JP3825451B2 - 内容物充填容器の漏れ検査方法及び装置 - Google Patents

Description

この発明は、内容物を充填した容器の漏れを検査する方法及び装置に関する。

従来、内容物を充填した容器の漏れ検査は、内部を視認できるチャンバ内に内容物充填容器を置いて前記チャンバを密閉し、前記チャンバ内を所定の真空圧に減圧することにより、容器内外の圧力差による内容物の漏れの有無を目視によって検査する方法（特許文献１参照）、または、チャンバ内に内容物充填容器を置いて前記チャンバを密閉し、前記チャンバ内を所定の真空圧に減圧した後に、前記容器からの内容物の漏れの有無によるチャンバ内の圧力の変化を測定して前記容器の漏れを判定する方法（特許文献２参照）により行なわれている。
実用新案登録第３０８２０３０号公報 特開２０００―２０３５３９号公報

しかし、上記従来の目視による漏れ検査やチャンバ内の圧力変化を測定する漏れ検査では、極く微量な漏れを見落とすことがあり、信頼度が低い。

この発明は、極く微量な漏れも見落とすこと無く信頼度の高い漏れ検査を行なうことができる内容物充填容器の漏れ検査方法及び装置を提供することを目的としたものである。

この発明の内容物充填容器の漏れ検査方法は、チャンバ内に内容物充填容器を置いて前記チャンバを密閉し、その状態で、前記容器内の内容物の少なくとも１種のガス成分を検出するガスセンサにより前記チャンバ内の空気中のセンサ検出成分量を測定する成分量測定作業を、複数回、各回ごとに、前記チャンバ内を所定の真空圧に減圧してその減圧状態を一定時間保持した後に前記チャンバ内に除塵脱臭空気を供給して前記チャンバ内を一定圧にし、その後に前記チャンバ内への除塵脱臭空気の供給を停止して前記ガスセンサにより前記チャンバ内の空気中の前記センサ検出成分量を測定する手順で繰り返し、その少なくとも２回以上の成分量測定値を比較して、そのうちの前の回の成分量測定値よりも後の回の成分量測定値が高いときに前記容器を漏れありと判定することを特徴とする。

この漏れ検査方法においては、前記複数回の成分量測定値のうち、１回目の成分量測定値よりも２回目以後の成分量測定値が高いときに漏れありと判定するのが望ましい。

さらに、この漏れ検査方法においては、前記チャンバ内の減圧から前記チャンバ内に除塵脱臭空気を供給した後のチャンバ内空気中のセンサ検出成分量の測定までの成分量測定作業を少なくとも３回繰り返し、そのうちの前の回の成分量測定値よりも後の回の成分量測定値が高く、それよりもさらに後の回の成分量測定値が高いときに漏れありと判定するのが好ましい。

その場合は、１回目の成分量測定値よりも２回目の成分量測定値が高く、前記２回目の成分量測定値よりも３回目の成分量測定値が高いときに漏れありと判定するのが望ましい。

そして、この漏れ検査方法においては、各回の成分量測定作業におけるチャンバ内を一定圧にした時点から一定時間を経過したときのセンサ検出成分量の測定値に基づいて漏れ判定を行なうのが好ましい。

また、この漏れ検査方法においては、前記ガスセンサを、前記チャンバに両端を接続したチャンバ内空気循環路に配置し、各回の成分量測定作業ごとに、除塵脱臭空気を供給して一定圧にしたチャンバ内の空気を前記空気循環路を通して循環させてチャンバ内空気中のセンサ検出成分量を測定するのが望ましい。

さらに、この漏れ検査方法においては、前記チャンバ内に内容物充填容器を置く前に、前記チャンバを密閉した状態で、前記チャンバ内を減圧した後に前記チャンバ内に除塵脱臭空気を供給するとともに、前記チャンバ内への前記除塵脱臭空気の供給と前記チャンバ内の空気の排気とを一定時間継続するチャンバ内フラッシングと、前記チャンバ内空気循環路に除塵脱臭空気を一定時間流す循環路内フラッシングとを行なうのが好ましい。

また、この発明の内容物充填容器の漏れ検査装置は、内部に内容物充填容器を置いて密閉されるチャンバと、前記チャンバ内を減圧する減圧系と、前記チャンバ内に除塵脱臭空気を供給する給気系と、前記容器内の内容物の少なくとも１種のガス成分を検出するガスセンサを有し、前記チャンバ内の空気中のセンサ検出成分量を測定する成分量測定手段と、前記チャンバ内に前記内容物充填容器を置いて前記チャンバを密閉した状態で、前記成分量測定手段によるチャンバ内空気中のセンサ検出成分量の測定を、複数回、各回ごとに、前記減圧系により前記チャンバ内を所定の真空圧に減圧し、その減圧状態を一定時間保持した後に、前記給気系により前記チャンバ内に除塵脱臭空気を供給して前記チャンバ内を一定圧にし、その後に前記チャンバ内への除塵脱臭空気の供給を停止して、前記成分量測定手段にチャンバ内空気中のセンサ検出成分量の測定を行なわせる手順で繰り返すための測定制御手段とを備えたことを特徴とする。

この漏れ検査装置において、前記ガスセンサは、前記チャンバに両端を接続するとともに両端側にそれぞれ開閉弁を設けたチャンバ内空気循環路に設けるのが望ましい。

さらに、この漏れ検査装置においては、前記チャンバにチャンバ内空気を排出する排気系を接続するとともに、前記チャンバ内空気循環路の前記開閉弁間の部分の一端側に除塵脱臭空気の給気系から分岐された給気管を接続し、他端側に排気管を接続するのが好ましい。

この発明の漏れ検査方法は、チャンバ内に内容物充填容器を置いて前記チャンバを密閉し、その状態で、前記容器内の内容物の少なくとも１種のガス成分を検出するガスセンサにより前記チャンバ内の空気中のセンサ検出成分量を測定する成分量測定作業を、複数回、各回ごとに、前記チャンバ内を所定の真空圧に減圧してその減圧状態を一定時間保持した後に前記チャンバ内に除塵脱臭空気を供給して前記チャンバ内を一定圧にし、その後に前記チャンバ内への除塵脱臭空気の供給を停止して前記ガスセンサにより前記チャンバ内の空気中の前記センサ検出成分量を測定する手順で繰り返し、その少なくとも２回以上の成分量測定値を比較して、そのうちの前の回の成分量測定値よりも後の回の成分量測定値が高いときに前記容器を漏れありと判定するものであるため、極く微量な漏れも見落とすこと無く信頼度の高い漏れ検査を行なうことができる。

この漏れ検査方法においては、前記複数回の成分量測定値のうち、１回目の成分量測定値よりも２回目以後の成分量測定値が高いときに漏れありと判定するのが望ましく、このようにすることにより、前記内容物充填容器の漏れを短時間で能率良く検査することができる。

さらに、この漏れ検査方法においては、前記チャンバ内の減圧から前記チャンバ内に除塵脱臭空気を供給した後のチャンバ内空気中のセンサ検出成分量の測定までの成分量測定作業を少なくとも３回繰り返し、そのうちの前の回の成分量測定値よりも後の回の成分量測定値が高く、それよりもさらに後の回の成分量測定値が高いときに漏れありと判定するのが好ましく、このようにすることにより、前記内容物充填容器の漏れを、より高い信頼度で検査することができる。

その場合は、１回目の成分量測定値よりも２回目の成分量測定値が高く、前記２回目の成分量測定値よりも３回目の成分量測定値が高いときに漏れありと判定するのが望ましく、このようにすることにより、前記内容物充填容器の漏れを、より高い信頼度でしかも能率良く検査することができる。

そして、この漏れ検査方法においては、各回の成分量測定作業におけるチャンバ内を一定圧にした時点から一定時間を経過したときのセンサ検出成分量の測定値に基づいて漏れ判定を行なうのが好ましく、このようにすることにより、前記チャンバ内空気中のセンサ検出成分量を高精度に測定し、より信頼度の高い漏れ検査を行なうことができる。

また、この漏れ検査方法においては、前記ガスセンサを、前記チャンバに両端を接続したチャンバ内空気循環路に配置し、各回の成分量測定作業ごとに、除塵脱臭空気を供給して一定圧にしたチャンバ内の空気を前記空気循環路を通して循環させてチャンバ内空気中のセンサ検出成分量を測定するのが望ましく、このようにすることにより、前記チャンバ内空気中のセンサ検出成分量を高精度に測定し、さらに信頼度の高い漏れ検査を行なうことができる。

さらに、この漏れ検査方法においては、前記チャンバ内に内容物充填容器を置く前に、前記チャンバを密閉した状態で、前記チャンバ内を減圧した後に前記チャンバ内に除塵脱臭空気を供給するとともに、前記チャンバ内への前記除塵脱臭空気の供給と前記チャンバ内の空気の排気とを一定時間継続するチャンバ内フラッシングと、前記チャンバ内空気循環路に除塵脱臭空気を一定時間流す循環路内フラッシングとを行なうのが好ましく、このようにすることにより、前記チャンバ内空気中のセンサ検出成分量をさらに高精度に測定し、より信頼度の高い漏れ検査を行なうことができる。

また、この発明の内容物充填容器の漏れ検査装置は、内部に内容物充填容器を置いて密閉されるチャンバと、前記チャンバ内を減圧する減圧系と、前記チャンバ内に除塵脱臭空気を供給する給気系と、前記容器内の内容物の少なくとも１種のガス成分を検出するガスセンサを有し、前記チャンバ内の空気中のセンサ検出成分量を測定する成分量測定手段と、前記チャンバ内に前記内容物充填容器を置いて前記チャンバを密閉した状態で、前記成分量測定手段によるチャンバ内空気中のセンサ検出成分量の測定を、複数回、各回ごとに、前記減圧系により前記チャンバ内を所定の真空圧に減圧し、その減圧状態を一定時間保持した後に、前記給気系により前記チャンバ内に除塵脱臭空気を供給して前記チャンバ内を一定圧にし、その後に前記チャンバ内への除塵脱臭空気の供給を停止して、前記成分量測定手段にチャンバ内空気中のセンサ検出成分量の測定を行なわせる手順で繰り返すための測定制御手段とを備えたものであるため、上述したこの発明の漏れ検査方法による信頼度の高い内容物充填容器の漏れ検査を行なうことができる。

この漏れ検査装置において、前記ガスセンサは、前記チャンバに両端を接続するとともに両端側にそれぞれ開閉弁を設けたチャンバ内空気循環路に設けるのが望ましく、このようにすることにより、前記チャンバ内空気中のセンサ検出成分量をより高精度に測定し、信頼度の高い漏れ検査を行なうことができるとともに、前記チャンバ内の減圧から前記チャンバ内に除塵脱臭空気を供給して前記チャンバ内を一定圧にするまでの作業を、前記ガスセンサに真空圧を作用させることなく行なうことができる。

さらに、この漏れ検査装置においては、前記チャンバにチャンバ内空気を排出する排気系を接続するとともに、前記チャンバ内空気循環路の前記開閉弁間の部分の一端側に除塵脱臭空気の給気系から分岐された給気管を接続し、他端側に排気管を接続するのが好ましく、このようにすることにより、前記チャンバ内に内容物充填容器を置く前に、前記チャンバ内フラッシングと循環路内フラッシングとを行なって、前記チャンバ内空気中のセンサ検出成分量をさらに高精度に測定し、より信頼度の高い漏れ検査を行なうことができる。

図１〜図７はこの発明の一実施例を示しており、図１及び図２は漏れ検査装置の正面図及び側面図、図３は前記漏れ検査装置のチャンバの拡大断面図、図４は前記漏れ検査装置の配管系統図である。

まず、前記漏れ検査装置について説明すると、この漏れ検査装置は図１〜図４に示したように、移動ラック１に、内部に紙パック容器等の内容物充填容器Ａを置いて密閉されるチャンバ３と、前記チャンバ３内を減圧する減圧系８と、前記チャンバ３内に除塵脱臭空気を供給する給気系１５と、前記チャンバ３内に洗浄水を供給する洗浄水供給系２２と、前記チャンバ３内の空気及び洗浄水を排出する排気・排水系２３と、前記チャンバ３内の空気を循環させるためのチャンバ内空気循環路３４と、前記内容物充填容器Ａ内の内容物の少なくとも１種のガス成分を検出するガスセンサ３９を有し、前記チャンバ３内の空気中のセンサ検出成分量を測定する成分量測定手段３７と、測定値及び漏れ検査結果の表示部４６と、これらをコントロールするための操作盤４７とを設けたものである。

前記移動ラック１は、下端の４隅部にキャスター２を備え、下端から７００ｍｍ程度の高さと下端近くとに上下２段にテーブル１ａ，１ｂを設けるとともに、上段のテーブル１ａの後縁部に背面壁１ｃを設けたものであり、前記チャンバ３と操作盤４７は前記移動ラック１の上段テーブル１ａ上に設けられている。

前記チャンバ３は、図１〜図３に示したように、下端部を足部材４により前記移動ラック１の上段テーブル１ａ上に固定された上端が開放する縦型円筒状のチャンバ本体３ａと、このチャンバ本体３ａの開放端の一側に枢支され、前記チャンバ蓋３ｂの開放面を密閉して蓋締め機構５によりクランプされる開閉可能なチャンバ蓋３ｂとからなっており、前記チャンバ本体３ａ内の下端部には複数の通気孔を有する容器置き台６が水平に設けられ、前記チャンバ本体３ａの外部にはチャンバ３内の圧力を表示する圧力ゲージ７が設けられている。

前記減圧系８は、図４に示したように、前記チャンバ本体３ａに設けられた減圧系接続部９（図３参照）に一端を接続された真空引き管１０と、この真空引き管１０の他端に接続された真空タンク１１と、前記真空タンク１１に逆止弁１２を介して接続された真空ポンプ１３と、前記真空引き管１０に設けられた電磁弁からなる減圧制御用開閉弁（以下、減圧制御弁という）１４とからなっており、前記真空タンク１１と真空ポンプ１３は前記移動ラック１の下段テーブル１ｂ上に設置されている。

また、前記給気系１５は、図４に示したように、前記チャンバ本体３ａに設けられた給気系接続部１６（図３参照）に一端を接続され、他端に外部に開放する外気取り込み口が設けられた給気管１７と、この給気管１７にその外気取り込み口側から順に設けられた手動開閉弁１８、除塵フィルタ１９、脱臭フィルタ２０及び電磁弁からなる給気制御用開閉弁（以下、給気制御弁という）２１とからなっている。なお、前記脱臭フィルタ２０は、例えば活性炭を脱臭材としたものである。

さらに、前記洗浄水供給系２２は、前記チャンバ本体３ａの上端付近に設けられた洗浄水供給系接続部２４（図３参照）に一端を接続された洗浄水供給管２５と、この洗浄水供給管２５に設けられた手動開閉弁２６及び電磁弁からなる洗浄水供給制御用開閉弁（以下、洗浄水供給制御弁という）２７とからなっており、チャンバ３内を洗浄するときに、前記洗浄水供給管２５の他端を外部の洗浄水供給源２８に接続して使用される。

なお、前記洗浄水供給源２８は、水槽内の水をポンプにより供給するか、あるいは水道水をその圧力を利用して供給するものであり、洗浄開始時に洗剤を溶解した洗浄水を一定時間供給し、次いで除塵及び脱臭フィルタを通したすすぎ洗浄水を一定時間供給するように構成されている。

一方、前記排気・排水系２３は、前記チャンバ本体３ａの下端に設けられた排気・排水系接続部２９（図３参照）に一端を接続され、他端に排水口が設けられた排気・排水管３０と、この排気・排水管３０に設けられた手動開閉弁３１及び電磁弁からなる排気・排水制御用開閉弁（以下、排気・排水制御弁という）３２と、前記排気・排水管３０の弁設置よりも排水口側の部分に並列に接続されたバイパス管３０ａに設けられた排気・排水ポンプ３３とからなっており、チャンバ３内を洗浄するときに、前記排気・排水管３０の排水口を外部の排水受けタンク等に接続して使用される。なお、前記排気・排水ポンプ３３は前記移動ラック１の下段テーブル１ｂ上に設置されている。

また、前記チャンバ内空気循環路３４は、前記チャンバ本体３ａの上端付近と前記容器置き台６の上面付近とに設けられた循環路接続部３５ａ，３５ｂに両端を接続された配管からなっており、このチャンバ内空気循環路３４の両端側にそれぞれ、前記チャンバ３との接続端に近接させて、電磁弁からなる空気循環制御用開閉弁（以下、空気循環制御弁という）３６ａ，３６ｂが設けられるとともに、これらの空気循環制御弁３６ａ，３６ｂの間の部分に、前記ガスセンサ３９と空気循環ポンプ４０とを備えたセンサユニット３８が設けられている。

そして、前記成分量測定手段３７は、前記ガスセンサ３９と成分測定回路４１とにより構成されており、前記成分測定回路４１は、前記ガスセンサ３９に一定値の電圧を印加し、前記ガスセンサ３９の出力電圧に基づいてチャンバ内空気中のセンサ検出成分量を測定して、その測定値を記憶するとともに前記表示部４６に表示させる。

なお、前記ガスセンサ３９と空気循環ポンプ４０とを備えたセンサユニット３８は、前記移動ラック１の背面壁１ｃの前面に設けられており、前記成分測定回路４１は、前記移動ラック１の上段テーブル１ａ上に設けられた操作盤４７内に設けられている。

さらに、前記チャンバ内空気循環路３４の前記空気循環制御弁３６ａ，３６ｂ間の部分には、その一端側に前記給気系１５の除塵フィルタ１９及び脱臭フィルタ２０と給気制御弁２１との間の部分から分岐された給気管４２が接続されるとともに、他端側に排気管４３が接続されており、この給気管４２と排気管４３にそれぞれ、前記空気循環路３４内のフラッシングを行なうための電磁弁からなるフラッシング制御用開閉弁（以下、フラッシング制御弁という）４４，４５が設けられている。

この実施例の漏れ検査装置は、酒類を充填した紙パック容器の漏れを検査するためのものであり、前記ガスセンサ３９として、アルコール成分を含むガス成分を検出し、その検出成分量に応じた電圧信号を出力するものを備えている。

この種のガスセンサ３９には、例えば、酸化スズ（ＳｎＯ_２）等からなる酸素吸着性の多孔質体に吸着された酸素が、エタノール（アルコール成分）、メタン、アンモニア、水蒸気等の還元性物質により消費されることによる前記多孔質体の電気的性質の変化を電圧値として出力するものがある。

また、前記表示部４６は、例えばドットマトリックス液晶表示パネルと、この液晶表示パネルに接続されてその背後に配置された表示駆動回路とからなっており、この表示部４６は、前記移動ラック１の背面壁１ｃの前面に設けられている。

前記操作盤４７は、漏れ検査装置に、チャンバ３内及びチャンバ内空気循環路３４内の除塵脱臭空気によるフラッシングと、前記チャンバ３内に置いた内容物充填容器Ａの漏れ検査と、前記チャンバ３内の洗浄とを行なわせるために設けられており、この操作盤４７の上面には、フラッシング開始キー、測定回数設定キー、検査開始キー、検査結果確認キー、チャンバ内洗浄キー等の各種キー４８が配列されている。

そして、この操作盤４７内には、図示しないが、前記チャンバ内空気循環路３４に接続された前記給気管４２及び排気管４３のフラッシング制御弁４４，４５の開閉を行なうフラッシング回路と、前記減圧系８により前記チャンバ３内を所定の真空圧に減圧し、その減圧状態を一定時間保持した後に、前記給気系１５によりチャンバ３内に除塵脱臭空気を供給して前記チャンバ３内を大気圧に戻し、その後に前記チャンバ３内への除塵脱臭空気の供給を停止して、前記成分量測定手段３７によるチャンバ内空気中のセンサ検出成分量の測定を行なう成分量測定作業を複数回繰り返すための測定制御手段としての測定制御回路と、前記センサ検出成分量の測定値に基づいて前記内容物充填容器Ａの漏れの有無を判定する漏れ判定回路と、前記洗浄水供給系２２の洗浄水供給制御弁２７の開閉及び前記排気・排水系の排気・排水制御弁３２の開閉と排気・排水ポンプ３３の駆動及び停止を行なう洗浄回路とが設けられている。

次に、前記漏れ検査装置による内容物充填容器Ａの漏れ検査方法を説明すると、前記漏れ検査装置は、給気系１５と洗浄水供給系２２と排気・排水系２３の手動開閉弁１８，２６，３１を開き、移動ラック１の適当箇所または操作盤４７に設けられた電源スイッチ（図示せず）をオンさせて使用されるものであり、前記電源スイッチをオンさせると、前記給気系１５の真空ポンプ１３が図示しないポンプ制御回路により駆動され、真空タンク１１内の圧力が所定の真空圧、例えば−０．０８ＭＰＡ（メガパスカル）に調整される。

なお、前記ポンプ制御回路は、前記真空タンク１１に設けられた圧力ゲージ１１ａの圧力値に応じて、タンク内圧力が−０．０８ＭＰＡよりも高くなったときに真空ポンプ１３を駆動し、タンク内圧力が−０．０８ＭＰＡになったときに真空ポンプ１３を停止させるものであり、それにより前記真空タンク１１内の圧力が常に−０．０８ＭＰＡに維持される。

また、前記電源スイッチのオン時は、前記減圧系８の減圧制御弁１４と、前記給気系１５の給気制御弁２１と、前記洗浄水供給系２２の洗浄水供給制御弁２７と、前記排気・排水系の排気・排水制御弁３２と、前記チャンバ内空気循環路３４の空気循環制御弁３６ａ，３６ｂと、前記チャンバ内空気循環路３４に接続された給気管４２及び排気管４３のフラッシング制御弁４４，４５はいずれも閉状態にあり、また、前記排気・排水系の排気・排水ポンプ３３と、前記チャンバ内空気循環路３４に設けられたセンサユニット３８の空気循環ポンプ４０はいずれも停止状態にある。

そして、内容物充填容器Ａの漏れ検査は、前記チャンバ３内とチャンバ内空気循環路３４内とを除塵脱臭空気によりフラッシングした後に行なう。

すなわち、漏れ検査員は、前記チャンバ３内に内容物充填容器Ａを置く前に、前記チャンバ３を一旦密閉し、操作盤４７のフラッシング開始キーをオンさせて、漏れ検査装置にチャンバ内フラッシングと循環路内フラッシングとを行なわせる。

このチャンバ内フラッシングと循環路内フラッシングは、操作盤４７内のフラッシング回路による自動フラッシングであり、次のような手順で行なう。

まず、前記フラッシング開始キーのオンによって前記減圧系８の減圧制御弁１４を開き、チャンバ３内の空気を真空タンク１１に真空引きして前記チャンバ３内を前記真空タンク１１内の真空圧と同じ−０．０８ＭＰＡに減圧した後に、前記減圧制御弁１４を閉じてチャンバ内減圧を停止する。

なお、このフラッシング時のチャンバ３内の減圧は、その減圧に要する時間を前記フラッシング回路に予め設定しておくことにより、前記チャンバ３内が前記真空タンク１１内の真空圧と同じになるまで行なうことができる。

次に、前記給気系１５の給気制御弁２１を開いて前記チャンバ３内に除塵脱臭空気を供給し、前記チャンバ３内を大気圧に戻した後に、前記給気制御弁２１を開いたまま、前記排気・排水系２３の排気・排水制御弁３２を開くとともに排気・排水ポンプ３３を駆動し、前記チャンバ３内への前記除塵脱臭空気の供給と前記チャンバ３内の空気の排気とを一定時間（例えば２〜４分間程度）継続して前記チャンバ３内を前記除塵脱臭空気によりフラッシングし、前記チャンバ３内を清浄化する。

このようにして前記チャンバ３内をフラッシングした後は、前記給気制御弁２１と排気・排水制御弁３２とを閉じ、排気・排水ポンプ３３を停止するとともに、チャンバ内空気循環路３４の両端側の空気循環制御弁３６ａ，３６ｂを閉じてチャンバ３内とチャンバ内空気循環路３４内との連通を遮断する。

次に、前記チャンバ内空気循環路３４に接続された給気管４２及び排気管４３のフラッシング制御弁４４，４５を開くとともに、前記チャンバ内空気循環路３４に設けられたセンサユニット３８の空気循環ポンプ４０を駆動することにより、前記空気循環ポンプ４０の送風力を利用して、前記給気系１５からの除塵脱臭空気を前記給気管４２を介してチャンバ内空気循環路３４にその一端側から流入させるとともに、その空気を前記チャンバ内空気循環路３４の他端側から前記排気管４３を介して排出し、前記チャンバ内空気循環路３４に除塵脱臭空気を一定時間（例えば２〜４分間程度）流す循環路内フラッシングを行なって、前記チャンバ内空気循環路３４内及び前記センサユニット３８のガスセンサ３９のガス成分検出面を清浄化し、その後に、前記給気管４２及び排気管４３のフラッシング制御弁４４，４５を閉じ、前記センサユニット３８の空気循環ポンプ４０を停止して前記循環路内フラッシングを終了する。

そして、内容物充填容器Ａの漏れ検査は、前記チャンバ３内とチャンバ内空気循環路３４内のフラッシング後に次のようにして行なう。

まず、漏れ検査員は、前記チャンバ３を開いて前記チャンバ３内の容器置き台６上に内容物充填容器Ａを置き、前記チャンバ３を密閉して、検査開始キーをオンさせる。

なお、上述したように、前記内容物充填容器Ａは、酒類を充填した紙パック容器であり、漏れ検査を行なう容器は、多数の製品の中からランダムにピックアップされてチャンバ３内に置かれる。

前記チャンバ３内に内容物充填容器Ａを置いて前記チャンバ３を密閉した後の前記内容物充填容器Ａの漏れ検査は、操作盤４７内の測定制御回路及び漏れ判定回路による自動検査であり、前記漏れ検査装置は、前記検査開始キーのオンによりチャンバ内空気中のセンサ検出成分量の測定を複数回繰り返し、その少なくとも２回以上の成分量測定値を比較して、そのうちの前の回の成分量測定値よりも後の回の成分量測定値が高いときに前記容器Ａを漏れありと判定する。

なお、前記成分量測定作業の繰り返し回数は前記測定制御回路に予め設定されており、必要に応じて前記操作盤４７の測定回数設定キーにより任意に変更される。

図５は前記内容物充填容器Ａの漏れ検査手順図であり、ここでは、チャンバ内空気中のセンサ検出成分量の測定作業を３回行なう例を示している。

まず、１回目のチャンバ内空気中のセンサ検出成分量の測定作業を説明すると、１回目の測定作業では、前記検査開始キーのオンによって前記減圧系８の減圧制御弁１４を開き、チャンバ３内の空気を真空タンク１１に真空引きして前記チャンバ３内を所定の真空圧、つまり前記真空タンク１１内の真空圧と同じ−０．０８ＭＰＡに減圧し、前記減圧制御弁１４を閉じてチャンバ内減圧を停止する。

なお、前記チャンバ３内の所定の真空圧への減圧は、その減圧に要する時間を前記測定制御回路に予め設定しておくか、あるいは前記チャンバ３の圧力ゲージ７の圧力値を前記測定制御回路により設定真空圧を比較させることにより、誤差無く確実に行なうことができる。

次に、前記チャンバ３内の減圧状態を一定時間、例えば２分間保持する。このように、チャンバ３内を所定の真空圧に減圧し、その減圧状態を一定時間保持すると、前記容器Ａに、例えば紙パック材の貼り合せ不良等による漏れ欠陥があるときに、容器Ａ内の内容物（酒類）のガス成分が、減圧中や減圧状態の保持中に容器内外の圧力差によって前記漏れ欠陥部からチャンバ３内に放出される。

次に、前記給気系１５の給気制御弁２１を開き、前記チャンバ３内に除塵脱臭空気を供給してチャンバ３内を大気圧に戻し、前記給気制御弁２１を閉じてチャンバ３内への除塵脱臭空気の供給を停止する。

このように、チャンバ３内に除塵脱臭空気を供給して前記チャンバ３内を大気圧に戻すと、前記容器Ａに漏れ欠陥があるときに前記減圧中や減圧状態の保持中に容器Ａ内からチャンバ３内に放出されたガス成分がチャンバ３内に供給された除塵脱臭空気中に混入する。

次に、チャンバ内空気循環路３４の空気循環制御弁３６ａ，３６ｂを開き、次いで空気循環ポンプ４０を駆動して、前記除塵脱臭空気を供給して大気圧にしたチャンバ３内の空気を前記空気循環路３４を通して循環させ、その後に、前記成分量測定手段３７によるチャンバ内空気中のセンサ検出成分量の測定を開始させる。

前記成分量測定手段３７は、成分測定回路４１により制御され、チャンバ内空気循環路３４を通って循環しているチャンバ内空気中のセンサ検出成分をガスセンサ３９により検出し、その成分量を予め設定された時間間隔、例えば３０秒間隔で経時的に測定して、その測定値を成分測定回路４１に記憶するとともに表示部４６にグラフまたは数値で表示させる。

前記１回目の測定作業は、所定時間（例えば２〜４分間）継続した後、前記成分量測定手段３７のセンサ検出成分量の測定を停止することにより終了し、その後に、前記空気循環ポンプ４０を停止し、前記チャンバ内空気循環路３４の空気循環制御弁３６ａ，３６ｂを閉じてチャンバ内の空気の循環を停止する。

前記１回目の測定作業の終了後は、前記空気循環ポンプ４０の停止と前記チャンバ内空気循環路３４の空気循環制御弁３６ａ，３６ｂの閉鎖を待って、２回目のチャンバ内空気中のセンサ検出成分量の測定作業を開始する。

この２回目の測定作業も、前記チャンバ３内の減圧からチャンバ３内に除塵脱臭空気を供給してチャンバ３内を大気圧に戻した後のチャンバ内空気中のセンサ検出成分量の測定までの作業を前記１回目と同じ条件で行なう作業であり、前記成分量測定手段３７は、前記チャンバ内空気循環路３４を通って循環しているチャンバ内空気中のセンサ検出成分を前記ガスセンサ３９により検出し、その成分量を例えば３０秒間隔で経時的に測定して、その測定値を成分測定回路４１に記憶するとともに表示部４６にグラフまたは数値で表示させる。

この２回目の測定作業も１回目と同じ時間（例えば２〜４分間）継続した後、前記成分量測定手段３７のセンサ検出成分量の測定を停止することにより終了し、その後に、前記空気循環ポンプ４０を停止し、前記チャンバ内空気循環路３４の空気循環制御弁３６ａ，３６ｂを閉じてチャンバ内の空気の循環を停止する。

前記２回目の測定作業の終了後は、前記１回目の測定作業の終了後と同様に、前記空気循環ポンプ４０の停止と前記チャンバ内空気循環路３４の空気循環制御弁３６ａ，３６ｂの閉鎖を待って、３回目のチャンバ内空気中のセンサ検出成分量の測定作業を自動的に開始する。

この３回目の測定作業も、前記チャンバ３内の減圧からチャンバ３内に除塵脱臭空気を供給してチャンバ３内を大気圧に戻した後のチャンバ内空気中のセンサ検出成分量の測定までの作業を前記１回目及び２回目と同じ条件で行なう作業であり、前記成分量測定手段３７は、前記チャンバ内空気循環路３４を通って循環しているチャンバ内空気中のセンサ検出成分を前記ガスセンサ３９により検出し、その成分量を例えば３０秒間隔で経時的に測定して、その測定値を成分測定回路４１に記憶するとともに表示部４６にグラフまたは数値で表示させる。

この３回目の測定作業も１回目及び２回目と同じ時間（例えば２〜４分間）継続した後、前記成分量測定手段３７のセンサ検出成分量の測定を停止することにより終了し、その後に、前記空気循環ポンプ４０を停止し、前記チャンバ内空気循環路３４の空気循環制御弁３６ａ，３６ｂを閉じてチャンバ内の空気の循環を停止する。

なお、この漏れ検査方法は、チャンバ３内に内容物充填容器Ａを置いて前記チャンバ３を密閉した状態で上記チャンバ内空気中のセンサ検出成分量の測定作業を繰り返し行なうため、その途中で前記容器Ａが破裂し、その内容物がチャンバ３内に溢れ出すことがあるが、そのときは、次の回のチャンバ内減圧時間が異常に長くなるか、あるいはチャンバ内空気中のセンサ検出成分量の測定値が異常に高くなるため、前記測定制御回路により前記容器Ａの破裂を自動的に検知して以後の作業を停止するとともに、表示部４６への表示等により漏れ検査員に容器破裂を報知することができる。

なお、前記測定制御回路は、チャンバ３内の減圧中に容器Ａの破裂を検知したときは減圧制御弁１４を閉じてチャンバ内減圧を中止し、チャンバ３内の減圧状態の保持時間中に容器Ａの破裂を検知したときは減圧状態保持を中止する。そして、前記測定制御回路は、前記チャンバ内減圧の中止後または減圧状態保持の中止後に給気制御弁２１を開いてチャンバ３内を大気圧に戻し、その後に前記給気制御弁２１を閉じて容器破裂を報知する。

また、前記測定制御回路は、チャンバ内空気中のセンサ検出成分量の測定中に容器Ａの破裂を検知したときは、センサ検出成分量の測定を中止し、空気循環制御弁３６ａ，３６ｂを閉じて容器破裂を報知する。

前記容器Ａの破裂が報知されたときは、漏れ検査員は、チャンバ３を開いて破裂した容器Ａを取り出し、前記チャンバ３を再び密閉した後に、操作盤４７のチャンバ内洗浄キーをオンさせて漏れ検査装置にチャンバ内洗浄を行なわせる。

このチャンバ内洗浄は、前記操作盤４７内の洗浄回路による自動洗浄であり、前記チャンバ内洗浄キーのオンにより洗浄水供給制御弁２７と排気・排水制御弁３２を開くとともに排気・排水ポンプ３３を駆動し、洗浄水供給源２８から、洗剤を溶解した洗浄水を一定時間供給し、次いで除塵及び脱臭フィルタを通したすすぎ洗浄水を一定時間供給してチャンバ３内を洗浄し、その後に、前記排気・排水ポンプ３３を停止し、前記洗浄水供給制御弁２７及び排気・排水制御弁３２を閉じる。

そして、前記チャンバ内洗浄を行なった後に内容物充填容器Ａの漏れ検査を再開するときは、漏れ検査員は、まず前記フラッシング開始キーをオンさせて漏れ検査装置に上述したチャンバ内フラッシングと循環路内フラッシングとを行なわせ、その後に、チャンバ３内に次に漏れ検査を行なう内容物充填容器Ａを置いて前記チャンバ３を密閉し、検査開始キーをオンさせて、上述した３回の成分量測定作業を１回目から開始させる。

前記３回の成分量測定作業による成分量測定値は、３回目の測定作業を終了した後に、前記成分量測定手段３７の成分測定回路４１から操作盤４７内の漏れ判定回路に出力される。

前記漏れ判定回路は、前記３回の測定作業の成分量測定値を比較して、そのうちの１回目の成分量測定値よりも２回目の成分量測定値が高く、前記２回目の成分量測定値よりも３回目の成分量測定値が高いときにチャンバ３内の内容物充填容器Ａを漏れありと判定し、それ以外のときは前記内容物充填容器Ａを漏れ無しと判定して、その判定結果を表示部４６に表示させる。

なお、漏れ検査員は、前記表示部４６に表示された判定結果を確認して操作盤４７の検査結果確認キーをオンさせる。

そして、前記漏れ検査装置は、前記検査結果確認キーのオンにより、前記空気循環ポンプ４０を停止するとともにチャンバ内空気循環路３４の空気循環制御弁３６ａ，３６ｂを閉じてチャンバ内の空気の循環を停止し、漏れ検査を終了する。

上記漏れ検査方法による検査例を説明すると、図６は、前記漏れ検査装置によりアルコール度が２５°の焼酎を充填した紙パック容器の漏れ検査を行なったときの１〜３回目回の成分量測定値を示しており、（ａ）は容器に漏れがあるときの測定値を示し、（ｂ）は漏れが無いときの測定値を示している。

図６のように、前記容器に漏れがあるときは、１回目の成分量測定値よりも２回目の成分量測定値が高く、さらに前記２回目の成分量測定値よりも３回目の成分量測定値が高いのに対し、前記容器に漏れが無いときは、２回目以後の成分量測定値が１回目の成分量測定値に極く近いか、あるいは１回目の成分量測定値よりも低い。

このように、容器に漏れがあるときは１回目の成分量測定値よりも２回目の成分量測定値が高くなり、さらに前記２回目の成分量測定値よりも３回目の成分量測定値が高くなるのは、チャンバ内減圧時に、前の測定回のセンサ検出成分を含んだ空気や前記センサ検出成分が僅かではあるがチャンバ３内及びチャンバ内空気循環路３４に残り、その残留空気中のセンサ検出成分と、新たに容器内から放出されたセンサ検出成分とが、次にチャンバ内に供給された除塵脱臭空気中に混入するためや、前の測定回に前記センサ検出成分の一部がガスセンサ３９の多孔質体等に付着して残り、その残留成分が、次にチャンバ３内に供給された除塵脱臭空気中に混入したセンサ検出成分と一緒に検出されるためであり、したがって、各回における容器内からのセンサ検出成分の放出量が同じでも、測定回ごとにチャンバ内空気中のセンサ検出成分量が多くなる。

また、前記容器の漏れ欠陥は、前記チャンバ内減圧の繰り返しにより次第に大きくなることもあり、その場合は、測定回ごとに容器内からのセンサ検出成分の放出量が多くなり、各回の成分量測定値の差がさらに大きくなる。

なお、前記ガスセンサ３９は、上述したように、エタノール（アルコール成分）だけでなく、メタン、アンモニア、水蒸気等によっても電気的性質を変えるため、前記容器に漏れがあるときも無いときも、各回の成分量測定値は、図６のようにある程度の値をもっている。

また、前記容器に漏れがあるときも無いときも、各回の成分量測定値は、図６のように時間の経過にともなって変化するが、これは、チャンバ内空気の循環開始直後は前記空気中のセンサ検出成分の濃度にムラがあるためや、容器外面やチャンバ内面に付着していたガス成分が時間の経過にともなって前記内空気中に混入するためと考えられる。

また、容器に漏れがあるときの測定時間に応じた成分量測定値の上昇率が、容器に漏れが無い場合に比べて大きいのは、チャンバ内空気中のセンサ検出成分量の測定中にも容器内からセンサ検出成分が放出されるためと考えられる。

ただし、前記時間の経過にともなう成分量測定値の変化は、図６のように、測定開始後１分間程度は不安定であるが、それを過ぎると、測定値の上昇率がほぼ安定した変化になる。

さらに、容器に漏れがあるときの各回の成分量測定値は、前記容器の漏れ欠陥の大きさによって異なり、漏れ欠陥が大きいほど各回の成分量測定値が高くなる。

なお、前記容器の漏れ欠陥が極く小さいときや漏れを発生する直前の状態であるときは、その漏れが１回目の測定では発生せず、２回目の測定時に発生することもあり、その場合は、１回目の成分量測定値は漏れが無いときの測定値とほぼ同じであるが、２回目以後の成分量測定値が高くなる。

また、図７は前記漏れ検査装置によりアルコール度が１３〜１４°の料理用清酒を充填した紙パック容器の漏れ検査を行なったときの１〜３回目の各回の成分量測定値を示しており、（ａ）は容器に漏れがあるときの測定値を示し、（ｂ）は漏れが無いときの測定値を示している。

この料理用清酒を充填した紙パック容器の漏れ検査においても、図７のように、容器に漏れがあるときは、１回目の成分量測定値よりも２回目の成分量測定値が高く、さらに前記２回目の成分量測定値よりも３回目の成分量測定値が高い。

なお、図７（ａ）に示した容器に漏れがあるときの各回の成分量測定値は、前記容器の漏れ欠陥が大きいときの値であり、前記漏れ欠陥が小さいときは各回の成分量測定値も低くなる。

したがって、前記３回の測定作業の成分量測定値を比較し、そのうちの１回目の成分量測定値よりも２回目の成分量測定値が高く、前記２回目の成分量測定値よりも３回目の成分量測定値が高いときに容器を漏れありと判定することにより、極く微量な漏れも見落とすこと無く信頼度の高い漏れ検査を行なうことができる。

この漏れ検査方法の信頼性は、漏れありと判定した紙パック容器と、漏れ無しと判定した紙パック容器とをそれぞれ輪切りにして内容物を捨て、その容器の内面全体に着色試薬を塗布して、容器外面への前記着色試薬の染み出しを目視検査するカラーチェックによって確認されている。

なお、上記図６及び図７に示した各回の成分量測定値は、チャンバ３内を大気圧に戻した直後にセンサ検出成分量の測定を開始したときの値であり、時間の経過にともなう成分量測定値の変化は、上述したように、測定開始後１分間程度は不安定であるが、それを過ぎると、測定値の上昇率がほぼ安定した変化になる。

したがって、上記漏れ検査方法においては、各回の作業におけるチャンバ３内を一定圧にした時点から一定時間、例えば２分程度の時間を経過したとき、つまり測定値の上昇率がほぼ安定した変化になったときのセンサ検出成分量の測定値に基づいて漏れ判定を行なうのが好ましく、このようにすることにより、前記チャンバ内空気中のセンサ検出成分量を高精度に測定し、より信頼度の高い漏れ検査を行なうことができる。

また、上記漏れ検査方法においては、前記ガスセンサ３９を、前記チャンバ３に両端を接続したチャンバ内空気循環路３４に配置し、各回の成分量測定作業ごとに、除塵脱臭空気を供給して一定圧にしたチャンバ３内の空気を前記空気循環路３４を通して循環させてチャンバ内空気中のセンサ検出成分量を測定しているため、空気循環によりチャンバ内空気中のセンサ検出成分の濃度分布を短時間で均等にすることができ、したがって、チャンバ内空気中のセンサ検出成分量を高精度に測定し、さらに信頼度の高い漏れ検査を行なうことができる。

さらに、上記漏れ検査方法においては、チャンバ３内に内容物充填容器Ａを置く前に、前記チャンバ３を密閉した状態で、チャンバ３内を減圧した後に前記チャンバ３内に除塵脱臭空気を供給するとともに、前記チャンバ３内への前記除塵脱臭空気の供給と前記チャンバ３内の空気の排気とを一定時間継続するチャンバ内フラッシングと、前記チャンバ内空気循環路３４に除塵脱臭空気を一定時間流す循環路内フラッシングとを行なっているため、前記チャンバ内空気中のセンサ検出成分量をさらに高精度に測定し、より信頼度の高い漏れ検査を行なうことができる。

なお、上記実施例の漏れ検査方法では、減圧されたチャンバ３内を大気圧に戻した状態でチャンバ内空気中のセンサ検出成分量の測定を行なっているが、各回のチャンバ内空気中のセンサ検出成分量の測定は、大気圧に限らず、他の圧力下で行なってもよく、その場合は、減圧後のチャンバ３内に除塵脱臭空気をチャンバ内圧が前記圧力になるまで供給すればよい。

また、上記実施例の漏れ検査方法では、チャンバ３内の減圧からチャンバ３内に除塵脱臭空気を供給して前記チャンバ３内を一定圧（大気圧または他の圧力）にした後のチャンバ内空気中のセンサ検出成分量の測定までの成分量測定作業を３回繰り返しているが、前記成分量測定作業の回数は、複数回であれば３回に限らず、また内容物充填容器Ａの漏れは、上記実施例の１回目〜３回目の成分量測定値に限らず、前記複数回の成分量測定作業のうちの少なくとも２回以上の成分量測定値に基づいて判定してもよい。

すなわち、この発明の漏れ検査方法は、チャンバ３内に内容物充填容器Ａを置いて前記チャンバ３を密閉し、その状態で、前記チャンバ３内を所定の真空圧に減圧してその減圧状態を一定時間保持した後に前記チャンバ３内に除塵脱臭空気を供給して前記チャンバ内を一定圧にし、その後に前記チャンバ３内への除塵脱臭空気の供給を停止して、前記ガスセンサ３９により前記チャンバ３内の空気中のセンサ検出成分量を測定する成分量測定作業を複数回繰り返し、その少なくとも２回以上の成分量測定値を比較して、そのうちの前の回の成分量測定値よりも後の回の成分量測定値が高いときに前記容器を漏れありと判定するものであればればよく、この漏れ検査方法によれば、極く微量な漏れも見落とすこと無く信頼度の高い漏れ検査を行なうことができる。

この漏れ検査方法においては、前記複数回の成分量測定値のうち、１回目の成分量測定値よりも２回目以後の成分量測定値が高いときに漏れありと判定するのが望ましく、このようにすることにより、前記内容物充填容器の漏れを短時間で能率良く検査することができる。

さらに、この漏れ検査方法においては、前記チャンバ内の減圧から前記チャンバ内に除塵脱臭空気を供給した後のチャンバ内空気中のセンサ検出成分量の測定までの成分量測定作業を少なくとも３回繰り返し、そのうちの前の回の成分量測定値よりも後の回の成分量測定値が高く、それよりもさらに後の回の成分量測定値が高いときに漏れありと判定するのが好ましく、このようにすることにより、前記内容物充填容器の漏れを、より高い信頼度で検査することができる。

その場合は、１回目の成分量測定値よりも２回目の成分量測定値が高く、前記２回目の成分量測定値よりも３回目の成分量測定値が高いときに漏れありと判定するのが望ましく、このようにすることにより、前記内容物充填容器の漏れを、より高い信頼度でしかも能率良く検査することができる。

また、上記漏れ検査装置は、内部に内容物充填容器Ａを置いて密閉されるチャンバ３と、前記チャンバ３内を減圧する減圧系８と、前記チャンバ３内に除塵脱臭空気を供給する給気系１５と、前記容器Ａ内の内容物の少なくとも１種のガス成分を検出するガスセンサ３９を有し、前記チャンバ３内の空気中のセンサ検出成分量を測定する成分量測定手段３７と、前記減圧系８により前記チャンバ３内を所定の真空圧に減圧し、その減圧状態を一定時間保持した後に、前記給気系１５により前記チャンバ３内に除塵脱臭空気を供給して前記チャンバ内を一定圧にし、その後に前記チャンバ３内への除塵脱臭空気の供給を停止して、前記成分量測定手段３７にチャンバ内空気中のセンサ検出成分量の測定を行なわせる作業を成分量測定作業を複数回繰り返すための測定制御手段（上記実施例では操作盤４７内の図示しない測定制御回路）とを備えたものであるため、上述した漏れ検査方法による信頼度の高い内容物充填容器Ａの漏れ検査を行なうことができる。

また、上記漏れ検査装置においては、前記ガスセンサ３９を、前記チャンバ３に両端を接続するとともに両端側にそれぞれ開閉弁（上記実施例では電磁弁からなる空気循環制御弁）３６ａ，３６ｂを設けたチャンバ内空気循環路３４に設けているため、前記チャンバ内空気中のセンサ検出成分量をより高精度に測定し、信頼度の高い漏れ検査を行なうことができるとともに、前記チャンバ３内の減圧から前記チャンバ３内に除塵脱臭空気を供給して前記チャンバ内を一定圧にするまでの作業を、前記開閉弁３６ａ，３６ｂを閉じてチャンバ３内とチャンバ内空気循環路３４内との連通を遮断した状態で、前記ガスセンサ３９に真空圧を作用させることなく行なうことができる。

さらに、上記漏れ検査装置においては、前記チャンバ３にチャンバ内空気を排出する排気系（上記実施例ではチャンバ内の空気及び洗浄水を排出する排気・排水系）２３を接続するとともに、前記チャンバ内空気循環路３４の前記開閉弁３６ａ，３６ｂ間の部分の一端側に除塵脱臭空気の給気系１５から分岐された給気管４２を接続し、他端側に排気管４３を接続しているため、前記チャンバ３内に内容物充填容器Ａを置く前に、前記チャンバ内フラッシングと循環路内フラッシングとを行なって、前記チャンバ内空気中のセンサ検出成分量をさらに高精度に測定し、より信頼度の高い漏れ検査を行なうことができる。

なお、上記実施例では、漏れ検査装置の操作盤４７内に漏れ判定回路を設け、前記漏れ判定回路により少なくとも２回以上の成分量測定値を比較して内容物充填容器Ａの漏れを自動的に判定するようにしているが、前記容器Ａの漏れは、例えばパソコン等の外部機器を利用し、各回の成分量測定値を前記パソコン等に入力して判定させてもよく、また、漏れ検査装置の表示部４６に各回の成分量測定値を重ねて表示して、漏れ検査員に漏れ判定を行なわせるようにしてもよい。

また、前記ガスセンサ３９が真空圧に対して十分な強度を有している場合は、前記チャンバ内空気中のセンサ検出成分の検出を、前記ガスセンサ３９をチャンバ３内に配置して行なってもよく、その場合は、チャンバ内空気循環路３４に代えてチャンバ３内に空気を攪拌ファンを設け、空気攪拌によりチャンバ内空気中のセンサ検出成分の濃度分布を均等にすればよい。

なお、このようにチャンバ内空気を攪拌ファンにより攪拌してチャンバ内空気中のセンサ検出成分を測定する場合も、内容物充填容器Ａの漏れ判定は、各回の成分量測定作業におけるチャンバ３内を一定圧にした時点から一定時間を経過したときのセンサ検出成分量の測定値に基づいて判定するのが好ましく、このようにすることにより、チャンバ内空気中のセンサ検出成分量を高精度に測定し、さらに信頼度の高い漏れ検査を行なうことができる。

また、前記ガスセンサ３９をチャンバ３内に配置する場合も、前記チャンバ３内に内容物充填容器Ａを置く前に、前記チャンバ３を密閉した状態で、前記チャンバ３内を減圧した後に前記チャンバ３内に除塵脱臭空気を供給するとともに、前記チャンバ３内への前記除塵脱臭空気の供給と前記チャンバ３内の空気の排気とを一定時間継続するチャンバ内フラッシングを行なうのが好ましく、このようにすることにより、チャンバ内空気中のセンサ検出成分量をさらに高精度に測定し、より信頼度の高い漏れ検査を行なうことができる。

さらに、この発明の漏れ検査方法及び漏れ検査装置は、上述した焼酎や料理用清酒を充填した容器に限らず、飲用清酒や洋酒等の酒類、あるいは醤油等のアルコール成分を含む調味料類を充填した容器の漏れ検査にも適用することができる。

また、この発明の漏れ検査方法及び漏れ検査装置は、前記ガスセンサ３９を他のガス成分を検出するものと交換することにより、他の内容物を充填した容器の漏れ検査にも適用することができ、さらには、紙パック容器に限らず、樹脂フィルムからなるバッグ容器やＰＥＴボトル等の内容物充填容器の漏れ検査にも適用することができる。

発明の一実施例を示す漏れ検査装置の外観正面図。 前記漏れ検査装置の側面図。 前記漏れ検査装置のチャンバの拡大断面図。 前記漏れ検査装置の配管系統図。 前記漏れ検査装置による内容物充填容器の漏れ検査手順図。 前記漏れ検査装置により焼酎を充填した紙パック容器の漏れ検査を行なったときの１〜３回目回の成分量測定値を示す図。 前記漏れ検査装置により料理用清酒を充填した紙パック容器の漏れ検査を行なったときの１〜３回目の各回の成分量測定値を示す図。

符号の説明

Ａ…内容物充填容器、３…チャンバ、８…減圧系、１１…真空タンク、１３…真空ポンプ、１５…給気系、１９…除塵フィルタ、２０…脱臭フィルタ、２２…洗浄水供給系、２３…吸気・排水系、３３…吸気・排水ポンプ、３４…チャンバ内空気循環路、開閉弁（空気循環制御弁）３６ａ，３６ｂ、３７…成分量測定手段、３８…センサユニット、３９…ガスセンサ、４０…空気循環ポンプ、４２…給気管、４３…排気管、４４，４５…フラッシング制御弁、４６…表示部、４７…操作盤。

Claims (10)

1. チャンバ内に内容物充填容器を置いて前記チャンバを密閉し、
   その状態で、前記容器内の内容物の少なくとも１種のガス成分を検出するガスセンサにより前記チャンバ内の空気中のセンサ検出成分量を測定する成分量測定作業を、複数回、各回ごとに、前記チャンバ内を所定の真空圧に減圧してその減圧状態を一定時間保持した後に前記チャンバ内に除塵脱臭空気を供給して前記チャンバ内を一定圧にし、その後に前記チャンバ内への除塵脱臭空気の供給を停止して前記ガスセンサにより前記チャンバ内の空気中の前記センサ検出成分量を測定する手順で繰り返し、
   その少なくとも２回以上の成分量測定値を比較して、そのうちの前の回の成分量測定値よりも後の回の成分量測定値が高いときに前記容器を漏れありと判定することを特徴とする内容物充填容器の漏れ検査方法。
2. 複数回の成分量測定値のうち、１回目の成分量測定値よりも２回目以後の成分量測定値が高いときに漏れありと判定することを特徴とする請求項１に記載の内容物充填容器の漏れ検査方法。
3. チャンバ内の減圧から前記チャンバ内に除塵脱臭空気を供給した後のチャンバ内空気中のセンサ検出成分量の測定までの成分量測定作業を少なくとも３回繰り返し、そのうちの前の回の成分量測定値よりも後の回の成分量測定値が高く、それよりもさらに後の回の成分量測定値が高いときに漏れありと判定することを特徴とする請求項１に記載の内容物充填容器の漏れ検査方法。
4. １回目の成分量測定値よりも２回目の成分量測定値が高く、前記２回目の成分量測定値よりも３回目の成分量測定値が高いときに漏れありと判定することを特徴とする請求項３に記載の内容物充填容器の漏れ検査方法。
5. 各回の成分量測定作業におけるチャンバ内を一定圧にした時点から一定時間を経過したときのセンサ検出成分量の測定値に基づいて漏れ判定を行なうことを特徴とする請求項１に記載の内容物充填容器の漏れ検査方法。
6. ガスセンサを、チャンバに両端を接続したチャンバ内空気循環路に配置し、各回の成分量測定作業ごとに、除塵脱臭空気を供給して一定圧にしたチャンバ内の空気を前記空気循環路を通して循環させてチャンバ内空気中のセンサ検出成分量を測定することを特徴とする請求項１に記載の内容物充填容器の漏れ検査方法。
7. チャンバ内に内容物充填容器を置く前に、前記チャンバを密閉した状態で、前記チャンバ内を減圧した後に前記チャンバ内に除塵脱臭空気を供給するとともに、前記チャンバ内への前記除塵脱臭空気の供給と前記チャンバ内の空気の排気とを一定時間継続するチャンバ内フラッシングと、チャンバ内空気循環路に除塵脱臭空気を一定時間流す循環路内フラッシングとを行なうことを特徴とする請求項６に記載の内容物充填容器の漏れ検査方法。
8. 内部に内容物充填容器を置いて密閉されるチャンバと、
   前記チャンバ内を減圧する減圧系と、
   前記チャンバ内に除塵脱臭空気を供給する給気系と、
   前記容器内の内容物の少なくとも１種のガス成分を検出するガスセンサを有し、前記チャンバ内の空気中のセンサ検出成分量を測定する成分量測定手段と、
   前記チャンバ内に前記内容物充填容器を置いて前記チャンバを密閉した状態で、前記成分量測定手段によるチャンバ内空気中のセンサ検出成分量の測定を、複数回、各回ごとに、前記減圧系により前記チャンバ内を所定の真空圧に減圧し、その減圧状態を一定時間保持した後に、前記給気系により前記チャンバ内に除塵脱臭空気を供給して前記チャンバ内を一定圧にし、その後に前記チャンバ内への除塵脱臭空気の供給を停止して、前記成分量測定手段にチャンバ内空気中のセンサ検出成分量の測定を行なわせる手順で繰り返すための測定制御手段とを備えたことを特徴とする内容物充填容器の漏れ検査装置。
9. ガスセンサは、チャンバに両端を接続され、両端側にそれぞれ開閉弁が設けられたチャンバ内空気循環路に設けられていることを特徴とする請求項８に記載の内容物充填容器の漏れ検査装置。
10. チャンバにチャンバ内空気を排出する排気系が接続されるとともに、チャンバ内空気循環路の開閉弁間の部分の一端側に除塵脱臭空気の給気系から分岐された給気管が接続され、他端側に排気管が接続されていることを特徴とする請求項９に記載の内容物充填容器の漏れ検査装置。

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