부 커버(62)와 힌지(64)로 연결되어 상기 세정부(10) 전면를 개폐가능하도록 윈도우(70)를 더 포함하며, 상기 윈도우(70)가 열렸을 때 좌우 한 쌍의 지지대(72)에 의해 지지되는 것을 특징으로 한다.

상기 라인구성부(20)는 상기 상부 장착구(12)에 연결되어 N2와 세정제를 연동벨브(2)에 각각 공급하고 제어하는 N2 파이프라인(21), 세정제 파이프라인(22) 및 N2 벨브(31), 세정제 벨브(32) 와 상기 하부 장착구(13)와 연결되어 상기 N2와 세정제가 드레인되는 드레인 파이프라인(24, 25) 및 드레인 벨브(34, 35)로 구성된 것을 특징으로 한다.

아울러, 상기 라인구성부(20)는 N2를 가열하여 상기 연동벨브(2)를 건조하는 히터(30)와, 상기 상부 장착구(12)와 연결되어 상기 가열된 N2 및 에어가 이동하는 히팅N2 파이프라인(23) 및 히팅N2 벨브(33)를 더 포함하고, 상기 라인 구성부(20)는 세정제를 저장하는 탱크(26)와 상기 탱크 하부에 위치하여 상기 탱크(26)로부터 연동벨브(2)로 상기 세정제를 공급하는 펌프(28)를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

그리고, 상기 프레임부(60)의 커버(62) 및 도어(64)에 있어서 커버의 재질은 스테인레스 스틸재이며, 도어는 무정전 아크릴 및 흡수재(Absorber)로 구성되는 것을 특징으로 하며, 상기 세정부(10)의 상부 장착구(12)에 센서(80)가 장착되어 세정 전후 상기 연동벨브(2)의 압력을 측정하며, 세정공정에서 이상 발생 시 표시등과 부저로 경고신호를 보내주는 것을 특징으로 한다.

이하 본 발명의 구성 및 바람직한 실시예를 첨부도면에 의거 상세히 설명하면 다음과 같다.

도1는 본 발명에 따른 자동 제어용 연동벨브 세정장치 전체를 나타낸 사시도이고, 도2은 본 발명에 따른 자동 제어용 연동벨브 세정장치의 정면도이며, 도3은 본 발명에 따른 자동 제어용 연동벨브 세정장치의 평면도이다.

세정부(10)는 본 발명의 실시예의 정면 일측 상부에 형성되어 세정할 연동벨브(2)가 장착되는 상부 장착구(12)와 2개의 하부 장착구(13)를 구비하는 테이블(14)을 포함한다. 세정을 하기 위한 작업으로서 먼저 연동벨브(2)를 상기 테이블(14)의 하부 장착구(13)에 장착하게 된다. 상기 하부 장착구(13)의 하부에는 실린더(18)가 장착되어 있어서, 상기 실린더(18)에 의해 테이블(14)은 상승하는데, 이와 동시에 하부 장착구(13)에 장착된 연동벨브(2)는 상승하여 상부 장착구(12)에 연결된다.

상기 상·하부 장착구(12, 13) 사이에는 마그네틱 센서(15)가 구비되어 있어서, 연동벨브(2)가 장착되면 연동벨브(2)에 연결하게 된다. 상기 마그네틱 센서(15)는 연동벨브(2) 내의 실린더 위치를 제어하는 역할을 하는데, 흔히 쓰이는 빛을 차단하거나 스위치를 누르는 센서와 마찬가지로 자성을 띤 물체가 접촉하였는가 접촉하지 않았는가를 감지한다.

콘트롤부(40)는 본 발명의 실시예의 전면 하부 양측에 돌출되게 형성되며, 세정작업을 자동 및 수동으로 제어하는 역할을 한다.

우측 콘트롤부(41)의 상부면에는 전원버튼, 자동버튼 및 수동버튼이 형성되어 있다. 따라서, 본원발명은 자동으로 작동하는 것이 원칙이지만 이상 발생 시나 필요한 경우 수동으로 작업이 가능하다. 상기 수동작업을 위해 후술할 다수의 벨브 및 히터, 펌프를 구동하는 다수의 버튼(44)이 우측 콘트롤부(41)에 형성된다.

그리고, 상기 우측 콘트롤부(41)의 하부 내부에는 본 발명이 자동으로 구동되게 하기 위해 별도의 회로부(도면 미도시)가 형성되어 있어서 본 발명의 모든 과정을 자동으로 제어하게 된다.

좌측 콘트롤부(42)의 상부면에는 압력 및 온도표시부(46)가 구비되어 후술할 세정작업에서의 압력과 온도를 표시하게 된다.

컴퓨터룸부(50)는 상기 세정부(10)의 타측에 위치하고, 모니터와 프린터가 장착하게 된다. 상기 모니터(도면부호 미도시)와 프린터(도면부호 미도시)는 콘트 롤부(40)에 연결되어서 세정작업 완료 후에 세정작업의 결과를 출력하고 프린트하게 된다.

프레임부(60)는 본 발명인 연동벨브 세정장치(1)의 측면과 후면의 외형을 이루는 틀로서, 본 발명의 위쪽 커버, 좌우측면 커버 및 후면 도어를 포함한다. 상기 프레임부(60)의 재질은 스테인레스 스틸재이다.

윈도우(70)는 상기 프레임부(60)의 상부 커버(도면부호 미도시)와 힌지(64)로 연결되어 상기 세정부(10) 전면을 개폐하는 역할을 한다. 즉, 연동벨브(2)를 세정 전후 본 발명인 연동벨브 세정장치(1)에 장착하고 제거할 때 상기 윈도우(70)를 열고, 세정작업을 하는 동안은 닫게 된다. 상기 윈도우(70)는 무정전 아크릴재이며, 열렸을 때 좌우 한 쌍의 지지대(72)에 의해 지지된다.

도4는 본 발명에 따른 자동 제어용 연동벨브 세정장치의 측면도이고, 도5는 본 발명의 라인구성부(20)을 나타내는 배면도이다. 도시된 바와 같이 라인구성부(20)는 본 발명인 자동 제어용 연동벨브 세정장치(1)의 후면에 위치하여 상기 연동벨브(2)가 장착되는 장착구(12, 13)의 후면에 연결되어 연동벨브(2)의 압력체크에 필요한 N2(질소)와 연동벨브(2)를 세정하는데 필요한 세정제를 공급하고 상기 N2와 세정제를 외부로부터 공급받기 위해 다양한 파이프라인(21-25) 및 벨브(31-35), 탱크(26), 펌프(28) 및 히터(30)를 포함한다.

우선 상부 일측에는 상기 상부 장착구(12)에 연결되어 N2와 세정제가 이동하는 세정제 파이프라인(22), N2 파이프라인(21) 및 히팅된 N2가 이동하는 히팅N2 파이프라인(23)이 형성되고, 상부 일측에는 상기 N2, DI 및 히팅N2의 흐름을 제어하는 세정제 벨브(32), N2 벨브(31), 히팅N2 벨브(33)가 형성된다. 상기 다수의 파이프라인은 스테인레스 스틸재이어서 수명이 길고 부식의 염려가 적으며, 벨브는 솔레노이드 벨브이므로 상기 콘트롤부(40)의 전기적 신호에 의해 동작하게 된다.

드레인 파이프라인1, 2(24, 25)는 상기 하부 장착구(13)와 연결되어 상부 장착구(12)로부터 공급되고 연동벨브(2)를 통과한 N2, 히팅N2, 세정제가 빠져나오게 되며, 드레인 벨브1, 2(34, 35)는 이의 흐름을 개폐하게 된다. 상기 드레인 파이프라인(24, 25)을 흐르는 N2, 세정제는 곧바로 외부로 빠져나가지 않고 후술할 필터(90)를 통하여 정화되고 다시 탱크(26)에 충전된다. 탱크(26)에 저장된 이 세정제를 다시 펌프(28)로 순환하여 사용하게 된다. 즉 외부로 부터 세정제를 공급받고 탱크(26)에 저장한 후 펌프(28)에 의해 세정제는 세정제 벨브(32)를 거쳐 세정제 파이프라인(22)을 통해 상부 장착구(12)로 주입되어 연동벨브(2)를 세정하게 된다. 그리고 상기 세정제는 드레인 파이프라인(24, 25)을 거쳐 필터(90)를 통한 후에 상기 탱크(25)로 다시 저장된 후, 위의 과정을 반복하게 되는 것이다.

따라서, 본 발명은 N2 와 세정제가 외부로부터 한번만 공급받으면 되고 그 후는 재생하여 반복적으로 사용되므로 비용 및 환경적인 측면에서도 아주 유용한 발명이다.

상부 타측에는 히터(30)가 구비되어 있어, 연동벨브를 세정제로 세정한 후 N2를 가열하여 상기 연동벨브 세정 후 남아있는 물기를 건조하는 역할을 한다.

하부 우측의 도어에는 N2 주입구(92) 및 세정제 주입구(94)가 형성되어 있어 외부로부터 N2 및 세정제를 공급받으며, 상기 N2주입구 및 DI주입구는 본 장치 내측으로 상기 N2 파이프라인(21), 히팅N2 파이프라인(23) 및 세정제 파이프라인(22)에 연결된다.

상기 N2주입구 및 DI주입구 하단에는 드레인구(95)가 형성되어 있어서 세정액이 빠져 나온다. 즉 세정액은 위에서 설명한 바와 같이 한번 탱크에 충전되면 계속 사용하게 되나 많이 반복되서 사용되면 필터(90)를 통한 필터링 능력이 한계가 있으므로 이 때는 상기 드레인구(95)를 통해 외부로 빠져나가게 된다.

그리고 미설명된 메뉴얼벨브(96)는 N2를 주입할 시 수동으로 제어하는 벨브이다.

하부 좌측에는 세정제를 저장하는 탱크(26) 및 이와 연결된 펌프(28)가 형성된다. 상기 탱크(26)는 상기 세정제 주입구에 연결된 세정제 파이브라인을 통해 공급된 세정제 및 연동벨브(2) 세정 후 드레인 파이프라인(24, 25)를 빠져나온 세정제를 저장하게 되고 펌프(28)는 상기 탱크(28)에 저장된 세정제를 상부 장착구(12)에 펌핑해 공급하는 역할을 한다. 그리고 상기 탱크(26)에는 센서(도면 미도시)가 연결되어 있어서 세정제가 부족할 경우 경보가 울리게 된다.

하부 중간부위에는 드레인 파이프라인(24, 25)과 연결된 필터(90) 및 필터캡(92)이 위치한다. 상기 필터(90)는 상술한 바와 같이 연동벨브(2) 세정 후 상기 드레인 파이프라인(24, 25)으로 빠져나온 세정제의 불순물 및 세정하고 발생한 찌꺼기를 걸러내는 역할을 한다. 그리고 상기 필터링된 세정제는 다시 탱크(26)로 저장되어 연동벨브를 세정하게 된다.

그리고, 상부 장착구(12)의 뒷면에는 센서(80)가 구비되어 있다. 상기 센서(80)에 의해 연동벨브의 세정전후 상기 연동벨브(2)의 압력을 측정하여 누수여부를 판단하게 되며, 세정공정에서 이상 발생 시 표시등과 부저로 경고신호를 보내는 역할을 한다.

도6은 본 발명인 자동 제어용 연동벨브 세정장치의 작업 순서도를 나타낸 것이다. 이하 도면을 참조로 본 발명의 실시예 및 작업순서를 설명하기로 한다.

먼저 작업 전 기본동작으로서는 후면에 장착되어 있는 매뉴얼 벨브(96)를 열고 N2 주입구(92)에 연결된 튜브(도면 부호 미도시)를 통해 N2를 공급한다. N2는 본 발명의 외부에서 공급을 받고 상기 튜브와 N2주입구(92)를 통해 N2 파이프라인에 공급한다. 상기 기본동작 상태시 N2는 자동으로 히터(30)에 의해 가열된다.

그리고, 레귤레이터1, 2(96)는 상기 N2와 세정제가 본 장치에 유입되는 양을 조절하는 역할을 한다. 즉 본 장치로 유입되는 N2, 세정제를 프로그램으로 설정된 양만큼 압력체크와 세정에 필요한 양으로 유입하게 된다.

우선 연동벨브(2)가 테이블(14)의 하부 장착구(13)에 장착되면, 상기 연동벨브(2)는 하부 장착구(13)의 하부에 구비된 실린더(18)에 의해 상승하게 되어 상부 장착구(12)에 연결된다. 그리고 상기 장착구 측면에 설치된 마그네틱 센서(15)를 상기 연동벨브(2)에 연결한다.

그 후, 드레인 벨브1, 2(34, 35)는 닫히고, N2 벨브(31)가 열려서 N2는 N2 파이프라인(21)을 흐르면서 연동벨브(2)를 통과해 상기 연동벨브(2)의 압력을 체크하게 된다. 압력 체크의 목적은 연동벨브(2)의 누수여부를 체크하는 것으로서, 상기 연동벨브(2)와 연결된 상부 장착구(12) 후면에 구비된 센서(80)에 의해 행해지 게 된다.

그 다음 드레인 벨브1(34)은 열고, 드레인 벨브2(35)를 닫은 다음 N2 벨브(31)를 연 후에 지정된 T초의 시간동안 닫아서 현재의 압력을 체크하게 된다. 그리고 이와는 반대로 드레인 벨브1(34)은 닫고, 드레인 벨브2(35)를 연 다음 N2벨브를 연 후에 지정된 T초의 시간동안 닫아서 압력체크를 하게 된다.

상기 압력 체크 과정 후에 펌프(28)를 ON하고 세정제 벨브(32)를 열어 세정제를 연동벨브(2)에 주입하게 된다. 이 때, 드레인 벨브1, 2(34, 35)는 일정시간 닫혀있게 되고 상기 세정제가 연동벨브(2)의 일정 높이까지 차서 상기 연동벨브(2)가 구석구석 세정이 되면 다시 드레인벨브1, 2(34, 35)는 열리고 세정제는 드레인 파이프라인(24, 25)을 통해 배출한다. 이와 같은 드레인 벨브1, 2의 개폐작업을 프로그램상으로 지정한 횟수동안 반복한 후 상기 펌프(28)를 OFF하게 된다.

상기 세정과정을 거친 후, 히팅 벨브(33)를 열어 히팅N2를 연동벨브(2)에 주입한다. 이 때도 상기 세정과정과 마찬가지로 드레인 벨브1, 2(34, 35)는 개폐를 반복하여, 세정 후 남은 물기를 상기 히팅N2로 건조하게 된다.

상기 건조과정을 마친 후, 처음의 가압체크과정을 반복하게 된다. 즉 드레인 벨브1, 2를 닫은 다음 N2 벨브(31)를 열어서 압력을 체크하고, 그 후, 드레인 벨브1,2 중 어느 하나의 벨브를 열면 다른 벨브는 닫고 N2 벨브(31)를 열고 일정 시간동안 닫아 압력체크를 한다. 그리고 드레인 벨브1, 2의 위치를 바꾸어 열고 닫는 것을 반복해서 연동벨브의 압력을 체크하여 연동벨브의 이상유무를 체크하게 된다.

상기 압력체크가 끝난 후, 연동벨브(2)가 고정되어 있는 장착구는 풀리게 되며, 하부 장착구(13)를 포함하는 테이블(14)은 하부로 내려가게 된다. 그리고, 이상이 없게 되면 컴퓨터에 연결된 경광등은 점멸하게 되고 작업완료의 멜로디가 울리게 되고 가압테스트 작업결과를 컴퓨터룸부(50)에 장착되어 있는 프린터(도면 미도시)를 통해 프린트하게 된다.

상기의 과정들은 모두 프로그램 되어 있어서 자동으로 실시되며, 만약 수동으로 작업할 경우 본 발명의 우측 콘트롤부(41)에 위치한 다수의 수동작업버튼(44)을 이용해 작업하면 된다.

이상의 실시예들은 본 발명을 설명하기 위한 것으로, 본 발명의 범위는 상기 실시예에 한정되지 않으며, 하기의 청구범위 및 이와 균등의 범위내에 당업자들에 의하여 변형 또는 수정될 수 있고 이 또한 본 발명의 범위에 속함은 당연하다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 자동으로 연동벨브를 세정하여 종래의 수작업으로 하는 연동벨브 세정 작업 소요시간을 단축시켜 작업 인건비를 절감할 수 있으며, 또한 부품의 파손 방지로 인한 수명 연장 효과가 있다.

그리고, 본 발명은 작업 완료 후 성능 검사를 하기 때문에 반도체 배기 장치에 장착한 후 별도로 장치를 정지하지 않고 바로 설비를 가동하게 되므로, 장치의 정지로 인한 손실 감소 효과가 있다.

Claims

반도체 설비에 사용되는 연동벨브를 세정하는 연동벨브 세정장치에 있어서,

상기 세정장치의 전면 상부 일측에 위치하여 상기 연동벨브(2)가 장착되는 상부 장착구(12)와 2개의 하부 장착구(13)를 포함하는 테이블(14)과;

상기 상부 장착구(12) 및 하부 장착구(13)의 중간에 위치하여 상기 연동벨브(2) 내의 실린더 위치를 제어하는 마그네틱 센서(15)와;

상기 상부 장착구(12)의 후면에 형성된 센서(80)에 의해 세정 전후 연동벨브(2)의 압력을 측정하며, 세정공정에서 이상 발생 시 표시등과 부저로 경고신호를 보내는 세정부(10)와;

상기 세정장치의 후면에 위치하여 상기 연동벨브(2)의 가압 측정 및 세정에 필요한 N2와 세정제를 공급하는 파이프라인(21~25)과;

상기 파이프라인(21~25)의 중간에 설치되어 상부 장착구(12)에 연결되어 N2와 세정제를 연동벨브(2)에 각각 공급 및 제어하는 N2 파이프라인(21), 세정제 파이프라인(22) 및 N2 벨브(31), 세정제 벨브(32)와 상기 하부 장착구(13)와 연결되어 상기 N2와 세정제를 배출하도록 제어하는 드레인 파이프라인(24, 25) 및 드레인 벨브(34, 35)로 구성되어 N2와 세정제의 흐름을 개폐하는 라인구성부(20)와;

상기 세정장치의 전면 하부에 돌출되게 위치하여 세정과정을 자동 및 수동으로 제어하는 콘트롤부(40)와;

상기 전면 상부 타측에 위치하고 상기 콘트롤부(40)와 연결되어 세정결과를 표시하고 프린터해주는 모니터 및 프린터가 위치하는 컴퓨터룸부(50)와;

상기 세정장치의 전면과 측면을 감싸는 커버(62) 및 후면 도어(64)를 포함하는 프레임부(60)와;

상기 프레임부(60)의 상부 커버(62)와 힌지(64)로 연결되어 상기 세정부(10) 전면을 개폐하고, 좌우 한 쌍의 지지대(72)에 의해 지지되도록 구성된 윈도우(70); 로 이루어진 것을 특징으로 하는 자동 제어용 연동벨브 세정장치.
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제1항에 있어서,

상기 라인구성부(20)는 N2를 가열하여 상기 연동벨브(2)를 건조하는 히터(30)와;

상기 상부 장착구(12)와 연결되어 상기 가열된 N2가 이동하고 흐름을 제어하는 히팅N2 파이프라인(23) 및 히팅 벨브(33); 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 제어용 연동벨브 세정장치.
제1항에 있어서,

상기 라인구성부(20)는 세정제를 저장하는 탱크(26)와 상기 탱크(26) 하부에 위치하여 탱크(26)로부터 연동벨브(2)로 상기 세정제를 공급하는 펌프(28); 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 제어용 연동벨브 세정장치.
제1항에 있어서,

상기 라인구성부(20)는 드레인 파이프라인(24, 25) 및 탱크(26)와 연결되어 상기 드레인 파이프라인(24, 25)으로 배출된 세정제의 불순물 및 세정 후 발생한 찌꺼기를 걸러내는 필터(90)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 제어용 연동벨브 세정장치.
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