JP7317588B2 - 気密性検査方法 - Google Patents
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密封構造の容器内に収容した検査対象物から漏出する検出対象物をセンサで検出して検査対象物の気密性を検査する気密性検査方法であって、検査対象物を収容する密封構造の容器内を真空の第1設定圧に減圧する第1工程と、第1設定圧にした容器内を第1設定圧より真空度が高い第2設定圧に減圧する第2工程と、第2設定圧にした容器内の真空度を一定期間第2設定圧に保持する第3工程と、第2設定圧に保持した容器内の真空度を第1設定圧に増圧する第4工程と、第1設定圧にした容器内を再度第2設定圧に減圧する第5工程から成り、第1工程で第1設定圧に減圧した容器内で検査対象物から漏出する検出対象物の値を検出して第1規定値と比較して検査対象物の気密性を判定し、検出対象物の値が第1規定値以内であれば第2工程に進み、第2工程で検査対象物から漏出する検出対象物を検出して基準値とし、第5工程で検査対象物から漏出する検出対象物を検出して検出値とし、検出値を基準値と比較して検査対象物の気密性を判定することを特徴とする気密性検査方法がそれである。
図1は、機密性検査方法を行う機密性検査装置を示している。
1A、1Bは密封構造の容器で、2個を有し、内部に検査対象物としてのリチウムイオンキャパシタ(図示せず)を収容している。2A、2Bは粗検知に用いる大型の真空ポンプで、2個を有している。真空ポンプ2Aは吸気側を容器1Aと配管3Aにより接続し、容器1Bと配管3Bにより接続している。真空ポンプ2Bは吸気側を容器1Aと配管4Aにより接続し、容器1Bと配管4Bにより接続している。各配管3A、3B、4A、4Bには電磁操作の開閉弁5A、5B、6A、6Bをそれぞれ配設し、各開閉弁5A~6Bは通電により各配管3A~4Bを開き、非通電により各配管3A~4Bを閉じる。
図2は、機密性検査方法のフローチャートを示し、第1工程T1、第2工程T2、第3工程T3、第4工程T4、第5工程T5等から成っている。図3は、各工程T1~T5における容器1A、1B内の圧力を示している。
第1工程T1は、リチウムイオンキャパシタを収容する密封構造の容器1A、1B内を大気圧A0から真空の第1設定圧A1に減圧する。第1設定圧A1には、開閉弁5A~6Bを通電して配管3A~4Bを開き、大型の真空ポンプ2A、2Bを作動して減圧する。そして、粗検知のセンサ7で真空ポンプ2A、2Bから排気する気体に含まれている気化した電解液の濃度を検知し、検知した濃度の値が第1規定値Y1以内であれば、第2工程T2に進む。また、検知した濃度の値が第1規定値Y1を超えていれば、容器1A、1B内に収容したリチウムイオンキャパシタは不合格となり、検査を終了する。第1規定値Y1は、センサ7の検知精度に対応するものである。
7、13A、13B、13C、13D、13E、13F、13G、13H:センサ
T1:第1工程
T2:第2工程
T3:第3工程
T4:第4工程
T5:第5工程
S1:基準値
S2:検出値
Claims (1)
- 密封構造の容器内に収容した検査対象物から漏出する検出対象物をセンサで検出して検査対象物の気密性を検査する気密性検査方法であって、検査対象物を収容する密封構造の容器内を真空の第1設定圧に減圧する第1工程と、第1設定圧にした容器内を第1設定圧より真空度が高い第2設定圧に減圧する第2工程と、第2設定圧にした容器内の真空度を一定期間第2設定圧に保持する第3工程と、第2設定圧に保持した容器内の真空度を第1設定圧に増圧する第4工程と、第1設定圧にした容器内を再度第2設定圧に減圧する第5工程から成り、第1工程で第1設定圧に減圧した容器内で検査対象物から漏出する検出対象物の値を検出して第1規定値と比較して検査対象物の気密性を判定し、検出対象物の値が第1規定値以内であれば第2工程に進み、第2工程で検査対象物から漏出する検出対象物を検出して基準値とし、第5工程で検査対象物から漏出する検出対象物を検出して検出値とし、検出値を基準値と比較して検査対象物の気密性を判定することを特徴とする気密性検査方法。
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